CN101203952A - 输送机和半导体加工设备装载端口间的接口 - Google Patents

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Abstract

本发明一般包括在容器输送系统和加工设备间输送容器的设备装载装置。设备装载装置可向单个装载端口或多个装载端口供料。不论怎样，设备装载装置优选位于加工设备的装载端口和经过加工设备的容器输送系统的部分之间。设备装载装置提供了在常规装载端口和例如输送机之间移动容器的改进方法。在另一实施例中，设备装载装置连于沿基本平行于经过装载端口前的容器输送系统的路径移动设备装载装置的x传动组件——允许设备装载装置向多个装载端口供料。

Description

输送机和半导体加工设备装载端口间的接口
要求优先权
【0001】本申请要求依照35U.S.C.§119(e)的规定对2005年5月16日向美国专利与商标局申请的名为“Interface Between Conveyor andSemiconductor Process Tool Load Port”的美国临时申请第60/681,354号享有优先权。
技术领域
【0002】本发明一般包括在材料处理系统和加工设备间传送容器的传送机构。
背景技术
【0003】半导体制造厂内将前开式晶圆盒(FOUP)和标准机械接口(SMIF)晶圆盒等容器输送至加工设备和装载端口的成本较高。一种在加工设备间输送FOUP或底开式容器的方法是置顶输送(OHT)系统。OHT系统降低FOUP至离制造厂地面约900毫米高的装载端口的运动板上。OHT系统使用复杂吊装轨道和电缆绞盘车来输送FOUP至例如加工设备的装载端口。平移、电缆绞盘伸展和单向运行的组合必须协调以在加工设备间快速输送FOUP。为效率最佳而装载或卸载加工设备时输送车必须可用。
【0004】OHT系统经常安装在厂房的天花板部分上，因此位于加工设备和装载端口的上方。因为加工设备一般为落地式设备，所以OHT系统利用制造厂的自由空间。吊装OHT系统必须在OHT轨道和例如装载端口之间将容器提升或降低相当大的距离。OHT系统优选具有非常高的清洁度性能，因为沿轨道移动FOUP所产生的任何颗粒可能落在位于下方的设备区域上并可能损坏晶圆。
【0005】轨道导引车(RGV)和自动导引车(AGV)常常用于半导体制造厂中以沿厂房地面在加工设备间移动容器。RGV和AGV比OHT系统容易进行维护，且价格一般没有吊装OHT系统昂贵。颗粒控制也被简化，因为由RGV或AGV产生的颗粒保持在装载端口的基准面以下。但是，RGV和AGV占据宝贵的地面空间——这在半导体制造厂是非常宝贵的——且造成安全问题(如，设备操作员和RGV操作员在同一空间内操作)。
【0006】在转让给Asyst Technologies，Inc的名为“Direct Tool Loading”的美国专利申请序列号11/064,880中描述了并要求保护半导体制造厂内的自动材料处理系统(AMHS)输送机和加工设备间的接口的示例，该申请结合于此以供参考。例如，“Direct Tool Loading”发明的一个实施例包括输送半导体材料容器至加工设备的输送机。该输送机优选位于装载端口的运动板以下。在优选实施例中，运动板基本竖直移动以在输送机和加工设备能接近处于容器内的材料的位置之间移动容器。
【0007】并非每个加工设备都能够或要求使用直接装载的装载端口。实际上，可能需要连接落地式输送机至常规装载端口，例如仅作为示例的转让于Asyst Technologies，Inc的名为“FIMS Interface Without AlignmentPins”(没有对准销的FIMS接口)美国专利第6,419,438号中公开的装载端口，该专利结合于此以供参考。标准装载端口可符合国际半导体设备及材料协会(SEMI)BOLTS接口标准，但不限于所有BOLTS要求，如一体式前安装板。本说明书中所提的标准装载端口应具有端口门、门升降机或运动板组件的独立模块。重要的要求是装载端口的运动板可以SEMI标准所述的方式接收容器。
