CN102947202B - 处理设备 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于提供一种处理设备，该处理设备设置有：对被处理物进行处理得到处理物的多个工艺室；和搬送由被处理物或处理物组成的被搬送物，并向这些工艺室进行被搬送物的交接的搬送区域，在该处理设备中，设置用来载置被搬送物的保管区域，同时内部区域以及该保管区域的配置布局的自由度大。在多个工艺室（21）在同一平面上配置的处理层（1）的层下，设置用来进行所述搬送容器C的搬送的物流层（2），并且在处理层（1）与物流层（2）之间的地面（11）形成交接口（22），利用在物流层（2）中行驶的搬送车（5），经由交接口（22）在处理层（1）与物流层（2）之间进行搬送容器C的交接。在物流层（2）中，沿着搬送车（5）行驶的搬送路径（6），设置用来载置搬送容器C的搁架（71）。

Description

处理设备

技术领域

本发明涉及一种设有多个对被处理体进行处理的工艺室的处理设备。

背景技术

例如，在制造医药品等固体制剂的工厂中设有多个工艺室，对于作为被处理物的粉体原料和从该粉体原料中得到的中间生成物等进行例如称重、制粒、过筛、片剂的成形（压片）、检查以及包装等处理，上述被处理物例如在被收纳在集装箱等搬送容器内的状态下被搬送，在工艺室内例如由操作员进行处理。在这些工艺室内设有用来进行各个处理的处理装置，在该处理装置中设置搬送容器的高度位置有时被设定成例如比工艺室的地面高数米左右的位置。

在这种工厂中，作为向上述工艺室进行搬送容器的搬送的搬送装置有，例如能够在水平铺设的滑轨上行驶且升降自如地保持搬送容器的被称作堆垛机（堆高式起重机：stacker crane）的容器搬送机构。在使用该堆垛机的情况下，如图46所示，例如在堆垛机100移动的搬送室101的两侧配置工艺室102，利用堆垛机100，经由搬送口105向搬送室101两侧的工艺室102搬送搬送容器。在该工艺室102的侧面中的与搬送室101相反侧的面，分别配置用于操作员进出工艺室102的操作员用通道103，为了防止污染，这些搬送室101和操作员用通道103的内部被保持在清洁的气氛。

另外，例如在操作员用通道103的侧方位置的与工艺室102相反侧的面设置有机械室107，用来设置例如处理装置的部件和配电盘，该机械室107按照例如一端侧或者侧面朝着工厂的外壁的方式配置。而且，在该工厂中一般设置有，例如作为用来进行各个工艺室102内的大气的吸气排气的通气路径的通风道、和例如参观各个工艺室102内的参观者往来的参观者用通道（图中均未表示），因此，在工厂内按照规定的布局配置工艺室102、操作员用通道103、搬送室101、机械室107、通风道以及参观者用通道。此外，在工厂内，有时取代工艺室102而设置未装修（未使用）的区域（房间）104，例如为了应对建设工厂后的增产等，对该未装修区域104例如进行装修施工、搬送口105的形成以及处理装置的搬入等改造施工，用作工艺室102。

通过使用该堆垛机100，如上所述，能够分隔操作员的人流（操作员用通道103）与物（搬送容器）的物流（搬送室101），所以，不会发生堆垛机100与操作员的冲突，操作员与堆垛机100能够安全地移动，另外，也不会发生操作员对搬送容器和搬送容器内的被处理物产生干扰的情况。另外，堆垛机100能够进行搬送容器的升降操作，所以，对于搬送容器被保持在处理装置中的高度水平，能够直接进行搬送容器的交接。因此，在各个工艺室102中不需要用来使搬送容器升降的升降装置。

但是，在建设工厂后进行改变的情况下、例如在进行上述未装修区域的改造施工和用来更换工艺室102内的处理装置的施工的情况下，例如拆除该机械室107与工艺室102之间的操作员用通道103的壁面，处理装置从与工厂的外壁相邻的机械室107被搬入。此时，如已述那样，操作员用通道103内被保持在清洁气氛，所以，为了不使该操作员用通道103内的内部气氛被污染，例如必须从操作员用通道103中划分将要施工的区域106，但是，进行划分该施工区域106的施工费时，此外，操作员用通道103在中途被该施工区域106遮挡的情况下，操作员就无法通过该施工区域106出入。

在未装修区域104中形成搬送口105的情况下，搬送室101内被保持在清洁的气氛，因此，例如必须划分搬送室101内，所以，通过该施工，堆垛机100的移动有可能受到影响。因此，必须预先在该未装修区域104中形成搬送口105，但是有时因设置于工艺室102（未装修区域104）内的处理装置的种类不同，搬送口105的高度位置等各不相同，所以，如果预先形成搬送口105，则有时能够增设的工艺室102的种类减少。

此外，通过设置堆垛机100，搬送室101按照将该工厂一分为二的方式来配置，所以，无法通过该搬送室101来设置通风道。另外，例如，对于参观者用通道，也难以按照能够参观各个工艺室102内的方式来配置。因此，在使用堆垛机100的情况下，工厂的布局麻烦，另外，建设工厂后的改变施工困难。另外，在堆垛机100发生故障的情况下，在修理或者更换该堆垛机100之前，向搬送室101两侧的工艺室102的搬送就会停止。

另一方面，作为搬送搬送容器的搬送装置，例如有被称作AGV（Auto Guided Vehicle：自动搬运车）的水平移动的自动搬送装置等，但不能解决上述课题

在专利文献1中，记载了将粉体投入仪器40中的粉粒体投入系统，但是没有对上述课题进行任何研究。

专利文献1：日本特开2007－30914

发明内容

发明所要解决的课题

本发明就是在这种情况下产生的，其目的在于，提供一种处理设备，设有多个对被处理物进行处理得到处理物的工艺室，将被处理物或处理物收纳在搬送容器中并向工艺室搬送，在该处理设备中，能够容易地应对工艺室和仪器的改变。

用于解决课题的方法

本发明的处理设备，其特征在于，

设有多个对被处理物进行处理得到处理物的工艺室，将被处理物或处理物收纳在搬送容器内并搬送至工艺室，

该处理设备包括：

第一层；其平面地配置有多个工艺室，

第二层；其设置于该第一层的层下，用来进行所述搬送容器的搬送，

交接口；其形成于多个工艺室的各个地面，用来在所述第一层与所述第二层之间进行所述搬送容器的交接，和

搬送车；其设置于所述第二层用于经由这些交接口向所述工艺室进行搬送容器的交接，该搬送车具有水平移动的行驶车主体、和设置于该行驶车主体，保持并升降搬送容器的交接机构。

其特征在于，

设有多个对被处理物进行处理得到处理物的工艺室，将被处理物或处理物收纳在搬送容器内并搬送至工艺室，

该处理设备包括：

第一层；其平面地配置有多个工艺室，

第二层；其设置于该第一层的层下，用来进行所述搬送容器的搬送，

交接口；其形成于多个工艺室的各个地面，用来在所述第一层与所述第二层之间进行所述搬送容器的交接，和

搬送车；其设置于所述第二层用于经由这些交接口向所述工艺室进行搬送容器的交接，该搬送车具有水平移动的行驶车主体、和设置于该行驶车主体，保持并升降搬送容器的交接机构。

