JP2003051527A - 半導体自動搬送対応ｅｆｅｍ（密閉容器からウエハーを出し入れし、製造装置に供給、回収する装置）用ｆｏｕｐ（密閉容器）移載ロボット - Google Patents
半導体自動搬送対応ｅｆｅｍ（密閉容器からウエハーを出し入れし、製造装置に供給、回収する装置）用ｆｏｕｐ（密閉容器）移載ロボットInfo
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- JP2003051527A JP2003051527A JP2001268004A JP2001268004A JP2003051527A JP 2003051527 A JP2003051527 A JP 2003051527A JP 2001268004 A JP2001268004 A JP 2001268004A JP 2001268004 A JP2001268004 A JP 2001268004A JP 2003051527 A JP2003051527 A JP 2003051527A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67769—Storage means
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Abstract
(57)【要約】
［課題］ＦＯＵＰといわれる密閉容器からウエハーを出
し入れして半導体製造装置に供給、回収するＥＦＥＭと
いわれる装置の周辺作業は人手によるものが大半であっ
た。自動化にはＥＦＥＭ周辺にＦＯＵＰのバッファー機
能用棚を持つことと、ＥＦＥＭの一部であるオープナー
へのＦＯＵＰの自動供給、回収が必要になる。これを解
決する手段としてＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を持つ移載設備が存
在するが、ＦＯＵＰを一個掴む方式であり、動作サイク
ルタイムが長く、移載動作範囲も狭いので、搬送機との
取り合いにも制限が多かった。 ［解決手段］昇降機能を持つポスト状のロボット本体に
スカラアームを取り付け、アーム先端には２つのグリッ
プを持たせた。さらに回転機構とグリップの各々が単独
に昇降する機構を持たせることによって、オープナーや
搬送機に同時にＦＯＵＰの供給と回収ができる機能を持
たせたことを特徴とする。
し入れして半導体製造装置に供給、回収するＥＦＥＭと
いわれる装置の周辺作業は人手によるものが大半であっ
た。自動化にはＥＦＥＭ周辺にＦＯＵＰのバッファー機
能用棚を持つことと、ＥＦＥＭの一部であるオープナー
へのＦＯＵＰの自動供給、回収が必要になる。これを解
決する手段としてＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を持つ移載設備が存
在するが、ＦＯＵＰを一個掴む方式であり、動作サイク
ルタイムが長く、移載動作範囲も狭いので、搬送機との
取り合いにも制限が多かった。 ［解決手段］昇降機能を持つポスト状のロボット本体に
スカラアームを取り付け、アーム先端には２つのグリッ
プを持たせた。さらに回転機構とグリップの各々が単独
に昇降する機構を持たせることによって、オープナーや
搬送機に同時にＦＯＵＰの供給と回収ができる機能を持
たせたことを特徴とする。
Description
【０００１】［発明の属する技術分野］本発明は半導体
製造装置に付随するＥＦＥＭ（ウエハー密閉容器（ＦＯ
ＵＰ）からウエハーを出し入れする装置）のオープナー
といわれる部分にＦＯＵＰの供給，回収を行うのみなら
ず、ＦＯＵＰのバッファー用棚と天井式または床上式自
走搬送台車とも移載が可能な多機能ロボットに関するも
のである。
製造装置に付随するＥＦＥＭ（ウエハー密閉容器（ＦＯ
ＵＰ）からウエハーを出し入れする装置）のオープナー
といわれる部分にＦＯＵＰの供給，回収を行うのみなら
ず、ＦＯＵＰのバッファー用棚と天井式または床上式自
走搬送台車とも移載が可能な多機能ロボットに関するも
のである。
【０００２】［従来の技術］ＥＦＥＭのオープナーにＦ
ＯＵＰを供給、回収し、一時ストックする機能の設備は
従来から存在しているが、搬送機へのＦＯＵＰの移載は
棚部でしか行えなかった。またＦＯＵＰのグリップは一
つであり、限られた範囲のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の動きに制
約された。
ＯＵＰを供給、回収し、一時ストックする機能の設備は
従来から存在しているが、搬送機へのＦＯＵＰの移載は
棚部でしか行えなかった。またＦＯＵＰのグリップは一
つであり、限られた範囲のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の動きに制
約された。
【０００３】［発明が解決しようとする課題］
１）従来のＥＦＥＭ用ロボットは棚部とオープナー部間
でＦＯＵＰを移載するだけであり、搬送機との取り合い
場所も棚内だけであった。従って棚以外の天井面空間で
の移載や、自走搬送台車との移載は不可能であった。 ２）ロボットにはグリップが１つしか付いていなかった
ため、ＦＯＵＰの回収動作が終わった後に供給動作を行
っていたため、動作完了までに時間を要し、製造装置や
搬送機に待ち時間が生じ易かった。本発明はこれらの欠
点を除くためになされたものである。
でＦＯＵＰを移載するだけであり、搬送機との取り合い
