JP5019340B2 - 天井搬送車の軌道構造 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、相隣接する各壁面の直角コーナ部において、天井搬送車の走行方向を直角に曲げて変更させるための軌道構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
本明細書では、半導体製造のためのクリーンルームにおける天井軌道構造について説明する。最初に、クリーンルームについて説明する。図４に示されるように、クリーンルームにおける幅方向のほぼ中央部には、その長手方向に沿って中央通路（工程間搬送空間Ｂ0 ）が設けられている。そして、その天井には、該工程間搬送空間Ｂ0 を周回走行する形態で工程間搬送軌道５１が敷設されていて、多数台の天井搬送車Ｖ0 が連なって走行して、ウェハキャリア５２の搬送が行われる。この作用は、「工程間搬送」と称されている。
【０００３】
また、前記工程間搬送空間Ｂ0 の幅方向の両側には、前記工程間搬送空間Ｂ0 の長手方向にほぼ直交する形態で、「ベイ」と称される複数本の側方通路（図４に記載のクリーンルームの場合、１０本の工程内搬送空間Ｂ1 〜Ｂ10）が、一定の間隔をおいて設置されている。これらの工程内搬送空間Ｂ1 〜Ｂ10の天井にも、上記した工程間搬送空間Ｂ0 の場合と同様に工程内搬送軌道５３，５４が敷設されていて、複数台の天井搬送車Ｖ1,Ｖ2 が連なって走行して、ウェハキャリア５２の搬送が行われる。この作用は、「工程内搬送」と称されている。前記工程内搬送空間Ｂ1 〜Ｂ10のうちの２つの工程内搬送空間Ｂ1,Ｂ9 における幅方向の片側、或いは両側には、各ストッカＳ1,Ｓ2 と多数基の処理装置Ｔが設置されている。工程内搬送空間Ｂ1 の天井搬送車Ｖ1 によって処理装置Ｔ1 から搬送されたウェハキャリア５２は、各ストッカＳ1,Ｓ2 を介し、工程内搬送空間Ｂ9 の天井搬送車Ｖ2 により、処理装置Ｔ2 に収容される。なお、クリーンルームにおいて、工程間搬送空間Ｂ0 の幅Ｗ0 は比較的広いが、各工程内搬送空間Ｂ1 〜Ｂ10の幅Ｗ1 は狭い。
【０００４】
上記した天井搬送を、更に説明すると、処理装置Ｔ1 で処理済みのウェハキャリア５２は、工程内搬送軌道５３を走行する天井搬送車Ｖ1 に移載される。該天井搬送車Ｖ1 が走行し、該ウェハキャリア５２を工程間搬送空間Ｂ0 に面して設置された第１ストッカＳ1 にいったん収容させる。そして、この第１ストッカＳ1 から、工程間搬送軌道５１を走行する天井搬送車Ｖ0 にウェハキャリア５２が移載される。該天井搬送車Ｖ0 が走行し、前記ウェハキャリア５２を、工程間搬送空間Ｂ0 に面して設置された第２ストッカＳ2 にいったん収容させる。そして、該ウェハキャリア５２は、工程内搬送軌道５４を走行する天井搬送車Ｖ2 に移載される。該天井搬送車Ｖ2 が走行し、処理装置Ｔ2 に搬入させる。
【０００５】
図５に示されるように、各軌道５１，５３，５４を連続状態で接続させて、工程間搬送空間Ｂ0 から各工程内搬送空間Ｂ1,Ｂ9 に前記天井搬送車Ｖ0 を直接進入させるということが想定される。こうすることにより、ウェハキャリア５２を各ストッカＳ1,Ｓ2 を介することなく、直接搬送することができる。この場合、天井搬送車Ｖ0 は、各ストッカＳ1,Ｓ2 のコーナ部を直角に曲がって走行する。該天井搬送車Ｖ0 が、第２ストッカＳ2 のコーナ部５５を直角に曲がって走行するときの作用について、更に詳細に説明する。
【０００６】
図６に示されるように、ウェハキャリア５２が、天井搬送車Ｖ0 と第２ストッカＳ2 との間で移載されるときの両者の間隔Ｌは規定されていて、約２００ｍｍである。このため、第２ストッカＳ2 の第１壁面部５６（工程間搬送空間Ｂ0 側の壁面部）から間隔Ｌだけ離した第１直線路Ｊ1 と、前記第１壁面部５６と直交する第２壁面部５７（工程内搬送空間Ｂ9 側の壁面部）から間隔Ｌだけ離した第２直線路Ｊ2 とを、天井搬送車Ｖ0 が走行可能な最小曲率半径Ｒで、その中心角が９０°の円弧状の曲線路Ｋで接続すると、天井搬送車Ｖ0 と第２ストッカＳ2 のコーナ部５５とが干渉するおそれがある。これを防止するためには、第２ストッカＳ2 のコーナ部５５を切り欠いて、切欠部５８を設けなければならない。
【０００７】
上記した不具合を避けるためには、図７に示されるように、前記第２直線路Ｊ2 を、第２ストッカＳ2 の第２壁面部５７から、天井搬送車Ｖ0 が走行可能な最小曲率半径Ｒだけ離した位置に設置し、前記第１直線路Ｊ1 と第２直線路Ｊ2'とを、中心角９０°の曲線路Ｋ’で接続しなければならない。すると、工程内搬送空間Ｂ9 において、曲げ走行後の天井搬送車Ｖ0 と第２ストッカＳ2 との間隔Ｌが離れすぎてしまう。この結果、次に示す不具合が発生する。（１）天井搬送車Ｖ0 と第２壁面部５７との間隔Ｌが大きくなり過ぎて、ウェハキャリア５２の移載をスムーズに行うことができない。（２）天井搬送車Ｖ0 と第２壁面部５７との間に無駄空間Ｑが生じる。
【０００８】
ここで、クリーンルームの建設費、或いは運転費は極めて高い。このため、各ストッカＳ1,Ｓ2 、或いは処理装置Ｔ等は、できるだけその床面積を有効活用させた状態で設置されることが望ましい。上記した結果、各ストッカＳ1,Ｓ2 、或いは処理装置Ｔのコーナ部を切り欠いたり、各工程内搬送空間Ｂ1 〜Ｂ10に無駄空間Ｑを生じさせたりすることは得策ではない。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記した不具合に鑑み、前記直角コーナ部において、天井搬送車の走行方向を直角に曲げて、互いに直交する２本の各直線路を接続するに際して、前記コーナ部を切り欠かずに、しかも、直角曲げされた後の天井搬送車とコーナ部を形成する壁面との間に無駄空間が発生するのを防止することを課題としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための請求項１に記載の発明は、ストッカ等の直交して相隣接する各壁面に沿って平行となって天井にモノレール状に敷設され、天井搬送車の走行方向を直角に曲げる前記各壁面の直角コーナ部において、互いに直交する第１及び第２の各直線路を接続する天井搬送車の軌道構造であって、前記第１及び第２の各直線路は、当該各直線路が平行に沿っている前記各壁面から互いに等しい間隔をおいて配置され、本来の曲げ方向と反対方向にわん曲された中心角（α）〔α＜９０°〕の第１曲線路と、本来の曲げ方向にわん曲された中心角（９０°＋α）の第２曲線路とが、前記走行方向に沿って、この順序で変曲点を介して接続されて接続曲線路が形成され、前記第１及び第２の各直線路は、前記接続曲線路を介して接続されていると共に、前記第２曲線路の曲率中心、及び前記第２直線路への進入開始点は、いずれも前記第１直線路の仮想延長線上に位置することを特徴としている。
【００１１】
