JP2001284432A - 生産ラインの搬送システム - Google Patents
生産ラインの搬送システムInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 キャリア移載の調整作業を処理装置側で行う
ことにより、該調整作業が容易な直接搬送を実施するこ
とができる生産ラインの搬送システムを提供すること。 【解決手段】 生産ラインの複数の処理装置の間で、キ
ャリアの搬送を搬送台車により行う生産ラインの搬送シ
ステムにおいて、処理装置１と搬送台車３の間でキャリ
ア２の移載を行うキャリア移載機８を処理装置１に配設
し、ベイ内から他のベイ内への搬送を搬送台車３により
直接行うようにする。
ことにより、該調整作業が容易な直接搬送を実施するこ
とができる生産ラインの搬送システムを提供すること。 【解決手段】 生産ラインの複数の処理装置の間で、キ
ャリアの搬送を搬送台車により行う生産ラインの搬送シ
ステムにおいて、処理装置１と搬送台車３の間でキャリ
ア２の移載を行うキャリア移載機８を処理装置１に配設
し、ベイ内から他のベイ内への搬送を搬送台車３により
直接行うようにする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、搬送台車による生
産ラインの搬送システムに関し、特に、半導体や液晶等
の生産ラインにおいて、ベイ間とベイ内の搬送軌道を共
有させ、ベイ内から他のベイ内への搬送を直接行うよう
にした生産ラインの搬送システムに関するものである。
産ラインの搬送システムに関し、特に、半導体や液晶等
の生産ラインにおいて、ベイ間とベイ内の搬送軌道を共
有させ、ベイ内から他のベイ内への搬送を直接行うよう
にした生産ラインの搬送システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体の生産ラインでは、プロ
セス工程間のキャリアの搬送は、ストッカを介して、ベ
イ間搬送とベイ内搬送とに区分して搬送をするようにな
っている。ストッカは、これらベイ間搬送とベイ内搬送
の２種類の搬送台車の乗継ぎ機能のほか、各工程間の仕
掛品の保管機能を有している。
セス工程間のキャリアの搬送は、ストッカを介して、ベ
イ間搬送とベイ内搬送とに区分して搬送をするようにな
っている。ストッカは、これらベイ間搬送とベイ内搬送
の２種類の搬送台車の乗継ぎ機能のほか、各工程間の仕
掛品の保管機能を有している。
【０００３】一方、ウエハー処理装置は、以下の問題を
有している。 （１）ウエハー処理装置の正確な据付けは難しく、レイ
アウトに対する位置寸法には誤差を有し、この位置ずれ
は各々のウエハー処理装置で異なる。 （２）ウエハー処理装置のメンテナンス作業において
も、位置ずれが生ずることがあり、しかもその位置ずれ
は毎回異なる。 したがって、この位置ずれにフレキシブルに対応させる
ためのキャリア移載機が必要であり、一般的には、キャ
リア移載機を搭載したアクティブ型搬送台車を適用する
ことによって対処している。
有している。 （１）ウエハー処理装置の正確な据付けは難しく、レイ
アウトに対する位置寸法には誤差を有し、この位置ずれ
は各々のウエハー処理装置で異なる。 （２）ウエハー処理装置のメンテナンス作業において
も、位置ずれが生ずることがあり、しかもその位置ずれ
は毎回異なる。 したがって、この位置ずれにフレキシブルに対応させる
ためのキャリア移載機が必要であり、一般的には、キャ
リア移載機を搭載したアクティブ型搬送台車を適用する
ことによって対処している。
【０００４】このような理由により、従来の半導体ウエ
ハーの搬送は、ストッカを介した間接的な搬送方法とな
り、キャリア移載機を有さないパッシブ型搬送台車によ
るベイ間搬送と、キャリア移載機を有するアクティブ型
搬送台車によるベイ内搬送とにより構成される。
ハーの搬送は、ストッカを介した間接的な搬送方法とな
り、キャリア移載機を有さないパッシブ型搬送台車によ
るベイ間搬送と、キャリア移載機を有するアクティブ型
搬送台車によるベイ内搬送とにより構成される。
【０００５】ところで、昨今、半導体の生産ラインで
は、製品の工期短縮のニーズが高まっている。その対応
策として、各プロセスの処理時間を見直して各工程処理
時間の均一化を図るなどの施策を行い、仕掛品を削減す
ることにより、工期の短縮が図られている。このような
