KR100521609B1

KR100521609B1 - 화물취급설비

Info

Publication number: KR100521609B1
Application number: KR10-2002-0048356A
Authority: KR
Inventors: 이누이요시타카
Original assignee: 가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date: 2001-08-31
Filing date: 2002-08-16
Publication date: 2005-10-13
Also published as: US20030044262A1; JP3832295B2; CN1403352A; KR20030019866A; JP2003072905A; TW546232B; CN1233540C

Abstract

화물보관장치와 화물처리장치를 구비하고, 양 장치의 사이에서 화물을 이동시키는 화물취급설비에 있어서는, 화물이 진애 등을 피해야 하는 경우, 화물보관장치의 부분을 포함해서 전체를 클린룸에 설치해야만 하고, 설비비나 운전비가 고가로 되는 등으로 인해 용이하게 채용할 수 없었다. 이것에 대해서, 화물보관장치와 화물처리장치의 화물출입부를, 격벽체에 의해서 구획형성한 클린룸에 면하여 설치하고, 화물보관장치와 화물처리장치 사이에서의 주고 받는 것을, 클린룸 내에서 행하는 구성으로 하였다. 이로써, 화물보관장치나 화물처리장치를 비클린룸(대기실 등)에 설치할 수 있는 것이면서, 화물보관장치와 화물처리장치 사이에 있어서의 화물의 이동은, 클린룸을 이용하여 충분한 클린분위기로 행한다. 전체를 클린룸으로 할 필요가 없어서, 설비비나 운전비를 저감할 수 있고, 이로써 용이하게 채용할 수 있다.

Description

화물취급설비{CARGO HANDLING FACILITY}

본 발명은, 가령 화물보관장치와 화물처리장치 사이에서 화물을 이동시키는 것에 채용되는 화물취급설비에 관한 것이다.

종래, 이러한 종류의 설비로서는, 가령 일본 특개평10-279023호 공보에 보여지는 자동창고가 제공되고 있다. 즉, 이 종래구성은, 횡방향으로 다수의 격납위치를 갖는 한쌍의 래크가, 간격을 두어 평행하게 배치되어 있다. 또한, 간격을 주행경로로서, 한쌍의 래크 간에 이송장치가 설치됨과 아울러, 주행경로의 단부 외방에는, 각각 회전이동래크가 설치되어 있다.

상기 이송장치는, 한쪽의 래크에 설치된 승강레일을 따라서 주행하는 주행대차와, 이 주행대차에 설치된 턴테이블과, 이 턴테이블에 설치된 암이나 핸드 등으로 구성되어 있다. 상기 래크에는 복수의 이송스테이션이 설치되고, 또한 각 이송스테이션의 상방에는, 천정주행차의 주행레일이 설치되어 있다.

이와 같은 종래 구성에 의하면, 승강레일의 승강과, 주행대차의 주행과, 턴테이블의 회전과, 핸드의 작동과의 조합동작에 의해서, 이송스테이션과, 양 래크의 격납위치와, 회전이동래크의 선반판의 사이에서 물품의 주고받음이 행해진다. 이 때에, 회전이동래크는 적당하게 회전이동된다. 또한, 주행레일을 통해서의 주행에 의해서 이송스테이션의 상방에서 정지시킨 천정주행차에 의해, 이송스테이션과의 사이에서 물품의 주고받음을 행한다.

그러나, 상기 종래구성에 의하면, 화물이 진애 등을 피해야하는 것이었을 때에는, 자동창고의 부분을 포함해서 전체를 클린룸에 설치해야만 하고, 따라서, 설비비나 운전비가 고가로 되는 것 등에서 용이하게 채용할 수 없었다.

또한, 보관량(격납량)을 증가하기 위해서는, 래크 등의 상하 높이를 높게 형성하거나, 래크를 길게 형성해야만 한다. 여기서, 래크 등을 높게 형성하는 것은, 건물의 규모 등에서 제약을 받게 되고, 또한 클린룸과 같은 클린 공간을 가능한한 좁게 하고 싶은 경우에는 용이하게 채용할 수 없다. 또한, 래크를 길게 형성하는 것은, 그만큼, 점유공간이 확대되게 되어서, 클린룸과 같은 경우에는 용이하게 채용할 수 없었다.

그래서 본 발명의 목적으로 하는 바는, 화물보관장치와 화물처리장치 사이에 있어서의 화물의 이송을 클린룸을 이용하여 행하는 것이면서, 설비비나 운전비를 저감할 수 있는 화물취급설비를 제공하는 것에 있다.

또한 본 발명의 바람직한 제3, 제4실시형태에서는, 화물보관장치의 전체를 콤팩트하게 구성할 수 있는 것이면서 보관량을 증가시킬 수 있고, 또한 외부에 대한 화물의 출입은 보관량을 거의 감소시킴없이 용이하게 행하는 화물취급설비를 제공하는 것에 있다.

상기 목적으로 달성하기 위하여, 본 발명의 화물취급설비는, 화물보관장치와 화물처리장치가 설치되는 화물취급설비로서, 화물보관장치와 화물처리장치의 화물출입부는, 격벽체에 의해서 구획형성된 클린룸에 면해서 설치되고, 화물보관장치와 화물처리장치 사이에서의 화물의 주고받음이, 클린룸 내에서 행해지도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

상기 본 발명의 구성에 의하면, 화물보관장치와 화물처리장치는, 비클린룸( 대기실 등)에 설치가능한 것이면서, 화물보관장치와 화물처리장치 사이에 있어서의 화물의 이동은 클린룸을 이용하여, 충분한 클린분위기로 행하는 것이 가능하다. 이로써, 전체를 클린룸으로 할 필요가 없고, 설비비나 운전비를 저감할 수 있고 이하 용이하게 채용가능하다.

본 발명의 화물취급설비에 있어서의 바람직한 제1실시형태에서는, 화물보관장치와 화물처리장치는, 그 외판에 화물출입부가 형성됨과 아울러, 외판이 격벽체로 겸용되고 있는 것을 특징으로 한 것이다.

이 제1실시형태에 의하면 격벽체의 재료사용량을 감소할 수 있어서 값싸게 구성가능함과 아울러, 서로 보강하는 구성으로 할 수 있다.

본 발명의 화물취급설비에 있어서의 바람직한 제2의 실시형태는, 클린룸 내에는, 화물보관장치와 화물처리장치 사이에서 화물의 주고받음을 행하는 화물반송수단이 설치되어 있는 것을 특징으로 한 것이다.

이 제2실시형태에 의하면, 클린룸 내에 있어서의 화물보관장치와 화물처리장치 사이에 있어서의 화물의 이송은, 화물반송수단에 의해서 용이하게 또한 자동적으로 행할 수 있다.

본 발명의 화물취급설비에 있어서의 바람직한 제3실시형태에서, 화물보관장치는, 회전선반과, 고정선반과, 이들 선반 사이에서 화물을 주고받을 수 있는 이송수단과, 이 이송수단에 의해 화물을 주고받을 수 있는 입출고수단을 갖고, 입출고수단의 외단이, 화물출입부로서 클린룸 내에 위치되어 있는 것을 특징으로 한 것이다.

이 제3실시형태에 의하면, 회전선반을 회전시키는 것이므로, 이 회전선반에 대하여 이송수단에 의해 화물의 출입을 행할 수 있다. 또한, 고정선반에 대해서 이송수단에 의해 화물의 출입을 행할 수 있다. 또한 입출고수단을 작동시키는 것이므로, 클린룸 내의 화물출입부와 이송수단에 의한 화물 주고받음위치의 사이에서 화물이 입출고가능하다. 따라서, 화물보관장치의 전체를 콤팩트하게 형성가능하며, 클린룸 등에 용이하게 채용할 수 있는 것이면서, 상하 높이를 최대한으로 이용하여, 회전선반과 고정선반에 의해 보관량을 증가시킬 수 있다.

본 발명의 화물취급설비에 있어서의 바람직한 제4실시형태에서 회전선반은, 종방향의 회전선반 축심의 둘레로 회전가능하게 구성됨과 아울러, 상기 회전선반 축심을 중심으로 한 회전 원경로 상에 복수의 화물수용부가 설치되고, 이송수단은 상기 회전선반의 측외방에 위치되고, 이 이송작용부가 상기 회전선반 축심에 평행형상의 이송축심의 둘레로 회전가능하게 설치됨과 아울러, 이송작용부는 상기 회전 원경로에 접선형상으로 겹쳐지는 이송 원경로 상에서 작용가능하게 구성되고, 이 이송 원경로 상에 화물지지부를 갖는 고정선반이 설치되고, 상기 화물수용부와 화물지지부는 각각 상하 복수단으로 설치됨과 아울러, 상기 회전선반과 고정선반의 적어도 한쪽에는 상기 화물수용부나 화물지지부를 부분적으로 설치하지 않은 공간부분을 형성하고, 이 공간부분을 이용하여 입출고수단이 설치되어 있는 것을 특징으로 한 것이다.