另外，本发明在于，还可以包括：控制所述搬送车的动作的控制部；和

保管区域，其设置在所述第二层用来保管被搬送物，并利用所述搬送车进行被搬送物的交接，在此情况下，所述保管区域由所述控制部来管理位置。

发明效果

在本发明中，设有多个对被处理物进行处理得到处理物的工艺室，将被处理物或处理物收纳在搬送容器中并向工艺室搬送，在该处理设备中包括：在多个工艺室在平面上配置的第一层（处理层）的层下设置有用来进行搬送容器的搬送的第二层（物流层）。在第一层的地面设置向层下开口的交接口，并且，利用在第二层行驶的搬送车，经由交接口向工艺室进行搬送容器的交接。因此，处理层与物流层被上下地划分，因此，处理层的工艺室和其它区域例如操作员用通道和机械室等的配置布局的自由度增大。另外，对于在与搬送车之间交接搬送容器的交接口，由于工艺室的平面方向（X－Y方向）的设置位置的自由度大，所以有利。例如，在预计将来增设工艺室而预先形成搬送口的情况下，能够选择也能灵活地应对增设的位置，结果是，工艺室的增设变得容易。另外，不同于将堆垛机用作搬送装置的现有的系统，能够在工艺室的两侧分别配置操作员用通道与机械室，所以，当改变工艺室内或者维修时，能够在机械室与工艺室之间直接进行仪器等的搬入搬出，所以，非常方便。

附图说明

图1是概略地表示本发明的生产工厂的主要部分的纵断面图。

图2是表示本发明的生产工厂的一例的立体图。

图3是表示上述工厂的纵断面图。

图4是表示上述工厂的纵断面图。

图5是表示上述工厂的俯视图。

图6是表示上述工厂的俯视图。

图7是表示在上述工厂中收纳被处理物的搬送容器的一例的立体图。

图8是表示交接上述搬送容器的交接部件的一例的立体图。

图9是表示在上述工厂中所使用的堆垛机的立体图。

图10是表示上述工厂中的工艺室的一例的纵断面图。

图11是表示上述工厂的作用的一例的纵断侧面图。

图12是表示上述工厂的作用的一例的俯视图。

图13是表示上述工厂的作用的一例的纵断侧面图。

图14是表示上述工厂的作用的一例的纵断侧面图。

图15是表示上述工厂的作用的一例的纵断侧面图。

图16是表示上述工厂的作用的一例的纵断侧面图。

图17是表示上述工厂的作用的一例的纵断侧面图。

图18是表示上述工厂的作用的一例的俯视图。

图19是表示上述工厂的作用的一例的纵断侧面图。

图20是表示上述工厂的作用的一例的俯视图。

图21是表示上述工厂的作用的一例的纵断侧面图。

图22是表示上述工厂的作用的一例的俯视图。

图23是表示上述工厂的其它例子的纵断侧面图。

图24是表示上述工厂的其它例子的纵断侧面图。

图25是表示上述工厂的其它例子的俯视图。

图26是表示上述工厂的其它例子的俯视图。

图27是表示上述工厂的其它例子的俯视图。

图28是表示上述工厂的其它例子的俯视图。

图29是表示上述工厂的其它例子的纵断侧面图。

图30是表示交接口的上方区域的切口立体图。

图31是表示上述工厂的其它例子的纵断侧面图。

图32A是表示上述工厂的其它例子的纵断侧面图。

图32B是表示水平移动机构的一例的立体图。

图33是表示上述工厂的其它例子的纵断侧面图。

图34是表示上述工厂的其它例子的俯视图。

图35是表示上述工厂的其它例子的纵断侧面图。

图36是表示上述工厂的其它例子的纵断侧面图。

图37是表示上述工厂的其它例子的纵断侧面图。

图38是表示上述工厂的其它例子的纵断侧俯视图。

图39是表示上述工厂的其它例子的纵断侧面图。

图40是表示搬送车的一部分的立体图。

图41是表示搬送车的一部分的俯视图。

图42是表示搬送车的操作的正面图。

图43是表示设置于搬送车上的防振机构的说明图。

图44是表示上述工厂的其它例子的纵断侧面图。

图45是表示上述工厂的其它例子的纵断侧面图。

图46是表示现有的工厂的一例的俯视图。

具体实施方式

例如，以从作为被处理物的原料粉末制造作为处理物的医药品的固体制剂的医药品制造工厂为例，参照图1～图10对本发明的处理设备进行说明。首先，参照图1，概略地说明该工厂的主要部分。在该工厂中配置有阶层式构造体3，它包括形成第一层的处理层1、和设置于该处理层1的层下，且搬送在内部收纳被处理物或处理物的搬送容器C的作为第二层的物流层2。在处理层1中，工艺室21在平面上配置有多个。工艺室21是用来对作为被处理物的原料粉末和从该原料粉末中得到的中间生成物以及作为产品的处理物进行例如保管、称重、向后述的搬送容器C填充原料粉末、制粒、过筛、片剂的成形（压片）、包衣（coating）、检查以及包装等的房间。当在工艺室21的地面11形成交接口22，在这些处理层1与物流层2之间进行搬送容器C的交接时，如后所述，利用搬送车5经由交接口22来搬送。此外，在本说明中，前述“检查”以及“包装”也包含在“处理”这样的用语中。

在该物流层2中，如图4及图5所示，设有多台搬送车5，例如它沿着附设于地面11的例如磁胶带等搬送路径6且沿着水平方向自由移动地构成。搬送车5例如是AGF（Auto Guided Forklift：自动制导叉车）等。该搬送车5包括：行驶车主体5a、和作为升降自如地保持搬送容器C的交接机构的叉5b。另外，在该搬送车5的下面设置有图中未示的探测部，按照能够沿着搬送路径6移动的方式来探测该搬送路径6。搬送容器C如图7所示，是口径向下递减的大致呈箱形的容器，并构成缩径部被该叉5b从左右两侧支承的状态。上述叉5b如后所述，搬送车5水平移动时向下方退缩，在与工艺室21之间交接搬送容器C时，向上方伸出。

作为上述搬送路径6，例如配置有：将多个交接口22的下方位置成椭圆状连结的主线（循环轨道）6a、和从该主线6a分支的多个分支路径6b。另外，该分支路径6b由以下部分构成：例如在搬送车5发生故障时和接受维修时操作员使该搬送车5退避的退避分支路径8a、代替向该退避分支路径8a退避的搬送车5而进行搬送的备用搬送车5待机的备用分支路径8b、和按照搬送车5能够在朝向后述的交接部件15的位置行驶的方式而配置的交接用分支路径8c。多个搬送车5根据设置于该工厂中的后述的控制部10的指示，并根据规定的搬送程序移动。例如，当向工艺室21进行搬送容器C的交接时，搬送车5按照互不干扰（撞击）的方式，沿着主线6a例如顺时针移动。另外，在发生故障时和接受维修时或者在与后述的堆垛机12之间进行搬送容器C的交接时，搬送车5沿着该分支路径6b（8a～8c）移动。

该图5中的9是附设于地面11中的搬送车5的停止位置例如交接口22的下方位置的磁铁、磁棒等标识器（marker），搬送车5利用设置于下面的图中未示的传感器等，检测出来自标识器9的磁场。控制部10根据该磁场的检测使搬送车5停止。另一方面，控制部10统计与搬送车5的行驶用电机连结的编码器的脉冲，因此，也能识别标识器9的位置，能够知道搬送车5在哪个地方行驶，在哪个位置停止，并且，能够使其在目的位置停止。对于搬送车5的行驶，由设置于搬送车5的左右的传感器检测出沿着搬送路径6而配置的磁铁线的磁场，操作方向盘以使两者的磁场变得相同，由此，搬送车5沿着搬送路径6行驶。此外，为了使搬送车5能够在交接口22的下方位置等反转180度，也可以在该物流层2的地面设置例如从主线6a分支并成圆状伸出的图中未示的反转用搬送路径。此外，作为该搬送车5，例如也可以是操作员按照使用说明书运转（操纵）的叉车等。另外，为了加固工厂，在物流层2内，在不影响搬送车5的操作的位置设置连接地面11与顶面的多个柱部。