環境が整備されると、ストッカが不要になり、従来のス
トッカを介した搬送システムではなく、次工程のウエハ
ー処理装置へ直接キャリアを搬送する直接搬送の導入が
可能となる。この直接搬送では、ストッカでの乗継ぎ時
間を削減することができ、製品の工期短縮を図ることが
できる。
は、製品の工期短縮のニーズが高まっている。その対応
策として、各プロセスの処理時間を見直して各工程処理
時間の均一化を図るなどの施策を行い、仕掛品を削減す
ることにより、工期の短縮が図られている。このような
環境が整備されると、ストッカが不要になり、従来のス
トッカを介した搬送システムではなく、次工程のウエハ
ー処理装置へ直接キャリアを搬送する直接搬送の導入が
可能となる。この直接搬送では、ストッカでの乗継ぎ時
間を削減することができ、製品の工期短縮を図ることが
できる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】一方、このような直接
搬送を実現させるためには、従来のベイ間・ベイ内の２
種類の搬送を一元化する必要があり、その場合は、搬送
台車の軌道を共有させ、搬送台車を１種類としなければ
ならない。なお、直接搬送に用いる搬送台車としては、
アクティブ型搬送台車のＯＨＴ（Overhead Hoist Trans
port）が一般的である。
搬送を実現させるためには、従来のベイ間・ベイ内の２
種類の搬送を一元化する必要があり、その場合は、搬送
台車の軌道を共有させ、搬送台車を１種類としなければ
ならない。なお、直接搬送に用いる搬送台車としては、
アクティブ型搬送台車のＯＨＴ（Overhead Hoist Trans
port）が一般的である。
【０００７】しかしながら、アクティブ型搬送台車を直
接搬送に適用する場合には、以下の問題がある。 （１）搬送台車とウエハー処理装置のロードポートとの
間でキャリアの移載を行うためには、搬送台車上のキャ
リア移載機は、ロードポートとのティーチングなどの調
整作業が必要である。この作業は、従来の搬送システム
の場合は、ベイ内搬送系だけでクローズしており、ベイ
内のウエハー処理装置を調整作業の対象とするだけであ
る。しかし、直接搬送の場合は、生産ライン内の全ウエ
ハー処理装置のロードポートと全搬送台車のキャリア移
載機との調整作業が必要であり、搬送システムの立上げ
に多大な時間を要する。 （２）一つのウエハー処理装置のメンテナンスにより、
そのロードポートが位置ずれした場合、上記同様、全搬
送台車のキャリア移載機の調整作業が必要であり、復旧
に多大な時間を要する。
接搬送に適用する場合には、以下の問題がある。 （１）搬送台車とウエハー処理装置のロードポートとの
間でキャリアの移載を行うためには、搬送台車上のキャ
リア移載機は、ロードポートとのティーチングなどの調
整作業が必要である。この作業は、従来の搬送システム
の場合は、ベイ内搬送系だけでクローズしており、ベイ
内のウエハー処理装置を調整作業の対象とするだけであ
る。しかし、直接搬送の場合は、生産ライン内の全ウエ
ハー処理装置のロードポートと全搬送台車のキャリア移
載機との調整作業が必要であり、搬送システムの立上げ
に多大な時間を要する。 （２）一つのウエハー処理装置のメンテナンスにより、
そのロードポートが位置ずれした場合、上記同様、全搬
送台車のキャリア移載機の調整作業が必要であり、復旧
に多大な時間を要する。
【０００８】本発明は、上記従来の生産ラインの搬送シ
ステムの有する問題点に鑑み、キャリア移載の調整作業
を処理装置側で行うことにより、該調整作業が容易な直
接搬送を実施することができる生産ラインの搬送システ
ムを提供することを目的とする。
ステムの有する問題点に鑑み、キャリア移載の調整作業
を処理装置側で行うことにより、該調整作業が容易な直
接搬送を実施することができる生産ラインの搬送システ
ムを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本第１発明の生産ラインの搬送システムは、生産ラ
インの複数の処理装置の間で、キャリアの搬送を搬送台
車により行う生産ラインの搬送システムにおいて、処理
装置と搬送台車の間でキャリアの移載を行うキャリア移
載機を処理装置に配設し、ベイ内から他のベイ内への搬
送を前記搬送台車により直接行うようにしたことを特徴
とする。
め、本第１発明の生産ラインの搬送システムは、生産ラ
