KR101391222B1 - 이동체와 그 제어 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 스태커 크레인(2)의 승강대(4)에 높이 위치를 판독하기 위한 리니어 센서(10)를 설치함과 아울러, 슬라이드 포크의 선단에 가속도 센서(26)를 설치한다. 이송시의 승강대(4)의 승강 제어로, 슬라이드 포크의 흔들림을 억제한 기본 지령을 센서(10, 26)의 신호로 수정해서, 2자유도의 로버스트 제어를 실시한다.

본 발명은 암 선단의 진동을 억제하면서, 단시간에 이송할 수 있다.

Description

이동체와 그 제어 방법{MOVING BODY AND CONTROLLING METHOD THEREOF}

도 1은 실시예에서의 승강대와 슬라이드 포크 및 선반의 물품을 모식적으로 나타내는 도면.

도 2는 실시예에서의 승강 모터로의 지령 위치로부터 슬라이드 포크까지의 모델을 나타내는 도면.

도 3은 실시예에서의 피드백 제어기의 블럭도.

도 4는 물품을 내릴 때의 실시예의 특성을 나타내고, A)는 입력 속도 지령을, B)는 승강대의 높이 위치의 기본 지령으로부터의 편차를, C)는 물품의 가속도를 나타낸다.

도 5는 물품을 들어올릴 때의 실시예의 특성을 나타내고, A)는 입력 속도 지령을, B)는 승강대의 높이 위치의 기본 지령으로부터의 편차를, C)는 슬라이드 포크 선단의 가속도를, D)는 물품의 가속도를 나타낸다.

(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)

2: 스태커 크레인 4: 승강대

6: 마스트 8: 리니어 스케일

10: 리니어 센서 12: 매달림 지지재

16: 피드백 제어기 20: 승강 모터

22: 슬라이드 포크 24: 물품 지지부

26: 가속도 센서 28: 선반

29: 지주 30: 선반 받침

32: 물품 34: 목표 높이 기억부

38: 차분기 40, 42: 가산기

46: 적분 수단 44, 48~52: 승산 수단

본 발명은 이동체의 제진에 관한 것이다.

스태커 크레인이나 무인 반송차, 유궤도 대차 등의 반송 대차에서는 슬라이드 포크나 스칼라 암 등의 진퇴 가능한 암과, 승강대나 리프터 등의 조합으로 물품의 이송을 행한다. 또한 천정 주행차에서는 승강대의 척(chuck)으로 물품을 척하고, 승강시킴으로써, 이송을 행한다. 이들의 어느 경우나, 이송시의 물품의 진동을 억제하고자 하는 요구가 있다. 진동을 억제할 수 있으면, 이송시에 물품에 가해지는 힘을 작게 할 수 있고, 진동이 수용될 때까지 기다리는 시간을 단축할 수 있고, 이송시의 높이 정밀도를 향상시킬 수 있고, 이송 장치의 강성이 작아도 좋고, 보다 무겁고 손상되기 쉬운 물품을 이송할 수 있다는 등의 이점이 있다. 그런데 특허 문헌1(일본 특허 3526014)은 스태커 크레인에 의한 이송에서 슬라이드 포크가 물품에 접촉하기 전에는 고속으로, 접촉 개시 시기 부근부터 저속으로 승강대를 상승시켜, 물품과 슬라이드 포크가 접촉할 때의 충격을 작게 하는 것을 제안하고 있다.

[특허 문헌1] 일본 특허 3526014

본 발명의 기본적 과제는 진동을 억제하면서, 단시간에 필요한 운동을 행할 수 있도록 하는 것에 있다.

본 발명에서의 추가 과제는 물품의 진동을 억제하면서, 단시간에 물품을 이송할 수 있도록 하는 것에 있다.

본 발명에서의 추가 과제는 스태커 크레인으로의 물품의 이송시의 진동을 억제함과 아울러, 단시간에 물품을 이송할 수 있게 하고, 또한 이송 상대의 선반 등의 데드 스페이스를 작게 하는 것에 있다.