場所も棚内だけであった。従って棚以外の天井面空間で
の移載や、自走搬送台車との移載は不可能であった。 ２）ロボットにはグリップが１つしか付いていなかった
ため、ＦＯＵＰの回収動作が終わった後に供給動作を行
っていたため、動作完了までに時間を要し、製造装置や
搬送機に待ち時間が生じ易かった。本発明はこれらの欠
点を除くためになされたものである。
【０００４】［課題を解決するための手段］本発明はロ
ボットを多機能化させることによって、作業効率を大幅
に高めるためのものであり、それを図面によって説明す
る。 １）自立するフレーム（６、８）に取り付けられたロボ
ット本体（１）は昇降機能を持っており、ロボットアー
ム（２）をオープナー（１０）、棚（７）及びモノレー
ル式搬送機ステーション（３２）の位置まで移動するこ
とができる。 ２）ロボットアーム（２）はスカラ式機構になってお
り、アームは搬送機ステーション（３０）や搬送台車
（３１）の側に、また棚（７）やオープナー側にも動作
できる。またその先端部のグリップ（４，５）を回転さ
せる機構とグリップを各々単独に昇降させる機構を取り
付けている。 ３）グリップ（４，５）はＦＯＵＰ（密閉容器）のチャ
ッキング機構を設けている。アームと一体になって、処
理の終わったＦＯＵＰを取り上げ、グリップを回転させ
ることによって新しいＦＯＵＰを置く機構にしている。 ４）棚部はフレーム（８）に取り付けられ一体構造とし
てフレームを強化している。
ボットを多機能化させることによって、作業効率を大幅
に高めるためのものであり、それを図面によって説明す
る。 １）自立するフレーム（６、８）に取り付けられたロボ
ット本体（１）は昇降機能を持っており、ロボットアー
ム（２）をオープナー（１０）、棚（７）及びモノレー
ル式搬送機ステーション（３２）の位置まで移動するこ
とができる。 ２）ロボットアーム（２）はスカラ式機構になってお
り、アームは搬送機ステーション（３０）や搬送台車
（３１）の側に、また棚（７）やオープナー側にも動作
できる。またその先端部のグリップ（４，５）を回転さ
せる機構とグリップを各々単独に昇降させる機構を取り
付けている。 ３）グリップ（４，５）はＦＯＵＰ（密閉容器）のチャ
ッキング機構を設けている。アームと一体になって、処
理の終わったＦＯＵＰを取り上げ、グリップを回転させ
ることによって新しいＦＯＵＰを置く機構にしている。 ４）棚部はフレーム（８）に取り付けられ一体構造とし
てフレームを強化している。
【０００５】［発明の実施の形態］
１）処理の終わったウエハーはＥＦＥＭ（１２）からオ
ープナー（１０）のＦＯＵＰ（２０）に入れ、密閉され
る。ロボットは新しいＦＯＵＰ（２５）を棚（７）から
取って、オープナーの位置に持ってくる。昇降、回転機
構によってグリップ（５）が下降してＦＯＵＰ（２０）
を掴み、上昇して両グリップを回転させる。グリップ
（４）が下降してＦＯＵＰ（２５）をオープナー上に置
く。 ２）ＦＯＵＰ（２０）は一旦棚に保管されるが、モノレ
ール式搬送機ステーション（３０）にＦＯＵＰが到着す
るか、自走搬送台車（３１）上にＦＯＵＰが到着すれ
ば、ロボットはオープナーからＦＯＵＰ（２０）を掴ん
だまま、搬送機や台車で送られて来たＦＯＵＰを掴んだ
後、グリップを回転させて、ＦＯＵＰ（２０）を置い
て、ＦＯＵＰの供給と回収作業を同時に行う。ＦＯＵＰ
が棚に格納されていた場合も上記と同様の供給、回収動
作を行う。 ３）オープナーにＦＯＵＰが空の場合にはロボットはＦ
ＯＵＰを供給するが、空でない場合は一旦棚に格納し、
オープナーの状態に合わせてＦＯＵＰを供給、回収す
る。
ープナー（１０）のＦＯＵＰ（２０）に入れ、密閉され
る。ロボットは新しいＦＯＵＰ（２５）を棚（７）から
取って、オープナーの位置に持ってくる。昇降、回転機
構によってグリップ（５）が下降してＦＯＵＰ（２０）
を掴み、上昇して両グリップを回転させる。グリップ
（４）が下降してＦＯＵＰ（２５）をオープナー上に置
く。 ２）ＦＯＵＰ（２０）は一旦棚に保管されるが、モノレ
ール式搬送機ステーション（３０）にＦＯＵＰが到着す
るか、自走搬送台車（３１）上にＦＯＵＰが到着すれ
ば、ロボットはオープナーからＦＯＵＰ（２０）を掴ん
だまま、搬送機や台車で送られて来たＦＯＵＰを掴んだ
後、グリップを回転させて、ＦＯＵＰ（２０）を置い
て、ＦＯＵＰの供給と回収作業を同時に行う。ＦＯＵＰ
が棚に格納されていた場合も上記と同様の供給、回収動
作を行う。 ３）オープナーにＦＯＵＰが空の場合にはロボットはＦ
ＯＵＰを供給するが、空でない場合は一旦棚に格納し、
オープナーの状態に合わせてＦＯＵＰを供給、回収す
る。
【０００６】［発明の効果］本発明は以上のような構造
であり、次のような効果がある。 １）２つのグリップでＦＯＵＰの供給と回収動作を行う
ので、処理時間が短くなりＥＦＥＭや製造装置の待ち時
間がなくなり、装置のフル稼働化が可能になる。 ２）モノレール式搬送機や自走搬送台車との移載取り合
い場所に制約が少なくなるので、狭いクリーンルーム内
で、搬送機のレイアウトが自由になる。 ３）ロボットのフレームは自立型であるので、既存のＥ
ＦＥＭにも取り付けでき、自動化が容易になる。
であり、次のような効果がある。 １）２つのグリップでＦＯＵＰの供給と回収動作を行う
ので、処理時間が短くなりＥＦＥＭや製造装置の待ち時
間がなくなり、装置のフル稼働化が可能になる。 ２）モノレール式搬送機や自走搬送台車との移載取り合
