JP7310716B2 - 天井搬送車、ティーチングユニット及び天井搬送車における移載位置学習方法 - Google Patents

天井搬送車、ティーチングユニット及び天井搬送車における移載位置学習方法 Download PDF

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Description

本発明は、天井搬送車に関するものであり、特に、設備内の移載部に対する被搬送物の移載位置を天井搬送車に学習させるために用いられるティーチングユニット、当該ティーチングユニットを搭載する天井搬送車、当該ティーチングユニットを用いた天井搬送車における移載位置学習方法に関する。
従来、この種の天井搬送車としては、特許文献１に示すようなものがある。特許文献１の天井搬送車では、ロードポート等（移載部）に対する被搬送物の移載位置を天井搬送車に学習させるために、ティーチングユニットと、位置決め部材（ティーチングプレート）と、が用いられる。
特許文献１の天井搬送車では、天井搬送車へのティーチング（ロードポート等（移載部）に対する被搬送物の移載位置の学習）を行う際に、ティーチングユニットが天井搬送車に搭載されるとともに、位置決め部材が設備内のロードポート等に設置される。そして、ティーチングユニットのユニット本体が、位置決め部材に接触して位置決め部材の位置検出を行うことで、ロードポート等に対する被搬送物の移載位置を天井搬送車に学習させる。
ＷＯ２０１８／１８６０２１
しかしながら、特許文献１の天井搬送車では、天井搬送車へのティーチングを行う際に、作業者がティーチングプレートを予めロードポート等に設置する必要があるため、ティーチングプレートをロードポート等に設置する作業が生じ、天井搬送車へのティーチングを開始するまでに時間を要する。特に、高所に設けられる天井バッファ（天井保管棚）に対する被搬送物の移載位置を天井搬送車に学習させる場合には、ティーチングプレートを予め天井バッファに設置する必要があるため、作業者が高所でティーチングプレートの設置作業を行うこととなり、ティーチングプレートの設置作業が煩雑となる。また、天井搬送車へのティーチングの終了後にはティーチングプレートをロードポート等から撤去する必要がある。このようなことから、特許文献１の天井搬送車では、天井搬送車へのティーチングの実施に時間を要し煩雑であるという問題があった。
本発明は上記課題を解決するもので、天井搬送車へのティーチング（移載部に対する被搬送物の移載位置の学習）の実施時間を短縮できるとともに、天井搬送車へのティーチングを容易に実施可能な天井搬送車、ティーチングユニット及び天井搬送車における移載位置学習方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明の天井搬送車は、設備内の天井に敷設される走行レールに沿って走行自在な走行部と、前記走行部に支持されて前記走行部と一体走行する本体部と、被搬送物を支持可能で且つ前記本体部に対して昇降可能な昇降部と、を備え、前記昇降部によって前記被搬送物を支持した状態で前記走行部の走行によって前記被搬送物を前記走行レールに沿って搬送し、前記昇降部の昇降によって前記被搬送物を前記設備内の移載部に移載可能な天井搬送車であって、前記昇降部は、前記移載部に対する前記被搬送物の移載位置を学習させるために用いられるティーチングユニットを支持して前記本体部に対して昇降可能に構成され、前記ティーチングユニットは、前記昇降部によって支持されるユニット本体と、前記移載部に設置されるティーチングプレートと、前記ユニット本体によって支持されるとともに前記ティーチングプレートの位置を検出する検出部と、を備え、前記検出部によって検出される前記ティーチングプレートの位置に基づいて前記移載部に対する前記被搬送物の移載位置を学習させることが可能であり、前記ユニット本体は、前記ティーチングプレートを支持可能に構成され、前記ティーチングプレートが前記移載部に移載されることによって前記ティーチングプレートに対する支持を解除するものである。
上記構成では、走行部の走行時及び昇降部の昇降時には、ユニット本体とティーチングプレートとが一体であり、移載部に対する被搬送物の移載位置を天井搬送車に学習させる際には、ティーチングプレートが移載部に移載されることでティーチングプレートがユニット本体から分離する。
本発明の天井搬送車は、前記ユニット本体が、前記ティーチングプレートと嵌合する嵌合部を備え、前記ティーチングプレートが前記移載部に載置されることで、前記嵌合部と前記ティーチングプレートとの嵌合が解除されるものである。
