JP2001247206A - 無人搬送車システム - Google Patents
無人搬送車システムInfo
- Publication number
- JP2001247206A JP2001247206A JP2000059882A JP2000059882A JP2001247206A JP 2001247206 A JP2001247206 A JP 2001247206A JP 2000059882 A JP2000059882 A JP 2000059882A JP 2000059882 A JP2000059882 A JP 2000059882A JP 2001247206 A JP2001247206 A JP 2001247206A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guided vehicle
- automatic guided
- station
- work
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- Platform Screen Doors And Railroad Systems (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 通路１２からほぼ直角に引き込むように、ス
テーション２２を複数個処理装置２０に設け、無人搬送
車１４に設けたリフターで、ステーション２２との間で
移載する。 【効果】 移載中の無人搬送車と走行中の無人搬送車と
の干渉を除き、かつ無人搬送車やステーションの構造を
単純化できる。
テーション２２を複数個処理装置２０に設け、無人搬送
車１４に設けたリフターで、ステーション２２との間で
移載する。 【効果】 移載中の無人搬送車と走行中の無人搬送車と
の干渉を除き、かつ無人搬送車やステーションの構造を
単純化できる。
Description
【０００１】
【発明の利用分野】この発明は無人搬送車システムに関
し、特に移載中の無人搬送車と走行中の無人搬送車との
干渉等を除き、搬送効率を向上させることに関する。
し、特に移載中の無人搬送車と走行中の無人搬送車との
干渉等を除き、搬送効率を向上させることに関する。
【０００２】
【従来技術】クリーンルーム等で、半導体基板や液晶基
板等のワークの搬送に当たる無人搬送車は、スカラーア
ーム等の移載装置を備えて、処理装置のステーションと
の間でワークを移載する。そして半導体基板や液晶基板
の大型化に伴い、ワークの重量はますます増している。
無人搬送車は重いワークをスカラーアームで移載するの
で、ワークの大型化に伴い無人搬送車も大型化し、これ
に伴ってステーションも大型化している。
板等のワークの搬送に当たる無人搬送車は、スカラーア
ーム等の移載装置を備えて、処理装置のステーションと
の間でワークを移載する。そして半導体基板や液晶基板
の大型化に伴い、ワークの重量はますます増している。
無人搬送車は重いワークをスカラーアームで移載するの
で、ワークの大型化に伴い無人搬送車も大型化し、これ
に伴ってステーションも大型化している。
【０００３】次に処理装置の生産性の向上のため、無人
搬送車の搬送能力の向上が求められている。このネック
となっているのが、ワークを移載中の無人搬送車と走行
中の無人搬送車との干渉である。この状況を図４に示す
と、通路２に無人搬送車３〜５があり、無人搬送車３，
４はステーション６に横付けしてワークを移載中とす
る。走行中の無人搬送車５は、移載中の無人搬送車３，
４を避けるため、図の矢印のように複雑にカーブしなが
ら走行することを要求される。ここで無人搬送車３，４
が横並びに停止して移載すると、通路２は塞がれてしま
う。
搬送車の搬送能力の向上が求められている。このネック
となっているのが、ワークを移載中の無人搬送車と走行
中の無人搬送車との干渉である。この状況を図４に示す
と、通路２に無人搬送車３〜５があり、無人搬送車３，
４はステーション６に横付けしてワークを移載中とす
る。走行中の無人搬送車５は、移載中の無人搬送車３，
４を避けるため、図の矢印のように複雑にカーブしなが
