CN104973391B - 物品输送车 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种在能够防止盖体从由把持部把持的容器的落下的同时、能够抑制装置的大型化的物品输送车。设有：落下防止体（32），向在盖体（Bt）的外表面侧接近于盖体（Bt）而防止盖体（Bt）的落下的接近位置、和从盖体（Bt）远离而容许盖体（Bt）的拆装的远离位置切换自如；连动机构（R），随着一对把持部（31）被把持驱动部（30m）从把持位置切换为把持解除位置，将盖落下防止体（32）从接近位置向远离位置切换，并且随着一对把持部（31）被把持驱动部（30m）从把持解除位置切换为把持位置，将盖落下防止体（32）从远离位置向接近位置切换。

Description

物品输送车
技术领域
本发明涉及在把持着具有拆装自如的盖体的输送对象的物品的上端部的状态下沿着行进轨道行进而输送该物品的物品输送车。
背景技术
在国际公开第2009/141976号（专利文献1）中，公开了顶棚输送型的物品输送车。在专利文献1中，行进轨道架设在顶棚上，在该行进轨道的下方（地上侧）设有物品交接部位。物品输送车将物品从输送源的物品交接部位输送到输送目标的物品交接部位。物品输送车具有升降体和一对把持部。在输送源的物品交接部位处接受物品并将物品输送到输送目标的物品交接部位的情况下，物品输送车如以下这样动作。物品输送车在与物品交接部位对应的行进位置使升降体下降，用装备在升降体上的把持部把持物品的上端部，在此状态下使升降体上升，由此接受物品。物品输送车把持着物品而行进到与输送目标的物品交接部位对应的行进位置。物品输送车在该位置使升降体下降，将把持解除。
在专利文献1中，在输送对象的物品上具备将该物品的开口堵塞的盖体。并且，专利文献1的物品输送车的一对把持部以物品的侧面（对应于通过盖体关闭的容器的开口部）朝向与物品输送车的行进方向正交的方向的姿势把持物品。此外，在物品输送车上，设有在将物品输送时将行进方向上的该物品的前后覆盖的罩部。在前后各自的罩部上，设有防止盖体的落下的盖落下防止体。盖落下防止体向位于盖体的正面的落下防止位置和从盖体的正面退避的退避位置切换自如。在罩部上，还设有将该盖落下防止体的位置在落下防止位置与退避位置之间切换的驱动部。
专利文献1中的盖落下防止体安装在罩部上。该罩部配置在顶棚侧，不与升降体一起升降。因此，当通过升降体使物品上升或下降时，不能使盖落下防止体对盖体作用，不能防止盖体从物品落下。也可以考虑将盖落下防止体安装到升降体上，但由于为了切换盖落下防止体的位置而需要驱动部（例如驱动用马达），所以有可能导致升降体的大型化或重量的增大。特别是，顶棚输送型的物品输送车上的升降体通过金属线等悬挂的情况较多，如果升降体的重量变重，则作用在金属线等上的负荷变大，并不好。如果在将驱动部装备在物品输送车的主体侧的状态下向升降体装备盖落下防止体，则必须在传递驱动部的驱动力的同时容许升降体的升降，导致结构的复杂化。
此外，同样的问题例如如果是物品输送车在铺设于地面上的行进轨道上行进的地上行进型的形态也可能发生。例如在地上行进型的物品输送车上具备作为移动操作部的选择顺应性装配机械手臂（SCARA）的情况下，该选择顺应性装配机械手臂使物品在从物品输送车远离的物品交接部位与物品输送车之间移动。这里，为了在物品在物品交接部位与物品输送车之间移动的期间中也防止盖体的落下，例如在设在选择顺应性装配机械手臂的前端处的支承部上具备驱动用马达。结果，与顶棚输送型的物品输送车的情况同样，导致支承部的大型化或重量的增大，作用在选择顺应性装配机械手臂上的负荷有可能变大。此外，如果将驱动用马达装备到物品输送车的主体侧，则必须在将驱动用马达的驱动力向装备在支承部上的盖落下防止体传递的同时容许支承部的移动，导致结构的复杂化。
发明内容
鉴于上述问题，希望实现不会导致装置的大型化及结构的复杂化、能够遍及从具备盖体的物品的输送源到输送目标之间防止盖体的落下的物品输送车。
有关本发明的物品输送车作为1个优选的形态，如以下这样构成。