另外，在本例中，如已述的图2～图4所示，由处理层1与物流层2组成的阶层式构造体3被层叠多层例如两层，并且设置作为用来在上下阶层的物流层2、2彼此之间搬送搬送容器C的升降装置的堆垛机12。在工厂的端部例如在与后述的压片室25相邻的位置，该堆垛机12配置于跨越多层的物流层2而设置的升降室13内。在该升降室13与物流层2之间的壁面，如图3所示，用来在升降室13与物流层2之间进行搬送容器C的交接的搬送口14、14分别开口。在物流层2中，在面向该搬送口14的位置，设有用来在堆垛机12与搬送车5之间交接搬送容器C的交接部件15。该交接部件15如图8所示，例如由在搬送容器C的搬送方向（后述的搬送台45的进退方向）上相互分开排列的两个コ字形部件15a、15a构成。此外，在图2中，省略了堆垛机12和搬送口14的绘图。另外，在图4中，为了方便起见，描绘该堆垛机12。

在升降室13内的地面，如图5所示，设置有沿着工厂的外壁水平地配置的滑轨41。上述堆垛机12如图9所示，包括相互隔开间隔地沿着垂直方向伸出的两根柱部42、42以及上下支承该柱部42、42的基部43、43。该图9中的44以及46分别是升降机和车轮，堆垛机12在滑轨41上行驶，且能够沿着柱部42、42使搬送容器C升降。在该升降机44上设置有用来载置搬送容器C的搬送台45，该搬送台45形成比上述コ字形部件15a、15a之间的尺寸窄，且沿着水平方向自如地向阶层式构造体3（物流层2）进退。

接着，当从该堆垛机12向物流层2搬送搬送容器C时，例如，在该搬送台45上载置搬送容器C，经由已述的搬送口14，使该搬送台45从堆垛机12向コ字形部件15a、15a的上方位置伸长。接下来，按照搬送台45在コ字形部件15a、15a之间向下侧通过的方式，使升降机14下降，由此，在交接部件15上载置搬送容器C。另外，当从物流层2接受搬送容器C时，堆垛机12按照与该次序相反的顺序操作。接着，当已述的搬送车5从该交接部件15接受搬送容器C时，搬送车5移动至面向交接部件15的位置，并且例如从搬送容器C的下方侧或者从仅比该搬送容器C的缩径部的上端位置稍下方一侧使叉（货叉）5b上升来抬起搬送容器C。当从搬送车5向交接部件15交接搬送容器C时，搬送车5按照与该搬送操作相反的顺序操作。

如已述的图2、图4以及图6所示，在处理层1中，多个工艺室12在前后方向（图2中的Y方向）上配置成一列，另外，按照该工艺室21的列相互平行地分开的方式配置多列例如两列。在该工艺室21的地面11，在与层下的物流层2的搬送车5之间，形成用来进行搬送容器C的交接的交接口22。

该交接口22如图6所示，有时在各个工艺室21中逐一形成，或者，有时也在相邻的多个例如两个工艺室21中共用。在共用交接口22的情况下，例如，如果将形成了交接口22的工艺室21称作第1工艺室21a，将未形成交接口22的工艺室21称作第2工艺室21b，则在第1工艺室21a与第2工艺室21b之间的壁面，形成用来进行搬送容器C的交接的搬入搬出口24。另外，该搬入搬出口24例如利用门等开闭机构24a进行开闭。在将搬送容器C搬入第2工艺室21b中的情况下，搬送容器C被搬送车5经由交接口22、第1工艺室21a以及搬入搬出口24而搬送。

另外，在该工艺室21内设置有，用来在该工艺室21中对处理物进行处理的处理装置27。该处理装置27接近已述的交接口22配置，另外，在已述的第2工艺室21b中，设置于接近搬入搬出口24的位置。该处理装置27在例如进行包衣的工艺室21中是例如2.5m见方程度的大型包衣机。因此，在该处理装置27中设置搬送容器C的高度位置有时是高出该处理层1的地面11例如2.5m左右的位置，另外，因处理的种类和处理装置27不同而各异。

另外，例如在进行压片处理的工艺室21、即图10所示的压片室25被间壁26划分成投入区域25a与处理区域25b的上下两层。在上层的投入区域25a中设置用来搬入收纳了被处理物的搬送容器C的交接部28。在下层的处理区域25b中设置对从该交接部28上的搬送容器C中投入落下的被处理物进行压片处理的处理装置（压片机）27。在该压片室25中，例如收纳了作为1t左右的重量物的被处理物的搬送容器C被载置在交接部28上。该图10中的27b是用来取出在处理装置27中压片处理结束的处理物的搬送部件，利用该搬送部件27b从处理装置27向载置于处理区域25b中的搬送容器C搬送处理物。此外，在图2中，简略表示该压片室25。

该压片室25与配置有已述的堆垛机12的升降室13相邻而设，在交接部28与升降室13之间的壁面，形成在该压片室25与堆垛机12之间进行搬送容器C的交接的搬送口28a。此时，在设置有多个压片室25的情况下，这些压片室25沿着升降室13上下地配置。

交接部28与已述的コ字形部件15a、15a同样，由按照比堆垛机12的搬送台45的宽度尺寸宽且比搬送容器C的宽度尺寸窄的方式，在搬送台45的进退方向上分开地配置的一对传送带等组成。该传送带能够沿着搬送台45的进退方向水平地搬送搬送容器C。通过搬送台45相对于该交接部28的载置面升降，交接部28在与堆垛机12之间能够进行搬送容器C的交接。另外，交接部45在与堆垛机12之间进行搬送容器C的交接的交接位置、与处理装置27的上方位置之间水平地搬送搬送容器C。

另外，在处理装置27的上方位置的间壁26上形成开口部26a。管状的投入路径27a经由开口部26a从处理装置27向上方伸出。该投入路径27a用来从搬送容器C向处理装置27投入被处理物，并且在投入区域25a中开口。在该处理装置27的侧方位置，在处理装置27中载置用来收纳进行了压片处理的处理物的搬送容器C。在该压片室25中进行压片处理的情况下，首先，利用搬送车5将用于回收处理物的空的搬送容器C搬入处理区域25b内。接着，例如操作员将投入路径27a的开口端与设置于投入区域25a的搬送容器C的下面的图中未示的投入口连接，向处理装置27投入被处理物。在该处理装置27中进行了压片处理的处理物通过已述的搬送部件27b被收纳在处理装置27的侧方的搬送容器C内，并被搬送车5向物流层2搬出。另外，在交接部28中被处理物被取出（变空）的搬送容器C例如被堆垛机12向图中未示的仓库搬出。

另外，作为工艺室21，例如在图6中作为未使用区域31所示，有时设置未对内壁面和地面实施装修的区域（房间）。该未使用区域31是在建设工厂后，例如在为了增加医药品的产量而增设工艺室21等情况下，作为工艺室21而使用的区域，因此，它是在建设工厂时未使用的区域。在该未使用区域31中未形成交接口22，共用相邻的工艺室21的交接口22。另外，如已述的那样，因处理装置27的种类不同，搬送容器C所设置的高度位置（搬入搬出口24的高度位置）各异，因此，在该未使用区域31中未形成搬入搬出口24。因此，对于未使用区域31，在增设工艺室21时，根据设置于该工艺室21（未使用区域31）内的处理装置27的种类等，通过施工形成搬入搬出口24。另外，在增设工艺室21时，与该搬入搬出口24的施工一同，还进行装修施工和搬入后述的处理装置27的施工等。此外，也可以预先形成通过门等气密或者半气密地开闭的搬入搬出口24。

