JP2005531933A - 動的センサ構築およびランタイム実行のための方法 - Google Patents

Abstract

【課題】動的センサ構築およびランタイム実行のための方法
【解決方法】半導体プロセスシステムにおいて、ツールおよびプロセスパフォーマンスを監視するための動的センサを構築および設定するグラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）が提供される。半導体プロセスシステムは、多数のプロセスツール、多数のプロセスモジュール（チャンバ）、多数のセンサを含む。グラフィカルディスプレイは、ユーザが、可能な限り少ない入力により、所望の構築と設定タスクを実行できるようにするために、全ての顕著なパラメータが明瞭且つ論理的に表示されるように編成されている。ＧＵＩは、ウェブベースであり、ユーザがウェブブラウザを用いて見ることができる。

Description

この出願は、２００２年７月３日付けで提出された、米国仮出願第６０／３９３，０９１号「動的センサ構築およびランタイム実行のための方法（Ｍｅｔｈｏｄ ｆｏｒ Ｄｙｎａｍｉｃ Ｓｅｎｓｏｒ Ｃｏｎｆｉｇｕｒａｔｉｏｎ ａｎｄ Ｒｕｎｔｉｍｅ Ｅｘｅｃｕｔｉｏｎ）」に基づき、またその利益を主張するものであり、この出願の内容は全体として、参照してここに組み込まれる。

本出願は以下の仮出願に関連している。２００２年３月２９日付けで提出された同時係属米国仮出願第６０／３６８，１６２号、「ステータスおよび制御装置と対話する方法」（「Ｍｅｔｈｏｄ Ｆｏｒ Ｉｎｔｅｒａｃｔｉｏｎ Ｗｉｔｈ Ｓｔａｔｕｓ ａｎｄ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ａｐｐａｒａｔｕｓ」）、２００２年４月２３日付けで提出された米国仮出願第６０／３７４，４８６号、「簡素化したシステムコンフィギュレーションの方法および装置」（「Ｍｅｔｈｏｄ ａｎｄ Ａｐｐａｒａｔｕｓ ｆｏｒ Ｓｉｍｐｌｉｆｉｅｄ Ｓｙｓｔｅｍ Ｃｏｎｆｉｇｕｒａｔｉｏｎ」）、２００２年５月２９日付けで提出された米国仮出願第６０／３８３，６１９号、「ツールパフォーマンスの監視方法および装置」（「Ｍｅｔｈｏｄ ａｎｄ Ａｐｐａｒａｔｕｓ Ｆｏｒ Ｍｏｎｉｔｏｒｉｎｇ Ｔｏｏｌ Ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ」）、２００２年７月３日付けで提出された、米国仮出願明細書第６０／３９３，１０４号、「自動センサインストールのための方法および装置（Ｍｅｔｈｏｄ ａｎｄ Ａｐｐａｒａｔｕｓ ｆｏｒ Ａｕｔｏｍａｔｉｃ Ｓｅｎｓｏｒ Ｉｎｓｔａｌｌａｔｉｏｎ）」。これらの出願の各々は全体として参照してここに組み込まれる。

本発明は、半導体プロセスシステム、特に、動的センサを構築および使用するためにグラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）を使用した半導体プロセスシステムに関する。

一般に、コンピュータは、製造プロセスを制御、監視、初期化するために使用される。製造プロセスに再び入るウェハの流れ、重要なプロセスステップ、およびプロセスの継続性によって半導体製造プラントにおける複雑性が増加したと考えると、コンピュータはこれらのオペレーションにとって理想的である。様々な入力／出力（Ｉ／Ｏ）装置を使用して、プロセスフロー、ウェハ状態、メンテナンススケジュールの制御および監視が実施される。半導体製造プラントには、エッチングのような重要なオペレーションからバッチ処理、検査といったこれらの複雑なステップを完遂するための多様なツールが設置されている。多くのツールのインストールは、インストールソフトウェアを実装した制御コンピュータのグラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）の一部分であるディスプレイ画面を使用して実施される。半導体プロセスツールのインストールは、時間がかかる手順である。

半導体プロセス設備では連続的な監視が必要である。重要なプロセスパラメータに若干の変化が生じることで、プロセス条件が時間と共に変更され、その結果、望ましくない結果が生じることになる。エッチングガスの組成または圧力、プロセスチャンバ、またはウェハ温度には、簡単に小さな変化が生じ得る。多くの場合、プロセス特徴の劣化を反映するプロセスデータの変化は、表示されたプロセスデータを単純に参照するだけでは検出できない。プロセスの異常および特徴劣化を早い段階で検出することは難しい。多くの場合、アドバンストプロセスコントロール（ＡＰＣ）によって提供される予測およびパターン認識が必要である。

設備制御は、様々な制御装置を具備した多数の異なる制御システムによって実施されることが多い。いくつかの制御システムは、タッチ画面のようなマンマシンインタフェースの装備が可能であり、一方、他の制御システムは、１つの変数、例えば温度の収集および表示しかできない。監視システムは、プロセス制御システムのために要約したデータを収集することができる。監視システムのデータ収集には、一変数および多変数データ、データの分析および表示が含まれてよく、また、収集するプロセス変数を選択する能力を有することが可能である。各プロセスチャンバに装備された異なるセンサによって、プロセス中の様々な条件を監視することができ、また、監視された条件のデータを、制御コンピュータ内で転送および蓄積することが可能である。プロセスデータが自動的に表示および検出されると、大量生産ラインの最適なプロセス条件を設定し、分析プロセスコントロール（ＳＰＣ）チャートを介して制御を行うことができる。設備の非効率的な監視によって設備ダウンタイムが生じ、全体的な運転コストが増加してしまう。

したがって、本発明は、グラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）を使用した半導体プロセス環境において、動的センサを設定する方法を提供する。この方法では、データ収集プランが実行される。データ収集プランを使用して、動的センサ設定プランが決定される。動的センサ設定プランを実行して、動的センサ設定を実行する。

本願明細書に組み込まれ、その一部を構成している添付の図面は、本発明の実施形態を例証し、上述した一般的な記述と、以降の実施形態の詳細な記述と共に、本発明の原理を説明するのに役立つ。以降の詳細な記述を、特に添付の図面を参照して考慮することで、本発明をより容易に完全に理解できるようになることが明白である。

図１は、本発明の一実施形態による、半導体製造環境におけるＡＰＣシステムの例証的なブロック線図を示す。この図示の実施形態では、半導体製造環境１００は、少なくとも１つの半導体プロセスツール１１０、複数のプロセスモジュール１２０、ＰＭ１からＰＭ４、ツールを監視する複数のセンサ１３０、モジュール、工程、センサインタフェース１４０、およびＡＰＣシステム１４５を備えている。ＡＰＣシステム１４５は、インタフェースサーバ（ＩＳ）１５０、ＡＰＣサーバ１６０、クライアントワークステーション１７０、ＧＵＩコンポーネント１８０、およびデータベース１９０を備えてもよい。一実施形態では、ＩＳ１５０は、「ハブ」として見ることができるリアルタイムメモリデータベースを備えていることが可能である。

ＡＰＣシステム１４５は、プロセスツール、プロセスモジュール、センサのうち少なくとも１つのパフォーマンスを監視するためのツールステータス監視システムを備えていることができる。

この図示の実施形態では、シングルツール１１０を、４つのプロセスモジュール１２０と共に示しているが、しかし、本発明においてこれは必須ではい。ツールステータス監視システムは、１つ以上のプロセスモジュールを有するクラスタツールを含む多数のプロセスツールと対話できる。このツールステータス監視システムは、１つ以上のプロセスモジュールを有するクラスタツールを含む多数のプロセスツールを構築および監視するために使用できる。例えば、ツールおよび関連するプロセスモジュールは、エッチング、付着、拡散、洗浄、測定、研磨、成長、移動、保管、ローディング、アンローディング、整列、温度制御、リソグラフィー、集積度量衡（ＩＭ）、光学データプロファイリング（ＯＤＰ）、粒子検出、およびその他の半導体製造工程を実施するために使用できる。

一実施形態では、プロセスツール１１０はツールエージェント（図示せず）を備えてもよく、このツールエージェントは、ツール１１０上で実行され、イベント情報と、コンテキスト情報と、更にデータ取得をツール処理と同期させるために使用する開始／停止タイミング命令との提供が可能なソフトウェア処理であってよい。更に、ＡＰＣシステム１４５は、ツールエージェントへの接続に使用可能なソフトウェア処理であってよい、エージェントクライアント（図示せず）を備えていることができる。例えば、ＡＰＣシステム１４５を、インターネットまたはイントラネット接続を介してプロセスツール１１０に接続することが可能である。

一実施形態では、ＩＳ１５０はソケットを使用して通信を行う。例えば、インタフェースを、ＴＣＰ／ＩＰソケット通信を用いて実現することができる。各々の通信を行う前に、ソケットを確立する。その後、メッセージを文字列として送信する。メッセージの送信後に、ソケットが取り消される。

あるいは、インタフェースを、分散メッセージハブ（ＤＭＨ）クライアントクラスのような特別のクラスを使用するＣ／Ｃ＋＋符号またはＣ／Ｃ＋＋処理で拡張したＴＣＬ処理として構築することができる。この場合、イベントおよび他のコンテキストデータをＩＳ１５０中のテーブル内に挿入するために、ソケット接続を介してプロセス／ツールイベントを収集する論理を修正することが可能である。

ツールエージェントは、イベントおよびコンテキスト情報をツールステータス監視システムに提供するために、メッセージを送信できる。例えば、ツールエージェントは、ロット開始／停止メッセージ、バッチ開始／停止メッセージ、ウェハ開始／停止メッセージ、レシピ開始／停止メッセージ、処理開始／停止メッセージを送信することができる。これに加え、ツールエージェントは、設定ポイントデータ送信および／または受信するため、また、メンテナンスカウンタデータを送信／受信するために使用できる。

プロセスツールが内部センサを備えている場合には、このデータを、ツールステータス監視システムへ送信することが可能である。データファイルを用いてこのデータの送信を行うことができる。例えば、いくつかのプロセスツールは、トレースファイルを作成することができるが、このファイルは、作成時にツール内で圧縮される。圧縮および／または非圧縮ファイルを送信できる。このプロセスツール内でトレースファイルを作成する際に、トレースデータはエンドポイント検出（ＥＰＤ）データを含んでいても、含んでいなくてもよい。トレースデータは、処理に関する重要な情報を提供する。ウェハの処理が完了後に、トレースデータを更新および転送することができる。トレースファイルを、各処理の適切なディレクトリへ転送できる。一実施形態では、プロセスツール１１０からツールトレースデータ、メンテナンスデータ、ＥＰＤデータを入手することができる。