一种物品输送车，以由容器构成的物品为输送对象，所述容器拆装自如地具备将形成在容器的侧面上的开口自如开闭的盖体，所述物品输送车具备：行进体，沿着行进轨道行进；一对把持部，连结在上述行进体上，把持输送对象的物品的上端部；把持驱动部，驱动上述一对把持部；和移动操作部，将上述一对把持部及上述把持驱动部在交接用位置与行进用位置之间进行位置切换；这里，上述交接用位置是从上述行进体远离的位置；上述行进用位置是接近于上述行进体的位置；上述行进体以上述一对把持部位于上述行进用位置的状态行进；上述把持驱动部构成为，在上述交接用位置，将上述一对把持部向把持位置和把持解除位置切换，在所述把持位置，上述一对把持部相互接近而把持上述容器的上端部，在所述把持解除位置，上述一对把持部相互远离；该物品输送车还具备：盖落下防止体，防止上述盖体的落下；和连动机构，切换上述盖落下防止体的位置；上述盖落下防止体向接近位置和远离位置切换自如，在所述接近位置，上述盖落下防止体在上述盖体的外表面侧接近于上述盖体而防止上述盖体的落下，在所述远离位置，上述盖落下防止体从上述盖体远离而容许上述盖体的拆装；上述连动机构随着上述一对把持部被上述把持驱动部从上述把持位置切换为上述把持解除位置，将上述盖落下防止体从上述接近位置向上述远离位置切换，并且，随着上述一对把持部被上述把持驱动部从上述把持解除位置切换为上述把持位置，将上述盖落下防止体从上述远离位置向上述接近位置切换。
盖落下防止体通过连动机构与一对把持部被从把持解除位置切换为把持位置连动，被从远离位置向接近位置切换。因此，能够不另外具备用来驱动盖落下防止体的驱动部，而将盖落下防止体在接近位置与远离位置之间切换。此外，盖落下防止体由于与把持部的运动连动而运动，所以在把持部被切换为把持位置的时点，盖落下防止体的向接近位置的切换完成。因而，能够准确地防止从物品交接部位将容器取出时的盖体从容器的落下。如上述那样，在专利文献1等的物品输送车中，虽然在把持着容器的上端的把持部到达行进用位置后能够防止盖体的落下，但是在把持部从交接用位置移动到行进用位置的期间中，不能防止盖体的落下。但是，根据本结构，能够不导致装置的大型化或结构的复杂化而遍及从容器的输送源到输送目标之间防止盖体的落下。
作为1个形态，物品输送车优选的是，还具备升降体，所述升降体相对于上述行进体上升移动及下降移动自如；在上述升降体上，设有上述把持部、上述把持驱动部、上述连动机构及上述盖落下防止体。
在设有相对于行进体上升移动及下降移动自如的升降体的顶棚输送车中，有想要尽量使升降体的重量轻量化的要求。如果如上述那样构成为，使盖落下防止体的接近位置与远离位置之间的切换连动于一对把持部的把持动作，则不需要在把持驱动部以外另外具备用来将盖落下防止体向接近位置和远离位置切换的驱动部，能够抑制升降体的重量的增大。
作为1个形态，物品输送车优选的是，上述盖落下防止体构成为，在上述接近位置，上述盖落下防止体的至少一部分接近于将上述容器的开口用上述盖体闭塞的情况下的上述盖体的上端部。
盖落下防止体装备在位于容器的上方的升降体上。因而，如果以位于将容器的开口闭塞的状态的盖体的上端侧的方式装备盖落下防止体，则能够使盖落下防止体向升降体的安装位置与盖落下防止体抑制盖体的落下的作用位置之间的距离比较短。即，根据该结构，能够抑制盖落下防止体的大型化。并且，在盖体从容器的开口脱离的情况下，通过盖体的上端部与位于接近位置的盖落下防止体的一部分抵接，能够抑制容器的盖体的上端部分向容器外方的移动，抑制盖体从容器落下的状况。
作为1个形态，优选的是，上述把持部构成为，在上述容器的盖体位于相对于上述行进体的行进方向在俯视观察正交的方向的一侧的状态下把持上述容器的上端部；上述盖落下防止体由板状体构成，并且沿着上述行进体的行进方向向上述接近位置和上述远离位置切换自如地构成，所述板状体在俯视观察在与上述行进体的行进方向正交的方向上薄。另外，所谓“俯视观察”，是指从沿着铅直方向的方向观察的状态。
盖落下防止体设置为，防止盖体朝向相对于行进体的行进方向在俯视观察正交的方向（横向）的一侧的落下。如果该盖落下防止体由在横向上较薄的板状体构成，并且构成为沿着行进体的行进方向切换为接近位置和远离位置，则能够使盖落下防止体的横向的大小变小。因而，当使升降体在交接用位置与行进用位置之间升降时，抑制落下防止体占用的空间的大小变小。因此，在物品输送车的附近设置处理装置等其他设备的情况下，因与盖落下防止体的干涉带来的设置上的制约较少，其他设备的设置的自由度提高。