インの複数の処理装置の間で、キャリアの搬送を搬送台
車により行う生産ラインの搬送システムにおいて、処理
装置と搬送台車の間でキャリアの移載を行うキャリア移
載機を処理装置に配設し、ベイ内から他のベイ内への搬
送を前記搬送台車により直接行うようにしたことを特徴
とする。
【００１０】この生産ラインの搬送システムでは、キャ
リア移載機を処理装置側に配設したことから、キャリア
移載の調整作業は１台の搬送台車との調整を行えば、他
の搬送台車との調整は不要となり、これにより、処理装
置の位置ずれに対するキャリア移載の調整作業が極めて
容易で、さらに搬送システムの立上げ時間も短い直接搬
送を実施することができる。さらに、この直接搬送の実
施によって、生産ラインの工程短縮を図ることができ
る。
リア移載機を処理装置側に配設したことから、キャリア
移載の調整作業は１台の搬送台車との調整を行えば、他
の搬送台車との調整は不要となり、これにより、処理装
置の位置ずれに対するキャリア移載の調整作業が極めて
容易で、さらに搬送システムの立上げ時間も短い直接搬
送を実施することができる。さらに、この直接搬送の実
施によって、生産ラインの工程短縮を図ることができ
る。
【００１１】この場合において、搬送台車として、キャ
リア移載機を有さないパッシブ型搬送台車を用いること
ができる。
リア移載機を有さないパッシブ型搬送台車を用いること
ができる。
【００１２】パッシブ型搬送台車の停止精度のバラツキ
は非常に小さく、これにより、搬送台車の停止位置を安
定させ、位置調整機構による調整作業をより容易にする
ことができる。
は非常に小さく、これにより、搬送台車の停止位置を安
定させ、位置調整機構による調整作業をより容易にする
ことができる。
【００１３】また、本第２発明の生産ラインの搬送シス
テムは、生産ラインの複数の処理装置の間で、キャリア
の搬送を搬送台車により行う生産ラインの搬送システム
において、処理装置と搬送台車の間でキャリアの移載を
行うキャリア移載機を搬送台車に配設するとともに、前
記処理装置に、処理装置の位置ずれに対応してキャリア
を移動させる位置調整機構を配設し、ベイ内から他のベ
イ内への搬送を前記搬送台車により直接行うようにした
ことを特徴とする。
テムは、生産ラインの複数の処理装置の間で、キャリア
の搬送を搬送台車により行う生産ラインの搬送システム
において、処理装置と搬送台車の間でキャリアの移載を
行うキャリア移載機を搬送台車に配設するとともに、前
記処理装置に、処理装置の位置ずれに対応してキャリア
を移動させる位置調整機構を配設し、ベイ内から他のベ
イ内への搬送を前記搬送台車により直接行うようにした
ことを特徴とする。
【００１４】この生産ラインの搬送システムでは、位置
ずれに対応してキャリアを移動させる位置調整機構を処
理装置側に配設したことから、キャリア移載の調整作業
は１台の搬送台車との調整を行えば、他の搬送台車との
調整は不要となり、これにより、処理装置の位置ずれに
対するキャリア移載の調整作業が極めて容易で、さらに
搬送システムの立上げ時間も短い直接搬送を実施するこ
とができる。さらに、この直接搬送の実施によって、生
産ラインの工程短縮を図ることができる。
ずれに対応してキャリアを移動させる位置調整機構を処
理装置側に配設したことから、キャリア移載の調整作業
は１台の搬送台車との調整を行えば、他の搬送台車との
調整は不要となり、これにより、処理装置の位置ずれに
対するキャリア移載の調整作業が極めて容易で、さらに
搬送システムの立上げ時間も短い直接搬送を実施するこ
とができる。さらに、この直接搬送の実施によって、生
産ラインの工程短縮を図ることができる。
【００１５】また、上記本第１、第２各発明において、
搬送台車の搬送路を、設置軌道で一元化することができ
る。
搬送台車の搬送路を、設置軌道で一元化することができ
る。
【００１６】これにより、搬送台車の走行位置を安定さ
せ、位置調整機構による調整作業をより容易にすること
ができる。
せ、位置調整機構による調整作業をより容易にすること
ができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の生産ラインの搬送
システムの実施の形態を図面に基づいて説明する。
システムの実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１８】図１に、本発明の生産ラインの搬送システ