請求項１の発明では、天井搬送車が直角コーナ部を曲がるとき、第１直線路を走行する該天井搬送車は、前記コーナ部よりも手前側で、本来の曲げ方向と反対方向にわん曲された第１曲線路に進入する。この第１曲線路の中心角（α）は、９０°より小さい。続いて、該天井搬送車は、前記第１曲線路と連続し、本来の曲げ方向と同方向にわん曲された第２曲線路に進入する。この第２曲線路の中心角は、（９０°＋α）である。即ち、天井搬送車は、いったん本来の曲げ方向と反対方向に膨らむことによって、コーナ部との干渉が回避されると共に、本来の曲げ方向と同方向に走行することによって、その走行姿勢が修正され、前記コーナ部を形成する各壁面から一定の間隔だけ離れた位置に配置される。そして、前記第２曲線路の曲率中心、及び前記第２直線路への進入開始点は、いずれも前記第１直線路の仮想延長線上に位置しているため、第２直線路は、直角コーナ部に対して壁面と前記第１及び第２の各直線路との距離に等しい長さだけ手前側から開始される。この結果、天井搬送車は、第２直線路に対しては、直角コーナ部よりも手前側において当該第２直線路に沿った走行姿勢となる。このようにして、第１及び第２の各曲線路を走行した天井搬送車は、コーナ部と干渉することなく、その走行方向が直角に曲げられる。そして、第２直線路に進入した天井搬送車は、前記壁面に可能な限り近接される。この結果、天井搬送車の曲げ走行後において、該天井搬送車と壁面との間に無駄空間が発生せず、最小搬送空間内において天井搬送車の走行が可能となる。この軌道構造は、干渉制限の少ない搬送空間から、干渉制限の多い別の搬送空間に向けて、天井搬送車の走行方向を直角に曲げて走行させる場合に好適である。
【００１２】
請求項２に記載の発明は、ストッカ等の直交して相隣接する各壁面に沿って平行となって天井にモノレール状に敷設され、天井搬送車の走行方向を直角に曲げる前記各壁面の直角コーナ部において、互いに直交する第１及び第２の各直線路を接続する天井搬送車の軌道構造であって、前記第１及び第２の各直線路は、当該各直線路が平行に沿っている前記各壁面から互いに等しい間隔をおいて配置され、本来の曲げ方向にわん曲された中心角（９０°＋α）〔α＜９０°〕の第１曲線路と、本来の曲げ方向と反対方向にわん曲された中心角（α）の第２曲線路とが、前記走行方向に沿って、この順序で変曲点を介して接続されて接続曲線路が形成され、前記第１及び第２の各直線路は、前記接続曲線路を介して接続されていると共に、前記第１曲線路の曲率中心、及び当該第１曲線路への進入開始点は、いずれも前記第２直線路の仮想延長線上に位置することを特徴としている。
【００１３】
請求項２の発明では、天井搬送車が、直角コーナ部を曲がるとき、第１直線路を走行する天井搬送車は、前記コーナ部を超えて走行した後、本来の曲げ方向と同方向にわん曲された第１曲線路に進入する。この第１曲線路の中心角は、（９０°＋α）〔α＜９０°〕である。続いて、該天井搬送車は、前記第１曲線路と連続し、本来の曲げ方向と反対方向にわん曲された第２曲線路に進入する。この第２曲線路の中心角は、αである。即ち、天井搬送車は、いったん本来の曲げ方向と同方向に膨らむことによって、コーナ部との干渉が回避されると共に、本来の曲げ方向と反対方向に走行することによって、その走行姿勢が修正され、壁面から一定の間隔だけ離れた位置に迅速に配置される。ここで、前記第１曲線路の曲率中心、及び当該第１曲線路への進入開始点は、いずれも前記第２直線路の仮想延長線上に位置しているため、第１直線路を走行する天井搬送車は、直角コーナ部を通過した後においても、所定距離だけは、第１直線路に沿った走行姿勢を維持している。このようにして、第１及び第２の各曲線路を走行した天井搬送車は、壁面と干渉することなく、その走行方向が直角に曲げられる。そして、第２直線路に進入した天井搬送車は、コーナ部を形成する各壁面に可能な限り近接される。この結果、天井搬送車の曲げ走行後において、該天井搬送車と壁面との間に発生する無駄空間の大きさを最小にして天井搬送車の走行が可能となる。この軌道構造は、干渉制限の多い搬送空間から、干渉制限の少ない別の搬送空間に向けて、天井搬送車の走行方向を直角に曲げて走行させる場合に好適である。
【００１４】
【００１５】
【００１６】
更に、請求項３に記載の発明は、軌道敷設空間は、クリーンルーム内に設けられた物品搬送空間であることを特徴としている。
【００１７】
請求項１又は２に記載の天井搬送車の軌道が敷設される空間が、クリーンルーム内に設けられた物品搬送空間である場合、該クリーンルームにおける搬送空間の大きさを最小にすることができる。このため、クリーンルームの建設費、或いは運転費を安価にすることができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、実施形態を挙げて本発明を更に詳細に説明する。図１は請求項１及び２に記載の発明に係る曲線軌道Ａ1,Ａ2 が工程間搬送空間Ｂ0 と工程内搬送空間Ｂ9 との接続部分Ｅに設置された状態の平面図、図２は曲線軌道Ａ1 の拡大平面図、図３は曲線軌道Ａ2 の拡大平面図である。図１に示されるように、クリーンルームにおける工程間搬送空間Ｂ0 と工程内搬送空間Ｂ9 との接続部分Ｅには、第１及び第２の各曲線軌道Ａ1,Ａ2 が連続状態で接続されている。即ち、天井搬送車Ｖ0 が工程間搬送空間Ｂ0 から工程内搬送空間Ｂ9 に進入する部分には、第１曲線軌道Ａ1 が設けられていると共に、前記天井搬送車Ｖ0 が工程内搬送空間Ｂ9 から工程間搬送空間Ｂ0 に進入する部分には、第２曲線軌道Ａ2 が設けられている。そして、第２ストッカＳ2 の第１壁面部１（工程間搬送空間Ｂ0 に面する側の壁面部）に対して一定の間隔Ｌを有して直線走行する天井搬送車Ｖ0 は、第１曲線軌道Ａ1 を介して、第２ストッカＳ2 のコーナ部２との干渉を避けながら直角に曲がり、工程内搬送空間Ｂ9 に進入する。そして、前記第１壁面部１と直交する第２壁面部３（工程内搬送空間Ｂ9 に面する側の壁面部）に対して一定の間隔Ｌを有して直線走行され、工程内搬送空間Ｂ9 の終端部において１８０°反転され、前記第２直線路Ｊ2 と平行に設置された第３直線路Ｊ3 に進入する。
【００１９】
第３直線路Ｊ3 に進入した天井搬送車Ｖ0 は、工程内搬送空間Ｂ9 を介して隣接する処理装置Ｔの第２壁面部４（工程内搬送空間Ｂ9 に面する側の壁面部）に対して一定の間隔Ｌを有して直線走行し、第２曲線軌道Ａ2 を介して、処理装置Ｔのコーナ部５との干渉を避けながら直角に曲がり、工程間搬送空間Ｂ0 に進入する。そして、処理装置Ｔにおいて工程間搬送空間Ｂ0 に面する第１壁面部６（工程間搬送空間Ｂ0 に面する側の壁面部）に対し一定の間隔Ｌを有して直線走行される。
【００２０】
最初に、第１曲線軌道Ａ1 について詳細に説明する。図２に示されるように、第２ストッカＳ2 の第１壁面部１と第２壁面部３によって形成されるコーナ部２の周縁にほぼ沿って、第１直線路Ｊ1 、第１曲線路Ｋ1 、第２曲線路Ｋ2 、及び第２直線路Ｊ2 が、天井搬送車Ｖ0 の走行方向に沿って、この順序で連続して接続されている。ここで、第１壁面部１に沿った方向を「Ｘ軸方向」と記載し、第２壁面部３に沿った方向を「Ｙ軸方向」と記載する。第１直線路Ｊ1 は、第２ストッカＳ2 の第１壁面部１に沿って、しかも、該第１壁面部１から一定の間隔Ｌを有して設置された軌道である。この第１直線路Ｊ1 は、第２ストッカＳ2 のコーナ部２の近傍に設けられた終端部（第１曲線路進入点Ｐ1 ）において、第１曲線路Ｋ1 と接続されている。この第１曲線路Ｋ1 の曲率半径Ｒは、天井搬送車Ｖ0 が曲線走行可能な最小寸法であり、その曲率中心Ｃ1 は、工程間搬送空間Ｂ0 内で、しかも、前記第１直線路Ｊ1 に対して第１壁面部１と反対側に位置する。そして、その中心角αは９０°よりも小さい。即ち、第１曲線路Ｋ1 は、天井搬送車Ｖ0 が、本来曲がるべき方向と反対方向にわん曲された形態で設置されている。