作为1个形态，物品输送车优选的是，上述把持部构成为，通过滑动移动被位置切换为上述把持位置和上述把持解除位置；上述盖落下防止体构成为，能够绕水平轴心转动而将姿势切换为上述接近位置和上述远离位置；上述连动机构由连杆机构构成，所述连杆机构将上述把持部的滑动移动变换为上述盖落下防止体的转动移动。
即，通过使用将把持部的滑动移动变换为板状体的转动移动的连杆机构，随着把持部的滑动移动，盖落下防止体能够绕水平轴心转动而将姿势切换为接近位置和远离位置。根据上述结构，能够使用简单的机构将盖落下防止体的位置切换为接近位置和远离位置。
附图说明
图1是有关实施方式的顶棚输送车的侧视图。
图2是表示升降体及装备在其上的盖落下防止体的主要部概略侧视图。
图3是表示升降体及装备在其上的盖落下防止体的主要部概略主视图。
图4是表示升降体及装备在其上的盖落下防止体的主要部概略侧视图。
图5是表示把持部驱动机构及盖落下防止体连动机构的主要部的立体图。
图6是表示把持部驱动机构及盖落下防止体连动机构的主要部的立体图。
图7是表示把持部驱动机构及盖落下防止体连动机构的其他形态的侧视图。
图8是表示把持部驱动机构及盖落下防止体连动机构的其他形态的侧视图。
图9是表示把持部驱动机构及盖落下防止体连动机构的其他形态的侧视图。
图10是表示把持部驱动机构及盖落下防止体连动机构的其他形态的侧视图。
具体实施方式
关于本发明的物品输送车，以沿着设在顶棚侧的行进轨道2行进的顶棚输送车为例，说明其实施方式。如图1所示，顶棚输送车1具备在从顶棚悬挂的行进轨道2上行进自如的行进体11、和通过连结轴连结在行进体11上的主体部12。行进体11具备在行进轨道2上滚动的多个行进车轮W。
顶棚输送车1的输送对象的物品，是拆装自如地具备盖体Bt的FOUP（Front OpenUnified Pod；前开式标准晶圆盒）等半导体容器（以后称作容器B），所述盖体Bt将形成在侧面上的开口自如开闭。顶棚输送车1构成为，在设定为关于多个处理装置的各自的交接部位的多个交接用载置台（物品交接部位）之间输送容器B。交接用载置台设在在行进轨道2的下方远离的位置。另外，处理装置构成为，对半导体基板的制造中途的半制品等进行规定的处理（图案曝光或蚀刻等），在俯视观察设在行进体11的行进路径的侧方。因此，顶棚输送车1将容器B的其开口侧（即盖体Bt的存在侧）的侧面在俯视观察朝向与行进体11的行进方向正交的方向，把持容器B并输送。另外，所谓“俯视观察”，是从沿着铅直方向的方向观察的状态。
主体部12在行进体11的行进方向上在前后具备罩部12C，如图1所示，在侧视观察形成为在下方开口的倒U字状。另外，所谓“侧视观察”，是指从沿着相对于行进体的行进方向在俯视观察正交的方向（横方向）的方向观察的状态。主体部12被水平姿势的支承板12S上下划分，在支承板12S的上侧支承着升降驱动部M（移动操作部）。升降驱动部M具备升降用马达19m和升降用鼓筒19d。在升降用鼓筒19d上，连接着金属线19a的一端，升降用鼓筒19d被升降用马达19旋转驱动，将金属线19a卷取或放出。在支承板12S上，设有金属线19a穿过的孔部（图示省略），被升降用鼓筒19d卷取或放出的金属线19a的端部在支承板12S的下方连接在升降体30上。升降体30通过金属线19a悬挂。能够通过由升降用马达19m的正转驱动将金属线19a卷取到升降用鼓筒19d上，使升降体30上升，通过由反转驱动将金属线19a从升降用鼓筒19d放出，使升降体30下降。
如图2所示，升降体30具备一对把持部31和把持部驱动机构K。一对把持部31将装备在容器B的上端的凸缘部Bf把持，把持部驱动机构K使一对把持部31接近移动或远离移动。把持部驱动机构K具备由驱动用马达30m转动驱动的螺纹轴33。螺纹轴33构成为，在长度方向中央部，螺旋的前进方向逆转。
如图2～图6所示，一对把持部31分别具备把持块31h、移动块31k和连接部31s。把持块31h具备与容器B的凸缘部Bf卡合的水平部31a，移动块31k分别配置在一对把持部31的上端部，通过拧合部31b与螺纹轴33拧合。连接部31s将把持块31h与移动块31k连接。如上述那样，螺纹轴33构成为，在长度方向中央部，螺旋的前进方向逆转。一对移动块31k分别在螺旋的前进方向的不同部分与螺纹轴33拧合。