이 제4실시형태에 의하면, 회전선반을 회전선반 축심의 둘레에 회전시켜서, 회전 원경로와 이송 원경로가 겹쳐지는 부분에 목적으로 하는 화물수용부를 위치시키는 것이므로, 이 화물수용부에 대해서, 이송수단에 의해 화물의 출입을 행할 수 있다. 또한, 이송수단의 이송작용을 이송축심의 둘레로 회전시키는 것이므로, 고정선반의 화물지지부에 대해서, 이송수단에 의해 화물의 출입을 행할 수 있다.

이와 같이 이송수단은, 이송작용부를 회전시키는 것만으로 주행이송 등은 행해지지 않기 때문에, 주행이동 등을 위한 공유공간을 불필요하게 할 수 있고, 회전선반과 고정선반을 포함한 전체를 콤팩트하게 구성할 수 있다. 또한, 회전선반과 고정선반에 의해 보관량을 증가시킬 수 있음과 아울러, 주행구성이 아닌 이송수단은 이송작용부를 마루 근처까지 하강가능하므로, 이것에 맞추어서 회전선반과 고정선반의 보관레벨을 내리는 것이 가능하고, 보관량을 보다 증가시킬 수 있게 된다. 따라서, 클린룸과 같은 클린공간을 가능한 한 좁게 하고자 하는 장소에 용이하게 또한 바람직하게 채용가능하다.

또한, 회전선반의 화물수용부군이나 고정선반의 화물지지부군에 의해서, 상하 높이를 최대한으로 이용하여 보관량을 증가시킬 수 있는 것이면서, 화물수용부나 화물지지부를 부분적으로 설치하지 않음으로써 형성된 공간부분을 이용하여 배치한 입출고수단에 의해서, 외부에 대한 화물의 출입은, 보관량을 별로 감소시키는 것없이 항상 원활하게 행할 수 있다.

본 발명의 화물취급설비에 있어서의 바람직한 제5실시형태에서는, 화물이 피처리물을 수납할 수 있는 카세트인 것을 특징으로 한 것이다.

이 제5실시형태에 의하면, 화물보관장치에서의 보관이나 클린룸에서의 주고받음은, 피처리물을 수납한 카세트단위로 행할 수 있고, 이로써 피처리물에 진애 등이 생기는 것을 방지할 수 있다.

이하에, 본 발명의 제1실시예를, 도 1 내지 도16에 기초하여 설명한다.

도 3 내지 도 5에 있어서, 화물보관장치(10)는, 직사각형 상자형상의 둘레벽체 (11)와, 이 둘레벽체(11) 내에 배치된 회전선반(21), 이송수단(51), 고정선반 (101), 및 둘레벽체(11)를 관통하여 배치된 입출고수단(111a, 111b) 등으로 구성되어 있다.

상기 둘레벽체(11)는, 프레임조립체(12)와, 이 프레임조립체(12)의 외측에서 하측절반에 설치된 하부외판(13)과, 프레임조립체(12)의 외측에서 상측절반에 설치된 상부외판(14)과, 프레임조립체(12)의 하측에 설치된 마루판(15)과, 프레임조립체(12)의 상측에 설치된 천정판(16) 등에 의해 밀폐형상으로 구성되어 있다. 이 때에, 하부외판(13)이나 상부외판(14)의 적어도 일부, 주로 상부외판(14)에는 수지제 등의 투명판이 사용되고, 이로써, 둘레벽체(11) 내의 화물보관실(화물보관공간) (17)의 상황을, 투명판을 투과하여 밖으로부터 파악할 수 있도록 구성되어 있다. 또한 둘레벽체(11)는, 상기 마루판(15)의 하면측에 설치된 다리체(19)를 통해서 마루(2) 상에 배치되어 있다.

도 4 내지 도 7에 있어서, 상기 화물보관실(17) 내의 일측 부근의 위치에는 상기 회전선반(21)이 배치되어 있다. 이 회전선반(21)은, 종방향의 회전선반 축심(22)의 둘레로 회전가능하게 설치됨과 아울러, 상기 회전선반 축심(22)을 중심으로 하는 회전 원경로(23) 상에 복수의 화물수용부(32)가 설치되어 있다.

즉 바닥판(15) 상에는, 상기 회전선반 축심(22)을 중심으로 한 원형의 LM가이드수단(25)을 통해서 원판형상의 회전체(26)가 설치되어 있다. 이 회전체(26)의 중앙부분으로부터는, 상기 회전선반 축심(22) 상에 위치되는 상태에서 6각 통형상의 종축체(27)가 세워설치되고, 이 종축체(27)의 상단에는 폐쇄판(27A)이 설치되어 있다. 또한 폐쇄판(27A)의 중앙부분에서부터 세워설치된 종형핀(28)이, 상기 둘레벽체(11)의 상부에 설치된 지지플레이트(20)에 대해서, 베어링장치(29)를 통해서 여유롭게 회전가능하게 지지되어 있다.

상기 종축체(27)의 상하방향의 복수 개소에는, 6각형상의 고리형상판(30)이 외부로부터 끼워져서 배치되고, 이들 고리형상판(30)은 복수의 설치부재(31) 등을 통해서 종축체(27)에 연결되어 있다. 각 고리형상판(30)의 둘레방향의 6개소(복수개소)에 상기 화물수용부(32)가 배치되고, 이들 화물수용부(32)는 판프레임형상이고, 그 기단이 연결부재(33)를 통해서 고리형상판(30)측에 연결되는 것이므로, 횡외방으로 돌출되는 상태에서 고리형상판(30)측에 편지지형상으로 지지되어 있다.

또한 화물수용부(32)에는, 상하 및 여유단(외측)에 개방되는 오목부(34)가 형성됨과 아울러, 이 오목부(34)의 주변의 3개소(단수개소 또는 복수개소)로부터는 위치결정핀(35)이 세워설치되어 있다. 또한, 화물수용부(32)의 기단부분에는 화물존재검출수단의 일부를 구성하는 반사밀러(36)가, 여유단부분에는 레벨검출수단의 일부를 구성하는 반사테이프(37)가 각각 설치되어 있다.

상기 회전선반(21)을 회전시키는 회전선반 구동수단(41)이 설치되어 있다. 즉, 상기 바닥판(15)의 코너부에는 회전구동부(42)가 설치되고, 이 회전구동부(42)로부터의 하향의 구동축(43)에는 구동기어(44)가 설치되어 있다. 또한 상기 회전체 (26)의 둘레 가장자리에는, 링기어(45)가 설치되고, 이 링기어(45)에 상기 구동기어(44)가 항시 맞물려져 있다. 여기서 회전구동부(42)는, 모터나 감속기 등으로 이루어지고, 상기 구동축(43)을 정역으로 구동하도록 구성되어 있다.

따라서, 회전선반 구동수단(41)의 회전구동부(42)에 의해 구동축(43)을 정역으로 구동시키는 것이므로, 구동기어(44)나 링기어(45) 등을 통해서 회전선반(21)을, 회전선반 축심(22)의 둘레에서 정역으로 회전가능하다. 이 때에 회전선반(21)은, 최대로 180°의 회전이 행해지도록 구성되어 있다. 이상의 22~45 등에 의해 회전선반(21)의 일예가 구성된다.

도 4, 도 5, 도 8 내지 도 10에 있어서, 상기 화물보관실(17) 내의 타측 부근의 위치에는 상기 이송수단(51)이 배치되어 있다. 이 이송수단(51)의 이송작용부(81)는, 상기 회전선반 축심(22)에 평행형상의 이송축심(52)의 둘레로 회전가능하게 설치됨과 아울러, 상기 회전 원경로(23)에 접선형상으로 겹쳐지는 이송 원경로(53) 상에서 작용가능하게 구성되어 있다.

즉, 바닥판(15) 상에는 베이스 프레임(54)이 설치되고, 이 베이스 프레임 (54)으로부터 포스트체(55)가 세워설치됨과 아울러, 이 포스트체(55)의 앞면측에는 가이드레일(56)이 설치되어 있다. 여기서 포스트체(55)는, 좌우 한쌍의 측부재 (55A)와, 이들 측부재(55A)의 내측면 간에 설치된 후방 부재(55B)와, 이 후방 부재 (55B)의 앞면측에 설치된 전방 부재(55C)로 이루어지고, 이들 전방 부재(55C)의 앞면측에, 상기 가이드레일(56)이 각각 설치되어 있다. 또한 포스트체(55)의 상단에는 상부 프레임(57)이 설치되고, 또한 전방 부재(55C)에는 각각 커버체(58)가 설치되어 있다.