【００２１】
第１曲線路Ｋ1 は、その終端部（第２曲線路進入点Ｐ2 ）において、第２曲線路Ｋ2 と接続されている。第２曲線路Ｋ2 の曲率半径Ｒは、第１曲線路Ｋ1 の曲率半径Ｒと同一であり、また、その曲率中心Ｃ2 は、Ｘ軸方向において第２ストッカＳ2 のコーナ部２よりも手前側であり、Ｙ軸方向において第１壁面部１から間隔Ｌとほぼ同一の間隔を有する位置に配置されている。そして、その中心角は（α＋９０°）である。即ち、第２曲線路Ｋ2 は、工程間搬送空間Ｂ0 の側に膨らんでいて、天井搬送車Ｖ0 が本来曲がるべき方向と同方向にわん曲された形態で設置されている。
【００２２】
ここで、第２曲線路Ｋ2 の中心角は（α＋９０°）であるため、第２曲線路Ｋ2 の終端部（第２直線路進入点Ｐ3 ）は、第１直線路Ｊ1 の延長線上に位置される。そして、第２曲線路Ｋ2 は、前記第２直線路進入点Ｐ3 において、第２直線路Ｊ2 と接続されている。この第２直線路Ｊ2 は、第２ストッカＳ2 の第２壁面部３に沿って設置されるものであり、前記第２壁面部３から一定の間隔Ｌを有する軌道である。
【００２３】
天井搬送車Ｖ0 が、第１曲線軌道Ａ1 を走行する際の作用について説明する。第１直線路Ｊ1 を走行する天井搬送車Ｖ0 が、第１曲線路進入点Ｐ1 に達すると、該天井搬送車Ｖ0 は第１曲線路Ｋ1 に進入する。該天井搬送車Ｖ0 は、第１曲線路Ｋ1 に案内されて、いったん第２ストッカＳ2 の第１壁面部１から遠ざかる方向（本来の曲がり方向と反対の方向、即ち、反時計回り）に、その中心角αだけ走行する。そして、前記天井搬送車Ｖ0 が第２曲線路進入点Ｐ2 に達すると、該天井搬送車Ｖ0 は第２曲線路Ｋ2 に案内されて走行する。このとき、天井搬送車Ｖ0 は工程間搬送空間Ｂ0 の側に膨らんだ状態で走行される。なお、クリーンルームにおける前記工程間搬送空間Ｂ0 の幅Ｗ0 （図５参照）は比較的広いため、他の天井搬送車Ｖ0 の走行に支障が生じることはない。
【００２４】
そして、前記天井搬送車Ｖ0 が、第２曲線路Ｋ2 を、その中心角（α＋９０°）のうち角度αの分だけ、時計回りに走行すると、該天井搬送車Ｖ0 の走行姿勢は、第１壁面部１とほぼ平行になる。図２において、そのときの天井搬送車Ｖ0 を二点鎖線で示す。このとき、天井搬送車Ｖ0 のＸ軸方向の中心位置は、第２壁面部３よりも（Ｒ−Ｌ）だけ手前側であり、同じくＹ軸方向の中心位置は、第１壁面部１よりも（Ｒ＋Ｌ）だけ離れた側に存している。続いて、天井搬送車Ｖ0 が、第２曲線路Ｋ2 の中心角（α＋９０°）のうち、残りの角度（９０°）分だけ走行すると、該天井搬送車Ｖ0 の走行姿勢は徐々に第２壁面部３に沿うように修正される。このようにして、天井搬送車Ｖ0 は、第２ストッカＳ2 のコーナ部２と干渉することなく直角に曲がることができる。天井搬送車Ｖ0 が第２直線路進入点Ｐ3 に達すると、該天井搬送車Ｖ0 は第２直線路Ｊ2 に進入し、第２壁面部３から一定の間隔Ｌだけ離れて走行する。
【００２５】
上記したように、天井搬送車Ｖ0 が第２ストッカＳ2 のコーナ部２を直角に曲がった後、該天井搬送車Ｖ0 は、第２ストッカＳ2 の第２壁面部３に近接した状態、即ち、一定の間隔Ｌだけ離れた状態で配置される。この結果、第２ストッカＳ2 と第２直線路Ｊ2 との間に無駄空間Ｑが発生せず、天井搬送車Ｖ0 を走行させるための工程内搬送空間Ｂ9 の幅を最小とすることができる。また、天井搬送車Ｖ0 と第２ストッカＳ2 とのウェハキャリア５２の移載作業が確実に行われる。
【００２６】
ここで、図２において、従来の曲線軌道を破線で示す。従来の曲線軌道では、互いに直交する２本の直線路Ｊ1,Ｊ2'が、中心角９０°の曲線路Ｋ’で接続されていたため、天井搬送車Ｖ0 が、第２ストッカＳ2 のコーナ部２との干渉を避けて曲がるためには、前記直線路Ｊ2'を第２壁面部３から曲率半径Ｒだけ離さなければならない。このため、工程内搬送空間Ｂ9 において、天井搬送車Ｖ0 と第２壁面部３との間隔Ｌが大きくなってしまうという不具合がある。しかし、本発明では、天井搬送車Ｖ0 は、第２ストッカＳ2 のコーナ部２との干渉を避けて曲がることができると共に、第２壁面部３から一定の間隔Ｌを有した状態で走行される。また、第２ストッカＳ2 のコーナ部２を切り欠く必要もない。
【００２７】
次に、第２曲線軌道Ａ2 について詳細に説明する。図３に示されるように、処理装置Ｔの第２壁面部４と第１壁面部６とで形成されるコーナ部５の周縁にほぼ沿って、第３直線路Ｊ3 、第３曲線路Ｋ3 、第４曲線路Ｋ4 、及び第４直線路Ｊ4 が、天井搬送車Ｖ0 の走行方向に沿ってこの順序で連続して接続されている。第３直線路Ｊ3 は、処理装置Ｔの第２壁面部４に沿って、しかも、該第２壁面部４から一定の間隔Ｌを有して設置された軌道である。この第３直線路Ｊ3 は、天井搬送車Ｖ0 が本来曲がるべき位置（延長走行路進入点Ｐ4 ）から、前記処理装置Ｔの第１壁面部６を超えて工程間搬送空間Ｂ0 の側にまで距離ｅだけ入り込んでいる。そして、第４直線路Ｊ4 の延長線上に設けられた第３曲線路進入点Ｐ5 において、第３曲線路Ｋ3 と連続して接続されている。この第３曲線路Ｋ3 の曲率中心Ｃ3 は、Ｘ軸方向において処理装置Ｔのコーナ部５よりも、距離（Ｒ−Ｌ）だけ奥側であり、Ｙ軸方向において第１壁面部６から間隔Ｌとほぼ同一の間隔を有する位置に配置されている。そして、その中心角は、第１曲線軌道Ａ1 における第２曲線路Ｋ2 の中心角と同一で、（α＋９０°）である。即ち、第３曲線路Ｋ3 は、天井搬送車Ｖ0 が本来曲がるべき方向と同方向にわん曲された形態で設置されている。
【００２８】
そして、第３曲線路Ｋ3 は、その終端部（第４曲線路進入点Ｐ6 ）において、第４曲線路Ｋ4 と接続されている。第４曲線路Ｋ4 の曲率半径Ｒは、前記第３曲線路Ｋ3 の曲率半径Ｒと同一であり、その曲率中心Ｃ4 は、工程間搬送空間Ｂ0 の部分で、しかも、第４直線路Ｊ4 に対して第１壁面部６と反対側に位置する。そして、その中心角αは９０°よりも小さい。即ち、第４曲線路Ｋ4 は、天井搬送車Ｖ0 が、本来曲がるべき方向と反対方向にわん曲された形態で設置されている。
【００２９】
ここで、第４曲線路Ｋ4 の中心角はαであるため、第４曲線路Ｋ4 の終端部（第４直線路進入点Ｐ7 ）は、第３曲線路Ｋ3 の曲率中心Ｃ3 を含んで第１壁面部６と平行な直線上に位置される。そして、第４曲線路Ｋ4 は、前記第４直線路進入点Ｐ7 において、第４直線路Ｊ4 と接続されている。この第４直線路Ｊ4 は、処理装置Ｔの第１壁面部６に沿って設置されるものであり、前記第１壁面部６から一定の間隔Ｌを有する軌道である。
【００３０】
