JP2023066697A

JP2023066697A - 加工装置

Info

Publication number: JP2023066697A
Application number: JP2021177442A
Authority: JP
Inventors: 徹雄久保; Tetsuo Kubo; 一孝桑名; Kazutaka Kuwana
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2021-10-29
Filing date: 2021-10-29
Publication date: 2023-05-16

Abstract

【課題】加工装置において、加工室開口から加工具を容易に出し入れ可能とする。【解決手段】スピンドル２００の先端に研削ホイール２０４を装着しスピンドル２００を回転させ、研削ホイール２０４、及びチャックテーブル３０に保持された被加工物に加工水を供給しつつチャックテーブル３０と研削ホイール２０４とを収容する加工室４内で被加工物を加工する加工装置１であって、加工室４は、側板５と、天板６とを備え、天板６は、研削ホイール２０４にアクセスするための開口６９を開閉する扉機構を備え、側板５は、上端に天板６を載置する第１載置部５２５、及び第２載置部５２６を備え、第１載置部５２５、及び第２載置部５２６と共に所定の矩形エリア５２４を加工室４内に９０度倒し開口６９を拡張する可動側板５２と、可動側板５２以外の固定側板５３と、可動側板５２に配設されたシール部を備える。【選択図】図３

Description

本発明は、半導体ウェーハ等の被加工物を加工する加工装置に関する。

研削ホイールの砥石でチャックテーブルの保持面に保持された被加工物を研削する研削装置は、例えば下記特許文献１、又は特許文献２に開示されているように、チャックテーブル、及び砥石を収容する加工室を備え、加工室内で被加工物に加工水を供給しながら砥石で研削している。そして、砥石が消耗したら研削ホイールを交換している。研削ホイールの交換は、加工室の天板を跳ね上げ研削ホイールの出し入れが可能な開口を形成することで、作業者が研削ホイールにアクセス可能な状態にしてから行っている。

特開２０１９－０９３４５８号公報特開２０２０－０８２２０４号公報

しかし、研削装置等の小型化に伴って加工室も小さくしたため、研削ホイールの開口からの出し入れが困難となった。
よって、加工装置においては、研削ホイール等の加工具を容易に出し入れ可能な加工室が求められている。

上記課題を解決するための本発明は、スピンドルの先端に加工具を装着し該スピンドルを回転させ、該加工具、及びチャックテーブルに保持された被加工物に加工水を供給しながら該チャックテーブルと該加工具とを収容する加工室内で被加工物を加工する加工装置であって、該加工室は、側板と、天板とを備え、該天板は、該加工具にアクセスするための開口を開閉する扉機構を備え、該側板は、上端に該天板を載置する載置部を備え、該載置部と共に所定の矩形エリアを該加工室内に９０度倒し該開口を拡張する可動側板と、該可動側板以外の固定側板と、該可動側板に配設されたシール部と、を備える加工装置である。

本発明に係る加工装置は、加工室を形成する側板が９０度に倒れる可動側板を備えているので、作業者が加工具にアクセスするための開口を広げることが可能となるため、加工室内に研削ホイールなどの加工具を出し入れするのが容易となる。また、可動側板は、９０度倒した状態で、加工具を交換する交換作業の際に作業台として利用することができる。また、可動側板は、シール部を備えているため、垂直に立っている固定側板と一体となった際に加工水を外に噴出させない。

加工装置の一例を示す斜視図である。天板が開いていない状態の加工室の全体を拡大して示す斜視図である。天板が開いた状態の加工室の全体を拡大して示す斜視図である。可動側板を９０度倒して開口を拡張した状態を示す斜視図である。９０度加工室内に倒した可動側板を上方から見た場合を説明する説明図である。９０度加工室内に倒した可動側板を斜め上方から見た場合を説明する説明図である。

図１に示す加工装置１（以下、研削装置１とする）は、例えば、粗研削ユニット２０、及び仕上げ研削ユニット２１を備え、いずれかのチャックテーブル３０上に保持された被加工物９０を粗研削ユニット２０及び仕上げ研削ユニット２１により研削する装置である。なお、本発明に係る加工装置は、被加工物９０を研磨パッドで研磨する研磨装置であってもよいし、研削ユニットと研磨ユニットとを備える研削研磨装置、又は旋回する切削バイトで被加工物９０を旋削するサーフェスプレーナーであってもよい。

