KR100849417B1 - 물품취급설비 - Google Patents

물품취급설비 Download PDF

Info

Publication number
KR100849417B1
KR100849417B1 KR1020020003038A KR20020003038A KR100849417B1 KR 100849417 B1 KR100849417 B1 KR 100849417B1 KR 1020020003038 A KR1020020003038 A KR 1020020003038A KR 20020003038 A KR20020003038 A KR 20020003038A KR 100849417 B1 KR100849417 B1 KR 100849417B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
shelf
rotary
article
conveying means
conveying
Prior art date
Application number
KR1020020003038A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20020069107A (ko
Inventor
이누이요시타카
Original Assignee
가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2001044389A external-priority patent/JP3832255B2/ja
Priority claimed from JP2001044387A external-priority patent/JP3804456B2/ja
Priority claimed from JP2001044386A external-priority patent/JP3832253B2/ja
Application filed by 가부시키가이샤 다이후쿠 filed Critical 가부시키가이샤 다이후쿠
Publication of KR20020069107A publication Critical patent/KR20020069107A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100849417B1 publication Critical patent/KR100849417B1/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769Storage means
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02Storage devices
    • B65G1/04Storage devices mechanical
    • B65G1/12Storage devices mechanical with separate article supports or holders movable in a closed circuit to facilitate insertion or removal of articles the articles being books, documents, forms or the like
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02Storage devices
    • B65G1/04Storage devices mechanical
    • B65G1/045Storage devices mechanical in a circular arrangement, e.g. towers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

회전선반(21)을 회전선반축심(22)의 주위로 회전 가능하게 설치하고, 회전선반축심(22)을 중심으로 한 회전원경로(23) 상에 복수의 물품수용부(32)를 설치한 물품취급설비이다. 회전선반(21)의 측외방에 설치한 이송수단(51)의 이송작용부(81)를 이송수단축심(52)의 주위로 회전 가능하게 설치하고, 회전원경로(23)에 접선상으로 중합하는 이송원경로(53) 상에서 작용 가능하게 구성함과 동시에, 이송원경로(53) 상에 고정선반(101)을 설치했다. 이송수단(51)은 주행이동을 위한 점유공간이 불필요하게 되고, 회전선반(21)과 고정선반(101)을 포함한 전체를 소형으로 구성할 수 있다. 주행구성이 없는 이송수단(51)은 이송작용부(81)를 바닥 가까이까지 하강할 수 있고, 회전선반(21)과 고정선반(101)은, 보관레벨을 낮추어 보관량을 보다 증가시킬 수 있다.