【0008】下文是有助于从上述输送机装载容器至加工设备上的标准装载端口的本发明的说明。在本发明中，输送机也能刚好安装在地面之上或地面之下。
发明内容
【0009】本发明的一方面是提供可置于材料输送系统和常规装载端口之间的设备装载装置。在一实施例中，设备装载装置位于落地式输送机和加工设备的装载端口之间。在另一实施例中，设备装载装置位于AGV的路径和加工设备的装载端口之间。在另一实施例中，设备装载装置位于RGV的导轨和加工设备的装载端口之间。
【0010】本发明的另一方面是提供可适用单个装载端口或多个装载端口的设备装载装置。在一实施例中，设备装载装置的主体为固定的，仅可用于单个装载端口。在另一实施例中，设备装载装置的主体连于x传动组件使得设备装载装置可在多个装载端口间横向移动。
【0011】本发明的又一方面是提供在装载端口和材料输送系统间有效移动容器的设备装载装置。在一实施例中，设备装载装置包括通过基本仅沿z轴和θ轴的运动在装载端口和输送机间输送容器的单个刚性结构。在另一实施例中，设备装载装置包括绕竖直可调肩部旋转以在装载端口和材料输送系统间移动容器的机械臂。
【0012】本发明的又一方面是提供可轻松与现有材料输送系统整合的设备装载装置。在一实施例中，设备装载装置连于也支撑部分材料输送系统的x传动组件——允许轻松安装设备装载装置。例如，x传动组件封闭于支撑在x传动组件上方行进的材料输送系统的外壳内。
【0013】本发明的另一方面是提供允许OHT系统或其它材料输送系统从设备装载装置放置或移除容器的设备装载装置。例如，设备装载装置可通过容器的底面支撑容器，因而OHT系统可将容器放在处于备用位置的设备装载装置上。
附图说明
【0014】图1提供了本发明实施例的示意图；
【0015】图2提供了本发明另一实施例的示意图，示出了沿Y轴运动的绞盘；
【0016】图3提供了本发明又一实施例的示意图，示出了具有悬臂第二绞盘机构的绞盘；
【0017】图4提供了本发明实施例的透视图，示出了传输臂机构的实施例；
【0018】图5提供了本发明实施例的透视图，示出了传输臂机构的另一实施例；
【0019】图6提供了本发明实施例的透视图，示出了传输臂机构的又一实施例；
【0020】图7提供了本发明实施例的透视图，示出了传输臂机构的又一实施例；
【0021】图8提供了图5所示实施例的透视图，具有带有附加存储架的加工设备；
【0022】图9提供了图5所示实施例的透视图，附加存储位置靠近加工设备；
【0023】图10提供了图5所示实施例的透视图，附加存储架基本位于输送机上方；
【0024】图11A-11C各自提供了本发明另一实施例的透视图；
【0025】图12A-12B各自提供了本发明另一实施例的透视图，示出了x轴传动组件；以及
【0026】图13A-13E各自提供了图12所示本发明的各种视图，示出了x轴传动组件和容器输送系统间的关系。
具体实施方式
【0027】国际半导体设备及材料协会(SEMI)已经制定了半导体晶圆制造设备的标准(见http://www.semi.org)。SEMI标准规定了半导体制造设备的可接受公差和接口。本文所述的发明不限于处理FOUP的半导体制造设备。
【0028】仅作为示例，本发明的各种实施例也可用于和/或适用于处理SMIF晶圆盒的系统、光罩容器、平板显示器输送装置或任何其它前开式或底开式容器或加工设备。容器定义为支撑包括但不限于半导体衬底的物品的任何类型结构。仅作为示例，容器包括具有开放容积从而可接近物品的结构(如FPD输送)或具有机械可开门的容器(如底开式SMIF晶圆盒和FOUP)。装载端口定义为处理/操纵容器的接口设备。但是为说明本发明，本文仅参照处理FOUP的装载端口和底开式容器。