본 발명에서의 추가 과제는 상기를 위한 제어계의 구성을 제공하는 것에 있다.

본 발명의 이동체는 이동체의 위치를 검출하기 위한 위치 검출 수단과, 이동체의 진동을 검출하기 위한 진동 검출 수단과, 적어도 진동의 억제 대상이 되는 운동에 대해서 상기 각 수단의 검출 결과에 따라, 이동체의 구동 기구를 피드백 제어하기 위한 제어부를 설치한 것이다.

바람직하게는, 이동체는 물품의 이송 장치를 구비하고, 상기 각 검출 수단으로 이송 장치의 위치와 진동을 검출하고, 상기 제어부에서 이송 장치의 동작에 피드백한다.

특히 바람직하게는, 제어부는 구동 기구로의 오픈 루프의 기본 지령을 발생시키기 위한 기본 지령 발생 수단과, 상기 기본 지령을 이동체의 위치와 가속도의 참조 신호로 변환하기 위한 참조 신호 발생 수단과,

상기 각 검출 수단으로 구한 이동체의 위치와 가속도와, 상기 참조 신호 발생 수단으로 구한 이동체의 위치와 진동 가속도의 오차의 산출 수단과, 산출한 오차에 기초해서 이동체의 상태의 추정값을 갱신하기 위한 갱신 수단과,

상기 기본 지령에 이동체의 상태의 추정값에 기초한 보정값을 가산해서, 구동 기구로의 제어 입력으로 하기 위한 가산 수단을 구비하고 있다.

본 발명은 승강 모터에 의해 마스트를 따라 승강하는 승강대에 진퇴 가능한 암을 탑재한 스태커 크레인에 있어서,

승강대의 높이 센서를 설치함과 아울러, 가속도 센서를 암 선단에 설치해서 그 암 선단의 진동을 검출하고,

상기 암을 진출시킨 상태로 승강대를 승강시킬 때에 상기 높이 센서의 신호와 가속도 센서의 신호에 의해, 승강 모터를 피드백 제어하는 제어부를 설치한 것을 특징으로 한다.

바람직하게는, 제어부는 상기 승강 모터로의 오픈 루프의 기본 지령을 발생시키기 위한 기본 지령 발생 수단과, 상기 기본 지령을 승강대의 높이와 암의 가속도의 참조 신호로 변환하기 위한 참조 신호 발생 수단과,

상기 높이 센서로 구한 승강대의 높이와 상기 가속도 센서로 구한 암의 진동 가속도와, 상기 참조 신호 발생 수단으로 구한 승강대의 높이와 암의 가속도의 오 차의 산출 수단과, 산출한 오차에 기초해서 승강대와 암의 상태의 추정값을 갱신하기 위한 갱신 수단과,

상기 기본 지령에 승강대와 암의 상태의 추정값에 기초한 보정값을 가산해서, 승강 모터로의 제어 입력으로 하기 위한 가산 수단을 구비하고 있다.

또한 본 발명에서는 이동체의 위치와 진동을 검출하고, 적어도 진동의 억제 대상이 되는 운동에 대해서 상기 위치와 진동의 검출 결과에 따라, 이동체의 구동 기구를 피드백 제어하여, 이동체의 위치와 진동을 제어한다.

또한 본 발명은, 승강 모터에 의해 마스트를 따라 승강하는 승강대에 진퇴 가능한 암을 탑재한 스태커 크레인의 승강 제어 방법에 있어서,

승강대의 높이를 높이 센서로 검출함과 아울러, 가속도 센서를 암 선단에 설치해서 상기 암 선단의 진동을 검출하고,

상기 암을 진출시킨 상태로 승강대를 승강시킬 때에 상기 높이 센서의 신호와 가속도 센서의 신호에 의해, 승강 모터를 피드백 제어하는 것을 특징으로 한다.

이하에 본 발명을 실시하기 위한 최적 실시예를 나타낸다.