Description

물품취급설비{ARTICLE HANDLING SYSTEM}
도 1은 본 발명의 제1실시예를 나타내고, 물품취급설비의 외관사시도,
도 2는 동 물품취급설비의 횡단평면도,
도 3은 동 물품취급설비의 종단측면도,
도 4는 동 물품취급설비에 있어서의 회전선반의 하부의 일부를 잘라낸 측면도,
도 5는 동 물품취급설비에 있어서의 회전선반의 상부의 일부를 잘라낸 측면도,
도 6은 동 물품취급설비에 있어서의 이송수단의 하부의 일부를 잘라낸 측면도,
도 7은 동 물품취급설비에 있어서의 이송수단의 상부의 일부를 잘라낸 측면도,
도 8은 동 물품취급설비에 있어서의 이송수단의 일부를 잘라낸 평면도,
도 9는 동 물품취급설비에 있어서의 고정선반의 측면도,
도 10은 동 물품취급설비에 있어서의 고정선반의 평면도,
도 11은 본 발명의 제2 내지 제5실시예를 나타내고, (a)는 제2실시예를 나타내는 개략평면도, (b)는 제3실시예를 나타내는 개략평면도, (c)는 제4실시예를 나 타내는 개략평면도, (d)는 제5실시예를 나타내는 개략평면도,
도 12는 본 발명의 제6실시예를 나타내고, 물품취급설비의 일부를 잘라낸 측면도,
도 13은 본 발명의 제7실시예를 나타내고, 물품취급설비의 외관사시도,
도 14은 동 물품취급설비에 있어서의 고정선반과 이송수단의 부분의 측면도,
도 15는 동 물품취급설비의 횡단평면도,
도 16은 동 물품취급설비에 있어서의 고정선반 부분의 횡단평면도이다.
본 발명은, 예를 들면 클린룸 내에서 물품의 보관이나 반송을 행하는데 채용되는 물품취급설비에 관한 것이다.
종래, 이런 종류의 것으로는, 예를 들면 일본 특허 공개 평성10-279023호 공보에서 볼 수 있는 자동창고가 제공되어 있다.
이 종래구성은, 횡방향으로 다수의 격납위치를 가지는 한 쌍의 래크(rack)가 간격을 두고 평행하게 설치되어 있다. 그리고 간격을 주행경로로서, 한 쌍의 래크 간에 이송장치가 설치됨과 동시에, 주행경로의 단부외방에는 각각 회전래크가 설치되어 있다. 상기 이송장치는 한 쪽 래크에 설치된 승강레일을 따라서 주행하는 주행대차와 이 주행대차에 설치된 턴테이블와 이 턴테이블에 설치된 암이나 핸드 등으로 구성되어 있다.
이와 같은 종래구성에 의하면, 승강레일의 승강과, 주행대차의 주행과, 턴테이블의 회전과, 핸드의 작동의 조합동작에 의하여, 이송스테이션과, 양쪽 래크의 격납위치와, 회전래크의 선반판과의 사이에서 물품의 주고받기가 행해진다. 그 때, 회전래크는 적당히 회전된다. 또한 상기 래크의 상방에는, 천정측의 주행레일에 지지안내되는 천정주행차가 설치되고, 이것으로써 래크측에 설치된 이송스테이션과의 사이에서 물품의 주고받기가 가능하게 된다.
그러나, 상기 종래구성에 의하면, 보관량(격납량)을 증가하기 위해서는, 래크 등의 상하 높이를 높게 형성하거나 래크를 길게 형성하지 않으면 안된다. 여기서 래크 등의 상하 높이를 높게 형성하는 것은 천정주행차의 레이아웃의 형성이나 건물의 규모 등으로부터 제약을 받게 되고, 그리고 클린룸과 같은 클린공간을 가능한한 좁게 하고 싶은 장소에는 용이하게 채용할 수 없다. 또한 래크를 길게 형성하는 것은 그 만큼 점유공간이 확대되게 되고, 따라서 클린룸과 같은 장소에는 용이하게 수용할 수 없었다.
또한, 다른 종래구성으로는, 예를 들면 일본 특허 공개 평성10-98094호 공보에 볼 수 있는 보관선반장치가 제공되어 있다. 이 다른 종래구성은, 각형의 섀시의 내부에 원통선반이 설치되고, 이 원통선반의 내부에 스태커가 배치되어 있다. 여기서 원통선반은 고정되고, 스태커가 선회되도록 구성되어 있다.
그러나, 상기 다른 종래구성에 의하면, 보관량(격납량)을 증가하기 위해서는, 원통선반의 보관부를 상하방향이나 둘레방향에 있어서 조밀하게 설치하지 않으면 안된다. 여기서 보관부를 상하방향에 있어서 조밀하게 설치했을 때에는, 원통선 반이나 스태커의 보수점검을 행하기 위한 통로를 확보할 수 없고, 이 때문에 다른 종래구성에서는 원통선반의 하부에는 보관부가 없는 구성으로 되어 있다.
따라서 다른 종래구성에서는, 규모(상하 높이)에 비해서 보관량이 적은 구성으로 되고, 이것으로써 클린룸과 같은 클린공간을 가능한한 좁게 하고 싶은 장소에는 용이하게 채용할 수 없었다.
그래서 본 발명의 제1목적으로 하는 바는, 전체를 소형으로 구성할 수 있는 것이면서, 보관량을 증가할 수 있는 물품취급설비를 제공하는 데에 있다.
또한 본 발명의 제2목적으로 하는 바는, 반송수단의 레이아웃을 바람직하게 형성할 수 있음과 동시에, 전체를 소형으로 구성할 수 있는 물품취급설비를 제공하는 데에 있다.
그리고 본 발명의 제3목적으로 하는 바는, 전체를 소형으로 또한 보관량을 증가할 수 있는 것이면서, 내부의 보수점검은 용이하게 행할 수 있는 물품취급설비를 제공하는 데에 있다.
상기 제1목적을 달성하기 위해, 본 발명의 청구항1의 물품취급설비는, 회전선반은 종방향의 회전선반축심의 주위로 회전 가능하게 설치됨과 동시에, 상기 회전선반축심을 중심으로 한 회전원경로 상에 복수의 물품수용부가 설치된 물품취급설비로서, 상기 회전선반의 측외방에는 이송수단이 설치되고, 이 이송수단의 이송작용부는 상기 회전선반축심에 평행형상의 이송수단축심의 주위로 회전 가능하게 설치됨과 동시에, 상기 회전원경로에 접선상으로 중합되는 이송원경로 상에서 작용 가능하게 구성되고, 이 이송원경로 상에는 고정선반이 설치되어 있다.
상기 본 발명의 청구항1에 의하면, 회전선반을 회전선반축심의 주위에 회전시키고, 회전원경로와 이송원경로의 중합부분에 목적으로 하는 물품수용부을 위치시킴으로써, 이 물품수용부에 대해서 이송수단에 의해 물품의 출납을 행할 수 있다. 또한 이송수단의 이송작용부를 이송수단축심의 주위로 회전시킴으로써, 고정선반에 대해서 이송수단에 의해 물품의 출납을 행할 수 있다.
이와 같은 이송수단은, 이송작용부를 회전시키는 것만으로 주행이동 등은 행해지지 않기 때문에, 주행이동 등을 위한 점유공간이 불필요하게 되고, 회전선반과 고정선반을 포함한 전체를 소형으로 구성할 수 있다. 게다가, 회전선반과 고정선반에 의해 보관량을 증가시킬 수 있음과 동시에, 주행구성이 없는 이송수단은 이송작용부를 바닥 가까이까지 하강시킬 수 있음으로써, 그것에 맞춰서 회전선반과 고정선반의 보관레벨을 낮출 수 있고, 보관량을 보다 증가시킬 수 있게 된다. 따라서, 클린룸과 같은 클린공간을 가능한한 좁게 하고 싶은 장소에 용이하고 또한 바람직하게 채용할 수 있다.
본 발명의 청구항1의 물품취급설비에 있어서의 바람직한 제1실시형태로서는, 회전선반과 이송수단과 고정선반은, 회전원경로와 이송원경로 양쪽 모두 단수로서 설치되어 있다.
이 제1실시형태에 의하면, 회전선반과 이송수단과 고정선반으로 이루어지는 물품취급설비를 소형으로 구성할 수 있다.
본 발명의 청구항1의 물품취급설비에 있어서의 바람직한 제2실시형태로서는, 이송원경로 상의 복수개소에 고정선반이 설치되어 있다.
이 제2실시형태에 의하면, 고정선반군에 의해 보관량을 보다 증가시킬 수 있다.
본 발명의 청구항1의 물품취급설비에 있어서의 바람직한 제3실시형태로서는, 회전선반에는 물품수용부군이 상하 복수단에 설치되고, 고정선반에는 물품지지부가 상하 복수단에 설치되고, 이송수단은 회전선반과 고정선반의 상하 복수단에 대응해서 작용 가능하게 구성되어 있다.
이 제3실시형태에 의하면, 상하 높이를 최대한으로 이용해서 회전선반과 고정선반에 의해 보관량을 증가할 수 있고, 따라서 클린룸 등에 용이하게 채용할 수 있다.
본 발명의 청구항1의 물품취급설비에 있어서의 바람직한 제4실시형태로서는, 회전선반은 정역으로 회전 가능하고, 최대 180°의 회전이 행해지도록 구성되어 있다.
이 제4실시형태에 의하면, 회전선반의 회전은 중합위치에 대해서 목적으로 하는 물품수용부의 회전거리가 짧은 방향으로, 최대 180°로 정방향 또는 역방향으로 행할 수 있고, 이것으로써 신속하고 또한 능률적으로 회전할 수 있다.
본 발명의 청구항1의 물품취급설비에 있어서의 바람직한 제5실시형태로서는, 고정선반에 대한 이송수단의 작업 중에, 회전선반이 선행해서 준비되도록 구성되어 있다.
이 제5실시형태에 의하면, 고정선반에 대해서 이송수단을 작업시키고 있을 때에, 회전선반을 선행해서 회전시켜 준비함으로써, 전체의 가동능률을 향상할 수 있다.
본 발명의 청구항1의 물품취급설비에 있어서의 바람직한 제6실시형태로서는, 회전선반과 이송수단과 고정선반은 클린분위기 내에 설치되어 있다.
이 제6실시형태에 의하면, 회전선반이나 고정선반에서는 충분한 클린분위기에서 물품의 보관을 행할 수 있다.
상기 제2목적을 달성하기 위해, 본 발명의 청구항8의 물품취급설비는, 회전선반은 종방향의 회전선반축심의 주위로 회전 가능하게 설치됨과 동시에, 상기 회전선반축심을 중심으로 한 회전원경로 상에 복수의 물품수용부가 설치된 물품취급설비로서, 상기 회전선반을 둘러싸서 직사각형 상자모양의 위벽체(圍壁體)가 설치되어, 이 위벽체의 적어도 1개소의 모서리부이며 또한 상하방향의 설정범위는 절단부로 형성되고, 이 절단부의 외측을 통하는 반송수단이 설치되어 있다.
상기 본 발명의 청구항8에 의하면, 반송수단에 의한 반송은 절단부의 외측에 위치한 반송경로부 등을 이용해서 위벽체에 대해서 충분히 접근시킨 최단거리로 신속하고 또한 능률적으로 행할 수 있다. 또한 위벽체에 대해서 충분히 접근시켜서 반송수단을 설치할 수 있음으로써, 위벽체로부터 반송경로까지의 설치공간을 좁게할 수 있고, 이것으로써 반송수단의 레이아웃을 용이하고 바람직하게 형성할 수 있음과 동시에, 전체를 소형으로 구성할 수 있다.
본 발명의 청구항8의 물품취급설비에 있어서의 바람직한 제1실시형태로서는, 위벽체에는 반송수단과의 사이에서 물품의 주고받기를 행하기 위해 물품통과부가 형성되어 있다.
이 제1실시형태에 의하면, 물품통과부를 통해 위벽체 내의 기기와 반송수단의 사이에서 물품의 주고받기를 행하는 것이 가능하다.
본 발명의 청구항8의 물품취급설비에 있어서의 바람직한 제2실시형태로서는, 위벽체 내에는 회전선반 이외에 고정선반과, 회전선반과 고정선반에 작용 가능한 이송수단이 설치되어 있다.
이 제2실시형태에 의하면, 위벽체 내에 있어서, 회전선반과 고정선반에 의해 물품의 보관을 행할 수 있음과 동시에, 이송수단에 의해 회전선반이나 고정선반에 대해서 물품의 출납을 행할 수 있다.