図１では４つのプロセスモジュールを示しているが、本発明においてこれは必須ではない。半導体プロセスシステムは、これに関連した任意数のプロセスモジュールと、独立したプロセスモジュールとを有する任意数のプロセスツールを備えていることができる。ツールステータス監視システムを含むＡＰＣシステム１４５は、これに関連した任意数のプロセスモジュールと、独立したプロセスモジュールとを有する任意数のプロセスツールを構築および監視するために使用することができる。ツールステータス監視システムは、プロセスツール、プロセスモジュール、およびセンサを含む処理からのデータを収集、提供、処理、記憶、表示することが可能である。

プロセスモジュールは、ＩＤ、モジュールタイプ、ガスパラメータ、およびメンテナンスカウンタのようなデータを使用して識別され、また、このデータをデータベース内に記憶することができる。新規のプロセスモジュールを構築する場合には、ＧＵＩコンポーネント１８０内のモジュールコンフィギュレーションパネル／画面を使用して、このタイプのデータの提供を行うことができる。例えば、ＡＰＣシステムは、以下に示す東京エレクトロン株式会社（Ｔｏｋｙｏ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｌｉｍｉｔｅｄ）製のツールタイプのサポートが可能である。Ｕｎｉｔｙ関連のプロセスモジュール、Ｔｒｉａｓ関連のプロセスモジュール、Ｔｅｌｉｕｓ関連のプロセスモジュール、ＯＥＳ関連のモジュール、およびＯＤＰ関連のモジュール。あるいは、ＡＰＣシステムは、これ以外のツール、および関連したプロセスモジュールのサポートが可能である。例えば、ＡＰＣシステム１４５は、インターネットまたはイントラネット接続を介して、プロセスモジュール１２０と接続できる。

図示した実施形態では、シングルセンサ１３０を、関連したプロセスモジュールと共に示しているが、しかし本発明においてこれは必須ではない。任意数のセンサをプロセスモジュールに結合できる。センサ１３０は、ＯＤＰセンサ、ＯＥＳセンサ、ＶＩＰセンサ、アナログセンサ、および、デジタルプローブを含むこれ以外のタイプの半導体プロセスセンサを備えていることが可能である。ＡＰＣデータ管理アプリケーションを使用して、様々なセンサからのデータを収集、処理、記憶、表示、出力することができる。

ＡＰＣシステムでは、センサデータを、外部ソースと内部ソースの両方によって提供できる。外部ソースは、外部データレコーダタイプを使用して定義でき、データレコーダオブジェクトを各々の外部ソースに指定でき、ステータス変数表示を使用できる。

センサコンフィギュレーション情報が、センサタイプパラメータとセンサインスタンスパラメータを組み合わせる。センサタイプは、センサの機能に関連した総称用語である。センサインスタンスは、センサタイプを、特定のプロセスモジュールおよびツール上の特定のセンサと対にする。ツールに取り付けた物理センサの各々に、少なくとも１つのセンサインスタンスが構築される。

例えば、ＯＥＳセンサは或るタイプのセンサであってよく、ＶＩプローブは別タイプのセンサであってよく、アナログセンサは違ったタイプのセンサであってよい。更に、汎用タイプのセンサと特定タイプのセンサを追加することができる。或るセンサタイプには、設定時間における特定タイプのセンサの設定に必要な全ての変数が含まれる。これらの変数は、インスタンス（このセンサタイプの各インスタンスは一意の値を有することができる）によって構築可能な静的（このタイプのセンサの値は全て同一である）であるか、または、データ収集プラン（センサがランタイムで作動される度に、異なる値が与えられる）によって動的に構築可能であってよい。

「インスタンスによって構築可能な」変数は、センサ／プローブＩＰアドレスであってよい。このアドレスは（各々の処理チャンバの）インスタンス毎に異なるが、実行毎に異なるものではない。「データ収集プランによって構築可能な」変数は、調和周波数のリストであってよい。これらは、各ウェハ毎に異なって、コンテキスト情報に基づいて構築できる。例えば、ウェハコンテキスト情報には、ツールＩＤ、モジュールＩＤ、スロットＩＤ、レシピＩＤ、カセットＩＤ、開始時間および終了時間が含まれてよい。同一のセンサタイプの多くの例があってよい。センサインスタンスは、ハードウェアの特定部品に関連しており、センサタイプと、ツールおよび／またはプロセスモジュール（チャンバ）とを接続する。すなわち、センサタイプは汎用であり、センサインスタンスは特定である。

図１に示すように、センサインタフェース１４０を、センサ１３０とＡＰＣシステム１４５の間にインタフェースを提供するために使用することができる。例えば、ＡＰＣシステム１４５は、インターネットまたはイントラネット接続を介して、センサインタフェース１４０と接続でき、また、センサインタフェース１４０は、インターネットまたはイントラネット接続を介して、センサ１３０と接続できる。更に、センサインタフェース１４０は、プロトコル変換器、媒体変換器、データバッファとして機能することが可能である。更に、センサインタフェース１４０は、リアルタイム機能、つまりデータ取得、ピアトゥピア通信、Ｉ／Ｏ走査を提供できる。あるいは、センサインタフェース１４０を省略して、センサ１３０をＡＰＣシステム１４５と直接結合することもできる。

センサ１３０は静的または動的センサであってよい。例えば、動的ＶＩセンサは、データ収集プランにより提供されたパラメータを使用してランタイムで確立された、その周波数範囲、サンプリング期間、測定、トリガリング、オフセット情報を有することができる。センサ１３０は、静的および／または動的のアナログセンサであってよい。例えば、アナログセンサを使用して、ＥＳＣ電圧のデータ、マッチャパラメータ、ガスパラメータ、流量、圧力、温度、ＲＦパラメータ、およびこれ以外の処理関連データを提供することができる。センサ１３０は、ＶＩＰプローブ、ＯＥＳセンサ、アナログセンサ、デジタルセンサ、および半導体プロセスセンサのうち少なくとも１つを備えていることができる。

一実施形態では、センサインタフェースは、ロウデータファイルにデータポイントを書き込むことが可能である。例えば、ＩＳ１５０は、データ取得を開始するために、センサインタフェースに開始命令を送信でき、また、ファイルを閉じるために、停止命令を送信できる。次に、ＩＳ１５０は、センサデータファイルを読み取りおよびパースし、データを処理し、データ値をインメモリデータテーブル内にポストできる。

あるいは、センサインタフェースは、データをＩＳ１５０にリアルタイムでストリーミングすることが可能である。スイッチを設けて、センサインタフェースがディスクにファイルを書き込めるようにすることができる。更に、センサインタフェースは、オフライン処理および分析のために、ファイルを読み取り、データポイントをＩＳ１５０にストリーミングする方法を提供することもできる。

図１に示すように、ＡＰＣシステム１４５はデータベース１９０を備えていることができる。このデータベース１９０に、ツールステータス監視データを記憶することが可能である。更に、ツールからのロウデータとトレースデータをファイルとしてデータベース１９０内に記憶できる。データ量は、ユーザが構築したデータ収集プラン、更に、処理の実行およびプロセスツール実行の頻度によって異なる。例えば、データ収集プランは、ツールステータスデータの収集方法と収集時間を決定するために確立することができる。プロセスツール、処理チャンバ、センサ、ＡＰＣシステムから入手したデータがテーブルに記憶される。

一実施形態では、テーブルを、ＩＳ１５０内でインメモリテーブルとして、また、データベース１９０内でパーシステントストレージとして実現することができる。ＩＳ１５０は、カラムとロウを作成するため、また、データをテーブルにポスティングするために、構造化照会言語（ＳＱＬ）を使用することが可能である。テーブルは、データベース１９０内のパーシステントテーブル内部で複製でき（つまり、ＤＢ２を使用する）、更に、同一のＳＱＬステートメントを使用してポピュレートできる。

図示した実施形態では、ＩＳ１５０は、インメモリリアルタイムデータベース、サブスクリプションサーバの両方であってよい。例えば、クライアントプロセスは、関係データテーブルの類似のプログラミングモデルを実装したＳＱＬを使用して、データベース機能を実行することができる。更に、ＩＳ１５０は、選択基準を満たすデータが挿入、更新、削除されると、必ずクライアントソフトウェアが非同期通知を受信するデータサブスクリプションサービスを提供できる。サブスクリプションは、ＳＱＬ選択ステートメントの全機能を使用して、懸案のテーブルカラムはどれであるか、また、将来のデータ変更通知のフィルタリングにどのロウ選択基準を使用するかを特定する。

ＩＳ１５０はデータベースとサブスクリプションサーバの両方であるため、クライアントは、既存のテーブルデータを初期化する際に、これに、「同期した」サブスクリプションを開くことが可能である。ＩＳ１５０は、パブリッシュ／サブスクライブメカニズムを介してデータ同期を提供し、更に、インメモリデータテーブルと、イベントを整理するための管理論理を提供し、また、システムを介してアラームとを提供する。ＩＳ１５０は更に、ソケット、ＵＤＰ、パブリッシュ／サブスクライブを含む、いくつかのメッセージングＴＣＰ／ＩＰベースの技術を提供する。

例えば、ＩＳ１５０アーキテクチャは、リアルタイムデータ管理とサブスクリプション機能を備えた複数のデータハブ（つまりＳＱＬデータベース）を使用できる。アプリケーションモジュールとユーザインタフェースは、データハブ（単数または複数）内の情報にアクセスし、これを更新するためにＳＱＬメッセージを使用する。関連データベースへのポスティングランタイムデータに関連したパフォーマンス制限のために、ランタイムデータは、ＩＳ１５０が管理するインメモリデータテーブルにポスティングされる。ウェハ処理の最後に、これらテーブルのコンテンツを関連データベースにポスティングすることができる。

図１に示し、例証された実施形態では、シングルクライアントワークステーション１７０を示しているが、本発明においてこれは必須ではない。ＡＰＣシステム１４５は、複数のクライアントワークステーション１７０をサポートすることができる。一実施形態では、クライアントワークステーション１７０によって、ユーザは、センサを構築でき、ツール、チャンバ、センサステータスを含むステータスを見ることができ、プロセスステータスを見ることができ、履歴データを見ることができ、欠陥データを見ることができ、更に、モデリングおよびチャーティング機能を実行できるようになる。