在工艺室21的列的左侧的侧面以及右侧的侧面的一侧及另一侧，沿着该工艺室21的列分别设置有机械室61、以及在该工艺室21内进行作业的操作员进出该工艺室21内的操作员用通道62。在本例中，如图2以及图4所示，沿着工厂的外壁，在处理层1的两侧配置机械室61、61，按照被夹在两个工艺室21、21的列之间的方式（在内侧）设置有操作员用通道62、62。在该机械室61中，在面向工厂外部的壁面（外壁）上形成用来进行已述的处理装置27的搬入搬出的图中未示的门。操作员用通道62的顶面也可以比工艺室21的顶面低规定的高度。

该机械室61例如是用来在工艺室21内设置与处理装置27相关的部件、例如集尘机和空调机或者配电盘等机械设备61a的区域，其清洁度被设定成比上述工艺室21和物流层2、或者操作员用通道62等低的等级。在这些工艺室21与机械室61之间的壁面，形成有图中未示的开口部，用来引出连接处理装置27与上述机械室61a的配线和配管。另外，该机械室61在于，如后所述，在工厂的外部与工艺室21之间例如替换处理装置27的情况下，从形成于工厂的外壁（机械室61的侧面）的图中未示的门通过该机械室61搬送处理装置27的区域。像这样，作为替换（更换）处理装置27的例子，例如有在将工艺室21内的旧的处理装置27替换成新的处理装置27的情况，或者该工艺室21内的处理的种类改变的情况。

此时，有时也不进行处理装置27的替换，或者处理装置27的大小也根据处理的种类而各异。因此，在机械室61与工艺室21之间搬入搬出处理装置27的情况下，例如通过进行施工，每次都在机械室61与工艺室21之间的壁面上形成开口部。此外，也可以在该壁面上预先形成开口部，在不进行处理装置27的搬送时用门等气密地封闭。另外，该机械室61只要按照面向工艺室21的壁面以外的三个侧面中的任意的侧面与工厂的外壁接触的方式来配置即可。此外，在图6中，仅模式地描绘了一个已述的机械设备61a。

在该处理层1中，由这些工艺室21、机械室61以及操作员用通道62组成的处理站7平行地成多列例如成两列设置。在操作员用通道62的侧面中的与工艺室21相反侧的面，沿着操作员用通道62（工艺室21）配置例如参观者用通道63，其用于参观者通过形成于操作员用通道62的侧壁以及工艺室21的侧壁的图中未示的窗口来参观工艺室21内。该参观者用通道63的顶面被设定成与操作员用通道62的顶面相同程度的高度水平。在本例中，通过参观者用通道63，左右两侧的操作员用通道62、工艺室21以及机械室61左右对称地配置，因此，在此情况下，在左右两个处理站7中兼用参观者用通道63。此外，图4以及图6中的29是用于操作员从操作员用通道62进出工艺室21内的门。另外，这些操作员用通道62、物流层2以及工艺室21内被保持在清洁的气氛，以控制污染的产生。

在操作员用通道62以及参观者用通道63的上方，按照与工艺室21的侧面的上部侧相邻的方式，设置有例如按照顶面与工艺室21的顶面相同程度的高度水平的方式而配置的通风通道（通风道）35。该通风道35沿着在前后方向上并列的工艺室21形成长形。该通风道35是，用来将工艺室21的气体向工厂的外部排气，或者从工厂的外部等吸引清洁的大气的区域，从各个工艺室21例如拉设向工厂的外部伸出的图中未示的供气通道和排气通道。

该工厂如图5所示，配备有用来控制堆垛机12以及搬送车5和堆垛机12的搬送操作的控制部10。该控制部10配备有CPU、存储器以及程序保存部，为了对被处理物进行处理而得到处理物，向工厂的各个部分（搬送车5和堆垛机12）输出控制信号。被保存在该程序保存部内的程序例如从硬盘、光盘、磁光盘或者存储卡等图中未示的存储介质中安装在控制部10中。

接着，参照图11～图22，对该工厂的作用进行说明。首先，例如利用搬送车5，从设置于与物流层2相同一层的图中未示的仓库接受例如500kg左右重量的搬送容器C。接着，如图11（a）所示，搬送车5向对该搬送容器C内的被处理物进行处理的工艺室21移动。即，如图12所示，搬送车5检测出已述的搬送路径6中的轨道并沿着搬送路径6（主线6a）顺时针移动。接着，如果搬送车5探测出设置于工艺室21的交接口22的下方位置的标识器9，则停止并进行规定的交接操作。具体而言，搬送车5如图11（b）所示，使叉5b上升，经由交接口22将搬送容器C搬入工艺室21内，使其位于比在处理装置27中设置搬送容器C的位置略高的位置。接着，搬送车5后退，以使搬送容器C例如位于处理装置27的上方。接下来，如图11（c）所示，使叉5b下降，例如向处理装置27交接搬送容器C。

然后，搬送车5如图13（a）所示，前进至交接口22的下方位置，如同图（b）所示，使叉5b向物流层2内退缩。为了进行接下来的搬送，该搬送车5沿着搬送路径6顺时针移动。操作员从操作员用通道62进入该工艺室21内，并且通过通风道35调整该工艺室21内或者处理装置27内部的气氛，使用该处理装置27对搬送容器C内的被处理物进行处理。然后，在该工艺室21内进行了处理的处理物例如被收纳在搬送容器C内，按照与所搬入的次序相反的顺序，利用搬送车5向物流层2搬出。接着，该搬送容器C被搬送车5沿着搬送路径6例如顺时针向图中未示的仓库或者用来进行下一个处理的工艺室21搬送。

此时，在进行下一个处理的工艺室21中，在前一个处理未结束的情况下，如图13（c）所示，例如在交接口22的下方位置，搬送车5沿着已述的图中未示的反转用搬送路径移动，例如反转180度。此外，搬送车5在工艺室21中的不干扰处理装置27和操作员的位置载置搬送容器C，并且为了进行其它的搬送而移动。然后，如果在该工艺室21中结束之前的处理，则例如通过操作员或者搬送车5，将被载置在该不干扰的位置的搬送容器C设置于处理容器27中。

另外，例如在共用交接口22的工艺室21b中，如图14（a）所示，搬送车5的叉5b从与该工艺室21b相邻的工艺室21a的交接口22向上方伸出。接着，如同图（b）所示，经由搬入搬出口24搬送容器C被搬入该工艺室21b中，并被载置于该工艺室21b内的处理装置27中。

在进行例如下一个处理的工艺室21配置于例如该物流层2的上层的阶层式构造体3中的情况下，如图15（a）以及图16所示，搬送车5沿着交接用分支路径8c向交接部件15移动，将搬送容器C载置于该交接部件15上。堆垛机12使搬送台45移动至面向该交接部件15的位置，并且使搬送台45向该交接部件15上的载置面的下方一侧伸出，使搬送台45从搬送容器C的下方一侧上升并接受搬送容器C。接着，使搬送台45收缩，在升降机44上收纳搬送容器C，并且使搬送容器C上升至上层侧的阶层式构造体3中的面向物流层2的交接部件15的位置。接着，如图15（b）所示，堆垛机12按照与从交接部件15接受搬送容器C的顺序相反的次序，通过该交接部件15向搬送车5交接搬送车5。由此，搬送容器C从下层的物流层2（搬送车5）被向上层侧的物流层2搬送，依次进行接下来的处理。另外，在搬送容器C从上层侧的物流层2被向下层侧的物流层2搬送的情况下也同样，利用搬送车5以及堆垛机12来交接搬送容器C。

另外，在向进行已述的压片处理的工艺室21（压片室25）搬送搬送容器C的情况下，如图17（a）所示，利用堆垛机12向投入区域25a的交接部28搬入例如重量为1t左右的搬送容器C。该搬送容器C被交接部28从交接位置向处理装置27的上方位置搬送。另外，例如搬送车5在交接口22的下方位置，沿着已述的图中未示的反转用搬送路径移动并反转180度，从交接口22将收纳处理物的搬送容器C搬入处理区域25b。接着，操作员走上设置于该压片室25内的图中未示的楼梯，将投入路径27a与投入区域25a的搬送容器C的下面连接，从该搬送容器C将被处理物投入处理装置27中。该被处理物在处理装置27中被进行压片处理，并且被搬送部件27b收纳在处理区域25b的搬送容器C中。