본 발명의 청구항8의 물품취급설비에 있어서의 바람직한 제3실시형태로서는, 위벽체 내에는 회전선반 이외에 고정선반과 이송수단이 설치되고, 이 이송수단은 회전선반의 측외방에 설치되고, 상기 이송수단의 이송작용부는 상기 회전선반축심에 평행형상의 이송축심의 주위로 회전 가능하게 설치됨과 동시에, 상기 회전원경로에 접선상으로 중합되는 이송원경로 상에서 작용 가능하게 구성되고, 이 이송원경로 상에는 고정선반이 설치되어 있다.
이 제3실시형태에 의하면, 회전선반을 회전선반축심의 주위로 회전시키고, 회전원경로와 이송원경로의 중합부분에 목적으로 하는 물품수용부를 위치시킴으로써, 이 물품수용부에 대해서 이송수단에 의해 물품의 출납을 행할 수 있다. 또한 이송수단의 이송작용부를 이송수단축심의 주위로 회전시킴으로써, 고정선반에 대해 서 이송수단에 의해 물품의 출납을 행할 수 있다.
이와 같은 이송수단은 이송작용부를 회전시키는 것만으로 주행이동 등은 행하지 않기 때문에, 주행이동 등을 위한 점유공간이 불필요하게 되어, 회전선반과 고정선반을 포함한 전체를 소형으로 구성할 수 있다. 게다가, 회전선반과 고정선반에 의해 보관량을 증가할 수 있음과 동시에, 주행구성이 없는 이송수단은 이송작용부를 바닥 가까이까지 하강할 수 있음으로써, 그것에 맞춰서 회전선반과 고정선반의 보관레벨을 낮출 수 있고, 보관량을 보다 증가할 수 있다. 따라서, 클린룸과 같은 클린공간을 가능한한 좁게 하고 싶은 장소에 용이하고 또한 바람직하게 수용할 수 있다.
본 발명의 청구항8의 물품취급설비에 있어서의 바람직한 제4실시형태로서는, 위벽체 내를 클린분위기로 하고 있다.
이 제4실시형태에 의하면, 회전선반을 충분한 클린분위기 내에 설치할 수 있다.
본 발명의 청구항8의 물품취급설비에 있어서의 바람직한 제5실시형태로서는, 위벽체가 클린룸 내에 설치되어 있다.
이 제5실시형태에 의하면, 회전선반이 설치된 위벽체를 충분한 클린분위기 내에 설치할 수 있다.
상기 제3목적을 달성하기 위해, 본 발명의 청구항14의 물품취급설비는, 회전선반은 종방향의 회전선반축심의 주위로 회전 가능하게 설치됨과 동시에, 상기 회전선반축심을 중심으로 한 회전원경로 상에 복수의 물품수용부가 설치된 물품취급설비로서, 상기 회전선반을 둘러싸서 위벽체가 설치되고, 이 위벽체 내에는 회전선반 이외에 고정선반과 이 고정선반에 작용 가능한 이송수단이 설치되고, 상기 위벽체의 일부는 개폐문으로 형성됨과 동시에, 이 개폐문의 내측에 고정선반이 설치되고, 이 고정선반은 개폐문을 개방동작시킨 후의 개구부를 통해 이동 가능하게 구성되어 있다.
상기 본 발명의 청구항14에 의하면, 고정선반은 충분히 하부까지 물품의 보관을 행할 수 있고, 전체를 소형이고 또한 보관량을 증가할 수 있고, 이것으로써 클린룸과 같은 클린공간을 가능한한 좁게 하고 싶은 장소에 용이하고 또한 바람직하게 채용할 수 있다. 그리고, 개폐문을 이동해서 개구부를 개방시킨 후, 고정선반을 개구부를 통해 위벽체의 밖으로 이동하는 것이 가능하고, 이것으로써 개구부의 내측에서 고정선반이 있던 부분에 통로를 형성할 수 있다.
이것에 의해 작업자는, 개방부로부터 통로를 통해서 위벽체 내에 출입할 수 있고, 이것으로써 위벽체 내의 이송수단 등에 대한 보수점검 등을 용이하고 확실히 행할 수 있다. 그리고 이동한 고정선반의 보수점검 등은 위벽체의 밖에서 행할 수 있다. 소기의 보수점검을 행한 후, 우선 고정선반을 위벽체 내로 이동시켜서 소정개소에 위치할 수 있고, 계속해서 개폐문을 폐쇄이동할 수 있다.
본 발명의 청구항14의 물품취급설비에 있어서의 바람직한 제1실시형태로서는, 이송수단은 고정선반과 회전선반에 작용 가능하게 구성되어 있다.
이 제1실시형태에 의하면, 이송수단에 의해 고정선반과 회전선반에 대한 물품의 출납을 행할 수 있다. 그리고, 개폐문과 함께 고정선반을 위벽체의 밖으로 이 동하는 것에 의해 회전선반에 대한 보수점검 등을 용이하게 확실히 행할 수 있다.
본 발명의 청구항14의 물품취급설비에 있어서의 바람직한 제2실시형태로서는, 회전선반의 측외방에는 이송수단이 설치되고, 이 이송수단의 이송작용부는 회전선반축심에 평행형상의 이송축심의 주위로 회전 가능하게 설치됨과 동시에, 회전원경로에 접선상으로 중합되는 이송원경로 상에서 작용 가능하게 구성되고, 이 이송원경로 상에는 개폐문을 개방동작시킨 후의 개구부를 통해 이동 가능한 고정선반이 설치되어 있다.
이 제2실시형태에 의하면, 회전선반을 회전선반축심의 주위로 회전시키고, 회전원경로와 이송원경로의 중합부분에 목적으로 하는 물품수용부를 위치시킴으로써, 이 물품수용부에 대해서 이송수단에 의해 물품의 출납을 행할 수 있다. 또한, 이송수단의 이송작용부를 이송수단축심의 주위로 회전시킴으로써, 고정선반에 대하여 이송수단에 의해 물품의 출납을 행할 수 있다.
이와 같은 이송수단은 이송작용부를 회전시키는 것만으로 주행이동 등은 행하지 않기 때문에, 주행이동 등을 위한 점유공간이 불필요하게 되어 회전선반과 고정선반을 포함시킨 전체를 소형으로 구성할 수 있다. 게다가, 회전선반과 고정선반에 의해 보관량을 증가할 수 있음과 동시에, 주행구성이 없는 이송수단은 이송작용부를 바닥 가까이까지 하강할 수 있음으로써, 그것에 맞춰서 회전선반과 고정선반의 보관레벨을 낮출 수 있고, 보관량을 보다 증가할 수 있게 된다.
이하에, 본 발명의 제1실시예를 도 1 내지 도 10에 기초해서 설명한다.
도 1 내지 도 3에 있어서, 클린룸(1)은, 예를 들면 천정(2)측으로부터 클린 에어(A)가 분출되고, 바닥(3)의 하측에 배출되는 하향흐름 방식으로 되어 있다. 그리고 클린룸(1) 내에 물품보관설비(10)가 설치되어 있다. 여기서 물품보관설비(10)는, 직사각형 상자모양의 위벽체(11)와 이 위벽체(11) 내에 설치된 회전선반(21), 이송수단(51), 고정선반(101) 등에 의해 구성되어 있다.
상기 위벽체(11)는, 프레임체(12)와, 이 프레임체(12)의 외측에서 하반부에 부착된 하부외판(13)과, 프레임체(12)의 외측에서 상반부에 부착된 상부외판(14) 등에 의해 구성되어 있다. 그 때에, 하부외판(13)이나 상부외판(14)의 적어도 일부, 주로 상부외판(14)에는 수지제 등의 투명판이 사용되고, 이것으로써 외부로부터 위벽체(11) 내의 물품보관실(물품보관공간)(15)의 상황을 파악할 수 있도록 구성되어 있다. 또한, 상기 위벽체(11)의 적어도 1개소의 모서리부이며 또한 상하방향의 설정범위, 예를 들면 상부외판(14)의 상하방향의 전체높이가 설정범위로서 되고, 4개의 모서리부는 절단부(16)로 형성되어 있다.
상기 구성으로 이루어지는 위벽체(11)는 상하가 개방되어 있고, 이것에 의해 천정(2)측으로부터 클린에어(A)가 위벽체(11) 내에서 통과되는 것에 의해, 이 위벽체(11) 내의 물품보관실(15)은 클린분위기로 되어 있다. 또한 위벽체(11)는 프레임체(12)의 하부에 설치된 다리체(17)를 통해 바닥(3) 상에 설치되어 있다.
도 2 내지 도 5에 있어서, 상기 물품보관실(15) 내의 한 쪽 근처의 위치에는 상기 회전선반(21)이 설치되어 있다. 이 회전선반(21)은, 종방향의 회전선반축심(22)의 주위로 회전 가능하게 설치됨과 동시에, 상기 회전선반축심(22)을 중심으로 한 회전원경로(23) 상에 복수의 물품수용부(32)가 설 치되어 있다.
즉, 바닥(3) 상에는 베이스플레이트(24)이 설치되고, 이 베이스플레이트(24) 상에는 상기 회전선반축심(22)을 중심으로 한 원형의 LM가이드수단(25)을 통해 원판형상의 회전체(26)가 설치되어 있다. 이 회전체(26)의 중앙부분으로부터는 상기 회전선반축심(22) 상에 위치되는 상태에서 6각통형상의 종축체(27)가 세워설치되고, 이 종축제(27)의 상단에는 폐쇄판(27A)이 설치되어 있다. 그리고 폐쇄판(27A)의 중앙부분으로부터 세워설치된 세로핀(28)이, 상기 위벽체(11)의 상부에 설치된 지지판(18)에 베어링장치(29)를 통해 여유롭게 회전 가능하게 지지되어 있다.
상기 종축체(27)의 상하방향의 복수개소에는, 6각형상의 환형판(30)이 외측에서 끼워져서 설치되고, 이들 환형판(30)은 복수의 부착부재(31) 등을 통해 종축체(27)에 연결되어 있다. 각 환형판(30)의 둘레방향의 6개소(복수개소)에 상기 물품수용부(32)가 설치되고, 이들 물품수용부(32)는 판틀형상이고, 그 기단이 연결구(33)를 통해 환형판(30)측에 연결됨으로써, 횡외방으로 돌출되는 상태에서 환형판(30)측에 일단고정형상으로 지지되어 있다.
그리고 물품수용부(32)에는, 상하 및 유단(遊端)(외측)에 개방되는 오목부(34)가 형성됨과 동시에, 이 오목부(34)의 주변의 3개소(단수개소 또는 복수개소)로부터는 위치결정핀(35)이 세워설치되어 있다. 또한, 물품수용부(32)의 기단부분에는 물품존재여부 검출수단의 일부를 구성하는 반사거울(35)이, 유단부분에는 레벨검출수단의 일부를 구성하는 반사테이프(37)가 각각 설치되어 있다.
상기 회전선반(21)을 회전시키는 회전선반구동수단(41)이 설치되어 있다. 즉, 상기 베이스플레이트(24)의 모퉁이부에는 회전구동부(42)가 설치되고, 이 회전구동부(42)로부터의 하향의 구동축(43)에는 구동기어(44)가 설치되어 있다. 그리고 상기 회전체(26)의 둘레가장자리에는 링기어(45)가 설치되고, 이 링기어(45)에 상기 구동기어(44)가 항상 맞물려 있다. 여기서 회전구동부(42)는 모터와 감속기 등으로 이루어지고, 상기 구동축(43)을 정역으로 구동하도록 구성되어 있다.
따라서, 회전선반구동수단(41)의 회전구동부(42)에 의해 구동축(43)을 정역으로 구동시킴으로써, 구동기어(44)나 링기어(45) 등을 통해 회전선반(21)을 회전선반축심(22)의 주위로 정역으로 회전할 수 있다. 그 때에 회전선반(21)은 최대 180°의 회전이 행해지도록 구성되어 있다. 이상의 22 내지 45 등에 의해 회전선반(21)의 일례가 구성된다.
도 2, 도 3, 도 6 내지 도 8에 있어서, 상기 물품보관실(15) 내의 다른 쪽 근처의 위치에는 상기 이송수단(51)이 설치되어 있다. 이 이송수단(51)의 이송작용부(81)는 상기 회전선반축심(22)에 평행형상의 이송축심(52)의 주위로 회전 가능하게 설치됨과 동시에, 상기 회전원경로(23)에 접선상으로 중합되는 이송원경로(53) 상에서 작용 가능하게 구성되어 있다.
