WO2022130758A1 - 搬送システム - Google Patents

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WO2022130758A1
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transfer
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陽一 本告
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村田機械株式会社
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    • B65G2201/02—Articles
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Definitions

  • the present invention relates to a transport system.
  • Patent Document 1 describes a first track provided in the first building, a second track provided in a second building different from the first building, and a second track provided in the first building, and the transported object is conveyed by traveling on the first track.
  • a first ceiling carrier for transferring the object to be transported a second ceiling carrier for transporting the object to be transported while traveling on the second track, a first ceiling carrier, and a first ceiling carrier for transferring the object to be transported.
  • a transport system including a relay unit for relaying a transported object transferred from each of the second ceiling transport vehicles is disclosed.
  • the transported object is transported between the first building and the second building via the relay unit.
  • the relay section is arranged between the first track and the second track, and two mounting sections for mounting the transported object are provided along the first track and the second track.
  • the traveling directions of the first ceiling carrier and the second ceiling carrier are opposite in the relay section.
  • each of the first ceiling transport vehicle and the second ceiling transport vehicle since each of the first ceiling transport vehicle and the second ceiling transport vehicle has one mounting unit on which the transported object can be mounted in the relay section, the transported object is mounted on the mounting section. If so, the transported object cannot be placed. Therefore, it is conceivable to arrange a plurality of mounting portions between the first orbit and the second orbit along the direction in which the orbit extends. However, due to the limited space in the direction in which the orbit extends, it may not be possible to arrange the required number of mounting parts.
  • One aspect of the present invention is to provide a transport system capable of appropriately arranging a plurality of storage units used for transport between buildings.
  • the transport system travels on a first track provided in the first building, a second track provided in a second building different from the first building, and a first track to be transported.
  • a first ceiling carrier that transports objects and transfers the objects to be transported
  • a second ceiling carrier that travels on a second track to transport the objects to be transported and transfers the objects to be transported. It is provided with a relay unit for delivering the object to be transported between the 1 ceiling transport vehicle and the 2nd ceiling transport vehicle, and the relay unit is transferred from each of the 1st ceiling transport vehicle and the 2nd ceiling transport vehicle.
  • a plurality of storage units for temporarily storing the transported object and an extension from the first track are provided, and the first ceiling transport vehicle places the transported object on the storage unit and also stores the transported object from the storage unit.
  • the first transfer track to be acquired and the second transfer track that is provided as an extension from the second track and the second ceiling carrier places the transported object in the storage section and acquires the transported object from the storage section.
  • the first transfer orbit extends linearly following the first outward path portion, the first turn-back portion following the first outward path portion, and the first turn-back portion. It has a first return route portion that exists, and the second transfer orbit has a second outward route portion that extends linearly, a second turn-back portion that follows the second outward route portion, and a second turn-back portion.
  • It has a second return path portion that extends linearly following the portion, and the first outward path portion and the second return path portion overlap each other when viewed from the vertical direction, and the first return path portion and the second return path portion are overlapped.
  • the outward route portion overlaps with each other when viewed from the vertical direction, and the traveling direction of the first ceiling carrier traveling on the first outward route portion coincides with the traveling direction of the second ceiling transport vehicle traveling on the second return route portion.
  • the traveling direction of the first ceiling transport vehicle traveling on the first return route portion and the traveling direction of the second ceiling transport vehicle traveling on the second outward route portion coincide with each other, and the plurality of storage units are respectively the first outward route portion and the first.
  • first ceiling transport vehicle traveling on the first outward route portion and the second ceiling transport vehicle traveling on the second return route portion can transfer the transported object to the same storage unit.
  • first ceiling carrier traveling on the first return path portion and the second ceiling carrier traveling on the second outward path portion can transfer the transported object to the same storage unit.
  • the first outward path portion and the second return path portion overlap each other when viewed from the vertical direction
  • the first return path portion and the second outward path portion overlap each other when viewed from the vertical direction
  • Each of the plurality of storage units is provided on both sides of the first outbound route portion and the second inbound route portion when viewed from the vertical direction, and is provided on both sides of the first inbound route portion and the second outbound route portion.
  • the space for arranging the storage unit in the direction in which the track (first outward path portion, second outward path portion, first return path portion, and second return path portion) extends is small, it is orthogonal to the track.
  • the space in the direction can be utilized to appropriately arrange the required number of storage units.
  • the relay unit may be arranged in any of the first building, the second building, or the intermediate part between the first building and the second building.
  • the object to be transported is delivered between the first ceiling carrier and the second ceiling carrier in either the first building, the second building, or the intermediate portion between the first building and the second building. It can be performed.
  • the first ceiling carrier travels in the order of the first outward route portion, the first turn-back portion, and the first return route portion on the first transfer track, and is covered with respect to the storage unit in the first outward route portion.
  • the transported object is placed, the transported object is acquired from the storage unit in the first return path portion, and the second ceiling carrier vehicle has the second outward path portion, the second turn-back portion, and the second return path portion in the second transfer track.
  • the transported object may be placed on the storage unit in the second outward route portion, and the transported object may be acquired from the storage unit in the second return route portion.
  • the object to be transported can be placed and acquired in the process of the first ceiling carrier traveling on the first transfer track, and in the process of the second ceiling carrier traveling on the second transfer track.
  • the object to be transported can be placed and acquired.
  • the first track is a first extension track provided in the second building, which follows the first outward path portion of the first transfer track, branches off from the first turn-back portion, and joins the first return path portion.
  • the second track has a second extension track provided in the first building, which branches off from the second turn-back portion and joins the second return path portion following the second outward path portion of the second transfer track.
  • the 1st ceiling carrier can transfer the transported object in the 1st and 2nd buildings
  • the 2nd ceiling carrier can transfer the transported object in the 1st and 2nd buildings. It may be possible. In this configuration, for example, when the transported object cannot be transferred to the storage unit, the ceiling transport vehicle can directly transport the transported object to another building. Therefore, in the transport system, it is possible to improve the efficiency of transport between buildings.
  • a control device for controlling the operation of the first ceiling carrier and the second ceiling carrier is provided, and the control device is the operating status of the first ceiling carrier in the first building and the operation status in the second building. Controls the transfer of the transported object on the first transfer track or the second transfer track, or the transfer of the transported object to the first or second building, depending on the operating status of the second ceiling carrier. You may. In this configuration, for example, when the operating rate of the first ceiling carrier in the first building is high, the second ceiling carrier transports the object to be transported to the first building, so that the first ceiling carrier becomes the first. 1 It is not necessary to move to the transfer track. Therefore, more efficient transportation becomes possible.
  • a plurality of storage units used for inter-building transportation can be appropriately arranged.
  • FIG. 1 is a diagram showing a transport system according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a plan view of the first transfer track and the second folding transfer portion of the transfer system shown in FIG.