ムの第１実施例を示す。この搬送システムでは、例え
ば、半導体の生産ラインにおいて、複数のウエハー処理
装置１の間で、ウエハーケースであるキャリア２の搬送
を搬送台車３により行う。
ムの第１実施例を示す。この搬送システムでは、例え
ば、半導体の生産ラインにおいて、複数のウエハー処理
装置１の間で、ウエハーケースであるキャリア２の搬送
を搬送台車３により行う。
【００１９】各ウエハー処理装置１は、ウエハーのプロ
セス処理を行う処理部４と、ＥＦＥＭ（Equipment Fron
t-End Module）部５とからなる。ＥＦＥＭ部５は、処理
部４と搬送台車３の間のキャリア２の受け渡し場所とな
るロードポート６と、ＦＯＵＰキャリアオープナー（図
示省略）と、ロードポート６上のキャリア２と処理部４
の間でウエハーの受け渡しを行うウエハー移載機７とを
備えている。
セス処理を行う処理部４と、ＥＦＥＭ（Equipment Fron
t-End Module）部５とからなる。ＥＦＥＭ部５は、処理
部４と搬送台車３の間のキャリア２の受け渡し場所とな
るロードポート６と、ＦＯＵＰキャリアオープナー（図
示省略）と、ロードポート６上のキャリア２と処理部４
の間でウエハーの受け渡しを行うウエハー移載機７とを
備えている。
【００２０】そして、本実施例では、ウエハー処理装置
１に、搬送台車３とロードポート６の間でキャリア２の
移載を行うキャリア移載機８を配設し、ベイ内搬送はも
とより、ベイ内から他のベイ内への搬送を１種類の搬送
台車３により直接行うようにしている。
１に、搬送台車３とロードポート６の間でキャリア２の
移載を行うキャリア移載機８を配設し、ベイ内搬送はも
とより、ベイ内から他のベイ内への搬送を１種類の搬送
台車３により直接行うようにしている。
【００２１】ウエハー処理装置１のキャリア移載機８
は、ウエハー処理装置１の位置ずれに対応して、搬送台
車３とロードポート６との間のキャリア移載の調整作業
を行うことができる。また、搬送台車３は、キャリア移
載機を有さないパッシブ型搬送台車からなり、床上に設
置された、従来のベイ間搬送軌道とベイ内搬送軌道を共
有するように走行することができる。
は、ウエハー処理装置１の位置ずれに対応して、搬送台
車３とロードポート６との間のキャリア移載の調整作業
を行うことができる。また、搬送台車３は、キャリア移
載機を有さないパッシブ型搬送台車からなり、床上に設
置された、従来のベイ間搬送軌道とベイ内搬送軌道を共
有するように走行することができる。
【００２２】すなわち、この第１実施例の搬送システム
では、図１に示すように、ウエハー処理装置１Ａに位置
ずれθが生じた場合、その位置ずれθの調整は、処理装
置１Ａのキャリア移載機８で行うことになる。一方、パ
ッシブ型搬送台車３は、従来のベイ間搬送に活用してい
る台車であり、各搬送台車の停止精度のバラツキは非常
に小さい。したがって、処理装置１Ａでの位置ずれθの
調整を行う場合、１台の搬送台車３Ｘとの調整を行え
ば、他の搬送台車３との調整は不要となる。
では、図１に示すように、ウエハー処理装置１Ａに位置
ずれθが生じた場合、その位置ずれθの調整は、処理装
置１Ａのキャリア移載機８で行うことになる。一方、パ
ッシブ型搬送台車３は、従来のベイ間搬送に活用してい
る台車であり、各搬送台車の停止精度のバラツキは非常
に小さい。したがって、処理装置１Ａでの位置ずれθの
調整を行う場合、１台の搬送台車３Ｘとの調整を行え
ば、他の搬送台車３との調整は不要となる。
【００２３】次に、図２に、本発明の生産ラインの搬送
システムの第２実施例を示す。この第２実施例の搬送シ
ステムでは、ウエハー処理装置１１と搬送台車１０の間
でキャリア２の移載を行うキャリア移載機１２を搬送台
車１０に配設するとともに、前記ウエハー処理装置１１
に、該処理装置１１の位置ずれに対応してキャリアを移
動させる位置調整機構９を配設し、ベイ内から他のベイ
内への搬送を前記搬送台車により直接行うようにしてい
る。なお、同図において、第１実施例と同一部材は同一
符号を記すことにより、その説明を省略する。
システムの第２実施例を示す。この第２実施例の搬送シ
ステムでは、ウエハー処理装置１１と搬送台車１０の間
でキャリア２の移載を行うキャリア移載機１２を搬送台
車１０に配設するとともに、前記ウエハー処理装置１１