즉, 바닥(3) 상에는 베이스프레임(54)이 설치되고, 이 베이스프레임(54)로부터 기둥체(55)가 세워설치됨과 동시에, 이 기둥체(55)의 앞면측에는 가이드레일(56)이 설치되어 있다. 여기서 기둥체(55)는 좌우 한 쌍의 측부재(55A)와 이들 측부재(55A)의 내측면 사이에 설치된 후부재(55B)와, 이 후부재(55B)의 앞면측에 설치된 전부재(55C)로 이루어지고, 이들 전부재(55C)의 앞면측에, 상기 가 이드레일(56)이 각각 설치되어 있다. 그리고 기둥체(55)의 상단에는 상부프레임(57)이 설치되고, 또한 전부재(55C)에는 각각 커버체(58)가 설치되어 있다.
상기 가이드레일(56)에 피가이드체(59)를 통해 승강 가능(LM가이드)하게 안내되는 승강부(60)가 설치됨과 동시에, 이 승강부(60)에 연동된 승강구동수단(61)이 설치되어 있다. 즉 승강부(60)는 상기 피가이드체(59)측에 연결된 종방향부재(60A)와 이 종방향부재(60A)의 하단으로부터 전방으로 연달아 설치된 횡방향부재(60B)에 의해 측면으로 봐서 L자 모양으로 형성되어 있다.
상기 승강구동수단(61)은 상기 베이스프레임(54) 내에 설치된 구동륜체(62)와, 상기 상부프레임(57)의 부분에 설치된 종동륜체(63)와, 양륜체(62, 63) 사이에 권회(卷回)되는 회전체(타이밍벨트 등)(64)와, 상기 구동륜체(62)의 근처에 설치된 안내륜체(65)와, 상기 구동륜체(62)에 연동된 회전구동부(66) 등에 의해 구성되어 있다. 여기서 각 륜체(62,63,65)는 좌우 한쌍이고, 그리고 회전체(64)도 좌우 한쌍으로 설치되어 있다.
그 때 각 회전체(64)는, 구동륜체(62)에 권회되는 하위회전부(64A)와, 종동륜체(63)에 권회되는 상위회전부(64B)로 이루어진다. 그리고, 기둥체(55)의 앞면측에 위치되는 각각의 유단은 상기 피가이드체(59)측에 연결되고, 또한 후면측에 위치되는 각각의 유단 사이는 장력조정구(67)를 통해 연결되어 있다. 상기 회전구동부(66)는 정역구동 가능한 모터와 감속기 등으로 구성되고, 그 구동축(68)에 한쌍의 구동륜체(62)가 장치되어 있다.
상기 승강부(60)의 횡방향부재(60B) 상에는 상기 이송축심(52)의 주위로 회전 가능한 회전체(70)가 설치되고, 그 때 회전체(70)의 중앙부분으로부터 수직 설치된 종축(71)이 횡방향부재(60B)측의 베어링(72)에 회전 가능하게 지지되어 있다. 그리고 상기 종축(71)에 연동된 회전구동수단(73)이 설치되어 있다.
즉 회전구동수단(73)은, 상기 종방향부재(60A)로부터 횡방향부재(60B)에 걸쳐서 설치된 회전구동부(74)와, 그 하향의 구동축(75)에 부착된 구동륜체(76)와, 상기 종축(71)에 부착된 종동륜체(77)와, 양 륜체(76,77) 사이에 권회된 무단회전체(타이밍벨트 등)(78)와, 상기 횡방향부재(60B) 내에 설치된 복수의 안내륜체(79) 등에 의해 구성되어 있다. 여기서 상기 회전구동부(74)는 정역구동 가능한 모터나 감속기 등으로 구성되어 있다.
상기 이송작용부(81)는 포크형식이고, 상기 회전체(70)에 대해서 전후방향(횡방향)으로 출퇴(出退) 가능하게 설치되고, 이것으로써 상기 이송축심(52)의 주위로 회전 가능하게 설치된다. 즉 이송작용부(81)는, 전후방향의 지지판(81A)과, 이 지지판(81A)의 중간부분으로부터 세워설치된 어긋남규제판(81B) 등에 의해 구성되어 있다. 그리고, 상기 어긋남규제판(81B) 보다도 전방에서, 지지판(81A) 상의 복수개소에서는 위치결정핀(82)이 세워설치되어 있다.
상기 회전체(70) 상에는 좌우 한 쌍의 레일재(83)가 전후방향에 설치됨과 동시에, 이들 레일재(83) 사이이며 또한 좌우방향의 중앙부분에는 전후방향의 가이드체(84)가 설치되어 있다. 그리고, 상기 지지판(81A)의 후단에서 하면측에는 상기 가이드체(84)에 밖에서 끼워져서 LM가이드를 구성하는 피가이드체(85)가 설치되어 있다.
상기 이송작용부(81)를 전후방향으로 출퇴(出退)시키는 출퇴구동수단(90)이 설치되어 있다. 즉 출퇴구동수단(90)은 가이드체(84)에 따라서 설치된 나사축(91)과, 상기 이송작용부(81)의 하면측에 설치되고 또한 상기 나사축(91)에 나사결합되는 너트체(92)와, 상기 회전체(70) 상에 탑재되고 또한 상기 나사축(91)에 벨트연동기구(93)를 통해 연동된 회전구동부(94) 등에 의해 구성되어 있다. 여기서 회전구동부(94)는 정역구동 가능한 모터나 감속기 등으로 구성된다.
또한 상기 이송작용부(81)의 지지판(81A)은 상기 물품수용부(32)의 오목부(34)에 대해서 승강 가능하게 구성되어 있다. 그리고 상기 기둥체(55)의 부분에는, 피가이드체(59)측의 승강을 허가하며 또한 양 커버체(58) 사이의 간극을 폐쇄 할 수 있는 방진벨트(87)가 설치되고, 또한 회전체(70)의 부분에는, 이송작용부(81)의 전후동작을 허가하고 또한 가이드체(84)의 상방을 폐쇄 할 수 있는 방진벨트(88)가 설치되어 있다.
이상의 52 내지 94 등에 의해 이송수단(51)의 일례가 구성된다. 그리고 이송수단(51)의 이송작용부(81)는, 상기 회전선반축심(22)에 평행형상의 이송축심(52)의 주위로 회전 가능하게 설치됨과 동시에, 상기 회전원경로(23)에 접선상으로 중합되는 이송원경로(53) 상에서 작용 가능하게 구성된다.
도 2, 도 3, 도 9, 도 10에 있어서, 상기 고정선반(101)은 상기 물품보관실(15) 내의 다른 쪽 근처의 위치인 상기 이송원경로(53) 상의 4개소(단수개소 또는 복수개소)에 설치되어 있다. 즉 위벽체(11) 내에 있어서, 프레임체(12) 측의 상하방향의 복수개소에는 횡방향의 플랫바(flat bar)(102)가 연결되고, 그리고 각 플랫바(102)에는 물품지지부(103)가 설치되어 있다. 이들 물품지지부(103)는 판틀형상이고, 그 기단이 연결구(104)를 통해 플랫바(102)측에 연결되고, 이것으로써 횡전방으로 돌출되는 상태로 플랫바(102)측에 일단고정형상으로 지지되어 있다.
그리고 물품지지부(103)에는 상하 및 유단(외측)에 개방되는 오목부(105)가 형성됨과 동시에, 이 오목부(105)의 주변의 3개소(단수개소 또는 복수개소)로부터는 위치결정핀(106)이 세워설치되어 있다. 또한, 상기 오목부(105)에 대해서 상기 이송작용부(81)의 지지판(81A)이 승강 가능하게 구성되어 있다. 이상의 102 내지 106 등에 의해 고정선반(101)의 일례가 구성된다.
도 1 내지 도 3, 도 9에 있어서, 상기 고정선반(101)측에는, 입고용 물품취급부(111)와 출고용 물품취급부(116)가 설치되어 있다. 즉, 위벽체(11)에 있어서 다른 측의 하부외판(13)에는 입고용 관통부(112)와 출고용 관통부(117)가 형성되고, 이들 관통부(112,117)를 통해서 위벽체(11)의 내외에 걸치는 상태로 상기 물품취급부(111,116)이 설치되어 있다.
그리고 물품취급부(111,116)의 내단부분은, 가장 다른 측 근처의 위치에 설치된 고정선반(101) 내에 돌입형상으로 위치되어 있다. 그 때, 물품취급부(111,116)의 내단부분은, 평면에서 볼때 굴곡된 후, 고정선반(101) 내에 바로 뒤로부터 돌입형상으로 되고, 이 돌입때문에 고정선반(101)은, 상하의 소정 단수에서 물품지지부(103) 등이 제거되어 있다.
상기 물품취급부(111,116)의 내단부분은, 물품지지부(103)와 같은 모양으로 형성되어 이송수단(51)이 작용 가능하게 되고, 그리고 같은 모양의 내부 위치결정핀(113,118)이 설치되어 있다. 또한 상기 물품취급부(111,116)의 외단부분에도, 같은 모양의 외부위치결정핀(114,119)이 설치되어 있다. 또한, 물품취급부(111,116)의 부분에는, 승강 가능한 벨트컨베이어장치 등의 반송수단(도면에 나타내지 않음)이 설치되어 있다.
상술한 바와 같이, 위벽체(11) 내에는 회전선반(21)과 이송수단(51)과 고정선반(101)이 설치되고, 이들 회전선반(21)과 이송수단(51)과 고정선반(101)은, 회전원경로(23)와 이송원경로(53) 양쪽 모두 단수로서 설치되어 있다. 그리고 고정선반(101)은, 상기 이송원경로(53) 상의 4개소(복수개소)에 설치되어 있다.
또한, 회전선반(21)에는 물품수용부(32)군이 상하 복수단으로 설치되고, 고정선반(101)에는 물품지지부(103)가 상하 복수단으로 설치되어 있다. 또한 이송수단(51)은, 회전선반(21)과 고정선반(101)의 상하 복수단에 대응해서 작용 가능하게 구성되어 있다. 그리고 회전선반(21)과 이송수단(51)과 고정선반(101)은, 클린분위기가 보존된 위벽체(11) 내에 설치되어 있다. 또한 카세트(물품의 일례)(120)의 하면측에는, 상기 위치결정핀(35,82,106,113,114,118,119)군의 끼워맞춤을 허가하는 결합부(121)가, 오목하게 들어간 긴 구멍 형상으로 형성되어 있다.
도 1 내지 도 3에 있어서, 상기 위벽체(11)에서의 절단부(16)의 외측을 지나는 반송수단(131)이 설치되어 있다. 즉 반송수단(131)은, 천정측의 레일장치(132)와, 이 레일장치(132)에 지지안내되어 자동주행 가능한 매달림 주행형식의 이동체(133)와, 이 이동체(133)의 하부측에 설치된 물품유지부(134) 등에 의해 구성되어 있다. 그리고 이동체(133)의 주행경로인 반송경로(135)는, 상기 절단부(16)의 외측에 커브경로부(135)가 위치하도록 형성되어 있다.
상기 위벽체(11)에는, 반송수단(131)과의 사이에서 카세트(120)의 주고받기를 행하기 위한 물품통과부(19)가 형성되어 있다. 즉, 회전선반(21)에 가까운 측의 고정선반(101)의 외측에 있어서, 상부외판(14)에는 물품통과부(19)가 개구에 의해 형성되어 있다. 그리고, 물품통과부(19)에 대항되어 고정선반(101)의 부분에는, 상기 이동체(133)의 물품유지부(134)와의 사이에서 카세트(120)를 주고받기가 가능한 주고받기수단(136)이 설치되어 있다.
여기서 주고받기수단(136)은, 예를 들면 포크형식 등으로 이루어지고, 그 때 주고받기수단(136)에 대해서 상기 이송수단(51)이, 카세트(120)를 주고받기 가능하게 구성되어 있다.
이하에, 상기 제1실시예에 있어서 작용을 설명한다.