(실시예)

도 1~도 5에 스태커 크레인(2)에서의 승강대(4)의 제어를 예에 실시예와 그 특성을 나타낸다. 각 도면에 있어서, 승강대(4)는 마스트(6)에 가이드되어 승강하고, 마스트(6)에는 높이 방향을 따라 리니어 스케일(8)을 설치하고, 승강대(4)에 설치한 리니어 센서(10)로 승강대(4)의 높이 위치(x0)를 판독한다. 또한 승강대(4)는 기어가 부착된 벨트나 와이어, 로프 등의 매달림 지지재(12)에 의해 매달리고, 도시하지 않은 카운터 웨이트와 함께, 도 3의 승강 모터(20)에 의해 승강한다.

22는 슬라이드 포크이며, 수평면 내에서 진퇴 가능한 스칼라 암 등의 다른 암이여도 좋고, 24는 슬라이드 포크(22)의 탑 플레이트로 이루어지는 물품 지지부이며, 26은 물품 지지부(24)에 설치한 가속도 센서이다. 스태커 크레인(2)의 주행 경로에 대향해서 선반(28)이 설치되고, 29는 그 지주이며, 선반 받침(30)에 물품(32)이 탑재되어 있다.

여기에서는 스태커 크레인(2)은 선반(28)과 도시하지 않은 스테이션 사이에서 액정 기판의 카세트 등의 중량물을 물품(32)으로서 반송하는 것으로 한다. 액정 기판은 손상되기 쉽고, 슬라이드 포크(22)나 승강대(4)의 강성을 증가시키면, 스태커 크레인(2)이 대형화되어 바람직하지 않다. 또한 선반(28) 등은 클린룸 내에 설치하므로, 교환을 위한 데드 스페이스를 작게 할 필요가 있고, 액정 디스플레이의 생산성의 점에서 교환의 사이클 타임을 단축할 필요가 있다.

물품(32)을 들어올리는 것을 예로, 이송시의 승강 동작을 설명한다. 승강대(4)는 물품(32)의 저면보다 충분히 낮은 위치에서 정지하여, 슬라이드 포크(22)를 전진시킨다. 이어서 제 1 속도로 상승시켜, 물품(32)의 저면에 슬라이드 포크(22)가 접근하면, 상승 속도를 미속의 제 2 속도로 전환하여, 선반 받침(30)으로부터 물품(32)을 이송한다. 물품(32)이 확실하게 물품 지지부(24)로 이송된 위치까지 상승하면, 제 1 속도에 가까운 제 3 속도로 증속해서 상승시키고, 그 후 상승을 정지시켜, 슬라이드 포크(22)를 복귀시킨다. 또한 물품(32)의 저면과 슬라이드 포크(22)의 잔거리는 측정하고 있지 않으므로, 슬라이드 포크(22)로부터 선반 받 침(30)으로 물품이 이송되는 정확한 시각은 예측 불가능하다. 물품 들어올림의 스트로크는 슬라이드 포크(22)의 휘어짐이나 진폭과 관계되고, 진폭을 작게 할 수 있으면 스트로크도 짧게 할 수 있다. 선반 받침(30)은 선반(28)의 상하에 복수 설치되고, 슬라이드 포크(22)의 진폭을 ±h로 하면, 선반 받침(30)의 배치에서는 물품을 지지하고 있던 선반 받침과의 간섭을 피하기 위해서 적어도 h의 여유가, 또한 물품의 상측의 선반 받침과의 간섭을 피하기 위해서도 h의 여유가 필요하여, 합계 2h만큼의 데드 스페이스가 필요하다. 처음에 약간 고속으로 승강대(4)를 승강시키고, 이어서 미속으로 승강시켜 선반 받침(30)과의 사이에서 물품(32)을 교환하고, 그 후 재차 약간 고속으로 승강대(4)를 승강시키는 점은 물품을 내리는 경우도 동일하다.

