JP2015201598A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】研磨部又は洗浄部のテストを実行している際の基板の処理効率を向上させる。
【解決手段】CMP装置は、基板を研磨する少なくとも1つの研磨部を含む研磨ユニット3と、基板の洗浄を行う少なくとも1つの洗浄部を含む洗浄ユニット4と、ロード/アンロードユニット2と、研磨ユニット3、洗浄ユニット4、及び、ロード/アンロードユニット2間で基板を搬送する搬送ユニットと、搬送ユニットにおける基板の搬送を制御する制御部5と、を備える。制御部5は、研磨ユニットが複数の研磨部を含むか、又は、洗浄ユニットが複数の洗浄部を含む場合には、研磨部又は洗浄部をテスト用に動作させるテストモードを複数の研磨部の一部、又は、複数の洗浄部の一部に設定可能であり、テストモードが設定されていない研磨部、又は、洗浄部へ基板を搬送させるとともに、テストモードが設定された研磨部、又は、洗浄部へ基板とは異なるテスト用基板を搬送させる。
【選択図】図1
【解決手段】CMP装置は、基板を研磨する少なくとも1つの研磨部を含む研磨ユニット3と、基板の洗浄を行う少なくとも1つの洗浄部を含む洗浄ユニット4と、ロード/アンロードユニット2と、研磨ユニット3、洗浄ユニット4、及び、ロード/アンロードユニット2間で基板を搬送する搬送ユニットと、搬送ユニットにおける基板の搬送を制御する制御部5と、を備える。制御部5は、研磨ユニットが複数の研磨部を含むか、又は、洗浄ユニットが複数の洗浄部を含む場合には、研磨部又は洗浄部をテスト用に動作させるテストモードを複数の研磨部の一部、又は、複数の洗浄部の一部に設定可能であり、テストモードが設定されていない研磨部、又は、洗浄部へ基板を搬送させるとともに、テストモードが設定された研磨部、又は、洗浄部へ基板とは異なるテスト用基板を搬送させる。
【選択図】図1
Description
本発明は、基板処理装置に関するものである。
近年、半導体ウェハなどの基板に対して各種処理を行うために基板処理装置が用いられている。基板処理装置の一例としては、基板の研磨処理を行うためのCMP(Chemical Mechanical Polishing)装置が挙げられる。
CMP装置は、基板の研磨処理を行うための研磨ユニット、基板の洗浄処理及び乾燥処理を行うための洗浄ユニット、研磨ユニットへ基板を受け渡すとともに洗浄ユニットによって洗浄処理及び乾燥処理された基板を受け取るロード/アンロードユニットなどを備える。また、CMP装置は、研磨ユニット、洗浄ユニット、及びロード/アンロードユニット内で基板の搬送を行う搬送ユニットを備えている。CMP装置は、搬送ユニットによって基板を搬送しながら研磨、洗浄、及び乾燥の各種処理を順次行う。
ところで、搬送ユニットは、研磨ユニットが複数の研磨部を含み、洗浄ユニットが複数の洗浄部を含む場合には、基板の処理効率を最適化するための搬送を行うことが知られている。すなわち、搬送ユニットは、ロード/アンロードユニットから研磨ユニットへ基板を搬送する際には、複数の研磨部のうち最も早く基板の研磨処理を行うことができる研磨部へ基板を搬送する。また、搬送ユニットは、研磨ユニットから洗浄ユニットへ基板を搬送する場合には、複数の洗浄部のうち最も早く基板の洗浄処理を行うことができる洗浄部へ基板を搬送する。
ここで、複数の研磨部の一部、又は、複数の洗浄部の一部がメンテナンスなどによって使用できない場合には、搬送ユニットは、メンテナンス中ではない研磨部又は洗浄部へ基板を搬送する。また、搬送ユニットは、研磨部又は洗浄部のメンテナンスが終了したら、メンテナンスが終了した研磨部又は洗浄部が正常に動作するか否かをテストするために、生産用の基板とは異なるテスト用の基板をメンテナンスが終了した研磨部又は洗浄部へ搬送する。
しかしながら、従来技術は、研磨部又は洗浄部のテストを実行している際の基板の処理効率を向上させることは考慮されていなかった。
すなわち、従来は、研磨部又は洗浄部のメンテナンスが終了した場合に、生産用の基板の処理を継続したままメンテナンスが終了した研磨部又は洗浄部のテストを行おうとすると、生産用の基板がテスト対象の研磨部又は洗浄部へ搬送されるおそれがあった。このため、従来技術では、研磨部又は洗浄部のテストを行う際には、生産用の基板の処理を停止させた上で、テスト基板をテスト対象の研磨部又は洗浄部へ搬送していた。従来技術によれば、研磨部又は洗浄部のテストを実行している際には、生産用の基板の処理が停止されるので、基板の処理効率が悪化するおそれがあった。
そこで、本願発明は、研磨部又は洗浄部のテストを実行している際の基板の処理効率を向上させることを課題とする。
本願発明の基板処理装置の一形態は、上記課題に鑑みなされたもので、基板を研磨する少なくとも1つの研磨部を含む研磨ユニットと、前記研磨ユニットによって研磨された基板の洗浄を行う少なくとも1つの洗浄部を含む洗浄ユニットと、前記研磨ユニットへ基板を受け渡すとともに前記洗浄ユニットから基板を受け取るロード/アンロードユニットと、前記研磨ユニット、前記洗浄ユニット、及び、前記ロード/アンロードユニット間で基板を搬送する搬送ユニットと、前記搬送ユニットにおける基板の搬送を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記研磨ユニットが前記研磨部を複数含むか、又は、前記洗浄ユニットが前記洗浄部を複数含む場合には、前記研磨部又は前記洗浄部をテスト用に動作させるテストモードを前記複数の研磨部の一部、又は、前記複数の洗浄部の一部に設定可能であり、前記搬送ユニットに、前記テストモードが設定されていない研磨部、又は、洗浄部へ前記基板を搬送させるとともに、前記テストモードが設定された研磨部、又は、洗浄部へ前記基板とは異なるテスト用基板を搬送させる、ことを特徴とする。