  • FIG. 3 is a front view of a part of the first transfer track and the second transfer track.
  • FIG. 4 is a diagram showing a transport system according to the second embodiment.
  • FIG. 5 is a plan view of the first transfer track and the second transfer track of the transfer system shown in FIG.
  • the transport system 1 is a system for transporting the FOUP (object to be transported) 300.
  • the transport system 1 includes a first track 10, a second track 20, a relay unit 30, a ceiling transport vehicle (first ceiling transport vehicle) 40A, and a ceiling transport vehicle (second ceiling transport vehicle) 40B (see FIG. 2). And a control device 50 (see FIG. 3).
  • the transport system 1 is installed in, for example, a semiconductor manufacturing factory equipped with a plurality of semiconductor processing devices (not shown).
  • the transfer system 1 is installed in the first building 100 and the second building 200 in the semiconductor manufacturing factory.
  • the first building 100 and the second building 200 are buildings in which semiconductor processing devices are installed.
  • the FOUP 300 is transferred to the device port of the semiconductor processing apparatus by the ceiling transfer vehicles 40A and 40B in the first building 100 and the second building 200, respectively.
  • the first track 10 is provided in the first building 100.
  • the first track 10 is a member for traveling the ceiling carrier 40A, and is suspended from the ceiling.
  • the transport system 1 includes a plurality of systems (bays).
  • the transport system 1 includes a plurality of intra-bay routes, which are travel paths in the bay, and an inter-bay route, which is a travel path connecting different bays.
  • the first orbit 10 includes an intrabay orbit 11 arranged in a plurality of intrabay routes and an interbay orbit 12 arranged in the interbay route.
  • the intrabay track 11 is set so that the ceiling carrier 40A travels one way clockwise.
  • the inter-bay track 12 is also set so that the ceiling carrier 40A travels clockwise in one way.
  • the ceiling carrier 40A may be set to one-way counterclockwise.
  • the second track 20 is provided in the second building 200.
  • the second track 20 is a member for traveling the ceiling carrier 40B and is suspended from the ceiling.
  • the second orbit 20 includes an intrabay orbit 21 arranged in a part of a plurality of intrabay routes and an interbay orbit 22 arranged in the interbay route.
  • the intrabay track 21 is set so that the ceiling carrier 40B travels clockwise in one way.
  • the inter-bay track 22 is also set so that the ceiling carrier 40B travels clockwise in one way.
  • the ceiling carrier 40B may be set to one-way counterclockwise.
  • the FOUP 300 is delivered between the ceiling carrier 40A and the ceiling carrier 40B.
  • the relay unit 30 is provided in an intermediate portion between the first building 100 and the second building 200.
  • the relay unit 30 has a storage shelf (storage unit) 31, a first transfer track 32, and a second transfer track 33.
  • the first transfer orbit 32 is shown by a broken line
  • the second transfer orbit 33 is shown by a solid line.
  • the ceiling carrier 40A mounts the FOUP300 on the storage shelf 31, and the ceiling carrier 40A acquires the FOUP300 from the storage shelf 31.
  • two first transfer tracks 32 are provided.
  • the first transfer track 32 is provided as an extension of the first track 10.
  • the first transfer track 32 follows (is connected to) the interbay track 12.
  • the first transfer track 32 has a first outward path portion 32a, a first return path portion 32b, and a first turn-back portion 32c.
  • the first outward route portion 32a extends linearly. In the present embodiment, the first outward route portion 32a extends from the 100 side of the first building to the 200 side of the second building.
  • the first outbound route portion 32a causes the ceiling carrier 40A to travel along the first direction D1. In the first direction D1, the ceiling carrier 40A is in the direction from the 100 side of the first building to the 200 side of the second building.
  • the first return route portion 32b extends linearly. In the present embodiment, the first return route portion 32b extends from the first building 100 side to the second building 200 side.
  • the first inbound route portion 32b is parallel to the first outbound route portion 32a.
  • the first return path portion 32b causes the ceiling carrier 40A to travel along the second direction D2 opposite to the first direction D1.
  • the second direction D2 is the direction in which the ceiling carrier 40A heads from the 200 side of the second building to the 100 side of the first building.
  • the first turn-back portion 32c continues (is connected) to the first outward route portion 32a and the first return route portion 32b.
  • the first turn-back portion 32c connects the end portion of the first outward route portion 32a on the second building 200 side and the end portion of the first return route portion 32b on the second building 200 side.
  • the first turn-back portion 32c turns back (turns) the traveling direction of the ceiling carrier 40A.
  • the first turn-back portion 32c turns the traveling direction of the ceiling carrier 40A from the first direction D1 to the second direction D2.
  • the first turn-back portion 32c includes a straight line portion extending so as to be orthogonal to the first outward path portion 32a and the first return path portion 32b, and each of the straight line portion and the first outward path portion 32a and the first return path portion 32b. Includes curved connecting portions to be connected.
  • the first folded portion 32c may have a curved shape as a whole.
  • the ceiling carrier 40B mounts the FOUP 300 on the storage shelf 31, and the ceiling carrier 40B acquires the FOUP 300 from the storage shelf 31.
  • two second transfer orbitals 33 are provided.
  • the second transfer track 33 is provided as an extension of the second track 20.
  • the second transfer track 33 follows (is connected to) the interbay track 22.
  • the second transfer track 33 has a second outward path portion 33a, a second return path portion 33b, and a second turn-back portion 33c.
  • the second outward route portion 33a extends linearly. In the present embodiment, the second outward route portion 33a extends from the 200 side of the second building to the 100 side of the first building.
  • the second outward route portion 33a causes the ceiling carrier 40B to travel along the second direction D2.
  • the second return route portion 33b extends linearly. In the present embodiment, the second return route portion 33b extends from the second building 200 side to the first building 100 side.
  • the second inbound route portion 33b is parallel to the second outbound route portion 33a.
  • the second return path portion 33b causes the ceiling carrier 40B to travel along the first direction D1.
  • the second turn-back portion 33c continues (is connected) to the second outward route portion 33a and the second return route portion 33b.
  • the second turn-back portion 33c connects the end portion of the second outward route portion 33a on the first building 100 side and the end portion of the second return route portion 33b on the first building 100 side.
  • the second turn-back portion 33c turns back the traveling direction of the ceiling carrier 40B.
  • the second folded portion 33c causes the traveling direction of the ceiling carrier 40B to be folded back from the second direction D2 to the first direction D1.
  • the second turn-back portion 33c includes a straight line portion extending so as to be orthogonal to the second outward path portion 33a and the second return path portion 33b, and each of the straight line portion and the second outward path portion 33a and the second return path portion 33b. Includes curved connecting portions to be connected.
  • the second folded portion 33c may have a curved shape as a whole.