도 2에 승강대와, 슬라이드 포크나 슬라이드 포크 상의 물품의 제어 모델을 나타낸다. 승강대를 수평으로 자세가 유지된 질량(m3)의 베이스와, 이것에 대해서 경사각(θ)으로 경사지고, 핀으로 접합된 강체[질량(m)]로 모델화한다. 또한 강체와 베이스는 스프링(k3)과 마찰 저항(C3)으로 접속되어 있다. 슬라이드 포크 및 그것에 지지된 물품을 질점(m1)으로 나타내고, 강체와의 사이를 스프링(k1) 및 마찰 저항(C1)으로 접속되어 있는 것으로 한다. 또한 질점(m1)의 질량은 물품 들어올림에 의해 급변한다. 승강대는 매달림 지지재를 통해 카운터 웨이트[질점(m2)]에 접속되고, 카운터 웨이트가 또한 매달림 지지재로 승강 모터에 접속되어 있다. 카운터 웨이트와 승강대 사이의 매달림 지지재의 스프링 정수를 k2, 마찰 저항을 C2로 한다. 또한 카운터 웨이트와 승강 모터 사이의 스프링 정수를 k4, 마찰 저항을 C4 로 한다. 승강대의 베이스의 절대 높이를 x0으로 하고, x0을 기준으로 하는 상대 좌표에서 슬라이드 포크 선단의 높이를 x1, 카운터 웨이트의 높이를 x2, 카운터 웨이트로부터 승강 모터로의 지령 위치까지의 높이를 x3으로 한다.

도 2의 계의 상태(X)는 높이를 나타내는 4개의 변수, x0~x3과, 이들의 시간 미분, 및 승강대의 경사각(θ)과 그 시간 미분으로 표현할 수 있다. 그리고 상태(X)는 스태커 크레인 중의 승강대와 슬라이드 포크로 이루어지는 계의 상태를 나타낸다. 또한 로버스트 제어를 위한 H^∞ 필터에 관계된 변수로서 변수 F1~F4를 정하고, 합계 14변수에 의해 상태(X)를 나타낸다. 또한 u는 승강 모터로의 제어 입력이다.

도 3에 실시예에서의 제어계를 나타낸다. 목표 높이 기억부(34)는 승강 모터(20)로의 기본적인 지령의 패턴을 기억하고, 이것은 슬라이드 포크(22)의 진동을 억제하면서, 물품을 들어올리거나 물품을 내리기 위한 승강 속도의 패턴이다. 단 선반 받침과의 사이에서 물품을 주고 받는 정확한 시각은 불분명하므로, 도 2의 모델에서, 질점(m1)의 질량이 슬라이드 포크만인 경우도, 슬라이드 포크+물품인 경우도, 고유 진동을 억제하도록 기본 지령을 결정하고 있다. 참조 신호 발생부(36)는 기본 지령을 승강대의 높이 위치 및 승강대의 승강에 따른 슬라이드 포크의 가속도로 이루어지는 2차원의 참조 신호(ref)로 변환한다. 또한 이 가속도에는 슬라이드 포크의 진동에 의한 만큼은 포함되어 있지 않다.

차분기(38)는 센서(10, 26)의 신호와 참조 신호(ref)의 차분으로 이루어지는 에러 벡터(e)를 출력하고, 이것은 기본 지령으로부터의 시프트를 승강대의 높이 위치와 슬라이드 포크 선단의 진동으로 나타낸 것이다. 승산 수단(44)은 에러 벡터에 행렬(B)을 승산하고, 승산 수단(48)은 상태(X)의 추정값에 행렬(A)을 승산하고, 이들을 가산기(40)로 가산해서 적분 수단(46)으로 적분해서 상태(X)를 갱신한다. 승산 수단(44)은 에러 벡터에 기초해서 상태(X)의 추정값을 수정하고, 승산 수단(48)은 상태(X)의 추정값 자체에 기초해서 X를 수정한다. 예를 들면 시각 n+1에서의 상태 Xn+1은, 시각 n에서의 상태 Xn으로부터, Xn+1=Xn+AXn+Ben으로 나타내어지고, 여기에 첨자는 시각을 나타낸다. 각 시각 사이의 시간 단위를 Δ로 하면, 2차의 항까지 고려해서 예를 들면,

Xn+1=(1+A·Δ+A²/2·Δ²)Xn+(B·Δ+B²/2·Δ²)en

으로 된다.

