JP2002068404A - 搬送車両の軌道構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】搬送車両が、コーナ部を直角に曲がるとき、前
記コーナ部を切り欠かずに、しかも、曲がった後の搬送
車両とコーナ部を形成する壁面との間に無駄空間が生じ
ないようにすることである。 【解決手段】天井搬送車Ｖ₀ が第２ストッカＳ₂ のコー
ナ部２を曲がるとき、該天井搬送車Ｖ₀ を、前記コーナ
部２の手前側で、本来の曲げ方向と反対方向にわん曲さ
れた第１曲線路Ｋ₁ を、その中心角α（α＜９０°）だ
け反時計回りに曲線走行させ、続いて、前記第１曲線路
Ｋ₁ に接続され、本来の曲げ方向と同方向にわん曲され
た第２曲線路Ｋ₂ を、中心角（α＋９０°）だけ時計回
りに曲線走行させることにより、天井搬送車Ｖ₀ を直角
に曲げて走行させて、曲げ走行後の天井搬送車Ｖ₀ が、
第２ストッカＳ₂ の第２壁面部３から一定の間隔Ｌだけ
離れた位置に配置されるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、直角コーナ部にお
いて、搬送車両の走行方向を直角に曲げて変更させるた
めの軌道構造に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】本明細書では、半導体製造のためのクリ
ーンルームにおける軌道構造について説明する。最初
に、クリーンルームについて説明する。図４に示される
ように、クリーンルームにおける幅方向のほぼ中央部に
は、その長手方向に沿って中央通路（工程間搬送空間Ｂ
₀ ）が設けられている。そして、その天井には、該工程
間搬送空間Ｂ₀ を周回走行する形態で工程間搬送軌道５
１が敷設されていて、多数台の天井搬送車Ｖ₀ が連なっ
て走行して、ウェハキャリア５２の搬送が行われる。こ
の作用は、「工程間搬送」と称されている。

【０００３】また、前記工程間搬送空間Ｂ₀ の幅方向の
両側には、前記工程間搬送空間Ｂ₀の長手方向にほぼ直
交する形態で、「ベイ」と称される複数本の側方通路
（図４に記載のクリーンルームの場合、１０本の工程内
搬送空間Ｂ₁ 〜Ｂ₁₀）が、一定の間隔をおいて設置され
ている。これらの工程内搬送空間Ｂ₁ 〜Ｂ₁₀の天井に
も、上記した工程間搬送空間Ｂ₀ の場合と同様に工程内
搬送軌道５３，５４が敷設されていて、複数台の天井搬
送車Ｖ₁,Ｖ₂ が連なって走行して、ウェハキャリア５２
の搬送が行われる。この作用は、「工程内搬送」と称さ
れている。前記工程内搬送空間Ｂ₁ 〜Ｂ₁₀のうちの２つ
の工程内搬送空間Ｂ₁,Ｂ₉ における幅方向の片側、或い
は両側には、各ストッカＳ₁,Ｓ₂ と多数基の処理装置Ｔ
が設置されている。工程内搬送空間Ｂ₁ の天井搬送車Ｖ
₁ によって処理装置Ｔ₁ から搬送されたウェハキャリア
５２は、各ストッカＳ₁,Ｓ₂ を介し、工程内搬送空間Ｂ
₉ の天井搬送車Ｖ₂ により、処理装置Ｔ₂ に収容され
る。なお、クリーンルームにおいて、工程間搬送空間Ｂ
₀ の幅Ｗ₀ は比較的広いが、各工程内搬送空間Ｂ₁ 〜Ｂ
₁₀の幅Ｗ₁ は狭い。

【０００４】上記した搬送を、更に説明すると、処理装
置Ｔ₁ で処理済みのウェハキャリア５２は、工程内搬送
軌道５３を走行する天井搬送車Ｖ₁ に移載される。該天
井搬送車Ｖ₁ が走行し、該ウェハキャリア５２を工程間
搬送空間Ｂ₀ に面して設置された第１ストッカＳ₁ にい
ったん収容させる。そして、この第１ストッカＳ₁ か
ら、工程間搬送軌道５１を走行する天井搬送車Ｖ₀ にウ
ェハキャリア５２が移載される。該天井搬送車Ｖ₀ が走
行し、前記ウェハキャリア５２を、工程間搬送空間Ｂ₀
に面して設置された第２ストッカＳ₂ にいったん収容さ
せる。そして、該ウェハキャリア５２は、工程内搬送軌
道５４を走行する天井搬送車Ｖ₂ に移載される。該天井
搬送車Ｖ₂ が走行し、処理装置Ｔ₂ に搬入させる。