  • the first outward route portion 32a and the second return route portion 33b overlap each other when viewed from the vertical direction.
  • the first inbound route portion 32b and the second outbound route portion 33a overlap each other when viewed from the vertical direction.
  • the first transfer track 32 and the second transfer track 33 are arranged so as to form a closed region when viewed from the vertical direction.
  • the first folded portion 32c (straight line portion) of the first transfer track 32 and the second folded portion 33c (straight line portion) of the second transfer track 33 are arranged so as to face each other when viewed from the vertical direction.
  • the first outward path portion 32a and the first return path portion 32b of the first transfer track 32 and the second outward path portion 33a and the second return path portion 33b of the second transfer track 33 are up and down. They are located at different heights in the direction.
  • the first outward path portion 32a and the first return path portion 32b of the first transfer track 32 are located below the second outward path portion 33a and the second return path portion 33b of the second transfer track 33.
  • the second outward path portion 33a and the second return path portion 33b of the second transfer track 33 are located above the first outward path portion 32a and the first return path portion 32b of the first transfer track 32.
  • the FOUP300 is placed on the storage shelf 31.
  • the plurality of storage shelves 31 support the FOUP 300.
  • the storage shelf 31 is suspended from the ceiling, for example.
  • the storage shelf 31 may be an OWB (Overhead Buffer).
  • the FOUP 300 can be placed on the area.
  • the area of the storage shelf 31 is a temporary storage area to which the ceiling transport vehicles 40A and 40B stopped in the first track 10 and the second track 20 can transfer the FOUP 300.
  • the storage shelf 31 may be configured such that one FOUP 300 is placed or a plurality of FOUP 300s are placed.
  • the plurality of storage shelves 31 include a plurality of storage shelves 31a and 31b. As shown in FIG. 2 or 3, the plurality of storage shelves 31a can transfer the FOUP300 to the ceiling carrier 40A traveling on the first outward route portion 32a and the ceiling transport vehicle 40B traveling on the second return route portion 33b. It is placed in a position.
  • the plurality of storage shelves 31b are arranged at positions where the ceiling transport vehicle 40A traveling on the first return route portion 32b and the ceiling transport vehicle 40B traveling on the second outward route portion 33a can transfer the FOUP 300.
  • each of the plurality of storage shelves 31 is located below the first outward path portion 32a, the first return path portion 32b, the second return path portion 33b, and the second return path portion 33b, and is the first when viewed from the vertical direction. It is provided on both sides of the first inbound route portion 32a and the second inbound route portion 33b, and is provided on both sides of the first inbound route portion 32b and the second inbound route portion 33a. That is, the storage shelf 31a has the first outward path when viewed from the vertical direction in the opposite direction between the first outward path portion 32a and the first return path portion 32b (the opposite direction between the second outward path portion 33a and the second return path portion 33b).
  • a pair is arranged at a position sandwiching the portion 32a and the second return path portion 33b.
  • the storage shelves 31b are arranged in pairs at positions sandwiching the first return path portion 32b and the second outward path portion 33a when viewed from the vertical direction.
  • the plurality of storage shelves 31 are arranged along the first outbound route portion 32a, the first inbound route portion 32b, the second outbound route portion 33a, and the second inbound route portion 33b.
  • six storage shelves 31 are arranged.
  • the direction of the FOUP 300 with respect to the traveling direction of the ceiling transport vehicles 40A and 40B is constant.
  • the ceiling transport vehicles 40A and 40B include, for example, OHT (Overhead Hoist Transfer) and the like.
  • the FOUP 300 is a container (FOUP: Front Opening Unified Pod) for storing a semiconductor wafer.
  • the ceiling transport vehicles 40A and 40B have a grip portion 41, an elevating mechanism 42, and a moving mechanism 43.
  • the ceiling transport vehicles 40A and 40B have a transmission / reception unit 44 capable of communicating with the control device 50.
  • the grip portion 41 is a device for gripping and releasing the FOUP 300.
  • the grip portion 41 can grip the flange portion 310 of the FOUP 300.
  • the grip portion 41 grips the flange portion 310 of the FOUP 300 when the ceiling transport vehicles 40A and 40B acquire the FOUP 300 from the storage shelf 31.
  • the grip portion 41 releases the flange portion 310 of the FOUP 300 when the ceiling transport vehicles 40A and 40B place the FOUP 300 on the storage shelf 31.
  • the elevating mechanism 42 is a device that elevates and elevates the grip portion 41 in the vertical direction.
  • the elevating mechanism 42 can elevate the grip portion 41 in the vertical direction.
  • the elevating mechanism 42 has a hoisting mechanism 42a and a belt 42b.
  • the hoisting mechanism 42a is held by the moving mechanism 43.
  • the hoisting mechanism 42a is a device for hoisting and unwinding the belt 42b in the vertical direction.
  • the hoisting mechanism 42a can wind up and down the belt 42b in the vertical direction.
  • the belt 42b is hung from the hoisting mechanism 42a and holds the grip portion 41 at the lower end thereof.
  • the elevating mechanism 42 can wind up and down a distance such that the FOUP 300 gripped by the gripping portion 41 reaches the storage shelf 31.
  • the moving mechanism 43 is a device that moves the grip portion 41 and the elevating mechanism 42 from the ceiling transport vehicles 40A and 40B to both sides. That is, the moving mechanism 43 can move the grip portion 41 and the elevating mechanism 42 from the ceiling transport vehicles 40A and 40B in the horizontal direction perpendicular to the traveling direction of the ceiling transport vehicles 40A and 40B.
  • the moving mechanism 43 can move the grip portion 41 and the elevating mechanism 42 above each of the storage shelves 31. When the FOUP 300 is gripped by the grip portion 41, the moving mechanism 43 can move the FOUP 300 vertically upward of the storage shelf 31.
  • the ceiling transport vehicle 40A traveling on the first outward route portion 32a and the ceiling transport vehicle 40B traveling on the second return route portion 33b have the same traveling direction in the first direction D1.
  • the ceiling transport vehicle 40A traveling on the first return route portion 32b and the ceiling transport vehicle 40B traveling on the second outward route portion 33a have the same traveling direction in the second direction D2.
  • the ceiling transport vehicles 40A and 40B stopped in each of the first transfer track 32 and the second transfer track 33 can transfer the FOUP 300 to the storage shelf 31.
  • the ceiling transport vehicles 40A and 40B can transfer the FOUP 300 to the same storage shelf 31. That is, both the ceiling carrier 40A on the first transfer track 32 and the ceiling carrier 40B on the second transfer track 33 can transfer (transfer) the FOUP 300 to and from the storage shelf 31. ..