【0029】图1-3大致示出了在落地式输送机和加工设备的装载端口间移动容器的各种系统。图1-3中的每个系统示出了在4个主要位置——位置A、B、C和D之间移动容器。这些位置在整个申请中用来说明本发明的各种实施例。
【0030】图1示出了置于输送机160上(位置A)、装载端口12的运动板16上(位置C)以及由置顶输送(OHT)车22(位置D)夹持的FOUP2。位置C表示输送机160和装载端口12之间的中间输送步骤或FOUP存储位置(见图10)。后文将说明的单个容器输送装置(如遥控机械)(见图4-7)优选在位置A、B和C间移动FOUP 2。
【0031】在此实施例中，加工设备10和输送机160各自为落地式元件。图1所示输送机160仅是代表性的。落地式输送机一般表示在低于加工设备10装载高度的高度输送容器的任何容器输送系统(如输送机、AGV、RGV等)。常规装载端口12安装于加工设备10。这些元件也可各自位于厂房的其它位置(如，输送机160可位于厂房地面18下、高于地面等)。OHT车22优选沿附于厂房天花板20的传动导轨24移动。图1示出了本实施例中OHT传动导轨24定向于x方向(如平行于输送机160)。OHT车22包括通过FOUP.的上柄6固定FOUP 2的夹持机构30。通过例如FOUP的侧柄4或底凸缘固定FOUP属于本发明的范围内。OHT车22通过可收缩悬缆18竖直移动夹持结构30。仅为说明本发明，可收缩缆线可包括但不限于缆线、带、条或其组合。
【0032】常规装载端口12常常包括具有运动销以对准FOUP于板上的运动板16。这些运动销从运动板16向上延伸。FOUP的底面包括三个对准插孔以在FOUP 2置于运动板16上时接收运动销。因此，FOUP 2必须在FOUP 2置于运动板16上之前大致对准运动销。FOUP输送装置可适用于竖直移动位于位置C的FOUP 2以放置或从运动销移除FOUP 2。
【0033】各FOUP输送装置也可沿任何数量的运动路径在位置B和位置C之间移动FOUP 2。例如，移动路径可为非线性弧(见图5)或沿基本线性路径(见图6)。不论怎样，输送装置可仅作为示例通过FOUP的上柄6、侧托架22、FOUP底板的侧边或FOUP的底部(例如邻近运动销支撑区域外的侧边)固定FOUP 2。固定FOUP 2的各方法优选不妨碍FOUP底部上的对准部件使得FOUP可直接从输送机160输送至装载端口12的运动板16——FOUP停留在其底面上。
【0034】容器输送装置也可具有备用位置——例如位置B——装置闲置而没有FOUP(如装置不在位置A、B或C之间移动容器)。该备用位置可允许操作员或输送车将FOUP输送至处于输送机上方的便利位置的输送装置上。例如，操作员不必越过输送机10以便放置FOUP于装载端口12上。相反，操作员可将FOUP放置于存储架上或位于输送机160正上方的容器装载装置自身上。
【0035】OHT系统22提供了输送FOUP至加工设备10的装载端口12的附加方法——增加工厂的生产量。图1示出了基本与设备装载端口12竖直对准的OHT车26。OHT系统22包括附于厂房天花板20的导轨24、沿导轨24移动的OHT车26以及通过缆线28提升并降低的夹持器30。对准OHT系统22和装载端口12允许OHT系统22直接降低FOUP 2至运动板16上和/或从运动板16移除FOUP 2。
【0036】加工设备包括与转让于Asyst Technologies，Inc的名为“DirectLoading Tool”(直接装载设备)的美国专利申请第11/064,880号公开的装载端口相似的装载端口也属于本发明的范围内，该专利申请结合于此以供参考。如果使用直接装载设备，直接装载设备的FOUP前板也可由OHT系统22供料。