また、基板処理装置の一形態において、前記制御部は、前記研磨部又は前記洗浄部がメンテナンス中であることを示すメンテナンスモードを前記複数の研磨部の一部、又は、前記複数の洗浄部の一部に設定可能であり、前記搬送ユニットに、前記メンテナンスモードが設定されていない研磨部、又は、洗浄部へ前記基板を搬送させる、ことができる。
また、基板処理装置の一形態において、前記制御部は、前記メンテナンスモードが設定された前記複数の研磨部の一部、又は、前記複数の洗浄部の一部のメンテナンスが終了したら、該研磨部又は洗浄部に前記テストモードを設定する、ことができる。
また、基板処理装置の一形態において、前記制御部は、前記テストモード、及び、前記メンテナンスモード、のいずれも設定されていない研磨部又は洗浄部に通常モードを設定可能であり、前記搬送ユニットに、前記通常モードが設定された研磨部のうち最も早く前記基板の研磨処理が可能な研磨部へ前記基板を搬送させるとともに、前記通常モードが設定された洗浄部のうち最も早く前記基板の洗浄処理が可能な洗浄部へ前記基板を搬送させる、ことができる。
かかる本願発明によれば、研磨部又は洗浄部のテストを実行している際の基板の処理効率を向上させることができる。
以下、本願発明の一実施形態に係る基板処理装置を図面に基づいて説明する。以下では、基板処理装置の一例として、CMP装置を説明するが、これには限られない。また、以下では、ロード/アンロードユニット2と、研磨ユニット3と、洗浄ユニット4と、を備える基板処理装置について説明するが、これには限られない。
まず、CMP装置の構成について説明し、その後に、研磨部又は洗浄部のテストを実行している際の基板の処理効率の向上について説明する。
<基板処理装置>
図1は本発明の一実施形態に係る基板処理装置の全体構成を示す平面図である。図1に示すように、このCMP装置は、略矩形状のハウジング1を備えており、ハウジング1の内部は隔壁1a,1bによってロード/アンロードユニット2と研磨ユニット3と洗浄ユニット4とに区画されている。ロード/アンロードユニット2、研磨ユニット3、及び洗浄ユニット4は、それぞれ独立に組み立てられ、独立に排気される。また、洗浄ユニット4は、基板処理動作を制御する制御部5を有している。制御部5は、研磨ユニット3、洗浄ユニット4、及び、ロード/アンロードユニット2間で基板を搬送する搬送ユニットにおける基板の搬送を制御する。この点についての詳細は後述する。
図1は本発明の一実施形態に係る基板処理装置の全体構成を示す平面図である。図1に示すように、このCMP装置は、略矩形状のハウジング1を備えており、ハウジング1の内部は隔壁1a,1bによってロード/アンロードユニット2と研磨ユニット3と洗浄ユニット4とに区画されている。ロード/アンロードユニット2、研磨ユニット3、及び洗浄ユニット4は、それぞれ独立に組み立てられ、独立に排気される。また、洗浄ユニット4は、基板処理動作を制御する制御部5を有している。制御部5は、研磨ユニット3、洗浄ユニット4、及び、ロード/アンロードユニット2間で基板を搬送する搬送ユニットにおける基板の搬送を制御する。この点についての詳細は後述する。
<ロード/アンロードユニット>
ロード/アンロードユニット2は、多数のウェハ(基板)をストックするウェハカセットが載置される2つ以上(本実施形態では4つ)のフロントロード部20を備えている。これらのフロントロード部20はハウジング1に隣接して配置され、基板処理装置の幅方向(長手方向と垂直な方向)に沿って配列されている。フロントロード部20には、オープンカセット、SMIF(Standard Manufacturing Interface)ポッド、またはFOUP(Front Opening Unified Pod)などの、ウェハを格納するためのキャリアを搭載することができるようになっている。ここで、SMIF、FOUPは、内部にウェハカセットを収納し、隔壁で覆うことにより、外部空間とは独立した環境を保つことができる密閉容器である。
ロード/アンロードユニット2は、多数のウェハ(基板)をストックするウェハカセットが載置される2つ以上(本実施形態では4つ)のフロントロード部20を備えている。これらのフロントロード部20はハウジング1に隣接して配置され、基板処理装置の幅方向(長手方向と垂直な方向)に沿って配列されている。フロントロード部20には、オープンカセット、SMIF(Standard Manufacturing Interface)ポッド、またはFOUP(Front Opening Unified Pod)などの、ウェハを格納するためのキャリアを搭載することができるようになっている。ここで、SMIF、FOUPは、内部にウェハカセットを収納し、隔壁で覆うことにより、外部空間とは独立した環境を保つことができる密閉容器である。
また、ロード/アンロードユニット2には、フロントロード部20の並びに沿って走行機構21が敷設されており、この走行機構21上にウェハカセットの配列方向に沿って移動可能な2台の搬送ロボット(ローダー、搬送機構)22が設置されている。搬送ロボット22は走行機構21上を移動することによってフロントロード部20に搭載されたウェハカセットにアクセスできるようになっている。各搬送ロボット22は上下に2つのハンドを備えている。上側のハンドは、処理されたウェハをウェハカセットに戻すときに使用される。下側のハンドは、処理前のウェハをウェハカセットから取り出すときに使用される。このように、上下のハンドを使い分けることができるようになっている。さらに、搬送ロボット22の下側のハンドは、その軸心周りに回転することで、ウェハを反転させることができるように構成されている。
ロード/アンロードユニット2は最もクリーンな状態を保つ必要がある領域であるため、ロード/アンロードユニット2の内部は、CMP装置外部、研磨ユニット3、及び洗浄ユニット4のいずれよりも高い圧力に常時維持されている。研磨ユニット3は研磨液としてスラリーを用いるため最もダーティな領域である。したがって、研磨ユニット3の内部