상기 가이드레일(56)에 피가이드체(59)를 통해서 승강가능하게(LM가이드) 안내되는 승강부(60)가 설치됨과 아울러, 이 승강부(60)에 연동된 승강구동수단(61)이 설치되어 있다. 즉 승강부(60)는, 상기 피가이드체(59)측에 연결된 종방향 부재 (60A)와, 이 종방향 부재(60A)의 하단으로부터 전방으로 연이어 설치된 횡방향부재 (60B)에 의해, 측면에서 바라볼 때 L자형상으로 형성되어 있다.

상기 승강구동수단(61)은, 상기 베이스 프레임(54) 내에 배치된 구동륜체 (62)와, 상기 상부 프레임(57)의 부분에 배치된 종동륜체(63)와, 양 륜체(62, 63)의 근처에 배치된 안내륜체(65)와, 상기 구동륜체(62)에 연동된 회전구동부(66) 등으로 구성되어 있다. 여기서 각 륜체(62, 63, 65)는 좌우 한쌍이고, 또한 회전체 (64)도 좌우 한쌍으로 배치되어 있다.

이 때 각 회전이동체(64)는, 구동륜체(62)에 감겨지는 하위회전이동부(64A)와, 종동륜체(63)에 감겨지는 상위회전이동부(64B)로 이루어진다. 또한, 포스트체 (55)의 앞면측에 위치되는 각각의 여유단은 상기 피가이드체(59)측에 연결되고, 또한 후면체에 위치되는 각각의 여유단 사이는 장력조정부재(67)를 통해서 연결되어 있다. 상기 회전구동부(66)는, 정역구동가능한 모터나 감속기 등으로 구성되고, 이 구동축(68)에 한쌍의 구동륜체(62)가 설치되어 있다.

상기 승강부(60)의 횡방향 부재(60B) 상에는, 상기 이송축심(52)의 둘레로 회전가능한 회전체(70)가 설치되고, 이 때에 회전체(70)의 중앙부분으로부터 태워설치된 종축(71)이 횡방향 부재(60B)측의 베어링(72)에 회전가능하게 지지되어 있다. 또한, 상기 종축(71)에 연동된 회전구동수단(73)이 설치되어 있다.

즉, 회전구동수단(73)은, 상기 종방향 부재(60A)로부터 횡방향 부재(60B)에 걸쳐서 설치된 회전구동부(74)와, 그 하향의 구동축(75)에 설치된 구동륜체(76)와, 상기 종축(71)에 설치된 종동륜체(77)와, 양 륜체(76, 77) 간에 감겨진 무단회전이동체(타이밍벨트 등)(78)와, 상기 횡방향 부재(60B) 내에 배치된 복수의 안내륜체 (79) 등으로 구성되어 있다. 여기서 상기 회전구동부(74)는, 정역구동가능한 모터나 감속기 등으로 구성되어 있다.

상기 이송작용부(81)는 포크형식이고, 상기 회전체(70)에 대해서 전후방향(횡방향)으로 출퇴(出退)가능하게 배치되고, 이로써 상기 이송축심(52)의 둘레로 회전가능하게 설치된다. 즉, 이송작용부(81)는, 전후방향의 지지판(81A)과, 이 지지판 (81A)의 중간부로부터 세워설치된 어긋남 규제판(81B) 등으로 구성되어 있다. 또한, 상기 어긋남 규제판(81B)보다 전방에 있어서, 지지판(81A) 상의 복수개소로부터는 위치결정핀(82)이 세워설치되어 있다.

상기 회전판(70) 상에는 좌우 한상의 레일재(83)가 전후방향으로 배치됨과 아울러, 이들 레일재(83) 사이에서 또한 좌우방향의 중앙부분에는 전후방향의 가이드체(84)가 설치되어 있다. 또한, 상기 지지판(81A)의 후단에서 하면측에는, 상기 가이드판(84)에 외부로부터 끼워져서 LM가이드를 구성하는 피가이드체(85)가 설치되어 있다.

상기 이송작용부(81)를 전후방향으로 출퇴시키는 출퇴구동수단(90)이 설치되어 있다. 즉, 출퇴구동수단(90)은, 가이드체(84)를 따라서 배치된 나사축(91)과, 상기 이송작용부(81)의 하면측에 설치되고 또한 상기 나사축(91)에 나사결합되는 너트체(92)와, 상기 회전체(70) 상에 탑재되고 또한 상기 나사축(91)에 벨트 연동기구(93)를 통해서 연동된 회전구동부(94) 등으로 구성되어 있다. 여기서 회전구동부 (94)는, 정역구동가능한 모터나 감속기 등으로 구성되어 있다.

또한 상기 이송작용부(81)의 지지판(81A)은, 상기 화물수용부(32)의 오목부 (34)에 대해서 승강가능하게 구성되어 있다. 또한 상기 포스트체(55)의 부분에는, 피가이드체(59)측의 승강을 허용하고 또한 양 가이드체(58) 간의 간극을 폐쇄가능한 방진벨트(87)가 설치되며, 또한 회전체(70)의 부분에는, 이송작용부(81)의 전후이동을 허용하고 또한 가이드체(84)의 상방을 폐쇄가능한 방진벨트(88)가 설치되어 있다.

이상의 52~94 등에 의해 이송수단(51)의 일예가 구성된다. 또한 이송수단 (51)의 이송작용부(81)는, 상기 회전선반 축심(22)에 평행형상의 이송축심(52)의 둘레로 회전가능하게 설치됨과 아울러, 상기 회전 원경로(23)에 접선형상으로 겹쳐지는 이송 원경로(53) 상에서 작용가능하게 구성되게 된다.

도 4, 도 5, 도 11 및 도 12에 있어서, 상기 고정선반(101)은, 상기 화물보관실(17) 내의 타측 부근의 위치에서 또한 상기 이송 원경로(53) 상의 4개소(단수개소 또는 복수개소)에 설치되어 있다. 즉, 둘레벽체(11) 내에 있어서, 프레임 조립체 (12)측의 상하방향의 복수개소에는 횡방향의 평강(102)이 연결되고, 또한 각 평강 (102)에는 화물지지부(103)가 설치되어 있다. 이들 화물지지부(103)는 판프레임형상이고, 그 기단이 연결부재(104)를 통해서 평강(102)측에 연결되고, 이로써 횡향 전방으로 돌출되는 상태에서 평강(102)측에 편지지형상으로 지지되어 있다.

또한 화물지지부(103)에는, 상하 및 여유단(외측)에 개방되는 오목부(105)가 형성됨과 아울러, 이 오목부(105)의 둘레 가장자리의 3개소(단수개소 또는 복수개소)로부터는 위치결정핀(106)이 세워설치되어 있다. 또한 상기 오목부(105)에 대해서 상기 이송작용부(81)의 지지판(81A)이 승강가능하게 구성되어 있다. 이상의 102~106 등에 의해 고정선반(101)의 일예가 구성된다.

도 3 내지 도 5 및 도 12 내지 도 16에 있어서, 상기 이송 원경로(53) 상의 4개소에 설치되고 고정선반(101) 중에서, 상기 회전선반(21)과는 떨어진 측의 2개소(단수개소 또는 복수개소)의 고정선반(101)의 하부에는, 밑에서부터 3단만큼(밑에서부터 복수단만큼)의 화물지지부(103)를 부분적으로 설치하지 않은 공간부분(107)이 형성되어 있다. 또한, 이들 공간부분(107)을 이용하여 상기 이송수단(51)과의 사이에서 화물을 주고받을 수 있는 입출고수단이 설치되어 있다. 이 때에 입출고수단의 입출고방향은, 회전선반 축심(22)과 이송축심(52)을 연결한 선(109)에 대해서 평형형상으로 설정되어 있다.

즉, 둘레벽체(11)에 있어서의 타측의 하부외판(103)에는, 양 공간부분(107)에 대향해서 각각 입고용 관통부(110a)와 출고용 관통부(110b)가 형성되고, 이들 관통부(110a, 110b)를 통해서 둘레벽체(11)의 내외에 걸치는 상태로, 입고수단(입출고수단)(111a)과 입고수단(입출고수단)(111b)이 설치되어 있다.

여기서 입고수단(111a)과 출고수단(111b)은 마찬가지의 구성이며, 둘레벽체 (11)의 내외에 걸치는 상자프레임형상의 본체(112)를 갖고, 이 본체(112) 상의 외단부분에는 일시수용체(113)가 설치되어 있다. 이 일시수용체(113)는 1장 판형상 또는 분할판형상이며, 오목부나 관통 등에 의해서 승강작용부(114)가 형성됨과 아울러, 이 승강작용부(114)의 주변의 3개소(단수개소 또는 복수개소)로부터는 위치결정핀(115)이 세워설치되어 있다.

상기 본체(112) 내에는, 가이드체(116)에 지지안내되어서 내외방향(전후방향)으로 이동가능한 이동부재(117)와, 이 이동부재(117)를 내외방향으로 이동시키는 이동장치(118)가 설치되어 있다.