【0037】图2示出了可用于本发明的OHT系统22的另一实施例。在此实施例中，OHT系统22包括在位置E和位置F间移动OHT车26的Y轴传动装置32。OHT车26位于位置E时，定位OHT系统22以移除并放置FOUP 2于输送机160上。OHT车26位于位置F时，定位OHT系统22以移除并放置FOUP 2于装载端口12上。
【0038】运行中，OHT系统22通过在位置A拾取FOUP 2、提升FOUP2至位置B、水平移动FOUP 2至位置C、最后降低FOUP 2至装载端口12上(位置D)，在输送机160和加工设备10之间移动FOUP 2。这些位置A-D仅是代表性的。实际位置A-D可变化(如容器最初可从输送机提升至高度高于图2所示的位置B)。顺序相反的运动(如位置D至位置C至位置B至位置A)将FOUP 2从装载端口12输送回输送机160。这些位置间的路径可通过本领域内的任何已知方式实现。例如，一些或全部运动路径可重叠——在位置A和位置D之间产生弯曲运动路径。各运动路径不必为不同、独立的路径。实际上，位置间的运动路径重叠可减少装载端口12和输送机160之间的总输送时间。
【0039】图2示出了优选实施例中位于位置B或位置C的FOUP 2的底面处在比位于位置D的FOUP 2的上柄6更高的高度。但该部件并非是在装载端口12和输送机160之间输送FOUP 2所必须的。实际上，从位置C移至D时FOUP底面的高度仅需要足以越过运动板上的任何障碍物比如运动销(未示出)或其它对准部件。
【0040】图3示出了OHT车22可包括支撑可收缩缆线32的悬臂机构36。该机构36安装于沿y轴提供有限运动的OHT车26。OHT系统22用于例如接近吊装容器存储架或对装载端口对准做轻微调整。常规OHT绞盘可通过安装OHT绞盘于专用x传动机构上或者用作全台或全厂OHT系统的一部分而进行调整。许多常规OHT车包括具有不必用于在输送机和装载端口之间输送FOUP的附加部件和复杂性的y机构。这些部件可增加成本并降低可靠性，但作为中间装载方法是可接受的。
【0041】图4、5、6和7示出了在输送机160和装载端口12之间输送FOUP2的容器输送装置100的几个实施例。图4示出了容器输送装置100的第一实施例。容器输送装置100其中包括主体101、机械臂102和夹持器104。机械臂102的近端可旋转安装于主体101并绕θ2轴旋转。夹持器104可旋转安装于机械臂102的远端并绕θ1轴旋转。装置100通过协调沿z轴的竖直运动和绕机械臂102的θ1轴和θ2轴的旋转运动在输送机160和装载端口12之间移动FOUP 2。
【0042】仅用于讨论目的，容器输送装置100的实施例在加工设备10和输送机160之间移动FOUP。通过本领域已知的其它输送系统(如RGV、AGV等)在全厂输送FOUP也属于本发明的范围。图4示出了具有第一导轨162和第二导轨164的输送机160。使用诸如但不限于带式输送机的其它类型的输送机也属于本发明的范围。不论怎样，输送机优选可在上行方向和下行方向(如图4的箭头所指)移动FOUP 2。
【0043】FOUP输送装置100可位于沿输送机160的要求拾取和放置装置的任何位置(如靠近储料器、度量衡设备、存储架等)。主体101优选位于装载端口12和输送机160之间。在一实施例中，FOUP输送装置100的主体101沿x轴(如平行于输送机160)在上行和下行方向在输送机160和装载端口12之间移动以向所有三个运动板13A-13C供料。主体101也可安装于厂房地面，形成仅向单个运动板13供料的输送装置。容器输送装置100也可位于输送机160对面一侧——靠近导轨162。如果容器输送装置100位于输送机160和装载端口12之间，输送装置100优选尽可能小，以最小化装载端口12从输送机160移回的距离。