には負圧が形成され、その圧力は洗浄ユニット4の内部圧力よりも低く維持されている。ロード/アンロードユニット2には、HEPAフィルタ、ULPAフィルタ、またはケミカルフィルタなどのクリーンエアフィルタを有するフィルタファンユニット(図示せず)が設けられており、このフィルタファンユニットからはパーティクルや有毒蒸気、有毒ガスが除去されたクリーンエアが常時吹き出している。
には負圧が形成され、その圧力は洗浄ユニット4の内部圧力よりも低く維持されている。ロード/アンロードユニット2には、HEPAフィルタ、ULPAフィルタ、またはケミカルフィルタなどのクリーンエアフィルタを有するフィルタファンユニット(図示せず)が設けられており、このフィルタファンユニットからはパーティクルや有毒蒸気、有毒ガスが除去されたクリーンエアが常時吹き出している。
<研磨ユニット>
研磨ユニット3は、ウェハの研磨(平坦化)が行われる領域であり、第1研磨部3A、第2研磨部3B、第3研磨部3C、及び、第4研磨部3Dを備えている。これらの第1研磨部3A、第2研磨部3B、第3研磨部3C、及び第4研磨部3Dは、図1に示すように、基板処理装置の長手方向に沿って配列されている。
研磨ユニット3は、ウェハの研磨(平坦化)が行われる領域であり、第1研磨部3A、第2研磨部3B、第3研磨部3C、及び、第4研磨部3Dを備えている。これらの第1研磨部3A、第2研磨部3B、第3研磨部3C、及び第4研磨部3Dは、図1に示すように、基板処理装置の長手方向に沿って配列されている。
図1に示すように、第1研磨部3Aは、研磨面を有する研磨パッド10が取り付けられた研磨テーブル30Aと、ウェハを保持しかつウェハを研磨テーブル30A上の研磨パッド10に押圧しながら研磨するためのトップリング31Aと、研磨パッド10に研磨液やドレッシング液(例えば、純水)を供給するための研磨液供給ノズル32Aと、研磨パッド10の研磨面のドレッシングを行うためのドレッサ33Aと、液体(例えば純水)と気体(例えば窒素ガス)の混合流体または液体(例えば純水)を霧状にして研磨面に噴射するアトマイザ34Aとを備えている。
同様に、第2研磨部3Bは、研磨パッド10が取り付けられた研磨テーブル30Bと、トップリング31Bと、研磨液供給ノズル32Bと、ドレッサ33Bと、アトマイザ34Bとを備えている。第3研磨部3Cは、研磨パッド10が取り付けられた研磨テーブル30Cと、トップリング31Cと、研磨液供給ノズル32Cと、ドレッサ33Cと、アトマイザ34Cとを備えている。第4研磨部3Dは、研磨パッド10が取り付けられた研磨テーブル30Dと、トップリング31Dと、研磨液供給ノズル32Dと、ドレッサ33Dと、アトマイザ34Dとを備えている。
第1研磨部3A、第2研磨部3B、第3研磨部3C、及び、第4研磨部3Dは、互いに同一の構成を有しているので、以下、第1研磨部31Aについて説明する。
図2は、第1研磨部3Aを模式的に示す斜視図である。トップリング31Aは、トップリングシャフト36に支持されている。研磨テーブル30Aの上面には研磨パッド10が貼付されており、この研磨パッド10の上面はウェハWを研磨する研磨面を構成する。なお、研磨パッド10に代えて固定砥粒を用いることもできる。トップリング31A及び研磨テーブル30Aは、矢印で示すように、その軸心周りに回転するように構成されている。ウェハWは、トップリング31Aの下面に真空吸着により保持される。研磨時には、研磨液供給ノズル32Aから研磨パッド10の研磨面に研磨液が供給され、研磨対象であるウェハWがトップリング31Aにより研磨面に押圧されて研磨される。
<搬送ユニット>
次に、ウェハを搬送するための搬送機構(搬送ユニット)について説明する。図1に示すように、第1研磨部3A及び第2研磨部3Bに隣接して、第1リニアトランスポータ6が配置されている。この第1リニアトランスポータ6は、研磨部3A,3Bが配列する方向に沿った4つの搬送位置(ロード/アンロードユニット側から順番に第1搬送位置TP1、第2搬送位置TP2、第3搬送位置TP3、第4搬送位置TP4とする)の間でウェハを搬送する機構である。
次に、ウェハを搬送するための搬送機構(搬送ユニット)について説明する。図1に示すように、第1研磨部3A及び第2研磨部3Bに隣接して、第1リニアトランスポータ6が配置されている。この第1リニアトランスポータ6は、研磨部3A,3Bが配列する方向に沿った4つの搬送位置(ロード/アンロードユニット側から順番に第1搬送位置TP1、第2搬送位置TP2、第3搬送位置TP3、第4搬送位置TP4とする)の間でウェハを搬送する機構である。
また、第3研磨部3C及び第4研磨部3Dに隣接して、第2リニアトランスポータ7が配置されている。この第2リニアトランスポータ7は、研磨部3C,3Dが配列する方向
に沿った3つの搬送位置(ロード/アンロードユニット側から順番に第5搬送位置TP5、第6搬送位置TP6、第7搬送位置TP7とする)の間でウェハを搬送する機構である
に沿った3つの搬送位置(ロード/アンロードユニット側から順番に第5搬送位置TP5、第6搬送位置TP6、第7搬送位置TP7とする)の間でウェハを搬送する機構である
ウェハは、第1リニアトランスポータ6によって研磨部3A,3Bに搬送される。第1研磨部3Aのトップリング31Aは、トップリングヘッドのスイング動作により研磨位置と第2搬送位置TP2との間を移動する。したがって、トップリング31Aへのウェハの受け渡しは第2搬送位置TP2で行われる。同様に、第2研磨部3Bのトップリング31Bは研磨位置と第3搬送位置TP3との間を移動し、トップリング31Bへのウェハの受け渡しは第3搬送位置TP3で行われる。第3研磨部3Cのトップリング31Cは研磨位置と第6搬送位置TP6との間を移動し、トップリング31Cへのウェハの受け渡しは第6搬送位置TP6で行われる。第4研磨部3Dのトップリング31Dは研磨位置と第7搬送位置TP7との間を移動し、トップリング31Dへのウェハの受け渡しは第7搬送位置TP7で行われる。