ら走行することを要求される。ここで無人搬送車３，４
が横並びに停止して移載すると、通路２は塞がれてしま
う。
【０００４】
【発明の課題】この発明の課題は、移載中の無人搬送車
と走行中の無人搬送車との干渉を除き、かつ無人搬送車
やステーション双方の構成を簡単化することにある（請
求項１〜３）。請求項２の発明での追加の課題は、ワー
クの受け渡し位置の精度を増して、処理装置の移載装置
でのワークの搬送を容易にすることにある。請求項３の
発明の追加の課題は、ステーションに停止中の無人搬送
車と通路を走行中の無人搬送車との干渉を除きながら、
処理装置に多くのステーションを設けることができるよ
うにし、またステーションと処理装置の移載装置間の物
品の受け渡しを容易にすることにある。
と走行中の無人搬送車との干渉を除き、かつ無人搬送車
やステーション双方の構成を簡単化することにある（請
求項１〜３）。請求項２の発明での追加の課題は、ワー
クの受け渡し位置の精度を増して、処理装置の移載装置
でのワークの搬送を容易にすることにある。請求項３の
発明の追加の課題は、ステーションに停止中の無人搬送
車と通路を走行中の無人搬送車との干渉を除きながら、
処理装置に多くのステーションを設けることができるよ
うにし、またステーションと処理装置の移載装置間の物
品の受け渡しを容易にすることにある。
【０００５】
【発明の構成】この発明の無人搬送車システムでは、ワ
ーク載置用のステーションと、該ステーションと処理装
置本体との間でワークを移載するための移載装置とを備
えた処理装置を、無人搬送車の通路に沿って複数設け、
かつ前記ステーションをその下部に無人搬送車が潜り込
み可能に構成して、無人搬送車に設けたリフターで、ワ
ークをステーションと無人搬送車との間で受け渡すよう
にする。
ーク載置用のステーションと、該ステーションと処理装
置本体との間でワークを移載するための移載装置とを備
えた処理装置を、無人搬送車の通路に沿って複数設け、
かつ前記ステーションをその下部に無人搬送車が潜り込
み可能に構成して、無人搬送車に設けたリフターで、ワ
ークをステーションと無人搬送車との間で受け渡すよう
にする。
【０００６】好ましくは、無人搬送車とステーションの
各々に、ワークを位置決めして載置するための載置台を
設ける（請求項２）。また好ましくは、処理装置にステ
ーションを複数、無人搬送車の通路からほぼ直角に引き
込むように設けると共に、移載装置を前記の複数のステ
ーション間で走行自在に配設する（請求項３）。
各々に、ワークを位置決めして載置するための載置台を
設ける（請求項２）。また好ましくは、処理装置にステ
ーションを複数、無人搬送車の通路からほぼ直角に引き
込むように設けると共に、移載装置を前記の複数のステ
ーション間で走行自在に配設する（請求項３）。
【０００７】
【発明の作用と効果】この発明では、無人搬送車は処理
装置に設けたステーション内に潜り込んでワークを移載
するので、ステーションに無人搬送車を横付けして移載
する場合と異なり、移載中の無人搬送車と通路を走行中
の無人搬送車との干渉が生じない。また無人搬送車には
リフターを設ければ良く、ステーションにはワークの載
置台等を設ければよいので、無人搬送車やステーション
の構造を簡単化できる（請求項１）。
装置に設けたステーション内に潜り込んでワークを移載
するので、ステーションに無人搬送車を横付けして移載
する場合と異なり、移載中の無人搬送車と通路を走行中
の無人搬送車との干渉が生じない。また無人搬送車には
リフターを設ければ良く、ステーションにはワークの載
置台等を設ければよいので、無人搬送車やステーション
の構造を簡単化できる（請求項１）。
【０００８】請求項２の発明では、無人搬送車とステー
ションの各々にワーク載置用の載置台を設けて、載置台
でワークを位置決めして載置できるようにする。このた
め、ワークを所定の位置に載置でき、処理装置の移載装
置がワークを搬送するのが容易になる。
ションの各々にワーク載置用の載置台を設けて、載置台
でワークを位置決めして載置できるようにする。このた
め、ワークを所定の位置に載置でき、処理装置の移載装