研削装置１は、例えば、第１の装置ベース１０の後方（＋Ｙ方向側）に第２の装置ベース１１を連結して構成されている。第２の装置ベース１１上は、粗研削ユニット２０、又は仕上げ研削ユニット２１によってチャックテーブル３０で保持された被加工物９０が加工される加工領域となっており、その一部が、チャックテーブル３０に対して被加工物９０を搬入又は搬出するための搬入出エリア１１２となっている。

図１に示す被加工物９０は、例えば、シリコン母材等からなる円形板状の半導体ウェーハであり、図１においては下方を向いている被加工物９０の表面９０２は、複数のデバイスが形成されており、保護テープ９１が貼着されて保護されている。被加工物９０の上側を向いている裏面９０１は、研削加工が施される被加工面となる。

第１の装置ベース１０の正面側（－Ｙ方向側）には、第１のカセット載置部、及び第２のカセット載置部が設けられており、第１のカセット載置部には加工前の被加工物９０が収容される第１のカセット１２１が載置され、第２のカセット載置部には加工後の被加工物９０が収容される第２のカセット１２２が載置される。

第１のカセット１２１の開口の後方には、第１のカセット１２１から加工前の被加工物９０を搬出するとともに加工後の被加工物９０を第２のカセット１２２に搬入するロボット１２３が配設されている。

ロボット１２３に隣接する位置には、仮置き領域１２４が設けられており、仮置き領域１２４には位置合わせユニット１２５が配設されている。位置合わせユニット１２５は、第１のカセット１２１から搬出され仮置き領域１２４に載置された被加工物９０を、縮径する位置合わせピンで所定の位置に位置合わせ（センタリング）して、被加工物９０の中心位置を決定する。

位置合わせユニット１２５と隣接する位置には、被加工物９０を保持した状態で旋回するローディングアーム１２６が配置されている。ローディングアーム１２６は、位置合わせユニット１２５において位置合わせされた被加工物９０を保持し、搬入出エリア内に位置づけされたチャックテーブル３０へ搬送する。ローディングアーム１２６の隣には、加工後の被加工物９０を保持した状態で旋回するアンローディングアーム１２７が設けられている。アンローディングアーム１２７の可動範囲内には、アンローディングアーム１２７により搬送された加工後の被加工物９０を洗浄する枚葉式の洗浄ユニット１２８が配置されている。洗浄ユニット１２８で洗浄された被加工物９０は、ロボット１２３によって第２のカセット１２２に搬入される。

図１に示すように、第２の装置ベース１１上の後方（＋Ｙ方向側）には第１のコラム１３が立設されており、第１のコラム１３の前面には粗研削送りユニット２２が配設されている。粗研削送りユニット２２は、鉛直方向（Ｚ軸方向）の軸心を有するボールネジ２２０と、ボールネジ２２０と平行に配設された一対のガイドレール２２１と、ボールネジ２２０に連結しボールネジ２２０を回動させるモータ２２２と、内部のナットがボールネジ２２０に螺合し側部がガイドレール２２１に摺接する昇降ブロック２２３と、昇降ブロック２２３に連結され粗研削ユニット２０を保持するホルダ２２４とから構成され、モータ２２２がボールネジ２２０を回動させると、これに伴い昇降ブロック２２３がガイドレール２２１にガイドされてＺ軸方向に往復移動し、ホルダ２２４に支持された粗研削ユニット２０もＺ軸方向に往復移動する。

粗研削ユニット２０は、軸方向が鉛直方向（Ｚ軸方向）であるスピンドル２００と、スピンドル２００を回転可能に支持する図示しないハウジングと、スピンドル２００を回転駆動するモータ２０２と、スピンドル２００の下端に接続された円形状のマウント２０３の下面に着脱可能に接続された加工具である研削ホイール２０４（図２参照）とを備える。そして、研削ホイール２０４は、ホイール基台と、ホイール基台の底面に環状に装着された略直方体形状の複数の図示しない粗研削砥石とを備える。粗研削砥石は、例えば、砥石中に含まれる砥粒が比較的大きな砥石である。