【０００５】図５に示されるように、各軌道５１，５
３，５４を連続状態で接続させて、工程間搬送空間Ｂ₀
から各工程内搬送空間Ｂ₁,Ｂ₉ に前記天井搬送車Ｖ₀ を
直接進入させるということが想定される。こうすること
により、ウェハキャリア５２を各ストッカＳ₁,Ｓ₂ を介
することなく、直接搬送することができる。この場合、
天井搬送車Ｖ₀ は、各ストッカＳ₁,Ｓ₂ のコーナ部を直
角に曲がって走行する。該天井搬送車Ｖ₀ が、第２スト
ッカＳ₂ のコーナ部５５を直角に曲がって走行するとき
の作用について、更に詳細に説明する。

【０００６】図６に示されるように、ウェハキャリア５
２が、天井搬送車Ｖ₀ と第２ストッカＳ₂ との間で移載
されるときの両者の間隔Ｌは規定されていて、約２００
ｍｍである。このため、第２ストッカＳ₂ の第１壁面部
５６（工程間搬送空間Ｂ₀ 側の壁面部）から間隔Ｌだけ
離した第１直線路Ｊ₁ と、前記第１壁面部５６と直交す
る第２壁面部５７（工程内搬送空間Ｂ₉ 側の壁面部）か
ら間隔Ｌだけ離した第２直線路Ｊ₂ とを、天井搬送車Ｖ
₀ が走行可能な最小曲率半径Ｒで、その中心角が９０°
の円弧状の曲線路Ｋで接続すると、天井搬送車Ｖ₀ と第
２ストッカＳ₂のコーナ部５５とが干渉するおそれがあ
る。これを防止するためには、第２ストッカＳ₂ のコー
ナ部５５を切り欠いて、切欠部５８を設けなければなら
ない。

【０００７】上記した不具合を避けるためには、図７に
示されるように、前記第２直線路Ｊ ₂ を、第２ストッカ
Ｓ₂ の第２壁面部５７から、天井搬送車Ｖ₀ が走行可能
な最小曲率半径Ｒだけ離した位置に設置し、前記第１直
線路Ｊ₁ と第２直線路Ｊ₂'とを、中心角９０°の曲線路
Ｋ’で接続しなければならない。すると、工程内搬送空
間Ｂ₉ において、曲げ走行後の天井搬送車Ｖ₀ と第２ス
トッカＳ₂ との間隔Ｌが離れすぎてしまう。この結果、
次に示す不具合が発生する。天井搬送車Ｖ₀と第２壁
面部５７との間隔Ｌが大きくなり過ぎて、ウェハキャリ
ア５２の移載をスムーズに行うことができない。天井
搬送車Ｖ₀ と第２壁面部５７との間に無駄空間Ｑが生じ
る。

【０００８】ここで、クリーンルームの建設費、或いは
運転費は極めて高い。このため、各ストッカＳ₁,Ｓ₂ 、
或いは処理装置Ｔ等は、できるだけその床面積を有効活
用させた状態で設置されることが望ましい。上記した結
果、各ストッカＳ₁,Ｓ₂ 、或いは処理装置Ｔのコーナ部
を切り欠いたり、各工程内搬送空間Ｂ₁ 〜Ｂ₁₀に無駄空
間Ｑを生じさせたりすることは得策ではない。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記した不
具合に鑑み、直角コーナ部において、搬送車両の走行方
向を直角に曲げて、互いに直交する２本の各直線路を接
続するに際して、前記コーナ部を切り欠かずに、しか
も、直角曲げされた後の搬送車両とコーナ部を形成する
壁面との間に無駄空間が発生するのを防止することを課
題としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の請求項１に記載の発明は、相隣接する各壁面に沿って
平行に敷設され、搬送車両の走行方向を直角に曲げる前
記各壁面の直角コーナ部において、互いにほぼ直交する
第１及び第２の各直線路を接続する軌道構造であって、
本来の曲げ方向と反対方向にわん曲された中心角（α）
〔α＜９０°〕の第１曲線路と、本来の曲げ方向にわん
曲された中心角（９０°＋α）の第２曲線路とが、前記
走行方向に沿って、この順序で接続されて接続曲線路が
形成され、前記第１及び第２の各直線路は、前記接続曲
線路を介して接続されて成ることを特徴としている。