図１に示し、例証された実施形態では、ＡＰＣシステム１４５は、ＩＳ１５０に結合可能なＡＰＣサーバ１６０、クライアントワークステーション１７０、ＧＵＩコンポーネント１８０、およびデータベース１９０を備えていることができるが、しかし、本発明においてこれは必須ではない。ＡＰＣサーバ１６０は、少なくとも１つのツール関連アプリケーション、少なくとも１つのモジュール関連アプリケーション、少なくとも１つのセンサ関連アプリケーション、少なくとも１つのＩＳ関連アプリケーション、少なくとも１つのデータベース関連アプリケーション、少なくとも１つのＧＵＩ関連アプリケーションを含む多数のアプリケーションを備えていることができる。ＡＰＣサーバは、更に、多数のツールステータス監視システムアプリケーションを備えていることもできる。

ＡＰＣサーバ１６０は少なくとも１台のコンピュータと１つのソフトウェアを備えていることができ、これらは、多数のプロセスツールをサポートし、ツール、プロセスモジュール、センサ、プローブからデータを収集および同期し、データをデータベースに記憶して、ユーザが既存のチャートを見られるようにし、欠陥検出を提供する。例えば、ＡＰＣサーバ１６０は、東京エレクトロン株式会社（Ｔｏｋｙｏ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ）製のＩｎｇｅｎｉｏソフトウェアのような動作ソフトウェアを備えていることができる。ＡＰＣサーバによって、オンラインシステムコンフィギュレーション、オンラインロットトゥロット欠陥検出、オンラインウェハトゥウェハ欠陥検出、オンラインデータベース管理が可能になり、また、履歴データに基づくモデルを使用して、サマリデータの多変数分析を実行することが可能になる。これに加え、ツールステータス監視システムによって、プロセスツールのリアルタイムでの監視が可能になる。

例えば、ＡＰＣサーバ１６０は、最小で３ＧＢの使用可能なディスクスペース、少なくとも６００ＭＨｚのＣＰＵ（デュアルプロセッサ）、最小５１２ＭｂのＲＡＭ（物理メモリ）、ＲＡＩＤ５コンフィギュレーション内における９ＧＢのＳＣＳＩハードドライブ、ＲＡＭサイズの２倍である最小のディスクキャッシュ、インストールされたＷｉｎｄｏｗｓ２０００サーバソフトウェア、マイクロソフトインターネットエクスプローラ、ＴＣＰ／ＩＰネットワークプロトコル、および少なくとも２枚のネットワークカードを備えていることができる。

ＡＰＣシステム１４５は、センサからのロウデータを含んだファイルと、ツールからのトレースデータを含んだファイルとを記憶する、少なくとも１つの記憶装置を備えていることができる。これらのファイルが適切に管理されていない場合（つまり、定期的に削除されていない場合）、記憶装置のディスクスペースが無くなり、新規データの収集を停止する可能性がある。ＡＰＣシステム１４５は、ユーザが古いファイルを削除できるようにするためのデータ管理アプリケーションを備えていることができるため、ディスクスペースに空きができ、データ収集を中断することなしに継続できるようになる。ＡＰＣシステム１４５は、システムを動作するために使用される複数のテーブルを備えていることができ、これらのテーブルはデータベース１９０内に記憶することができる。更に、他のコンピュータ（図示せず）、例えばオンサイトまたはオフサイトのコンピュータ／ワークステーションおよび／またはホストをネットワークで繋いで、１つまたは多数のツールに、データ／チャートビューイング、ＳＰＣチャーティング、ＥＰＤ分析、ファイルアクセスのような機能を提供することもできる。

図１に示すように、ＡＰＣシステム１４５は、ＧＵＩコンポーネント１８０を備えていることができる。例えば、ＧＵＩコンポーネントは、ＡＰＣサーバ１６０、クライアントワークステーション１７０、ツール１１０上でアプリケーションとして実行することができる。

ＧＵＩコンポーネント１８０によって、ＡＰＣシステムユーザは、最低限の入力で、所望のコンフィギュレーション、データ収集、監視、モデリング、トラブルシューティングタスクを実行することが可能になる。ＧＵＩ設計は、半導体製造設備のためのＳＥＭＩヒューマンインタフェース基準（ＳＥＭＩドラフト文書＃２７８３Ｂ）と、ＳＥＭＡＴＥＣＨストラテジックセルコントローラ（ＳＣＣ）ユーザインタフェーススタイルガイド１．０（Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｔｒａｎｓｆｅｒ ９２０６１１７９Ａ−ＥＮＧ）とに準拠している。当業者は、ＧＵＩパネル／画面が、左→右選択タブ構造および／または右→左構造、下→上構造、上→下構造、またはこれらの構造の組み合わせを備えていることができることを理解するだろう。

これに加え、図示のために示した画面は英語版であるが、本発明においてこれは必須ではなく、別の言語を使用することが可能である。例えば、日本語スクリーン、中国語スクリーン、台湾語スクリーン、韓国語スクリーン、ドイツ語スクリーン、フランス語スクリーンが使用され得る。

更に、ＧＵＩコンポーネント１８０は、ツールステータス監視システムとユーザの間に対話手段を提供する。ＧＵＩが起動すると、ユーザ識別とパスワードを有効化するログオン画面が表示され、これにより、第１レベルのセキュリティが提供される。ユーザは、ログオン前に、セキュリティアプリケーションを使用して登録を行うことができる。ユーザ識別のデータベース検査によって許可レベルが表示され、これにより、使用可能なＧＵＩ機能がストリームライニングされる。ユーザに権限が与えられていない選択アイテムは、異なっていてもよく、使用不能でもよい。更に、セキュリティシステムによって、ユーザは、既存のパスワードを変更することが可能になる。例えば、ネットスケープやインターネットエクスプローラのようなブラウザツールからログオンパネル／画面を開くことができる。ユーザは、ログオンフィールドにユーザＩＤとパスワードを入力できる。

許可されたユーザと管理者は、ＧＵＩパネル／画面を使用して、システムコンフィギュレーションとセンサ設定パラメータを変更することが可能である。ユーザが、プロセスツール、プロセスモジュール、センサ、ＡＰＣシステムを構築できるようにするために、ＧＵＩコンポーネント１８０はコンフィギュレーションコンポーネントを備えていることができる。例えば、プロセスツール、プロセスモジュール、センサ、センサインスタンス、モジュールポーズ、アラームのうち少なくとも１つに対して、ＧＵＩコンフィギュレーションパネル／画面を設けることが可能である。コンフィギュレーションデータを属性データベーステーブル内に記憶し、これをインストール時のデフォルトで設定することができる。

ＧＵＩコンポーネント１８０は、プロセスツール、プロセスモジュール、センサ、ＡＰＣシステムの現在のステータスを表示するためのステータスコンポーネントを備えていることができる。更に、ステータスコンポーネントは、１つ以上の異なるタイプのチャートを用いて、システム関連およびプロセス関連データをユーザに対して表示するためのチャーティングコンポーネントを備えていることもできる。

更に、ＧＵＩコンポーネント１８０は、リアルタイム動作コンポーネントを備えていることができる。例えば、ＧＵＩコンポーネントをバックグラウンドタスクと結合でき、共用システム論理が、バックグラウンドタスクとＧＵＩコンポーネントの両方によって使用される共通の機能性を提供することができる。共用論理は、ＧＵＩコンポーネントへ戻された値が、バックグラウンドタスクへ戻された値と同一であることを保証するために使用できる。更に、ＧＵＩコンポーネント１８０は、ＡＰＣファイル管理ＧＵＩコンポーネントとセキュリティコンポーネントを備えていることができる。更に、ヘルプパネル／画面の使用も可能である。例えば、ヘルプファイルは、ＰＤＦ（ポータブルドキュメントフォーマット）および／またはＨＴＭＬフォーマットで提供される。

図１に示したように、ツールステータス監視システムを含むＡＰＣシステム１４５を、ファクトリシステム１０５および／またはＥ−診断システム１１５に結合できる。ファクトリシステム１０５および／またはＥ−診断システム１１５は、半導体プロセスシステム内のツール、モジュール、センサ、プロセスを外部監視および外部制御するための手段を提供することができる。あるいは、ファクトリシステム１０５および／またはＥ−診断システム１１５は、ツールステータス監視を実行することができる。例えば、ユーザは、ファクトリシステム１０５および／またはＥ−診断システム１１５を介して半導体プロセスシステムに結合したウェブベースの端末を使用して、ツールステータス監視システムにアクセスすることができる。

更に、ＡＰＣシステムとＥ−診断システムが協働して、問題をリアルタイムで解決することが可能である。例えば、ＡＰＣシステム１４５が欠陥を検出すると、問題を診断するために必要な情報がＡＰＣサーバによってバンドリングされ、Ｅ−診断システムへと送信されるか、あるいは、後にＥ−診断システムがアクセスできるように記憶される。セキュリティ制約および／またはカスタマビジネス規則を使用して、動作方法を決定できる。

更に、ＡＰＣは、センサを追加し、実行中のコンテキストおよび／またはイベントであるデータ収集プランを編集する手段を備えている。例えば、これによって、システムのトラブルを解決するべく、Ｅ−診断システム「プローブ」および／またはソフトウェアコンポーネントをＥ−診断システムにダウンロードすることが可能になる。Ｅ−診断システムは、問題の診断、検出、および／または予想に使用できる、追加データを提供できる診断ツールのポータブルセットを備えていることができる。例えば、ＡＰＣシステムは、これらの診断ツールを追加のセンサとして使用できる。最下レベルとしてのアナログ入力を含む、複数のプロトコルをサポートする汎用センサインタフェースによって、ローカルポータブル診断ユニットを、ファクトリシステムと結合し、ＡＰＣシステム、Ｅ−診断システムおよび／またはファクトリシステムによって遠隔的に使用することが可能になる。