例えば、図１に示すスピンドル２００の内部には、Ｚ軸方向に延びる研削水流路が形成されており、この研削水流路に図示しない研削水供給部が連通している。研削水供給部からスピンドル２００に対して供給される加工水（研削水であり、例えば純水）は、研削水流路の下端の開口から粗研削砥石に向かって下方に噴出し、粗研削砥石とチャックテーブル３０に吸引保持された被加工物９０との接触部位に到達する。

また、図１に示す第２の装置ベース１１上の後方には、第２のコラム１４が第１のコラム１３にＸ軸方向に並んで立設しており、第２のコラム１４には仕上げ研削送りユニット２３が配設されている。仕上げ研削送りユニット２３は、粗研削送りユニット２２と同様に構成されており、仕上げ研削ユニット２１をＺ軸方向に研削送りすることができる。仕上げ研削ユニット２１は、砥石中に含まれる砥粒が比較的小さな図２に示す仕上げ研削砥石２０６を備えており、その他の構成は先に説明した粗研削ユニット２０と略同様となっている。

第２の装置ベース１１の中央領域には、ターンテーブル１５が配設され、ターンテーブル１５の上面には、例えば３つのチャックテーブル３０（図１においては１つのみ図示）が周方向に等間隔を空けて配設されている。ターンテーブル１５は、Ｚ軸を軸に回転可能となっており、ターンテーブル１５が回転することで、３つのチャックテーブル３０を公転させ、各チャックテーブル３０を搬入出エリア１１２、粗研削ユニット２０の下方、又は仕上げ研削ユニット２１の下方に順次移動させることができる。なお、研削装置１が、例えば研削ユニットが一軸の研削加工装置である場合には、ターンテーブル１５ではなく、電動スライダ等がチャックテーブル３０をＹ軸方向に直動させる構成となっていてもよい。

チャックテーブル３０は、例えば、その外形が円形状であり、図示しない吸引源に連通し、吸引源が吸引することで生み出された吸引力が伝達されるポーラス部材等で構成される保持面３００を備えており、被加工物９０を保持面３００で吸引保持することができる。

研削装置１は、被加工物９０の研削加工を行うためにチャックテーブル３０と研削ホイール２０４とを収容する加工室を備えている。例えば、加工室は、本実施形態においては、研削装置１が粗研削ユニット２０と仕上げ研削ユニット２１との２軸の加工ユニットを備えているため、第２の装置ベース１１上の粗研削ユニット２０の下方の第１の加工室４９と、仕上げ研削ユニット２１の下方の第２の加工室４との計２つ配設されている。そして、第２の装置ベース１１の第１の加工室４９、及び第２の加工室４から露出している領域が、搬入出エリア１１２となっている。なお、第１の加工室４９と第２の加工室４は内部で分かれておらず、一体となった一つの加工室となっていてもよい。

図１に示す粗研削ユニット２０の下方に配設された第１の加工室４９は、仕上げ研削ユニット２１の下方に配設された第２の加工室４と同様の構成となっているため、以下に、仕上げ研削ユニット２１の下方に配設された第２の加工室４（以下、加工室４と省略する。）について説明し、第１の加工室４９の説明は省略する。図１～図３に示す加工室４は、側板５と、天板６とを備え、天板６は、研削ホイール２０４にアクセスするための開口６９（図３参照）を開閉する扉機構を備え、側板５は、上端に天板６を載置する図３に示す第１載置部５２５及び第２載置部５２６を備え、第１載置部５２５及び第２載置部５２６と共に所定の矩形エリア５２４を加工室４内に９０度倒し開口６９を拡張する可動側板５２と、可動側板５２以外の固定側板５３と、可動側板５２に配設されたシール部５４（図４参照）と、を備えている。第１の加工室４９も、側板５、及び開口６９を広く開けることができる天板６を同様に備えている。