클린룸(1)에서는, 천정(2)측으로부터 분출시킨 클린에어(A)를 바닥(3)의 하측에 배출시킴으로써, 하향흐름 방식에 의해 클린분위기를 보존하고 있다. 또한, 천정(2)측으로부터의 클린에어(A)의 일부를, 클린룸(1) 내에 설치한 물품보관설비(10)의 위벽체(11) 내에 하향흐름시킴으로써, 이 위벽체(11) 내도 클린분위기가 보존되어 있다.
이와 같은 클린룸(1)에서 카세트(120)를 물품보관설비(10)에 입고해서 보관하고자 하면, 우선 입고에 하려고 하는 카세트(120)을 입고용 물품취급부(111)의 외단부분에 얹어놓고, 그 결합부(121)를 외부위치결정핀(114)에 끼워맞춘다. 그 때 카세트(120)는, 인수조작이나 입고장치에 의해 공급된다. 이 입고용 물품취급부(111)의 외단부분에 얹어놓은 카세트(120)를 반송수단에 의해 반송하고, 입고용 관통부(112)를 통해 입고용 물품취급부(111)의 내단부분에 위치시키고, 그 결합부(121)를 내부위치결정핀(113)에 끼워맞춘다.
계속해서, 입고용 물품취급부(111)의 내단부분에 위치시킨 카세트(120)를, 이송수단(51)에 의해 수취한다. 그 때 도 6의 실선으로 나타낸 바와 같이, 빈 이송작용부(81)을 회전체(70) 내에 퇴입동작시키는 상태로, 이 이송작용부(81)의 회전과 승강을, 동시에 또는 어느 하나를 선행하여 서로 전후해서 행한다.
즉 이송작용부(81)의 회전은, 회전구동수단(73)에 있어서는 회전구동부(74)를 정역으로 구동시키고, 구동축(75)을 통해 구동륜체(76)를 정역으로 회전시킨다. 이것에 의해, 무단회전체(78)와 종동륜체(77)를 통해 종축(71)을 정역으로 회전시킬 수 있고, 이것으로써 회전체(70)를 통해 이송작용부(81)를, 이송축심(52)의 주위에 정역으로 회전시킬 수 있다.
또한 이송작용부(81)의 승강은, 승강구동수단(61)에 있어서의 회전구동부(66)를 정역으로 구동시키고, 구동축(68)을 통해 구동륜체(62)를 정역으로 회전시킨다. 이것에 의해, 회전체(64)를 정역으로 회전시킬 수 있고, 이것으로써 피가이드체(59)나 승강부(60)를 통해 이송작용부(81)를 승강할 수 있다.
이와 같이 해서 이송작용부(81)를 회전 및 승강시킴으로써, 이 이송작용부(81)를 입고용 물품취급부(111)의 내단부분에 대해서, 약간 하방의 레벨로 대항할 수 있다.
계속해서, 이송작용부(81)를 돌출동작시킨다. 즉, 출퇴구동수단(90)에 있어서의 회전구동부(94)를 구동시키고, 벨트연동기구(93)를 통해 나사축(91)을 회전시킨다. 이것에 의해, 너트체(92)가 나사결합이동하는 것에 의해 이송작용부(81)를 돌출동작시킬 수 있고, 그 때 이송작용부(81)는 가이드체(84)에 의해 피가이드체(85)를 안내함으로써, 도 6의 가상선에 나타낸 바와 같이 직선 형태로 돌출동작할 수 있다. 이 돌출동작에 의해 이송작용부(81)를, 입고용 물품취급부(111)의 내단부분에 얹어놓은 카세트(120)의 하방으로 위치할 수 있다.
이 상태로, 상술한 바와 같이 승강구동수단(61)의 동작에 의해, 승강부(60) 등을 통해 이송작용부(81)를 조금 상승시킨다. 그러면, 이송작용부(81)가 입고용 물품취급부(111)의 내단부분의 오목부을 통과해 상승하고, 이것으로써 입고용 물품취급부(111)의 내단부분에 얹어놓은 카세트(120)를 들어올릴 수 있고, 그 때 위치결정핀(82)을 결합부(121)에 끼워맞춘다. 그리고 출퇴구동수단(90)을 전술과는 역작동시켜서 이송작용부(81)를 퇴입동작시킴으로써, 카세트(120)를 회전체(70)의 상방으로 위치할 수 있다.
계속해서, 전술한 바와 같이 이송작용부(81)를 회전시킴과 동시에, 필요에 따라 승강시킴으로써, 카세트(120)를 목적으로 하는 고정선반(101)의 목적으로 하는 물품지지부(103)에 대항할 수 있다. 이 때 이송작용부(81)는, 물품지지부(103) 보다도 조금 상방으로 위치하고 있다.
그리고, 전술한 바와 마찬가지로 해서 이송작용부(81)를 돌출동작시킴으로써, 카세트(120)를 물품지지부(103)의 상방으로 위치할 수 있고, 계속해서 이송작용부(81)를 조금 하강동작시킴으로써, 카세트(120)를 물품지지부(103) 상에 얹어놓을 수 있다. 그 때 결합부(121)를 위치결정핀(106)에 끼워맞추고, 그 후 이송작용부(81)를 퇴입동작시킨다. 이것에 의해, 입고용 물품취급부(111)의 내단부분에 위치시켰던 카세트(120)를 고정선반(101)에 대해서 입고할 수 있다. 즉, 입고용 물품취급부(111)에 공급한 카세트(120)를, 이송원경로(53) 상에 설치된 고정선반(101)의 물품지지부(103)에 입고시키는 입고작업을 종료한다.
또한, 입고용 물품취급부(111)의 내단부분에 위치시킨 카세트(120)는, 회전선반(21)에도 입고할 수 있다. 즉, 상술한 바와 같이 입고용 물품취급부(111)의 내단부분에 위치시킨 카세트(120)를, 이송수단(51)에 의해 수취하는 작업 중에, 회전선반(21)을 선행해서 회전하여 준비시킨다.
이 회전선반(21)의 회전은, 회전선반구동수단(41)에서의 회전구동부(42)를 정역으로 구동시키고, 구동축(43)을 통해 구동기어(44)를 정역으로 회전시킨다. 이것에 의해, 링기어(45)를 정역으로 회전시킬 수 있고, 이것으로써 종축체(27) 등을 통해 물품수용부(32)군을 회전선반축심(22)의 주위로 회전할 수 있다. 그 때 물품수용부(32)군은 회전원경로(23) 상에서 회전이동하고, 그리고 목적으로 하는 물품수용부(32)가 이송원경로(53)에 접선형상으로 중합한 위치에 도달했을 때에, 그 회전을 정지시킨다.
또한 회전선반(21)의 회전은, 상술한 중합위치에 대해서 목적으로 하는 물품수용부(32)의 회전거리가 짧은 방향으로, 최대 180°로 정방향 또는 역방향으로 행해지고, 이것으로써 신속하게 또한 능률적으로 회전할 수 있다. 또한 이송수단(51)에 의해 수취하는 작업 중에, 회전선반(21)을 선행해서 회전준비시킴으로써, 전체의 가동능률을 향상할 수 있다. 또한, 목적으로 하는 물품수용부(32)가 처음부터 중합위치에 있을 때에는 회전선반(21)의 회전은 행해지지 않는다.
이와 같이, 목적으로 하는 물품수용부(32)를 중합위치에 정지시킨 후, 상술한 바와 같이 이송수단(51)을 작용시킴으로써, 이송작용부(81)로 지지하고 있던 카세트(120)를 도 2, 도 5에 나타낸 바와 같이 물품수용부(32) 상에 얹어놓을 수 있다. 그 때 결합부(121)를 위치결정핀(35)에 끼워맞춘다. 이것에 의해, 입고용 물품취급부(111)의 내단부분에 위치시키고 있던 카세트(120)를, 회전선반(21)의 목적으로 하는 물품수용부(32) 상에 얹어놓을 수 있고, 이것으로써 입고용 물품취급부(111)에 공급한 카세트(120)의 회전선반(21)에 대한 입고작업을 종료한다.
또한, 고정선반(101)에 보관하고 있는 카세트(120)도, 이송수단(51)의 작동과 회전선반(21)의 회전에 의해, 마찬가지로 하여 회전선반(21)에 옮겨서 보관할 수 있다. 그 때, 고정선반(101)의 카세트(120)를 이송수단(51)에 의해 수취하는 작업 중에, 회전선반(21)을 선행하여 회전준비시킴으로써, 전체의 가동능률을 향상시킬 수 있다. 그 때, 목적으로 하는 물품수용부(32)가 처음부터 중합위치에 있을 때에는, 회전선반(21)의 회전은 행해지지 않는다.
상기 이송수단(51)을 상기한 바와는 역으로 동작시킴으로써, 카세트(120)의 출고작업을 행할 수 있다. 즉, 회전선반(21)의 목적으로 하는 물품수용부(32) 상에 얹어놓여 있는 카세트(120)를, 출고용 물품취급부(116)의 내단부분에 위치시킬 수 있고, 또한 목적으로 하는 고정선반(101)의 목적으로 하는 물품지지부(103)에 상에 얹어놓여 있는 카세트(120)를, 출고용 물품취급부(116)의 내단부분에 위치시킬 수 있다. 그리고, 출고용 물품취급부(116)의 내단부분에 위치시킨 카세트(120)을 반송수단에 의해 반송하고, 출고용 관통부(117)를 통해 출고용 물품취급부(116)의 외단부분에 위치시킴으로써, 출고작업을 종료한다.
또한, 회전선반(21)에 보관하고 있는 카세트(120)도, 이송수단(51)의 작동이나 회전선반(21)의 회전에 의해, 마찬가지로 하여 고정선반(101)에 옮겨서(출고하여) 보관할 수 있다.
상술한 바와 같이 각 동작에 있어서, 카세트(120)의 결합부(121)를 위치결정핀(35,82,106,113,114,118,119)에 끼워맞춤으로써, 회전 중의 원심력 등에 의해 카세트(120)가 서로 충돌하거나, 카세트(120)가 위치어긋남이 일어나거나 탈락하는 것을 방지할 수 있다.
상술한 바와 같이 이송수단(51)은, 이송작용부(81)를 이송축심(52)의 주위로 회전시킬 뿐 주행이동 등은 행하지 않기 때문에, 주행이동 등을 위한 점유공간은 불필요하게 되고, 회전선반(21)과 고정선반(101)을 포함한 전체를 소형으로 구성할 수 있다.
게다가, 회전선반(21)과 고정선반(101)에 의해 보관량을 증가할 수 있음과 동시에, 주행구성이 없는 이송수단(51)은 이송작용부(81)를 바닥 가까이까지 하강할 수 있음으로써, 그것에 맞춰서 회전선반(21)의 물품수용부(32)에 의한 보관레벨과 고정선반(101)의 물품지지부(103)에 의한 보관레벨을 바닥 가까이까지 낮출 수 있고, 이것으로써 보관량을 보다 증가할 수 있다. 따라서, 클린룸(1)과 같은 클린공간을 가능한한 좁게 하고 싶은 장소에 용이하게 또한 바람직하게 채용할 수 있다.
또한, 위벽체(11) 내에는 클린에어(A)가 하향흐름 방식에 의해 흐르고 있음으로써, 회전선반(21)과 이송수단(51) 등에서 발생한 먼지를, 그 흐름에 실어서 신속하게 제거할 수 있다. 따라서 물품보관실(15)에서는, 충분한 클린분위기(클린도)로 카세트(120)의 보관을 행할 수 있다.
상술한 바와 같이, 입고용 물품취급부(111)와 출고용 물품취급부(116)를 통한 카세트(120)의 입출고 이외에, 물품통과부(19)를 통한 입출고도 행해진다. 즉 도 1 내지 도 3에 나타낸 바와 같이, 물품유지부(134)에 의해 카세트(120)를 유지하고 있는 실제 이동체(133), 또는 카세트(120)를 유지하지 않는 빈 이동체(133)를, 레일장치(132)의 지지안내에 의해 반송경로(135)에서 주행시키고, 그리고 물품통과부(19)에 대향해서 정지시킨다.