上記構成では、走行部の走行時及び昇降部の昇降時には、ユニット本体の嵌合部とティーチングプレートとが嵌合し、移載部に対する被搬送物の移載位置を天井搬送車に学習させる際には、ティーチングプレートがユニット本体から分離する。
本発明のティーチングユニットは、設備内の天井に敷設される走行レールに沿って走行自在な走行部と、前記走行部に支持されて前記走行部と一体走行する本体部と、被搬送物を支持可能で且つ前記本体部に対して昇降可能な昇降部と、を備え、前記昇降部によって前記被搬送物を支持した状態で前記走行部の走行によって前記被搬送物を前記走行レールに沿って搬送し、前記昇降部の昇降によって前記被搬送物を前記設備内の移載部に移載可能な天井搬送車において、前記移載部に対する前記被搬送物の移載位置を前記天井搬送車に学習させるために用いられるティーチングユニットであって、前記昇降部によって支持されて前記本体部に対して昇降可能に構成され、前記昇降部によって支持されるユニット本体と、前記移載部に設置されるティーチングプレートと、前記ユニット本体によって支持されるとともに前記ティーチングプレートの位置を検出する検出部と、を備え、前記検出部によって検出される前記ティーチングプレートの位置に基づいて前記移載部に対する前記被搬送物の移載位置を前記天井搬送車に学習させることが可能であり、前記ユニット本体は、前記ティーチングプレートを支持可能に構成され、前記ティーチングプレートが前記移載部に移載されることによって前記ティーチングプレートに対する支持を解除するものである。
上記構成では、走行部の走行時及び昇降部の昇降時には、ユニット本体とティーチングプレートとが一体であり、移載部に対する被搬送物の移載位置を天井搬送車に学習させる際には、ティーチングプレートが移載部に移載されることでティーチングプレートがユニット本体から分離する。
本発明のティーチングユニットは、前記ユニット本体が、前記ティーチングプレートと嵌合する嵌合部を備え、前記ティーチングプレートが前記移載部に載置されることで、前記嵌合部と前記ティーチングプレートとの嵌合が解除されるものである。
上記構成では、走行部の走行時及び昇降部の昇降時には、ユニット本体の嵌合部とティーチングプレートとが嵌合し、移載部に対する被搬送物の移載位置を天井搬送車に学習させる際には、ティーチングプレートがユニット本体から分離する。
本発明の天井搬送車における移載位置学習方法は、設備内の天井に敷設される走行レールに沿って走行自在な走行部と、前記走行部に支持されて前記走行部と一体走行する本体部と、被搬送物を支持可能で且つ前記本体部に対して昇降可能な昇降部と、を備え、前記昇降部によって前記被搬送物を支持した状態で前記走行部の走行によって前記被搬送物を前記走行レールに沿って搬送し、前記昇降部の昇降によって前記被搬送物を前記設備内の移載部に移載可能な天井搬送車において、前記移載部に対する前記被搬送物の移載位置を前記天井搬送車に学習させるための天井搬送車における移載位置学習方法であって、前記昇降部によって支持されるユニット本体と、前記移載部に設置されるティーチングプレートと、前記ユニット本体によって支持されるとともに前記ティーチングプレートの位置を検出する検出部と、を備えるティーチングユニットを、前記昇降部によって前記本体部に対して昇降可能に支持させ、前記ティーチングプレートを前記移載部に移載することによって前記ユニット本体による前記ティーチングプレートに対する支持を解除させ、前記ユニット本体による前記ティーチングプレートに対する支持を解除した後に前記検出部によって検出される前記ティーチングプレートの位置に基づいて前記移載部に対する前記被搬送物の移載位置を前記天井搬送車に学習させる方法である。
上記方法では、走行部の走行時及び昇降部の昇降時には、ティーチングプレートとユニット本体とを一体にし、移載部に対する被搬送物の移載位置を天井搬送車に学習させる際には、ティーチングプレートとユニット本体とを分離させる。
本発明の天井搬送車、ティーチングユニット及び天井搬送車の移載位置学習方法によれば、天井搬送車へのティーチング（移載部に対する被搬送物の移載位置の学習）を行う際に、ティーチングプレートが天井搬送車によって移載部に設置され、また、移載部から撤去されるため、作業者が移載部にティーチングプレートを設置する作業や移載部からティーチングプレートを撤去する作業を行う必要がない。そのため、天井搬送車へのティーチングを短い時間で容易に行うことができる。
