JP6322021B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
える基板処理装置について説明するが、これには限られない。
図1は本発明の一実施形態に係る基板処理装置の全体構成を示す平面図である。図1に示すように、このCMP装置は、略矩形状のハウジング1を備えており、ハウジング1の内部は隔壁1a,1bによってロード/アンロードユニット2と研磨ユニット3と洗浄ユニット4とに区画されている。ロード/アンロードユニット2、研磨ユニット3、及び洗浄ユニット4は、それぞれ独立に組み立てられ、独立に排気される。また、洗浄ユニット4は、基板処理動作を制御する制御装置5を有している。制御装置5には、後述する動作制御部が含まれる。
ロード/アンロードユニット2は、多数のウェハ(基板)をストックするウェハカセットが載置される2つ以上(本実施形態では4つ)のフロントロード部20を備えている。これらのフロントロード部20はハウジング1に隣接して配置され、基板処理装置の幅方向(長手方向と垂直な方向)に沿って配列されている。フロントロード部20には、オープンカセット、SMIF(Standard Manufacturing Interface)ポッド、またはFOUP(Front Opening Unified Pod)を搭載することができるようになっている。ここで、SMIF、FOUPは、内部にウェハカセットを収納し、隔壁で覆うことにより、外部空間とは独立した環境を保つことができる密閉容器である。
研磨ユニット3は、ウェハの研磨(平坦化)が行われる領域であり、第1研磨ユニット3A、第2研磨ユニット3B、第3研磨ユニット3C、第4研磨ユニット3Dを備えている。これらの第1研磨ユニット3A、第2研磨ユニット3B、第3研磨ユニット3C、及び第4研磨ユニット3Dは、図1に示すように、基板処理装置の長手方向に沿って配列さ
れている。
図3(a)は洗浄ユニット4を示す平面図であり、図3(b)は洗浄ユニット4を示す側面図である。図3(a)及び図3(b)に示すように、洗浄ユニット4は、第1洗浄室
190と、第1搬送室191と、第2洗浄室192と、第2搬送室193と、乾燥室194とに区画されている。第1洗浄室190内には、縦方向に沿って配列された上側一次洗浄モジュール201A及び下側一次洗浄モジュール201Bが配置されている。上側一次洗浄モジュール201Aは下側一次洗浄モジュール201Bの上方に配置されている。同様に、第2洗浄室192内には、縦方向に沿って配列された上側二次洗浄モジュール202A及び下側二次洗浄モジュール202Bが配置されている。上側二次洗浄モジュール202Aは下側二次洗浄モジュール202Bの上方に配置されている。一次及び二次洗浄モジュール201A,201B,202A,202Bは、洗浄液を用いてウェハを洗浄する洗浄機である。これらの一次及び二次洗浄モジュール201A,201B,202A,202Bは垂直方向に沿って配列されているので、フットプリント面積が小さいという利点が得られる。
<第1実施形態>
次に、インターロック制御について説明する。なお、第1研磨ユニット3A、第2研磨ユニット3B、第3研磨ユニット3C、及び第4研磨ユニット3Dは、同一の構成であるので、代表して第1研磨ユニット3Aについて説明する。
ステップS105)。言い換えれば、動作制御部330は、第1研磨ユニット3A内の複数の部品の動作を許容する。
次に、第2実施形態について説明する。第2実施形態は、第1実施形態に加えて、さらにインターロック制御の内容を追加したものである。第1実施形態と重複する内容については説明を省略する。
限られず、扉35Aが開かれた状態でハウジング1内部の識別部材312A,314A,316A(識別子)を撮像可能であればよい。他の画像撮像部420は、制御装置5内に設けられた動作制御部330に有線又は無線によって接続される。
次に、第3実施形態について説明する。第3実施形態は、第1及び第2実施形態に加えて、さらにタブレット端末機器による研磨ユニットの操作態様(操作権限の管理)を追加したものである。第1及び第2実施形態と重複する内容については説明を省略する。
る、ことができる。
以上説明したように、本発明は以下の形態を有する。
[形態1]
基板を処理するために用いられる複数の部品と、
前記複数の部品を収容する筐体と、
前記筐体内部に設けられた、前記複数の部品とは異なる複数の識別部材と、
前記筐体の扉の筐体内部側に設けられた画像撮像部と、
前記画像撮像部によって撮像された画像に前記複数の識別部材の少なくとも一部が含まれない場合に、前記複数の部品の動作を停止させる動作制御部と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。
[形態2]
形態1に記載の基板処理装置において、さらに、
