JP4264986B2 - クリーンルーム内軌道式搬送装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体デバイス等を製造するクリーンルーム内において、工程間搬送や工程内搬送を行うクリーンルーム内軌道式搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体デバイス等を製造するクリーンルーム内においては、ウェーハキャリア等のワークを工程間で搬送するため、あるいは工程内で搬送するために、軌道式搬送装置が用いられている。この場合、クリーンルームの建設費や運転費が非常に高いことから、工程間搬送装置の設置される中央通路や工程内搬送装置の設置されるベイについても、可能な限りの幅狭化の要請が強い。つまり、クリーンルーム内部の装置は床面積が小さいことが重要となる。
【0003】
図3はこの種の軌道式搬送装置の従来例を示している。
図3(a)において、1はループ軌道であり、水平面内に並ぶ2本の直線平行部1Aと、両端の所定曲率のUターン部1Bとからなる。2は搬送台車で、軌道1に沿って無人で走行する。図3(b)に示すように、搬送台車2は、軌道1を走行する搬送台車本体3と、その上部に配された荷台(ワーク保持部)4とからなり、荷台4の上には、多数のウェーハを収容したウェーハキャリアMAが搭載される。搬送台車本体3には、軌道1に荷重を預けるための走行車輪5と、軌道1からガイド作用を受けるためのガイドローラ6とが設けられている。また、搬送台車本体3の下部には、軌道1に沿って配された磁石8との間で走行力を発生するリニアモータ1次側7が設けられている。
【0004】
従来の搬送装置では、図3(b)に示すように、搬送台車本体3の幅方向の中心位置C1と、荷台4の中心位置C2とを一致させて設けてあり、例えば、軌道1の幅(例200mm)よりも大きい荷台4の幅WAを300mm、Uターン部1Bの曲率半径Rを700mmとした場合、軌道中心を基準にして左右に均等な寸法W1(=WA/2=150mm)だけ荷台4が張り出すので、軌道1を含めた搬送装置の全体幅L1が、
L1=2R+2W1=1700mm
となっていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、半導体デバイスを安価に製造するため、最近では、ウェーハの大きさが200mmから300mmへと大口径化し、そのため、荷台の幅として従来の300mmのものから400mmのものを扱う工場を作る必要が出てきた。
【0006】
図3(a)の2Bで示すものは、従来方式で荷台の幅だけをWB(400mm)に拡大した搬送台車である。この場合は、荷台の中心位置C1と搬送台車本体の中心位置C2が一致しているので、軌道中心を基準にして左右に均等な寸法W2(200mm)だけ荷台が張り出すことになり、軌道1を含めた搬送装置の全体幅L2が、
L2=2R+2W2=1800mm
と、従来より増大してしまうことになる。300mmウェーハの時代には、より清浄度の高いクリーンルームが必要となり、クリーンルームにかかるコストが高くなる。よって、ますます通路幅を狭くする要求が出てくる。従って、従来方式のままに荷台の幅をWAからWBに拡大した場合、600mm単位のグレーチング床の幅3枚分である、現状よく用いられるスペースである通路幅1800mmには、全然余裕がとれないので、導入できず、グレーチング幅4枚分である2400mmが必要となるという問題があった。
【0007】
なお、軌道1のUターン部1Bの曲率半径Rを小さくして、搬送装置の全体幅L2の縮小を図ることも考えられるが、Uターン部1Bの曲率半径Rは、搬送台車本体3の寸法(特に長さ)と軌道1の幅などとの関係から、寸法縮小に限界がある。例えば、搬送台車本体3は、左右のガイドローラ6を軌道1の内側部に転動させながら走行するが、軌道1の曲率半径Rが小さくなると、軌道1の内側部と搬送台車本体3とが干渉するおそれが出てくる。また、軌道1に磁石8を設置し、搬送台車本体3にリニアモータ一次側7を設置して駆動する場合、軌道1の曲率半径Rが小さいと、リニアモータ一次側7が磁石8からはみ出すおそれが出てくる。そのような理由のため、軌道1の曲率半径Rは、現状より大幅に小さくできないという前提があった。
【0008】
本発明は、上記事情を考慮し、ワーク保持部(荷台)の幅を拡大した場合でも搬送装置の全体幅の増大を抑えることができ、それにより、現状の幅のスペースに設置可能な軌道式搬送装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
請求項1の発明は、クリーンルーム内に水平方向に並設された直線平行部の両端にUターン部が設けられて環状に形成された軌道と、該軌道に沿って走行する搬送台車本体と、該搬送台車本体の上または下に配されたワーク保持部とを備えたクリーンルーム内軌道式搬送装置において、前記ワーク保持部の水平方向における中心位置を、前記搬送台車本体の中心位置よりも、前記軌道の内側にオフセットして設けたことを特徴とする。
【0010】
請求項2の発明は、請求項1において、前記搬送台車本体と前記ワーク保持部とが、一体的に連結されており、前記ワーク保持部を、水平方向にオフセットして設けたことを特徴とする。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図1(a)、(b)に示すように、本発明の実施形態の搬送装置では、搬送台車20の荷台24の幅WBを、大口径ウェーハを収容したウェーハキャリアMBに合わせて400mmに拡大している。そして、その荷台24の幅方向中心位置C2を、搬送台車本体3の中心位置C1より、軌道1の内側にオフセットしている。オフセット量Sは、荷台24の幅の増大分(400mm−300mm=100mm)の半分(50mm)としている。これにより、軌道中心を基準にした場合、軌道中心より外側の寸法W21が従来と変わらず150mm、内側の寸法W22が250mmとなり、軌道1を含めた搬送装置の全体幅L1が1700mmに収まる。よって、荷台24の幅を広げた場合でも、現状のスペース(通路幅1800mmに、従来と同様の余裕を持って設置することができる。その他の構成は、図3の従来例と同じであるから説明を省略する。