本発明の実施の形態に係る天井搬送車及びそれが備えられる半導体基板の処理設備の概略図である。 同天井搬送車に搭載されるティーチングユニットの斜視図である。 （ａ）は、同ティーチングユニットを構成するユニット本体の斜視図、（ｂ）は、同ティーチングユニットを構成するティーチングプレートの斜視図である。 （ａ）は、同ティーチングユニットがロードポートに対して昇降される際の同ティーチングユニットの正面図、（ｂ）は、ティーチングプレートがロードポートに載置された際の同ティーチングユニットの正面図、（ｃ）は、天井搬送車へのティーチングを行う際の同ティーチングユニットの正面図である。
まず、本発明に係る天井搬送車１０について説明する。
図１に示すように、天井搬送車１０は、例えば、半導体基板の製造工場のクリーンルーム９０（「設備」の一例）内の天井９１に敷設される走行レール９２に沿って、半導体基板が収容されたフープ（「被搬送物」の一例、図示せず）等や後述するティーチングユニット２０を搬送する。また、天井搬送車１０は、半導体基板に対して所定の処理を行う処理装置９３のロードポート９４（「移載部」の一例）や上記フープ等を一時的に保管する天井バッファ（天井保管棚、「移載部」の一例、図示せず）に上記フープ等やティーチングユニット２０を移載する。なお、以下では、天井搬送車１０が上記フープ等を移載する移載部及び天井搬送車１０へのティーチング（移載部に対する被搬送物の移載位置の学習）を行う際にティーチングユニット２０を移載する移載部を、処理装置９３のロードポート９４として説明する。
図１に示すように、天井搬送車１０は、走行レール９２に沿って走行自在な走行部１１と、走行部１１に支持されて走行部１１と一体走行する本体部１４と、上記フープ等を支持可能で且つ本体部１４に対して昇降可能な昇降部１５と、を備える。天井搬送車１０は、昇降部１５によって支持された状態の上記フープ等を、走行部１１の走行によってロードポート９４の上方の所定位置まで走行レール９２に沿って搬送する。天井搬送車１０は、走行部１１の走行によって所定位置まで搬送された上記フープ等を、昇降部１５の昇降によってロードポート９４に移載する。
走行部１１は、走行レール９２上を転動する一対の走行車輪１２と、一対の走行車輪１２を駆動する走行駆動部１３と、を備える。
本体部１４は、走行部１１に吊り下げ状態で支持されるとともに、その内部において昇降部１５を昇降可能に支持する。
昇降部１５は、上記フープ等を吊下げ状態で把持する把持部１６と、本体部１４の内部に固定されて把持部１６を昇降駆動する昇降駆動部（図示せず）と、を備える。当該昇降駆動部は、把持部１６の一端に接続されるワイヤ１７を巻き取り又は繰り出すことで把持部１６を昇降させる。
天井搬送車１０では、ロードポート９４に対する上記フープ等（被搬送物）の移載位置を天井搬送車１０に学習させるために、天井搬送車１０へのティーチングを行う。ここで、天井搬送車１０へのティーチングとは、把持部１６が目標位置からずれのない位置で、ロードポート９４への上記フープ等（被搬送物）の移載動作を行うことができるように、天井搬送車１０に行うべき動作を記憶させることであり、走行部１１を走行レール９２の所定位置に停止させて昇降部１５の把持部１６を所定距離下降させた状態で、把持部１６の位置が目標位置からどれだけずれているかを検出し、当該検出結果に基づいて把持部１６の位置を目標位置に補正して天井搬送車１０に記憶させる。
天井搬送車１０へのティーチングは、ティーチングユニット２０を用いて行われ、天井搬送車１０の走行部１１を目標のロードポート９４の上方で停止させ、昇降部１５の把持部１６によって把持された状態のティーチングユニット２０を目標のロードポート９４まで下降させることによって行う。
ティーチングユニット２０は、天井搬送車１０の昇降部１５によって支持され、昇降部１５の昇降によって本体部１４に対して昇降する。より具体的には、ティーチングユニット２０は、昇降部１５の把持部１６によって把持された状態で、本体部１４に対して昇降する。
ティーチングユニット２０は、その重量及び重心位置が上記フープ等（被搬送物）と一致するように形成されている。図２、図３（ａ）、図３（ｂ）に示すように、ティーチングユニット２０は、ユニット本体２１と、ティーチングプレート３１と、距離計４０、４１、４２（「検出部」の一例）と、角度計４３（「検出部」の一例）と、から主に構成されている。
図３（ａ）に示すように、ユニット本体２１は、箱状の枠体である。ユニット本体２１は、その左右方向Ａがティーチングユニット２０の搬送時の天井搬送車１０の走行方向と同じ方向となるように昇降部１５によって支持される。ユニット本体２１は、底板２２と、底板２２の４つの角部のそれぞれに立設される支柱２３と、４本の支柱２３の頂部に設けられる上面板２４と、から主に構成されている。