  • the moving mechanism 43 is operated to move the FOUP 300 above each of the storage shelves 31 from the state where the grip portion 41 grips the flange portion 310 of the FOUP 300. Subsequently, the ceiling transport vehicles 40A and 40B operate the hoisting mechanism 42a to wind down the belt 42b, lower the FOUP 300, and place it on the storage shelf 31. As described above, the ceiling transport vehicles 40A and 40B transfer (place) the FOUP 300 to the storage shelf 31.
  • the ceiling transport vehicles 40A and 40B grip the flange portion 310 of the FOUP 300 placed on the storage shelf 31 by the grip portion 41. Subsequently, the ceiling transport vehicles 40A and 40B operate the hoisting mechanism 42a to wind up the belt 42b and raise the FOUP 300. Subsequently, the ceiling transport vehicles 40A and 40B operate the moving mechanism 43 to move the FOUP 300. As described above, the ceiling transport vehicles 40A and 40B transfer (acquire) the FOUP 300 from the storage shelf 31.
  • the transmission / reception unit 44 is arranged at a predetermined position of the ceiling transport vehicles 40A and 40B.
  • the transmission / reception unit 44 of the ceiling carriers 40A and 40B can communicate with the control device 50.
  • the transmission / reception unit 44 and the control device 50 communicate with each other via, for example, a feeder line (not shown) laid along the first track 10 or the second track.
  • the ceiling transport vehicles 40A and 40B transport the FOUP 300 based on the transport command received by the transmission / reception unit 44.
  • the control device 50 controls the operation of the ceiling transport vehicles 40A and 40B.
  • the control device 50 is an electronic control unit composed of a CPU (Central Processing Unit), a ROM (Read Only Memory), a RAM (Random Access Memory), and the like.
  • the control device 50 transmits a transport command to the ceiling transport vehicles 40A and 40B.
  • the ceiling carrier 40A and the ceiling carrier 40B will be described.
  • the ceiling carrier 40A transports the FOUP300 acquired in the intra-bay route of the first building 100 to the first transfer track 32, the first outward route portion 32a, the first turn-back portion 32c, and the first The first transfer track 32 is traveled in the order of the return path portion 32b.
  • the ceiling carrier 40A stops at the position of the vacant storage shelf 31a in the first outbound route portion 32a, and the FOUP 300 is placed on the storage shelf 31a.
  • the ceiling carrier 40A travels on the first turn-back portion 32c and changes the traveling direction from the first direction D1 to the second direction D2.
  • the ceiling carrier 40A travels to the first return path portion 32b, stops at a predetermined position, and acquires the FOUP 300 from the storage shelf 31b.
  • the ceiling carrier 40A transports the acquired FOUP 300 to the first building 100.
  • the ceiling carrier 40B moves to the second outbound route 33a, the second turn-back portion 33c, and the second inbound route portion 33b in this order. It travels on the track 33.
  • the ceiling carrier 40B stops at the position of the vacant storage shelf 31b in the second outward route portion 33a, and the FOUP 300 is placed on the storage shelf 31b.
  • the ceiling carrier 40B travels on the second folded portion 33c and changes the traveling direction from the second direction D2 to the first direction D1.
  • the ceiling carrier 40B travels to the second return path portion 33b, stops at a predetermined position, and acquires the FOUP 300 from the storage shelf 31a.
  • the ceiling carrier 40B transports the acquired FOUP 300 to the second building 200.
  • the first outward path portion 32a and the second return path portion 33b overlap each other when viewed from the vertical direction, and also overlap with the first return path portion 32b.
  • the second outward path portion 33a overlaps with the second outward path portion 33a when viewed from the vertical direction.
  • Each of the plurality of storage shelves 31 is provided on both sides of the first outward path portion 32a and the second return path portion 33b when viewed from the vertical direction, and is provided on both sides of the first return path portion 32b and the second outward path portion 33a. It is provided.
  • the storage shelves 31 can be arranged not only on one side of the orbits but also on both sides. Therefore, in the transport system 1, when the space for arranging the storage shelf 31 in the direction in which the tracks (first outward path portion 32a, second outward path portion 33a, first return path portion 33b, and second return path portion 33b) extend is small. However, the required number of storage shelves 31 can be appropriately arranged by utilizing the space in the direction orthogonal to the orbit.
  • the relay unit 30 is provided in the intermediate portion between the first building 100 and the second building 200. In this configuration, it is not necessary to provide a space for installing the relay unit 30 in each of the first building 100 and the second building 200. Therefore, the space in the first building 100 and the second building 200 can be effectively utilized.
  • the ceiling transport vehicle 40A travels on the first transfer track 32 in the order of the first outward route portion 32a, the first turn-back portion 32c, and the first return route portion 32b.
  • the ceiling carrier 40A mounts the FOUP300 on the storage shelf 31a in the first outward route portion 32a, and acquires the FOUP300 from the storage shelf 31b in the first return route portion 32b.
  • the ceiling carrier 40B travels on the second transfer track 33 in the order of the second outward path portion 33a, the second turn-back portion 33c, and the second return path portion 33b.
  • the ceiling carrier 40B mounts the FOUP300 on the storage shelf 31b in the second outward route portion 33a, and acquires the FOUP300 from the storage shelf 31a in the second return route portion 33b.
  • the FOUP300 can be mounted and acquired in the process of the ceiling carrier 40A traveling on the first transfer track 32, and the FOUP300 is mounted and acquired in the process of the ceiling carrier 40B traveling on the second transfer track 33. It can be placed and obtained.
  • the transfer system 1A includes a first track 10A, a second track 20A, a relay unit 30, an overhead transfer vehicle 40A, a ceiling transfer vehicle 40B, and a control device 50 (FIG. 3). See) and.
  • the first track 10A is provided in the second building 200, which is connected to the first outward path portion 32a of the first transfer track 32, branches off from the first turn-back portion 32c, and joins the first return path portion 32b. It also has a first extended track 13.
  • the first extension track 13 extends linearly from the first building 100 side to the second building 200 side following (connected) to the first outward route portion 32a and the first return route portion 32b, and extends in a straight line from the first building 100 side to the second building 200 side. It is provided inside.
  • the first extension track 13 includes an intrabay track arranged in a plurality of intrabay routes and an interbay track arranged in the interbay route in the second building 200.
  • the ceiling carrier 40A can transfer the FOUP 300 in the first building 100 and the second building 200.
  • the ceiling carrier 40A basically transports the FOUP 300 in the first building 100.
  • the second track 20A is provided in the first building 100, which is connected to the second outward path portion 33a of the second transfer track 33, branches off from the second turn-back portion 33c, and joins the second return path portion 33b. It also has a second extended orbit 23.
  • the second extension track 23 extends linearly from the second building 200 side to the first building 100 side following (connected) to the second outward route portion 33a and the second return route portion 33b, and extends in a straight line from the second building 200 side to the first building 100. It is provided inside.