如果进行规定时间的压片处理，则如图17（b）所示，利用搬送车5从压片室25中搬出收纳了处理物的搬送容器C，例如，利用其它的搬送车5将空的搬送容器C再次搬入处理区域25b中，继续进行压片处理。接着，利用搬送车5向处理区域25b搬入搬出搬送容器C，直至例如投入区域25a的搬送容器C内的被处理物没有或者减少。然后，在投入区域25a的搬送容器C变空或者被处理物减少的情况下，利用堆垛机12搬出该搬送容器C。由此，在压片室25中，利用搬送车5以及堆垛机12搬送搬送容器C。这些工艺室21中的例如处理装置27和操作员的操作，例如被在参观者用通道63中通行的参观者参观（检查）。像这样，例如通过在多层的工艺室21中对被处理物进行多个处理，制造作为最终产品的医药品。

接着，对替换（更换）工艺室21内的处理装置27的情况进行说明。首先，如图18（a）以及图19（a）所示，为了使由于施工在工艺室21内产生的粉尘等不会从该工艺室21跑到物流层2和操作员用通道62或者其它的工艺室21，利用板状的覆盖部件65将交接口22或者搬入搬出口24密闭，并且，气密地关闭门29。接着，如图18（b）所示，进行施工拆除机械室61与工艺室21之间的壁面。虽然因该施工产生粉尘等，但如上所述，由于气密地保持该工艺室21，所以，粉尘不会从该工艺室21跑到物流层2和操作员用通道62或者与该工艺室21相邻的工艺室21中。

如图18（c）以及图19（b）所示，从工艺室21将处理装置27通过机械室61向工厂的外部搬出，例如将新的处理装置27搬入该工艺室21内。此时，如上所述，在机械室61配置于两层以上高度的层的情况下，例如从工厂的外部使用起重机等来搬送处理装置27。然后，清扫该工艺室21以及形成（修复）工艺室21与机械室61之间的壁面，拆下覆盖部件65，如已述的那样，再次开始处理。此外，在这些图18以及图19中，仅描绘了一个工艺室21。

另外，在已述的未使用区域31中设置新的工艺室21的情况下，如图20（a）以及图21（a）所示，在共用该未使用区域31与交接口22的（相邻的）工艺室21中，同样使用覆盖部件65气密地封闭交接口22。接下来，如图20（b）以及图21（b）所示，通过施工拆除未使用区域31与该工艺室21之间的壁面形成搬入搬出口24。该搬入搬出口24的高度位置例如根据设置于该未使用区域31中的处理装置27来设定。例如，对该未使用区域31进行装修施工，另外如上所述，进行拆除与机械室61之间的壁面并搬入新的处理装置27的施工，由此，在该未使用区域31中设置新的工艺室21。在此情况下，在进行施工时，粉尘等不会从未使用区域31以及共用该未使用区域31与交接口22的工艺室21，跑到物流层2和操作员用通道62或者其它的工艺室21中。同样，在清扫和修复与机械室61之间的壁面后，该未使用区域31作为工艺室21而使用。

例如，在搬送车5发生故障的情况下和接受维修的情况下，如图22所示，例如操作员将该搬送车5向退避（避让）分支路径8a退避。接着，将在备用分支路径8b中待机的搬送车移动至主线6a，代替退避至退避分支路径8a的搬送车5，接受搬送。

上述实施方式中，设置有：多个工艺室21在平面上配置的处理层1、和设置于该处理层1的层下，且进行搬送容器C的搬送的物流层2。另外，将在处理层1与物流层2之间进行搬送容器C的交接的交接口22设置于工艺室21的地面。利用物流层2的搬送车5，经由交接口22使搬送容器C升降，由此，在物流层2与工艺室21之间交接搬送容器C。像这样，在本发明中，不同于过去所使用的从侧方一侧向工艺室21搬送搬送容器C的方法，采用在层下的物流层2与层上的处理层1中交接搬送容器C这样新的方法。因此，不必在处理层1中设置进行搬送容器C的搬送的搬送路径，所以，分别独立地配置作为所谓的物的动线的物流层2与作为人的动线的操作员用通道62，同时作为处理层1的各个部分的工艺室21、机械室61、操作员用通道62以及参观者用通道63的配置布局的自由度增大。因此，能够使工艺室21与机械室61相邻。通常，机械室61面向工厂的外壁，因此，在建设工厂后，在替换工艺室21内的处理装置27的情况下，能够通过机械室61，在工厂的外部与工艺室21之间搬送处理装置27等仪器，因此，例如不进行封闭操作员用通道62的施工等，另外，也不会影响其它的工艺室21，只要停止该工艺室21中的处理就能进行施工。其结果是，不仅能够容易且迅速地更换处理装置27，而且，例如无需采用另外引出操作员用通道62等假定施工的布局，所以，不仅具有容易进行工厂的设计的优点，还能够控制工厂的设置面积。

此外，利用搬送车5从层下向层上交接搬送容器C，因此，能够在相邻的工艺室21、21之间共用交接口22，所以，能够减少交接口22的设置数量。另外，在对未使用区域31增设工艺室21的情况下，只要停止共用该未使用区域31与交接口22的工艺室21的处理，也能够进行施工，所以，例如也能容易地应对医药品的增产等。另外，在对未使用区域31增设工艺室21的情况下，根据设置于该未使用区域31（工艺室21）中的处理装置27能够设定搬入搬出口24的高度位置，所以，能够使未使用区域31与各种各样的工艺室21对应。

因此，在建设工厂后，例如在开发医药品的新的制造方法和处理装置27等的新技术的情况下，也能容易地在工厂中引入这些新技术，所以，也能容易地应对增产等，所以，能够获得自由度高的工厂。

另外，单独地设置物流层2与操作员用通道62，因此，不仅能够防止搬送车5与操作员的冲突，而且，还能防止操作员对搬送容器C和被处理物或者处理物的干扰。而且，使搬送车5进行水平移动和升降操作，因此，在各个工艺室21中不需要升降装置，因此，能够低成本地建设工厂。另外，能够将参观者用通道63设置于工艺室21的侧方位置，所以，例如与设置于工艺室21的上方的情况相比，例如，能够切实地参观（检查）处理装置27的操作等。

此外，由于在水平的物流层2中利用搬送车5搬送搬送容器C，因此，例如与沿着多层的工艺室21在高度方向上设置搬送室的情况相比，例如操作员很容易清扫该物流层2内。另外，在物流层2中设置有多个搬送车5，所以，例如在一台发生故障或进行维修的情况下，其它的搬送车5也能接替该搬送车5所承担的搬送。

另外，在必须在上下层的物流层2、2之间搬送搬送容器C的情况、或者如已述那样必须使1t的重量物升降的情况下，利用堆垛机12能够使搬送容器C升降，所以，不仅能够层叠阶层式构造体3，并且能够减少工厂的设置面积。因此，即使是利用搬送车5难以搬送或者无法搬送的重量的搬送容器C，也能搬送。此时，能够按照堆垛机12的升降室13面向多层的物流层2的方式，即，面向工厂的外壁等的方式自由地设置，所以，不会影响工厂内的布局。

此外，如已述的那样，搬送车5在缩径部中从侧方一侧保持搬送容器C，另一方面，堆垛机12从下方一侧保持搬送容器C，所以，也可以不设置已述的交接部件15，在搬送车5与堆垛机12之间直接交接搬送容器C。另外，对于搬送车5，也可以使其具有在该搬送车5上使叉5b进退的机构，或者也可以使其能够在搬送车5上调整叉5b（搬送容器C）的方向。