승산 수단(50)은 예를 들면 14차원의 벡터인 상태(X)로 행렬(C)을 승산해서, 출력(CX)을 발생시킨다. 출력(CX)은 상태(X)에 기초한 제어 입력이며, 기본 지령으로부터의 높이 위치나 진동 가속도의 시프트 만큼에 따라, 기본 지령(FF)을 수정한다. 승산 수단(52)은 에러 벡터(e)에 행렬(D)을 승산해서, 출력(De)을 제어 입력에 가산한다. 가산기(42)로 기본 지령(FF)에 CX와 De를 가산해서 제어 입력(u)으로 한다. 또한 De의 항은 형성하지 않아도 좋다. 제어 입력(u)은 H^∞ 제어의 의미에서의 로버스트성이 있고, 상정 최악 외란에 대해서도 그 영향은 소정값 이하이다. 또한 승강대의 승강시의 자유도는 5이지만, 그 중 슬라이드 포크의 선단의 진동과, 승강대의 높이 위치에 대해서 센서(10, 26)에 의한 피드백 제어를 행한다. 따라서 실시예의 제어는 2자유도의 로버스트 제어이다.

[표 1] 2자유도 로버스트 제어의 항목

항 목	값 외	내 용
물리 모델 자유도	5	x0, x1, x2, x3, θ
H∞ 필터 차수	4
센서수	2	승강대의 높이 위치, 슬라이드 포크의 선단 가속도
제어 입력(u)	1	승강 모터로의 지령
오차 벡터(e)	2차원	승강대의 높이 위치, 슬라이드 포크의 선단 가속도와, 기본 지령의 오차
상태량(X)	14차원	자유도의 5×2+필터 차수의 4 각 자유도에 대해서, 그 값과 시간 미분을 상태량으로 한다
출력(y)	2차원	승강대의 높이 위치, 슬라이드 포크의 선단 가속도
행렬(A)	14행 14열	상태(X)로부터의 그 시간 변화로의 기여를 표현한다
행렬(B)	14행 2열	오차 벡터(e)에 의한 상태(X)의 수정을 행한다
행렬(C)	1행 14열	상태(X)로부터 제어 입력(u)으로의 기여를 결정한다
행렬(D)	1행 2열	오차 벡터(e)로부터 제어 입력(u)으로의 기여를 결정해서 생략 가능
FF		기본 지령

[표 2] 2자유도 로버스트 제어의 상세 모델

dX/dt=AX+Be

u=FF+CX+De

도 4에 물품을 내리는 경우의 실시예의 동작 파형을 나타낸다. A)는 승강 모터에 대한 입력 속도 지령을 나타내고, 비제어는 기본 지령만을 추가하고 피드백 제어를 행하지 않는 예를, 2자유도 로버스트 제어는 리니어 센서(10)와 가속도 센서(26)에 의한 피드백 제어를 추가했을 때의 결과를 나타낸다. B)에 승강대의 목적 높이 위치로부터의 편차를 나타내고, C)에 이송 대상 물품의 워크에서의 가속도를 나타낸다. 또한 슬라이드 포크로부터 선반 받침으로의 물품의 내림 자체는 시각 1초째 부근에서 행해지고 있다. 도 4의 C)로부터 분명하듯이, 워크에 가해지는 진동의 정도는 실시예에서도 기본 지령만으로도 동일한 정도이지만, 실시예에서는 시각 3초째 이후에서 승강대의 높이의 편차가 거의 0이다. 이 때문에 목적 높이까지 승강대를 신속하게 하강시켜, 슬라이드 포크를 후퇴시킬 수 있어, 이송 시간을 단축할 수 있다. 기본 지령은 워크의 진동을 충분히 억제하도록 설계되어 있고, 승강대의 높이가 신속하게 목적 위치에 수속하도록 피드백 제어를 추가해도, 워크의 진동은 증가하지 않는다.