여기서 이동장치(118)는, 이동부재(117)측에 설치된 구동부(모터 등)(119)와, 이 구동부(119)로부터의 좌우방향의 출구축(120)에 설치된 타이밍 풀리(121)와, 이 타이밍 풀리(121)의 상방에서 내외방향의 2개소에 있어서 이동부재(117)측에 여유롭게 회전가능하게 설치된 가이드 풀리(122)와, 이들 타이밍 풀리(121)로부터 가이드 풀리(122)에 걸쳐서 걸어진 타이밍 벨트(123) 등으로 구성되어 있다. 또한 타이밍 벨트(123)의 양단은, 상기 본체(112)측의 내외단부에 고정(124)되어 있다.

상기 이동부재(117)에는 승강장치(125)가 설치되어 있다. 이 승강장치(125)는, 이동부재(117)측에 베어링(126)을 통해서 회전가능하게 설치된 종방향의 나사축체(127)와, 이동부재(117)측에 설치된 정역구동가능한 구동부(모터 등)(128)와, 이구동부(128)로부터의 하향의 출력축(129)과 상기 나사축체(127)와의 사이에 설치된 무단연동기구(130)와, 상기 나사축체(127)에 나사결합된 너트체(131)와, 이 너트체(131)를 승강안내하도록 이동부재(117)측과의 사이에 설치된 가이드기구(132) 등으로 구성되어 있다. 또한 너트체(131)측에 승강부재(133)가 연결되어 있다.

이들 승강부재(133)에는 선회장치(135)가 설치되어 있다. 이 선회장치(135)는, 승강부재(133)측에 연결된 브래킷(136)과, 이 브래킷(136)측에 베어링(137)을 통해서 회전가능하게 설치된 종방향의 축체(138)와, 브래킷(136)측에 설치된 정역구동가능한 구동부(모터 등)(139)와, 이 구동부(139)로부터의 상향의 출구축(140)과 상기 축체(138)와의 사이에 설치된 무단연동기구(141) 등으로 구성되어 있다. 또한 축체(138)의 상단에 승강체(142)가 연결되어 있다. 여기서 승강체(142)는 판형상이고, 상기 일시수용체(113)의 승강작용부(114)에 대해서 끼워맞춤가능하게 구성되어 있다.

또한, 본체(112) 상의 내단부분에서, 소정의 3개소(단수개소 또는 복수개소)로부터는 위치결정핀(143)이 세워설치되어 있다. 상기 본체(112) 등은, 관통부 (110a, 110b)에 대해서 직각형상이고, 이로써 입고수단(111a)과 출고수단(111b)의 입출고방향(145)은, 회전선반 축심(22)과 이송축심(52)을 연결한 선(109)에 대해서 평행형상으로 설정되어 있다. 이상의 112~145 등에 의해 입고수단(111a)이나 출고수단(111b)의 일예가 구성된다.

상기 출고수단(111b)에 있어서의 외단부의 측방에는 저장수단(151)이 일체형상으로 설치되어 있다. 즉, 상기 본체(112)에 일체형상으로 한 상자 프레임형상의 본체(152)가, 이 본체(112)에 의해서 평면에서 바라봐서 L자형상으로서 배치되어 있다. 상기 본체(152) 상의 여유단부분(출고수단(111b)과는 떨어진 측)에는 일시수용체(153)가 설치되어 있다. 이 일시수용체(153)는 1장판형상이고, 오목부에 의해서 승강작용부(154)가 형성됨과 아울러, 이 승강작용부(154)의 주변의 3개소(단수개소 또는 복수개소)로부터는 위치결정핀(155)이 세워설치되어 있다.

상기 본체(152) 내에는, 가이드체(156)에 지지안내되어서 좌우방향으로 이동가능한 이동부재(157)와, 이 이동부재(157)를 내외방향으로 이동시키는 이동장치 (158)가 설치되어 있다. 여기서 이동장치(158)는 상기 이동장치(118)와 마찬가지로서, 구동부(159), 출구축(160), 타이밍 풀리(161), 가이드 풀리(162), 타이밍 벨트 (163) 등으로 구성되어 있다. 또한 타이밍 벨트(163)의 양단은, 상기 본체(152)측의 단부에 고정(164)되어 있다.

상기 이동부재(157)에는 승강장치(165)가 설치되어 있다. 이 승강장치(165)는 상기 승강장치(125)와 마찬가지이며, 베어링(166), 나사축체(167), 구동부 (168), 출구축(169), 무단연결기구(170), 너트체(171), 가이드기구(172) 등으로 구성되어 있다. 또한 너트체(171)측에, 승강부재(173)를 통해서 승강체(174)가 연결되어 있다. 여기서 승강체(174)는 판형상이고, 상기 일시수용체(113, 153)의 승강작용부(114, 154)에 대해서 끼워맞춤가능하게 구성되어 있다. 이상의 152~174 등에 의해 저장수단(151)의 일예가 구성된다.

상기한 바와 같이, 둘레벽체(11) 내에는 회전선반(21)과 이송수단(51)과 고정선반(101)이 설치되고, 이들 회전선반(21)과 이송수단(51)과 고정선반(101)은, 회전 원경로(23)와 이송 원경로(53)의 양방과도 단수로서 배치되어 있다. 또한 고정선반(101)은, 상기 이송 원경로(53) 상의 4개소(복수개소)에 설치되어 있다.

또한, 회전선반(2)에는 하물수용부(32)군이 상하 복수단으로 설치되고, 고정선반(101)에는 화물지지부(103)가 상하 복수단으로 설치되어 있다. 또한 이송수단 (51)은, 회전선반(21)이나 고정선반(101)의 상하 복수단에 대응하여 작용가능하게 구성되어 있다. 또한 카세트(화물의 일예)(7)의 하면측에는, 상기 위치결정핀(35, 82, 106, 115, 143, 155)군의 끼워맞춤이 허용되는 끼워맞춤부(8)가, 오목하게 들어간 긴 구멍형상으로 형성되어 있다. 여기서 카세트(7)는, 피처리물(도시않함)을 수납가능하게 구성되어 있다.

도 1 내지 도 3에 있어서, 상기 화물보관장치(10)는, 그 입고수단(111a)과 출고수단(111b)의 외단부분에 의해서, 그 하부외판(외판)(13)의 외방부분에 화물출입부 (148)가 형성되어 있다. 이러한 화물보관장치(10)는, 그 화물출입부(148)가 소정의 공간을 두어서 서로 대향된 상태로 한쌍이 배치되어 있다. 또한 양 화물보관장치 (10)의 측방에는, 소정 간격을 둔 상태로 각각 복수의 화물처리장치(180)가 나란히 설치되어 있다. 여기서 화물처리장치(180)는, 화물보관장치(10)에 대해서 동방향을 소정 간격을 둔 상태로 나란히 설치되어 있고, 이로써 화물처리장치(180)군은 상기 소정의 공간을 두어서 서로 대향되게 된다.

상기 화물처리장치(180)는, 둘레벽체(181) 내에 처리실(182)이 형성되어 있고, 이 처리실(182) 내에는 각종 처리수단(도시않함)이 설치되어 있다. 상기 둘레벽체 (181)의 앞판으로 되는 외판(183)의 외방부분에 화물출입부(184)가 형성되고, 이 화물출입부(184)는, 반입장치(185)나 반출장치(186) 등으로 구성되어 있다.

상기한 바와 같이 나란히 설치된 화물보관장치(10)와 화물처리장치(180)군의 외판(13, 14, 183) 사이 등에는 격벽체(187)가 설치되어 있다. 또한 격벽체(187) 등에 의해 둘러싸인 지역, 즉 상기 소정의 공간의 개소가 클린룸(5)에 형성되어 있다. 이로써 화물보관장치(10)와 화물처리장치(180)는, 그 외판(13, 14, 183)에 형성된 화물출입부(118, 184)가 클린룸(5)에 면하여 설치되게 된다.

상기 클린룸(5)은, 가령 천정(1)측에 필터(3)가 설치되고, 또한 마루(2)측에 흡인용 다공마루(다공판)(4)가 설치되어 구성되어 있고, 이로써 필터(3)를 통해서 클린에어(A)가 분출되고, 이 클린에어(A)가 다공마루(4)를 통해서 흡인되는 다운플로오방식으로 되어 있다. 이로써 클린룸(5) 내는 클린분위기로 되어 있다.

상기 클린룸(5) 내에는, 화물보관장치(10)와 화물처리장치(180)의 사이에서의 카세트(7)의 주고받음을 행하는 화물반송수단(191)이 설치되고, 이로써 카세트 (7)의 주고받음이, 클린룸(5) 내에서 행해지도록 구성되어 있다.