４本の支柱２３のうち、ユニット本体２１の左右方向Ａの両側において隣接する２本の支柱２３間には、横枠２５が設けられている。ユニット本体２１の左右方向Ａの両側に設けられる横枠２５間には、支持枠２６が設けられている。上面板２４の中央には、昇降部１５の把持部１６がユニット本体２１を把持するためのフランジ２７が設けられている。
横枠２５の中央部には、ユニット本体２１の左右方向Ａの外側に突出する基台２８が設けられている。基台２８は、横枠２５の外側面から水平に突出する板材である。基台２８には、ティーチングプレート３１を支持するための第１突起部２９及び一対の第２突起部３０が固定されている。
第１突起部２９は、基台２８の突出側（横枠２５に固定されている側と反対側）の中央部に設けられ、ティーチングプレート３１と係合することでティーチングプレート３１の前後方向Ｂの位置決めを行う。第１突起部２９は、基台２８の上面から上方へ突出する第１ローラ支持体２９Ａと、第１ローラ支持体２９Ａの先端側に回動可能に軸支される第１ローラ２９Ｂ（「嵌合部」の一例）と、から構成されている。第１ローラ２９Ｂは、そのローラ面が前後方向Ｂに向くように第１ローラ支持体２９Ａに支持される。第１ローラ２９Ｂは、そのローラ面がティーチングプレート３１と当接してティーチングプレート３１に嵌め合わされることによってティーチングプレート３１の前後方向Ｂの位置決めを行う。
第２突起部３０は、基台２８の前後両側に第１突起部２９を挟むように設けられ、ティーチングプレート３１と当接することでティーチングプレート３１の左右方向Ａの位置決めを行う。第２突起部３０は、基台２８の上面から上方へ突出する第２ローラ支持体３０Ａと、第２ローラ支持体３０Ａの先端側に回動可能に軸支される第２ローラ３０Ｂと、から構成されている。第２ローラ３０Ｂは、そのローラ面が左右方向Ａに向くように第２ローラ支持体３０Ａに支持される。第２ローラ３０Ｂは、そのローラ面がティーチングプレート３１と当接することで、ティーチングプレート３１の左右方向Ａの位置決めを行う。
図３（ｂ）に示すように、ティーチングプレート３１は、ユニット本体２１の下部に嵌め合わせ可能な凹状の部材である。ティーチングプレート３１は、その左右方向Ａがティーチングユニット２０の搬送時の天井搬送車１０の走行方向と同じ方向となるようにユニット本体２１によって支持される。ティーチングプレート３１は、プレート本体３２と、プレート本体３２の左右両側にそれぞれ設けられる側壁３６と、から主に構成されている。
プレート本体３２は、板材によって形成され、ティーチングプレート３１をロードポート９４に移載する際に、ロードポート９４に当接する部分である。
プレート本体３２には、ティーチングプレート３１をロードポート９４に移載する際に、ロードポート９４に設けられるピン９５（図１参照）が挿入される孔部３３が形成されている。孔部３３は、ロードポート９４のピン９５の位置に対応するプレート本体３２の所定位置（図３（ｂ）では３箇所）に形成されている。孔部３３の上部（プレート本体３２の上面）には、孔部３３の開口部分を上方から覆うように接触センサ３４が設けられている。接触センサ３４は、孔部３３に挿入されたピン９５の頂部と接触可能に構成されている。接触センサ３４はピン９５と接触することで検出信号を天井搬送車１０の制御部（図示せず）に送信する。天井搬送車１０の制御部は、接触センサ３４からの検出信号に基づいて、ティーチングプレート３１がロードポート９４の所定位置に載置されていると判断する。
プレート本体３２の左右方向Ａの両側部には、第２距離計４１が照射するレーザー光を反射させるための反射板３５が立設されている。反射板３５は、その壁面がティーチングプレート３１の前後方向Ｂに向くように設けられている。
側壁３６は板材によって形成され、プレート本体３２の左右方向Ａの両側端部に前後方向Ｂに沿って立設されている。側壁３６は、ティーチングプレート３１がユニット本体２１に支持される際に、ユニット本体２１の基台２８、第１突起部２９及び第２突起部３０と係合する部分である。側壁３６は、その上半分の領域に開口部３７が形成されている。開口部３７は、ユニット本体２１の基台２８、第１突起部２９及び第２突起部３０が挿通可能な程度の開口高さ及び開口幅で開口している。
開口部３７の上部中央には溝部３８が形成されている。溝部３８は、ユニット本体２１の第１突起部２９の第１ローラ２９Ｂに嵌め合わせ可能な湾曲状（半円状）の切り込みによって形成されている。溝部３８に第１ローラ２９Ｂを嵌め合わせることで、ティーチングプレート３１の前後方向Ｂの位置決めがなされる。