置がワークを搬送するのが容易になる。
【０００９】請求項３の発明では、ステーションへ無人
搬送車を通路からほぼ直角に引き込むので、処理装置に
多数のステーションを設けることができ、また処理装置
の移載装置はステーションの奧側等を走行すれば良く、
移載装置とステーションとの間でのワークの受け渡しも
容易になる。
搬送車を通路からほぼ直角に引き込むので、処理装置に
多数のステーションを設けることができ、また処理装置
の移載装置はステーションの奧側等を走行すれば良く、
移載装置とステーションとの間でのワークの受け渡しも
容易になる。
【００１０】
【実施例】図１〜図３に実施例を示す。図１に、無人搬
送車システムの構成を全体的に示すと、１２は無人搬送
車１４の通路で、クリーンルーム等に設けて、例えば２
車線分の幅がある。１６は無人搬送車１４上のワーク
で、液晶基板や半導体基板を収容したカセット等とす
る。通路１２に面して、処理装置２０が複数設けられ、
２２は無人搬送車１４との間でワーク１６を移載するた
めのステーションで、通路１２からほぼ直角に引き込む
ように、例えば処理装置２０当たり３つのステーション
を設ける。そして無人搬送車１４は、ステーション２２
内へ潜り込むようにして進入し、後述のリフターでワー
ク１６を移載する。
送車システムの構成を全体的に示すと、１２は無人搬送
車１４の通路で、クリーンルーム等に設けて、例えば２
車線分の幅がある。１６は無人搬送車１４上のワーク
で、液晶基板や半導体基板を収容したカセット等とす
る。通路１２に面して、処理装置２０が複数設けられ、
２２は無人搬送車１４との間でワーク１６を移載するた
めのステーションで、通路１２からほぼ直角に引き込む
ように、例えば処理装置２０当たり３つのステーション
を設ける。そして無人搬送車１４は、ステーション２２
内へ潜り込むようにして進入し、後述のリフターでワー
ク１６を移載する。
【００１１】ステーション２２の奧側に、通路１２にほ
ぼ平行に、枚葉移載機等の移載装置２４が走行し、処理
装置２０の本体に設けた受け渡し口２６，２８を介し
て、処理装置本体との間でワーク中の液晶基板や半導体
基板を移載する。そして例えば受け渡し口２６から、ワ
ーク中の基板を処理装置本体に送り込み、処理終了後に
受け渡し口２８から取り出して、ワーク１６に再収容す
る。２９は、通路１２に設けた無人搬送車１４の走行路
で、ステーション２２への潜り込みには、図の半円状に
カーブ走行する。これはステーション２２の手前で、無
人搬送車１４が直角にステアリングすることによる、発
塵を防止するためである。
ぼ平行に、枚葉移載機等の移載装置２４が走行し、処理
装置２０の本体に設けた受け渡し口２６，２８を介し
て、処理装置本体との間でワーク中の液晶基板や半導体
基板を移載する。そして例えば受け渡し口２６から、ワ
ーク中の基板を処理装置本体に送り込み、処理終了後に
受け渡し口２８から取り出して、ワーク１６に再収容す
る。２９は、通路１２に設けた無人搬送車１４の走行路
で、ステーション２２への潜り込みには、図の半円状に
カーブ走行する。これはステーション２２の手前で、無
人搬送車１４が直角にステアリングすることによる、発
塵を防止するためである。
【００１２】図２に、無人搬送車１４の構成を示す。３
０は無人搬送車１４の車体で、３２はレーザーナビゲー
タで、停止精度を高めて、ステーション２２とのワーク
１６の移載位置の精度を増すため、レーザーナビゲータ
３２で無人搬送車１４を誘導する。３４はリフターで、
ワーク１６を昇降させて、ステーション２２との間で移
載し、３６はリフター３４の周囲の４隅に配置した載置
台で、３８は載置面で、４０はテーパー部で、載置面３
８側が下になるテーパーをしており、ワーク１６をガイ
ドして、載置面３８上に下ろされるようにする。なおテ
ーパー部４０の断面を、図２から引き出して示す。また
載置面３８へワーク１６をガイドするための手段は、テ
ーパー部４０を用いるものには限らない。
０は無人搬送車１４の車体で、３２はレーザーナビゲー
タで、停止精度を高めて、ステーション２２とのワーク