상기 화물반송수단(191)은, 천정측의 레일장치(192)와, 이 레일장치(192)에 지지안내되고 자동주행가능한 매달림 주행형식의 이동체(193)와, 이동체(193)의 하부측에 설치된 화물지지부(194) 등으로 구성되어 있다. 또한 화물지지부(194)에는, 화물 매담장치(195)가 승강이동가능하게 설치되어 있다. 여기서, 화물반송수단 (191)에 의한 반송경로(196)는, 각 화물출입부(118, 184)의 상방 사이를 연결하는 상태로 무단형상으로 형성되어 있다.

상기 화물보관장치(10), 화물처리장치(180), 화물반송수단(191) 등으로 이루어지는 화물취급설비(201)는, 클린룸(5) 간이 연결용 클린룸(202)을 통해서 연결된 상태로, 복수 설치되어 있다. 또한 화물취급설비(201) 사이에서는, 반송경로(196) 간이 연결경로(203)를 통해서 연결되어 있다.

상기 연결경로(203) 등의 상방에는, 상기 화물보관장치(10)에 있어서의 상부외판(14)의 외측을 통하는 반송수단(211)이 설치되어 있다. 즉 상부 반송수단(211)은, 천정측의 레일장치(212)와, 이 레일장치(212)에 지지안내되고 자동주행가능한 이동체(213)와, 이 이동체(213)의 상부측에 설치된 화물지지부(214) 등으로 구성되어 있다. 여기서 화물지지부(214)는, 가령 포크형식 등로 이루어진다.

상기 둘레벽체(11)의 상부 외판(14)에는, 반송수단(211)의 사이에서 카세트 (7)의 주고받음을 행하기 위한 화물통과부(215)가 형성되어 있다. 즉, 회전선반 (21)에 근처측에 있어서, 상부 외판(14)에는 화물통과부(215)가 개구에 의해 형성되어 있다. 또한, 화물통과부(215)를 통해서 이동체(213)의 화물지지부(214)가 포크동작되는 것이므로, 목적으로 하는 화물수용부(32)와의 사이에서 카세트(7)를 주고받음 가능하게 구성되어 있다.

또한, 화물통과부(215)의 부분에, 상기 이동체(213)의 화물지지부(214) 사이에서 카세트(7)를 주고받을 수 있는, 가령 포크형식 등으로 이루어지는 주고받음수단이 설치된 형식 등이어도 좋다. 또는 반송수단(211) 등이 생략된 형식 등이어도 좋다.

이하에, 상기 제1실시예에 있어서의 작용을 설명한다.

클린룸(5)이나 연결용 클린룸(202)에서는, 천정(1)측의 필터(3)를 통해서 분출시킨 클린에어(A)를 클래칭마루(4)의 하측에 배출시키는 것이므로, 다운플로오방식에 의해 클린분위기를 유지하고 있다. 이와 같은 클린룸(5)을 이용하여, 카세트 (7)를 화물보관장치(10)에 입고하여 보관하기에, 우선 입고하고자 하는 카세트(7)를 입고수단(111a)의 시단부분(외단부분)에 얹어놓는다.

즉, 화물반송수단(191)의 작동 등에 의해서, 도 13의 E에 도시된 바와 같이, 입고수단(111a)에 있어서의 일시수용체(113) 상에, 입고하고자 하는 카세트(7)를 얹어 놓고, 위치결정핀(115)에 끼워맞춤부(8)를 끼워맞춘다. 이 전후에, 하강하고 또한 정자세의 승강체(142)의 승강작용부(114)의 하방에 위치시키고 있다.

이 상태에서, 우선 승강장치(125)의 구동부(128)를 작동시키고, 무단연동기구(130) 등을 통해서 나사축체(127)를 회전시킨다. 하면, 나사축체(127)의 회전에 수반해서 너트체(131)가 상승하고, 승강부재(133)를 통해서 선회장치(135)를 상승시키고, 이로써 선회장치(135)측의 축체(138)에 연결되어 있는 승강체(142)를 상승시킨다. 이 상승하는 승강체(142)는 승강작용부(114)를 통하고, 도 14의 가상선으로 나타내어지는 바와 같이, 일시수용체(113) 상의 카세트(7)를 잡아올린다.

이어서 이동장치(118)의 구동부(119)를 작동시키고, 타이밍벨트(123)가 걸려져 있는 타이밍풀리(121)를 구동회전시키는 것이므로, 이동부재(117)를 가이드체 (116)에 지지안내시키면서 입고수단(111a)의 종단부분(내단부분)을 향해 이동시킨다. 이때, 승강장치(125)나 선회장치(135)를 통해서 승강체(142)도 이동하고, 이로써 카세트(7)를, 입고용 관통부(110a)를 통해서 둘레벽체(11) 내에 반송한 후, 도 13의 F나 도 14의 실선으로 나타내어지는 바와 같이, 종단부분에서 정지할 수 있다. 이로써 카세트(7)를, 도 11에 도시된 바와 같이, 고정선반(101)의 하부에 형성된 공간부분(107) 등에 위치할 수 있다.

또한, 선회장치(135)의 구동부(139)를 작동시키고, 무단연동기구(141) 등을 통해서 축체(138)를 회전시키고, 이로써 도 13의 G에 도시된 바와 같이, 승강체 (142)를 통해서 카세트(7)의 방향을 경사방향으로 변경시킨다. 즉 카세트(7)를, 고정선반(101)의 화물지지부(103)에 의해 지지할 수 이는 방향으로 변경시킨다.

이어서, 승강장치(125)의 구동부(128)를 역작동시키고, 무단연동기구(130) 등을 통해서 나사축체(127)를 역회전시킨다. 하면, 나사축체(127)의 역회전에 수반해서 너트체(131)가 하강하고, 승강부재(133)를 통해서 선회장치(135)를 하강시키게 되어서, 선회장치(135)측의 축체(138)에 연결되어 있는 승강체(142)를 하강시킨다. 이 하강하는 승강체(142)는 위치결정핀(143) 사이를 통하고, 이로써 카세트(7)를, 그 끼워맞춤부(8)를 위치결정핀(143)에 끼워맞춘 상태로 본체(112)측에 얹어 놓는다.

또한 선회장치(135)의 구동부(139)를 역작동시키고, 무단연동기구(141) 등을 통해서 축체(138)를 역회전시키고, 이로써 승강체(142)의 방향을 정자세로 변경시킨다. 이어서 이동장치(118)의 구동부(119)를 역작동시키고, 타이밍벨브(123)가 걸어져 있는 타이밍풀리(121)를 역으로 구동회전시키는 것이므로, 이동부재(117)를 입고수단(111a)의 시단부분(외단부분)을 향하여 이동시킨다. 이때, 승강장치(125)나 선회장치(135)를 통해서 승강체(142)도 이동하고, 이로써 하강하고 또한 정자세의 승강체(142)를 승강작용부(114)의 하방에 위치시키고, 최초의 상태로 돌아올 수 있다.

이어서, 입고수단(111a)의 내단부분에 위치시킨 카세트(7)를, 이송수단(51)에 의해 수취한다. 이때 도 8에 실선으로 나타내어지는 바와 같이, 빈 이송작용부 (81)를 회전체(70) 내에 퇴입(退入)이동시킨 상태에서, 이 이송작용부(81)의 회전과 승강을, 동시상 또는 어느하나를 선행하여 서로 전후하여 행한다.

즉, 이송작용부(81)를 회전시키기에, 회전구동수단(73)에 있어서의 회전구동부(74)를 정역으로 구동시키고, 구동축(75)을 통해서 구동륜체(76)를 정역으로 회전시킨다. 이로써, 무단회전이동체(78)나 종동륜체(77)를 통해서 종축(71)을 정역으로 회전시킬 수 있고, 이로써 회전체(70)를 통해서 이송작용부(81)를, 이송축심 (52)의 둘레에 정역으로 회전시킬 수 있다.

또한 이송작용부(81)를 승강시키기에, 승강수동수단(61)에 있어서의 회전구동부(66)를 정역으로 구동시키고, 구동축(68)을 통해서 구동륜체(62)를 정역으로 회전시킨다. 이로써, 회전이동체(64)를 정역으로 회전이동시킬 수 있다. 이로써 피가이드체(59)나 승강부(60)를 통해서 이송작용부(81)를 승강할 수 있다. 이와 같이 하여 이송작용부(81)를 회전 또는 승강시키는 것이므로, 이 이송작용부(81)를, 입고수단(111a)의 내단부분에 대해서, 조금 하방의 레벨로 대항할 수 있다.

이어서, 이송작용부(81)를 동출이동시킨다. 즉, 출퇴구동수단(90)에 있어서의 회전구동부(94)를 구동시키고, 벨트연동기구(93)를 통해서 나사축(91)을 회전시킨다. 이로써, 너트체(92)가 나사결합 이동하게 되어서 이송작용부(81)를 돌출 이동시킬 수 있고, 그때 이송작용부(81)는, 가이드체(84)에 의해 피가이드체(85)를 안내하는 것이므로, 도 8의 가상선으로 나타내어지는 바와 같이 직선형상으로 돌출 이동할 수 있다. 이 돌출이동에 의해서 이송작용부(81)를, 입고수단(111a)의 내단부분에 얹어놓게 한 카세트(7)의 하방에 위치할 수 있다.