如果通过驱动用马达30m的驱动使螺纹轴33向一个旋转方向旋转，则一对移动块31k以相互接近的方式移动。由于把持块31h经由连接部31s与移动块31k连接，所以随着一对移动块31k的接近，把持块31h也相互接近。一对把持部31通过由驱动用马达30m的驱动而成为接近状态，以与安装在容器B的容器主体Bh的上端处的凸缘部Bf卡合的形态将容器B把持。此外，如果使螺纹轴33向另一个旋转方向旋转，则一对移动块31k以相互远离的方式移动。随着一对移动块31k的远离，把持块31h也相互远离。通过由驱动用马达30m的驱动使一对把持部31成为远离状态，将与凸缘部Bf的卡合解除，将容器B从把持状态解放。
这里，在一对把持部31中，将各自的把持块31h的水平部31a接近到预先规定的接近距离的位置称作“把持位置”。在“把持位置”，水平部31a和容器B的凸缘部Bf在俯视观察重复。另外，所谓“在俯视观察重复”，包括至少一部分重复的状态。此外，在一对把持部31中，将各自的把持块31h的水平部31a远离到预先规定的远离距离的位置称作“把持解除位置”。在“把持解除位置”，水平部31a和容器B的凸缘部Bf在俯视观察不重复。即，把持部31能够通过滑动移动而位置切换为把持位置和把持解除位置。此外，由于一对把持部31通过驱动用马达30m滑动移动，所以驱动用马达30m相当于把持驱动部。另外，一对把持部31和凸缘部Bf构成为，在俯视观察以规定的位置关系卡合，以便一对把持部31能够将容器B稳定地把持。
顶棚输送车1通过升降驱动部M的动作，使升降体30下降到与交接用载置台对应的位置（使升降体30位于交接用位置）。接着，顶棚输送车1通过使驱动用马达30m动作，使一对把持部31相互接近，将载置在交接用载置台上的容器B的凸缘部Bf把持。然后，顶棚输送车1通过升降驱动部M的动作使升降体30上升到行进用位置。在本实施方式中，所谓行进用位置，是由把持部31把持的容器B和罩部12C在水平方向观察重复的位置。并且，顶棚输送车1通过在升降体30位于行进用位置的状态下使行进体11行进，使容器B移动到与不同的交接用载置台对应的行进位置。
如上述那样，具备一对把持部31和驱动用马达30m的升降体30通过金属线19a悬挂，金属线19a连接在升降用鼓筒19d上。升降用鼓筒19d和升降用马达19m一起构成升降驱动部M，升降驱动部M被主体部12的支承板12S支承。主体部12通过连结轴连结在行进体11上。并且，通过行进体11和主体部12构成顶棚输送车1。这里，驱动用马达30m是驱动一对把持部31的把持驱动部，升降驱动部M是将升降体30升降移动的移动操作部。
因而，在顶棚输送车1中具备：一对把持部31，连结在行进体11上，将处于输送对象的容器B的上端部的凸缘部Bf把持；把持驱动部（驱动用马达30m），驱动一对把持部31；移动操作部（升降驱动部M），将一对把持部31及把持驱动部（驱动用马达30m）在交接用位置与行进用位置之间进行位置切换。这里，“交接用位置”被设定为与设在从行进体11（及/或行进轨道2）远离的位置处的交接用载置台对应的位置，“行进用位置”被设定为对行进体11（及/或行进轨道2）接近的位置。另外，如上述那样，在本实施方式中处理装置在俯视观察设在行进体11的行进路径的侧方。因而，把持部31构成为，在容器B的盖体Bt位于相对于行进体11的行进方向在俯视观察正交的方向的一侧的状态下与容器B的上端部的凸缘部Bf卡合，将容器B把持。
在升降体30上，还设有防止盖体Bt从容器B落下的盖落下防止体32。该盖落下防止体32将其姿势向在盖体Bt的外表面侧接近于盖体Bt的接近位置和从盖体Bt远离的远离位置切换自如。即，盖落下防止体32构成为，在接近位置防止盖体的落下，在远离位置容许盖体的拆装。盖落下防止体32的姿势的切换通过设在升降体30上的连动机构R进行。
详细后述，该连动机构R随着一对把持部31（一对移动块31k）通过驱动用马达30m移动而绕水平轴心32j转动，切换盖落下防止体32的姿势。具体而言，连动机构R随着一对把持部31（一对移动块31k）被从把持位置切换为把持解除位置，将盖落下防止体32从接近位置向远离位置切换。此外，连动机构R随着一对把持部31（一对移动块31k）被从把持解除位置切换为把持位置，将盖落下防止体32从远离位置向接近位置切换。另外，盖落下防止体32的姿势的切换，通过使盖落下防止体32沿着行进体11的行进方向移动（转动）来实现。以下，对于盖落下防止体32，基于图2～6说明其结构及作用。