溝部３８の両側には突出部３９が形成されている。突出部３９は開口部３７の上部から下方に突出する三角形の突出部分である。突出部３９は、ティーチングプレート３１がユニット本体２１に支持される際に、ユニット本体２１の基台２８に載置される。突出部３９が基台２８に載置されることで、ティーチングプレート３１がユニット本体２１に吊り下げられた状態で支持される。
図２及び図３（ａ）に示すように、第１距離計４０は、レーザー距離計であり、天井搬送車１０へのティーチングの際に、ユニット本体２１の所定位置からティーチングプレート３１の所定位置までの左右方向Ａの距離を検出するものである。第１距離計４０は、ユニット本体２１の底板２２に立設される枠体２２Ａに取り付けられる。第１距離計４０は、ティーチングプレート３１の一方の側壁３６の内側面にレーザー光を照射することで、ユニット本体２１の所定位置からティーチングプレート３１の所定位置までの左右方向Ａの距離を検出する。第１距離計４０は、ユニット本体２１に１台設けられている。ティーチングユニット２０では、ユニット本体２１の所定位置からティーチングプレート３１の所定位置までの左右方向Ａの距離の検出を、１台の第１距離計４０によって、ティーチングプレート３１の１点において行う。
第２距離計４１は、レーザー距離計であり、天井搬送車１０へのティーチングの際に、ユニット本体２１の所定位置からティーチングプレート３１の所定位置までの前後方向Ｂの距離を検出するものである。第２距離計４１は、ユニット本体２１の底板２２に取り付けられる。第２距離計４１は、ティーチングプレート３１の反射板３５にレーザー光を照射することで、ユニット本体２１の所定位置からティーチングプレート３１の所定位置までの前後方向Ｂの距離を検出する。第２距離計４１は、ユニット本体２１に２台設けられている。ティーチングユニット２０では、ユニット本体２１の所定位置からティーチングプレート３１の所定位置までの前後方向Ｂの距離の検出を、２台の第２距離計４１によって、ティーチングプレート３１の２点において行う。
第３距離計４２は、レーザー距離計であり、天井搬送車１０へのティーチングの際に、ユニット本体２１の所定位置からティーチングプレート３１の所定位置までの上下方向Ｃ（高さ方向）の距離を検出するものである。第３距離計４２は、ユニット本体２１の支柱２３又は支持枠２６に取り付けられる。第３距離計４２は、ティーチングプレート３１のプレート本体３２の上面にレーザー光を照射することで、ユニット本体２１の所定位置からティーチングプレート３１の所定位置までの上下方向Ｃ（高さ方向）の距離を検出する。ティーチングユニット２０では、ユニット本体２１の所定位置からティーチングプレート３１の所定位置までの上下方向Ｃ（高さ方向）の距離の検出を、３台の第３距離計４２によって、ティーチングプレート３１の３点において行う。
角度計４３は、ティーチングプレート３１に対するユニット本体２１の傾きを検出するものである。角度計４３は、ユニット本体２１のフランジ２７の下部に取り付けられる。
次に、天井搬送車１０へのティーチング（天井搬送車１０における移載位置学習方法）及び天井搬送車１０へのティーチング時におけるティーチングユニット２０の作用について説明する。
天井搬送車１０へのティーチングでは、天井搬送車１０に搭載されたティーチングユニット２０のユニット本体２１に設けられた距離計４０、４１、４２と、角度計４３を用いて、ティーチングプレート３１に対するユニット本体２１の左右方向Ａ、前後方向Ｂ、上下方向Ｃ及び旋回方向の位置並びにティーチングプレート３１に対するユニット本体２１の傾き量を測定し、測定したそれぞれの結果からティーチングプレート３１に対する昇降部１５の把持部１６のズレを算出し、算出した当該ズレを天井搬送車１０の学習値に反映させた上で、ロードポート９４に対する上記フープ等（被搬送物）の移載位置を天井搬送車１０に学習させる。
図１及び図４に示すように、天井搬送車１０へのティーチングを行うに際しては、まず、天井搬送車１０に、ティーチングユニット２０を搭載させる。この時、天井搬送車１０は、ティーチングユニット２０（ユニット本体２１のフランジ２７）を昇降部１５の把持部１６によって把持した状態で、本体部１４に対する所定位置まで上昇させて保持する。
天井搬送車１０は、把持部１６によってユニット本体２１のフランジ２７を把持した状態でティーチングユニット２０を目標のロードポート９４（天井搬送車１０へのティーチングを行うためのロードポート（学習ステーション））の上方位置まで搬送する。この時、ティーチングプレート３１は、把持部１６によって把持されたユニット本体２１によって支持され、ユニット本体２１と一体で天井搬送車１０によって搬送される。ここで、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、ユニット本体２１とティーチングプレート３１では、ユニット本体２１の第１突起部２９の第１ローラ２９Ｂがティーチングプレート３１の溝部３８に嵌め合わされるとともに、ティーチングプレート３１の突出部３９がユニット本体２１の基台２８に載置される。