이 상태에서, 상기한 바와 같은 승강구동수단(61)의 동작에 의해, 승강부 (60) 등을 통해서 이송작용부(81)를 조금 상승시킨다. 하면, 이송작용부(81)가 입고수단(111a)에 있어서의 본체(112)의 내단부분을 상승하고, 이로써 입고수단 (111a)의 내단부분에 위치시킨 카세트(7)를 잡아올릴 수 있고, 이때 위치결정핀 (82)을 끼워맞춤부(8)에 끼워맞추게 한다. 또한 출퇴구동수단(90)을 상기와는 역작동시켜서, 이송작용부(81)를 퇴입 이동시킴으로써, 카세트(7)를 회전체(70)의 상방에 위치할 수 있다.

이어서, 상기와 마찬가지로 이송작용부(81)를 회전시킴과 아울러, 필요에 따라서 승강시키므로, 카세트(7)를 목적으로 하는 고정선반(101)의 목적으로 하는 화물지지부(103)에 대항할 수 있다. 이때 이송작용부(81)는, 화물지지부(103)보다 조금 상방에 위치하고 있다.

또한, 상기와 마찬가지로 하여 이송작용부(81)를 돌출 이동시키는 것이므로, 카세트(7)를 화물지지부(103)의 상방에 위치할 수 있고, 이어서 이송작용부(81)를 조금 하강이동시키는 것이므로, 카세트(7)를 화물지지부(103) 상에 얹어놓을 수 있다. 이때 끼워맞춤부(8)를 위치결정핀(106)에 끼워맞추게하고, 그 후에 이송작용부 (81)를 퇴입이동시킨다. 이로써, 입고수단(111a)의 내단부분에 위치시키고 있던 카세트(7)를 고정선반(101)에 대해서 입고할 수 있다. 즉, 입고수단(111a)에 공급한 카세트(7)를, 이송 원경로(53) 상에 설치된 고정선반(101)의 화물지지부(103)에 입고시키는 입고작업을 종료한다.

또한, 입고수단(111a)의 내단부분에 위치시킨 카세트(7)는, 회전선반(21)에 입고할 수 있다. 즉, 상기한 바와 같이 입고수단(111a)의 내단부분에 위치시킨 카세트(7)를, 이송수단(51)에 의해 수취하는 작업 중에, 회전선반(21)을 선행하여 회전하고 준비시킨다.

이 회전선반(21)의 회전은, 회전선반 구동수단(41)에 있어서의 회전구동부 (42)를 정역으로 구동시키고, 구동축(43)을 통해서 구동기어(44)를 정역으로 회전시킨다. 이로써, 링기어(45)를 정역으로 회전이동시킬 수 있고, 이로써 종축체(27) 등을 통해서 화물수용부(32)군을 회전선반 축심(22)의 둘레에 회전할 수 있다. 이 때, 화물수용부(32)군은 회전 원경로(23) 상에서 회전이동하고, 또한, 목적으로 하는 화물수용부(32)가 이송 원경로(53)에 접선형상으로 겹친 위치에 이르렀을 때에, 그 회전을 정지시킨다.

또한 회전선반(21)의 회전은, 상기 겹침위치에 대해서 목적으로 하는 화물수용부(32)의 회전거리가 짧은 쪽에, 최대로 180°로 정 또는 역으로 행해지고, 이로써 신속하게 또한 능률적으로 회전할 수 있다. 또한, 이송수단(51)에 의해 수취하는 작업 중에, 회전선반(21)을 선행하여 회전하고 준비시키는 것이므로, 전체의 가동능률을 향상할 수 있다. 또한 목적으로 하는 화물수용부(32)가 최초로부터 겹침위치에 있을 때에는, 회전선반(21)의 회전은 행해지지 않는다.

이와 같이, 목적으로 하는 화물수용부(32)를 겹침위치에 정지시킨 후, 상기와 마찬가지로 이송수단(51)을 작용시키는 것이므로, 이송작용부(81)에서 지지되어 있던 카세트(7)를, 도 4 및 도 7에 도시된 바와 같이 화물수용부(32) 상에 얹어놓을 수 있다. 이때 끼워맞춤부(8)를 위치결정핀(35)에 끼워맞추게 한다. 이로써, 입고수단(111a)의 내단부분에 위치시키 둔 카세트(7)를, 회전선반(21)의 목적으로 하는 화물수용부(32) 상에 얹어놓을 수 있고, 이로써 입고수단(111a)에 공급한 카세트(7)의 회전선반(21)에 대한 입고작업을 종료한다.

또한, 고정선반(101)에 보관되어 있는 카세트(7)를, 이송수단(51)의 작동이나 회전선반(21)의 회전에 의해, 마찬가지로 하여 회전선반(21)에 옮겨셔 보관할 수 있다. 이때, 고정선반(101)의 카세트(7)를 이송수단(51)에 의해 수취하는 작업 중에, 회전선반(21)을 선행하여 회전하고 준비시키는 것이므로, 전체의 가동능률을 향상할 수 있다. 또한, 목적으로 화물수용부(32)가 최초로부터 겹침위치에 있을 때에는, 회전선반(21)의 회전은 행해지지 않는다.

상기 이송수단(51)을 상기와는 역으로 동작시킴으로써, 카세트(7)의 출고작업을 행한다. 즉, 회전선반(21)의 목적으로 하는 화물수용부(32) 상에 얹어놓아 둔 카세트(7)를, 출고수단(111b)의 시단부분(내단부분)에 위치시킬 수 있고, 또한 목적으로 하는 고정선반(101)의 목적으로 하는 화물지지부(103)에 위에 얹어놓아 둔 카세트(7)를 출고수단(111b)의 시단부분에 위치시킬 수 있다.

즉, 우선 이송수단(51)의 작동에 의해서, 도 13의 H에 도시된 바와 같이, 출고수단(111b)에 있어서의 본체(112)의 시단부분에, 그 끼워맞춤부(8)를 위치결정핀(143)에 끼워맞춘 상태로 얹어놓는다. 이어서 출고수단(111b)을, 상기 입고수단 (111a)과는 거의 역으로 작동시킨다. 즉, 경사방향으로 향하게 변경시키고 있는 승강체(142)를 상승시켜서 카세트(7)의 잡아올림을 행한다.

또한 도 13의 I에 도시된 바와 같이, 승강체(142)의 방향을 정자세로 변경시킨 후, 이동부재(117)를 가이드체(116)에 지지안내시키면서 출고수단(111b)의 종단부분(외단부분)을 향하여 이동시킨다. 이때, 승강장치(125)나 선회장치(135)를 통해서 승강체(142)도 이동하고, 이로써 카세트(7)를, 출고용 관통부(110b)를 통해서 둘레벽체(11) 외로 반송시킨 후, 도 13의 J에 도시된 바와 같이, 출고수단 (111b)의 종단부분에서 정지시킨다.

이어서 승강체(142)를, 일시수용체(113)의 승강작용부(114)를 통해서 하강시키고, 이로써 카세트(7)를, 그 끼워맞춤부(8)를 위치결징핀(115)에 끼워맞춘 상태로 일시수용체(113)측에 얹어놓는다. 이와 같이 카세트(7)를, 출고수단(111b)의 종단부분(외단부분)에 위치시키는 것이므로, 출고작업을 종료한다.

또한, 회전선반(21)에 보관되어 있는 카세트(7)도, 이송수단(51)의 작동이나 회전선반(21)의 회전 등에 의해, 마찬가지로 하여 고정선반(101)으로 옮겨서(출고하여) 보관할 수 있다.

상기한 바와 같이 하여 출고수단(111b)의 종단부분에 출고한 카세트(7)는, 저장수단(151)에 의해서 저장할 수 있다. 즉, 이동부재(157)를 출고수단(111b)측에 이동시켜서, 하강하고 있는 승강체(174)를 일시수용체(113)에 있어서의 승강작용부 (114)의 하방에 위치시킨다. 또한 승강체(174)를 상승시켜서, 도 15의 가상선으로 나타내어지는 바와 같이, 카세트(7)를 잡아올린 후, 이동부재(157)를 여유단부분측으로 이동시키고, 이로써 도 15의 실선이나 도 16에 도시된 바와 같이, 카세트(7)를 일시수용체(153)의 상방에 위치시킨다.

이어서 승강체(174)를, 일시수용체(153)의 승강작용부(154)를 통해서 하강시키고, 이로써 카세트(7)를, 그 끼워맞춤부(8)를 위치결정핀(155)에 끼워맞춘 상태로 일시수용체(153)측에 얹어놓는다. 이와 같이 카세트(7)를, 저장수단(151)의 여유단부분에 위치시키는 것이므로, 도 13의 K에 도시된 바와 같이, 저장할 수 있다.