【0044】图4所示机械臂102包括单个刚性结构。但是，机械臂102也可包括高度一致或不一致的多个部分。在优选实施例中，夹持器104可旋转安装于机械臂102的远端106。夹持器104可附于机械臂102的其它部分。允许夹持器104旋转使得输送装置100可以在输送装置100在输送机160和装载端口12间移动FOUP 2时保持FOUP门与设备的正面基本平行。旋转的夹持器也允许输送装置100在FOUP 2放于运动板13上之前对准FOUP 2和运动销。例如，FOUP 2可沿输送机160移动，而FOUP门面向移动方向。在此情况下，FOUP输送装置100必须旋转FOUP 90度使得在输送装置100可将FOUP 2置于装载端口12上之前FOUP门面向端口门。
【0045】FOUP 2在输送机160和装载端口12之间通过协调x轴运动、z轴运动和绕θ1、θ2轴的旋转沿例如每个位置之间(如从位置A至位置B至位置C)的可变弧(如非线性路径)或线性运动移动。容器输送装置100可仅向单个装载端口供料或可向多个装载端口供料。为向多个装载端口供料，装置100安装于x轴传动装置(未示出)上使得主体101基本平行于输送机在装载端口和输送机之间的空间内移动。如果输送装置100安装在这种传动装置上，输送装置100可在输送机160和任一运动板13A、13B或13C之间移动FOUP 2。容器输送装置100也可从其它输送装置装载/卸载FOUP，所述其它输送装置例如但不限于RGV、AGV或PGV。
【0046】图5示出了容器输送装置200。在此实施例中，容器输送装置200包括一对竖直支架206、各自可旋转附于竖直支架206的一对机械臂202以及夹持器204。夹持器204在此实施例中可旋转地附于绕θ3轴旋转的各机械臂202的远端208。各机械臂202绕θ4轴212相对竖直支架206旋转。机械臂202通过仅作为示例的导螺杆竖直上下移动竖直支架206。提升/降低夹持器204的其它机构也属于本发明的范围。旋转机械臂和竖直支架的数量可变化，并不限于图5所示的实施例。
【0047】由夹持器204固定的FOUP 2在输送机160和装载端口12之间沿弧214(示为虚线)输送。沿z轴的协调运动与绕θ轴的旋转运动可在输送机和装载端口之间形成任何数量的运动弧线或路径。该运动是通过旋转支架202和夹持器204分别绕θ3轴和θ4轴旋转以及机械臂202的竖直运动实现的。单个发动机机构控制绕θ3轴和θ4轴的运动或者让单个发动机控制两个轴也属于本发明的范围。
【0048】图6示出了容器输送装置300。在此实施例中，输送机构334整合到转让于Asyst Technologies，Inc的名为“Direct Loading Tool”的美国专利申请第11/064,880号所公开的装载端口的实施例中，该专利申请结合于此以供参考。输送装置300包括直接装载设备装载端口的多个部件——运动板312和在输送机160和板316内的开口314之间竖直移动运动板312的传动组件320。滑动机构334可包括仅作为示例的导螺杆、滑轮、带传动装置等来移动夹持器304。
【0049】与直接装载设备相似，板316基本位于输送机160和装载端口12间的竖直平面内。运动板312移动至较低位置(如图6所示)时位于输送机导轨162、164之间。图6所示实施例包括阻止FOUP沿输送机160移动以不受阻碍地经过装置300的悬臂326。但是机械臂326也可具有允许FOUP 2沿输送机160移动以不受阻碍地越过运动板312的结构(如机械臂326经过输送机160的导轨164)，这也属于本发明的范围。
【0050】输送机构334附于板316——延伸穿过开口314。机构334其中包括沿轨道336在运动板312和运动板13间滑动的夹持器304。夹持器304通过FOUP的上柄6固定FOUP 2。FOUP 2也可由夹持器304通过其它FOUP部件固定，这些其它部件包括FOUP侧柄4或底面。夹持器304也可竖直移动以提升/降低FOUP至运动板上。