に、該処理装置１１の位置ずれに対応してキャリアを移
動させる位置調整機構９を配設し、ベイ内から他のベイ
内への搬送を前記搬送台車により直接行うようにしてい
る。なお、同図において、第１実施例と同一部材は同一
符号を記すことにより、その説明を省略する。
【００２４】ウエハー処理装置１１の位置調整機構９
は、ウエハー処理装置１１の位置ずれに対応して、例え
ば、キャリア２を載置した状態で所要角度回転したり、
キャリア２を水平方向に所要距離送ったりすることによ
り、搬送台車１０とロードポートとの間のキャリア移載
の調整作業を行うことができる。また、搬送台車１０
は、キャリア移載機１２を有するアクティブ型搬送台車
からなり、従来のベイ間搬送軌道とベイ内搬送軌道を共
有するように走行することができる。
は、ウエハー処理装置１１の位置ずれに対応して、例え
ば、キャリア２を載置した状態で所要角度回転したり、
キャリア２を水平方向に所要距離送ったりすることによ
り、搬送台車１０とロードポートとの間のキャリア移載
の調整作業を行うことができる。また、搬送台車１０
は、キャリア移載機１２を有するアクティブ型搬送台車
からなり、従来のベイ間搬送軌道とベイ内搬送軌道を共
有するように走行することができる。
【００２５】すなわち、この第２実施例の搬送システム
では、図２に示すように、ウエハー処理装置１１Ａに位
置ずれθが生じた場合、その位置ずれθの調整は、処理
装置１１Ａの位置調整機構９で行うことになる。したが
って、処理装置１１Ａでの位置ずれθの調整を行う場
合、１台の搬送台車１０Ｘとの調整を行えば、他の搬送
台車１０との調整は不要となる。
では、図２に示すように、ウエハー処理装置１１Ａに位
置ずれθが生じた場合、その位置ずれθの調整は、処理
装置１１Ａの位置調整機構９で行うことになる。したが
って、処理装置１１Ａでの位置ずれθの調整を行う場
合、１台の搬送台車１０Ｘとの調整を行えば、他の搬送
台車１０との調整は不要となる。
【００２６】これに対し、図３に示す従来の搬送システ
ムでは、ウエハー処理装置１８での処理を完了したキャ
リア２を、キャリア移載機１３を有したアクティブ型の
ベイ内搬送台車１４によりストッカ１５に搬送する。ス
トッカ１５は、クレーン（図示省略）を用いてキャリア
２の保管を行う。また、ストッカ１５のキャリア移載機
１６によりパッシブ型のベイ間搬送台車１７にキャリア
２を受渡す。このように、従来の搬送システムでは、２
種類の軌道系と２種類の搬送台車１４、１７を用いて、
キャリアの搬送を実行する。
ムでは、ウエハー処理装置１８での処理を完了したキャ
リア２を、キャリア移載機１３を有したアクティブ型の
ベイ内搬送台車１４によりストッカ１５に搬送する。ス
トッカ１５は、クレーン（図示省略）を用いてキャリア
２の保管を行う。また、ストッカ１５のキャリア移載機
１６によりパッシブ型のベイ間搬送台車１７にキャリア
２を受渡す。このように、従来の搬送システムでは、２
種類の軌道系と２種類の搬送台車１４、１７を用いて、
キャリアの搬送を実行する。
【００２７】また、図４は、アクティブ型搬送台車１４
を用いた直接搬送の搬送システムであり、一般的にはＯ
ＨＴを用いて構成される。ウエハー処理装置１８での処
理を完了したキャリア２を、アクティブ型の搬送台車１
４により、ストッカを介さずに次工程のウエハー処理装
置１８まで搬送する。ここで、ウエハー処理装置１８Ａ
が何らかの状況により、その設置位置について、位置ず
れθが生じたものとする。この場合、図３のようなスト
ッカを介した搬送システムでは、処理装置１８Ａに関与
する搬送台車は１ないし２台であるため、搬送台車側で
位置ずれθの調整作業を行っても、作業量はさほど大き
くはならない。しかし、この図４のような直接搬送で
は、共有された軌道系の全ての搬送台車１４が処理装置
１８Ａと関与することから、全ての搬送台車１４側で位
置ずれθの調整作業を行う必要がある。
を用いた直接搬送の搬送システムであり、一般的にはＯ
ＨＴを用いて構成される。ウエハー処理装置１８での処
理を完了したキャリア２を、アクティブ型の搬送台車１
４により、ストッカを介さずに次工程のウエハー処理装
置１８まで搬送する。ここで、ウエハー処理装置１８Ａ
が何らかの状況により、その設置位置について、位置ず
れθが生じたものとする。この場合、図３のようなスト
ッカを介した搬送システムでは、処理装置１８Ａに関与