い場所に制約が少なくなるので、狭いクリーンルーム内
で、搬送機のレイアウトが自由になる。 ３）ロボットのフレームは自立型であるので、既存のＥ
ＦＥＭにも取り付けでき、自動化が容易になる。
【図１】ＥＦＥＭ，オープナー、ロボットの平面図であ
る。
る。
【図２】ＥＦＥＭ，オープナー、ロボットの側面図であ
る。
る。
【図３】オープナー、ロボットの正面図である。
【図４】ロボットアーム部の詳細側面図である。
１ ロボット本体 ２ ロボットアー
ム ３ 回転、昇降機構 ４、５ グリップ ６ 本体フレーム上部 ７ 棚 ８ 本体フレーム １０ オープナー １１ オープナー
操作部 １２ ＥＦＥＭ １３ 製造装置 ２０、２１，２２，２３，２３，２５ ＦＯＵＰ ３０ モノレール式搬送機ステーション ３１自走搬送
台車
ム ３ 回転、昇降機構 ４、５ グリップ ６ 本体フレーム上部 ７ 棚 ８ 本体フレーム １０ オープナー １１ オープナー
操作部 １２ ＥＦＥＭ １３ 製造装置 ２０、２１，２２，２３，２３，２５ ＦＯＵＰ ３０ モノレール式搬送機ステーション ３１自走搬送
台車
Claims (2)
- 【請求項１】半導体製造装置に付随したＥＦＥＭ（密閉
容器からウエハーを出し入れする装置）に取り付けるロ
ボットであり、ＦＯＵＰ（密閉容器）を（１）ロボット
本体の全周囲の取り合いの可能な位置で、モノレール式
天井型搬送機または、床式自走搬送台車と移載ができ、
（２）棚への一時ストック、取り出しを行うと共に
（３）ＥＦＥＭのオープナー部への供給、回収を行える
機能を持たせたもの。 - 【請求項２】ポスト状の本体に昇降機能を持ったスカラ
アームを取り付け、２つのグリップを備えると共に、グ
リップには両グリップの同時回転とグリップ単独に動く
昇降機能を持たせて、ＦＯＵＰの供給、回収動作を同時
に行うＥＦＥＭ取り付け用ロボット
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001268004A JP2003051527A (ja) | 2001-08-02 | 2001-08-02 | 半導体自動搬送対応ｅｆｅｍ（密閉容器からウエハーを出し入れし、製造装置に供給、回収する装置）用ｆｏｕｐ（密閉容器）移載ロボット |
| PCT/JP2001/009094 WO2003015156A1 (fr) | 2001-08-02 | 2001-10-17 | Robot de montage foup pour efem semi-conducteur |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001268004A JP2003051527A (ja) | 2001-08-02 | 2001-08-02 | 半導体自動搬送対応ｅｆｅｍ（密閉容器からウエハーを出し入れし、製造装置に供給、回収する装置）用ｆｏｕｐ（密閉容器）移載ロボット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003051527A true JP2003051527A (ja) | 2003-02-21 |
Family
ID=19094056
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001268004A Pending JP2003051527A (ja) | 2001-08-02 | 2001-08-02 | 半導体自動搬送対応ｅｆｅｍ（密閉容器からウエハーを出し入れし、製造装置に供給、回収する装置）用ｆｏｕｐ（密閉容器）移載ロボット |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003051527A (ja) |
| WO (1) | WO2003015156A1 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7887276B2 (en) | 2006-08-28 | 2011-02-15 | Shinko Electric Co., Ltd. | Load port device |
| US8827621B2 (en) | 2010-03-10 | 2014-09-09 | Sokudo Co., Ltd. | Substrate processing apparatus, storage device, and method of transporting substrate storing container |
| US9004840B2 (en) | 2010-03-08 | 2015-04-14 | Daifuku Co., Ltd. | Article transport facility with intermediate transfer device |
| KR101603926B1 (ko) | 2014-07-30 | 2016-03-17 | 주식회사 신성에프에이 | 물류 이송 시스템 |