  • the second extension track 23 includes an intrabay track arranged in a plurality of intrabay routes and an interbay track arranged in the interbay route in the first building 100.
  • the ceiling carrier 40B can transfer the FOUP 300 in the first building 100 and the second building 200.
  • the ceiling carrier 40B basically transports the FOUP 300 in the second building 200.
  • the FOUP 300 can be delivered between the ceiling transport vehicle 40A and the ceiling transport vehicle 40B in the relay unit 30 via the storage shelf 31.
  • the ceiling carrier 40A When the FOUP 300 is transferred to the storage shelf 31 of the relay unit 30, the ceiling carrier 40A travels on the first transfer track 32 in the order of the first outward path portion 32a, the first turn-back portion 32c, and the first return path portion 32b. do.
  • the ceiling carrier 40A When transporting the FOUP 300 to the second building 200, the ceiling carrier 40A passes through the first outward path portion 32a of the first transfer track 32 and enters the first extension track 13 when heading to the second building 200. ..
  • the ceiling carrier 40A gets into the first return path portion 32b of the first transfer track 32 from the first extension track 13.
  • the ceiling carrier 40B travels on the second transfer track 33 in the order of the second outward path portion 33a, the second turn-back portion 33c, and the second return path portion 33b.
  • the ceiling carrier 40B passes through the second outward path portion 33a of the second transfer track 33 and enters the second extension track 23 when heading to the first building 100. ..
  • the ceiling carrier 40B gets into the second return path portion 33b of the second transfer track 33 from the second extension track 23.
  • the control device 50 is the first transfer track 32 or the second depending on the operating status of the ceiling transport vehicle 40A in the first building 100 and the operating status of the ceiling transport vehicle 40B in the second building 200. It controls the transfer of the FOUP 300 on the transfer track 33 or the transfer of the FOUP 300 to the first building 100 or the second building 200.
  • the operating status is the operating number, operating rate, ratio of operating units, etc. of the ceiling transport vehicles 40A and 40B in the first building 100 and the second building 200.
  • the control device 50 requests the ceiling transport vehicle 40B to transfer the FOUP 300 to the storage shelf 31. To send.
  • the control device 50 requests the ceiling transport vehicle 40B to transport the FOUP 300 to the first building 100. To send.
  • the ceiling transport vehicle 40A can transfer the FOUP300 in the first building 100 and the second building 200, and the ceiling transport vehicle 40B is the first building.
  • FOUP300 can be relocated in 100 and 200 in the second building.
  • the ceiling transport vehicles 40A and 40B can directly transport the FOUP 300 to another building. Therefore, in the transport system 1A, it is possible to improve the efficiency of transport between buildings.
  • the control device 50 is first transferred according to the operating status of the ceiling transport vehicle 40A in the first building 100 and the operating status of the ceiling transport vehicle 40B in the second building 200. Controls the transfer of the FOUP 300 on the track 32 or the second transfer track 33, or the transport of the FOUP 300 to the first building 100 or the second building 200.
  • the ceiling carrier 40B transports the FOUP 300 to the first building 100, so that the ceiling carrier in the first building 100 is transported.
  • the number of cars will increase. Therefore, more efficient transportation is possible in the first building 100.
  • first transfer track 32 and the second transfer track 33 are provided between the first building 100 and the second building 200
  • first transfer track 32 and the second transfer track 33 may be provided in the first building 100 or the second building 200.
  • the storage shelf 31 has the first outward path portion 32a and the first outward path portion 32a in the opposite direction between the first outward path portion 32a and the first return path portion 32b (the opposite direction between the second outward path portion 33a and the second return path portion 33b).
  • An example has been described in which a pair of the second return path portion 33b, the first return path portion 32b, and the second outward path portion 33a are arranged facing each other with the second return path portion 33b interposed therebetween.
  • the storage shelves 31 may be arranged in a staggered pattern, for example.
  • the storage shelves 31 are arranged so as to face each other in the opposite direction between the first outward path portion 32a and the first return path portion 32b (the opposite direction between the second outward path portion 33a and the second return path portion 33b).
  • An example has been described in which the number of the plurality of storage shelves 31 is the same. However, the number of storage shelves 31 does not have to match, and may be appropriately set according to the design.
  • the object to be transported may be, for example, a container for storing a glass substrate, a reticle pod, a FOSB, a SMIF Pod, a general part, or the like.
  • the transfer system 1 is installed in a semiconductor manufacturing factory.
  • the transfer system is not limited to the semiconductor manufacturing factory, and can be applied to other facilities.
  • 1,1A ... Conveyance system 10,10A ... 1st track, 13 ... 1st extension track, 20,20A ... 2nd track, 23 ... 2nd extension track, 30 ... Relay section, 31,31a, 31b ... Storage shelf (Storage unit), 32 ... 1st transfer track, 32a ... 1st outward path portion, 32b ... 1st return path portion, 32c ... 1st turn-back portion, 33 ... 2nd transfer track, 33a ... 2nd outward path portion, 33b ... 2nd return route part, 33c ... 2nd turn-back part, 40A ... Ceiling carrier (1st ceiling carrier), 40B ... Ceiling carrier (2nd ceiling carrier), 50 ... Control device, 100 ... 1st building, 200 ... 2nd building, 300 ... FOUP (carried object).