図１及び図２に示す固定側板５３は、例えば、図１に示す搬入出エリア１１２側の正面側板５３０と、正面側板５３０に連結されターンテーブル１５上で粗研削ユニット２０の下方に配設された第１の加工室４９と第２の加工室４とを区分けする区分け側板５３１と、区分け側板５３１とＸ軸方向に対向して＋Ｘ方向側に配設された側面側板５３３と、側面側板５３３と区分け側板５３１とに連結された背面側板５３２とを備えている。なお、正面側板５３０と区分け側板５３１とは、図１にのみ図示している。

図１に示す正面側板５３０はその下部側が略長方形状に切り欠かれており、この切り欠かれた部分である入口を回転するターンテーブル１５が通過することで、チャックテーブル３０を第１の加工室４９内に収容することができ、また、チャックテーブル３０を第２の加工室４から該切り欠かれた部分である出口を通過させて退出させる。なお、正面側板５３０には、該入口や出口を開閉する図示しないシャッター又は水カーテンが配設されている。なお、シャッター又は水カーテンは、ターンテーブル１５に備えていてもよい。研削加工中は図示しない該シャッター等によって該入口や出口から研削水噴霧が第１の加工室４９や第２の加工室４外に飛散しないようになる。
また、図１に示す区分け側板５３１には、チャックテーブル３０を通過させる図示しない通過口が形成されており、チャックテーブル３０は第１の加工室４９から該図示しない通過口を通過して、第２の加工室４内に入る。なお、区分け側板５３１は無くてもよい。

図２は、固定側板５３を構成する側面側板５３３側（即ち、研削装置１の＋Ｘ方向側）から天板６が閉じられた状態の第２の加工室４を見た場合を示している。図２に示す天板６は、図１に示す区分け側板５３１により近い－Ｘ方向側にその大部分が位置する固定天板６０と、一枚板で形成され固定天板６０に連結され谷折りヒンジ６１１によって固定天板６０の上面側に回動するように谷折り可能な第１開閉天板６１と、図２においてその全体が示され背面側板５３２に谷折りヒンジ６２１によって接続された第２開閉天板６２と、を備えている。

図２に示すように、第１開閉天板６１よりも大きな第２開閉天板６２は、一端が背面側板５３２に谷折りヒンジ６２１を介して接続され加工室４の外側に向かって回動可能である回転天板６２２と、一端が回転天板６２２の他端に山折りヒンジ６２３を介して接続され加工室４の内側に向かって回転可能である折り畳み天板６２６と、開かれた状態の回転天板６２２を支える背もたれ６２４と、回転天板６２２の上面に配設された取っ手６２５とを備えている。本実施形態においては、上記谷折りヒンジ６１１、第１開閉天板６１、谷折りヒンジ６２１、山折りヒンジ６２３、及び第２開閉天板６２によって、加工室４内に位置付けされた研削ホイール２０４にアクセスするための開口６９（図３参照）を開閉する扉機構が形成される。

図２、図３に示すように、折り畳み天板６２６の側面は一部が円弧状に切り欠かれている。第１開閉天板６１もその外側面の一部が円弧状に切り欠かれている。そして、固定天板６０に形成された円弧状の切り欠きと、折り畳み天板６２６の円弧状の切り欠きと、第１開閉天板６１の円弧状の切り欠きとによって、図２に示すように加工室４が閉じた状態において、研削ホイール２０４を加工室４内に進入させる円形状のホイール通過口６３が研削ホイール２０４の直下に形成される。

図２～図４に示す可動側板５２は、本実施形態においては、側面側板５３３の上部側に図４に示す谷折りヒンジ５２１を介して接続されている。図２、図３に示す加工室４内に９０度倒されていない状態の可動側板５２は、側面側板５３３の矩形の切り欠き部分に嵌められ側面側板５３３の加工室４内側に配設された谷折りヒンジ５２１に接続された矩形板状の可倒部５２３と、可倒部５２３の上端から水平に折り畳み天板６２６側に延在する平面視略矩形で板状の矩形エリア５２４とを備えている。