１６の移載位置の精度を増すため、レーザーナビゲータ
３２で無人搬送車１４を誘導する。３４はリフターで、
ワーク１６を昇降させて、ステーション２２との間で移
載し、３６はリフター３４の周囲の４隅に配置した載置
台で、３８は載置面で、４０はテーパー部で、載置面３
８側が下になるテーパーをしており、ワーク１６をガイ
ドして、載置面３８上に下ろされるようにする。なおテ
ーパー部４０の断面を、図２から引き出して示す。また
載置面３８へワーク１６をガイドするための手段は、テ
ーパー部４０を用いるものには限らない。
【００１３】図３に、ステーション２２と無人搬送車１
４との関係を示す。ステーション２２は、通路１２から
ほぼ直角に無人搬送車１４を引き込むように配置され、
かつ処理装置２０当たりに複数個、ここでは３個、設け
られている。そしてステーション２２は、例えば板状の
載置部４２を備え、テーパー部４０と同様に載置部４２
を下側とするテーパー状のガイド４４を設けて、ワーク
１６を位置決めしながら、無人搬送車１４から荷下ろし
するようにしてある。枚葉移載機等の移載装置２４は、
ステーション２２の奧側に通路１２とほぼ平行に配置し
た軌道４６に沿って走行し、受け渡し口２６等との間
で、ワーク１６中の基板等を受け渡しする。また４８は
移載装置２４のスカラーアームで、図では基板５０を１
枚ずつ移載中である。
４との関係を示す。ステーション２２は、通路１２から
ほぼ直角に無人搬送車１４を引き込むように配置され、
かつ処理装置２０当たりに複数個、ここでは３個、設け
られている。そしてステーション２２は、例えば板状の
載置部４２を備え、テーパー部４０と同様に載置部４２
を下側とするテーパー状のガイド４４を設けて、ワーク
１６を位置決めしながら、無人搬送車１４から荷下ろし
するようにしてある。枚葉移載機等の移載装置２４は、
ステーション２２の奧側に通路１２とほぼ平行に配置し
た軌道４６に沿って走行し、受け渡し口２６等との間
で、ワーク１６中の基板等を受け渡しする。また４８は
移載装置２４のスカラーアームで、図では基板５０を１
枚ずつ移載中である。
【００１４】実施例の作用効果を示す。図１に示したよ
うに、無人搬送車１４はステーション２２に潜り込ん
で、ワーク１６を移載するので、移載中の無人搬送車１
４は通路１２を塞がない。この結果、移載中の無人搬送
車と走行中の無人搬送車との干渉を除くことができ、通
路１２の幅を狭くしたり、あるいは通路１２での走行台
数を増したりすることができる。
うに、無人搬送車１４はステーション２２に潜り込ん
で、ワーク１６を移載するので、移載中の無人搬送車１
４は通路１２を塞がない。この結果、移載中の無人搬送
車と走行中の無人搬送車との干渉を除くことができ、通
路１２の幅を狭くしたり、あるいは通路１２での走行台
数を増したりすることができる。
【００１５】ステーション２２は通路１２にほぼ直角に
配置されているので、処理装置２０の通路１２に面した
幅当たりで、多数のステーション２２を設けることがで
き、処理装置２０に出し入れできる基板の数が増加す
る。また移載装置２４はステーション２２の奧側を走行
すれば良く、ステーション２２との間でのワーク（ここ
では基板）の受け渡しが容易になる。これらのため、処
理装置２０へのワークの供給搬出能力が増す。
配置されているので、処理装置２０の通路１２に面した
幅当たりで、多数のステーション２２を設けることがで
き、処理装置２０に出し入れできる基板の数が増加す
る。また移載装置２４はステーション２２の奧側を走行
すれば良く、ステーション２２との間でのワーク（ここ
では基板）の受け渡しが容易になる。これらのため、処
理装置２０へのワークの供給搬出能力が増す。
【００１６】無人搬送車１４やステーション２２は、リ
フター３４でワーク１６を移載するので、スカラーアー
ム等の移載装置を用いる場合に比べ、構造が簡単にな
る。特にワーク１６を昇降させて移載するので、無人搬
送車１４が重いワークのために横倒しになる恐れがな
い。またこれに伴って、ステーション２２の構成も簡単
になる。
フター３４でワーク１６を移載するので、スカラーアー
ム等の移載装置を用いる場合に比べ、構造が簡単にな