Abstract

搬送システム１は、第１棟１００に設けられた第１軌道１０と、第２棟２００に設けられた第２軌道２０と、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂと、天井搬送車４０Ａと天井搬送車４０Ｂとの間でＦＯＵＰ３００を受け渡すための中継部３０と、を備える。第１往路部分３２ａを走行する天井搬送車４０Ａ及び第２復路部分３３ｂを走行する天井搬送車４０Ｂが同一の保管棚３１にＦＯＵＰ３００を移載可能であると共に、第１復路部分３２ｂを走行する天井搬送車４０Ａ及び第２往路部分３３ａを走行する天井搬送車４０Ｂが同一の保管棚３１にＦＯＵＰ３００を移載可能である。

Description

搬送システム
　本発明は、搬送システムに関する。
　特許文献１には、第１棟に設けられた第１軌道と、第１棟とは異なる第２棟に設けられた第２軌道と、第１軌道を走行して被搬送物を搬送すると共に、被搬送物を移載する第１天井搬送車と、第２軌道を走行して被搬送物を搬送すると共に、被搬送物を移載する第２天井搬送車と、第１天井搬送車及び第２天井搬送車のそれぞれから移載される被搬送物を中継する中継部と、を備える搬送システムが開示されている。
　上記搬送システムでは、中継部を介して、第１棟と第２棟との間で被搬送物を搬送する。中継部は、第１軌道と第２軌道との間に配置され、被搬送物を載置する載置部が第１軌道及び第２軌道に沿って２つ設けられている。第１天井搬送車と第２天井搬送車とは、中継部において、走行方向が逆向きとなっている。この構成により、第１天井搬送車及び第２天井搬送車のそれぞれは、走行方向の上流側において中継部に被搬送物を載置し、走行方向の下流側において中継部から被搬送物を取得する。
特開２０１２－６６９３３号公報
　従来の搬送システムでは、第１天井搬送車及び第２天井搬送車のそれぞれが中継部において被搬送物を載置できる載置部が１つであるため、載置部に被搬送物が載置されている場合には、被搬送物を載置することができない。そこで、第１軌道と第２軌道との間において、軌道が延在する方向に沿って複数の載置部を配置することも考えられる。しかし、軌道が延在する方向におけるスペースに限りがあるため、必要な数の載置部を配置することができない場合がある。
　本発明の一側面は、棟間搬送で利用される複数の保管部を適切に配置することができる搬送システムを提供することを目的とする。
　本発明の一側面に係る搬送システムは、第１棟に設けられた第１軌道と、第１棟とは異なる第２棟に設けられた第２軌道と、第１軌道を走行して被搬送物を搬送すると共に、被搬送物を移載する第１天井搬送車と、第２軌道を走行して被搬送物を搬送すると共に、被搬送物を移載する第２天井搬送車と、第１天井搬送車と第２天井搬送車との間で被搬送物を受け渡すための中継部と、を備え、中継部は、第１天井搬送車及び第２天井搬送車のそれぞれから移載される被搬送物を一時的に保管する複数の保管部と、第１軌道から延長して設けられ、第１天井搬送車が被搬送物を保管部に載置すると共に保管部から被搬送物を取得する第１移載軌道と、第２軌道から延長して設けられ、第２天井搬送車が被搬送物を保管部に載置すると共に保管部から被搬送物を取得する第２移載軌道と、を有し、第１移載軌道は、直線状に延在している第１往路部分と、第１往路部分に続く第１折返し部分と、第１折返し部分に続き、直線状に延在している第１復路部分と、を有し、第２移載軌道は、直線状に延在している第２往路部分と、第２往路部分に続く第２折返し部分と、第２折返し部分に続き、直線状に延在している第２復路部分と、を有し、第１往路部分と第２復路部分とが鉛直方向から見て重なっていると共に、第１復路部分と第２往路部分とが鉛直方向から見て重なっており、第１往路部分を走行する第１天井搬送車の走行方向と第２復路部分を走行する第２天井搬送車の走行方向とが一致すると共に、第１復路部分を走行する第１天井搬送車の走行方向と第２往路部分を走行する第２天井搬送車の走行方向とが一致し、複数の保管部のそれぞれは、第１往路部分、第１復路部分、第２往路部分及び第２復路部分の下方に位置し、且つ鉛直方向から見て第１往路部分及び第２復路部分の両側方に設けられていると共に、第１復路部分及び第２往路部分の両側方に設けられており、第１往路部分を走行する第１天井搬送車及び第２復路部分を走行する第２天井搬送車が同一の保管部に被搬送物を移載可能であると共に、第１復路部分を走行する第１天井搬送車及び第２往路部分を走行する第２天井搬送車が同一の保管部に被搬送物を移載可能である。
　本発明の一側面に係る搬送システムでは、第１往路部分と第２復路部分とが鉛直方向から見て重なっていると共に、第１復路部分と第２往路部分とが鉛直方向から見て重なっており、複数の保管部のそれぞれは、鉛直方向から見て第１往路部分及び第２復路部分の両側方に設けられていると共に、第１復路部分及び第２往路部分の両側方に設けられている。つまり、２つの軌道が鉛直方向から見て重なっているため、軌道の片側だけではなく、両側に保管部を配置することができる。そのため、搬送システムでは、軌道（第１往路部分、第２往路部分、第１復路部分、及び第２復路部分）が延在する方向に保管部を配置するスペースが少ない場合でも、軌道に直交する方向でのスペースを活用して必要な数の保管部を適切に配置することができる。
　一実施形態においては、中継部は、第１棟、第２棟、又は、第１棟と第２棟との中間部のいずれかに配置されていてもよい。この構成では、第１棟、第２棟、又は、第１棟と第２棟との中間部のいずれかにおいて、第１天井搬送車と第２天井搬送車との間で被搬送物の受け渡しを行うことができる。
　一実施形態においては、第１天井搬送車は、第１移載軌道において、第１往路部分、第１折返し部分及び第１復路部分の順に走行し、第１往路部分において保管部に対して被搬送物を載置し、第１復路部分において被搬送物を保管部から取得し、第２天井搬送車は、第２移載軌道において、第２往路部分、第２折返し部分及び第２復路部分の順に走行し、第２往路部分において保管部に対して被搬送物を載置し、第２復路部分において被搬送物を保管部から取得してもよい。この構成では、第１天井搬送車が第１移載軌道を走行する過程で被搬送物を載置及び取得することができると共に、第２天井搬送車が第２移載軌道を走行する過程で被搬送物を載置及び取得することができる。
　一実施形態においては、第１軌道は、第１移載軌道の第１往路部分に続き第１折返し部分と分岐すると共に第１復路部分と合流する、第２棟に設けられた第１延長軌道を有し、第２軌道は、第２移載軌道の第２往路部分に続き第２折返し部分と分岐すると共に第２復路部分と合流する、第１棟に設けられた第２延長軌道を有し、第１天井搬送車は、第１棟及び第２棟において被搬送物の移載が可能であり、第２天井搬送車は、第１棟及び第２棟において被搬送物の移載が可能であってもよい。この構成では、例えば、保管部に被搬送物を移載することができない場合には、天井搬送車が他の棟に直接被搬送物を搬送することができる。したがって、搬送システムでは、棟間搬送の効率向上を図ることができる。
