JP5689367B2 - 基板搬送方法および基板搬送機 - Google Patents
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Description
本発明の好ましい態様は、前記上側のテーパ面と前記下側のテーパ面は対称的な形状を有していることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、基板の有無を検知する基板検知器をさらに備えたこと特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記上側のテーパ面と前記下側のテーパ面は対称的な形状を有していることを特徴とする。
図1は、本発明の一実施形態に係る基板搬送機を備えた基板処理装置を示す図である。図1に示すように、この基板処理装置は、略矩形状のハウジング1を備えており、ハウジング1の内部は隔壁1a,1bによってロード/アンロード部2と研磨部3と洗浄部4とに区画されている。基板処理装置は、基板処理動作を制御する制御部5を有している。
2 ロード/アンロード部
3 研磨部
3A,3B,3C,3D 研磨ユニット
4 洗浄部
5 制御部
6 第1リニアトランスポータ
7 第2リニアトランスポータ
10 研磨パッド
11 リフタ
12 スイングトランスポータ(基板搬送機)
20 フロントロード部
21 走行機構
22 搬送ロボット
30A,30B,30C,30D 研磨テーブル
31A,31B,31C,31D トップリング
32A,32B,32C,32D 研磨液供給ノズル
33A,33B,33C,33D ドレッサ
34A,34B,34C,34D アトマイザ
162 スイング機構
165 昇降駆動機構
167 反転機構
170 把持機構
171 支持アーム
172 チャック
175 溝
176 基板検知センサ
180 仮置き台
201 一次洗浄モジュール
202 二次洗浄モジュール
205 乾燥モジュール
209 第1搬送ロボット
210 第2搬送ロボット
Claims (5)
- 基板を搬送する方法において、
円筒面と、前記円筒面の上端から上方に傾斜する上側のテーパ面と、前記円筒面の下端から下方に傾斜する下側のテーパ面とからなる溝が複数形成された一対の支持アームにより、基板の周端部が前記溝に挿入された状態で該基板の周端部を支持し、
前記一対の支持アームを反転させることで前記基板を反転させて、該基板の周端部を前記上側のテーパ面で支持し、
前記円筒面と前記基板の周端部との間に所定のクリアランスが形成された状態で、反転された前記支持アームおよび前記基板を移動機構により移動させることを特徴とする基板搬送方法。 - 前記上側のテーパ面と前記下側のテーパ面は対称的な形状を有していることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送方法。
- 基板を搬送する基板搬送機において、
基板の周端部を支持する一対の支持アームと、
前記支持アームを互いに近接および離間する方向に移動させる開閉機構と、
前記一対の支持アームを反転させる反転機構と、
前記開閉機構に連結された移動機構とを備え、
前記一対の支持アームは、円筒面と、前記円筒面の上端から上方に傾斜する上側のテーパ面と、前記円筒面の下端から下方に傾斜する下側のテーパ面とからなる溝を複数有しており、
前記開閉機構は、基板の周端部が前記溝に挿入され、かつ前記円筒面と前記基板の周端部との間に所定のクリアランスが形成されるまで前記支持アームを互いに近接する方向に移動させ、
前記反転機構は、前記一対の支持アームを反転させることで前記基板を反転させて、該基板の周端部を前記上側のテーパ面で支持させ、
前記移動機構は、前記所定のクリアランスを維持した状態で、反転された前記支持アームおよび前記基板を移動させることを特徴とする基板搬送機。 - 基板の有無を検知する基板検知器をさらに備えたこと特徴とする請求項3に記載の基板搬送機。
- 前記上側のテーパ面と前記下側のテーパ面は対称的な形状を有していることを特徴とする請求項3または4に記載の基板搬送機。
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