이와 같이 이동체(133)를 물품통과부(19)에 대향해서 정지시킨 후, 주고받기수단(136)을 작용시킴으로써, 이동체(133)의 물품유지부(134)와의 사이에서 카세트(120)의 주고받기를 행할 수 있다. 또한 주고받기수단(136)에 대해서는, 이송수단(51)을 상술한 바와 같이 작용시킴으로써 카세트(120)의 주고받기를 행할 수 있다. 이것에 의해, 물품통과부(19)를 통해 카세트(120)의 입출고를 원활하게 행할 수 있다.
상술한 이동체(133)의 반송경로(135)로의 주행은, 절단부(16)의 외측에 위치한 커브경로부(135a) 등을 이용해서, 위벽체(11)에 대해서 충분히 접근시킨 최단거리로 신속하고도 능률적으로 행할 수 있다. 또한, 위벽체(11)에 대해서 충분히 접근시켜서 반송수단(131)을 설치할 수 있음으로써, 위벽체(11)로부터 반송경로(135) 까지의 설치공간을 좁게 할 수 있음과 아울러, 용이하게 레이아웃할 수 있다.
다음, 본 발명의 제2 내지 제5실시예를, 도 11에 기초하여 설명한다.
즉, 도 11의 (a)는 제2실시예를 나타내고, 회전선반(21)과 이송수단(51)과 고정선반(101)은 회전원경로(23)가 2개(복수)이고 이송원경로(53)이 1개(단수)로서 설치되어 있다.
또한, 도 11의 (b)는 제3실시예를 나타내고, 회전선반(21)과 이송수단(51)과 고정선반(101)은, 회전원경로(23)가 3개(복수)이고 이송원경로(53)이 1개(단수)로서 설치되어 있다.
그리고, 도 11의 (c)는 제4실시예를 나타내고, 회전선반(21)과 이송수단(51)과 고정선반(101)은, 회전원경로(23)가 1개(단수)이고 이송원경로(53)가 2개(복수)로서 설치되어 있다.
또한, 도 11의 (d)는 제5실시예를 나타내고, 회전선반(21)과 이송수단(51)과 고정선반(101)은, 회전원경로(23)와 이송원경로(53)의 양쪽 모두 2개(복수)로서 설치되어 있다.
다음, 본 발명의 제6실시예를, 도 12에 기초하여 설명한다.
즉 위벽체(11)의 상부는, 상층바닥(5)을 관통해서 상층 클린룸(6)에 위치되어 있다. 이것에 의해, 상부외판(14)이나 절단부(16)가 상층 클린룸(6)에 위치된 다. 그리고, 상기 위벽체(11)에 있어서의 절단부(16)의 외측을 통과하는 반송수단(141)이 설치되어 있다.
이 반송수단(141)은, 상층바닥(5) 상에 부설된 레일장치(142)와, 이 레일장치(142)에 지지안내되어 자동주행 가능한 대차형식의 이동체(143)와, 이 이동체(143)의 상부측에 설치된 물품지지부(144) 등에 의해 구성되어 있다. 그리고 이동체(143)의 주행경로인 반송경로(145)는, 상기 절단부(16)의 외측에 곡선경로부(145a)가 위치하도록 형성되어 있다.
이 제6실시예에 있어서, 이동체(143)의 반송경로(145)에서의 주행은, 절단부(16)의 외측에 위치한 곡선경로부(145a) 등을 이용해서, 위벽체(11)에 대해서 충분히 접근시킨 최단거리로 신속하고도 능률적으로 행한다. 또한, 위벽체(11)에 대해서 충분히 접근시켜서 반송수단(141)을 설치할 수 있음으로써, 위벽체(11)로부터 반송경로(145) 까지의 설치공간을 좁게 할 수 있음과 동시에, 상층바닥(5) 상에 용이하게 레이아웃할 수 있다.
다음, 본 발명의 제7실시예를, 도 13 내지 도 16에 기초하여 설명한다.
위벽체(11)의 일부는 개폐문(151)에 형성되어 있다. 즉, 하부외판(13)이며 또한 회전선반(21)측의 고정선반(101)에 대향되는 부분은 개구부(150)에 형성되어 있다. 그리고 개폐문(151)의 일측이 회전연결구(153)를 통해 프레임체(12)측에 부착되고, 이것으로써 조작부(152)를 통해 조작에 의해 개폐문(151)을 회전연결구(153)의 주위로 회전시킴으로써, 개구부(150)를 개폐할 수 있도록 구성되어 있다.
상기 개폐문(151)의 내측에 고정선반(101)이 설치되고, 이 고정선반(101)은, 개폐문(151)을 개방동작시키기 위한 개구부(150)를 통해 이동 가능하게 구성되어 있다. 즉, 고정선반(101)의 내부에, 개폐문(151)의 이면측에 대향되는 아래로부터 3단분(단수단 또는 복수단)의 고정선반은, 나머지의 고정선반(101)에 대해서 분단된 가동고정선반(101A)으로 구성되고, 이들 가동고정선반(101A)의 플랫바(102)의 일측이, 회전연결구(107)를 통해 프레임체(12)측에 부착되고, 이것으로써 가동고정선반(101A)을 회전연결구(107)의 주위로 회전시킴으로써, 개구부(130)을 통해 이동 가능하게 구성되어 있다.
이 제7실시예에 있어서는, 위벽체(11) 내의 회전선반(21), 고정선반(101,101A), 이송수단(51) 등에 대해서 보수점검 등을 행할 때, 조작부(152)를 통해 조작에 의해 개폐문(151)을 회전연결구(153)의 주위로 회전시키고, 이것으로써 도 16의 가상선으로 나타낸 바와 같이 개구부(150)를 개방시킨다. 그리고, 가동고정선반(101A)을 회전연결구(107)의 주위로 회전시키고, 그 때 가동고정선반(101A)은, 개구문(151)을 개방동작시킨 후의 개구부(150)를 통해 위벽체(11)의 밖으로 이동할 수 있고, 이것으로써 개구부(150)의 내측에서 가동고정선반(101A)이 있던 부분에 통로를 형성할 수 있다.
이것에 의해 작업자는, 개구부(150)로부터 통로를 통과해서 위벽체(11) 내, 즉 물품보관실(15) 내에 출입할 수 있고, 이것으로써 회전선반(21), 고정선반(101,101A), 이송수단(51) 등에 대해서 보수점검 등을 행할 수 있다. 또한, 가동고정선반(101A)의 보수점검 등은 위벽체(11) 밖에서 행할 수 있다.
소기의 보수점검을 행한 후, 우선 가동고정선반(101A)을 회전연결구(107)의 주위로 회전시키고, 위벽체(11) 안으로 이동시키고, 이것으로써 가동고정선반(101A)을 이송원경로(53) 상의 소정개소에 위치할 수 있다. 계속해서, 조작부(152)를 통해 조작에 의해 개폐문(151)을 회전연결구(153)의 주위로 회전시키고, 이것으로써 도 16의 실선으로 나타낸 바와 같이 개구부(150)를 폐쇄시킨다.
상기 실시예에서는, 이송수단(51)으로서, 그 이송작용부(81)를 카세트(120)의 저면에 작용시키는 형식이 나타내어져 있지만, 이것은 카세트(120)의 측부나 상부로부터 측방으로 돌출시킨 피걸림부에 하방으로부터 거는 형식 등이어도 좋다.
상기 실시예에서는, 이송수단(51)으로서, 회전체(70)를 이송축심(52)의 주위로 회전 가능한 형식이 나타내어져 있지만, 이것은 이송작업부(81)도 포함해서 이송수단(51)의 전체를, 예를 들면 기둥체(55)의 부분에 위치되는 이송축심의 주위로 회전 가능한 형식 등이어도 좋다.
상기 실시예에서는, 이송원경로(53) 상의 복수개소에 고정선반(101,(101A))이 설치되어 있지만, 이것은 단수개소에 고정선반(101,(101A))이 설치된 형식이어도 좋다.
상기 실시예에서는, 회전선반(21)은 정역으로 회전 가능하고, 최대 180°의 회전이 행해지도록 구성되어 있지만, 이것은 정역의 회전이 180°이상으로 행해지는 형식과 회전이 일방향만으로 행해지는 형식 등이어도 좋다.
상기 실시예에서는, 고정선반(101,(101A))에 대한 이송수단(51)의 작업 중에, 회전선반(21)이 선행해서 준비되도록 구성되어 있지만, 이것은 고정선반(101,(101A))에 대한 이송수단(51)의 작업이 종료한 후에, 회전선반(21)이 준비되는 형식 등이어도 좋다.
상기 실시예에서는, 회전선반(21)과 이송수단(51)과 고정선반(101,(101A)) 등이 클린분위기 내에 설치되어 있지만, 이것은 대기분위기 내에 설치된 형식 등이어도 좋다. 또한 위벽체(11)는 대기룸 내에 설치된 형식 등이어도 좋다.
상기 실시예에서는, 물품으로서 카세트(120)가 나타내여져 있지만, 이것은 다른 물품으로도 좋고, 또한 팰릿을 취급하는 형식 등이어도 좋다.
상기 실시예에서는, 회전선반(21)으로부터 가장 거리가 먼 2개의 고정선반(101)에 대응해서, 입고용 물품취급부(111)와 출고용 물품취급부(116)가 설치되어 있지만, 이것은 회전선반(21)에 접근한 고정선반(101,(101A))과 가장 거리가 먼 2개의 고정선반(101)에 대응해서, 입고용 물품취급부(111)와 출고용 물품취급부(116)가 설치된 형식이어도 좋다. 이 경우에는, 양측에 둘로 나누어서 2조의 입고용 물품취급부(111)와 출고용 물품취급부(116)를 설치하는 것도 가능하다.
상기 실시예에서는, 상부외판(14)의 상하방향의 전체높이가 설정범위로 되고, 4개의 모서리부가 절단부(16)로 형성되어 있지만, 이것은 하부외판(13)의 상하방향의 전체높이가 설정범위로 되어 절단부로 형성된 형식, 상부외판(14)으로부터 하부외판(13)에 걸치는 상하방향의 전체높이가 설정범위로 되어 절단부로 형성된 형식 등이어도 좋다. 또한 절단부는, 1개의 모서리부 또는 2, 3개의 모서리부에 절단부가 형성된 형식 등이어도 좋다.
상기 실시예에서는, 위벽체(11)에, 반송수단(131)과의 사이에 카세트(120)의 주고받기를 행하기 위한 물품통과부(19)가 형성되어 있지만, 이 물품통과부(19)는 형성되지 않고, 카세트(120)의 주고받기를 행하지 않는 형식 등이어도 좋다.
상기 실시예에서는, 위벽체(11) 내에 회전선반(21)과 이송수단(51)과 고정선반(101,(101A))을 설치한 형식으로 되어있지만, 이것은 이송수단(51)과 고정선반(101,(101A))을 설치한 형식, 고정선반(101,(101A))과는 별도의 다른 장치, 기구 등을 설치한 형식이어도 좋다.
본 발명에 의하면, 회전선반을 회전선반축심의 주위로 회전시키고, 회전원경로와 이송원경로의 중합부분에서 목적으로 하는 물품수용부를 위치시킴으로써, 이 물품수용부에 대해서 이송수단에 의해 물품의 출납을 행할 수 있다. 또한, 이송수단의 이송작용부를 이송수단축심의 주위로 회전시킴으로써, 고정선반에 대하여 이송수단에 의해 물품의 출납을 행할 수 있다.
이와 같은 이송수단은 이송작용부를 회전시키는 것만으로 주행이동 등은 행하지 않기 때문에, 주행이동 등을 위한 점유공간을 불필요하게 되어 회전선반과 고정선반을 포함시킨 전체를 소형으로 구성할 수 있다. 게다가, 회전선반과 고정선반에 의해 보관량을 증가할 수 있음과 동시에, 주행구성이 없는 이송수단은 이송작용부를 바닥 가까이까지 하강할 수 있음으로써, 그것에 맞춰서 회전선반과 고정선반의 보관레벨을 낮출 수 있고, 보관량을 보다 증가할 수 있다.