　一実施形態においては、第１天井搬送車及び第２天井搬送車の動作を制御する制御装置を備え、制御装置は、第１棟での第１天井搬送車の稼動状況及び第２棟での第２天井搬送車の稼動状況に応じて、第１移載軌道又は第２移載軌道での被搬送物の移載、又は、第１棟又は第２棟への被搬送物の搬送を制御してもよい。この構成では、例えば、第１棟における第１天井搬送車の稼動率が高い場合には、第２天井搬送車が第１棟まで被搬送物を搬送することにより、第１天井搬送車が第１移載軌道まで移動する必要がない。そのため、より効率的な搬送が可能となる。
　本発明の一側面によれば、棟間搬送で利用される複数の保管部を適切に配置することができる。
図１は、第１実施形態に係る搬送システムを示す図である。 図２は、図１に示す搬送システムの第１移載軌道及び第２折移載部の平面図である。 図３は、第１移載軌道及び第２移載軌道の一部の正面図である。 図４は、第２実施形態に係る搬送システムを示す図である。 図５は、図４に示す搬送システムの第１移載軌道及び第２移載軌道の平面図である。
　以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
［第１実施形態］
　図１に示されるように、搬送システム１は、ＦＯＵＰ（被搬送物）３００を搬送するためのシステムである。搬送システム１は、第１軌道１０と、第２軌道２０と、中継部３０と、天井搬送車（第１天井搬送車）４０Ａ及び天井搬送車（第２天井搬送車）４０Ｂ（図２参照）と、制御装置５０（図３参照）と、を備える。
　搬送システム１は、例えば、複数の半導体処理装置（図示省略）を備える半導体製造工場に設置される。搬送システム１は、半導体製造工場において、第１棟１００と、第２棟２００と、に設置されている。第１棟１００及び第２棟２００は、半導体処理装置が設置されている建物である。搬送システム１では、第１棟１００及び第２棟２００のそれぞれにおいて、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂによって半導体処理装置の装置ポートにＦＯＵＰ３００を移載する。
　第１軌道１０は、第１棟１００に設けられている。第１軌道１０は、天井搬送車４０Ａを走行させる部材であり、天井から吊り下げられている。本実施形態では、搬送システム１は、複数の系統（ベイ）を含む。搬送システム１は、ベイ内の走行路である複数のイントラベイルートと、異なるベイ間を接続する走行路であるインターベイルートと、を含む。第１軌道１０は、複数のイントラベイルートに配置されるイントラベイ軌道１１と、インターベイルートに配置されるインターベイ軌道１２と、を含む。イントラベイ軌道１１は、天井搬送車４０Ａが右回りに一方通行するように設定されている。インターベイ軌道１２も、イントラベイ軌道１１と同様に、天井搬送車４０Ａが右回りに一方通行するように設定されている。なお、第１軌道１０において、天井搬送車４０Ａが左回りに一方通行するように設定されていてもよい。
　第２軌道２０は、第２棟２００に設けられている。第２軌道２０は、天井搬送車４０Ｂを走行させる部材であり、天井から吊り下げられている。第２軌道２０は、複数のイントラベイルートのうちの一部に配置されているイントラベイ軌道２１と、インターベイルートに配置されるインターベイ軌道２２と、を含む。イントラベイ軌道２１は、天井搬送車４０Ｂが右回りに一方通行するように設定されている。インターベイ軌道２２も、イントラベイ軌道２１と同様に、天井搬送車４０Ｂが右回りに一方通行するように設定されている。なお、第２軌道２０において、天井搬送車４０Ｂが左回りに一方通行するように設定されていてもよい。
　図２に示されるように、中継部３０では、天井搬送車４０Ａと天井搬送車４０Ｂとの間でＦＯＵＰ３００の受け渡しが行われる。中継部３０は、第１棟１００と第２棟２００との中間部に設けられている。中継部３０は、保管棚（保管部）３１と、第１移載軌道３２と、第２移載軌道３３と、を有している。図２では、第１移載軌道３２を破線で示し、第２移載軌道３３を実線で示している。
　第１移載軌道３２は、天井搬送車４０Ａが保管棚３１にＦＯＵＰ３００を載置すると共に天井搬送車４０Ａが保管棚３１からＦＯＵＰ３００を取得する。本実施形態では、第１移載軌道３２は、２つ設けられている。第１移載軌道３２は、第１軌道１０から延長して設けられている。第１移載軌道３２は、インターベイ軌道１２に続く（接続されている）。
　図２に示されるように、第１移載軌道３２は、第１往路部分３２ａと、第１復路部分３２ｂと、第１折返し部分３２ｃと、を有している。第１往路部分３２ａは、直線状に延在している。本実施形態では、第１往路部分３２ａは、第１棟１００側から第２棟２００側に向かって延在している。第１往路部分３２ａは、天井搬送車４０Ａを第１方向Ｄ１に沿って走行させる。第１方向Ｄ１は、天井搬送車４０Ａが第１棟１００側から第２棟２００側に向かう方向である。
　第１復路部分３２ｂは、直線状に延在している。本実施形態では、第１復路部分３２ｂは、第１棟１００側から第２棟２００側に向かって延在している。第１復路部分３２ｂは、第１往路部分３２ａと平行を成している。第１復路部分３２ｂは、天井搬送車４０Ａを第１方向Ｄ１と反対の第２方向Ｄ２に沿って走行させる。第２方向Ｄ２は、天井搬送車４０Ａが第２棟２００側から第１棟１００側へ向かう方向である。
　第１折返し部分３２ｃは、第１往路部分３２ａ及び第１復路部分３２ｂに続く（接続されている）。第１折返し部分３２ｃは、第１往路部分３２ａの第２棟２００側の端部と第１復路部分３２ｂの第２棟２００側の端部とを接続する。第１折返し部分３２ｃは、天井搬送車４０Ａの走行方向を折り返させる（方向転換させる）。本実施形態では、第１折返し部分３２ｃは、天井搬送車４０Ａの走行方向を第１方向Ｄ１から第２方向Ｄ２に折り返させる。第１折返し部分３２ｃは、第１往路部分３２ａ及び第１復路部分３２ｂに直交するように延在している直線部分と、直線部分と第１往路部分３２ａ及び第１復路部分３２ｂのそれぞれとを接続する湾曲形状の接続部分とを含む。なお、第１折返し部分３２ｃは、全体的に湾曲形状であってもよい。
　第２移載軌道３３は、天井搬送車４０Ｂが保管棚３１にＦＯＵＰ３００を載置すると共に天井搬送車４０Ｂが保管棚３１からＦＯＵＰ３００を取得する。本実施形態では、第２移載軌道３３は、２つ設けられている。第２移載軌道３３は、第２軌道２０から延長して設けられている。第２移載軌道３３は、インターベイ軌道２２に続く（接続されている）。
　第２移載軌道３３は、第２往路部分３３ａと、第２復路部分３３ｂと、第２折返し部分３３ｃと、を有している。第２往路部分３３ａは、直線状に延在している。本実施形態では、第２往路部分３３ａは、第２棟２００側から第１棟１００側に向かって延在している。第２往路部分３３ａは、天井搬送車４０Ｂを第２方向Ｄ２に沿って走行させる。