天板６を構成する折り畳み天板６２６の先端側の一部は、略矩形に切り欠かれており、該矩形の切り欠き部分に矩形エリア５２４が対応している。図３に示す矩形エリア５２４の上面の外周側の領域と可倒部５２３の上端面とによって、天板６を構成する閉じられた状態の第２開閉天板６２の外周側下面が載置される第２載置部５２６が形成される。なお、閉じられた状態の第２開閉天板６２の外周側下面は、図３に示す固定天板６０に形成され水平に延在する張り出し部６０６にも載置される。
また、図３に示す矩形エリア５２４の上面の外周側の領域は、閉じられた状態の第１開閉天板６１の外周側下面が載置される第１載置部５２５となる。

図２に示すように、可動側板５２を構成する可倒部５２３の外面の左右両端側には、例えばＬ字フック５５１がそれぞれ取り付けられており、その両脇には側面側板５３３に取り付けられたハンドルストッパ５５２がそれぞれ位置しており、図２、図３においては、ハンドルストッパ５５２がＬ字フック５５１に係合しており、可動側板５２が加工室４内に倒れないように固定された状態になっている。

例えば、図２、図３に示す側面側板５３３の上部側には、折り畳み天板６２６が開口６９を開くために折り畳まれた状態において折り畳み天板６２６の先端がつっかえることで支えられる凸状ストッパ５３５が配設されている。凸状ストッパ５３５は、第２開閉天板６２が開口６９を閉じている状態においては、回転天板６２２に形成された嵌合孔６２７に嵌っている。

図４～図６に示すように、可動側板５２の可倒部５２３の左右両端には、シール部５４が配設されている。シール部５４は、本実施形態においては、固定側板５３を構成する側面側板５３３の内側面に配設されＺ軸方向に延在する棒状部５３７（図５、図６のみ図示）と組み合わさることによってラビリンス構造を形成して、加工室４内から加工水が外に噴出してしまうことを防ぐ。即ち、天板６が閉じられ、可動側板５２が９０度倒されておらずハンドルストッパ５５２によって固定されて立っている状態において、図６に示す凹状に形成されたシール部５４に棒状部５３７が嵌ることで、漏水を防ぐラビリンス構造が形成される。

なお、シール部５４は、上記ラビリンス構造を形成する形態に限定されるものではなく、例えば、可倒部５２３と側面側板５３３との左右の境界部分に、スポンジをシール部として可倒部５２３又は側面側板５３３に配設してもよい。

以下に、図１、図２に示す第１の加工室４９及び第２の加工室４が閉じられた状態の研削装置１において、チャックテーブル３０に保持された被加工物９０を研削する場合の研削装置１の動作について説明する。まず、図１に示すターンテーブル１５が回転することで、被加工物９０が載置されていない状態のチャックテーブル３０が公転し、チャックテーブル３０がローディングアーム１２６の近傍まで移動し搬入出エリア１１２内に位置付けされる。そして、ロボット１２３が第１のカセット１２１から一枚の被加工物９０を引き出し、被加工物９０を仮置き領域１２４に移動させる。次いで、位置合わせユニット１２５により被加工物９０が仮置き領域１２４上でセンタリングされる。

ローディングアーム１２６が、センタリングされた被加工物９０をチャックテーブル３０上に搬送する。図示しない吸引源が作動して、チャックテーブル３０が保持面３００上で被加工物９０を裏面９０１が上方に露出した状態で吸引保持する。チャックテーブル３０が被加工物９０を吸引保持した後、ターンテーブル１５が回転することで、ターンテーブル１５、及び被加工物９０を保持したチャックテーブル３０が、第１の加工室４９内に正面側板５３０の入口を通過して進入する。そして、粗研削ユニット２０の回転しながら下降する粗研削砥石によって、被加工物９０が粗研削される。

粗研削完了後に、ターンテーブル１５が所定角度公転することで、仕上げ研削ユニット２１の研削ホイール２０４の回転中心が被加工物９０の回転中心に対して所定距離だけ水平方向にずれ、仕上げ研削砥石２０６の回転軌跡がチャックテーブル３０に吸引保持された被加工物９０の回転中心を通るように位置合わせが行われる。また、モータ２０２がスピンドル２００を回転させ、研削ホイール２０４が所定の回転速度で回転する。