天井搬送車Ｖ0 が、第２曲線軌道Ａ2 を走行する際の作用について説明する。第３直線路Ｊ3 を走行する天井搬送車Ｖ0 が、第２壁面部４の端部（延長走行路進入点Ｐ4 ）に達すると、該天井搬送車Ｖ0 は、そのまま工程間搬送空間Ｂ0 の側に距離ｅだけ延長走行する。そして、第３曲線路進入点Ｐ5 に達すると、天井搬送車Ｖ0 は第３曲線路Ｋ3 に進入する。該天井搬送車Ｖ0 は、第３曲線路Ｋ3 に案内されて、該天井搬送車Ｖ0 が本来曲がるべき方向に、中心角（α＋９０°）だけ時計回りに曲線走行する。そして、前記天井搬送車Ｖ0 が、第４曲線路進入点Ｐ6 に達すると、該天井搬送車Ｖ0 は、第４曲線路Ｋ4 に案内されて、該天井搬送車Ｖ0 が本来曲がるべき方向と反対方向に、中心角αだけ反時計回りに曲線走行する。
【００３１】
このとき、前記天井搬送車Ｖ0 の走行姿勢は、徐々に第１壁面部６に沿うように修正される。そして、天井搬送車Ｖ0 が第４直線路進入点Ｐ7 に達すると、天井搬送車Ｖ0 の走行姿勢は、第１壁面部６と平行になり、該天井搬送車Ｖ0 は、そのまま第４直線路Ｊ4 を走行する。上記したように、天井搬送車Ｖ0 が処理装置Ｔの第１壁面部６から距離ｅ（間隔Ｌとほぼ同一の長さ）を超えた位置に設置された第３曲線路Ｋ3 、及び第４曲線路Ｋ4 に案内されて曲線走行することは、「オーバーシュート」と称されている。このようにして、天井搬送車Ｖ0 は、処理装置Ｔのコーナ部５と干渉することなく直角に曲がることができる。そして、前記天井搬送車Ｖ0 は、第４直線路Ｊ4 に案内され、第１壁面部６から一定の間隔Ｌだけ離れて走行する。
【００３２】
上記したように、天井搬送車Ｖ0 が処理装置Ｔのコーナ部５を直角に曲がった後、該天井搬送車Ｖ0 は迅速にして、処理装置Ｔの第１壁面部６に近接される。換言すれば、間隔Ｌだけ離れた状態に配置される。この結果、処理装置Ｔと第４直線路Ｊ4 との間に発生する無駄空間Ｑの大きさを最小にすることができる。
【００３３】
ここで、図３において、従来の曲線軌道を破線で示す。天井搬送車Ｖ0 が処理装置Ｔのコーナ部５との干渉を避けて曲がるとき、該天井搬送車Ｖ0 と第１壁面部６との間隔が、規定の間隔Ｌよりも広くなってしまう。しかし、本発明の場合、前記処理装置Ｔのコーナ部５との干渉を避けることができると共に、天井搬送車Ｖ0 を、処理装置Ｔの第１壁面部６に迅速に近接させることができる。
【００３４】
図１に示されるように、本実施例の曲線軌道Ａ1,Ａ2 が、クリーンルームにおける工程間搬送空間Ｂ0 と工程内搬送空間Ｂ9 との接続部分Ｅに設置されている。即ち、本実施例の軌道敷設空間は、クリーンルーム内に設けられた物品搬送空間である。そして、第２直線路Ｊ2 と第３直線路Ｊ3 には、同時に複数台の天井搬送車Ｖ0 が進入する場合があるが、前記工程内搬送空間Ｂ9 における両直線路Ｊ2,Ｊ3 は平行に配置されているため、互いに逆方向に走行する天井搬送車Ｖ0 どうしが接触することはない。このため、同一の天井搬送車Ｖ0 を、工程間搬送空間Ｂ0 と工程内搬送空間Ｂ9 とを連続して走行させることができ、ウェハキャリア５２（図５参照）の搬送を効率的に行うことができる。しかも、第１及び第２の各ストッカＳ1,Ｓ2 のコーナ部２，５と天井搬送車Ｖ0 とが干渉することが回避されると共に、曲がった後の天井搬送車Ｖ0 、或いは曲がる前の天井搬送車Ｖ0 と各ストッカＳ1,Ｓ2 との間隔Ｌが保持される。この結果、工程内搬送空間Ｂ9 の幅を広げることが不要であるため、クリーンルームの設置空間の大きさを最小にすることができ、該クリーンルームの建設費、或いは運転費を安価にすることができる。
【００３５】
本明細書では、コーナ部が直角である場合について説明した。しかし、前記コーナ部が直角以外の角度、例えば、図２において二点鎖線で示されるように、β（β＜９０°）であっても構わない。この場合、第２曲線路Ｋ2 の中心角は、（α−β＋１８０°）となる。また、各曲線軌道Ａ1,Ａ2 は、すべて曲線路Ｋ1 〜Ｋ4 で形成されていなくてもよく、例えば、曲線路Ｋ1 と曲線路Ｋ2 との間に直線路が設けられていても構わない。
【００３６】
本明細書では、曲線軌道Ａ1,Ａ2 がクリーンルームに設置された場合について説明した。しかし、本発明に係る曲線軌道Ａ1,Ａ2 が設置される場所は、クリーンルームに限られるものではない。
【００３７】
【発明の効果】
本発明は、直角コーナ部における相隣接する壁面に沿って平行に敷設されて、互いにほぼ直交する第１及び第２の各直線路を接続する天井搬送車の軌道構造であって、互いに反対の方向にわん曲された第１及び第２の各曲線路から成る。このため、第１の直線路を走行する天井搬送車は、第１及び第２の各曲線路を介して、前記コーナ部と干渉することなく曲がって、第２の直線路に進入することができる。しかも、天井搬送車が直角に曲がった後、該天井搬送車は、前記コーナ部を形成する壁面から一定の間隔だけ離れた位置に近接されるため、無駄空間の発生を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】. 請求項１及び２に記載の発明に係る曲線軌道Ａ1,Ａ2 が、工程間搬送空間Ｂ0 と工程内搬送空間Ｂ9 との接続部分Ｅに設置された状態の平面図である。
【図２】 曲線軌道Ａ1 の拡大平面図である。
【図３】 曲線軌道Ａ2 の拡大平面図である。
【図４】 工程間搬送軌道５１と工程内搬送軌道５３，５４とが分離された状態で設置されたクリーンルームの平面図である。
【図５】 工程間搬送軌道５１と工程内搬送軌道５３，５４とが連続状態で設置されたクリーンルームの平面図である。
【図６】 天井搬送車Ｖ0 と第１ストッカＳ1 のコーナ部５５とが、干渉する状態を示す図である。
【図７】 天井搬送車Ｖ0 が、第１ストッカＳ1 のコーナ部５５との干渉を避けて曲がるときに、天井搬送車Ｖ0 と第２壁面部５７との間に無駄空間Ｑが形成される状態を示す図である。
【符号の説明】
Ａ1,Ａ2 ：曲線軌道（接続曲線路）
Ｂ0 ：工程間搬送空間（搬送空間）
Ｂ1 〜Ｂ10：工程内搬送空間（搬送空間）
Ｊ1 〜Ｊ4 ：直線路
Ｋ1 〜Ｋ4 ：曲線路
Ｖ0,Ｖ1,Ｖ2 ：天井搬送車
α：中心角
１，６：第１壁面部（壁面）
２，５：コーナ部
３，４：第２壁面部（壁面）
【発明の属する技術分野】
本発明は、相隣接する各壁面の直角コーナ部において、天井搬送車の走行方向を直角に曲げて変更させるための軌道構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
本明細書では、半導体製造のためのクリーンルームにおける天井軌道構造について説明する。最初に、クリーンルームについて説明する。図４に示されるように、クリーンルームにおける幅方向のほぼ中央部には、その長手方向に沿って中央通路（工程間搬送空間Ｂ0 ）が設けられている。そして、その天井には、該工程間搬送空間Ｂ0 を周回走行する形態で工程間搬送軌道５１が敷設されていて、多数台の天井搬送車Ｖ0 が連なって走行して、ウェハキャリア５２の搬送が行われる。この作用は、「工程間搬送」と称されている。
【０００３】