ＡＰＣシステムに、ファクトリで遠隔的に開発され、ファクトリまたはＥ−診断システムからダウンロードされた新規のアプリケーションを設けることができる。例えば、新規のアプリケーションは、ＡＰＣサーバ内にローカルに在駐することができる。ＡＰＣシステムは、新たな手順を学習して動的にセンサを追加し、アプリケーションを追加し、更にはカスタムセンサ用のＧＵＩ画面をも追加する機能を備えている。更に、ＡＰＣシステムは、非常に特定的な手順、例えばツールおよび／またはモジュールが不調（つまり、モータまたはアクチュエータアーム位置に伴うウェハ取り扱いシステム問題）をきたした時間を計算するタイミング分析割り当てを実行できる。

これに加え、ＡＰＣシステムは、ツールパフォーマンスに基づいてサンプリング速度を変更することができる。例えば、データ収集サンプリング速度と分析量を、ツールの状態に基づいて変更することが可能である。ＡＰＣシステムは、更に、問題を予測したり、ツールおよび／またはモジュールが制限条件に近い条件で実行されていることを検出することもできる。

更に、上級ユーザ及び管理者は、ＧＵＩ画面を使用して、システムコンフィギュレーションパラメータおよびセンサ設定パラメータを変更し、ツール関連の方策とプランを作成して編集し、および／またはツールとモジュールの数を変更することができる。

ツールステータス監視システムは、顧客（エンドユーザ）がプロセスツール、プロセスモジュール、および／またはセンサを追加できる構築可能なシステムを使用して実現される。ツールステータス監視システムは、顧客が監視ソフトウェアをカストマイズできるようにし、分析アプリケーションを追加できるようにし、および／または新規のツール、モジュール、センサを環境内にインストールして、これを監視できるようにするための開発環境および方法を提供する。

ツールステータス監視システムソフトウェアアーキテクチャは、４つの機能コンポーネント、つまりデータ取得コンポーネント、メッセージングシステムコンポーネント、関連データベースコンポーネント、ポストプロセスコンポーネントを備えている。このアーキテクチャは更に、ランタイムデータ取得パラメータを記憶するために使用するインメモリデータテーブルを含んでいる。ツールステータス監視システムの他には、データ取得をツールプロセスと同期させるために使用される、コンテキスト情報と、開始停止タイミング命令を提供するツール、並びにツールエージェントを備えている。

データ取得コンポーネントは、パラメータと呼ばれるデータポイントを収集し、これをファイルに書き込む。メッセージングシステムは、インメモリデータテーブルを使用して、データ取得コンポーネントから受信したランタイムデータを一時的に記憶する。メッセージングシステムは、エージェントおよび／またはツールクライアントによって、データ取得期間の開始と終了が通知される。データ取得期間の終了時には、データが関連データベースにポストされ、インメモリデータテーブルが次の取得期間のためにクリアされる。メッセージングシステムによって提供されたデータのポストプロセスがランタイム時に実行され、関連データベースに記憶されたデータのポストプロセスがオフライン時に実行される。

ツールステータス監視システムの目的は、リアルタイムおよび履歴データを使用して、半導体プロセスシステムのパフォーマンスを向上させることである。この目的を達成するためには、潜在的な問題、例えばセンサーの問題などを予測し、これを発生前に修正することで、装置のダウンタイムと、非製造ウェハの製造数を低減する必要がある。これは、データを収集し、このデータを、特定のツールの動作をモデリングするソフトウェアアルゴリズムに供給することで達成できる。ツールステータス監視システムがプロセスパラメトリック適合を出力し、次に、これが前方または後方に供給されて、ツールパフォーマンスが指定された限度内に維持される。この制御は、様々なレベルの様々な形式で達成することができる。

ツールステータス監視システムのアラーム管理部分は、欠陥検出アルゴリズム、欠陥等級付けアルゴリズム、および／または欠陥予測アルゴリズムを提供することができる。ツールステータス監視システムは、ツールがいつ不調をきたすかを予測することができ、また、この不調を修正し、メンテナンスおよびプロセス機能の最中に非製造ウェハの製造を低減するための使用可能な解決方法を識別することができる。

ユーザは、動的センサアプリケーションを使用することで、動的センサがデータを収集しているか否かを判断することができる。データ収集プランが動的センサからのデータを必要としない場合には、センサステータス状態がユーザに対して、このセンサがオンになる予定がない旨を表示する。例えば、データ収集プランがデータを必要としない場合には、センサステータスが「オンラインオフ」となるはずであり、また、ユーザが、センサをシステムレベルで使用不能にした場合には、ステートが「オフラインオフ」となるはずである。

動的センサへのインタフェースは失敗防止、およびサービス関連のディスラプション防止になっている。更に、このインタフェースは、設定およびトラブルシューティング機能を実装している。例えば、ディスラプションが生じると、動的センサおよび／またはＡＰＣシステムがディスラプションを検出し、更に、ロギング、アラーム、自動リカバリ／分析を開始して、正確な動作を決定し、機能性の損失を最小化する。このようにして、動的センサおよび／またはＡＰＣシステムが低下した機能性にて動作している最中に、製品製造を行っている顧客への危険が低減することができる。

更に、サービス／メンテナンスモードの最中に、動的センサアプリケーションを動作することができる。センサ通信のトラブルシューティングを行う目的で、ウェハを実行することなく、動的センサを検査することが可能である。例えば、ＷＥＢベースのＧＵＩから、動的センサ設定、開始、停止することができる。この特徴は、センサ設定およびルーチンセンサメンテナンスにて共通に使用できる。

ＡＰＣシステムは、顧客（エンドユーザ）がツール、チャンバ、センサを追加できるようにするための、構築可能なシステムを使用して実現される。ＡＰＣシステムは、分析アプリケーションを追加するべく顧客が動的センサアプリケーションのカストマイズを行えるようにし、また、新規の動的センサをシステムにインストールできるようにするための開発環境および方法を提供する。

ＡＰＣシステムは、失敗検出アルゴリズム、失敗等級付けアルゴリズム、失敗予測アルゴリズムを提供する。ＡＰＣシステムは、動的センサがいつ不調をきたすかを予測でき、使用可能な解決方法を識別でき、不調を修正でき、プロセス関連でないが、センサ欠陥または無効のセンサ設定のためによる間違い警報が発生される機会を減少する。

例えば、欠陥予測は、欠陥検出と欠陥モデリングの組み合わせであり得る。この方法は、動的センサのような消費部品の交換を最適化するために使用でき、また、製造工程に途絶えが生じた際に、防止的なメンテナンスタスクの「日和見的なスケジューリング」を促進することを目的とする。欠陥予測は、複雑な多変数モデルまたは単純な一変数関係のいずれかに基づくことが可能である。

図２は、本発明の一実施形態による半導体プロセスシステムにおいてプロセスツールを監視するためのフローチャートの簡略化した図を示す。ソフトウェアと、関連するＧＵＩ画面によって、システム内の１つ以上のプロセスツールを監視する手順が提供される。このフローチャートは、監視工程中に実行される例証的な制御方策手順を示す。手順２００は２１０にて開始する。

手順２００は、半導体プロセスシステム内でプロセスツールにより実行中の各製造ステップについて実施することができる。或る製造ステップはエッチングプロセス、付着プロセス、拡散プロセス、洗浄プロセス、測定プロセス、移動プロセス、または他の半導体製造プロセスである。方策は、プロセスツールへのシーケンスの設定中に何が起こるかを定義する。方策は、シングルウェハ、シングルツール、シングルロットへのシーケンスの設定、またはツールアクティビティの組み合わせを定義することができる。方策は、プロセスアクティビティ、測定アクティビティ、事前調整アクティビティ、事前測定アクティビティ、事後測定アクティビティの組み合わせを含む。方策の各部分（アクティビティのグループ）はプランと呼ばれる。

方策はコンテキストに関連する。コンテキスト情報は、所与のオペレーションを別のオペレーションに関連付けするために使用できる。特に、コンテキスト情報は、プロセスステップまたはレシピを、１つ以上の制御方策および関連したデータ収集プランとマッチングするために使用される。

２２０では、データ収集（制御）方策が決定され、プロセスコンテンツに基づいて実行される。プロセスコンテンツは、実施中の製造ステップ、監視中のツールに依存できる。コンテキストは、特定のプロセスレシピにどの方策および／またはプランを実行するかを決定する。例えば、制御方策を「ドライ洗浄」のようなプロセスタイプに関連付けするためには、この方策のためのコンテキストがコンテキスト用語「ドライ洗浄」を含んでいなければならない。この場合、動的センサを、「ドライ洗浄」関連データを入手するように構成することができる。

データ収集（制御）方策は、プランのホルダであってよい。制御方策と、関連するプランが、どの動的センサを使用するか、どのように動的センサを構築するか、どのデータを収集するか、どのようにデータを処理するかを「制御」する。

一実施形態では、プロセスコンテキストを制御方策と比較することができる。例えば、ＡＰＣサーバ１６０（図１）は、「プロセス開始」イベントの発生時に、現在のプロセスコンテキストを文字列として入手する。このプロセスコンテキストを制御方策と比較することで、適切な方策を識別することができる。

このプロセスでは検索命令が重要となり得る。例えば、ＧＵＩテーブル内で先行命令を使用することで検索を実行できる。この検索は、構造化照会言語（ＳＱＬ）記述を使用して実現できる。方策が識別されると、データ収集プラン、データ事前プロセスプラン、判断プランが自動的に決定され、更に動的センサプランも決定される。データ収集プランＩＤ、データ事前プロセスプランＩＤ、判断プランＩＤが「実行制御方策」モジュールへ送信される。

実行コンテキストと一致する複数の制御方策を設けることができるが、特定のプロセスモジュールの特定の時間に実行される制御方策は１つのみである。ユーザは、方策をリスト上で上下移動させることにより、特定のコンテキスト内における方策の順序を決定する。方策を選択する時が来ると、ソフトウェアが、リストの一番上から開始し、コンテキストが決定した要求と一致する第１方策を見つけるまでリストを下方に進んで行く。

コンテキストベースの実行を使用するための或る方法は、コンテキストマッチングを行うというものである。例えば、コンテキストマッチングを実行する場合には、現在処理中のウェハのコンテキストが使用される。あるいは、現在処理中の基板または他の半導体製品のコンテキストを使用することもできる。コンテキストが決定されると、これを、制御方策のコンテキストと比較することができる。コンテキストの一致が生じると、１つ以上の制御方策を実行できる。

コンテキストは、コンテキスト要素の組み合わせによって定義できる。例えば、コンテキストは、事前決定した順序に整列したコンテキスト要素のアレイであってよく、または、コンテキストは、辞書形式のネームバリューの対のセットであってもよい。