【0051】运行中，传动组件320首先下移运动板312至输送机160。FOUP置于运动板312上方时，传动组件320提升运动板312，将FOUP 2从输送机160上提起并升至开口314。之后夹持器332稍下移，夹持FOUP的上柄6。之后夹持器332上移，将FOUP 2从运动板312上提起。夹持器332之后平移FOUP至运动板13上方的位置，并且夹持器332降低FOUP至运动板13上。
【0052】板316可安装于沿x轴(如平行于输送机)移动整个FOUP输送装置300以向所有三个运动板13A、13B和13C供料的机构。或者板316可包括仅向单个运动板13供料的固定结构。
【0053】图7示出了FOUP输送装置400。在此实施例中，输送装置400包括z轴滑动机构402、y轴滑动机构(未示出)以及FOUP支架404。在此实施例中，各FOUP支架404包括FOUP支架404将FOUP 2从输送机160提起时啮合FOUP 2的底面的定位销。z轴滑动机构402在FOUP支架404处于输送机160内的位置和提升高度之间移动FOUP支架404。y轴滑动机构在提升位置和装载端口之间移动FOUP支架404使得FOUP2可从装载端口12装载和/或卸载。
【0054】运行中，z轴滑动机构402移动FOUP支架404至在输送机160上移动的FOUP 2可不受阻碍地越过FOUP支架404的降低位置。在一实施例中，输送机导轨164包括容纳各FOUP支架404以经过导轨164的槽口。在FOUP 2置于FOUP支架404上方后，z传动机构提升FOUP支架404以从输送机160竖直提升FOUP 2至第一高度。提升位置优选为FOUP 2移至运动板13正上方时FOUP 2的底部不接触运动销18的位置。y轴滑动机构然后朝加工设备10平移FOUP 2直到FOUP 2位于运动板13正上方。FOUP支架臂404优选间隔得比运动板13宽以允许y轴滑动机构404在FOUP 2装载到运动板13上后容易缩回。图7所示的接口机构400也可以安装到x轴传动机构上以平行于输送机160移动整个机构400并向多个装载端口和/或单个装载端口的多个运动板供料。
【0055】图8、9和10示出了容器输送装置可接近的存储架的各种结构。为说明目的，仅说明图4所示的容器输送装置100。但是，使用任何本申请公开的其它输送机构或等效机构也属于本发明的范围。图8-10示出了与运动板相似的存储架——具有运动销。但是存储架可包括支撑容器的任何结构。
【0056】图8示出了各安装于加工设备10正面的存储架450-462。存储架450-462位于设备10的开口上方和运动板13A、13B和13C上方。存储架462靠近运动板13C。输送机构100优选具有x方向和z方向的变动范围以从输送机160移除FOUP 2并将FOUP 2放在任一存储架450-462上。设备10可具有任何数量的存储架。且存储架可接收厂房内用于该设备或用于任何其它设备的FOUP。
【0057】图9示出了FOUP输送装置100可接近位于加工设备10附近的存储架501-516。架501-516可用于与设备10具体相关的容器存储或一般存储。容器输送机构100可接近存储于任一存储架上的FOUP 2或者独立输送机构可专用于将FOUP移入或移出存储架。作为独立存储系统，专用装载机构仅在输送机160和任一存储架501-516之间输送FOUP。
【0058】图10示出了存储架601和602也可位于输送机160正上方。这些存储架提供了操作员手动装载FOUP或OHT系统装载FOUP和/或缓冲以及存储的装载台。存储架601和602可位于装载端口12的正前方。但是，可限制从输送机160接近装载端口12的一些组合。例如，加工设备10可具有三个手动装载台(如与架601-602相似)——每个位于运动板(如运动板13A、13B和13C)前。在此情况下，如果FOUP位于第一和最后运动板13A、13C上与第一和最后装载台601、603上，则不能提升FOUP高于处在运动板或装载台上的其它FOUP的输送装置100不能接近中间装载台。但这不应当发生，因为FOUP通常仅在装载台前相应的运动板为空时才放置在手动装载台上。