盖落下防止体32如图3所示，由在与行进体11的行进方向正交的方向（横向）上较薄的板状体构成。另外，一对盖落下防止体32在沿着与行进体11的行进方向正交的方向的方向观察（侧视观察）左右对称地构成。因而，以下的说明仅对一对盖落下防止体32中的一方进行说明，关于另一方也是同样的。
如图3所示，盖落下防止体32形成为细长且较薄的板状体。盖落下防止体32的长度方向的端部固定在沿着在俯视观察与行进体11的行进方向正交的方向的水平轴心32j的一端侧。水平轴心32j被以突出的状态设在支承板12S的下表面上的轴支承体32s转动自如地支承。此外，如图2及图4等所示，在水平轴心32j的另一端侧固定着形成有长孔32h的连杆卡合部32t，以使盖落下防止体32的长度方向和长孔32h的长度方向形成规定的角度。
此外，在一对把持部31上，如图2及图4等所示，设有卡合销31p。卡合销31p以在俯视观察朝向与螺纹轴33的长度方向（沿着把持部31的移动方向的方向）正交的方向突出的形态设置。该卡合销31p沿着长孔32h的长度方向游动自如地与长孔32h卡合。
如图5所示，随着把持部31从把持解除位置向把持位置移动，卡合销31p一边在长孔32h内部滑动一边使连杆卡合部32t转动。随着该连杆卡合部32t的转动，盖落下防止体32从远离位置向接近位置移动。同样，如图6所示，随着把持部31从把持位置向把持解除位置移动，卡合销31p一边在长孔32h内部滑动一边使连杆卡合部32t转动。随着该连杆卡合部32t的转动，盖落下防止体32从接近位置向远离位置移动。
这样，在本实施方式中，由卡合销31p和形成有长孔32h的连杆卡合部32t构成的连杆机构相当于连动机构R。即，通过连动机构R，如图5的箭头Y1及图6的箭头Y2所示，把持部31的滑动移动被变换为盖落下防止体32的板状体的转动移动。图2及图3例示盖落下防止体32处于在盖体Bt的外表面侧接近于盖体Bt而防止盖体Bt的落下的接近位置的状态。此外，图4例示盖落下防止体32处于从盖体Bt远离而容许盖体Bt的拆装的远离位置的状态。即，盖落下防止体32向接近位置和远离位置切换自如地构成。此外，如图2及图3等所示，盖落下防止体32构成为，在接近位置，盖落下防止体32的至少一部分接近于将容器B的开口用盖体Bt闭塞的情况下的盖体Bt的上端部。
如以上说明，顶棚输送车1在具备防止盖体Bt的落下的盖落下防止体32和切换该盖落下防止体32的位置的连动机构R而构成这一点上具有特征。并且，该连动机构R随着将一对把持部31通过驱动用马达30m从把持位置切换为把持解除位置，将盖落下防止体32从接近位置向远离位置切换，并且，随着将一对把持部31通过驱动用马达30m从把持解除位置切换为把持位置，将盖落下防止体从远离位置切换为接近位置。
〔其他实施方式〕
（1）在上述说明中，表示了将本发明的物品输送车通过输送容器的顶棚输送车构成的例子，但并不限定于此，例如也可以通过具备行进体和移动体的物品输送车构成，所述行进体在设置在地面上的轨道上行进，所述移动体具备在前端具备一对把持部及把持驱动部、基端部连结在行进体上的选择顺应性装配机械手臂。在此情况下，通过选择顺应性装配机械手臂及驱动它的驱动马达，进行交接用位置与行进用位置之间的一对把持部的位置切换。因而，在此情况下，选择顺应性装配机械手臂及驱动它的驱动马达相当于移动操作部。
（2）在上述说明中，作为输送对象的物品而例示了半导体基板输送用的容器（FOUP）。但是，输送对象的物品并不限定于FOUP，只要是在侧面上设置开口、具备将该开口部开闭的盖体的容器，不问其用途。
（3）在上述说明中，表示了将连动机构R用由卡合销31p和形成有长孔32h的连杆卡合部32t构成的连杆机构构成的例子，但连动机构R并不限定于这样的结构。例如，如图7及图8所示，也可以是由齿轮G和与该齿轮G啮合的齿条L构成连动机构R的形态。在本例中，齿轮G被支承体41S保持，以在螺纹轴33的长度方向上维持与把持部31的相对位置。盖落下防止体42与该齿轮G以一体转动的方式连接。齿条L以与齿轮G啮合的方式设在支承板12S的上表面上。通过这样构成，随着沿着螺纹轴33的长度方向的把持部41的移动，与转动的齿轮G连动，盖落下防止体42切换为远离位置（参照图7）和接近位置（参照图8）。