【0012】
なお、上記実施形態では、搬送台車本体3の上にワーク保持部である荷台24が配された搬送装置を例示したが、吊り下げの搬送装置にも本発明は適用することができる。
【0013】
図2(a)は、吊り下げ式の搬送装置に本発明を適用した例を示す正面図、図2(b)は、比較のために従来の搬送装置を示す正面図である。図2(a)の本発明の実施形態の搬送装置では、軌道11の下側に搬送台車本体31が車輪32により吊り下げられ、軌道11に沿って走行できるようにされており、搬送台車本体31の下側に、ワイヤ巻き取り機構35を含んだワーク保持部44が配されている。ワーク保持部44は、吊りワイヤ36で吊り保持されたハンド部37を有し、ハンド部37で大口径ウェーハを収容したウェーハキャリアMBを保持するようになっている。
【0014】
特に、この搬送装置では、ワーク保持部44の幅が、図2(b)の従来のものよりも大きくされ、その中心位置C2が、搬送台車本体31の中心位置C1からオフセットして配置しており、ワーク保持部44の幅が増大しているにも拘わらず、軌道中心から左側の寸法W4が従来と等しくなるように設定されている。従って、ワーク保持部44の幅の増大にも拘わらず、現状のスペースに導入することができる。
【0015】
なお、以上では、ワーク保持部の幅を拡大する場合の対策について述べたが、ワーク保持部の幅を従来と変えずに、ワーク保持部の中心位置だけ搬送台車本体の中心位置からオフセットしてもよい。例えば、300mm幅の荷台を外側に100mm、内側に200mmと振り分けて配置し、従来より荷台の中心位置を50mmだけ軌道の内側にオフセットした場合は、搬送装置の全体幅L1を1600mmにできる。よって、設置スペースの縮小が可能となる。
【0016】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ワーク保持部の幅を拡大した場合でも搬送装置の全体幅の増大を抑えることができ、現状の幅のスペースに無理なく搬送装置を設置することができる。また、ワーク保持部の幅を変えない場合は、搬送装置の全体幅を縮小することができ、クリーンルーム内での占有スペースを減らすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施形態を示す図で、(a)は全体の概略構成を示す平面図、(b)は(a)図のIb−Ib矢視図である。
【図2】 本発明の他の実施形態の説明図で、(a)は本発明の実施形態における搬送台車の正面図、(b)はそれと比較するために示す従来の搬送台車の正面図である。
【図3】 従来の軌道式搬送装置を示す図で、(a)は全体の概略構成を示す平面図、(b)は(a)図のIb−Ib矢視図である。
【符号の説明】
1,11 ループ軌道
1A 直線平行部
1B Uターン部
3 搬送台車本体
20 搬送台車
24 荷台(ワーク保持部)
44 ワーク保持部
C1 搬送台車本体の中心位置
C2 荷台の中心位置
Claims (2)
- クリーンルーム内に水平方向に並設された直線平行部の両端にUターン部が設けられて環状に形成された軌道と、該軌道に沿って走行する搬送台車本体と、該搬送台車本体の上または下に配されたワーク保持部とを備えたクリーンルーム内軌道式搬送装置において、
前記ワーク保持部の水平方向における中心位置を、前記搬送台車本体の中心位置よりも、前記軌道の内側にオフセットして設けたことを特徴とするクリーンルーム内軌道式搬送装置。 - 前記搬送台車本体と前記ワーク保持部とが、一体的に連結されており、
前記ワーク保持部を、水平方向にオフセットして設けたことを特徴とする請求項1に記載のクリーンルーム内軌道式搬送装置。
Priority Applications (1)
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JP32926897A JP4264986B2 (ja) | 1997-11-28 | 1997-11-28 | クリーンルーム内軌道式搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP32926897A JP4264986B2 (ja) | 1997-11-28 | 1997-11-28 | クリーンルーム内軌道式搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH11157444A JPH11157444A (ja) | 1999-06-15 |
JP4264986B2 true JP4264986B2 (ja) | 2009-05-20 |
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ID=18219559
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP32926897A Expired - Lifetime JP4264986B2 (ja) | 1997-11-28 | 1997-11-28 | クリーンルーム内軌道式搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI554464B (zh) * | 2015-06-22 | 2016-10-21 | 盟立自動化股份有限公司 | 運輸裝置及使用該運輸裝置之運輸系統 |
-
1997
- 1997-11-28 JP JP32926897A patent/JP4264986B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11157444A (ja) | 1999-06-15 |
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