第1搬送位置TP1には、搬送ロボット22からウェハを受け取るためのリフタ11が配置されている。ウェハはこのリフタ11を介して搬送ロボット22から第1リニアトランスポータ6に渡される。リフタ11と搬送ロボット22との間に位置して、シャッタ(図示せず)が隔壁1aに設けられており、ウェハの搬送時にはシャッタが開かれて搬送ロボット22からリフタ11にウェハが渡されるようになっている。また、第1リニアトランスポータ6と、第2リニアトランスポータ7と、洗浄ユニット4との間にはスイングトランスポータ12が配置されている。このスイングトランスポータ12は、第4搬送位置TP4と第5搬送位置TP5との間を移動可能なハンドを有しており、第1リニアトランスポータ6から第2リニアトランスポータ7へのウェハの受け渡しは、スイングトランスポータ12によって行われる。ウェハは、第2リニアトランスポータ7によって第3研磨部3C及び/または第4研磨部3Dに搬送される。また、研磨ユニット3で研磨されたウェハはスイングトランスポータ12を経由して洗浄ユニット4に搬送される。
<洗浄ユニット>
図3(a)は洗浄ユニット4を示す平面図であり、図3(b)は洗浄ユニット4を示す側面図である。図3(a)及び図3(b)に示すように、洗浄ユニット4は、第1洗浄室190と、第1搬送室191と、第2洗浄室192と、第2搬送室193と、乾燥室194とに区画されている。第1洗浄室190内には、縦方向に沿って配列された上側一次洗浄モジュール(洗浄部)201A及び下側一次洗浄モジュール(洗浄部)201Bが配置されている。上側一次洗浄モジュール201Aは下側一次洗浄モジュール201Bの上方に配置されている。同様に、第2洗浄室192内には、縦方向に沿って配列された上側二次洗浄モジュール(洗浄部)202A及び下側二次洗浄モジュール(洗浄部)202Bが配置されている。上側二次洗浄モジュール202Aは下側二次洗浄モジュール202Bの上方に配置されている。一次及び二次洗浄モジュール201A,201B,202A,202Bは、洗浄液を用いてウェハを洗浄する洗浄機である。これらの一次及び二次洗浄モジュール201A,201B,202A,202Bは垂直方向に沿って配列されているので、フットプリント面積が小さいという利点が得られる。
図3(a)は洗浄ユニット4を示す平面図であり、図3(b)は洗浄ユニット4を示す側面図である。図3(a)及び図3(b)に示すように、洗浄ユニット4は、第1洗浄室190と、第1搬送室191と、第2洗浄室192と、第2搬送室193と、乾燥室194とに区画されている。第1洗浄室190内には、縦方向に沿って配列された上側一次洗浄モジュール(洗浄部)201A及び下側一次洗浄モジュール(洗浄部)201Bが配置されている。上側一次洗浄モジュール201Aは下側一次洗浄モジュール201Bの上方に配置されている。同様に、第2洗浄室192内には、縦方向に沿って配列された上側二次洗浄モジュール(洗浄部)202A及び下側二次洗浄モジュール(洗浄部)202Bが配置されている。上側二次洗浄モジュール202Aは下側二次洗浄モジュール202Bの上方に配置されている。一次及び二次洗浄モジュール201A,201B,202A,202Bは、洗浄液を用いてウェハを洗浄する洗浄機である。これらの一次及び二次洗浄モジュール201A,201B,202A,202Bは垂直方向に沿って配列されているので、フットプリント面積が小さいという利点が得られる。
上側二次洗浄モジュール202Aと下側二次洗浄モジュール202Bとの間には、ウェハの仮置き台203が設けられている。乾燥室194内には、縦方向に沿って配列された上側乾燥モジュール205A及び下側乾燥モジュール205Bが配置されている。これら上側乾燥モジュール205A及び下側乾燥モジュール205Bは互いに隔離されている。上側乾燥モジュール205A及び下側乾燥モジュール205Bの上部には、清浄な空気を乾燥モジュール205A,205B内にそれぞれ供給するフィルタファンユニット207,207が設けられている。上側一次洗浄モジュール201A、下側一次洗浄モジュール201B、上側二次洗浄モジュール202A、下側二次洗浄モジュール202B、仮置き
台203、上側乾燥モジュール205A、及び下側乾燥モジュール205Bは、図示しないフレームにボルトなどを介して固定されている。
台203、上側乾燥モジュール205A、及び下側乾燥モジュール205Bは、図示しないフレームにボルトなどを介して固定されている。
第1搬送室191には、上下動可能な第1搬送ロボット(搬送機構)209が配置され、第2搬送室193には、上下動可能な第2搬送ロボット210が配置されている。第1搬送ロボット209及び第2搬送ロボット210は、縦方向に延びる支持軸211,212にそれぞれ移動自在に支持されている。第1搬送ロボット209及び第2搬送ロボット210は、その内部にモータなどの駆動機構を有しており、支持軸211,212に沿って上下に移動自在となっている。第1搬送ロボット209は、搬送ロボット22と同様に、上下二段のハンドを有している。第1搬送ロボット209は、図3(a)の点線が示すように、その下側のハンドが上述した仮置き台180にアクセス可能な位置に配置されている。第1搬送ロボット209の下側のハンドが仮置き台180にアクセスするときには、隔壁1bに設けられているシャッタ(図示せず)が開くようになっている。
第1搬送ロボット209は、仮置き台180、上側一次洗浄モジュール201A、下側一次洗浄モジュール201B、仮置き台203、上側二次洗浄モジュール202A、下側二次洗浄モジュール202Bの間でウェハWを搬送するように動作する。洗浄前のウェハ(スラリーが付着しているウェハ)を搬送するときは、第1搬送ロボット209は、下側のハンドを用い、洗浄後のウェハを搬送するときは上側のハンドを用いる。第2搬送ロボット210は、上側二次洗浄モジュール202A、下側二次洗浄モジュール202B、仮置き台203、上側乾燥モジュール205A、下側乾燥モジュール205Bの間でウェハWを搬送するように動作する。第2搬送ロボット210は、洗浄されたウェハのみを搬送するので、1つのハンドのみを備えている。図1に示す搬送ロボット22は、その上側のハンドを用いて上側乾燥モジュール205Aまたは下側乾燥モジュール205Bからウェハを取り出し、そのウェハをウェハカセットに戻す。搬送ロボット22の上側ハンドが乾燥モジュール205A,205Bにアクセスするときには、隔壁1aに設けられているシャッタ(図示せず)が開くようになっている。