另外，如已述的那样，搬送车5不从下面一侧保持搬送容器C而是从两侧保持缩径部，所以，能够向物流层2的地面11直接交接搬送容器C。因此，如图23（a）所示，例如，也可以将处理结束的搬送容器C、和在处理的中途暂时保管的搬送容器C或者变空的搬送容器C，载置于不干扰物流层2中的搬送车5的操作的位置。像这样，将物流层2作为所谓的仓库（载置区域）而使用，不单独设置仓库用的空间，能够低成本地保管搬送容器C。此外，如图23（b）所示，也可以在物流层2中设置搁架71，将该搁架71作为仓库而使用。

另外，也可以如图24所示，在交接口22的下方位置的物流层2中，经由该交接口22交接搬送容器C时，按照在圆周方向上围绕搬送车5所移动（进退）的区域的方式，设置连接该物流层2的顶面与地面11的分隔室72。在此情况下，分隔室72的内部区域形成所谓的用来抑制污染的气锁（air lock）室，物流层2与工艺室21之间的气氛被分隔。该图24中的73是在搬送车进出分隔室72内时被开闭的门等开闭门，在搬送车5不进出分隔室72内时被气密地封闭。此时，例如也可以在工艺室21内设置开闭交接口22的开闭部件，例如在交接搬送容器C以外的时间，气密地封闭工艺室21内。

另外，也可以在工艺室21内设置气锁室。在此情况下，如图25所示，在工艺室21内设置有：经由交接口22利用搬送车5来载置搬送容器C且水平搬送搬送容器C的传送带81、和利用该传送带81接受被搬送至工艺室21的内部的搬送容器C的传送带82，另外，在传送带81、82之间配置设置了图中未示的门的分隔壁83。如果搬送容器C被搬送车5经由交接口22载置于传送带81上，则分隔壁83的图中未示的门开放，向传送带82搬送，然后，分隔壁83关闭。在此情况下，也可以在交接口22设置开闭部件。

另外，在上述的例子中，对在两个相邻的工艺室21a、21b间共用交接口22的例子进行了说明，但也可以如图26所示，在相邻的三个工艺室21的中央的工艺室21a中形成交接口22，在与该工艺室21a相邻的工艺室21b、21c中共用该交接口22。此时，例如在交接口22与工艺室21c（21b）的搬入搬出口24分离的情况下，也可以在交接口22与该搬入搬出口24之间设置传送带91。此外，如图27（a）所示，也可以不设置传送带91，按照分别接近工艺室21b、21c的搬入搬出口24、24的方式，在工艺室21a中形成两个交接口22、22，或者如同图（b）所示，按照接近工艺室21b、21c的各个搬入搬出口24、24的方式，形成大的交接口22。在此情况下，例如在经由交接口22的上方区域，在工艺室21a与机械室61之间搬送处理装置27时，例如以封闭交接口22的方式设置例如金属制的图中未示的搬运路径，在该搬运路径上搬送处理装置27。

另外，在上述的例子中，对将未使用区域31改造成工艺室21的例子进行了说明，但是，在该工厂中，将例如取代工艺室21而配置的图中未示的仓库改造成工艺室21的情况下，也同样进行施工。

此外，如图28所示，在已述的压片室25横向并列配置有多个的情况下，优选按照堆垛机12能够向这些压片室25的搬送口28a搬送搬送容器C的方式，将升降室13以及滑轨41沿着这些压片室25延长配置。另外，还按照在堆垛机12中设置车轮46并使其能够水平移动的方式而构成，但是，搬送口14、28a的位置在高度方向上成一列的方式而形成的情况下，也可以取代堆垛机12，设置垂直升降机和升降机等升降机构。

此外，为了在上下的物流层2、2之间或者压片室25中搬送搬送容器C而设置了堆垛机12，但是在物流层2、2之间不搬送搬送容器C的情况下，以及不进行如压片室25等那样的1t的重量物的升降的情况下，也可以不设置该堆垛机12。另外，按照多层例如两层来层叠阶层式构造体3，但是，也可以如图29所示采用一层。另外，在压片室25中，利用堆垛机12向投入区域25a交接搬送容器C，利用搬送车5向处理区域25b进行搬送容器C的交接，但也可以在处理区域25b与升降室13之间的壁面上形成搬送口，在处理区域25b与堆垛机12之间交接搬送容器C。

此外，在使压片室22这样的1t的重量物升降的情况下使用了堆垛机12，但是，例如在处理装置27中搬送容器C所载置的高度位置与物流层2的地面11相比高例如10m左右以上，因此，在利用搬送车5难以使搬送容器C升降的情况下，也可以使用堆垛机12。另外，将共用交接口22的工艺室21a、21b配置在该处理层1内，但是，也可以在任意一个工艺室21中形成交接口22。在此情况下，对于未使用区域31，既可以共用相邻的工艺室21与交接口22，或者也可以预先在该未使用区域31中形成交接口22。另外，在相邻的工艺室21a、21b中共用交接口22的情况下，也可以沿着这些工艺室21a、21b之间的壁面形成长形的工艺室21a中的交接口22。像这样，通过形成交接口22，对于形成搬入搬出口24的位置，不仅在高度位置，在横向上其自由度也高。

在上述的例子中，以制造固体制剂的医药品工厂为例对本发明进行了说明，但是例如除了这种固体制剂以外，也可以在设置了多个对被处理物进行处理的工艺室21的处理设备、例如制造食品、化学品的工厂等中，应用本发明。

以下，列举本发明的其它的实施方式。

（1）在交接口的周围设置分隔壁的例子

图30所示的例子是，在工艺室21中的交接口22的周围设置分隔壁200，用来分隔交接口22的上方区域与工艺室21的处理气氛。该分隔壁200由：包围交接口22的四方的垂直壁201、和在该垂直壁201的上端，密闭由垂直壁201围成的开口的顶壁202组成。另外，在分隔壁200上，如图30所示，设置开闭搬送口204的例如能够沿着水平方向滑动的门203，该门203打开，由此，在搬送车5的叉5b与工艺室21内之间进行搬送容器C的交接。在不进行搬送容器C的交接时，门203关闭，分隔工艺室21的处理气氛与交接口。分隔是指，并非表示气密地分隔，而是在门203与垂直壁201之间存在缝隙。此外，工艺室21的处理气氛与交接口之间也可以被气密地分隔。

（2）当门203打开时，用来在交接口的附近进行被搬送物的交接的构造的例子

图31所示的例子是，在设置了图30所示的门203的例子中，在与门203相比更靠工艺室21一侧设置搬送部300。该搬送部300用来在与搬送车5的叉5b之间进行搬送容器C的交接。搬送部300构成滑动机构，它由基台301和按照门203与该基台301正交的方式而水平移动的移动体302组成。作为用来使移动体302水平移动的机构，列举以下结构：例如在基台301设置图中未示的引导件和气缸，将移动体固定于该气缸，通过该气缸的伸缩，使移动体302沿着引导件移动。

在与搬送车5的叉5b之间进行搬送容器C的交接时，移动体302位于横跨门203的移动区域（门203关闭时该门203所位于的区域）的位置。采用这种方式构成，有以下的优点。在未设置前述搬送部300的情况下，叉5b必须越过门203的移动区域进入工艺室21内，进行搬送容器C的交接。与此相反，如果设置搬送部300，则在搬送容器C的交接时，能够缩短叉5b的冲程。