仕上げ研削ユニット２１が仕上げ研削送りユニット２３によって降下していき、研削ホイール２０４（図２参照）が加工室４内にホイール通過口６３を通り進入し、図２に示す仕上げ研削砥石２０６が被加工物９０の裏面９０１に当接することで研削加工が行われる。研削中は、チャックテーブル３０が回転し被加工物９０も回転するので、研削ホイール２０４が被加工物９０の裏面９０１の全面の研削加工を行う。また、仕上げ研削砥石２０６と被加工物９０の裏面９０１との接触箇所に対してスピンドル２００を通して研削水が供給され、研削水による接触箇所の冷却及び研削屑の洗浄除去が行われる。研削屑を含んだ研削水は、加工室４内の図示しない排水口から排水される。

研削加工が開始されることで細かな研削屑が生成されて研削水に混じって噴霧となって飛散する。図１、図２に示すホイール通過口６３は、例えば研削ホイール２０４よりも僅かに大きく形成されており、その周囲には例えばシール部材が配設されており、該シール部材と加工室４内に進入した研削ホイール２０４とによって、ホイール通過口６３から噴霧が加工室４外に飛散してしまうことが無いようになっている。また、図１に示す加工室４の正面側板５３０の入口も、シャッター又は水カーテンなどによって噴霧の外部への飛散が無いようになっている。さらに、閉じられた状態の加工室４は、シール部５４（図６参照）を備えているため、図２に示すように可動側板５２が９０度倒されておらずハンドルストッパ５５２によって固定されて立っている状態においてラビリンス構造が形成され、シール部５４によって加工室４から噴霧が外に漏れてしまうことが防がれる。

仕上げ研削厚みまで被加工物９０が研削された後に、図１、図２に示す仕上げ研削ユニット２１が上昇して、研削ホイール２０４が被加工物９０から離間する。

仕上げ研削が完了した後、ターンテーブル１５及び被加工物９０を保持するチャックテーブル３０が加工室４の正面側板５３０に形成されている出口を通過して、搬入出エリア１１２に位置づけされる。そして、図１に示すアンローディングアーム１２７が、研削後の被加工物９０を洗浄ユニット１２８に搬送する。洗浄ユニット１２８が被加工物９０を洗浄した後、ロボット１２３が被加工物９０を第２のカセット１２２に搬入する。

上記のように被加工物９０に対して仕上げ研削砥石２０６で研削加工を施していくことで、仕上げ研削砥石２０６は消耗していくため、適宜のタイミング（例えば、複数枚の被加工物９０を研削した後）で仕上げ研削ユニット２１の研削ホイール２０４の交換を行う必要がある。その際に、図２示す状態から図３に示す状態のように、天板６を開いて開口６９を開いた状態にするとともに、可動側板５２を加工室４内に９０度倒して図３に示す状態から図４に示す状態のように開口６９を拡張して、作業者が加工室４内の研削ホイール２０４に容易にアクセスできるようにする。

天板６の研削ホイール２０４にアクセスするための開口６９を開閉する扉機構を使用する。具体的には、まず、作業者が図２に示す取っ手６２５を把持して、図２においては閉じられた状態（図３に示す第２載置部５２６及び張り出し部６０６に載置された状態）の折り畳み天板６２６及び回転天板６２２を上側に引き上げることで、凸状ストッパ５３５が回転天板６２２の嵌合孔６２７からはずれる。

そして、回転天板６２２を、谷折りヒンジ６２１を支点として回転させて、図３に示すように立てた状態にしつつ、その上面を背もたれ６２４に当接させる。さらに、折り畳み天板６２６を、山折りヒンジ６２３を支点として加工室４内側に回転させて折り畳み、かつ、その先端を図３に示す凸状ストッパ５３５の外側面につっかける。その結果、回転天板６２２の加工室４内側の面と折り畳み天板６２６の加工室４側の面とを向かい合わせて、回転天板６２２を背もたれ６２４で支え、折り畳み天板６２６の先端を凸状ストッパ５３５で支え、回転天板６２２と折り畳み天板６２６とを加工室４上で立設させて開口６９を開いた状態で維持することが可能となる。
なお、折り畳み天板６２６を折り畳む最中には、折り畳み天板６２６の先端側の矩形エリア５２４に対応する部分は矩形状に切り欠かれているため、該切り欠き部分を可倒部５２３が通過するため、折り畳み天板６２６が可倒部５２３に衝突してしまうことはない。