制御方策の選択および実行に使用するコンテキスト要素は、ツールＩＤ、レシピＩＤ、ロットＩＤ、マテリアルＩＤを含むことができる。更に、処理する製品の種類を特定する、カセットＩＤ、プロセスモジュールＩＤ、スロットＩＤ、レシピ開始時間、レシピ停止時間、メンテナンスカウンタ値、および／または製品ＩＤのような要素を使用することも可能である。

制御方策を実行すると、データ収集プランを識別することができ、データ事前プロセスプランを識別でき、判断プランを識別できる。図３に、方策およびプランの例証的な関係線図を示す。例えば、制御方策の動的な設定と呼び出しを可能にするコンテキストマッチング実行ソフトウェアモジュールを使用することができる。或る場合には、関連するプランを決定するために、ウェハインイベントがシステム制御装置を、現在のコンテキストデータを検索し、どの方策を実行するかを決定し、関連するスクリプト呼び出すようにトリガすることができる。

２３０にて、制御方策に関連したプランを実行できる。データ収集プラン、データ事前プロセスプラン、判断プランのうち少なくとも１つを実行することができる。更に、動的センサプラン、パラメータ保存プラン、レシピ設定点計算プラン、および／またはトリムプランも実行可能である。

高品質の製造を生産する製造実施中に収集されたデータを、「優良センサ状態」データを確立するために使用でき、また、動的センサがリアルタイムで適切に動作している場合には、その後に収集されたデータをこのベースラインデータと比較することができる。

例えば、品質制御（ＱＣ）検査の一部分としての動的センサステータスを決定するために、データ収集（制御）方策を確立できる。ＱＣ制御方策と、これに関連したプランを実行することで、動的センサを適切に動作させる、または、プロセスツールが適切に動作していると証明するべく動的センサを設定することができる。ＱＣ制御方策と、これに関連したプランは、既述の時間にて、またはユーザがスケジューリングした際に実行することができる。ＱＣ制御方策と、これに関連するプランが実行している際に、動的センサを、診断ウェハデータを収集できるように設定することが可能である。例えば、診断、ダミー製品、または検査ウェハを処理することができ、また、コンテンツはツール、モジュール、センサ診断であってよい。

ＱＣデータ収集（制御）方策と、これに関連したプランを、プロセスモジュール準備プロセス、例えばシーズニング関連のプロセスについて確立することができる。例えば、洗浄プロセス（つまりウェット洗浄）後に、動的センサの設定を含み得る、シーズニング関連の方策、プラン、レシピを使用して、多数のダミーウェハを処理することができる。ユーザは、ＡＰＣシステムの一部である方策およびプランを使用でき、または、ユーザは、ＡＰＣシステムを用いて、新規のシーズニング関連の制御方策を容易かつ迅速に開発することができる。ユーザは、異なるシーズニングデータ収集プランおよび動的センサの設定を試みることで、どのシーズニングレシピが最高の検出能力を有するかどうかを決定することができる。これらのシーズニング実行からのデータを、更に、洗練プロセス、ツールモデリングに使用することが可能である。

動的センサの設定は、データ収集プラン実行時に行われる。データ収集プランに、センサ設定プランを含めることが可能である。例えば、センサの開始および停止時間を、センサ設定プランによって決定できる。動的センサによって要求される動的変数を、センサ設定プランにより決定することができる。レシピ開始イベントを使用して、センサに記憶を開始するよう通知することができる。ウェハインイベントを使用して、センサを設定できる。レシピ停止イベントまたはウェハアウトイベントを使用して、センサに記憶を停止するよう通知することができる。様々なセンサを使用して、製造ウェハおよび非製造ウェハに関する様々なデータを収集することが可能である。

データ収集プランは、更に、予測された観測パラメータをスパイクカウンティング、ステップトリミング、値の閾値、および値クリップ制限によってどのように処理するかを 確立するデータ事前プロセスプランを含んでいる。

データ事前プロセスプランを実行すると、ロウデータファイルから時間シリーズデータを作成してデータベースに記憶することができ、時間シリーズデータからウェハサマリデータを作成することができる。更に、ウェハデータからロットサマリデータを作成することが可能になる。データ収集は、ウェハの処理中に実行できる。ウェハがこのプロセスステップから外れている場合には、データ事前プロセスプランを実行できる。

データ収集プランは、所望のデータを収集するために、ユーザによって構築された再利用可能なエンティティである。センサプランは、１つ以上の別個のモジュール上に設けられた１つ以上のセンサのコンフィギュレーションで構成されている。更に、このプランは、関連したセンサによって収集されるデータアイテムの選択を含んでおり、その後、このデータアイテムは保存される。

動的センサは、装置、機器、チャンバのタイプ、または、観察データを収集する、あるいはソフトウェア設定相互作用を必要とする他のエンティティであってよく、また、システムソフトウェアによって、センサのように扱われることが可能である。例えば、プロセスツールとプロセスモジュール（チャンバ）は、まるでデータ収集プラン内のセンサであるかのように扱われることが可能である。ツールステータス画面、チャンバステータス画面、および／またはセンサステータス画面を使用して、センサステータスに報告を行うことができる。センサステート情報はユーザに提供され得る。例えば、センサステートは、オフライン（使用不能）、オンライン（記憶、アイドル、エラーを選択していない状態）を含むことができる。ユーザは、センサがオンラインからオフラインに変わる際に通知を受けることができる。

同一のセンサタイプのいくつかの例を、プロセスシステムに同時にインストールすることができる。ユーザは、各データ選択プランに使用するべく、特定のセンサ（単数または複数）を選択できる。

ＡＰＣシステムは、所与のデータ収集プランのデータベースからセンサの設定を読み取ったり、設定中に定義されたパラメータを使用することが可能である。動的センサコンフィギュレーションソフトウェアはセンサの設定に失敗すると、ソフトウェアが、センサが実行のデフォルトオフ状態にあると仮定する。これは、動的センサをオフにするために呼び出されたＤＣプランの場合と同様の動作である。動的センサコンフィギュレーションソフトウェアが、オフ状態の動的センサで実行されたプロセスステップにアラームを設定する。

ＡＰＣシステムは、複数の異なるタイプのツールと、関連した動的センサとを監視するべく設計された方策およびプランを備えていることができる。例えば、ＡＰＣシステムを、異なる方法で動作する動的センサとインタフェースすることができる。例えば、動的センサがデータをリアルタイムで送信すると、ＡＰＣシステムがそのデータをリアルタイムで監視し、また、センサが非リアルタイムでデータを送信すると、ＡＰＣシステムは、センサがデータを送信し次第、そのデータを処理する。

ＡＰＣシステムは、汎用欠陥検出および等級付けアプリケーション、チャンバフィンガープリンティングアプリケーション、シーズニング完了アプリケーション、消費可能寿命予測、ウェット洗浄サイクルアプリケーション、部品組み立て品の診断アプリケーションのために動的センサを設定する際に使用可能な方策、プラン、ベースラインモデルを備えていることができる。

ＡＰＣシステムは、各々のプロセスチャンバに、独立したデータ収集モードおよび設定モードを設けることができ、つまり、各チャンバは他の任意のチャンバから独立することができ、或るチャンバの設定によって他のチャンバのデータ収集が妨害されることがない。更に、ＡＰＣシステムは、各センサに、独立したデータ収集モードおよび設定モードを提供し、つまり、各センサが他の任意のセンサから独立することができ、或るセンサの設定によって他のセンサのデータ収集が妨害されることがない。

制御方策に判定プランが備えられている場合には、この判定プランが実行される。実行は規則ベースであってよく、ＳＱＬステートメントを備えていることができる。「開始イベント」発生後に開始イベント判定プランを実行することができ、また、「終了イベント」発生後に終了イベント判定プランを実行することができる。例えば、開始イベント判定プランが制御方策と関連している場合には、このプランを、ウェハインイベント、プロセス開始イベント、またはレシピ開始イベントのような開始イベントの後に実行することができる。開始イベント判定プランは、ツールステータス監視システムのアラーム管理部分の一部分であってよい。

アラーム発生時、つまり欠陥が検出された際に、判定プランが、仲介プランに対して、以下の動作を実行する旨のメッセージおよび／または命令を送信することができる：ステータス画面上に欠陥メッセージを表示し、ログファイルに欠陥メッセージを書き込み、次のウェハを休止するメッセージを送信し、次のロットを休止するメッセージを送信し、警告メッセージをツールに送信し、ツール所有者に電子メールを送信する。例えば、判定プランは、仲介プランに対して、以下のセンサ関連の動作を実行する旨のメッセージおよび／または命令を送信できる：センサの使用を中止し、センサを再構築し、センサの再キャリブレーションを行い、センサを交換する。

判定プランは独立的に動作する。各々の判定プランは、他の判定プランの動作についての知識を持っていない。そのため、分析プラン全体の結果として、様々な判定プランによって送信されたメッセージにある程度の冗長または非一貫性が含まれる場合がある。仲介プランは任意の問題を解決する。図４に、方策およびプランの例証的なフロー線図を示す。

図２に戻ると、ステップ２３５において、アラームが生成されたか否かを決定するための問い合わせが実行される。アラームが発生した場合には、手順２００がステップ２５０へ分岐する。アラームが発生しなかった場合には、手順２００はステップ２４０へ分岐する。

ステップ２５０において、仲介プランを実行できる。仲介プランは、以下のプロセスを実行できる：各判定プランからメッセージ（判定）を入手し、異なる判定プランからの動作を分類付けし、ツールＩＤ、レシピＩＤ、レシピ開始時間等のようなプロセス条件を電子メールおよびログに添付し、ログファイル／データベースを保存し、および／または適切なメッセージを仲介マネージャに送信する。例えば、仲介プランは、動的センサがいつ失敗し、および／または失敗の原因を生じたかを決定することができる。

データ分析の結果ユーザがとる行動として、仲介方策が定義される。例えば、これらの動作には以下の動作が含まれる：疑わしいウェハまたはロットにフラグ付けし、システム所有者およびツール所有者にその旨を通知し、エンジニアをページャで呼び出すか、電子メールを送信して、データを再検討して決定を行うよう要求し、センサによるデータの収集を禁止し、データの再検討が終了して禁止が解除されるまで、ツールにウェハの処理を行うことを禁止し、ツールを停止するか、ツールを「オフライン」にして、残りのウェハをツールから取り除けるようにし、チャンバ洗浄手順またはメンテナンス手順をトリガする。