【0059】图11A-11C各自示出了设备装载装置500。设备装载装置500其中包括封闭于外壳501内的z传动组件、肩部503、机械臂502和夹持器504。肩部503在此实施例中是具有连于z传动组件的底座510和远端512的细长结构。z传动机构可包括仅作为示例的导螺杆、齿条齿轮传动或带传动装置。肩部503在外壳501的底座516和远端518间基本竖直移动。
【0060】机械臂502的近端505可旋转地连于肩部503的远端512并绕θ6轴旋转。肩部503包括例如谐波传动或齿轮传动装置，以控制机械臂502的旋转运动。肩部503位于最低位置(如图11A所示)时，连接机械臂502的近端505至肩部503的远端508将θ6轴(或腕接合)预设于预定高度。因此，设备装载装置500可具有高度降低的外壳501(如，小于装载端口架的高度900毫米)。肩部503的底座510宽于肩部503的远端512使得机械臂502的近端505在肩部503和外壳501之间旋转。该部件使得设备装载装置500的宽度W尽可能小。机械臂502也可以可旋转地安装于肩部503的外侧(图11A-11C所示对面一侧)。
【0061】机械臂502的运动范围优选为足够大以允许机械臂502至少在图11A所示位置(从输送机160装载/卸载FOUP 2)和图11C所示位置(从设备10装载/卸载FOUP 2)之间移动。在一实施例中，机械臂502的优选运动范围介于45度和190度之间——0度指机械臂502的远端506正在加工设备处(如机械臂502基本水平)。
【0062】夹持器504可旋转地安装于机械臂502的远端506以形成绕θ5轴旋转的“肘”接合。在一实施例中，θ5轴不是独立的轴，使得夹持器504直接相对机械臂502旋转。夹持器504的旋转可通过例如经机械臂502移动的带、链或条与机械臂502的旋转直接连接。夹持器504也可独立于机械臂502旋转。不论怎样，绕θ5轴和θ6轴的旋转优选被协调以确保存储于FOUP 2内的晶圆始终保持水平。
【0063】运行中，机械臂502可置于作为优选允许在输送机160上移动的FOUP 2不受阻碍地经过设备装载装置500的闲置位置的任何位置。在FOUP 2置于设备装载装置500前的输送机160上时，机械臂502然后向下旋转直至夹持器504接触位于输送机160上的FOUP 2的上柄6(见图11A)。夹持器504在此实施例中夹持FOUP 2的上柄6。夹持器504夹持FOUP 2的其它部分例如但不限于FOUP的侧柄或底面也属于本发明的范围。通过肩部503的竖直运动和机械臂502的旋转的组合，设备装载装置500开始从输送机160上移走FOUP 2(见图11B)。如上所述，此协调运动优选保持位于FOUP内的晶圆处于基本水平方向以避免损坏晶圆。图11C示出了设备装载装置500将FOUP 2置于装载端口或加工设备架上。设备装载装置500在输送机160和外壳501的远端518上方的设备10之间移动FOUP 2。设备装载装置500也可用于从RGV、AGV或PGV等其它输送系统装载/卸载FOUP 2。
【0064】设备装载装置500的外壳501和肩部503优选位于输送机160和设备10之间。在此位置，设备装载装置500可适于沿x轴(平行于输送机160)移动。x轴传动机构(见图12-13)可包括本领域已知的任何机构，例如但不限于齿条齿轮系统或塑料轮胎摩擦传动装置。