<テスト実行中の基板の処理効率の向上>
次に、研磨部又は洗浄部のテストを実行している際の基板の処理効率の向上について説明する。図4〜図7は、制御部5による基板の搬送制御について説明するための図である。なお、図4〜図7は、説明を簡略化するため、CMP装置の構成を簡略化して示している。
次に、研磨部又は洗浄部のテストを実行している際の基板の処理効率の向上について説明する。図4〜図7は、制御部5による基板の搬送制御について説明するための図である。なお、図4〜図7は、説明を簡略化するため、CMP装置の構成を簡略化して示している。
すなわち、図4〜図7では、ロード/アンロードユニット2を代表して、2つのフロントロード部20を示している。また、図4〜図7では、ロード/アンロードユニット2から研磨ユニット3へ基板を搬送する搬送ユニットを代表して、第1リニアトランスポータ6を示している。また、図4〜図7では、研磨ユニット3を代表して、2つの研磨部3A,3Bを示している。また、図4〜図7では、研磨ユニット3から洗浄ユニット4へ基板を搬送する搬送ユニットを代表して、第1搬送ロボット209を示している。また、図4〜図7では、洗浄ユニット4を代表して、2つの洗浄部201A,201Bを示している。これらはあくまで説明を簡略化するための図示である。
また、図4〜図7は、複数の洗浄部のうちの1つの洗浄部201Bがメンテナンスを行った後、テストを行う場合の基板搬送の制御の例を示す。しかしながら、これに限らず、複数の研磨部のうちの1つの研磨部がメンテナンスを行った後、テストを行う場合も、同様の基板搬送の制御を行うことができる。また、本実施形態は、研磨ユニット3が複数の研磨部を含み、洗浄ユニット4が複数の洗浄部を含む例を示しているが、これには限られない。例えば、研磨ユニット3が1つの研磨部を含み、洗浄ユニット4が複数の洗浄部を含む場合、又は、研磨ユニット3が複数の研磨部を含み、洗浄ユニット4が1つの洗浄部
を含む場合であっても、同様の基板搬送の制御を行うことができる。
を含む場合であっても、同様の基板搬送の制御を行うことができる。
図4は、研磨部及び洗浄部のいずれの処理部にもメンテナンス及びテストが行われていない通常状態における基板の搬送制御を示している。この場合、制御部5は、研磨部3A、研磨部3B、洗浄部201A、及び、洗浄部201Bに「通常モード」を設定する。つまり、制御部5は、テストモード、及び、メンテナンスモード、のいずれも設定されていない研磨部又は洗浄部に通常モードを設定可能である。
フロントロード部20にはいずれも生産用の基板が設置される。フロントロード部20に設置された生産用の基板は、第1リニアトランスポータ6によって研磨部3A又は研磨部3Bへ搬送される。ここで、制御部5は、第1リニアトランスポータ6に、通常モードが設定された研磨部3A,3Bのうち最も早く生産用の基板の研磨処理が可能な研磨部へ、生産用の基板を搬送させる。
研磨部3A又は研磨部3Bによって研磨された生産用の基板は、第1搬送ロボット209によって洗浄部201A又は洗浄部201Bへ搬送される。ここで、制御部5は、第1搬送ロボット209に、通常モードが設定され洗浄部201A,201Bのうち最も早く生産用の基板の洗浄処理が可能な洗浄部へ、生産用の基板を搬送させる。
図5は、洗浄部201Bがメンテナンス中であるメンテナンス状態における基板の搬送制御を示している。この場合、制御部5は、研磨部3A、研磨部3B、及び、洗浄部201Aを「通常モード」に設定したまま、洗浄部201Bに、洗浄部201Bがメンテナンス中であることを示すモードである「メンテナンスモード」を設定する。つまり、制御部5は、「メンテナンスモード」を複数の洗浄部の一部に設定可能であるので、洗浄部201Bを「通常モード」から「メンテナンスモード」へ切り替える。
フロントロード部20にはいずれも生産用の基板が設置される。フロントロード部20に設置された生産用の基板は、第1リニアトランスポータ6によって研磨部3A又は研磨部3Bへ搬送される。ここで、制御部5は、第1リニアトランスポータ6に、通常モードが設定された研磨部3A,3Bのうち最も早く生産用の基板の研磨処理が可能な研磨部へ、生産用の基板を搬送させる。
研磨部3A又は研磨部3Bによって研磨された生産用の基板は、第1搬送ロボット209によって洗浄部201Aへ搬送される。すなわち、制御部5は、メンテナンスモードが設定されていない洗浄部へ生産用の基板を搬送させる。
図6は、洗浄部201Bのメンテナンス状態が終了し、テスト状態へ移行した状態における基板の搬送制御を示している。この場合、制御部5は、研磨部3A、研磨部3B、及び、洗浄部201Aを「通常モード」に設定したまま、洗浄部201Bに、洗浄部201Bをテスト用に動作させるモードである「テストモード」を設定する。つまり、制御部5は、「テストモード」を複数の洗浄部の一部に設定可能であるので、洗浄部201Bを「メンテナンスモード」から「テストモード」へ切り替える。このように、制御部5は、メンテナンスモードが設定された複数の洗浄部の一部のメンテナンスが終了したら、この洗浄部にテストモードを設定することができる。
フロントロード部20の一方には生産用の基板が設置される。また、フロントロード部20の他方には基板が設置されない。フロントロード部20の一方に設置された生産用の基板は、第1リニアトランスポータ6によって研磨部3A又は研磨部3Bへ搬送される。ここで、制御部5は、第1リニアトランスポータ6に、通常モードが設定された研磨部3A,3Bのうち最も早く生産用の基板の研磨処理が可能な研磨部へ、生産用の基板を搬送