天井搬送車１０は、ティーチングユニット２０を目標のロードポート９４の上方位置まで搬送すると、走行部１１を走行レール９２の所定位置で停止させる。さらに、天井搬送車１０は、把持部１６を横行及び旋回させて、把持部１６を天井搬送車１０へのティーチングを行うための基準位置（学習の基準位置）まで移動させる。図４（ａ）に示すように、天井搬送車１０は、把持部１６を上記基準位置まで移動させると、把持部１６を下降させることによってティーチングユニット２０をロードポート９４まで下降させる。これにより、図４（ｂ）に示すように、ティーチングプレート３１がロードポート９４のピン９５に近接され、プレート本体３２の孔部３３がロードポート９４のピン９５に嵌るようにロードポート９４に載置される。この時、ティーチングプレート３１は、把持部１６によって把持されたユニット本体２１によって支持された状態でロードポート９４に載置される。
図３（ａ）、図３（ｂ）及び図４（ｃ）に示すように、天井搬送車１０は、ティーチングプレート３１がロードポート９４に載置された後も引き続き把持部１６の下降動作を続ける。この時、ユニット本体２１の第１突起部２９の第１ローラ２９Ｂが、ティーチングプレート３１の溝部３８から離れるとともに、ユニット本体２１の基台２８がティーチングプレート３１の突出部３９から離れて、ユニット本体２１とティーチングプレート３１とが分離する。すなわち、ユニット本体２１の第１突起部２９の第１ローラ２９Ｂとティーチングプレート３１の溝部３８との嵌合が解除され、ティーチングプレート３１に対するユニット本体２１の支持が解除される。
天井搬送車１０は、第３距離計４２が学習位置まで下降すると、把持部１６の下降動作を停止する。ここで、天井搬送車１０は、プレート本体３２に設けられる全ての接触センサ３４がロードポート９４のピン９５を検出しているかによって、ティーチングプレート３１がロードポート９４の適正位置（プレート本体３２の全ての孔部３３がロードポート９４の全てのピン９５に嵌る位置）に載置されているかを判断する。ティーチングプレート３１がロードポート９４の適正位置に載置されていないと判断した場合には、天井搬送車１０は、把持部１６の上昇及び下降動作を繰り返すことで、ティーチングプレート３１をロードポート９４の適正位置に載置する。
第３距離計４２が学習位置まで下降し、ティーチングプレート３１がロードポート９４の適正位置に載置されると、天井搬送車１０では、距離計４０、４１によって、ユニット本体２１の所定位置からティーチングプレート３１の所定位置までの左右方向Ａ及び前後方向Ｂの距離が検出される。そして、天井搬送車１０では、距離計４０、４１の検出結果に基づいて、ティーチングプレート３１を基準とするユニット本体２１の左右方向Ａ、前後方向Ｂ及び旋回方向の位置が測定され、測定されたユニット本体２１の左右方向Ａ、前後方向Ｂ及び旋回方向の位置に基づいて、ティーチングプレート３１を基準とする把持部１６の走行方向、横行方向及び旋回方向の位置が算出される。
具体的には、天井搬送車１０では、第１距離計４０の検出結果に基づいて、ティーチングプレート３１の位置を基準とする把持部１６の走行方向の位置が算出される。また、天井搬送車１０では、第２距離計４１の検出結果に基づいて、ティーチングプレート３１の位置を基準とする把持部１６の横行方向の位置及び旋回方向の位置が算出される。ここで、ティーチングプレート３１は、ロードポート９４において天井搬送車１０へのティーチングを行うための基準位置（学習の基準位置）に載置されているため、ティーチングプレート３１を基準として把持部１６の位置を算出することで、学習の基準位置に対する把持部１６の位置のズレを算出することができる。このため、把持部１６の位置が、学習の基準位置であるティーチングプレート３１からズレている場合には、距離計４０、４１、は、予め設定された値（距離）とはズレた値（距離）を検出する。
天井搬送車１０では、把持部１６の位置が算出されると、算出された把持部１６の位置が予め設定された範囲内の位置であるかが判断される。算出された把持部１６の位置が予め設定された範囲内の位置でない場合には、天井搬送車１０は、把持部１６を横行及び旋回させて、把持部１６の位置を予め設定された範囲内の位置に補正し、再度、把持部１６の走行方向、横行方向及び旋回方向の位置が測定される。天井搬送車１０では、把持部１６の位置が予め設定された範囲内の位置となるまで、繰り返し、把持部１６の位置の補正及び測定が行われる。