する搬送台車は１ないし２台であるため、搬送台車側で
位置ずれθの調整作業を行っても、作業量はさほど大き
くはならない。しかし、この図４のような直接搬送で
は、共有された軌道系の全ての搬送台車１４が処理装置
１８Ａと関与することから、全ての搬送台車１４側で位
置ずれθの調整作業を行う必要がある。
【００２８】以上、本発明の実施例を説明したが、ウエ
ハー処理装置が有するキャリア移載機は、昇降機能を有
することも可能である。これにより、搬送台車が天井設
置での軌道を共有することができる。また、床上設置の
軌道を共有することも可能である。さらに、キャリアの
搬送状況やプロセス処理状況の変動吸収を目的として、
ウエハー処理装置にキャリアのストック機能を設けるこ
とも可能である。
ハー処理装置が有するキャリア移載機は、昇降機能を有
することも可能である。これにより、搬送台車が天井設
置での軌道を共有することができる。また、床上設置の
軌道を共有することも可能である。さらに、キャリアの
搬送状況やプロセス処理状況の変動吸収を目的として、
ウエハー処理装置にキャリアのストック機能を設けるこ
とも可能である。
【００２９】
【発明の効果】本第１発明の生産ラインの搬送システム
によれば、キャリア移載機を処理装置側に配設したこと
から、キャリア移載の調整作業は１台の搬送台車との調
整を行えば、他の搬送台車との調整は不要となり、これ
により、処理装置の位置ずれに対するキャリア移載の調
整作業が極めて容易で、さらに搬送システムの立上げ時
間も短い直接搬送を実施することができ、さらに、この
直接搬送の実施によって、生産ラインの工程短縮を図る
ことができる。
によれば、キャリア移載機を処理装置側に配設したこと
から、キャリア移載の調整作業は１台の搬送台車との調
整を行えば、他の搬送台車との調整は不要となり、これ
により、処理装置の位置ずれに対するキャリア移載の調
整作業が極めて容易で、さらに搬送システムの立上げ時
間も短い直接搬送を実施することができ、さらに、この
直接搬送の実施によって、生産ラインの工程短縮を図る
ことができる。
【００３０】また、搬送台車として、キャリア移載機を
有さないパッシブ型搬送台車を用いることにより、搬送
台車の停止精度のバラツキを非常に小さすることがで
き、これにより、搬送台車の停止位置を安定させ、位置
調整機構による調整作業をより容易にすることができ
る。
有さないパッシブ型搬送台車を用いることにより、搬送
台車の停止精度のバラツキを非常に小さすることがで
き、これにより、搬送台車の停止位置を安定させ、位置
調整機構による調整作業をより容易にすることができ
る。
【００３１】さらに、本第２発明の生産ラインの搬送シ
ステムによれば、位置ずれに対応してキャリアを移動さ
せる位置調整機構を処理装置側に配設したことから、キ
ャリア移載の調整作業は１台の搬送台車との調整を行え
ば、他の搬送台車との調整は不要となり、これにより、
処理装置の位置ずれに対するキャリア移載の調整作業が
極めて容易で、さらに搬送システムの立上げ時間も短い
直接搬送を実施することができ、さらに、この直接搬送
の実施によって、生産ラインの工程短縮を図ることがで
きる。
ステムによれば、位置ずれに対応してキャリアを移動さ
せる位置調整機構を処理装置側に配設したことから、キ
ャリア移載の調整作業は１台の搬送台車との調整を行え
ば、他の搬送台車との調整は不要となり、これにより、
処理装置の位置ずれに対するキャリア移載の調整作業が
極めて容易で、さらに搬送システムの立上げ時間も短い
直接搬送を実施することができ、さらに、この直接搬送
の実施によって、生産ラインの工程短縮を図ることがで
きる。
【００３２】そして、本第１、第２各発明において、搬
送台車の搬送路を、設置軌道で一元化することにより、
搬送台車の走行位置を安定させ、位置調整機構による調
整作業をより容易にすることができる。
送台車の搬送路を、設置軌道で一元化することにより、
搬送台車の走行位置を安定させ、位置調整機構による調
整作業をより容易にすることができる。
【図１】本発明の生産ラインの搬送システムの第１実施
例を示す平面図である。
例を示す平面図である。
【図２】本発明の生産ラインの搬送システムの第２実施
例を示す平面図である。
例を示す平面図である。
【図３】従来のベイ間搬送とベイ内搬送による生産ライ
ンの搬送システムを示す平面図である。