도 5는 물품을 들어올릴 때의 특성을 나타내고, A)는 기본 지령(FF)에 의한 입력 속도 지령과, 2자유도 로버스트 제어에 의한 속도 지령을 나타내고, B)는 승강대의 목적 높이 위치로부터의 편차를 나타내고, C)는 슬라이드 포크 선단의 가속도를 나타내고, D)는 워크에 가해지는 가속도를 나타낸다. 물품의 들어올림은 시각 1초째 부근에서 행해지고 있고, 이것에 대응해서 입력 속도 지령도 시각 1초째 부근에서 기본 지령(FF)으로부터 변화되어 있다. 워크의 가속도에서는 시각 2초째 전에 기본 지령(FF)의 경우만, 가속의 피크가 있지만, 실시예에서는 이 피크가 소실되어 있다. 승강대의 높이에 대해서는 실시예에서는 시각 5초째 이후에서 편차가 거의 0이지만, 기본 지령(FF)만으로는 편차가 해소되지 않는다.

실시예에서는 이상과 같이, 단시간에 승강대의 높이 위치의 편차를 해소할 수 있다. 또한 물품의 들어올림이나 물품의 내림에 따른 워크나 슬라이드 포크 선 단에 가해지는 가속도는 기본 지령과 동일한 정도이다. 이들의 결과, 워크나 슬라이드 포크 선단에 큰 충격을 가하지 않고 단시간에 이송을 행할 수 있고, 또한 승강대의 위치 결정 정밀도가 높으므로, 선반측의 데드 스페이스를 작게 할 수 있다.

실시예에서는 스태커 크레인의 승강대에 대해서 설명했지만, 고정된 가이드를 따라 매달림 지지재에 의해 승강하는 승강대에 스칼라 암이나 슬라이드 포크를 탑재한 이송 장치에도 실시할 수 있다. 또한, 슬라이드 포크나 스칼라 암을 리프터 상에 탑재해서 이송을 행하는, 이송 장치에서의 리프터의 제어에도 마찬가지로 실시예를 적용할 수 있다. 또한 스태커 크레인 등의 반송 대차의 주행 제어의 제진에도, 마찬가지로 실시예를 적용할 수 있다. 또한 천정 주행차 본체로부터 매달림 지지재에 의해 매달리고, 척에 의해 물품을 지지하는 승강대의 승강 제어에도 마찬가지로 실시예를 적용할 수 있다. 이 경우, 슬라이드 포크 선단의 진동을 승강대의 가로 방향 진동으로 치환하고, 스태커 크레인에서의 승강대의 승강을 그대로 천정 주행차로서의 승강대의 승강으로 치환하면 좋다. 로버스트 제어의 예로서 H^∞ 제어를 사용했지만, 이것에 한정되지 않고 H²제어나 μ제어 등이여도 좋다.

슬라이드 포크의 선단에 물품까지의 거리나 물품으로부터의 하중의 유무를 검출하는 센서를 설치하여, 상태를 보다 정확하게 추정할 수 있게 해도 좋다. 또한 승강대의 높이는 리니어 스케일에 한정되지 않고, 승강대의 승강 가이드용의 롤러의 회전수를 판독하는 인코더나, 레이저 거리계 등의 절대 거리 센서로 구해도 좋다.

본 발명에서는 이동체의 구동 기구를 이동체의 위치와 진동의 검출 결과로 피드백 제어하므로, 진동을 억제하면서 단시간에 필요한 운동을 행할 수 있다.

특히 이송 장치의 이송 동작에 본 발명을 적용하면, 이송시에 물품에 가해지는 진동을 억제하면서 단시간에 이송을 행할 수 있다.