Claims (16)

  1. 회전선반은, 종방향의 회전선반축심의 주위로 회전 가능하게 설치됨과 동시에, 상기 회전선반축심을 중심으로 한 회전원경로 상에 복수의 물품수용부가 설치된 물품취급설비로서,
    상기 회전선반의 측외방에는 이송수단이 설치되고,
    상기 이동수단은 기둥체, 기둥체에 의해 승강가능하게 안내되는 승강부, 상기 승강부에 연동되는 승강구동수단, 상기 회전선반축심에 평행한 이송축심의 주위에서 회전가능하게 상기 승강부 상에 설치되는 회전체, 상기 회전체를 회전시키는 회전구동수단, 상기 회전체에 대하여 전후방향으로 출퇴가능하게 설치되는 이송작용부 및 상기 이송작용부를 전후방향으로 출퇴시키는 출퇴구동수단으로 구성되고,
    이 이송수단의 이송작용부는, 상기 회전선반축심에 평행형상의 이송축심의 주위로 회전 가능하게 설치됨과 동시에, 상기 회전원경로에 접선상으로 중합되는 이송원경로 상에서 작용 가능하게 구성되고, 이 이송원경로 상에는 고정선반이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 물품취급설비.
  2. 제1항에 있어서, 회전선반과 이송수단과 고정선반은, 회전원경로와 이송원경로 양쪽 모두에 단수로서 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 물품취급설비.
  3. 제1항에 있어서, 이송원경로 상의 복수개소에 고정선반이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 물품취급설비.
  4. 제1항에 있어서, 회전선반에는 물품수용부군이 상하 복수단으로 설치되고, 고정선반에는 물품지지부가 상하 복수단으로 설치되고, 이송수단은 회전선반이나 고정선반의 상하 복수단에 대응해서 작용 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 물품취급설비.
  5. 제1항에 있어서, 회전선반은 정역으로 회전 가능하고, 최대 180°의 회전이 행해지도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 물품취급설비.
  6. 제1항에 있어서, 고정선반에 대한 이송수단의 작업 중에, 회전선반이 선행해서 준비되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 물품취급설비.
  7. 제1항에 있어서, 회전선반과 이송수단과 고정선반은, 클린분위기 내에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 물품취급설비.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 회전선반을 둘러싸며 직사각형 상자모양의 위벽체가 설치되고, 이 위벽체의 1개소 이상의 모서리부이며 또한 상하방향의 설정범위는 절단부로 형성되고, 이 절단부의 외측을 지나는 반송수단이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 물품취급설비.
  9. 제8항에 있어서, 위벽체에는, 반송수단과의 사이에서 물품의 주고받기를 행 하기 위한 물품통과부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 물품취급설비.
  10. 제8항에 있어서, 위벽체 내에는, 회전선반 이외에, 고정선반과, 회전선반과 고정선반에 작용 가능한 이송수단이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 물품취급설비.
  11. 삭제
  12. 제8항에 있어서, 위벽체 안이 클린분위기인 것을 특징으로 하는 물품취급설비.
  13. 제8항에 있어서, 위벽체가 클린룸 내에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 물품취급설비.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 회전선반을 둘러싸며 위벽체가 설치되고, 이 위벽체 내에는 회전선반 이외에, 고정선반과, 이 고정선반에 작용 가능한 이송수단이 설치되고, 상기 위벽체의 일부는 개폐문으로 형성됨과 동시에, 이 개폐문의 내측에 고정선반이 설치되고, 이 고정선반은 개폐문을 개방동작시킨 후의 개구부를 통해 이동 가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는 물품취급설비.
  15. 제14항에 있어서, 이송수단은 고정선반과 회전선반에 작용 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 물품취급설비.
  16. 삭제
KR1020020003038A 2001-02-21 2002-01-18 물품취급설비 KR100849417B1 (ko)