また、前記工程間搬送空間Ｂ0 の幅方向の両側には、前記工程間搬送空間Ｂ0 の長手方向にほぼ直交する形態で、「ベイ」と称される複数本の側方通路（図４に記載のクリーンルームの場合、１０本の工程内搬送空間Ｂ1 〜Ｂ10）が、一定の間隔をおいて設置されている。これらの工程内搬送空間Ｂ1 〜Ｂ10の天井にも、上記した工程間搬送空間Ｂ0 の場合と同様に工程内搬送軌道５３，５４が敷設されていて、複数台の天井搬送車Ｖ1,Ｖ2 が連なって走行して、ウェハキャリア５２の搬送が行われる。この作用は、「工程内搬送」と称されている。前記工程内搬送空間Ｂ1 〜Ｂ10のうちの２つの工程内搬送空間Ｂ1,Ｂ9 における幅方向の片側、或いは両側には、各ストッカＳ1,Ｓ2 と多数基の処理装置Ｔが設置されている。工程内搬送空間Ｂ1 の天井搬送車Ｖ1 によって処理装置Ｔ1 から搬送されたウェハキャリア５２は、各ストッカＳ1,Ｓ2 を介し、工程内搬送空間Ｂ9 の天井搬送車Ｖ2 により、処理装置Ｔ2 に収容される。なお、クリーンルームにおいて、工程間搬送空間Ｂ0 の幅Ｗ0 は比較的広いが、各工程内搬送空間Ｂ1 〜Ｂ10の幅Ｗ1 は狭い。
【０００４】
上記した天井搬送を、更に説明すると、処理装置Ｔ1 で処理済みのウェハキャリア５２は、工程内搬送軌道５３を走行する天井搬送車Ｖ1 に移載される。該天井搬送車Ｖ1 が走行し、該ウェハキャリア５２を工程間搬送空間Ｂ0 に面して設置された第１ストッカＳ1 にいったん収容させる。そして、この第１ストッカＳ1 から、工程間搬送軌道５１を走行する天井搬送車Ｖ0 にウェハキャリア５２が移載される。該天井搬送車Ｖ0 が走行し、前記ウェハキャリア５２を、工程間搬送空間Ｂ0 に面して設置された第２ストッカＳ2 にいったん収容させる。そして、該ウェハキャリア５２は、工程内搬送軌道５４を走行する天井搬送車Ｖ2 に移載される。該天井搬送車Ｖ2 が走行し、処理装置Ｔ2 に搬入させる。
【０００５】
図５に示されるように、各軌道５１，５３，５４を連続状態で接続させて、工程間搬送空間Ｂ0 から各工程内搬送空間Ｂ1,Ｂ9 に前記天井搬送車Ｖ0 を直接進入させるということが想定される。こうすることにより、ウェハキャリア５２を各ストッカＳ1,Ｓ2 を介することなく、直接搬送することができる。この場合、天井搬送車Ｖ0 は、各ストッカＳ1,Ｓ2 のコーナ部を直角に曲がって走行する。該天井搬送車Ｖ0 が、第２ストッカＳ2 のコーナ部５５を直角に曲がって走行するときの作用について、更に詳細に説明する。
【０００６】
図６に示されるように、ウェハキャリア５２が、天井搬送車Ｖ0 と第２ストッカＳ2 との間で移載されるときの両者の間隔Ｌは規定されていて、約２００ｍｍである。このため、第２ストッカＳ2 の第１壁面部５６（工程間搬送空間Ｂ0 側の壁面部）から間隔Ｌだけ離した第１直線路Ｊ1 と、前記第１壁面部５６と直交する第２壁面部５７（工程内搬送空間Ｂ9 側の壁面部）から間隔Ｌだけ離した第２直線路Ｊ2 とを、天井搬送車Ｖ0 が走行可能な最小曲率半径Ｒで、その中心角が９０°の円弧状の曲線路Ｋで接続すると、天井搬送車Ｖ0 と第２ストッカＳ2 のコーナ部５５とが干渉するおそれがある。これを防止するためには、第２ストッカＳ2 のコーナ部５５を切り欠いて、切欠部５８を設けなければならない。
【０００７】
上記した不具合を避けるためには、図７に示されるように、前記第２直線路Ｊ2 を、第２ストッカＳ2 の第２壁面部５７から、天井搬送車Ｖ0 が走行可能な最小曲率半径Ｒだけ離した位置に設置し、前記第１直線路Ｊ1 と第２直線路Ｊ2'とを、中心角９０°の曲線路Ｋ’で接続しなければならない。すると、工程内搬送空間Ｂ9 において、曲げ走行後の天井搬送車Ｖ0 と第２ストッカＳ2 との間隔Ｌが離れすぎてしまう。この結果、次に示す不具合が発生する。（１）天井搬送車Ｖ0 と第２壁面部５７との間隔Ｌが大きくなり過ぎて、ウェハキャリア５２の移載をスムーズに行うことができない。（２）天井搬送車Ｖ0 と第２壁面部５７との間に無駄空間Ｑが生じる。
【０００８】
ここで、クリーンルームの建設費、或いは運転費は極めて高い。このため、各ストッカＳ1,Ｓ2 、或いは処理装置Ｔ等は、できるだけその床面積を有効活用させた状態で設置されることが望ましい。上記した結果、各ストッカＳ1,Ｓ2 、或いは処理装置Ｔのコーナ部を切り欠いたり、各工程内搬送空間Ｂ1 〜Ｂ10に無駄空間Ｑを生じさせたりすることは得策ではない。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記した不具合に鑑み、前記直角コーナ部において、天井搬送車の走行方向を直角に曲げて、互いに直交する２本の各直線路を接続するに際して、前記コーナ部を切り欠かずに、しかも、直角曲げされた後の天井搬送車とコーナ部を形成する壁面との間に無駄空間が発生するのを防止することを課題としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための請求項１に記載の発明は、ストッカ等の直交して相隣接する各壁面に沿って平行となって天井にモノレール状に敷設され、天井搬送車の走行方向を直角に曲げる前記各壁面の直角コーナ部において、互いに直交する第１及び第２の各直線路を接続する天井搬送車の軌道構造であって、前記第１及び第２の各直線路は、当該各直線路が平行に沿っている前記各壁面から互いに等しい間隔をおいて配置され、本来の曲げ方向と反対方向にわん曲された中心角（α）〔α＜９０°〕の第１曲線路と、本来の曲げ方向にわん曲された中心角（９０°＋α）の第２曲線路とが、前記走行方向に沿って、この順序で変曲点を介して接続されて接続曲線路が形成され、前記第１及び第２の各直線路は、前記接続曲線路を介して接続されていると共に、前記第２曲線路の曲率中心、及び前記第２直線路への進入開始点は、いずれも前記第１直線路の仮想延長線上に位置することを特徴としている。
【００１１】
請求項１の発明では、天井搬送車が直角コーナ部を曲がるとき、第１直線路を走行する該天井搬送車は、前記コーナ部よりも手前側で、本来の曲げ方向と反対方向にわん曲された第１曲線路に進入する。この第１曲線路の中心角（α）は、９０°より小さい。続いて、該天井搬送車は、前記第１曲線路と連続し、本来の曲げ方向と同方向にわん曲された第２曲線路に進入する。この第２曲線路の中心角は、（９０°＋α）である。即ち、天井搬送車は、いったん本来の曲げ方向と反対方向に膨らむことによって、コーナ部との干渉が回避されると共に、本来の曲げ方向と同方向に走行することによって、その走行姿勢が修正され、前記コーナ部を形成する各壁面から一定の間隔だけ離れた位置に配置される。そして、前記第２曲線路の曲率中心、及び前記第２直線路への進入開始点は、いずれも前記第１直線路の仮想延長線上に位置しているため、第２直線路は、直角コーナ部に対して壁面と前記第１及び第２の各直線路との距離に等しい長さだけ手前側から開始される。この結果、天井搬送車は、第２直線路に対しては、直角コーナ部よりも手前側において当該第２直線路に沿った走行姿勢となる。このようにして、第１及び第２の各曲線路を走行した天井搬送車は、コーナ部と干渉することなく、その走行方向が直角に曲げられる。そして、第２直線路に進入した天井搬送車は、前記壁面に可能な限り近接される。この結果、天井搬送車の曲げ走行後において、該天井搬送車と壁面との間に無駄空間が発生せず、最小搬送空間内において天井搬送車の走行が可能となる。この軌道構造は、干渉制限の少ない搬送空間から、干渉制限の多い別の搬送空間に向けて、天井搬送車の走行方向を直角に曲げて走行させる場合に好適である。