【００１１】搬送車両が直角コーナ部を曲がるとき、該
搬送車両は、前記コーナ部よりも手前側で、本来の曲げ
方向と反対方向にわん曲された第１曲線路に進入する。
この第１曲線路の中心角（α）は、９０°より小さい。
続いて、該搬送車両は、前記第１曲線路と連続し、本来
の曲げ方向と同方向にわん曲された第２曲線路に進入す
る。この第２曲線路の中心角は、（９０°＋α）であ
る。即ち、搬送車両は、いったん本来の曲げ方向と反対
方向に膨らむことによって、コーナ部との干渉が回避さ
れると共に、本来の曲げ方向と同方向に走行することに
よって、その走行姿勢が修正され、前記コーナ部を形成
する各壁面から一定の間隔だけ離れた位置に配置され
る。このようにして、第１及び第２の各曲線路を走行し
た搬送車両は、コーナ部と干渉することなく、その走行
方向が直角に曲げられる。そして、第２直線路に進入し
た搬送車両は、前記壁面に可能な限り近接される。この
結果、搬送車両の曲げ走行後において、該搬送車両と壁
面との間に無駄空間が発生せず、最小搬送空間内におい
て搬送車両の走行が可能となる。この軌道構造は、干渉
制限の少ない搬送空間から、干渉制限の多い別の搬送空
間に向けて、搬送車両の走行方向を直角に曲げて走行さ
せる場合に好適である。

【００１２】請求項２に記載の発明は、相隣接する各壁
面に沿って平行に敷設され、搬送車両の走行方向を直角
に曲げる前記各壁面の直角コーナ部において、互いにほ
ぼ直交する第１及び第２の各直線路を接続する軌道構造
であって、本来の曲げ方向にわん曲された中心角（９０
°＋α）〔α＜９０°〕の第１曲線路と、本来の曲げ方
向と反対方向にわん曲された中心角（α）の第２曲線路
とが、前記走行方向に沿って、この順序で接続されて接
続曲線路が形成され、前記第１及び第２の各直線路は、
前記接続曲線路を介して接続されて成ることを特徴とし
ている。

【００１３】搬送車両が、直角コーナ部を曲がるとき、
第１直線路を走行する搬送車両は、前記コーナ部を超え
て走行した後、本来の曲げ方向と同方向にわん曲された
第１曲線路に進入する。この第１曲線路の中心角は、
（９０°＋α）〔α＜９０°〕である。続いて、該搬送
車両は、前記第１曲線路と連続し、本来の曲げ方向と反
対方向にわん曲された第２曲線路に進入する。この第２
曲線路の中心角は、αである。即ち、搬送車両は、いっ
たん本来の曲げ方向と同方向に膨らむことによって、コ
ーナ部との干渉が回避されると共に、本来の曲げ方向と
反対方向に走行することによって、その走行姿勢が修正
され、壁面から一定の間隔だけ離れた位置に迅速に配置
される。このようにして、第１及び第２の各曲線路を走
行した搬送車両は、壁面と干渉することなく、その走行
方向が直角に曲げられる。そして、第２直線路に進入し
た搬送車両は、コーナ部を形成する各壁面に可能な限り
近接される。この結果、搬送車両の曲げ走行後におい
て、該搬送車両と壁面との間に発生する無駄空間の大き
さを最小にして搬送車両の走行が可能となる。この軌道
構造は、干渉制限の多い搬送空間から、干渉制限の少な
い別の搬送空間に向けて、搬送車両の走行方向を直角に
曲げて走行させる場合に好適である。

【００１４】請求項３に記載の発明は、請求項１及び２
に記載の各軌道構造の組み合わせから成る搬送車両の軌
道構造であって、請求項１に記載の曲げ変更後の第２直
線路と、請求項２に記載の曲げ変更前の第１直線路と
は、前記各直線路を互いに逆方向に走行する搬送車両が
接触しない間隔を保持して、同一搬送空間に互いに平行
配置されて成ることを特徴としている。

【００１５】請求項３に記載の発明は、請求項１に記載
の曲げ変更後の第２直線路と、請求項２に記載の曲げ変
更前の第１直線路とが敷設される搬送空間の幅を最小に
することができる。この軌道構造は、干渉制限の少ない
搬送空間から、干渉制限の多い別の搬送空間に向けて、
搬送車両の走行方向を直角に曲げ、この干渉制限の多い
別の搬送空間に、互いに逆方向に走行するように敷設さ
れた２本の直線路を利用して、前記別の搬送空間内で往
復走行させた後に、干渉制限の少ない搬送空間に向け
て、搬送車両の走行方向を直角に曲げる場合に好適であ
る。