상기한 바와 같은 각 동작에 있어서, 카세트(7)의 끼워맞춤부(8)가 위치결정핀(35, 82, 106, 115, 143, 155)에 끼워맞추는 것이므로, 회전 중의 원심력 등에 의해서 카세트(7)가 서로 충돌하거나, 카세트(7)가 위치어긋남이 생기거나 탈락하는 경우를 방지할 수 있다.

상기한 바와 같이 이송수단(51)은, 이송작용부(81)를 이송축심(52)의 둘레에 회전시키는 것만으로 주행이동 등은 행하지 않는 것때문에, 주행이동 등을 위한 점유공간은 불필요하게 되고, 회전선반(21)과 고정선반(101)을 포함한 전체를 콤팩트하게 구성할 수 있다.

또한, 회전선반(21)과 고정선반(101)에 의해 보관량을 증가시킬 수 있음과 아울러, 주행구성이 아닌 이송수단(51)은 이송작용부(81)를 마루근처까지 하강할 수 있으므로, 이것에 맞추어서, 회전선반(21)의 화물수용부(32)에 의한 보관레벨과 고정선반(101)의 화물지지부(103)에 의한 보관레벨을 마루근처까지 내릴 수 있고, 이로써 보관량을 보다 증가시킬 수 있다. 따라서, 클린룸과 같은 클린공간을 가능한한 좁게 한 경우에 용이하게 또한 바람직하게 채용할 수 있다.

상기한 바와 같이, 출고수단(111b)의 종단부분에 위치시키는 것이므로, 클린룸(5) 내에 화물출입부(148)에 출고한 카세트(7), 및 저장수단(151)에서 저장한 카세트(7)는, 화물반송수단(191)에 의해 화물처리장치(180)에 공급할 수 있다. 즉, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 화물반송수단(191)의 이동체(193)를 반송경로(196) 상에서 이동시키고, 목적으로 하는 출고수단(111b)의 종단부분이나 저장수단(151)에 위치하고 있는 카세트(7)의 상방에서 정지시킨다.

이어서 화물 매담장치(195)를 하강이동시켜서 카세트(7)의 클램프를 행한 후, 화물 매담장치(195)를 상승시켜서 카세트(7)의 잡아올림을 행하고, 또한 잡아올린 카세트(7)를 화물지지부(194)에 의해서 지지한다. 이 상태에서, 이동체(193)를 반송경로(196) 상에서 이동시키고, 목적으로 하는 화물처리장치(180)의 화물출입부(184)에 있어서의 반입장치(185)의 상방에서 정지시킨다.

이어서, 화물지지부(194)에 의한 지지를 해제한 후, 화물 매담장치(195)를 하강이동시켜서 카세트(7)를 반입장치(185) 상에 위치시킨다. 또한 클램프 해제를 행한 후, 화물 매담장치(195)를 상승이동시킨다. 이로써, 클린룸(5) 내에 설치된 화물반송수단(191)에 의해서, 화물보관장치(10)로부터 화물처리장치(180)로 카세트 (7)를 건네 줄 수 있다.

이와 같이 하여 반입장치(185)의 시단부분에 위치시킨 카세트(7)는, 이 반입장치(185)에 의해서 둘레벽체(181) 내, 즉, 처리실(182) 내로 반입할 수 있다. 또한, 카세트(7) 내로부터 피처리물을 취출하여 소기의 처리를 행한 후, 처리가 끝난 피처리물을 다시 카세트(7) 내에 수납시킨다. 이어서 카세트(7)를 반출장치(186)의 시단부분에 위치시키고, 이 반출장치(186)에 의해서 둘레벽체(181) 외, 즉, 화물출입부(184)에 있어서의 반출장치(186)의 종단부분에 반출시킨다.

또한 반출장치(186)의 종단부분에 위치하고 있는 카세트(7)를, 상기한 바와 같이 하여 이동체(193)측에서 지지한 후, 반송경로(196) 상에서 반송시킨다. 이 후에 카세트(7)는, 상기한 바와 같이 입고수단(111a)에 있어서의 일시수용체(113) 상에 얹어 놓는 것이므로, 화물보관장치(10)에 입고할 수 있다. 또는 별도의 화물처리장치(180)에 들어가는 것이므로, 복수공정(복수단계)의 처리를 행한다. 또는 연결경로(203)를 이용하는 것이므로, 화물취급설비(201) 간에 카세트(7)의 주고받음을 행한다.

또한, 클린룸(5)이나 연결용 클린룸(202)에 있어서는, 클린에어(A)가 다운플로오방식에 의해 흐르고 있는 것이므로, 화물출입부(148, 184)나 화물반송수단 (191) 등에서 발생한 진애를 그 흐름에 태워서 신속하게 제거할 수 있다. 따라서 클린룸(5)이나 연결용 클린룸(202)에 있어서는 충분한 클린분위기(클린정도)에서 카세트(7)의 반송 등이 행해진다.

다음에 화물보관장치(10)의 변형예인 본 발명의 제2~제6실시예를, 도 17 및 도 18에 기초하여 설명한다.

즉, 도 17(a)는 제2실시예를 나타내고, 회전선반(21)과 이송수단(51)과 고정선반(101)은, 회전 원경로(23)가 2개(복수)로 이송 원경로(53)가 1개(단수)로서 배치되어 있다. 또한, 양 회전선반(21)의 회전선반 축심(22)과 이송수단(51)의 이송축심(52)이 동일 선(109) 상에 위치되어 있다. 또한, 입고수단(111a)과 출고수단(111b)은 회전선반(21)의 하부 등에 형성된 공간부분에 위치되어 있다.

도 17(b)는 제3실시예를 나타내고, 상기 제2실시예의 변형예로, 한쪽의 회전선반(21)의 회전선반 축심(22)은, 타방의 회전선반(21)의 회전선반 축심(22)과 이송수단(51)의 이송축심(52)을 연결하는 선(109)으로부터 떨어져 있다.

도 17(c)는 제4실시예를 나타내고, 회전선반(21)과 이송수단(51)과 고정선반 (101)은, 회전 원경로(23)가 3개(복수)로 이송 원경로(53)가 1개(단수)로 하여 배치되어 있다.

도 18(a)는 제5실시예를 나타내고, 회전선반(21)과 이송수단(51)과 고정선반 (101)은, 회전 원경로(23)가 1개(단수)로 이송 원경로(53)가 2개(복수)로 하여 배치되어 있다.

도 18(b)는 제6실시예를 나타내고, 회전선반(21)과 이송수단(51)과 고정선반 (101)은, 회전 원경로(23)와 이송 원경로(53)의 양방 모두 2개(복수)로 하여 배치되어 있다.

상기 제1실시예에서는, 화물보관장치(10)의 외판(13, 14)과 화물처리장치 (180)의 외판(183)이 격벽체(187)에 겸용되는 것이므로 클린룸(5)이 형성되어 있고, 이것에 의하면 격벽체(187)의 재료사용량을 감소할 수 있고 값싸게 구성할 수 있음과 아울러, 서로 보강할 수 있는 구성으로 할 수 있다. 또한, 이것은 격벽체 (187)에 의해서만 클린룸(5)이 형성된 구성이어도 좋고, 이 경우에 격벽체(187)에는, 화물출입부(148, 184)용 개구부가 형성된다.

상기 제1실시예에서는, 화물보관장치(10)와 화물처리장치(180) 사이에서 카세트(7)의 주고받음을 행하기 위하여, 천정측에서 자동주행방식의 화물반송수단 (191)이 설치되어 있지만, 화물반송수단으로서는, 마루측에서 자동주행가능한 대차형식이나, 마루측에서 수동주행가능한 대차형식 등이어도 좋다. 또한, 화물반송수단을 생략하여, 클린룸(5) 내에 있어서 수동조작에 의해 카세트(7)의 주고받음을 행하여도 좋다.

상기 각 실시예에서는, 이송수단(51)의 이송작용부(81)가 이송축심(52)의 둘레로 회전가능하게 설치된 형식이 나타내져 있지만, 이것은 이송수단(51)이 비회전의 형식 등이어도 좋다.

상기 제1실시예에서는, 이송수단(51)으로서, 회전체(70)를 이송축심(52)의 둘레에 회전가능하게 한 형식이 나타내져 있지만, 이것은 이송작용부(81)도 포함하여 이송수단(51)의 전체를, 가령 포스트체(55)의 부분에 위치되는 이송축심의 둘레에 회전가능하게 한 형식 등이어도 좋다.

상기 각 실시예에서는, 이송 원경로(53) 상에 고정선반(101)이 설치된 형식이 나타내져 있지만, 이것은 고정선반(101)이 생략된 형식 등이어도 좋다.