【００１２】
請求項２に記載の発明は、ストッカ等の直交して相隣接する各壁面に沿って平行となって天井にモノレール状に敷設され、天井搬送車の走行方向を直角に曲げる前記各壁面の直角コーナ部において、互いに直交する第１及び第２の各直線路を接続する天井搬送車の軌道構造であって、前記第１及び第２の各直線路は、当該各直線路が平行に沿っている前記各壁面から互いに等しい間隔をおいて配置され、本来の曲げ方向にわん曲された中心角（９０°＋α）〔α＜９０°〕の第１曲線路と、本来の曲げ方向と反対方向にわん曲された中心角（α）の第２曲線路とが、前記走行方向に沿って、この順序で変曲点を介して接続されて接続曲線路が形成され、前記第１及び第２の各直線路は、前記接続曲線路を介して接続されていると共に、前記第１曲線路の曲率中心、及び当該第１曲線路への進入開始点は、いずれも前記第２直線路の仮想延長線上に位置することを特徴としている。
【００１３】
請求項２の発明では、天井搬送車が、直角コーナ部を曲がるとき、第１直線路を走行する天井搬送車は、前記コーナ部を超えて走行した後、本来の曲げ方向と同方向にわん曲された第１曲線路に進入する。この第１曲線路の中心角は、（９０°＋α）〔α＜９０°〕である。続いて、該天井搬送車は、前記第１曲線路と連続し、本来の曲げ方向と反対方向にわん曲された第２曲線路に進入する。この第２曲線路の中心角は、αである。即ち、天井搬送車は、いったん本来の曲げ方向と同方向に膨らむことによって、コーナ部との干渉が回避されると共に、本来の曲げ方向と反対方向に走行することによって、その走行姿勢が修正され、壁面から一定の間隔だけ離れた位置に迅速に配置される。ここで、前記第１曲線路の曲率中心、及び当該第１曲線路への進入開始点は、いずれも前記第２直線路の仮想延長線上に位置しているため、第１直線路を走行する天井搬送車は、直角コーナ部を通過した後においても、所定距離だけは、第１直線路に沿った走行姿勢を維持している。このようにして、第１及び第２の各曲線路を走行した天井搬送車は、壁面と干渉することなく、その走行方向が直角に曲げられる。そして、第２直線路に進入した天井搬送車は、コーナ部を形成する各壁面に可能な限り近接される。この結果、天井搬送車の曲げ走行後において、該天井搬送車と壁面との間に発生する無駄空間の大きさを最小にして天井搬送車の走行が可能となる。この軌道構造は、干渉制限の多い搬送空間から、干渉制限の少ない別の搬送空間に向けて、天井搬送車の走行方向を直角に曲げて走行させる場合に好適である。
【００１４】
【００１５】
【００１６】
更に、請求項３に記載の発明は、軌道敷設空間は、クリーンルーム内に設けられた物品搬送空間であることを特徴としている。
【００１７】
請求項１又は２に記載の天井搬送車の軌道が敷設される空間が、クリーンルーム内に設けられた物品搬送空間である場合、該クリーンルームにおける搬送空間の大きさを最小にすることができる。このため、クリーンルームの建設費、或いは運転費を安価にすることができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、実施形態を挙げて本発明を更に詳細に説明する。図１は請求項１及び２に記載の発明に係る曲線軌道Ａ1,Ａ2 が工程間搬送空間Ｂ0 と工程内搬送空間Ｂ9 との接続部分Ｅに設置された状態の平面図、図２は曲線軌道Ａ1 の拡大平面図、図３は曲線軌道Ａ2 の拡大平面図である。図１に示されるように、クリーンルームにおける工程間搬送空間Ｂ0 と工程内搬送空間Ｂ9 との接続部分Ｅには、第１及び第２の各曲線軌道Ａ1,Ａ2 が連続状態で接続されている。即ち、天井搬送車Ｖ0 が工程間搬送空間Ｂ0 から工程内搬送空間Ｂ9 に進入する部分には、第１曲線軌道Ａ1 が設けられていると共に、前記天井搬送車Ｖ0 が工程内搬送空間Ｂ9 から工程間搬送空間Ｂ0 に進入する部分には、第２曲線軌道Ａ2 が設けられている。そして、第２ストッカＳ2 の第１壁面部１（工程間搬送空間Ｂ0 に面する側の壁面部）に対して一定の間隔Ｌを有して直線走行する天井搬送車Ｖ0 は、第１曲線軌道Ａ1 を介して、第２ストッカＳ2 のコーナ部２との干渉を避けながら直角に曲がり、工程内搬送空間Ｂ9 に進入する。そして、前記第１壁面部１と直交する第２壁面部３（工程内搬送空間Ｂ9 に面する側の壁面部）に対して一定の間隔Ｌを有して直線走行され、工程内搬送空間Ｂ9 の終端部において１８０°反転され、前記第２直線路Ｊ2 と平行に設置された第３直線路Ｊ3 に進入する。
【００１９】
第３直線路Ｊ3 に進入した天井搬送車Ｖ0 は、工程内搬送空間Ｂ9 を介して隣接する処理装置Ｔの第２壁面部４（工程内搬送空間Ｂ9 に面する側の壁面部）に対して一定の間隔Ｌを有して直線走行し、第２曲線軌道Ａ2 を介して、処理装置Ｔのコーナ部５との干渉を避けながら直角に曲がり、工程間搬送空間Ｂ0 に進入する。そして、処理装置Ｔにおいて工程間搬送空間Ｂ0 に面する第１壁面部６（工程間搬送空間Ｂ0 に面する側の壁面部）に対し一定の間隔Ｌを有して直線走行される。
【００２０】
最初に、第１曲線軌道Ａ1 について詳細に説明する。図２に示されるように、第２ストッカＳ2 の第１壁面部１と第２壁面部３によって形成されるコーナ部２の周縁にほぼ沿って、第１直線路Ｊ1 、第１曲線路Ｋ1 、第２曲線路Ｋ2 、及び第２直線路Ｊ2 が、天井搬送車Ｖ0 の走行方向に沿って、この順序で連続して接続されている。ここで、第１壁面部１に沿った方向を「Ｘ軸方向」と記載し、第２壁面部３に沿った方向を「Ｙ軸方向」と記載する。第１直線路Ｊ1 は、第２ストッカＳ2 の第１壁面部１に沿って、しかも、該第１壁面部１から一定の間隔Ｌを有して設置された軌道である。この第１直線路Ｊ1 は、第２ストッカＳ2 のコーナ部２の近傍に設けられた終端部（第１曲線路進入点Ｐ1 ）において、第１曲線路Ｋ1 と接続されている。この第１曲線路Ｋ1 の曲率半径Ｒは、天井搬送車Ｖ0 が曲線走行可能な最小寸法であり、その曲率中心Ｃ1 は、工程間搬送空間Ｂ0 内で、しかも、前記第１直線路Ｊ1 に対して第１壁面部１と反対側に位置する。そして、その中心角αは９０°よりも小さい。即ち、第１曲線路Ｋ1 は、天井搬送車Ｖ0 が、本来曲がるべき方向と反対方向にわん曲された形態で設置されている。
【００２１】
第１曲線路Ｋ1 は、その終端部（第２曲線路進入点Ｐ2 ）において、第２曲線路Ｋ2 と接続されている。第２曲線路Ｋ2 の曲率半径Ｒは、第１曲線路Ｋ1 の曲率半径Ｒと同一であり、また、その曲率中心Ｃ2 は、Ｘ軸方向において第２ストッカＳ2 のコーナ部２よりも手前側であり、Ｙ軸方向において第１壁面部１から間隔Ｌとほぼ同一の間隔を有する位置に配置されている。そして、その中心角は（α＋９０°）である。即ち、第２曲線路Ｋ2 は、工程間搬送空間Ｂ0 の側に膨らんでいて、天井搬送車Ｖ0 が本来曲がるべき方向と同方向にわん曲された形態で設置されている。
【００２２】