【００１６】更に、請求項４に記載の発明は、軌道敷設
空間は、クリーンルーム内に設けられた物品搬送空間で
あることを特徴としている。

【００１７】請求項１ないし３のいずれかに記載の搬送
車両の軌道が敷設される空間が、クリーンルーム内に設
けられた物品搬送空間である場合、該クリーンルームに
おける搬送空間の大きさを最小にすることができる。こ
のため、クリーンルームの建設費、或いは運転費を安価
にすることができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、実施形態を挙げて本発明を
更に詳細に説明する。図１は請求項１及び２に記載の発
明に係る曲線軌道Ａ₁,Ａ₂ が工程間搬送空間Ｂ₀ と工程
内搬送空間Ｂ ₉ との接続部分Ｅに設置された状態の平面
図、図２は曲線軌道Ａ₁ の拡大平面図、図３は曲線軌道
Ａ₂ の拡大平面図である。図１に示されるように、クリ
ーンルームにおける工程間搬送空間Ｂ₀ と工程内搬送空
間Ｂ₉ との接続部分Ｅには、第１及び第２の各曲線軌道
Ａ₁,Ａ₂ が連続状態で接続されている。即ち、天井搬送
車Ｖ₀ が工程間搬送空間Ｂ₀ から工程内搬送空間Ｂ₉ に
進入する部分には、第１曲線軌道Ａ₁ が設けられている
と共に、前記天井搬送車Ｖ₀ が工程内搬送空間Ｂ ₉ から
工程間搬送空間Ｂ₀ に進入する部分には、第２曲線軌道
Ａ₂ が設けられている。そして、第２ストッカＳ₂ の第
１壁面部１（工程間搬送空間Ｂ₀ に面する側の壁面部）
に対して一定の間隔Ｌを有して直線走行する天井搬送車
Ｖ₀ は、第１曲線軌道Ａ₁ を介して、第２ストッカＳ₂
のコーナ部２との干渉を避けながら直角に曲がり、工程
内搬送空間Ｂ₉ に進入する。そして、前記第１壁面部１
と直交する第２壁面部３（工程内搬送空間Ｂ₉ に面する
側の壁面部）に対して一定の間隔Ｌを有して直線走行さ
れ、工程内搬送空間Ｂ₉ の終端部において１８０°反転
され、前記第２直線路Ｊ₂ と平行に設置された第３直線
路Ｊ₃ に進入する。

【００１９】第３直線路Ｊ₃ に進入した天井搬送車Ｖ₀
は、工程内搬送空間Ｂ₉ を介して隣接する処理装置Ｔの
第２壁面部４（工程内搬送空間Ｂ₉ に面する側の壁面
部）に対して一定の間隔Ｌを有して直線走行し、第２曲
線軌道Ａ₂ を介して、処理装置Ｔのコーナ部５との干渉
を避けながら直角に曲がり、工程間搬送空間Ｂ₀ に進入
する。そして、処理装置Ｔにおいて工程間搬送空間Ｂ₀
に面する第１壁面部６（工程間搬送空間Ｂ₀ に面する側
の壁面部）に対し一定の間隔Ｌを有して直線走行され
る。

【００２０】最初に、第１曲線軌道Ａ₁ について詳細に
説明する。図２に示されるように、第２ストッカＳ₂ の
第１壁面部１と第２壁面部３によって形成されるコーナ
部２の周縁にほぼ沿って、第１直線路Ｊ₁ 、第１曲線路
Ｋ₁ 、第２曲線路Ｋ₂ 、及び第２直線路Ｊ₂ が、天井搬
送車Ｖ₀ の走行方向に沿って、この順序で連続して接続
されている。ここで、第１壁面部１に沿った方向を「Ｘ
軸方向」と記載し、第２壁面部３に沿った方向を「Ｙ軸
方向」と記載する。第１直線路Ｊ₁ は、第２ストッカＳ
₂ の第１壁面部１に沿って、しかも、該第１壁面部１か
ら一定の間隔Ｌを有して設置された軌道である。この第
１直線路Ｊ₁ は、第２ストッカＳ₂ のコーナ部２の近傍
に設けられた終端部（第１曲線路進入点Ｐ₁ ）におい
て、第１曲線路Ｋ₁ と接続されている。この第１曲線路
Ｋ₁ の曲率半径Ｒは、天井搬送車Ｖ ₀ が曲線走行可能な
最小寸法であり、その曲率中心Ｃ₁ は、工程間搬送空間
Ｂ₀内で、しかも、前記第１直線路Ｊ₁ に対して第１壁
面部１と反対側に位置する。そして、その中心角αは９
０°よりも小さい。即ち、第１曲線路Ｋ₁ は、天井搬送
車Ｖ₀ が、本来曲がるべき方向と反対方向にわん曲され
た形態で設置されている。

【００２１】第１曲線路Ｋ₁ は、その終端部（第２曲線
路進入点Ｐ₂ ）において、第２曲線路Ｋ₂ と接続されて
いる。第２曲線路Ｋ₂ の曲率半径Ｒは、第１曲線路Ｋ₁
の曲率半径Ｒと同一であり、また、その曲率中心Ｃ
₂ は、Ｘ軸方向において第２ストッカＳ₂ のコーナ部２
よりも手前側であり、Ｙ軸方向において第１壁面部１か
ら間隔Ｌとほぼ同一の間隔を有する位置に配置されてい
る。そして、その中心角は（α＋９０°）である。即
ち、第２曲線路Ｋ₂ は、工程間搬送空間Ｂ₀ の側に膨ら
んでいて、天井搬送車Ｖ₀ が本来曲がるべき方向と同方
向にわん曲された形態で設置されている。