次いで、第１載置部５２５に載置されている状態の第１開閉天板６１を持ち上げて開いて、図３に示すようにさらに開口６９が広げられるとともに、加工室４内の研削ホイール２０４の周囲に作業者がさらにアクセスしやすくなる。

次いで、図３に示す可動側板５２を加工室４内に向かって９０度倒す。即ち、作業者が２つのハンドルストッパ５５２を外に向かって回動させてそれぞれＬ字フック５５１から外す。そして、可動側板５２を加工室４内に向かって９０度倒すことで、水平に延在していた矩形エリア５２４が鉛直方向（Ｚ軸方向）に延在して図４～図６に示すように開口６９がより広がった状態になる。また、可動側板５２とともに倒れるシール部５４が、側面側板５３３の棒状部５３７（図５、図６参照）から外れてラビリンス構造が解除される。

図４に示すように、開口６９が大きく開かれた状態とすることで、加工室４内にあるチャックテーブル３０及び研削ホイール２０４が露出した状態になるため、作業者が研削ホイール２０４にアクセスして新しいものと交換することができ、研削ホイール２０４等の開口６９からの出し入れも容易となる。また、図４～図６に示す９０度倒された状態の可倒部５２３の上面５２７は、作業者が交換する研削ホイール２０４やその他交換の際に用いる治具等を仮置きする作業台として使用することが可能となる。
なお、図１に示す粗研削ユニット２０の粗研削砥石を有する研削ホイール２０４を交換する場合においても、第１の加工室４９の開口６９が同様に大きく開かれて交換が行われる。

本発明に係る加工装置１（研削装置１）は上記実施形態に限定されず、その技術的思想の範囲内において種々異なる形態にて実施されてよいことは言うまでもない。また、研削装置１を用いた研削の各工程、及び研削ホイール２０４の交換の各工程についても、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。

１：加工装置（研削装置）１０：第１の装置ベース１１：第２の装置ベース
１１２：搬入出エリア
１２１:第１のカセット１２２：第２のカセット１２３：ロボット
１２４：仮置き領域１２５：位置合わせユニット１２６：ローディングアーム
１２７：アンローディングアーム１２８：洗浄ユニット
１３：第１のコラム１４：第２のコラム１５：ターンテーブル
２０：粗研削ユニット２０４：研削ホイール２１：仕上げ研削ユニット
２２：粗研削送りユニット２３：仕上げ研削送りユニット
３０：チャックテーブル３００：保持面
４９：第１の加工室４：第２の加工室
５：側板
５２：可動側板５２１：谷折りヒンジ５２３：可倒部５２４：矩形エリア
５３：固定側板
５３０：正面側板５３１：区分け側板５３２：背面側板５３３：側面側板
５３５：凸状ストッパ５３７：棒状部
５４：シール部５５１：Ｌ字フック５５２：ハンドルストッパ
６：天板
６０：固定天板
６１：第１開閉天板６１１：谷折りヒンジ
６２：第２開閉天板６２１：谷折りヒンジ６２２：回転天板６２３：山折りヒンジ
６２４：背もたれ６２５：取っ手６２６：折り畳み天板６２７：嵌合孔
６３：ホイール通過口６９：開口
９０：被加工物９０１：裏面９０２：表面９１：保護テープ

Claims

スピンドルの先端に加工具を装着し該スピンドルを回転させ、該加工具、及びチャックテーブルに保持された被加工物に加工水を供給しながら該チャックテーブルと該加工具とを収容する加工室内で被加工物を加工する加工装置であって、
該加工室は、側板と、天板とを備え、
該天板は、該加工具にアクセスするための開口を開閉する扉機構を備え、
該側板は、上端に該天板を載置する載置部を備え、該載置部と共に所定の矩形エリアを該加工室内に９０度倒し該開口を拡張する可動側板と、該可動側板以外の固定側板と、該可動側板に配設されたシール部と、を備える加工装置。