る。特にワーク１６を昇降させて移載するので、無人搬
送車１４が重いワークのために横倒しになる恐れがな
い。またこれに伴って、ステーション２２の構成も簡単
になる。
【００１７】さらに、テーパー部４０やガイド４４でワ
ークを位置決めしながら移載するので、ワーク１６の載
置位置の精度が増し、無人搬送車１４で繰り返しワーク
１６を搬送しても、移載の都度に載置位置が矯正され、
移載装置２４での基板の移載が容易になる。また無人搬
送車１４をカーブ走行でステーション２２へ出入りさせ
るので、直角にステアリングする際の発塵がない。
ークを位置決めしながら移載するので、ワーク１６の載
置位置の精度が増し、無人搬送車１４で繰り返しワーク
１６を搬送しても、移載の都度に載置位置が矯正され、
移載装置２４での基板の移載が容易になる。また無人搬
送車１４をカーブ走行でステーション２２へ出入りさせ
るので、直角にステアリングする際の発塵がない。
【図１】 実施例での無人搬送車の走行路とステーショ
ンの配置を示す平面図
ンの配置を示す平面図
【図２】 実施例での無人搬送車の平面図
【図３】 実施例でのステーションと処理装置側移載装
置とを示す平面図
置とを示す平面図
【図４】 従来例での無人搬送車の走行路とステーショ
ンの配置を示す平面図
ンの配置を示す平面図
２，１２ 通路 ３，４，５ 無人搬送車 ６，２２ ステーション １４ 無人搬送車 １６ ワーク ２０ 処理装置 ２４ 移載装置 ２６，２８ 受け渡し口 ２９ 走行路 ３０ 車体 ３２ レーザーナビゲータ ３４ リフター ３６ 載置台 ３８ 載置面 ４０ テーパー部 ４２ 載置部 ４４ ガイド ４６ 軌道 ４８ スカラーアーム ５０ 基板
Claims (3)
- 【請求項１】 ワーク載置用のステーションと、該ステ
ーションと処理装置本体との間でワークを移載するため
の移載装置とを備えた処理装置を、無人搬送車の通路に
沿って複数設け、かつ前記ステーションをその下部に無
人搬送車が潜り込み可能に構成して、無人搬送車に設け
たリフターで、ワークをステーションと無人搬送車との
間で受け渡すようにした、無人搬送車システム。 - 【請求項２】 無人搬送車とステーションの各々に、ワ
ークを位置決めして載置するための載置台を設けたこと
を特徴とする、請求項１の無人搬送車システム。 - 【請求項３】 前記処理装置にステーションを複数、無
人搬送車の通路からほぼ直角に引き込むように設けると
共に、前記移載装置を前記複数のステーション間で走行
自在に配設したことを特徴とする、請求項１または２の
無人搬送車システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000059882A JP2001247206A (ja) | 2000-03-06 | 2000-03-06 | 無人搬送車システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000059882A JP2001247206A (ja) | 2000-03-06 | 2000-03-06 | 無人搬送車システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001247206A true JP2001247206A (ja) | 2001-09-11 |
Family
ID=18580278
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000059882A Pending JP2001247206A (ja) | 2000-03-06 | 2000-03-06 | 無人搬送車システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001247206A (ja) |
-
2000
- 2000-03-06 JP JP2000059882A patent/JP2001247206A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040301 |