仲介プランを実行後、適切に動作している旨のメッセージが仲介マネージャへ送信される。以下に動作の候補を挙げる：ステータス画面にセンサ欠陥メッセージを表示する、次のウェハに取り掛かる前にプロセスを一時停止する旨のメッセージを送信する、次のロットに取り掛かる前にプロセスを一時時停止する旨のメッセージを送信する、１つ以上のツールに対して一時停止または停止メッセージを送信する、および／または、ツール所有者またはプロセス所有者に電子メールを送信する。例えば、データの取得を停止するようセンサに知らせるため、また、既にツール内に存在するウェハの処理を継続するようツールに知らせるために「停止」メッセージを、更に、ツール内に存在するウェハを処理せず、そのウェハをキャリヤへ戻すようツールに知らせるために「中止」メッセージを用いることができる。

人間が仲介することなく、ツールステータス監視システムが問題に仲介および応答できる場合もある。これ以外のケースでは、人間仲介が必要となることもある。例えば、ユーザは、欠陥の性質を判断するべく、ツールステータス監視システムからデータにアクセスできる。ユーザが仲介し、また、そのロットで継続するか、または終了するかを決定することができる。ユーザが処理を終了した場合、ツールは修理状態となる。ユーザは、これをツール画面からトリガすることができる。例えば、動的センサの交換が可能である。センサの交換、チェック、プロセス検査の後に、次のウェハでプロセスを再開することができる。

仲介プランと分析プランの実行中に、ＡＰＣシステムは、「センサ関連」チャートをユーザに表示することができる。例えば、このチャートは圧力計データ、流量データ、漏出データ、ポンプデータ、ガスシステムデータ、移動システムデータを含むことができる。更にこのチャートは、リアルタイムデータ、履歴データ、リアルタイムと履歴データの組み合わせを、１つ以上のツールについて表示できる。

また、ＡＰＣシステムは、制御方策を実行した後に分析方策を実行することもできる。欠陥検出および等級付け（ＦＤＣ）方策のような分析タイプ方策は、プロセスツールのシーケンス設定中に何が起こるかを定義することが可能である。ＦＤＣ方策は、収集後のデータを１組の分析セットを用いて「分析」でき、ＦＤＣ方策は、動作の過程中に１組の判定プランを用いて「決定」できる。例えば、ＳＰＣチャートおよび多変数分析を使用することができる。ＦＤＣ方策は、シングルウェハ、シングルツール、シングルロット、またはツールアクティビティの組み合わせに１組のデータ分析プランを定義できる。方策の各部分をプランと呼ぶ。

方策はコンテキストに関連している。コンテキスト情報は、所与のオペレーションを別のオペレーションに関連付けるために使用できる。特に、コンテキスト情報は、プロセスステップまたはレシピを１つ以上の方策および／またはプランに関連付けする。一般に、エンドイベントによって分析方策をトリガし、１組のポストプロセスアクティビティを決定することができる。例えば、エンドイベントはウェハアウトイベント、ロット完了イベント、または他のプロセス完了イベントであってよい。

分析方策が実行されると、以下に示すプランのうち１つ以上を実行することが可能になる：プリンシパルコンポーネント分析（ＰＣＡ）プラン、偏最小乗解析（ＰＬＳ）プラン、統計プロセス制御（ＳＰＣ）プラン、多変数分析（ＭＶＡ）プラン、およびユーザ定義プラン。分析プランは、ツールが製造段階にない際に、センサ問題を検出および等級付けし、製造中のセンサの問題を検出し、製造中のセンサ問題を検出および等級付けし、製造中のセンサ問題を予測し、製造後のセンサ問題を予測する手段を備えている。

図５は、本発明の一実施形態による選択画面の例証的な図を示す。図示した実施形態では、５つのサブレベルを有するナビゲーションツリーを示している。これは本発明において必須ではなく、任意数のサブレベルを使用できる。あるいは、これ以外の、選択タブまたはボタンのような選択手段を使用することも可能である。例えば、選択タブは、左→右タブ、右→左タブ、上→下タブ、下→上タブであってよい。別の実施形態では、ナビゲーションツリーを、異なる言語で表示することができ、また、異なる命令位置決めを行うことが可能である。

最初に示されるレベルはツールレベルであるが、本発明においてこれは必須ではない。あるいは、システムレベル、または他のより高いレベルグループを示すこともできる。例えば、ツールレベルをエッチングツール、付着ツール、洗浄ツール、移動ツール、または他の半導体処理ツールに関連付けすることができる。

次に示されるレベルはプロセスモジュールレベルである。ユーザは、ツールレベルフォルダを開いて、プロセスモジュールレベルのステータスを表示させることができる。例えば、図５は、開かれた、「Ｔｅｌｉｕｓ ＰＣ」とラベル付けしたツールレベルフォルダと、「プロセスモジュール１」から「プロセスモジュール４」とラベル付けした４つのプロセスモジュールフォルダを示している。ユーザは、プロセスモジュールフォルダを開いて、特定のプロセスモジュールに関連した方策についてのステータスを表示させることができる。

次に示されるレベルは方策レベルである。ユーザは、プロセスモジュールレベルフォルダを開いて、方策レベルのステータスを表示させることができる。例えば、図５は、開かれた、「データ収集方策」、「分析方策」とラベル付けされたフォルダを示している。ユーザは、方策フォルダを開いて、特定の方策に関連付けされたコンテンツおよびプランのステータスを表示させることができる。

データ収集（制御）方策フォルダを開いて、データ収集方策のリストを表示させることができる。図示の実施形態では、シングル制御方策を、制御方策に関連付けされたコンテキストおよびプランと共に示すことが可能である。コンテキストは、ダミーまたは診断ウェハのような特定のアイテムに要求される特定のデータ収集プランを呼び出すために使用できる。

特定のデータ収集プランフォルダを開いて、１つ以上のデータ収集プラン名称を表示させることができる。図５では、シングルデータ収集プラン名「デフォルトプラン１」が表示される。

データ収集方策は関連したデータ収集プランを有しており、このデータ収集プランは、センサの構築方法、収集する観察パラメータを記述している。更に、データ収集方策は事前プロセスプランに関連することも可能である。事前プロセスプランは、予測された観察パラメータを、スパイクカウンティング、ステップトリミング、高クリップ限度、低クリップ限度に関連してどのように処理するかを記述している。

ユーザは、データ収集プランレベルから、センサコンフィギュレーションレベルにアクセスすることができる。また、センサコンフィギュレーションレベルにて、ユーザは動的センサのインストール、変更、アンインストールを行うことができる。更に、ユーザは、動的センサの設定情報を作成、編集、レビューすることができる。

図５に示すように、選択画面はタイトルパネル、情報パネル、制御パネルを備えていることができる。例えば、タイトルパネルは画面の上位２列を備えていることができる。タイトルパネルは、バージョン情報を表示するための企業ロゴフィールド、現在のユーザのＩＤを表示するためのユーザＩＤフィールド、アクティブ状態のアラームがある場合に、メッセージを表示するためのアラームメッセージフィールド、サーバの現在の日付と時間を表示するための最新日付および時間フィールド、現在の画面（例えば、ツールステータス）の名称を表示するための最新画面名称フィールド、サーバとツール間の通信リンクの最新ステータスを表示するための通信ステータスフィールド、監視中のＩＤを表示するためのツールＩＤフィールド、ユーザのログオフを可能にするログオフフィールドを備えていることができ、画面選択フィールドを選択することで、全ての使用可能な画面のリストを見ることができる。別の実施形態では、タイトルパネルを別の言語で表示でき、異なった大きさで位置付けされ得る。

制御パネルは、画面の底部に沿ってボタンを備えていることができる。これらのボタンによって、ユーザはプライマリ画面を表示できる。プライマリ画面ボタンは、ツールステータス、モジュール、チャート、アラームログ、ＳＰＣ、データマネージャ、ヘルプである。

例えば、ツールステータスボタンを使用して、特定のツールについてのデータを見ることができる。モジュールボタンを使用して、特定のプロセスモジュールに関するデータを見ることができる。チャートボタンを使用して、サマリおよびトレースチャートの設定表示が可能である。アラームログボタンを使用して、最新アラームのリストを見ることができる。ＳＰＣボタンにより、ＳＰＣチャート上のプロセスパラメータを見ることができる。データマネージャボタンを使用してデータ収集プランを構築し、ヘルプボタンを使用してオンラインヘルプ文書を表示できる。これらのボタンを、多くの画面の底部に沿って表示することもでき、便利である。更に、これらのボタンは、ユーザがプライマリ画面を表示できるようにするための高速且つ便利な手段を提供する。別の実施形態では、これらのボタンを異なる言語で表示でき、サイズと位置を変更することが可能である。

図６は、図５のデータ収集プランレベルからアクセスされた、本発明の一実施形態によるプラン情報画面の例証的な図を示す。例証の実施形態では、情報パネルは選択タブを実装して示されている。選択タブを使用して、他のＧＵＩ画面を選択することが可能である。あるいは、ナビゲーションツリーを使用して、他のＧＵＩ画面を表示および選択できる。

センサインスタンスリストは、ｔｏｏｌ＿ｉｄ、ｍｏｄｕｌｅ＿ｉｄ、プラン名称の基準と一致するセンサインスタンスのリストを備えていることができる。このリストを設ける理由は、１つのセンサタイプに多くのセンサインスタンスを有することが可能なためである。その一例として、プラン名称「ＤｅｆａｕｌｔＰｌａｎ１」を、多数のフィールド内の情報と共に示しているが、本発明においてこれは必須ではない。あるいは、他のプランおよび他の動的センサを示すことも可能である。例えば、ラングミュアプローブ、ＯＥＳプローブ、他のタイプの半導体プロセスプローブを使用することが可能である。

プラン名称フィールドにデータ収集プランの名称を含めることができ、記述フィールドにこのデータ収集プランの詳細な記述を含めることができる。ツールＩＤフィールドに既存ツールのリスト（ツールＩＤ）を含めて、これを選択できるようにでき、また、モジュールＩＤフィールドに既存のプロセスモジュールのリスト（モジュールＩＤ）を含めて、これを選択できるようにすることができる。データを最後に使用した日付フィールドを使用して、このデータ収集プランを最後に使用した日付を表示することができる。