させる。
させる。
研磨部3A又は研磨部3Bによって研磨された生産用の基板は、第1搬送ロボット209によって洗浄部201Aへ搬送される。すなわち、制御部5は、テストモードが設定されていない洗浄部へ生産用の基板を搬送させる。
図7は、テストモードが設定された洗浄部201Bへテスト用の基板を搬送する状態における基板の搬送制御を示している。この場合、制御部5は、研磨部3A、研磨部3B、及び、洗浄部201Aを「通常モード」に設定したままであり、洗浄部201Bを「テストモード」に設定したままである。
フロントロード部20の一方には生産用の基板が設置される。また、フロントロード部20の他方にはテスト用の基板が設置される。フロントロード部20の一方に設置された生産用の基板は、第1リニアトランスポータ6によって研磨部3A又は研磨部3Bへ搬送される。ここで、制御部5は、第1リニアトランスポータ6に、通常モードが設定された研磨部3A,3Bのうち最も早く生産用の基板の研磨処理が可能な研磨部へ、生産用の基板を搬送させる。
研磨部3A又は研磨部3Bによって研磨された生産用の基板は、第1搬送ロボット209によって洗浄部201Aへ搬送される。すなわち、制御部5は、テストモードが設定されていない洗浄部へ生産用の基板を搬送させる。
一方、フロントロード部20の他方に設置されたテスト用の基板は、第1リニアトランスポータ6によって研磨部3A又は研磨部3Bへ搬送される。なお、テスト用の基板は、テストモードが設定された洗浄部201のテストのための基板である。したがって、テスト用の基板は、研磨部3A又は研磨部3Bのいずれかを通って第1搬送ロボット209へ搬送されてもよいし、又は、研磨部3A又は研磨部3Bを通らずに第1搬送ロボット209へ搬送されてもよい。
テスト用の基板は、第1搬送ロボット209によって洗浄部201Bへ搬送される。すなわち、制御部5は、テストモードが設定された洗浄部へ生産用の基板とは異なるテスト用基板を搬送させる。なお、洗浄部201Bのテストが終了し、テスト結果に問題がなければ、図4の状態へ戻る。
<フローチャート>
次に、本実施形態のCMP装置の処理の流れについて説明する。図8は、生産用の基板を搬送する場合のCMP装置の処理フローを示す図である。図9は、テスト用の基板を搬送する場合のCMP装置の処理フローを示す図である。なお、図8,9は、図4〜図7と同様に、複数の洗浄部のうちの1つの洗浄部がメンテナンスを行った後、テストを行う場合の基板搬送の制御の例を示す。
次に、本実施形態のCMP装置の処理の流れについて説明する。図8は、生産用の基板を搬送する場合のCMP装置の処理フローを示す図である。図9は、テスト用の基板を搬送する場合のCMP装置の処理フローを示す図である。なお、図8,9は、図4〜図7と同様に、複数の洗浄部のうちの1つの洗浄部がメンテナンスを行った後、テストを行う場合の基板搬送の制御の例を示す。
図8に示すように、生産用の基板搬送については、まず、制御部5は、搬送ユニットに、フロントロード部20から研磨ユニット3へ生産用の基板を搬送させる(ステップS101)。具体的には、制御部5は、搬送ユニットに、通常モードが設定された複数の研磨部のうち最も早く生産用の基板の研磨処理が可能な研磨部へ、生産用の基板を搬送させる。
続いて、制御部5は、生産用の基板が搬送された研磨部に、生産用の基板を研磨させる(ステップS102)。続いて、制御部5は、研磨部における研磨処理が終了したか否かを判定する(ステップS103)。制御部5は、研磨部における研磨処理が終了していな
いと判定した場合には(ステップS103,No)、ステップS102の処理へ戻る。
いと判定した場合には(ステップS103,No)、ステップS102の処理へ戻る。
一方、制御部5は、研磨部における研磨処理が終了したと判定した場合には(ステップS103,Yes)、搬送ユニットに、複数の洗浄部のうち通常モードが設定されている洗浄部へ生産用の基板を搬送させる(ステップS104)。具体的には、制御部5は、通常モードが設定されている洗浄部が複数ある場合には、搬送ユニットに、複数の洗浄部のうち最も早く生産用の基板の洗浄処理が可能な洗浄部へ、生産用の基板を搬送させる。
続いて、制御部5は、生産用の基板が搬送された洗浄部に、生産用の基板を洗浄させる(ステップS105)。続いて、制御部5は、洗浄部における洗浄処理が終了したか否かを判定する(ステップS106)。制御部5は、洗浄部における洗浄処理が終了していないと判定した場合には(ステップS106,No)、ステップS105の処理へ戻る。
一方、制御部5は、洗浄部における洗浄処理が終了したと判定した場合には(ステップS106,Yes)、搬送ユニットに洗浄部からフロントロード部へ生産用の基板を搬送させて(ステップS107)、処理を終了する。
次に、図9に示すように、テスト用の基板については、まず、制御部5は、搬送ユニットに、フロントロード部20から研磨ユニット3へ生産用の基板を搬送させる(ステップS201)。
続いて、制御部5は、搬送ユニットに、複数の洗浄部のうちテストモードが設定されている洗浄部へテスト用の基板を搬送させる(ステップS202)。
続いて、制御部5は、テスト用の基板が搬送された洗浄部に、テスト用の基板を洗浄させる(ステップS203)。続いて、制御部5は、洗浄部における洗浄処理が終了したか否かを判定する(ステップS204)。制御部5は、洗浄部における洗浄処理が終了していないと判定した場合には(ステップS204,No)、ステップS203の処理へ戻る。
一方、制御部5は、洗浄部における洗浄処理が終了したと判定した場合には(ステップS204,Yes)、搬送ユニットに、洗浄部からフロントロード部へテスト用の基板を搬送させて(ステップS205)、処理を終了する。