Applications Claiming Priority (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001044389A JP3832255B2 (ja) 2001-02-21 2001-02-21 荷保管設備
JP2001044387A JP3804456B2 (ja) 2001-02-21 2001-02-21 荷取り扱い設備
JPJP-P-2001-00044387 2001-02-21
JP2001044386A JP3832253B2 (ja) 2001-02-21 2001-02-21 荷保管設備
JPJP-P-2001-00044389 2001-02-21
JPJP-P-2001-00044386 2001-02-21

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20020069107A KR20020069107A (ko) 2002-08-29
KR100849417B1 true KR100849417B1 (ko) 2008-07-31

Family

ID=27346047

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020020003038A KR100849417B1 (ko) 2001-02-21 2002-01-18 물품취급설비

Country Status (6)

Country Link
US (2) US20020114687A1 (ko)
KR (1) KR100849417B1 (ko)
CN (1) CN1274564C (ko)
DE (1) DE10206837A1 (ko)
GB (1) GB2374339B (ko)
TW (1) TW522127B (ko)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7100792B2 (en) * 2002-08-30 2006-09-05 Omnicell, Inc. Automatic apparatus for storing and dispensing packaged medication and other small elements
US8676249B2 (en) * 2003-05-19 2014-03-18 Tahnk Wireless Co., Llc Apparatus and method for increased security of wireless transactions
FI20030748A0 (fi) * 2003-05-20 2003-05-20 Jl Suunnittelu Lakome Oy Menetelmä ja laitteisto monikehävarastointiin
JP4614091B2 (ja) * 2005-08-16 2011-01-19 株式会社ダイフク フローティングユニット及び物品支持装置
DE102007023589B4 (de) * 2007-05-21 2017-01-05 TWI GmbH Kommissionsmodul
IT1393836B1 (it) * 2009-04-30 2012-05-11 Salce S R L Dispositivo di archiviazione e stoccaggio di oggetti
US8759084B2 (en) 2010-01-22 2014-06-24 Michael J. Nichols Self-sterilizing automated incubator
CN102114961B (zh) * 2010-12-31 2012-12-12 苏州艾隆科技有限公司 旋转式自动上药机
DE102015011153A1 (de) 2015-08-17 2017-02-23 TWI GmbH Kommissioniermodul
WO2018175333A1 (en) * 2017-03-20 2018-09-27 Berkshire Grey, Inc. Systems and methods for processing objects including a zone gantry system
JP7037352B2 (ja) * 2017-12-26 2022-03-16 川崎重工業株式会社 移送システム
CN110436098B (zh) * 2018-05-03 2020-09-22 北新集团建材股份有限公司 一种机器人运输中转方法和中转系统
CN108848643B (zh) * 2018-08-21 2020-07-31 吴清理 一种控制器的保护装置
CN111674801B (zh) * 2020-06-08 2021-11-02 芜湖凯德机械制造有限公司 一种专用于汽车前转向节存储的存放设备
CN112061656B (zh) * 2020-09-10 2022-03-04 苏州艾隆科技股份有限公司 用于药品分拣设备的药品分拣方法及其装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0395308A (ja) * 1989-05-29 1991-04-19 Soc Europ Propulsion <Sep> ジェットエンジン燃焼室及びその製造方法
JPH0641514A (ja) * 1992-07-20 1994-02-15 Nisshin Kogyo Kk シール材、屋根の防水施工法及び防水施工体
JPH0885606A (ja) * 1994-09-20 1996-04-02 Daifuku Co Ltd 保管装置
JPH1159822A (ja) * 1997-08-18 1999-03-02 Nec Yamaguchi Ltd 自動保管棚
JP2002068404A (ja) * 2000-08-31 2002-03-08 Shinko Electric Co Ltd 搬送車両の軌道構造

Family Cites Families (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4890620A (en) * 1985-09-20 1990-01-02 The Regents Of The University Of California Two-dimensional diffusion glucose substrate sensing electrode
JPS63225968A (ja) * 1986-10-24 1988-09-20 Aisin Seiki Co Ltd デイスクフアイル装置
US4867629A (en) * 1986-11-20 1989-09-19 Shimizu Construction Co., Ltd. Dusttight storage cabinet apparatus for use in clean rooms
JPH0629077B2 (ja) * 1988-05-06 1994-04-20 株式会社山形グラビア 袋体のシール装置
JP2592687B2 (ja) * 1989-11-01 1997-03-19 株式会社ダイフク クリーンルーム内の荷取扱い設備
US5593852A (en) * 1993-12-02 1997-01-14 Heller; Adam Subcutaneous glucose electrode
NL9200446A (nl) * 1992-03-10 1993-10-01 Tempress B V Inrichting voor het behandelen van microschakeling-schijven (wafers).
US5498116A (en) * 1993-08-26 1996-03-12 Exabyte Corporation Entry-exit port for cartridge library
JPH07179206A (ja) * 1993-12-24 1995-07-18 Daifuku Co Ltd 回転式棚設備
JP3331746B2 (ja) * 1994-05-17 2002-10-07 神鋼電機株式会社 搬送システム
US6007845A (en) * 1994-07-22 1999-12-28 Massachusetts Institute Of Technology Nanoparticles and microparticles of non-linear hydrophilic-hydrophobic multiblock copolymers
US5884392A (en) * 1994-12-23 1999-03-23 International Business Machines Corporation Automatic assembler/disassembler apparatus adapted to pressurized sealable transportable containers
US5611900A (en) * 1995-07-20 1997-03-18 Michigan State University Microbiosensor used in-situ
US5944940A (en) * 1996-07-09 1999-08-31 Gamma Precision Technology, Inc. Wafer transfer system and method of using the same
DE69729741T2 (de) * 1996-11-12 2005-07-07 Whatman Inc., Cleveland Hydrophile polymermembran für phasenumkehr
JP3192988B2 (ja) * 1997-02-28 2001-07-30 株式会社日立国際電気 半導体製造装置
US7657297B2 (en) * 2004-05-03 2010-02-02 Dexcom, Inc. Implantable analyte sensor
KR19990012504A (ko) * 1997-07-29 1999-02-25 최진호 자동판매기
NL1008143C2 (nl) * 1998-01-27 1999-07-28 Asm Int Stelsel voor het behandelen van wafers.
US6241863B1 (en) * 1998-04-27 2001-06-05 Harold G. Monbouquette Amperometric biosensors based on redox enzymes
US6233471B1 (en) * 1998-05-13 2001-05-15 Cygnus, Inc. Signal processing for measurement of physiological analysis
DE19844896A1 (de) * 1998-09-30 2000-04-06 Hartmut Lang Verfahren und Vorrichtung zur Handhabung von stückigem Gut, insbesondere von Arzneimitteln
JP3664897B2 (ja) * 1998-11-18 2005-06-29 東京エレクトロン株式会社 縦型熱処理装置
JP2987148B1 (ja) * 1999-01-26 1999-12-06 国際電気株式会社 基板処理装置
AU2002248565A1 (en) * 2001-02-15 2002-08-28 David A. Gough Membrane and electrode structure for implantable sensor
JP3832293B2 (ja) * 2001-08-31 2006-10-11 株式会社ダイフク 荷保管設備
WO2005012873A2 (en) * 2003-07-25 2005-02-10 Dexcom, Inc. Electrode systems for electrochemical sensors
US8060173B2 (en) * 2003-08-01 2011-11-15 Dexcom, Inc. System and methods for processing analyte sensor data
US7364592B2 (en) * 2004-02-12 2008-04-29 Dexcom, Inc. Biointerface membrane with macro-and micro-architecture
US20050245799A1 (en) * 2004-05-03 2005-11-03 Dexcom, Inc. Implantable analyte sensor
US8277713B2 (en) * 2004-05-03 2012-10-02 Dexcom, Inc. Implantable analyte sensor
US20060015020A1 (en) * 2004-07-06 2006-01-19 Dexcom, Inc. Systems and methods for manufacture of an analyte-measuring device including a membrane system
US7905833B2 (en) * 2004-07-13 2011-03-15 Dexcom, Inc. Transcutaneous analyte sensor
US20060020192A1 (en) * 2004-07-13 2006-01-26 Dexcom, Inc. Transcutaneous analyte sensor

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0395308A (ja) * 1989-05-29 1991-04-19 Soc Europ Propulsion <Sep> ジェットエンジン燃焼室及びその製造方法
JPH0641514A (ja) * 1992-07-20 1994-02-15 Nisshin Kogyo Kk シール材、屋根の防水施工法及び防水施工体
JPH0885606A (ja) * 1994-09-20 1996-04-02 Daifuku Co Ltd 保管装置
JPH1159822A (ja) * 1997-08-18 1999-03-02 Nec Yamaguchi Ltd 自動保管棚
JP2002068404A (ja) * 2000-08-31 2002-03-08 Shinko Electric Co Ltd 搬送車両の軌道構造

Also Published As

Publication number Publication date
GB2374339B (en) 2004-01-21
CN1274564C (zh) 2006-09-13
GB2374339A (en) 2002-10-16
US20020114687A1 (en) 2002-08-22
KR20020069107A (ko) 2002-08-29
CN1371850A (zh) 2002-10-02
DE10206837A1 (de) 2002-09-05
TW522127B (en) 2003-03-01
GB0203303D0 (en) 2002-03-27
US20050186054A1 (en) 2005-08-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3832293B2 (ja) 荷保管設備
JP3832294B2 (ja) 荷保管設備
KR100849417B1 (ko) 물품취급설비
KR100521609B1 (ko) 화물취급설비
JP3832292B2 (ja) 荷保管設備
US5915907A (en) Apparatus for turning articles in storage structures
KR0183493B1 (ko) 강판의 격납 및 입출고 설비
JPH0581715B2 (ko)
JP2004315191A (ja) 物品保管設備の落下防止装置
JP3832253B2 (ja) 荷保管設備
JP3804456B2 (ja) 荷取り扱い設備
JP3832255B2 (ja) 荷保管設備
JP2010013238A (ja) 自動立体倉庫
JP2010013240A (ja) 自動立体倉庫
JP5362272B2 (ja) 自動立体倉庫
JP7036894B1 (ja) 機械式駐車装置、及びその入出庫方法
JP2559559B2 (ja) 鋼板入出庫装置
JP2022154475A (ja) トレー支持装置、及びこれを用いた機械式駐車装置
JP3447841B2 (ja) 収容箱ストックモジュールおよびこれを用いた部品供給装置
JPH10120117A (ja) 鋼板入出庫設備
JPH11193109A (ja) 自動倉庫システム
JP2023151689A (ja) 機械式駐車装置
JP2532258Y2 (ja) 自動倉庫
JP3832254B2 (ja) 荷保管設備
JPS6361251B2 (ko)

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130705

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140716

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150618

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160616

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170616

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180628

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190627

Year of fee payment: 12