ここで、第２曲線路Ｋ2 の中心角は（α＋９０°）であるため、第２曲線路Ｋ2 の終端部（第２直線路進入点Ｐ3 ）は、第１直線路Ｊ1 の延長線上に位置される。そして、第２曲線路Ｋ2 は、前記第２直線路進入点Ｐ3 において、第２直線路Ｊ2 と接続されている。この第２直線路Ｊ2 は、第２ストッカＳ2 の第２壁面部３に沿って設置されるものであり、前記第２壁面部３から一定の間隔Ｌを有する軌道である。
【００２３】
天井搬送車Ｖ0 が、第１曲線軌道Ａ1 を走行する際の作用について説明する。第１直線路Ｊ1 を走行する天井搬送車Ｖ0 が、第１曲線路進入点Ｐ1 に達すると、該天井搬送車Ｖ0 は第１曲線路Ｋ1 に進入する。該天井搬送車Ｖ0 は、第１曲線路Ｋ1 に案内されて、いったん第２ストッカＳ2 の第１壁面部１から遠ざかる方向（本来の曲がり方向と反対の方向、即ち、反時計回り）に、その中心角αだけ走行する。そして、前記天井搬送車Ｖ0 が第２曲線路進入点Ｐ2 に達すると、該天井搬送車Ｖ0 は第２曲線路Ｋ2 に案内されて走行する。このとき、天井搬送車Ｖ0 は工程間搬送空間Ｂ0 の側に膨らんだ状態で走行される。なお、クリーンルームにおける前記工程間搬送空間Ｂ0 の幅Ｗ0 （図５参照）は比較的広いため、他の天井搬送車Ｖ0 の走行に支障が生じることはない。
【００２４】
そして、前記天井搬送車Ｖ0 が、第２曲線路Ｋ2 を、その中心角（α＋９０°）のうち角度αの分だけ、時計回りに走行すると、該天井搬送車Ｖ0 の走行姿勢は、第１壁面部１とほぼ平行になる。図２において、そのときの天井搬送車Ｖ0 を二点鎖線で示す。このとき、天井搬送車Ｖ0 のＸ軸方向の中心位置は、第２壁面部３よりも（Ｒ−Ｌ）だけ手前側であり、同じくＹ軸方向の中心位置は、第１壁面部１よりも（Ｒ＋Ｌ）だけ離れた側に存している。続いて、天井搬送車Ｖ0 が、第２曲線路Ｋ2 の中心角（α＋９０°）のうち、残りの角度（９０°）分だけ走行すると、該天井搬送車Ｖ0 の走行姿勢は徐々に第２壁面部３に沿うように修正される。このようにして、天井搬送車Ｖ0 は、第２ストッカＳ2 のコーナ部２と干渉することなく直角に曲がることができる。天井搬送車Ｖ0 が第２直線路進入点Ｐ3 に達すると、該天井搬送車Ｖ0 は第２直線路Ｊ2 に進入し、第２壁面部３から一定の間隔Ｌだけ離れて走行する。
【００２５】
上記したように、天井搬送車Ｖ0 が第２ストッカＳ2 のコーナ部２を直角に曲がった後、該天井搬送車Ｖ0 は、第２ストッカＳ2 の第２壁面部３に近接した状態、即ち、一定の間隔Ｌだけ離れた状態で配置される。この結果、第２ストッカＳ2 と第２直線路Ｊ2 との間に無駄空間Ｑが発生せず、天井搬送車Ｖ0 を走行させるための工程内搬送空間Ｂ9 の幅を最小とすることができる。また、天井搬送車Ｖ0 と第２ストッカＳ2 とのウェハキャリア５２の移載作業が確実に行われる。
【００２６】
ここで、図２において、従来の曲線軌道を破線で示す。従来の曲線軌道では、互いに直交する２本の直線路Ｊ1,Ｊ2'が、中心角９０°の曲線路Ｋ’で接続されていたため、天井搬送車Ｖ0 が、第２ストッカＳ2 のコーナ部２との干渉を避けて曲がるためには、前記直線路Ｊ2'を第２壁面部３から曲率半径Ｒだけ離さなければならない。このため、工程内搬送空間Ｂ9 において、天井搬送車Ｖ0 と第２壁面部３との間隔Ｌが大きくなってしまうという不具合がある。しかし、本発明では、天井搬送車Ｖ0 は、第２ストッカＳ2 のコーナ部２との干渉を避けて曲がることができると共に、第２壁面部３から一定の間隔Ｌを有した状態で走行される。また、第２ストッカＳ2 のコーナ部２を切り欠く必要もない。
【００２７】
次に、第２曲線軌道Ａ2 について詳細に説明する。図３に示されるように、処理装置Ｔの第２壁面部４と第１壁面部６とで形成されるコーナ部５の周縁にほぼ沿って、第３直線路Ｊ3 、第３曲線路Ｋ3 、第４曲線路Ｋ4 、及び第４直線路Ｊ4 が、天井搬送車Ｖ0 の走行方向に沿ってこの順序で連続して接続されている。第３直線路Ｊ3 は、処理装置Ｔの第２壁面部４に沿って、しかも、該第２壁面部４から一定の間隔Ｌを有して設置された軌道である。この第３直線路Ｊ3 は、天井搬送車Ｖ0 が本来曲がるべき位置（延長走行路進入点Ｐ4 ）から、前記処理装置Ｔの第１壁面部６を超えて工程間搬送空間Ｂ0 の側にまで距離ｅだけ入り込んでいる。そして、第４直線路Ｊ4 の延長線上に設けられた第３曲線路進入点Ｐ5 において、第３曲線路Ｋ3 と連続して接続されている。この第３曲線路Ｋ3 の曲率中心Ｃ3 は、Ｘ軸方向において処理装置Ｔのコーナ部５よりも、距離（Ｒ−Ｌ）だけ奥側であり、Ｙ軸方向において第１壁面部６から間隔Ｌとほぼ同一の間隔を有する位置に配置されている。そして、その中心角は、第１曲線軌道Ａ1 における第２曲線路Ｋ2 の中心角と同一で、（α＋９０°）である。即ち、第３曲線路Ｋ3 は、天井搬送車Ｖ0 が本来曲がるべき方向と同方向にわん曲された形態で設置されている。
【００２８】
そして、第３曲線路Ｋ3 は、その終端部（第４曲線路進入点Ｐ6 ）において、第４曲線路Ｋ4 と接続されている。第４曲線路Ｋ4 の曲率半径Ｒは、前記第３曲線路Ｋ3 の曲率半径Ｒと同一であり、その曲率中心Ｃ4 は、工程間搬送空間Ｂ0 の部分で、しかも、第４直線路Ｊ4 に対して第１壁面部６と反対側に位置する。そして、その中心角αは９０°よりも小さい。即ち、第４曲線路Ｋ4 は、天井搬送車Ｖ0 が、本来曲がるべき方向と反対方向にわん曲された形態で設置されている。
【００２９】
ここで、第４曲線路Ｋ4 の中心角はαであるため、第４曲線路Ｋ4 の終端部（第４直線路進入点Ｐ7 ）は、第３曲線路Ｋ3 の曲率中心Ｃ3 を含んで第１壁面部６と平行な直線上に位置される。そして、第４曲線路Ｋ4 は、前記第４直線路進入点Ｐ7 において、第４直線路Ｊ4 と接続されている。この第４直線路Ｊ4 は、処理装置Ｔの第１壁面部６に沿って設置されるものであり、前記第１壁面部６から一定の間隔Ｌを有する軌道である。
【００３０】
天井搬送車Ｖ0 が、第２曲線軌道Ａ2 を走行する際の作用について説明する。第３直線路Ｊ3 を走行する天井搬送車Ｖ0 が、第２壁面部４の端部（延長走行路進入点Ｐ4 ）に達すると、該天井搬送車Ｖ0 は、そのまま工程間搬送空間Ｂ0 の側に距離ｅだけ延長走行する。そして、第３曲線路進入点Ｐ5 に達すると、天井搬送車Ｖ0 は第３曲線路Ｋ3 に進入する。該天井搬送車Ｖ0 は、第３曲線路Ｋ3 に案内されて、該天井搬送車Ｖ0 が本来曲がるべき方向に、中心角（α＋９０°）だけ時計回りに曲線走行する。そして、前記天井搬送車Ｖ0 が、第４曲線路進入点Ｐ6 に達すると、該天井搬送車Ｖ0 は、第４曲線路Ｋ4 に案内されて、該天井搬送車Ｖ0 が本来曲がるべき方向と反対方向に、中心角αだけ反時計回りに曲線走行する。
【００３１】
