JP7108399B2 - 乾式研磨装置 - Google Patents
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Description
31:円板 32:マウント 32a:装着面 32b:反対面 33:スピンドル
34:スピンドルユニット 35:回転手段 36:はみ出し部 37:フィン
4:加工室 40:開閉扉 41:開閉機構 42:開口 43:排気部 44:案内部45:天井板 46:排気口 47:吸気口 48:蛇腹カバー
5:昇降手段 50:ボールネジ 51:モータ 52:ガイドレール 53:昇降板
6:集塵機 60:ハウジング 61:集塵タンク 61a:分離室
61b:エアー噴出室 62:回収部 63:フィルター 64:逆噴射ノズル
65:逆噴射バルブ 66:逆噴射エアタンク 67:吸引手段 68:バルブ制御部
69a,69b:ダクト
Claims (2)
- ウェーハを保持する保持テーブルと、円板状の乾式の研磨パッドを回転可能に装着し該保持テーブルで保持したウェーハを研磨する研磨手段と、該保持テーブルと該研磨パッドとを覆う箱状の加工室とを備え、該加工室内でウェーハを研磨する乾式研磨装置であって、
該研磨手段は、装着面を有し該研磨パッドの中心と該装着面の中心とを一致させて該研磨パッドを装着するための円板状のマウントと、
該マウントの中心を軸とし該装着面の反対面に先端を装着するスピンドルと、
該スピンドルを回転自在に支持するスピンドルユニットと、
該スピンドルを回転させる回転手段とを備え、
該マウントは、該研磨パッドの直径より大きい直径で形成され該研磨パッドの外周縁より外側にはみ出したはみ出し部と、
該はみ出し部に環状に配設され該スピンドルの回転により該マウントの該装着面側から該反対面側に向かって上昇気流を発生させるフィンとを備え、
該加工室は、該加工室の上板に該研磨手段のスピンドルのみが通過し昇降可能とする開口と、
該上板に加工室内を吸う集塵機に接続された排気口を有する排気部と 、
該加工室の側板に配置された吸気口と、
を備え、
該マウントを回転させたときに発生する該上昇気流によって研磨加工で発生した加工屑を該排気口に導く乾式研磨装置。 - 前記排気部は、前記開口を囲繞して環状に形成され下面が開放された断面が溝状の案内部と、該案内部の天井板に配設される前記排気口とを備え、
該天井板は、該排気口が配設されるところが最も高くなるよう傾斜して前記加工屑を該排気口に導く請求項1記載の乾式研磨装置。
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