保存ボタンを使用すれば、この画面からのデータをデータベースに保存できる。やり直しボタンを使用して、全てのフィールドにオリジナル（デフォルト）データを記述することができる。追加ボタンを使用すれば、右側のリストから選択した動的センサインスタンスを、左側のテーブルに追加することが可能である。切り取りボタンを使用して、左側のテーブルから選択したセンサタイプを右側へ移動できる。ポップアップメッセージウィンドウが確認を表示し、入力が右側のテーブルに再び追加される。

編集ボタンを用いて、図７に示すセンサ設定画面を使用可能にすることで、選択したセンサパラメータを編集できる。パラメータ保存ボタンを使用すれば、図１０に示すパラメータ保存画面を使用できるようになる。

保存ボタンを使用して、データを、ｄｃ＿ｐｌａｎｓテーブルとｓｅｎｓｏｒ＿ｄｃｐｌａｎテーブルの２つの表に更新／送信することができる。

図７は、本発明の一実施形態によるセンサ設定画面の例証的な図を示す。例証の実施形態では、情報パネルが選択タブを装備して示されている。選択タブは、他のＧＵＩ画面を選択するために使用できる。あるいは、ナビゲーションツリーを使用しても、別のＧＵＩ画面の表示および選択を行える。ユーザは、センサ設定画面のようなセンサ構築画面を使用して、動的センサに関連したパラメータのレビューおよび編集が可能である。その一例として２つのパラメータを示しているが、しかし、本発明においてこれは必須ではない。動的センサは、これに関連した任意数のパラメータを有することができる。

選択したセンサのための設定アイテムのリストを画面上に示すことができる。編集ボタンを用いて、図８に示すようなセンサ設定アイテム画面を表示させることが可能である。ユーザは、この画面により、選択したパラメータを、選択したｖａｌｕｅ＿ｔｙｐｅに従って変更することができる。

センサ設定画面には、アイテム名称フィールド、アイテム値フィールド、記述フィールド、更に、データへのアクセスの制御に使用されるＩＳ＿Ｏｐｔｉｏｎａｌフィールドが含まれる。例えば、ＩＳ＿Ｏｐｔｉｏｎａｌ変数の値が正確であるなら、ユーザはこのデータ収集についてのパラメータを選択できる。

図８は、本発明の一実施形態によるデータ収集プラン画面のセンサ設定アイテムの例証的な図を示す。例証の実施形態では、情報パネルは選択タブを装備して示されている。選択タブを使用して、他のＧＵＩ画面を選択できる。あるいは、ナビゲーションツリーを使用して、他のＧＵＩ画面を表示および選択することも可能である。ユーザは、センサ設定アイテム画面のようなセンサ構築画面を使用して、センサに動的パラメータを構築できる。その一例として、「動作周波数」パラメータについての情報を示しているが、しかし、本発明においてこれは必須ではない。動的センサは、これに関連した任意数のパラメータを有することが可能である。

画面は、タイトルとして表示される名称フィールドと、ユーザに指示および／またはヘルプメッセージを提供するための記述／指示／ヘルプフィールドとを実装できる。更に、センサ設定アイテム画面は、アイテムのリストフィールドと選択したアイテムフィールドを備えていることができる。これらの両方はリストとして示される。

保存ボタンを使用して、この画面からのデータをデータベースに保存することができる。やり直しボタンを使用して、全てのフィールドについてオリジナル（デフォルト）データを記述することができる。追加ボタンを使用して、右側のリストから選択したセンサインスタンスを左側のテーブルに追加することができる。切り取りボタンを使用して、左側のリストから選択したセンサタイプを右側のリストへ移動できる。ポップアップメッセージウィンドウは確認を表示させることができ、エントリが右側のリストへ戻される。

センサ設定アイテム画面は、動的センサを構築する、および／または、動的センサに関連したパラメータを変更するための使い易い手段を提供する。図示した例は、ユーザが、特定の動的センサのオペレーションモードための指示メッセージを得られることを示している。指示メッセージはユーザに安心感を与え、エラーを防ぐ。アイテムのリストをユーザに提供でき、ボタンは、ユーザに選択したアイテムリストへ、選択したアイテムリストからアイテムを移動させることをもたらし得る。この選択されたパラメータ用のセンサ設定アイテム（編集）画面は、選択されたパラメータのｖａｌｕｅ＿ｔｙｐｅに依存し、また、例証的な画面ではｖａｌｕｅ＿ｔｙｐｅを選択することができる。

新規のセンサをインストールする、または既にモジュール上に在るセンサを変更する場合、ＡＰＣシステムおよび動的センサアプリケーションが１つのモジュールをオフラインにする。例えば、任意の１つのセンサに関連したセンサケーブル（ＲＳ２３２、イーサネット、ファイバ、その他）を断絶および再接続でき、センサのネットワークアドレスを変更でき、センサ設定の設定を構築でき、更に、センサは、他のモジュールの実行を妨害することのない、センサの手動の設定を含む検査であってよい（つまり、センサを手動で開始し、センサデータをリアルタイムに監視し、センサを停止し、収集したセンサデータを１つのファイルとして保存し、センサ設定を１つのファイルとして保存する）。

図９は、本発明の一実施形態による別のセンサ設定アイテム画面の例証的な図を示す。例証の実施形態では、情報パネルは選択タブを装備して示されている。選択タブを使用して、他のＧＵＩ画面を選択できる。あるいは、ナビゲーションツリーを使用して、他のＧＵＩ画面を表示および選択することもできる。ユーザは、センサ設定アイテム画面のようなセンサ構築画面を使用して、動的センサにパラメータを構築することができる。

画面は、タイトルとして表示できる名称フィールドと、指示および／またはヘルプメッセージをユーザに提供するための記述／指示／ヘルプフィールドとを備えていることが可能である。センサ設定アイテム画面は、更に、値を提供するためのフィールドを多数備えていることができる。この図面は、デフォルト値フィールド、値挿入フィールド、最小限度フィールド、最大限度フィールド、選択したアイテムフィールドを示している。これらのいずれもリストとして示される。保存ボタンを使用して、この画面からのデータをデータベースに保存できる。やり直しボタンを用いて、全てのフィールドにオリジナル（デフォルト）データを入力できる。

センサ設定アイテム画面は、動的センサを構築するため、および／または動的センサに関連したパラメータを変更するための手段を提供する。図示の例証は、ユーザに、「ＭＦサンプル時間」の値を挿入するよう指示が与えられることを示し、また、他のフィールドが、選択をエラーを発生し難くするための情報を提供する。更なるフィールドによってユーザは安全感を感じ、これによりエラーを防ぐ。この、選択したパラメータのためのセンサ設定アイテム（編集）画面は、選択したパラメータのｖａｌｕｅ＿ｔｙｐｅに依存できまた、この画面について、ｖａｌｕｅ＿ｔｙｐｅは整数であってよい。

図１０は、本発明の一実施形態によるパラメータ保存画面の例証的な図を示す。図示の実施形態では、情報パネルは選択タブを設けた状態に示されている。選択タブを使用して、他のＧＵＩ画面を選択することができる。あるいは、ナビゲーションツリーを用いて、他のＧＵＩ画面の表示および選択が可能である。ユーザは、パラメータ保存画面のようなセンサ構築画面を使用して、データベースに保存する動的センサパラメータを決定できる。

パラメータ保存画面は、選択したデータ収集プラン内で選択したセンサインスタンスのパラメータのリストを示す。データベース保存プランは、パラメータ保存画面中の各パラメータへのリンクを提供できる。

パラメータ保存画面は、選択したセンサ設定アイテムの名称を含む、選択したセンサのためのアイテムリストを備えていることができる。パラメータ保存画面は、更に、パネルを使用可能にする編集ボタンと、新規のパラメータ名称に特定の公式を追加するための追加ボタンと、サマリ情報ボタンを実装できる。サマリ情報ボタンを使用することで、図１１に示す画面を保存し、使用可能にするためのパラメータを選択できる。やり直しボタンを使用して、オリジナルの値で全てのフィールドを記載し、保存ボタンはｒｕｎ＿ｖａｌｕｅテーブル内のチェックボックスの選択を保存できる。リストに列挙されたアイテムには、パラメータ名称、新規パラメータ名称、公式、選択チェックボックスの保存が含まれる。

図１１は、本発明の一実施形態による公式情報画面の例証的な図を示す。図示の実施形態では、情報パネルは選択タブを備えた状態で示されている。公式情報画面は、動的センサに関連して選択したパラメータのための公式エディタを提供する。

例えば、ユーザは、新規パラメータ名称フィールド内において、既存のパラメータに新たなパラメータ名称を指定することができる。パラメータ名称フィールドには、パラメータの元の名称が表示される。保存したプランパラメータフィールドは、選択したデータ収集プラン内に、パラメータのリストを備えていることができる。追加ボタンを使用して、ドロップダウンボックスから選択した保存されたプランパラメータを公式記述フィールドに追加することができる。保存ボタンを使用して、情報をｒｕｎ＿ｖａｌｕｅテーブルに保存できる。ソフトウェアが公式チェックを実行して、指定されたパラメータ名称が一意であるか否かを判断する。やり直しボタンを使用して、変更のやり直しが可能である。チェックボックス保存を用いて、データ収集プランにパラメータを選択でき、更に、図１２に示すような画面を使用可能にできる。

図１２は、本発明の一実施形態によるパラメータ収集情報画面の例証的な図を示す。図示の実施形態において、情報パネルは選択タブを備えた状態で示されている。パラメータ収集情報画面は、選択した、動的センサに関連したパラメータのサマリデータ収集情報を編集する手段を提供する。

例えば、パラメータ収集情報画面は、選択したパラメータ名称を表示させるための名称フィールドを実装している。新規ボタンにより、右側のフィールドが入力用となり、編集ボタンを使用して右側のフィールドに値を記入することができる。設定ポイント、パーセンテージ、絶対チェックボックスを使用して、データ収集プラン内のパラメータに、これらのデータ収集タイプのうち１つを選択できる。閾値、低スパイク、高スパイク、クリップチェックボックスを使用して、データ事前プロセスアイテムのうち１つ以上を選択でき、関連するテキストフィールドを使用可能にすることができる。保存ボタンを使用して、右側フィールドからの情報をｐａｒａｍ＿ｌｉｍｉｔｓテーブル内に保存できる。やり直しボタンを使用して、変更をやり直すことが可能である。