그리고 스태커 크레인의 승강대에 대한, 이송시의 승강 제어에 본 발명을 적용하면, 암 선단의 진동을 억제하고, 적어도 암 선단의 진동이 증가하지 않도록 하면서, 승강대의 높이나 암 선단의 높이의 목표의 높이로부터의 편차를 작게 함으로써, 단시간에 이송할 수 있다. 또한 승강대나 암의 선단의 높이를 정확하게 제어할 수 있으므로, 선반 등의 이송 상대측의 데드 스페이스를 작게 할 수 있다.

또한, 검출 수단으로 구한 위치와 진동과, 오픈 루프의 기본 지령으로부터 산출한 위치와 진동의 오차에 기초해서 이동체의 상태의 추정값을 갱신하면, 기본 지령에 대한 실제의 상태의 어긋남에 따라 이동체의 상태의 추정값을 수정할 수 있다. 그리고 이 추정값에 기초한 보정값을 가산 수단으로 기본 지령으로 수정하면, 기본 지령으로부터의 어긋남에 따른 피드백 제어를 행할 수 있고, 기본 지령에 추종하도록 이동체를 운동시킬 수 있다.

Claims (7)

1. 이동체의 위치를 검출하기 위한 위치 검출 수단과, 이동체의 진동을 검출하기 위한 진동 검출 수단과, 적어도 진동의 억제 대상이 되는 운동에 대해서 상기 각 수단의 검출 결과에 따라 이동체의 구동 기구를 피드백 제어하기 위한 제어부를 설치하고,

   상기 제어부는 구동 기구로의 오픈 루프의 기본 지령을 발생시키기 위한 기본 지령 발생 수단과, 상기 기본 지령을 이동체의 위치와 가속도의 참조 신호로 변환하기 위한 참조 신호 발생 수단;

   상기 각 검출 수단으로 구한 이동체의 위치와 진동 가속도와 상기 참조 신호 발생 수단으로 구한 이동체의 위치와 가속도의 오차의 산출 수단과, 산출한 오차에 기초해서 이동체의 상태의 추정값을 갱신하기 위한 갱신 수단; 및

   상기 기본 지령에 이동체의 상태의 추정값에 기초한 보정값을 가산해서 구동 기구로의 제어 입력으로 하기 위한 가산 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 이동체.
2. 제 1 항에 있어서, 이동체는 물품의 이송 장치를 구비하고, 상기 각 검출 수단으로 이송 장치의 위치와 진동을 검출하고, 상기 제어부에서 이송 장치의 동작에 피드백하도록 한 것을 특징으로 하는 이동체.
3. 삭제
4. 승강 모터에 의해 마스트를 따라 승강하는 승강대에 진퇴 가능한 암을 탑재한 스태커 크레인에 있어서:

   승강대의 높이 센서를 설치함과 아울러, 가속도 센서를 암 선단에 설치해서 상기 암 선단의 진동을 검출하고,

   상기 암을 진출시킨 상태로 승강대를 승강시킬 때에 상기 높이 센서의 신호와 가속도 센서의 신호에 의해 승강 모터를 피드백 제어하는 제어부를 설치하고,

   상기 제어부는 상기 승강 모터로의 오픈 루프의 기본 지령을 발생시키기 위한 기본 지령 발생 수단과, 상기 기본 지령을 승강대의 높이와 암의 가속도의 참조 신호로 변환하기 위한 참조 신호 발생 수단;

   상기 높이 센서로 구한 승강대의 높이와 상기 가속도 센서로 구한 암의 진동 가속도와 상기 참조 신호 발생 수단으로 구한 승강대의 높이와 암의 가속도의 오차의 산출 수단과, 산출한 오차에 기초해서 승강대와 암의 상태의 추정값을 갱신하기 위한 갱신 수단; 및

   상기 기본 지령에 승강대와 암의 상태의 추정값에 기초한 보정값을 가산해서 승강 모터로의 제어 입력으로 하기 위한 가산 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 스태커 크레인.
5. 삭제
6. 삭제
7. 삭제

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