以上、本実施形態によれば、研磨部又は洗浄部のテストを実行している際の基板の処理効率を向上させることができる。すなわち、従来は、研磨部又は洗浄部のメンテナンスが終了した場合に、生産用の基板の処理を継続したままメンテナンスが終了した研磨部又は洗浄部のテストを行おうとすると、生産用の基板がテスト対象の研磨部又は洗浄部へ搬送されるおそれがあった。このため、従来技術では、研磨部又は洗浄部のテストを行う際には、生産用の基板の処理を停止させた上で、テスト基板をテスト対象の研磨部又は洗浄部へ搬送していた。従来技術によれば、研磨部又は洗浄部のテストを実行している際には、生産用の基板の処理が停止されるので、基板の処理効率が悪化するおそれがあった。
これに対して、本実施形態では、制御部5は、研磨部又は洗浄部をテスト用に動作させるテストモードを複数の研磨部の一部、又は、複数の洗浄部の一部に設定可能である。また、制御部5は、テストモードが設定されていない研磨部、又は、洗浄部へ生産用の基板を搬送させるとともに、テストモードが設定された研磨部、又は、洗浄部へ生産用の基板とは異なるテスト用の基板を搬送させる。したがって、本実施形態によれば、生産用の基板はテスト対象ではない研磨部又は洗浄部へ搬送され、テスト用の基板はテスト対象の研磨部又は洗浄部へ搬送されるので、生産用の基板がテスト対象の研磨部又は洗浄部へ搬送
されることを防止することができる。その結果、本実施形態によれば、研磨部又は洗浄部のメンテナンスが終了した場合に、生産用の基板の処理を継続したままメンテナンスが終了した研磨部又は洗浄部のテストを行うことができる。
されることを防止することができる。その結果、本実施形態によれば、研磨部又は洗浄部のメンテナンスが終了した場合に、生産用の基板の処理を継続したままメンテナンスが終了した研磨部又は洗浄部のテストを行うことができる。
2 アンロードユニット
3 研磨ユニット
3A 研磨部
3B 研磨部
3C 研磨部
3D 研磨部
4 洗浄ユニット
5 制御部
6 第1リニアトランスポータ
7 第2リニアトランスポータ
201A 上側一次洗浄モジュール(洗浄部)
201B 下側一次洗浄モジュール(洗浄部)
W ウェハ
3 研磨ユニット
3A 研磨部
3B 研磨部
3C 研磨部
3D 研磨部
4 洗浄ユニット
5 制御部
6 第1リニアトランスポータ
7 第2リニアトランスポータ
201A 上側一次洗浄モジュール(洗浄部)
201B 下側一次洗浄モジュール(洗浄部)
W ウェハ
Claims (4)
- 基板を研磨する少なくとも1つの研磨部を含む研磨ユニットと、
前記研磨ユニットによって研磨された基板の洗浄を行う少なくとも1つの洗浄部を含む洗浄ユニットと、
前記研磨ユニットへ基板を受け渡すとともに前記洗浄ユニットから基板を受け取るロード/アンロードユニットと、
前記研磨ユニット、前記洗浄ユニット、及び、前記ロード/アンロードユニット間で基板を搬送する搬送ユニットと、
前記搬送ユニットにおける基板の搬送を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記研磨ユニットが前記研磨部を複数含むか、又は、前記洗浄ユニットが前記洗浄部を複数含む場合には、前記研磨部又は前記洗浄部をテスト用に動作させるテストモードを前記複数の研磨部の一部、又は、前記複数の洗浄部の一部に設定可能であり、前記搬送ユニットに、前記テストモードが設定されていない研磨部、又は、洗浄部へ前記基板を搬送させるとともに、前記テストモードが設定された研磨部、又は、洗浄部へ前記基板とは異なるテスト用基板を搬送させる、
ことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1の基板処理装置において、
前記制御部は、前記研磨部又は前記洗浄部がメンテナンス中であることを示すメンテナンスモードを前記複数の研磨部の一部、又は、前記複数の洗浄部の一部に設定可能であり、前記搬送ユニットに、前記メンテナンスモードが設定されていない研磨部、又は、洗浄部へ前記基板を搬送させる、
ことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2の基板処理装置において、
前記制御部は、前記メンテナンスモードが設定された前記複数の研磨部の一部、又は、前記複数の洗浄部の一部のメンテナンスが終了したら、該研磨部又は洗浄部に前記テストモードを設定する、
ことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1又は2の基板処理装置において、
前記制御部は、前記テストモード、及び、前記メンテナンスモード、のいずれも設定されていない研磨部又は洗浄部に通常モードを設定可能であり、前記搬送ユニットに、前記通常モードが設定された研磨部のうち最も早く前記基板の研磨処理が可能な研磨部へ前記基板を搬送させるとともに、前記通常モードが設定された洗浄部のうち最も早く前記基板の洗浄処理が可能な洗浄部へ前記基板を搬送させる、
ことを特徴とする基板処理装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108857858A (zh) * | 2017-05-15 | 2018-11-23 | 株式会社荏原制作所 | 清洗基板的背面的装置和方法、背面清洗装置和基板处理装置 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6727044B2 (ja) * | 2016-06-30 | 2020-07-22 | 株式会社荏原製作所 | 基板処理装置 |
US10096460B2 (en) | 2016-08-02 | 2018-10-09 | Semiconductor Components Industries, Llc | Semiconductor wafer and method of wafer thinning using grinding phase and separation phase |