把持部１６の位置が予め設定された範囲内の位置である場合には、天井搬送車１０では、３台の第３距離計４２又は１台の第３距離計４２と角度計４３によって、ティーチングプレート３１に対するユニット本体２１の傾きが検出される。そして、天井搬送車１０では、３台の第３距離計４２又は１台の第３距離計４２と角度計４３の検出結果に基づいて、ティーチングプレート３１に対するユニット本体２１の左右方向Ａ及び前後方向Ｂの傾き量が測定され、測定されたユニット本体２１の左右方向Ａ及び前後方向Ｂの傾き量に基づいて、ティーチングプレート３１に対する把持部１６の走行方向及び横行方向の傾き量が算出される。
ティーチングプレート３１に対する把持部１６の走行方向及び横行方向の傾き量が算出されると、天井搬送車１０は、これまで測定及び算出したデータを学習データとして記憶する。さらに、図４（ｃ）に示すように、天井搬送車１０は、把持部１６を上昇させることで、ティーチングユニット２０をロードポート９４から上昇させる。これにより、まず、把持部１６によって把持された状態のユニット本体２１のみが上昇する。図４（ｂ）に示すように、ユニット本体２１が上昇することによって、ユニット本体２１の基台２８がプレート本体３２の突出部３９に当接するとともに、ユニット本体２１の第１突起部２９の第１ローラ２９Ｂがティーチングプレート３１の溝部３８に嵌め合わされて、ティーチングプレート３１がユニット本体２１によって支持される。そして、図４（ｂ）に示すように、さらにユニット本体２１が上昇することで、ティーチングプレート３１がユニット本体２１によって持ち上げられ、ティーチングプレート３１がユニット本体２１と一体に上昇する。これにより、ユニット本体２１とティーチングプレート３１とが一体となったティーチングユニット２０が、把持部１６によって把持された状態で、本体部１４に対する所定位置まで上昇する。そして、天井搬送車１０へのティーチングが終了する。
このように、天井搬送車１０へのティーチングにおいては、ユニット本体２１とティーチングプレート３１とが一体となったティーチングユニット２０が、目標ロードポート９４（学習ステーション）まで搬送され、ティーチングプレート３１が目標のロードポート９４に載置されることで、ユニット本体２１とティーチングプレート３１とが分離して天井搬送車１０へのティーチングが行える状態となる。
また、天井搬送車１０へのティーチングを終了させる際には、天井搬送車１０がユニット本体２１を上昇させるだけで、ユニット本体２１と分離していたティーチングプレート３１がユニット本体２１に持ち上げられた状態でユニット本体２１と一体となり、天井搬送車１０によって搬送可能な状態となる。
以上のように、天井搬送車１０、ティーチングユニット２０及び天井搬送車１０における移載位置学習方法においては、天井搬送車１０へのティーチング（ロードポート９４に対する被搬送物の移載位置の学習）を行う際に、ティーチングプレート３１が天井搬送車１０によってロードポート９４に設置され、また、ロードポート９４から撤去されるため、作業者がロードポート９４にティーチングプレート３１を設置する作業やロードポート９４からティーチングプレート３１を撤去する作業を行う必要がない。そのため、天井搬送車１０へのティーチングを短い時間で容易に行うことができる。
なお、本実施の形態では、距離計４０、４１、４２及び角度計４３によってユニット本体２１に対するティーチングプレート３１の距離及び傾きを検出しているが、これに限定されるものではなく、カメラの画像によって検出を行っても構わない。
本実施の形態では、ティーチングプレート３１の溝部３８に嵌め合わせるユニット本体２１の嵌合部を第１ローラ２９Ｂによって構成しているが、これに限定されるものではなく、ローラ以外の部材によって構成しても構わない。
本実施の形態では、ティーチングプレート３１の溝部３８の両側に突出部３９が形成されているが、これに限定されるものではなく、開口部３７の上部から下方に突出する部分を設けることなく平坦に構成しても構わない。
１０ 天井搬送車
２０ ティーチングユニット
２１ ユニット本体
３１ ティーチングプレート
４０ 第１距離計（検出部）
４１ 第２距離計（検出部）
４２ 第３距離計（検出部）
４３ 角度計（検出部）
９４ ロードポート（載置部）

Claims (5)

  1. 設備内の天井に敷設される走行レールに沿って走行自在な走行部と、前記走行部に支持されて前記走行部と一体走行する本体部と、被搬送物を支持可能で且つ前記本体部に対して昇降可能な昇降部と、を備え、前記昇降部によって前記被搬送物を支持した状態で前記走行部の走行によって前記被搬送物を前記走行レールに沿って搬送し、前記昇降部の昇降によって前記被搬送物を前記設備内の移載部に移載可能な天井搬送車であって、