【００２２】ここで、第２曲線路Ｋ₂ の中心角は（α＋
９０°）であるため、第２曲線路Ｋ ₂ の終端部（第２直
線路進入点Ｐ₃ ）は、第１直線路Ｊ₁ の延長線上に位置
される。そして、第２曲線路Ｋ₂ は、前記第２直線路進
入点Ｐ₃ において、第２直線路Ｊ₂ と接続されている。
この第２直線路Ｊ₂ は、第２ストッカＳ₂ の第２壁面部
３に沿って設置されるものであり、前記第２壁面部３か
ら一定の間隔Ｌを有する軌道である。

【００２３】天井搬送車Ｖ₀ が、第１曲線軌道Ａ₁ を走
行する際の作用について説明する。第１直線路Ｊ₁ を走
行する天井搬送車Ｖ₀ が、第１曲線路進入点Ｐ₁ に達す
ると、該天井搬送車Ｖ₀ は第１曲線路Ｋ₁ に進入する。
該天井搬送車Ｖ₀ は、第１曲線路Ｋ₁ に案内されて、い
ったん第２ストッカＳ₂ の第１壁面部１から遠ざかる方
向（本来の曲がり方向と反対の方向、即ち、反時計回
り）に、その中心角αだけ走行する。そして、前記天井
搬送車Ｖ₀ が第２曲線路進入点Ｐ₂ に達すると、該天井
搬送車Ｖ₀ は第２曲線路Ｋ₂ に案内されて走行する。こ
のとき、天井搬送車Ｖ₀ は工程間搬送空間Ｂ₀ の側に膨
らんだ状態で走行される。なお、クリーンルームにおけ
る前記工程間搬送空間Ｂ₀ の幅Ｗ₀ （図５参照）は比較
的広いため、他の天井搬送車Ｖ₀ の走行に支障が生じる
ことはない。

【００２４】そして、前記天井搬送車Ｖ₀ が、第２曲線
路Ｋ₂ を、その中心角（α＋９０°）のうち角度αの分
だけ、時計回りに走行すると、該天井搬送車Ｖ₀ の走行
姿勢は、第１壁面部１とほぼ平行になる。図２におい
て、そのときの天井搬送車Ｖ₀を二点鎖線で示す。この
とき、天井搬送車Ｖ₀ のＸ軸方向の中心位置は、第２壁
面部３よりも（Ｒ−Ｌ）だけ手前側であり、同じくＹ軸
方向の中心位置は、第１壁面部１よりも（Ｒ＋Ｌ）だけ
離れた側に存している。続いて、天井搬送車Ｖ₀が、第
２曲線路Ｋ₂ の中心角（α＋９０°）のうち、残りの角
度（９０°）分だけ走行すると、該天井搬送車Ｖ₀ の走
行姿勢は徐々に第２壁面部３に沿うように修正される。
このようにして、天井搬送車Ｖ₀ は、第２ストッカＳ₂
のコーナ部２と干渉することなく直角に曲がることがで
きる。天井搬送車Ｖ₀ が第２直線路進入点Ｐ₃ に達する
と、該天井搬送車Ｖ₀ は第２直線路Ｊ₂ に進入し、第２
壁面部３から一定の間隔Ｌだけ離れて走行する。

【００２５】上記したように、天井搬送車Ｖ₀ が第２ス
トッカＳ₂ のコーナ部２を直角に曲がった後、該天井搬
送車Ｖ₀ は、第２ストッカＳ₂ の第２壁面部３に近接し
た状態、即ち、一定の間隔Ｌだけ離れた状態で配置され
る。この結果、第２ストッカＳ₂ と第２直線路Ｊ₂ との
間に無駄空間Ｑが発生せず、天井搬送車Ｖ₀ を走行させ
るための工程内搬送空間Ｂ₉ の幅を最小とすることがで
きる。また、天井搬送車Ｖ₀ と第２ストッカＳ₂ とのウ
ェハキャリア５２の移載作業が確実に行われる。