このとき、前記天井搬送車Ｖ0 の走行姿勢は、徐々に第１壁面部６に沿うように修正される。そして、天井搬送車Ｖ0 が第４直線路進入点Ｐ7 に達すると、天井搬送車Ｖ0 の走行姿勢は、第１壁面部６と平行になり、該天井搬送車Ｖ0 は、そのまま第４直線路Ｊ4 を走行する。上記したように、天井搬送車Ｖ0 が処理装置Ｔの第１壁面部６から距離ｅ（間隔Ｌとほぼ同一の長さ）を超えた位置に設置された第３曲線路Ｋ3 、及び第４曲線路Ｋ4 に案内されて曲線走行することは、「オーバーシュート」と称されている。このようにして、天井搬送車Ｖ0 は、処理装置Ｔのコーナ部５と干渉することなく直角に曲がることができる。そして、前記天井搬送車Ｖ0 は、第４直線路Ｊ4 に案内され、第１壁面部６から一定の間隔Ｌだけ離れて走行する。
【００３２】
上記したように、天井搬送車Ｖ0 が処理装置Ｔのコーナ部５を直角に曲がった後、該天井搬送車Ｖ0 は迅速にして、処理装置Ｔの第１壁面部６に近接される。換言すれば、間隔Ｌだけ離れた状態に配置される。この結果、処理装置Ｔと第４直線路Ｊ4 との間に発生する無駄空間Ｑの大きさを最小にすることができる。
【００３３】
ここで、図３において、従来の曲線軌道を破線で示す。天井搬送車Ｖ0 が処理装置Ｔのコーナ部５との干渉を避けて曲がるとき、該天井搬送車Ｖ0 と第１壁面部６との間隔が、規定の間隔Ｌよりも広くなってしまう。しかし、本発明の場合、前記処理装置Ｔのコーナ部５との干渉を避けることができると共に、天井搬送車Ｖ0 を、処理装置Ｔの第１壁面部６に迅速に近接させることができる。
【００３４】
図１に示されるように、本実施例の曲線軌道Ａ1,Ａ2 が、クリーンルームにおける工程間搬送空間Ｂ0 と工程内搬送空間Ｂ9 との接続部分Ｅに設置されている。即ち、本実施例の軌道敷設空間は、クリーンルーム内に設けられた物品搬送空間である。そして、第２直線路Ｊ2 と第３直線路Ｊ3 には、同時に複数台の天井搬送車Ｖ0 が進入する場合があるが、前記工程内搬送空間Ｂ9 における両直線路Ｊ2,Ｊ3 は平行に配置されているため、互いに逆方向に走行する天井搬送車Ｖ0 どうしが接触することはない。このため、同一の天井搬送車Ｖ0 を、工程間搬送空間Ｂ0 と工程内搬送空間Ｂ9 とを連続して走行させることができ、ウェハキャリア５２（図５参照）の搬送を効率的に行うことができる。しかも、第１及び第２の各ストッカＳ1,Ｓ2 のコーナ部２，５と天井搬送車Ｖ0 とが干渉することが回避されると共に、曲がった後の天井搬送車Ｖ0 、或いは曲がる前の天井搬送車Ｖ0 と各ストッカＳ1,Ｓ2 との間隔Ｌが保持される。この結果、工程内搬送空間Ｂ9 の幅を広げることが不要であるため、クリーンルームの設置空間の大きさを最小にすることができ、該クリーンルームの建設費、或いは運転費を安価にすることができる。
【００３５】
本明細書では、コーナ部が直角である場合について説明した。しかし、前記コーナ部が直角以外の角度、例えば、図２において二点鎖線で示されるように、β（β＜９０°）であっても構わない。この場合、第２曲線路Ｋ2 の中心角は、（α−β＋１８０°）となる。また、各曲線軌道Ａ1,Ａ2 は、すべて曲線路Ｋ1 〜Ｋ4 で形成されていなくてもよく、例えば、曲線路Ｋ1 と曲線路Ｋ2 との間に直線路が設けられていても構わない。
【００３６】
本明細書では、曲線軌道Ａ1,Ａ2 がクリーンルームに設置された場合について説明した。しかし、本発明に係る曲線軌道Ａ1,Ａ2 が設置される場所は、クリーンルームに限られるものではない。
【００３７】
【発明の効果】
本発明は、直角コーナ部における相隣接する壁面に沿って平行に敷設されて、互いにほぼ直交する第１及び第２の各直線路を接続する天井搬送車の軌道構造であって、互いに反対の方向にわん曲された第１及び第２の各曲線路から成る。このため、第１の直線路を走行する天井搬送車は、第１及び第２の各曲線路を介して、前記コーナ部と干渉することなく曲がって、第２の直線路に進入することができる。しかも、天井搬送車が直角に曲がった後、該天井搬送車は、前記コーナ部を形成する壁面から一定の間隔だけ離れた位置に近接されるため、無駄空間の発生を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】. 請求項１及び２に記載の発明に係る曲線軌道Ａ1,Ａ2 が、工程間搬送空間Ｂ0 と工程内搬送空間Ｂ9 との接続部分Ｅに設置された状態の平面図である。
【図２】 曲線軌道Ａ1 の拡大平面図である。
【図３】 曲線軌道Ａ2 の拡大平面図である。
【図４】 工程間搬送軌道５１と工程内搬送軌道５３，５４とが分離された状態で設置されたクリーンルームの平面図である。
【図５】 工程間搬送軌道５１と工程内搬送軌道５３，５４とが連続状態で設置されたクリーンルームの平面図である。
【図６】 天井搬送車Ｖ0 と第１ストッカＳ1 のコーナ部５５とが、干渉する状態を示す図である。
【図７】 天井搬送車Ｖ0 が、第１ストッカＳ1 のコーナ部５５との干渉を避けて曲がるときに、天井搬送車Ｖ0 と第２壁面部５７との間に無駄空間Ｑが形成される状態を示す図である。
【符号の説明】
Ａ1,Ａ2 ：曲線軌道（接続曲線路）
Ｂ0 ：工程間搬送空間（搬送空間）
Ｂ1 〜Ｂ10：工程内搬送空間（搬送空間）
Ｊ1 〜Ｊ4 ：直線路
Ｋ1 〜Ｋ4 ：曲線路
Ｖ0,Ｖ1,Ｖ2 ：天井搬送車
α：中心角
１，６：第１壁面部（壁面）
２，５：コーナ部
３，４：第２壁面部（壁面）
Claims (3)
- ストッカ等の直交して相隣接する各壁面に沿って平行となって天井にモノレール状に敷設され、天井搬送車の走行方向を直角に曲げる前記各壁面の直角コーナ部において、互いに直交する第１及び第２の各直線路を接続する天井搬送車の軌道構造であって、
前記第１及び第２の各直線路は、当該各直線路が平行に沿っている前記各壁面から互いに等しい間隔をおいて配置され、
本来の曲げ方向と反対方向にわん曲された中心角（α）〔α＜９０°〕の第１曲線路と、本来の曲げ方向にわん曲された中心角（９０°＋α）の第２曲線路とが、前記走行方向に沿って、この順序で変曲点を介して接続されて接続曲線路が形成され、
前記第１及び第２の各直線路は、前記接続曲線路を介して接続されていると共に、前記第２曲線路の曲率中心、及び前記第２直線路への進入開始点は、いずれも前記第１直線路の仮想延長線上に位置することを特徴とする天井搬送車の軌道構造。 - ストッカ等の直交して相隣接する各壁面に沿って平行となって天井にモノレール状に敷設され、天井搬送車の走行方向を直角に曲げる前記各壁面の直角コーナ部において、互いに直交する第１及び第２の各直線路を接続する天井搬送車の軌道構造であって、
前記第１及び第２の各直線路は、当該各直線路が平行に沿っている前記各壁面から互いに等しい間隔をおいて配置され、
本来の曲げ方向にわん曲された中心角（９０°＋α）〔α＜９０°〕の第１曲線路と、本来の曲げ方向と反対方向にわん曲された中心角（α）の第２曲線路とが、前記走行方向に沿って、この順序で変曲点を介して接続されて接続曲線路が形成され、
前記第１及び第２の各直線路は、前記接続曲線路を介して接続されていると共に、前記第１曲線路の曲率中心、及び当該第１曲線路への進入開始点は、いずれも前記第２直線路の仮想延長線上に位置することを特徴とする天井搬送車の軌道構造。 - 軌道敷設空間は、クリーンルーム内に設けられた物品搬送空間であることを特徴とする請求項１又は２に記載の天井搬送車の軌道構造。
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