ンの搬送システムを示す平面図である。
【図４】従来の直接搬送による生産ラインの搬送システ
ムを示す平面図である。
ムを示す平面図である。
１ ウエハー処理装置（処理装置） ２ キャリア ３ 搬送台車 ４ 処理部 ５ ＥＦＥＭ部 ６ ロードポート ７ ウエハー移載機 ８ キャリア移載機 ９ 位置調整機構 １０ 搬送台車 １１ ウエハー処理装置（処理装置） １２ キャリア移載機
Claims (4)
- 【請求項１】 生産ラインの複数の処理装置の間で、キ
ャリアの搬送を搬送台車により行う生産ラインの搬送シ
ステムにおいて、処理装置と搬送台車の間でキャリアの
移載を行うキャリア移載機を処理装置に配設し、ベイ内
から他のベイ内への搬送を前記搬送台車により直接行う
ようにしたことを特徴とする生産ラインの搬送システ
ム。 - 【請求項２】 搬送台車として、キャリア移載機を有さ
ないパッシブ型搬送台車を用いることを特徴とする請求
項１記載の生産ラインの搬送システム。 - 【請求項３】 生産ラインの複数の処理装置の間で、キ
ャリアの搬送を搬送台車により行う生産ラインの搬送シ
ステムにおいて、処理装置と搬送台車の間でキャリアの
移載を行うキャリア移載機を搬送台車に配設するととも
に、前記処理装置に、処理装置の位置ずれに対応してキ
ャリアを移動させる位置調整機構を配設し、ベイ内から
他のベイ内への搬送を前記搬送台車により直接行うよう
にしたことを特徴とする生産ラインの搬送システム。 - 【請求項４】 搬送台車の搬送路を、設置軌道で一元化
したことを特徴とする請求項１、２又は３記載の生産ラ
インの搬送システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000102140A JP2001284432A (ja) | 2000-04-04 | 2000-04-04 | 生産ラインの搬送システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000102140A JP2001284432A (ja) | 2000-04-04 | 2000-04-04 | 生産ラインの搬送システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001284432A true JP2001284432A (ja) | 2001-10-12 |
Family
ID=18616075
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000102140A Pending JP2001284432A (ja) | 2000-04-04 | 2000-04-04 | 生産ラインの搬送システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001284432A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110562695A (zh) * | 2019-09-17 | 2019-12-13 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示面板的生产系统 |
| EP3114018B1 (de) | 2014-03-06 | 2021-04-21 | KUKA Systems GmbH | Fertigungsanlage, transportsystem und verfahren |
-
2000
- 2000-04-04 JP JP2000102140A patent/JP2001284432A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3114018B1 (de) | 2014-03-06 | 2021-04-21 | KUKA Systems GmbH | Fertigungsanlage, transportsystem und verfahren |
| CN110562695A (zh) * | 2019-09-17 | 2019-12-13 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示面板的生产系统 |
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