【0065】图12-13示出了x传动组件550以及x传动组件550和输送机160之间的关系。x传动组件550包括具有设备装载装置导轨554和各种输送机支架和/或定位部件556和558的外壳552。如果设备装载装置500是固定装置(如仅向单个装载端口供料)，经过装载端口的输送机160的部分在此实施例中由输送机支撑托架580(见图13C-13D)支撑。托架580提升输送机160离开厂房地面。当设备装载装置500向多个装载端口供料时，x传动组件550可置于经过各装载端口的输送机160的部分下方。x传动组件550的长度可变化并由设备装载装置必须沿x方向移动的距离确定。x传动组件550的外壳552为输送机的部分提供支撑——在输送机160的该特定部分代替输送机支撑托架580。
【0066】x传动组件550的外壳552含有固定输送机160在适当位置比如沟道556和支撑面558的定位部件。外壳552的具体部件可变化，取决于输送机160的特定类型。输送机160在此实施例中位于外壳552上使得x传动组件550的外壳552提供的设备装载装置500的外壳501沿x方向在槽或沟道554内移动——靠近输送机160。设备装载装置500的外壳501连于封闭于x传动组件550的外壳552内的传动系统，比如导螺杆。本领域已知的其它传动机构也属于本发明的范围，例如但不限于带传动或齿条齿轮传动系统。
【0067】所有前述说明均是相对落地式输送机说明的。但是，输送机160可由轨道导引车(输送器)替换。应理解在输送机和装载端口之间输送FOUP的上述机构和过程仅用做说明性目的，本发明并不受其限制。因此，已说明了FOUP输送方法和系统的优选实施例，对于本领域技术人员，很明显已实现了内部系统的特定优点。也应理解可在本发明的范围和精神内可以做出各种修改、变动和其它实施方式。例如，已示出了在半导体制造厂使用输送机，但很明显，上述许多发明观念同样适用于其它非半导体制造应用中的使用。

Claims (12)

1.一种用于在容器输送系统和加工设备间输送容器的设备，其包括：
具有第一端和第二端的外壳，基本封闭适于在所述外壳的所述第一端和第二端之间基本竖直移动的传动机构；
具有第一宽度的底座和第二宽度的远端的机械臂支架，所述第二宽度小于所述底座的所述第二宽度，该机械臂支架连于所述传动机构；
具有近端和远端的机械臂，所述机械臂的所述近端可旋转地连于所述机械臂支架的所述远端；
可旋转地连于所述机械臂的所述远端的夹持器。
2.如权利要求1所述的设备，其中所述机械臂的所述近端位于所述机械臂支架的所述远端和所述外壳之间。
3.如权利要求1所述的设备，其中所述机械臂支架的所述底座连于所述传动机构。
4.如权利要求1所述的设备，其中所述传动机构包括导螺杆。
5.如权利要求1所述的设备，其中所述夹持器通过容器的上柄固定容器。
6.如权利要求1所述的设备，其中位于所述加工设备前的所述容器输送系统限定x方向。
7.如权利要求6所述的设备，还包括：
基本沿所述x方向移动所述外壳的x传动组件。
8.如权利要求7所述的设备，其中所述传动组件沿所述x方向在所述容器输送系统和所述加工设备间移动所述外壳。
9.在包括具有经过加工设备的部分的容器输送系统的厂房内，一种用于在容器输送系统和加工设备间移动容器的设备装载装置，其包括：
封闭传动组件的主体；
肩部，其连于所述传动组件使得所述肩部可相对所述主体竖直移动；
具有近端和远端的机械臂，所述机械臂的所述近端可旋转地连于所述肩部；
可旋转地连于所述机械臂的所述远端的夹持器；
其中所述主体和所述肩部位于所述加工设备和经过所述加工设备的容器输送系统的部分之间。
10.一种晶圆传送系统，包括：
具有装载端口的加工设备；
具有经过所述装载端口的部分的材料输送系统；
位于所述装载端口和所述材料输送系统之间的设备装载装置，所述设备装载装置用于在所述装载端口和所述材料输送系统之间输送容器。
11.如权利要求10所述的系统，其中所述材料输送系统包括输送机。
12.如权利要求11所述的系统，其中所述输送机位于所述装载端口的装载高度以下。
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