| JP2019023140A (ja) * | 2017-07-21 | 2019-02-14 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 回転ソータの自動化 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10622236B2 (en) * | 2017-08-30 | 2020-04-14 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Apparatus and method for handling wafer carrier doors |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0731544Y2 (ja) * | 1989-06-29 | 1995-07-19 | 大日本スクリーン製造株式会社 | ウエハカセツトの移載装置 |
| JPH0864656A (ja) * | 1994-08-22 | 1996-03-08 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板搬送装置 |
| JPH08243965A (ja) * | 1995-03-13 | 1996-09-24 | Canon Inc | 部品転送装置 |
| JPH09283588A (ja) * | 1996-04-08 | 1997-10-31 | Hitachi Ltd | 基板搬送装置及び基板の搬送方法 |
| KR100269097B1 (ko) * | 1996-08-05 | 2000-12-01 | 엔도 마코토 | 기판처리장치 |
| JP3947761B2 (ja) * | 1996-09-26 | 2007-07-25 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、基板搬送機および基板処理方法 |
| JP4229497B2 (ja) * | 1998-09-07 | 2009-02-25 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置および基板の処理方法 |
| JP3719354B2 (ja) * | 1999-09-06 | 2005-11-24 | 横河電機株式会社 | 搬送装置 |
| JP2000159304A (ja) * | 2000-01-01 | 2000-06-13 | Advanced Display Inc | カセットの搬送方法および該方法に用いる自動倉庫 |
-
2001
- 2001-08-02 JP JP2001268004A patent/JP2003051527A/ja active Pending
- 2001-10-17 WO PCT/JP2001/009094 patent/WO2003015156A1/ja unknown
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US7887276B2 (en) | 2006-08-28 | 2011-02-15 | Shinko Electric Co., Ltd. | Load port device |
| US9004840B2 (en) | 2010-03-08 | 2015-04-14 | Daifuku Co., Ltd. | Article transport facility with intermediate transfer device |
| US9592959B2 (en) | 2010-03-08 | 2017-03-14 | Daifuku Co., Ltd. | Article transport facility with intermediate rack |
| US8827621B2 (en) | 2010-03-10 | 2014-09-09 | Sokudo Co., Ltd. | Substrate processing apparatus, storage device, and method of transporting substrate storing container |
| US9728434B2 (en) | 2010-03-10 | 2017-08-08 | Screen Semiconductor Solutions Co., Ltd. | Substrate processing apparatus, storage device, and method of transporting substrate storing container |
| KR101603926B1 (ko) | 2014-07-30 | 2016-03-17 | 주식회사 신성에프에이 | 물류 이송 시스템 |
| JP2019023140A (ja) * | 2017-07-21 | 2019-02-14 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 回転ソータの自動化 |
| JP7120748B2 (ja) | 2017-07-21 | 2022-08-17 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 回転ソータの自動化 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2003015156A1 (fr) | 2003-02-20 |
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