センサタイプは、センサの機能に関連した総称用語であってよい。センサインスタンスが、センサタイプを、プロセスモジュール（チャンバ）およびツール上の特定センサと対にする。ツールに取り付けた各物理センサにつき、少なくとも１つのセンサインスタンスが構築される。

センサタイプは、ランタイムにおいて特定タイプのセンサを設定するために必要な変数を全て含むことができる。これらの変数は静的である可能性があり（つまり、このタイプの全てのセンサは同一の値を有する）、インスタンスによって構築可能であり（つまり、各センサタイプのインスタンスは一意の値を有することができ）、または、データ収集プランによって構築可能である（つまり、センサをランタイムにて起動する度に、異なる値が与えられる）。例えば、「インスタンスによって構築可能な」変数はプローブＩＰアドレスであってよい。このアドレスは、（各プロセスチャンバについて）インスタンスによって異なるが、しかし、実行毎に異なるものではない。「データ収集プランによって構築可能な」変数は、プローブの調和周波数のリストであってよい。このセンサは動的センサであってよく、また、コンテキスト情報に基づいたプロセスは変数を構築することができる。例えば、プロセスコンテキスト情報は、ツールＩＤ、モジュールＩＤ、スロットＩＤ、レシピＩＤ、カセットＩＤ、開始時間および終了時間を含む。

動的センサに関連したアプリケーションはフレキシブル且つ構築可能である。例えば、ＩＰアドレス、ツールＩＤ等のような顧客依存の情報はシステム変数であってよく、また、顧客またはフィールドエンジニアが設定を構築した後に、次のスタートアップ時にこの情報を使用することができる。動的センサアプリケーションは、Ｗｉｎｄｏｗｓ ＮＴおよびＷｉｎｄｏｗｓ ２０００のようないくつかの異なるオペレーティングシステム下で動作できる。

ＧＵＩ画面の底部および頂部に沿って機能ボタンを配置してもよい。多数の画面に同一機能のボタンが表示されているため、ユーザは、一連のメニューをトラバースしなくても、あらゆる画面から任意の機能へ誘導される。タイトルパネルにログオフボタンを表示させ、これをシステムからログオフするために使用できる。データが変更されたが、保存されていない場合には、リマインダメッセージを提供することが可能である。更に、ヘルプボタンを表示させ、これをコンテンツ特定および汎用ドキュメンテーションを見るため、また、ユーザに対して表示されたデータ、および／またはユーザによって要求されたデータを理解する上でユーザを補助するために使用できる。

上述の教示を考慮して、本発明の様々な変更および応用が可能である。したがって、これらは添付の特許請求の範囲内に含まれると理解でき、また、本発明は、ここで詳細に記述した以外の方法で実施することも可能である。

本発明の一実施形態によるアドバンストプロセス制御された（ＡＰＣ）半導体製造システムの簡略化したブロック線図を示す。 本発明一実施形態による半導体プロセスシステム内のプロセスツールを監視するためのフロー線図を示す。 本発明の一実施形態による方策およびプランのための例証的な関係線図を示す。 本発明の一実施形態による方策およびプランの例証的なフロー線図を示す。 本発明の一実施形態による選択画面の例証的な例を示す。 本発明の一実施形態によるデータ収集プラン情報画面の例証的な図を示す。 本発明の一実施形態によるセンサ設定画面の例証的な図を示す。 本発明の一実施形態によるＲＦ調和ベースのセンサのためのセンサ設定を定義するデータ収集プランのサブ画面の例証的な図を示す。 本発明の一実施形態によるセンサ設定アイテム画面の別の露出時間サブ画面の例証的な図を示す。 本発明の一実施形態によるパラメータ保存画面の例証的な図を示す。 本発明の一実施形態による公式情報画面の例証的な図を示す。 本発明の一実施形態によるレシピ設定点を使用した動的フィルタリングを定義するために使用される、パラメータ収集情報画面の例証的な図を示す。

Claims (26)

1. グラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）を使用して半導体プロセス環境内で動的センサを設定する方法であって、
   データ収集プランを実行することと、
   動的センサ設定プランを決定するために、前記データ収集プランを使用することと、
   前記動的センサを設定するために、前記動的センサ設定プランを実行することとを具備する、方法。
2. 前記データ収集プランを決定するために、プランリストＧＵＩ画面を使用することと、
   前記動的センサプランに選択した動的センサインスタンスを決定するために、プランＧＵＩ画面を使用することとを更に具備する、請求項１に記載の方法。
3. プランＧＵＩ画面上のセンサインスタンスのリストから動的センサインスタンスを選択することと、
   このプランリストに選択したインスタンスに、選択した動的センサインスタンスを追加することとを更に具備する、請求項２に記載の方法。
4. プランＧＵＩ画面で、このプランリストに選択したインスタンスから動的センサインスタンスを選択することと、
   このプランリストに選択されたインスタンスから選択した前記動的センサインスタンスを、前記センサインスタンスリストのリストへ移動することとを更に具備する、請求項２に記載の方法。
5. 選択ＧＵＩ画面上のマルチレベルナビゲーションツリーを使用して、データ収集プランを選択することを更に具備する、請求項１に記載の方法。
6. 前記マルチレベルナビゲーションツリーは、ツールレベル、モジュールレベル、方策レベル、コンテキストレベル、データ収集プランレベルを備えている、請求項５に記載の方法。
7. 前記方策レベルは、制御方策レベルと分析方策レベルを備えている、請求項６に記載の方法。
8. 前記選択ＧＵＩ画面は、英語マルチレベルナビゲーションツリー、日本語マルチレベルナビゲーションツリー、台湾語画面、中国語マルチレベルナビゲーションツリー、韓国語マルチレベルナビゲーションツリー、ドイツ語マルチレベルナビゲーションツリー、フランス語マルチレベルナビゲーションツリーから成るグループから少なくとも１つのマルチレベルナビゲーションを備えている、請求項５に記載の方法。
9. 前記選択ＧＵＩ画面は、タイトルパネル、情報パネル、制御パネルを備えている、請求項５に記載の方法。
10. 前記タイトルパネルは、ディスプレイバージョン情報を表示するための企業ロゴブロック、現在のユーザのＩＤを表示するためのユーザＩＤブロック、アクティブなアラームがある場合に、アラームメッセージを表示させるためのアラームメッセージブロック、サーバの現在の日付と時間を表示させるための現在日付および時間ブロック、現在の画面の名称を表示させるための現在画面名称ブロック、サーバとツールの間の通信リンクの現在のステータスを表示させるための通信ステータスブロック、監視中のツールのＩＤを表示させるためのツールＩＤブロック、ユーザによるログオフを可能にするログオフブロック、全ての使用可能な画面のリストを見るための選択画面ブロックを備えている、請求項９に記載の方法。
11. 前記制御パネルは、ツールステータスボタン、モジュールボタン、チャートボタン、アラームボタン、ＳＰＣボタン、制御設定ボタン、ヘルプボタンを備えている、請求項９に記載の方法。
12. 英語画面、日本語画面、台湾語画面、中国語画面、韓国語画面、ドイツ語画面、フランス語画面から成るグループからの、少なくとも１つの画面を備えているプランリストＧＵＩ画面を使用して、収集プランを決定することを更に具備する、請求項２に記載の方法。
13. 前記ＧＵＩは、左→右タブ、右→左タブ、上→下タブ、下→上タブから成るグループから、選択タブを含む少なくとも１つの画面を備えている、請求項１に記載の方法。
14. 前記プランリストＧＵＩ画面上の選択タブを使用して、データ収集プランを選択することを更に具備する、請求項２に記載の方法。
15. センサ設定ＧＵＩ画面を使用して、前記選択した動的センサインスタンスに、少なくとも１つの設定パラメータを決定することを更に具備する、請求項２に記載の方法。
16. 前記プランＧＵＩ画面上で動的センサインスタンスを選択することと、
    センサ設定ＧＵＩ画面を起動させるために、前記プランＧＵＩ画面の一部分を起動し、
    前記選択した動的センサインスタンスのために、設定アイテムを確認することとを更に具備する、請求項１５に記載の方法。
17. 前記プランＧＵＩ画面上で動的センサインスタンスを選択することと、
    パラメータ保存画面を起動させるために、前記プランＧＵＩ画面の一部分を起動することと、
    前記パラメータが保存されていることを確認することとを更に具備する、請求項１５に記載の方法。
18. 前記センサ設定ＧＵＩ画面上で動的パラメータを選択することと、
    センサ設定アイテムＧＵＩ画面を起動させるために、前記センサ設定ＧＵＩ画面の一部分を起動することと、
    前記選択した動的パラメータについて選択したアイテムを確認することとを更に具備する、請求項１６に記載の方法。
19. センサ設定アイテムＧＵＩ画面上で、アイテムのリストからアイテムを選択することと、
    前記選択したアイテムを、前記選択した動的センサについて選択したアイテムリストに追加することとを更に具備する、請求項１８に記載の方法。
20. 前記センサ設定アイテムＧＵＩ画面上で、前記選択した動的センサについて選択したアイテムのリストからアイテムを選択することと、
    前記選択した動的センサについて選択したアイテムリストから、前記選択したアイテムを削除することとを更に具備する、請求項１８に記載の方法。
21. 前記センサ設定アイテムＧＵＩ画面上で、動的パラメータのための複数の値フィールドから、値フィールドを選択することと、
    前記選択した値フィールドを変更することと、
    前記変更した動的パラメータを保存することとを更に具備する、請求項１８に記載の方法。
22. パラメータ保存画面を起動することと、
    適切な動的パラメータが保存されているかを確認することとを更に具備する、請求項２に記載の方法。
23. パラメータ収集情報画面を起動することと、
    データ収集タイプが、保存されている動的パラメータにとって適切であるかを確認することとを更に具備する、請求項２に記載の方法。
24. 公式情報画面を起動することと、
    新規のパラメータ名称を入力することと、
    選択したセンサインスタンスのための設定パラメータの値を少なくとも１つ含んだ公式を使用して、新規の動的パラメータを作成することとを更に具備する、請求項２に記載の方法。
25. 前記データ収集プランを決定するために制御方策を実行することを更に具備する、請求項１に記載の方法。
26. プロセスコンテキストを使用して前記制御方策を決定することを更に備え、前記プロセスコンテキストは、実行中のプロセス、動的センサインスタンス、監視中の処理モジュール、監視中のツールのうち少なくとも１つに依存している、請求項２５に記載の方法。
    

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