【００２６】ここで、図２において、従来の曲線軌道を
破線で示す。従来の曲線軌道では、互いに直交する２本
の直線路Ｊ₁,Ｊ₂'が、中心角９０°の曲線路Ｋ’で接続
されていたため、天井搬送車Ｖ₀ が、第２ストッカＳ₂
のコーナ部２との干渉を避けて曲がるためには、前記直
線路Ｊ₂'を第２壁面部３から曲率半径Ｒだけ離さなけれ
ばならない。このため、工程内搬送空間Ｂ₉ において、
天井搬送車Ｖ₀ と第２壁面部３との間隔Ｌが大きくなっ
てしまうという不具合がある。しかし、本発明では、天
井搬送車Ｖ₀ は、第２ストッカＳ₂ のコーナ部２との干
渉を避けて曲がることができると共に、第２壁面部３か
ら一定の間隔Ｌを有した状態で走行される。また、第２
ストッカＳ₂ のコーナ部２を切り欠く必要もない。

【００２７】次に、第２曲線軌道Ａ₂ について詳細に説
明する。図３に示されるように、処理装置Ｔの第２壁面
部４と第１壁面部６とで形成されるコーナ部５の周縁に
ほぼ沿って、第３直線路Ｊ₃ 、第３曲線路Ｋ₃ 、第４曲
線路Ｋ₄ 、及び第４直線路Ｊ ₄ が、天井搬送車Ｖ₀ の走
行方向に沿ってこの順序で連続して接続されている。第
３直線路Ｊ₃ は、処理装置Ｔの第２壁面部４に沿って、
しかも、該第２壁面部４から一定の間隔Ｌを有して設置
された軌道である。この第３直線路Ｊ₃ は、天井搬送車
Ｖ₀ が本来曲がるべき位置（延長走行路進入点Ｐ₄ ）か
ら、前記処理装置Ｔの第１壁面部６を超えて工程間搬送
空間Ｂ₀ の側にまで距離ｅだけ入り込んでいる。そし
て、第４直線路Ｊ₄ の延長線上に設けられた第３曲線路
進入点Ｐ₅において、第３曲線路Ｋ₃ と連続して接続さ
れている。この第３曲線路Ｋ₃ の曲率中心Ｃ₃ は、Ｘ軸
方向において処理装置Ｔのコーナ部５よりも、距離（Ｒ
−Ｌ）だけ奥側であり、Ｙ軸方向において第１壁面部６
から間隔Ｌとほぼ同一の間隔を有する位置に配置されて
いる。そして、その中心角は、第１曲線軌道Ａ₁ におけ
る第２曲線路Ｋ₂ の中心角と同一で、（α＋９０°）で
ある。即ち、第３曲線路Ｋ₃ は、天井搬送車Ｖ₀ が本来
曲がるべき方向と同方向にわん曲された形態で設置され
ている。

【００２８】そして、第３曲線路Ｋ₃ は、その終端部
（第４曲線路進入点Ｐ₆ ）において、第４曲線路Ｋ₄ と
接続されている。第４曲線路Ｋ₄ の曲率半径Ｒは、前記
第３曲線路Ｋ₃ の曲率半径Ｒと同一であり、その曲率中
心Ｃ₄ は、工程間搬送空間Ｂ₀の部分で、しかも、第４
直線路Ｊ₄ に対して第１壁面部６と反対側に位置する。
そして、その中心角αは９０°よりも小さい。即ち、第
４曲線路Ｋ₄ は、天井搬送車Ｖ₀ が、本来曲がるべき方
向と反対方向にわん曲された形態で設置されている。

【００２９】ここで、第４曲線路Ｋ₄ の中心角はαであ
るため、第４曲線路Ｋ₄ の終端部（第４直線路進入点Ｐ
₇ ）は、第３曲線路Ｋ₃ の曲率中心Ｃ₃ を含んで第１壁
面部６と平行な直線上に位置される。そして、第４曲線
路Ｋ₄ は、前記第４直線路進入点Ｐ₇ において、第４直
線路Ｊ₄ と接続されている。この第４直線路Ｊ₄ は、処
理装置Ｔの第１壁面部６に沿って設置されるものであ
り、前記第１壁面部６から一定の間隔Ｌを有する軌道で
ある。

【００３０】天井搬送車Ｖ₀ が、第２曲線軌道Ａ₂ を走
行する際の作用について説明する。第３直線路Ｊ₃ を走
行する天井搬送車Ｖ₀ が、第２壁面部４の端部（延長走
行路進入点Ｐ₄ ）に達すると、該天井搬送車Ｖ₀ は、そ
のまま工程間搬送空間Ｂ₀ の側に距離ｅだけ延長走行す
る。そして、第３曲線路進入点Ｐ₅ に達すると、天井搬
送車Ｖ₀ は第３曲線路Ｋ₃ に進入する。該天井搬送車Ｖ
₀ は、第３曲線路Ｋ₃に案内されて、該天井搬送車Ｖ₀
が本来曲がるべき方向に、中心角（α＋９０°）だけ時
計回りに曲線走行する。そして、前記天井搬送車Ｖ
₀ が、第４曲線路進入点Ｐ₆ に達すると、該天井搬送車
Ｖ₀ は、第４曲線路Ｋ₄ に案内されて、該天井搬送車Ｖ
₀ が本来曲がるべき方向と反対方向に、中心角αだけ反
時計回りに曲線走行する。