此外，如图9及图10所示，也可以是通过第1齿轮G1、第2齿轮G2及第3齿轮G3构成连动机构R的形态。在本例中，把持部51绕轴51j转动自如地构成。轴51j是在俯视观察沿着与行进体11的行进方向正交的方向的轴。由此，把持部51由驱动马达50m向成为水平部51h朝向下方的姿势的把持解除位置（参照图9）和成为水平部51h沿着水平方向的姿势的把持位置（参照图10）切换自如地构成。连动机构R具备与轴51j一体转动的第1齿轮G1、与盖落下防止体52一体转动的第3齿轮G3、和对第1齿轮G1和第3齿轮G3的两者啮合的第2齿轮G2而构成。随着由驱动马达50m将水平部51h移动操作到把持解除位置，盖落下防止体52被切换到远离位置（参照图9）。此外，随着由驱动马达50m将水平部51h移动操作到把持位置，盖落下防止体52被切换到接近位置（参照图10）。
（4）在上述说明中，作为输送源及输送目标的物品交接部位，例示了半导体的处理装置中的交接用载置台。但是，并不限定于这样的结构，例如也可以将保管设备的入出库口或临时放置部等作为输送源或输送目标的物品交接部位。
附图标记说明
11 行进体
30 升降体
30m、50m 把持驱动部
31、41、51 把持部
31p、32t 连杆机构
32、42、52 盖落下防止体
B 容器
Bt 盖体
R 连动机构
M 移动操作部。

Claims (7)

1.一种物品输送车，以由容器构成的物品为输送对象，所述容器拆装自如地具备将形成在容器的侧面上的开口自如开闭的盖体，所述物品输送车具备：
行进体，沿着行进轨道行进；
一对把持部，连结在上述行进体上，把持输送对象的物品的上端部；
把持驱动部，驱动上述一对把持部；和
移动操作部，将上述一对把持部及上述把持驱动部在交接用位置与行进用位置之间进行位置切换；
这里，
上述交接用位置是从上述行进体远离的位置；
上述行进用位置是接近于上述行进体的位置；
上述行进体以上述一对把持部位于上述行进用位置的状态行进；
上述把持驱动部构成为，在上述交接用位置，将上述一对把持部向把持位置和把持解除位置切换，在所述把持位置，上述一对把持部相互接近而把持上述容器的上端部，在所述把持解除位置，上述一对把持部相互远离；
该物品输送车的特征在于，
具备：
盖落下防止体，防止上述盖体的落下；和
连动机构，切换上述盖落下防止体的位置；
上述盖落下防止体向接近位置和远离位置切换自如，在所述接近位置，上述盖落下防止体在上述盖体的外表面侧接近于上述盖体而防止上述盖体的落下，在所述远离位置，上述盖落下防止体从上述盖体远离而容许上述盖体的拆装；
上述连动机构随着上述一对把持部被上述把持驱动部从上述把持位置切换为上述把持解除位置，将上述盖落下防止体从上述接近位置向上述远离位置切换，并且，随着上述一对把持部被上述把持驱动部从上述把持解除位置切换为上述把持位置，将上述盖落下防止体从上述远离位置向上述接近位置切换。
2.如权利要求1所述的物品输送车，其特征在于，
还具备升降体，所述升降体相对于上述行进体上升移动及下降移动自如；
在上述升降体上，设有上述把持部、上述把持驱动部、上述连动机构及上述盖落下防止体。
3.如权利要求2所述的物品输送车，其特征在于，
上述盖落下防止体构成为，在上述接近位置，上述盖落下防止体的至少一部分接近于将上述容器的开口用上述盖体闭塞的情况下的上述盖体的上端部。
4.如权利要求1所述的物品输送车，其特征在于，
上述把持部构成为，在上述容器的盖体位于相对于上述行进体的行进方向在俯视观察正交的方向的一侧的状态下把持上述容器的上端部；
上述盖落下防止体由在俯视观察在与上述行进体的行进方向正交的方向上薄的板状体构成，并且沿着上述行进体的行进方向向上述接近位置和上述远离位置切换自如地构成。
5.如权利要求2所述的物品输送车，其特征在于，
上述把持部构成为，在上述容器的盖体位于相对于上述行进体的行进方向在俯视观察正交的方向的一侧的状态下把持上述容器的上端部；
上述盖落下防止体由在俯视观察在与上述行进体的行进方向正交的方向上薄的板状体构成，并且沿着上述行进体的行进方向向上述接近位置和上述远离位置切换自如地构成。