前記画像撮像部とは異なる他の画像撮像部を備え、
前記動作制御部は、前記複数の部品の動作を停止させている状態において、前記他の画像撮像部によって撮像された画像に前記複数の識別部材が含まれる場合に、前記複数の部品の動作を許可する、
ことを特徴とする基板処理装置。
[形態3]
形態1又は2に記載の基板処理装置において、
前記他の画像撮像部は、可搬性を有し、前記扉が開かれた状態で前記筐体内部を撮像可能な画像撮像部である、
ことを特徴とする基板処理装置。
[形態4]
形態3に記載の基板処理装置において、さらに、
前記複数の部品を操作するための操作画像が表示される表示部を備え、
前記他の画像撮像部が搭載された機器は、前記表示部に表示される操作画像が表示される他の表示部を備え、
前記動作制御部は、前記他の表示部に前記操作画像が表示されている際には、前記他の表示部に表示されている前記操作画像を介して入力された操作指示を有効とし、前記表示部に表示されている前記操作画像を介して入力された操作指示を無効とする、
ことを特徴とする基板処理装置。
[形態5]
形態1〜4のいずれか1項に記載の基板処理装置において、
前記識別部材は、前記扉が閉じられた状態において、前記画像撮像部の撮像領域内に含まれ、前記画像撮像部に向いた面に、数字、文字、バーコード、QRコード(登録商標)、及び図形、の少なくとも1つの識別子が形成される、
ことを特徴とする基板処理装置。
[形態6]
形態5に記載の基板処理装置において、
前記動作制御部は、記憶部から前記識別子を読み出し、前記画像撮像部によって撮像された画像と、前記読み出した識別子とのパターンマッチングを行うことによって、前記画像撮像部によって撮像された画像に前記複数の識別部材が含まれるか否かを判定する、
ことを特徴とする基板処理装置。
3 研磨ユニット
4 洗浄ユニット
5 制御装置
35A,35B,35C,35D 扉
312A,314A,316A 識別部材
320A 画像撮像部
330 動作制御部
350 撮像領域
390 異物
410 タブレット端末機器
420 他の画像撮像部
430 他の表示部
510 表示部
520,530 操作画像
Claims (6)
- 基板を処理するために用いられる複数の部品と、
前記複数の部品を収容する筐体と、
前記筐体内部に設けられた、前記複数の部品とは異なる複数の識別部材と、
前記筐体の扉の筐体内部側に設けられた画像撮像部と、
前記画像撮像部によって撮像された画像に前記複数の識別部材の少なくとも一部が含まれない場合に、前記複数の部品の動作を停止させる動作制御部と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、さらに、
前記画像撮像部とは異なる他の画像撮像部を備え、
前記動作制御部は、前記複数の部品の動作を停止させている状態において、前記他の画像撮像部によって撮像された画像に前記複数の識別部材が含まれる場合に、前記複数の部品の動作を許可する、
ことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2に記載の基板処理装置において、
前記他の画像撮像部は、可搬性を有し、前記扉が開かれた状態で前記筐体内部を撮像可能な画像撮像部である、
ことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項3に記載の基板処理装置において、さらに、
前記複数の部品を操作するための操作画像が表示される表示部を備え、
前記他の画像撮像部が搭載された機器は、前記表示部に表示される操作画像が表示される他の表示部を備え、
前記動作制御部は、前記他の表示部に前記操作画像が表示されている際には、前記他の表示部に表示されている前記操作画像を介して入力された操作指示を有効とし、前記表示部に表示されている前記操作画像を介して入力された操作指示を無効とする、
ことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の基板処理装置において、
前記識別部材は、前記扉が閉じられた状態において、前記画像撮像部の撮像領域内に含まれ、前記画像撮像部に向いた面に、数字、文字、バーコード、QRコード(登録商標)、及び図形、の少なくとも1つの識別子が形成される、
ことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項5に記載の基板処理装置において、
前記動作制御部は、記憶部から前記識別子を読み出し、前記画像撮像部によって撮像された画像と、前記読み出した識別子とのパターンマッチングを行うことによって、前記画像撮像部によって撮像された画像に前記複数の識別部材が含まれるか否かを判定する、
ことを特徴とする基板処理装置。
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