【００３１】このとき、前記天井搬送車Ｖ₀ の走行姿勢
は、徐々に第１壁面部６に沿うように修正される。そし
て、天井搬送車Ｖ₀ が第４直線路進入点Ｐ₇ に達する
と、天井搬送車Ｖ₀ の走行姿勢は、第１壁面部６と平行
になり、該天井搬送車Ｖ₀ は、そのまま第４直線路Ｊ₄
を走行する。上記したように、天井搬送車Ｖ₀ が処理装
置Ｔの第１壁面部６から距離ｅ（間隔Ｌとほぼ同一の長
さ）を超えた位置に設置された第３曲線路Ｋ₃ 、及び第
４曲線路Ｋ₄ に案内されて曲線走行することは、「オー
バーシュート」と称されている。このようにして、天井
搬送車Ｖ₀ は、処理装置Ｔのコーナ部５と干渉すること
なく直角に曲がることができる。そして、前記天井搬送
車Ｖ₀ は、第４直線路Ｊ₄ に案内され、第１壁面部６か
ら一定の間隔Ｌだけ離れて走行する。

【００３２】上記したように、天井搬送車Ｖ₀ が処理装
置Ｔのコーナ部５を直角に曲がった後、該天井搬送車Ｖ
₀ は迅速にして、処理装置Ｔの第１壁面部６に近接され
る。換言すれば、間隔Ｌだけ離れた状態に配置される。
この結果、処理装置Ｔと第４直線路Ｊ₄ との間に発生す
る無駄空間Ｑの大きさを最小にすることができる。

【００３３】ここで、図３において、従来の曲線軌道を
破線で示す。天井搬送車Ｖ₀ が処理装置Ｔのコーナ部５
との干渉を避けて曲がるとき、該天井搬送車Ｖ₀ と第１
壁面部６との間隔が、規定の間隔Ｌよりも広くなってし
まう。しかし、本発明の場合、前記処理装置Ｔのコーナ
部５との干渉を避けることができると共に、天井搬送車
Ｖ₀ を、処理装置Ｔの第１壁面部６に迅速に近接させる
ことができる。

【００３４】図１に示されるように、本実施例の曲線軌
道Ａ₁,Ａ₂ が、クリーンルームにおける工程間搬送空間
Ｂ₀ と工程内搬送空間Ｂ₉ との接続部分Ｅに設置されて
いる。即ち、本実施例の軌道敷設空間は、クリーンルー
ム内に設けられた物品搬送空間である。そして、第２直
線路Ｊ₂ と第３直線路Ｊ₃ には、同時に複数台の天井搬
送車Ｖ₀ が進入する場合があるが、前記工程内搬送空間
Ｂ₉ における両直線路Ｊ₂,Ｊ₃ は平行に配置されている
ため、互いに逆方向に走行する天井搬送車Ｖ₀どうしが
接触することはない。このため、同一の天井搬送車Ｖ₀
を、工程間搬送空間Ｂ₀ と工程内搬送空間Ｂ₉ とを連続
して走行させることができ、ウェハキャリア５２（図５
参照）の搬送を効率的に行うことができる。しかも、第
１及び第２の各ストッカＳ₁,Ｓ₂ のコーナ部２，５と天
井搬送車Ｖ₀ とが干渉することが回避されると共に、曲
がった後の天井搬送車Ｖ₀ 、或いは曲がる前の天井搬送
車Ｖ₀ と各ストッカＳ₁,Ｓ₂ との間隔Ｌが保持される。
この結果、工程内搬送空間Ｂ₉ の幅を広げることが不要
であるため、クリーンルームの設置空間の大きさを最小
にすることができ、該クリーンルームの建設費、或いは
運転費を安価にすることができる。

【００３５】本明細書では、コーナ部が直角である場合
について説明した。しかし、前記コーナ部が直角以外の
角度、例えば、図２において二点鎖線で示されるよう
に、β（β＜９０°）であっても構わない。この場合、
第２曲線路Ｋ₂ の中心角は、（α−β＋１８０°）とな
る。また、各曲線軌道Ａ₁,Ａ₂ は、すべて曲線路Ｋ₁ 〜
Ｋ₄ で形成されていなくてもよく、例えば、曲線路Ｋ₁
と曲線路Ｋ₂ との間に直線路が設けられていても構わな
い。