6.如权利要求3所述的物品输送车，其特征在于，
上述把持部构成为，在上述容器的盖体位于相对于上述行进体的行进方向在俯视观察正交的方向的一侧的状态下把持上述容器的上端部；
上述盖落下防止体由在俯视观察在与上述行进体的行进方向正交的方向上薄的板状体构成，并且沿着上述行进体的行进方向向上述接近位置和上述远离位置切换自如地构成。
7.如权利要求1～6中任一项所述的物品输送车，其特征在于，
上述把持部构成为，通过滑动移动被位置切换为上述把持位置和上述把持解除位置；
上述盖落下防止体构成为，能够绕水平轴心转动而将姿势切换为上述接近位置和上述远离位置；
上述连动机构由连杆机构构成，所述连杆机构将上述把持部的滑动移动变换为上述盖落下防止体的转动移动。
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Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6052143B2 (ja) * 2013-11-20 2016-12-27 株式会社ダイフク 直動回動装置
JP6477439B2 (ja) * 2015-11-17 2019-03-06 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6344410B2 (ja) * 2016-02-19 2018-06-20 村田機械株式会社 天井搬送車
JP6414134B2 (ja) * 2016-05-09 2018-10-31 村田機械株式会社 搬送装置
JP6693356B2 (ja) * 2016-09-09 2020-05-13 株式会社ダイフク 物品搬送装置
WO2018142811A1 (ja) * 2017-02-06 2018-08-09 村田機械株式会社 天井搬送車
JP6769336B2 (ja) * 2017-02-23 2020-10-14 株式会社ダイフク 物品搬送車
DE102017206652A1 (de) 2017-04-20 2018-10-25 Kuka Deutschland Gmbh Robotergreifer zum Handhaben von Objekten, insbesondere Behältern
JP6794946B2 (ja) * 2017-07-11 2020-12-02 株式会社ダイフク 物品搬送車
CN107265119B (zh) * 2017-08-08 2023-10-20 无锡先导智能装备股份有限公司 一种集成有盖板抓取机构的搬运机构及搬运方法
CN110060939B (zh) * 2018-01-19 2021-12-21 台湾积体电路制造股份有限公司 晶圆运输载具以及晶圆盒检测方法
US11981356B2 (en) * 2018-01-24 2024-05-14 Murata Machinery, Ltd. Transport vehicle
JP6835039B2 (ja) * 2018-06-19 2021-02-24 株式会社ダイフク 物品搬送体
CN108584334B (zh) * 2018-07-16 2023-11-24 福建景丰科技有限公司 一种丝饼用木框智能运输系统
CN108946144B (zh) * 2018-08-09 2020-09-01 蒋子涵 一种生产线包装用机械化夹取装置
JP6881486B2 (ja) * 2019-02-27 2021-06-02 村田機械株式会社 搬送車
KR102265110B1 (ko) * 2020-01-03 2021-06-15 신중태 기어 연결된 그리퍼를 구비하는 oht
EP4109502A4 (en) * 2020-03-13 2024-05-01 Murata Machinery, Ltd. GRIPPER, TRANSPORT VEHICLE AND TRANSPORT METHOD
CN112897324B (zh) * 2021-01-15 2023-01-17 中国十七冶集团有限公司 一种防夹损的装配式建筑构件吊装用夹持装置