图32是搬送部300的其它的例子。本例的搬送部300包括：水平搬送机构311和辅助搬送部312。水平搬送机构311包括：按照上表面的高度位置比搬送口22c的下端位置高的方式而构成的支承台320、和在该支承台320上，按照沿着与搬送容器C向工艺室21的搬入搬出方向正交的方向且水平延伸的方式形成圆筒形状的旋转体321。旋转体321例如利用图中未示的电机等驱动部，在支承台320上围绕水平轴旋转自如地被轴支承，在本例中，沿着前述搬入搬出方向排列多个。该水平搬送机构311在工艺室21内的处理气氛一侧，配置于分隔壁200的附近。在该分隔壁200与交接口22之间，为了辅助水平搬送机构311与搬送车5之间的搬送容器C的交接，设置有从下方侧支承搬送容器C的辅助搬送部312。

该辅助搬送部312包括：按照上表面的高度位置与已述的水平搬送机构311上的搬送容器C的载置面的高度水平一致的方式而设置的支承部314、和按照沿着与搬送容器C向工艺室21的搬入搬出方向正交的方向且水平地延伸的方式形成圆筒形状，且按照能够围绕水平方向轴旋转的方式，长度方向上的两个端部被支承部314轴支承的旋转体313。因此，该辅助搬送部312按照在交接口22与水平搬送机构311之间，能够从下方一侧沿着前述搬入搬出方向进退自如地支承搬送容器C的方式而构成。这些辅助搬送部312与水平搬送机构311之间的分离距离，例如被设定在前述搬入搬出方向上的搬送容器C的底面长度尺寸的一半以下，优选1/3以下。由这些水平搬送机构311与辅助搬送部312构成搬送部300。

在设置了该水平搬送机构311以及辅助搬送部312的情况下，例如经由交接口22被向处理层1内提升的搬送容器C经由搬送口204与门203的开闭区域，横跨辅助搬送部312以及水平搬送机构311而载置。接着，如果水平搬送机构311被控制部10驱动，则搬送容器C下面的交接口22侧的区域被辅助搬送部312辅助（支承），同时搬送容器C的下面的工艺室21侧的区域被该水平搬送机构311拉向工艺室21一侧，搬送容器C被搬入该工艺室21内。此时，将这些水平搬送机构311与辅助搬送部312之间的分离距离，如已述的那样设定在搬送容器C的搬入搬出方向的该搬送容器C的底面长度尺寸的一半以下，所以，即使当搬送容器C被向工艺室21内搬入时，搬送容器C的下端离开辅助搬送部312，搬送容器C也不会向交接口22翻倒。当从工艺室21搬出搬送容器C时，按照与搬入时相反的顺序，这些水平搬送机构311、辅助搬送部312以及搬送车5驱动。在此情况下，作为辅助搬送部312，也可以配置与水平搬送机构311同样的传送带等。此外，图33表示切除分隔壁200以及门204的一部分。

如以上所述，在该例中，前述搬送部300是用来在与前述搬送车5的叉5b之间进行搬送容器C的交接的机构，能够在向叉5b进行搬送容器C的交接的位置、和与前述门203相比更靠处理气氛侧的位置之间进行搬送容器C的搬送。在搬送部300与叉5b之间交接搬送容器C的位置横跨前述门203的移动区域。

（3）在作为第二层的物流层2中设置用来保管搬送容器C的保管区域的例子

如图33所示，在物流层2中，配置作为用来暂时保管（载置）搬送容器C的保管区域的保管搁架401。图34表示保管搁架401的配置布局的具体的例子。保管搁架401沿着搬送路径6配置。该保管搁架401是，例如在工艺室21所进行的处理所需的时间根据处理的类别而各不相同的情况下，用来暂时保管收纳了处理物和中间生成物的搬送容器C的缓冲区域。

另外，该保管搁架401是，在开始对工厂进货的原料粉末进行处理之前的期间，或者在最终产品从工厂出厂之前的期间，为了同样暂时保管收纳了这些原料粉末和最终产品的搬送容器C（或者捆包容器）而使用的区域。此外，对于处理后的处理物和中间生成物，在开始接下来的处理之前而需要一定程度的养护时间或反应时间的情况下，有时也使用保管搁架401。因此，捆包容器和搬送容器C被保管在保管搁架401上的时间（期间）多种多样，在暂时载置于保管搁架401上的情况下，在以下的说明中，也使用“保管”这样的用语。

该保管搁架401设置于已述的搬送车5的叉5b能够交接搬送容器C的位置。保管区域并不限于搁架，也可以是地面11，但是它是由控制搬送车5的控制部10来管理位置的区域。搬送车5如已述的那样，沿着搬送路径6移动，控制部10根据与搬送车5的搬送用电机连接的编码器的脉冲数来管理搬送车5的位置。因此，在控制部10的存储器中预先存储将各个保管区域与位置相对应的数据，由此来管理保管区域的位置。保管区域的位置包括：搬送车5的停止位置、和相对于停止的搬送车5的水平方向的位置以及距地面的高度位置。

对设置保管区域的一个优点进行阐述。物流层2实际上位于多个工艺室的层下，因此，多数情况下是很宽的区域。因此，对于形成于处理层1中的交接口22，优选在物流层2的地面的投影区域的附近设置保管区域。“附近”是指，例如距经由交接口22向工艺室21交接搬送容器C时的搬送车5的位置例如10m以内的位置。在此情况下，被保管在保管区域中的搬送容器C是，经由该交接口22而被搬入工艺室21中的搬送容器C。如果采用这种方式构成，则利用搬送车5能够从保管区域接受该搬送容器C然后立即经由交接口22交给处理层1。如果在处理层2中设置保管区域，则通过搬送车5将搬送容器C搬送至目标工艺室21的时间变长。这一优点在搬送车5的移动速度慢的情况下尤其明显。

（4）设置预备清洗室的例子

也可以将该预备清洗室称作气锁室。气锁室（预备清洗室）介于工艺室21中的至少一个工艺室21以及物流层2的搬送区域之间，是在它们之间搬送搬送容器C时暂时放置搬送容器C的房间。通过设置该气锁室，能够抑制物流层2的搬送区域的空气流入工艺室21内。

图35是横跨处理层1与物流层2设置气锁室500的例子。在物流层2中，以包围交接口22的下方区域的四方的方式设置垂直壁501，构成从物流层2的搬送区域分隔的房间。在处理层1中，以包围交接口22的上方区域的四方的方式设置垂直壁502，还按照堵住由这些垂直壁502所围成的空间的上端一侧的方式设置顶板503。像这样，在交接口22的上下形成分隔室，该分隔室相当于气锁室500。垂直壁501、502设置于四面，但在图30中，仅记载了相对的两面。

在物流层2侧的垂直壁501的一面侧形成搬送口504，设置作为用来开闭该搬送口504的开闭部的门505。该搬送口504用来使搬送车5在气锁室500与该气锁室500的外部之间移动。

另外，在处理层1侧的垂直壁502的一面侧形成搬送口506，设置作为用来开闭该搬送口506的开闭部的门507。搬送口506是为了搬送车5在与工艺室21之间交接搬送容器C而设置的。例如根据图中未示的气流形成部，将气锁室500内设定成空气的正压（比气压略高的压力）气氛。另外，也可以将气锁室500内设定为空气的负压（比气压略低的压力）气氛。

图36是仅在物流层1侧设置气锁室500的例子，设置有作为开闭交接口22的开闭部的挡门（shutter）508。该挡门508具有划分气锁室500与工艺室201的气氛的作用。

图37是仅在处理层1侧设置气锁室500的例子。509、510为门。交接口22的上方区域被垂直壁502以及顶壁503分隔，在一面的垂直壁502上设置前述门509。

（5）工厂内的布局的例子

另外，对于通过设置处理层1与物流层2，工厂的各个区域的配置布局的自由度大，已经进行了阐述，但是，对于与已述的例子不同布局的工厂，将参照图38以及图39进行说明。在该工厂中，取代已述的机械室61，按照沿着成排的工艺室21的方式设置操作员用通道95，在该操作员用通道95与各个工艺室21之间的侧面分别设置操作员用的门29。该操作员用通道95在于，为了防止经由进出工艺室21的操作员的衣服的污染，将进入各个工艺室21的操作员的通道与退出的操作员的通道分开而设置。因此，操作员用通道62、95中的一个是进入各个工艺室21的操作员的通道，操作员用通道62、95中的另一个是从这些工艺室21退出的操作员的通道。图39中的401a是搬送容器的保管区域。

