JP7068098B2 - 研削装置 - Google Patents
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Description
研削装置1は、例えば、第1の装置ベース11の後方(+Y方向側)に第2の装置ベース12を連結して構成されている。
第1のカセット151a及び第2のカセット152aは、内部に複数の棚を備えており、各棚に一枚ずつウェーハWが収容されている。
ターンテーブル17の上面には、ウェーハWを吸引保持するチャックテーブル30が、例えば周方向に等間隔を空けて2つ、即ち、搬入出領域Aと研削領域Bとに1つずつ配設される。なお、チャックテーブル30の配設数は2つに限定されるものではなく、研削装置1が例えば粗研削手段と仕上げ研削手段とを備えるものである場合には、3つ又は4つであってもよい。
チャックテーブル30は、ターンテーブル17上でZ軸方向の軸心周りに回転可能となっている。
本実施形態において、ウォータケース18は、例えば箱状の外形を備えており、第2の装置ベース12上に立設しX軸方向において相対する2枚の側壁18a、搬入出領域A側にあり前壁となる仕切り板18b、及びコラム13側にある後壁18cと、側壁18a~後壁18cの上端に接続され研削手段7の研削ホイール74を通過させる図示しない開口を備える天壁18dとを備えている。
天壁18dに形成された図示しない開口は、例えば、研削ホイール74よりも僅かに大径の円形となっている。該開口の縁には図示しないシール部材等が配設されており、天壁18dを通過してウォータケース18内まで下降した研削ホイール74による研削加工中において、該開口から研削水噴霧が漏れないようになっている。
第1の開口部40は、天板4の上面42を貫通して形成されており、チャックテーブル30の直径よりも大径に形成されている。
なお、天板の外形は、平面視円形状となっていてもよく、この場合には、第1の開口部40及び作用部41は、円形状の天板の直径を軸に線対称に天板に2つずつ配設されており、一枚の天板がターンテーブル17上に装着される。
水供給部5は、例えば、図1に示す仕切り板18bの前面又は後面の上部側の領域に配設された水噴射ノズル50と、継手51を介して水噴射ノズル50に連通する水供給源52とを備えている。
なお、図4に示す噴射口500は、水噴射ノズル50の側面下部側に一本連続的に延びるスリット状に形成されていてもよい。
まず、図1に示すターンテーブル17が回動することで、ウェーハWが載置されていない状態のチャックテーブル30が公転し、チャックテーブル30がローディングアーム154aの近傍まで移動し搬入出領域A内に位置する。また、ロボット155が第1のカセット151aから一枚のウェーハW(一枚目のウェーハWとする。)を引き出し、ウェーハWを仮置き領域153aに移動させる。
そして、図示しない吸引源が作動して、チャックテーブル30が保持面300a上でウェーハWを裏面Wbが上方に露出した状態で吸引保持する。
また、モータ72がスピンドル70を回転させるのに伴って、研削ホイール74が所定の回転速度で回転する。
上記ターンテーブル17の回動時においても、水供給部5から供給される水の表面張力により仕切り板18bの下端と天板4の上面42との隙間にシール部は常に形成されているため、仕切り板18bの下端と天板4の上面42との隙間から搬入出領域Aに研削水噴霧が漏れてしまうことが防がれる。
また、チャックテーブル30に保持されたウェーハWの上面である裏面Wbと、天板4の上面42とを面一にして、ターンテーブル17が回動している最中において、継続的に水シールが形成される。なお、ウェーハWの裏面Wbは、研削前と研削後で高さが変わるが、該変化に対し裏面Wbと天板4の上面42を面一にするように追従できる水シールの水層厚みによりウェーハWの裏面Wbと仕切り板18bの下端とに水シールが形成される。
1:研削装置 11:第1の装置ベース
151:第1のカセット載置部 151a:第1のカセット 152:第2のカセット載置部 152a:第2のカセット
153a:仮置き領域 153b:位置合わせ手段 154a:ローディングアーム
154b:アンローディングアーム 155:ロボット 156:洗浄手段
12:第2の装置ベース
13:コラム 2:研削送り手段 7:研削手段
17:ターンテーブル A:搬入出領域 B:研削領域
30:チャックテーブル 300:吸着部 300a:保持面 301:枠体
18:ウォータケース 18a:側壁 18b:仕切り板(前壁) 180:進入口 18c:後壁 18d:天壁
4:天板 40:第1の開口部 41:作用部(円弧状の溝部)42:天板の上面 44:作用部(第2の開口部)
5:水供給部 50:水噴射ノズル 500:噴射口 51:継手 52:水供給源
Claims (4)
- 回動するターンテーブルと、該ターンテーブルの上に複数配設されウェーハを保持する保持面を有するチャックテーブルと、研削砥石を環状に配設した研削ホイールを装着し該チャックテーブルが保持したウェーハと該研削砥石とに研削水を供給させウェーハを該研削砥石で研削加工する研削手段と、を備える研削装置であって、
該ターンテーブルの周囲には、該研削水を受け止めるウォータケースを備え、
該ターンテーブルは、ウェーハを該チャックテーブルに対して搬入出する搬入出領域と該チャックテーブルに保持されたウェーハを該研削砥石で研削する研削領域とに区分され、隣り合う領域の境界には仕切り板が配設され、
該チャックテーブルの周囲には、該保持面より高く該仕切り板の下を通過可能な天板を備え、
該天板は、該保持面を露出させる第1の開口部と、研削加工時の該研削砥石を該保持面が保持したウェーハに作用させる作用部とを備え、
該仕切り板の下端と該天板の上面との隙間をシールするシール部を備える研削装置。 - 前記天板の上面に水を供給する水供給部を備え、
該水供給部により該天板の上面に供給した水で前記シール部を形成する請求項1記載の研削装置。 - 前記作用部は、前記研削砥石を前記天板の上面に接触させない第2の開口部である請求項1又は2記載の研削装置。
- 前記作用部は、前記研削砥石を前記天板の上面に接触させない円弧状の溝部である請求項1又は2記載の研削装置。
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