CN113003374B (zh) * 2021-03-01 2022-12-02 机械工业第九设计研究院股份有限公司 一种具有底部调节安装底板的汽车生产用吊架
KR102576383B1 (ko) * 2021-04-05 2023-09-08 크린팩토메이션 주식회사 반송대차
CN116344423B (zh) * 2023-05-29 2023-08-11 上海新创达半导体设备技术有限公司 基于无线供电的物料搬运天车及其控制方法

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3850306A (en) * 1966-11-03 1974-11-26 Us Navy Crane attachment for dampening swinging motion
DE19806231C1 (de) * 1998-02-16 1999-07-22 Jenoptik Jena Gmbh Einrichtung zum Greifen eines Objektes
JP3885232B2 (ja) * 2003-03-14 2007-02-21 村田機械株式会社 搬送台車
JP3981885B2 (ja) * 2003-05-20 2007-09-26 株式会社ダイフク 搬送装置
US20050079041A1 (en) * 2003-10-13 2005-04-14 International Business Machines Corporation Hoisting device for use with overhead traveling carriage system
JP4089613B2 (ja) * 2003-12-26 2008-05-28 村田機械株式会社 天井走行車
JP4264840B2 (ja) * 2006-10-20 2009-05-20 村田機械株式会社 天井走行車
EP2008959A1 (en) * 2007-06-27 2008-12-31 Kalmar Industries B.V. Hoisting frame and container crane comprising such hoisting frame.
WO2009141976A1 (ja) * 2008-05-22 2009-11-26 村田機械株式会社 天井搬送車
JP2010126278A (ja) * 2008-11-26 2010-06-10 Daifuku Co Ltd 搬送装置
CN102470985B (zh) * 2009-11-27 2015-07-22 株式会社大福 顶棚输送车
JP5561432B2 (ja) * 2011-05-17 2014-07-30 村田機械株式会社 天井搬送車
JP5674041B2 (ja) * 2011-08-11 2015-02-18 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5713202B2 (ja) * 2012-01-27 2015-05-07 株式会社ダイフク 物品搬送設備
KR101940564B1 (ko) * 2012-02-22 2019-01-21 삼성전자주식회사 기판 캐리어 자동 이송 장치와 이를 이용한 기판 캐리어 이송방법
KR20130098688A (ko) * 2012-02-28 2013-09-05 삼성전자주식회사 호이스트 장치 및 이를 갖는 호이스트 시스템
JP5648865B2 (ja) * 2012-06-18 2015-01-07 株式会社ダイフク 天井搬送車及び物品搬送設備
JP6179406B2 (ja) * 2014-01-10 2017-08-16 株式会社ダイフク 搬送装置
JP6171984B2 (ja) * 2014-03-07 2017-08-02 株式会社ダイフク 物品支持装置

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Publication number Publication date
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