【００３６】本明細書では、曲線軌道Ａ₁,Ａ₂ がクリー
ンルームに設置された場合について説明した。しかし、
本発明に係る曲線軌道Ａ₁,Ａ₂ が設置される場所は、ク
リーンルームに限られるものではない。また、搬送車両
も、天井搬送車Ｖ₀ に限られず、例えば、地上搬送車で
あっても構わない。

【００３７】

【発明の効果】本発明は、直角コーナ部における相隣接
する壁面に沿って平行に敷設されて、互いにほぼ直交す
る第１及び第２の各直線路を接続する軌道構造であっ
て、所定の方向にわん曲された第１及び第２の各曲線路
から成る。このため、第１の直線路を走行する搬送車両
は、第１及び第２の各曲線路を介して、前記コーナ部と
干渉することなく曲がって、第２の直線路に進入するこ
とができる。しかも、搬送車両が直角に曲がった後、該
搬送車両は、前記コーナ部を形成する壁面から一定の間
隔だけ離れた位置に近接されるため、無駄空間の発生を
防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】請求項１及び２に記載の発明に係る曲線軌道Ａ
₁,Ａ₂ が、工程間搬送空間Ｂ₀と工程内搬送空間Ｂ₉ と
の接続部分Ｅに設置された状態の平面図である。

【図２】曲線軌道Ａ₁ の拡大平面図である。

【図３】曲線軌道Ａ₂ の拡大平面図である。

【図４】工程間搬送軌道５１と工程内搬送軌道５３，５
４とが分離された状態で設置されたクリーンルームの平
面図である。

【図５】工程間搬送軌道５１と工程内搬送軌道５３，５
４とが連続状態で設置されたクリーンルームの平面図で
ある。

【図６】天井搬送車Ｖ₀ と第１ストッカＳ₁ のコーナ部
５５とが、干渉する状態を示す図である。

【図７】天井搬送車Ｖ₀ が、第１ストッカＳ₁ のコーナ
部５５との干渉を避けて曲がるときに、天井搬送車Ｖ₀
と第２壁面部５７との間に無駄空間Ｑが形成される状態
を示す図である。

【符号の説明】

Ａ₁,Ａ₂ ：曲線軌道（接続曲線路） Ｂ₀ ：工程間搬送空間（搬送空間） Ｂ₁ 〜Ｂ₁₀：工程内搬送空間（搬送空間） Ｊ₁ 〜Ｊ₄ ：直線路 Ｋ₁ 〜Ｋ₄ ：曲線路 Ｖ₀,Ｖ₁,Ｖ₂ ：天井搬送車（搬送車両） α：中心角 １，６：第１壁面部（壁面） ２，５：コーナ部 ３，４：第２壁面部（壁面）

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 相隣接する各壁面に沿って平行に敷設さ
   れ、搬送車両の走行方向を直角に曲げる前記各壁面の直
   角コーナ部において、互いにほぼ直交する第１及び第２
   の各直線路を接続する軌道構造であって、 本来の曲げ方向と反対方向にわん曲された中心角（α）
   〔α＜９０°〕の第１曲線路と、本来の曲げ方向にわん
   曲された中心角（９０°＋α）の第２曲線路とが、前記
   走行方向に沿って、この順序で接続されて接続曲線路が
   形成され、 前記第１及び第２の各直線路は、前記接続曲線路を介し
   て接続されて成ることを特徴とする搬送車両の軌道構
   造。
2. 【請求項２】 相隣接する各壁面に沿って平行に敷設さ
   れ、搬送車両の走行方向を直角に曲げる前記各壁面の直
   角コーナ部において、互いにほぼ直交する第１及び第２
   の各直線路を接続する軌道構造であって、 本来の曲げ方向にわん曲された中心角（９０°＋α）
   〔α＜９０°〕の第１曲線路と、本来の曲げ方向と反対
   方向にわん曲された中心角（α）の第２曲線路とが、前
   記走行方向に沿って、この順序で接続されて接続曲線路
   が形成され、 前記第１及び第２の各直線路は、前記接
   続曲線路を介して接続されて成ることを特徴とする搬送
   車両の軌道構造。
3. 【請求項３】 請求項１及び２に記載の各軌道構造の組
   み合わせから成る搬送車両の軌道構造であって、 請求項１に記載の曲げ変更後の第２直線路と、請求項２
   に記載の曲げ変更前の第１直線路とは、前記各直線路を
   互いに逆方向に走行する搬送車両が接触しない間隔を保
   持して、同一搬送空間に互いに平行配置されて成ること
   を特徴とする搬送車両の軌道構造。
4. 【請求項４】 軌道敷設空間は、クリーンルーム内に設
   けられた物品搬送空間であることを特徴とする請求項１
   ないし３のいずれかに記載の搬送車両の軌道構造。