US10500691B2 (en) * | 2016-08-29 | 2019-12-10 | Ebara Corporation | Substrate processing apparatus and substrate processing method |
CN206105604U (zh) * | 2016-09-14 | 2017-04-19 | 天津华海清科机电科技有限公司 | 化学机械抛光系统 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005531933A (ja) * | 2002-07-03 | 2005-10-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 動的センサ構築およびランタイム実行のための方法 |
JP2011181771A (ja) * | 2010-03-02 | 2011-09-15 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
JP2013516327A (ja) * | 2009-12-31 | 2013-05-13 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | マニピュレータの自動ティーチング及び位置補正システム |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6213853B1 (en) * | 1997-09-10 | 2001-04-10 | Speedfam-Ipec Corporation | Integral machine for polishing, cleaning, rinsing and drying workpieces |
US6244941B1 (en) * | 1999-03-30 | 2001-06-12 | Speedfam - Ipec Corporation | Method and apparatus for pad removal and replacement |
US7249992B2 (en) * | 2004-07-02 | 2007-07-31 | Strasbaugh | Method, apparatus and system for use in processing wafers |
JP2007227781A (ja) * | 2006-02-24 | 2007-09-06 | Tokyo Electron Ltd | 基板の位置ずれ検査機構,処理システム及び基板の位置ずれ検査方法 |
JP5511190B2 (ja) * | 2008-01-23 | 2014-06-04 | 株式会社荏原製作所 | 基板処理装置の運転方法 |
US20100076729A1 (en) * | 2008-09-19 | 2010-03-25 | Applied Materials, Inc. | Self-diagnostic semiconductor equipment |
JP6216193B2 (ja) * | 2013-09-11 | 2017-10-18 | 株式会社荏原製作所 | ユニット制御盤、基板の受け渡しテスト方法、及び基板処理装置 |
TWI645446B (zh) * | 2014-01-07 | 2018-12-21 | 荏原製作所股份有限公司 | 基板處理裝置之控制裝置、基板處理裝置及顯示控制裝置 |
JP6250406B2 (ja) * | 2014-01-15 | 2017-12-20 | 株式会社荏原製作所 | 基板処理装置の異常検出装置、及び基板処理装置 |
JP2015134393A (ja) * | 2014-01-17 | 2015-07-27 | 株式会社荏原製作所 | キャリブレーション装置、及び基板処理装置 |
JP6370084B2 (ja) * | 2014-04-10 | 2018-08-08 | 株式会社荏原製作所 | 基板処理装置 |
-
2014
- 2014-04-10 JP JP2014081013A patent/JP2015201598A/ja active Pending
-
2015
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005531933A (ja) * | 2002-07-03 | 2005-10-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 動的センサ構築およびランタイム実行のための方法 |
JP2013516327A (ja) * | 2009-12-31 | 2013-05-13 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | マニピュレータの自動ティーチング及び位置補正システム |
JP2011181771A (ja) * | 2010-03-02 | 2011-09-15 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108857858A (zh) * | 2017-05-15 | 2018-11-23 | 株式会社荏原制作所 | 清洗基板的背面的装置和方法、背面清洗装置和基板处理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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SG10201502817UA (en) | 2015-11-27 |
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TW201601877A (zh) | 2016-01-16 |
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