상기 제1실시예에서는, 이송수단(51)으로서, 그 이송작용부(81)를 카세트(7)의 바닥면에 작용시키는 형식이 나타내져 있지만, 이것은 카세트(7)의 측부나 상부로부터 측방에 돌출시킨 피걸림부에 하방으로부터 걸리게 하는 형식 등이어도 좋다.

상기 제1실시예에서는, 이송 원경로(53) 상의 복수개소에 고정선반(101)이 설치되어 있지만, 이것은 단수개소에 고정선반(101)이 설치된 형식이어도 좋다.

상기 각 실시예에서는, 고정선반(21)은 정역으로 회전가능하고, 최대로 180°의 회전이 행해지도록 구성되어 있지만, 이것은 정역의 회전이 180°이상에서 행해지는 형식이나, 회전이 일방향만으로 행해지는 형식 등이어도 좋다.

상기 제1실시예에서는, 고정선반(101)에 대한 이송수단(51)의 작업 중에, 회전선반(121)이 선행하여 준비되도록 구성되어 있지만, 이것은 고정선반(101)에 대한 이송수단(51)의 작업이 종료한 후에, 회전선반(21)이 준비되는 형식 등이어도 좋다.

상기 제1실시예에서는, 화물로서 카세트(7)가 나타내져 있지만, 이것은 다른 물품이어도 좋고, 또한 팰릿을 취급형식 등이어도 좋다.

상기 제1실시예에서는, 회전선반(21)으로부터 가장 떨어진 2개의 고정선반 (101)에 대응하여, 입고수단(111a)과 출고수단(11b)이 설치되어 있지만, 이것은 회전선반(21)에 접근한 고정선반(101)과 가장 떨어진 2개의 고정선반(101)에 대응하여, 입고수단(111a)과 출고수단(111b)이 설치된 형식이어도 좋다. 이 경우에는, 양측으로 나누어서 2조의 입고수단(111a)과 출고수단(111b)을 설치할 수도 있다.

상기 제1실시예에서는, 입고수단(111a)과 출고수단(111b)으로서 승강장치 (125)나 선회장치(135) 등으로 이루어지는 형식이 나타내져 있지만, 이것은 롤러 컨베이어를 사용한 형식, 승강가능한 벨트 컨베이어 등이 배치된 형식 등이어도 좋다.

상기 제1실시예에서는, 출고수단(111b)에 연속되는 상태에서 저장수단(151)이 배치된 형식이 나타내져 있지만, 이것은 입고수단(111a)측에도 저장수단이 배치된 형식, 저장수단(151)이 생략된 형식 등이어도 좋다.

본 발명의 화물취급설비는 화물보관장치와 화물처리장치 사이에 있어서의 화물의 이송을 클린룸을 이용하여 행하는 것이면서, 설비비나 운전비를 저감할 수 있는 특징으로 가지고 있다.

도 1은, 본 발명의 제1실시예를 나타내고, 화물취급설비의 사시도이다.

도 2는, 도 1의 화물취급설비의 평면도이다.

도 3은, 도 1의 화물취급설비에 있어서의 화물보관장치의 외관사시도이다.

도 4는, 도 1의 화물취급설비에 있어서의 화물보관장치의 종단 측면도이다.

도 5는, 도 1의 화물취급설비에 있어서의 화물보관장치의 횡단 측면도이다.

도 6은, 도 5의 화물보관장치에 있어서의 회전선반의 하부의 일부절결 측면도이다.

도 7은, 도 5의 화물보관장치에 있어서의 회전선반의 상부의 일부절결 측면도이다.

도 8은, 도 5의 화물보관장치에 있어서의 이송수단의 하부의 일부절결 측면도이다.

도 9는, 도 5의 화물보관장치에 있어서의 이송수단의 상부의 일부절결 측면도이다.

도 10은, 도 5의 화물보관장치에 있어서의 이송수단의 일부절결 평면도이다.

도 11은, 도 5의 화물보관장치에 있어서의 고정선반의 측면도이다.

도 12는, 도 5의 화물보관장치에 있어서의 고정선반의 평면도이다.

도 13은, 도 5의 화물보관장치에 있어서의 입출고수단부분의 개략 평면도이다.

도 14는, 도 5의 화물보관장치에 있어서의 입고수단부분의 일부절결 측면도이다.

도 15는, 도 5의 화물보관장치에 있어서의 출고수단으로부터의 저장수단부분의 일부절결 정면도이다.

도 16은, 도 5의 화물보관장치에 있어서의 저장수단부분의 일부절결 측면도이다.

도 17은, 본 발명의 제2~제4실시예를 나타내고, (a)는 제2실시예를 나타내는 개략 평면도, (b)는 제3실시예를 나타내는 개략 평면도, (c)는 제4실시예를 나타내는 개략 평면도이다.

도 18은, 본 발명의 제5, 제6실시예를 나타내고, (a)는 제5실시예를 나타내내는 개략 평면도, (b)는 제6실시예를 나타내는 개략 평면도이다.

Claims

화물보관장치와 화물처리장치가 설치되는 화물취급설비로서,

병설된 화물보관장치와 화물처리장치의 군을 따라 격벽체가 설치되고, 상기 격벽체에 의해 둘러싸여진 영역을 클린룸으로 하고,

화물보관장치와 화물처리장치의 화물출입부는, 상기 격벽체에 의해서 구획형성된 상기 클린룸에 면해서 설치되고, 화물보관장치와 화물처리장치 사이에서의 화물의 주고받음이, 클린룸 내에서 행해지도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 화물취급설비.
화물보관장치와 화물처리장치가 설치되는 화물취급설비로서,

병설된 화물보관장치와 화물처리장치의 군의 외판 사이에 격벽체가 설치되고, 상기 외판과 격벽체에 의해 둘러싸여진 영역을 클린룸으로 하고,

화물보관장치와 화물처리장치의 화물출입부는, 상기 양자의 외판에 형성되며, 화물보관장치와 화물처리장치와의 사이에서의 화물의 주고받음이 클린룸 내에서 행해지도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 화물취급설비.
화물보관장치와 화물처리장치가 설치되는 화물취급설비로서,

상기 화물보관장치와 화물처리장치는 각각 별개로 이루어지고, 또한 복수의 상기 화물보관장치와 화물처리장치가 클린룸을 따라 배치되며,

상기 화물보관장치와 화물처리장치의 화물출입부는, 격벽체에 의해 구획형성된 클린룸에 면해서 설치되어, 화물보관장치와 화물처리장치의 사이에서의 화물의 주고받음이, 클린룸 내에서 행해지도록 구성되는 것을 특징으로 하는 화물취급설비.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

클린룸내에는, 천정측의 레일장치에 지지안내되는 이동체가 자동주행하고, 상기 이동체에 의해 화물보관장치와 화물처리장치의 사이에서 화물의 주고받음을 행하는 화물반송수단이 구비되는 것을 특징으로 하는 화물취급설비.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

클린룸내의 마루를 대차가 주행하고, 상기 대차에 의해 화물보관장치와 화물처리장치와의 사이에서 화물의 주고받음을 행하는 화물반송수단이 구비되는 것을 특징으로 하는 화물취급설비.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

화물보관장치의 입고수단 또는 출고수단은, 본체에 일체형상으로 저장수단의 본체가 설치되어 평면상 L자형상으로서 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 화물취급설비.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

화물보관장치는, 회전선반과, 고정선반과, 이들 선반 사이에서 화물을 주고받을 수 있는 이송수단과, 이 이송수단에 의해 화물을 주고받을 수 있는 입출고수단을 갖고, 입출고수단의 외단이, 화물출입부로서 클린룸 내에 위치되어 있는 것을 특징으로 하는 화물취급설비.
제7항에 있어서,

회전선반은, 종방향의 회전선반 축심의 둘레로 회전가능하게 구성됨과 아울러, 상기 회전선반 축심을 중심으로 한 회전 원경로 상에 복수의 화물수용부가 설치되고, 이송수단은 상기 회전선반의 측외방에 위치되고, 이송작용부가 상기 회전선반 축심에 평행형상의 이송축심의 둘레로 회전가능하게 설치됨과 아울러, 이송작용부는 회전선반 축심을 중심으로 한 회전 원경로와 이송축심을 중심으로 한 이송 원경로가 접선형상으로 겹쳐지는 부분에서, 회전선반과 이송작용부의 사이에 화물의 주고받음 작업이 자유자재로 행해지도록 구성되고, 상기 이송 원경로 상에 화물지지부를 갖는 고정선반이 설치되고, 상기 화물수용부와 화물지지부는 각각 상하 복수단으로 설치됨과 아울러, 상기 회전선반과 고정선반의 적어도 한쪽에는 상기 화물수용부나 화물지지부를 부분적으로 설치하지 않은 공간부분을 형성하고, 이 공간부분을 이용하여 입출고수단이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 화물취급설비.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

화물이 피처리물을 수납가능한 카세트인 것을 특징으로 하는 화물취급설비.