像这样，即使在按照分别与工艺室21相邻的方式来配置两个操作员用通道62、95的情况下，也能从物流层2将搬送容器C搬入工艺室21中，所以，在各个工艺室21中，不需要用来升降搬送容器C的升降机等升降装置。因此，上下分隔处理层1与物流层2，所以，能够控制建设费用的增加并能够自由地设定处理层1以及搁架71的布局。

此外，也可以取代已述的机械室61，按照与工艺室21相邻的方式，设置用来清洗搬送容器C的内部或者外部的清洗室。

另外，多个工艺室21的配置布局并非限于排成一列，例如也可以是将四角形纵向、横向分成四等分时的各等分隔域相当于工艺室的布局。

（6）搬送车的构造例子

此处，将使用图40～图43，对搬送车5的构造的一个例子进行详细的阐述。搬送车5通过行驶车主体50在物流层2上自由地水平移动。在该行驶车主体50的上部，垂直竖立作为在左右方向（图6中的X方向）上分开的两根支柱的固定臂651。在这两根固定臂651、651上，两侧部被引导且板状的升降臂652升降自由地设置。在该升降臂652上，沿着X方向延伸的横长的升降体653升降自由地设置。该升降体653的横长的升降体653a、653b在Y方向两层重叠，沿着X方向依次伸出，且伸出冲程大。相对于该升降体653支承臂654在Y方向伸出，在该支承臂654的前端侧设置有利用旋转轴655围绕Z轴（围绕垂直轴）而旋转自由的叉部件56。因此，该叉部件56能够围绕垂直轴旋转，且能够借助支承臂654在X方向移动。该升降体653沿着升降臂652升降，由此，叉部件56也升降。而且，该升降臂652沿着固定臂651升降，由此，该叉部件56的相对于物流层2的高度位置还能够进一步向上延伸。另外，还可以设置相对于升降臂652升降自由的其它的升降臂，采用与升降体653的两层构造同样的结构，在此情况下，能够获得更大的上升冲程。

另一方面，在该升降臂652中的叉部件56伸出侧的侧部设置有防振机构690。该防振机构690由：伸缩机构691、支承部件692、弹性部件693、检测部694以及防振控制部695构成。伸缩机构691设置于升降臂652的侧部，支承部件692能够伸缩，该支承部件692的前端部例如由橡胶组成的弹性部件693形成。在该弹性部件693的前端部设置有作为压力传感器的检测部694，当与后述的交接口22的内周壁抵接时，利用设置于行驶车主体50侧的防振控制部695，停止伸出操作。另外，该防振机构690的设定高度位置被设定在：叉部件56位于与交接口22相比更靠上方一侧的位置，在与工艺室21侧的搬送机构之间进行交接时或者向工艺室21另一侧移动时，与交接口22的内周壁相对的高度位置。

图44表示防振机构690的作用。使叉部件56上升至比在处理装置27中设置搬送容器C的高度位置略高的位置，经由交接口22将搬送容器C搬入工艺室21内。然后，使防振机构690的支承部件693伸长，支承部件693的前端部抵接交接口22的内周面，则检测部694输出接触检测信号，由此，伸缩机构691的前进动作停止。接着，为了使搬送容器C例如位于处理装置27的上方，例如使升降体653向左右方向滑动，使叉部件56向水平方向移动后，使叉部件56下降，例如向处理装置27交接搬送容器C。此外，搬送容器C有时也被交给工艺室21内的交接台。如果在保持搬送容器C的状态下叉部件56伸出，则在升降臂652上施加大的力矩，但支承部件692从升降臂652向叉部件56一侧伸出，并与交接口22的内周面接触，因此，升降臂652向叉部件56一侧振动的作用得以抑制。

在上述的例子中，防振机构690设置于升降臂652的一侧，但也可以如图45所示，设置于两侧。此外，在上述的例子中，在搬送车5一侧设置了防振机构690，但是也可以设置于交接口22一侧、例如交接口22的内周面。在此情况下，防振机构690的支承部件692伸出，并与搬送车5的升降臂652接触。

（7）工艺室的布局的例子

本发明如图44所示，除了在处理层的地面设置交接口22外，还可以设置其它的交接口701。该其它的交接口701与作为工艺室21的二层部分的投入区域25a的侧壁的开口部702连通。从交接口701至开口部702的搬送路径的四方被壁部包围。交接口701是专门用来将装有原料（也包含中间处理物）的搬送容器C交给工艺室21，交接口22是专门用来交接装有处理物的搬送容器C。工艺室21的一层部分是处理区域25b，在投入区域25a与处理区域25b之间配置间壁26。

另外，图45是图44所示的例子的变形例。图45的例子是图44的例子中的交接口701与交接口22通用的例子。因此，装有原料的搬送容器C经由交接口22以及二层部分25a的侧壁的开口部702在工艺室21与物流层之间进行交接。

符号说明

C搬送容器

1处理层

2物流层

3阶层式构造体

5搬送车

12堆垛机

14搬送口

21工艺室

22交接口

27处理装置

31未使用区域

35通气路径

61机械室

62操作员用通道

63参观者用通道

Claims (8)

1.一种处理设备，其特征在于：

设有多个对被处理物进行处理得到处理物的工艺室，将被处理物或处理物收纳在搬送容器内并搬送至工艺室，

该处理设备包括：

第一层，其平面地配置有多个工艺室；

第二层，其设置于该第一层的层下，用来进行所述搬送容器的搬送；

交接口，其形成于多个工艺室的各个地面，用来在所述第一层与所述第二层之间进行所述搬送容器的交接；和

搬送车，其设置于所述第二层用于经由这些交接口向所述工艺室进行搬送容器的交接，该搬送车具有水平移动的行驶车主体、和设置于该行驶车主体，保持并升降搬送容器的交接机构，

所述交接机构具有保持搬送容器且沿支柱升降的叉，所述支柱构成为，在作为在叉与第一层间进行搬送容器的交接时的高度位置的比交接口更靠上方的高度位置，与作为在第二层水平移动时的高度位置的比交接口低的高度位置之间，自由伸缩。

2.如权利要求1所述的处理设备，其特征在于：

包括：

控制所述搬送车的动作的控制部；和

保管区域，其设置在所述第二层用来保管被搬送物，并利用所述搬送车进行被搬送物的交接，

所述保管区域由所述控制部来管理位置。

3.如权利要求2所述的处理设备，其特征在于：

所述保管区域在所述第二层沿着所述搬送车行驶的行驶路径配置。

4.如权利要求2所述的处理设备，其特征在于：

所述保管区域在所述第二层靠近所述交接口的投影区域而设置。

5.如权利要求1所述的处理设备，其特征在于：

由所述第一层和所述第二层组成的阶层式构造体层叠有多个。

6.如权利要求1所述的处理设备，其特征在于：

进出所述工艺室的操作员用通道隔着所述工艺室的侧壁与该工艺室相邻地设置。

7.如权利要求6所述的处理设备，其特征在于：

具有机械室，其配置有与所述工艺室内的处理装置相关的机械设备，

该机械室隔着所述工艺室中的与所述操作员用通道相反侧的侧壁与该工艺室相邻地设置。

8.如权利要求6所述的处理设备，其特征在于：

隔着所述工艺室中的与所述操作员用通道相反侧的侧壁与该工艺室相邻地设置其它的操作员用通道。