    前記昇降部は、前記移載部に対する前記被搬送物の移載位置を学習させるために用いられるティーチングユニットを支持して前記本体部に対して昇降可能に構成され、
    前記ティーチングユニットは、
    前記昇降部によって支持されるユニット本体と、
    前記移載部に設置されるティーチングプレートと、
    前記ユニット本体によって支持されるとともに前記ティーチングプレートの位置を検出する検出部と、
    を備え、
    前記検出部によって検出される前記ティーチングプレートの位置に基づいて前記移載部に対する前記被搬送物の移載位置を学習させることが可能であり、
    前記ユニット本体は、前記ティーチングプレートを支持可能に構成され、前記ティーチングプレートが前記移載部に移載されることによって前記ティーチングプレートに対する支持を解除すること
    を特徴とする天井搬送車。
  2. 前記ユニット本体は、
    前記ティーチングプレートと嵌合する嵌合部を備え、
    前記ティーチングプレートが前記移載部に載置されることで、前記嵌合部と前記ティーチングプレートとの嵌合が解除されること
    を特徴とする請求項１に記載の天井搬送車。
  3. 設備内の天井に敷設される走行レールに沿って走行自在な走行部と、前記走行部に支持されて前記走行部と一体走行する本体部と、被搬送物を支持可能で且つ前記本体部に対して昇降可能な昇降部と、を備え、前記昇降部によって前記被搬送物を支持した状態で前記走行部の走行によって前記被搬送物を前記走行レールに沿って搬送し、前記昇降部の昇降によって前記被搬送物を前記設備内の移載部に移載可能な天井搬送車において、前記移載部に対する前記被搬送物の移載位置を前記天井搬送車に学習させるために用いられるティーチングユニットであって、
    前記昇降部によって支持されて前記本体部に対して昇降可能に構成され、
    前記昇降部によって支持されるユニット本体と、
    前記移載部に設置されるティーチングプレートと、
    前記ユニット本体によって支持されるとともに前記ティーチングプレートの位置を検出する検出部と、
    を備え、
    前記検出部によって検出される前記ティーチングプレートの位置に基づいて前記移載部に対する前記被搬送物の移載位置を前記天井搬送車に学習させることが可能であり、
    前記ユニット本体は、前記ティーチングプレートを支持可能に構成され、前記ティーチングプレートが前記移載部に移載されることによって前記ティーチングプレートに対する支持を解除すること
    を特徴とするティーチングユニット。
  4. 前記ユニット本体は、
    前記ティーチングプレートと嵌合する嵌合部を備え、
    前記ティーチングプレートが前記移載部に載置されることで、前記嵌合部と前記ティーチングプレートとの嵌合が解除されること
    を特徴とする請求項３に記載のティーチングユニット。
  5. 設備内の天井に敷設される走行レールに沿って走行自在な走行部と、前記走行部に支持されて前記走行部と一体走行する本体部と、被搬送物を支持可能で且つ前記本体部に対して昇降可能な昇降部と、を備え、前記昇降部によって前記被搬送物を支持した状態で前記走行部の走行によって前記被搬送物を前記走行レールに沿って搬送し、前記昇降部の昇降によって前記被搬送物を前記設備内の移載部に移載可能な天井搬送車において、前記移載部に対する前記被搬送物の移載位置を前記天井搬送車に学習させるための天井搬送車における移載位置学習方法であって、
    前記昇降部によって支持されるユニット本体と、前記移載部に設置されるティーチングプレートと、前記ユニット本体によって支持されるとともに前記ティーチングプレートの位置を検出する検出部と、を備えるティーチングユニットを、前記昇降部によって前記本体部に対して昇降可能に支持させ、
    前記ティーチングプレートを前記移載部に移載することによって前記ユニット本体による前記ティーチングプレートに対する支持を解除させ、
    前記ユニット本体による前記ティーチングプレートに対する支持を解除した後に前記検出部によって検出される前記ティーチングプレートの位置に基づいて前記移載部に対する前記被搬送物の移載位置を前記天井搬送車に学習させること
    を特徴とする天井搬送車における移載位置学習方法。
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