　第２復路部分３３ｂは、直線状に延在している。本実施形態では、第２復路部分３３ｂは、第２棟２００側から第１棟１００側に向かって延在している。第２復路部分３３ｂは、第２往路部分３３ａと平行を成している。第２復路部分３３ｂは、天井搬送車４０Ｂを第１方向Ｄ１に沿って走行させる。
　第２折返し部分３３ｃは、第２往路部分３３ａ及び第２復路部分３３ｂに続く（接続されている）。第２折返し部分３３ｃは、第２往路部分３３ａの第１棟１００側の端部と第２復路部分３３ｂの第１棟１００側の端部とを接続する。第２折返し部分３３ｃは、天井搬送車４０Ｂの走行方向を折り返させる。本実施形態では、第２折返し部分３３ｃは、天井搬送車４０Ｂの走行方向を第２方向Ｄ２から第１方向Ｄ１に折り返させる。第２折返し部分３３ｃは、第２往路部分３３ａ及び第２復路部分３３ｂに直交するように延在している直線部分と、直線部分と第２往路部分３３ａ及び第２復路部分３３ｂのそれぞれとを接続する湾曲形状の接続部分とを含む。なお、第２折返し部分３３ｃは、全体的に湾曲形状であってもよい。
　第１往路部分３２ａと第２復路部分３３ｂとは、鉛直方向から見て、重なっている。第１復路部分３２ｂと第２往路部分３３ａとは、鉛直方向から見て、重なっている。第１移載軌道３２と第２移載軌道３３とは、鉛直方向から見て閉じた領域を形成するように配置されている。第１移載軌道３２の第１折返し部分３２ｃ（直線部分）と第２移載軌道３３の第２折返し部分３３ｃ（直線部分）とは、鉛直方向から見て対向して配置されている。
　図３に示されるように、第１移載軌道３２の第１往路部分３２ａ及び第１復路部分３２ｂと、第２移載軌道３３の第２往路部分３３ａ及び第２復路部分３３ｂとは、上下方向において異なる高さ位置に配置されている。第１移載軌道３２の第１往路部分３２ａ及び第１復路部分３２ｂは、第２移載軌道３３の第２往路部分３３ａ及び第２復路部分３３ｂの下方に位置している。言い換えれば、第２移載軌道３３の第２往路部分３３ａ及び第２復路部分３３ｂは、第１移載軌道３２の第１往路部分３２ａ及び第１復路部分３２ｂの上方に位置している。
　保管棚３１には、ＦＯＵＰ３００が載置される。複数の保管棚３１は、ＦＯＵＰ３００を支持する。保管棚３１は、例えば、天井から吊り下げられている。保管棚３１は、ＯＨＢ（Overhead　Buffer）であり得る。保管棚３１上の領域は、その上にＦＯＵＰ３００を載置可能である。保管棚３１の当該領域は、第１軌道１０及び第２軌道２０において停止した天井搬送車４０Ａ，４０ＢがＦＯＵＰ３００を移載可能な一時保管領域である。保管棚３１は、１つのＦＯＵＰ３００が載置される構成であってもよいし、複数のＦＯＵＰ３００が載置される構成であってもよい。
　複数の保管棚３１は、複数の保管棚３１ａ，３１ｂを含む。図２又は図３に示されるように、複数の保管棚３１ａは、第１往路部分３２ａを走行する天井搬送車４０Ａ及び第２復路部分３３ｂを走行する天井搬送車４０ＢがＦＯＵＰ３００を移載可能な位置に配置されている。複数の保管棚３１ｂは、第１復路部分３２ｂを走行する天井搬送車４０Ａ及び第２往路部分３３ａを走行する天井搬送車４０ＢがＦＯＵＰ３００を移載可能な位置に配置されている。
　具体的には、複数の保管棚３１のそれぞれは、第１往路部分３２ａ、第１復路部分３２ｂ、第２復路部分３３ｂ及び第２復路部分３３ｂの下方に位置し、且つ鉛直方向から見て第１往路部分３２ａ分及び第２復路部分３３ｂの両側方に設けられていると共に、第１復路部分３２ｂ及び第２往路部分３３ａの両側方に設けられている。すなわち、保管棚３１ａは、第１往路部分３２ａと第１復路部分３２ｂとの対向方向（第２往路部分３３ａと第２復路部分３３ｂとの対向方向）において、鉛直方向から見て、第１往路部分３２ａ及び第２復路部分３３ｂを挟む位置に一対配置されている。同様に、保管棚３１ｂは、鉛直方向から見て、第１復路部分３２ｂ及び第２往路部分３３ａを挟む位置に一対配置されている。
　図２に示されるように、複数の保管棚３１は、第１往路部分３２ａ、第１復路部分３２ｂ、第２往路部分３３ａ及び第２復路部分３３ｂに沿って配置されている。本実施形態では、６個の保管棚３１が配置されている。複数の保管棚３１では、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂの走行方向に対するＦＯＵＰ３００の方向が一定である。
　天井搬送車４０Ａ，４０Ｂには、例えば、ＯＨＴ（Overhead　Hoist　Transfer）等が含まれる。ＦＯＵＰ３００は、半導体ウェハを格納する容器（ＦＯＵＰ：Front　Opening　Unified　Pod）である。
　図３に示されるように、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂは、把持部４１と、昇降機構４２と、移動機構４３と、を有している。天井搬送車４０Ａ，４０Ｂは、制御装置５０と通信可能である送受信部４４を有している。
　把持部４１は、ＦＯＵＰ３００を把持及び解放する装置である。把持部４１は、ＦＯＵＰ３００のフランジ部３１０を把持可能である。把持部４１は、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂが保管棚３１からＦＯＵＰ３００を取得する際に、ＦＯＵＰ３００のフランジ部３１０を把持する。把持部４１は、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂが保管棚３１へＦＯＵＰ３００を載置する際に、ＦＯＵＰ３００のフランジ部３１０を解放する。
　昇降機構４２は、把持部４１を鉛直方向に昇降させる装置である。昇降機構４２は、把持部４１を鉛直方向に昇降可能である。昇降機構４２は、巻上機構４２ａと、ベルト４２ｂと、を有している。巻上機構４２ａは、移動機構４３によって保持されている。巻上機構４２ａは、ベルト４２ｂを鉛直方向に巻上げ及び巻下ろす装置である。巻上機構４２ａは、ベルト４２ｂを鉛直方向に巻上げ及び巻下ろし可能である。ベルト４２ｂは、巻上機構４２ａから垂下され、その下端において把持部４１を保持している。昇降機構４２は、把持部４１によって把持されたＦＯＵＰ３００が保管棚３１に達するだけの距離を巻上げ及び巻下ろし可能である。
　移動機構４３は、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂから両方の側方に対して把持部４１及び昇降機構４２を移動させる装置である。すなわち、移動機構４３は、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂから、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂの進行方向に対し垂直な水平方向に対して把持部４１及び昇降機構４２を移動可能である。移動機構４３は、把持部４１及び昇降機構４２を、保管棚３１のそれぞれの上方に移動可能である。把持部４１によってＦＯＵＰ３００が把持されている場合、移動機構４３は、当該ＦＯＵＰ３００を保管棚３１の鉛直方向上方に対して移動可能である。
　図２に示されるように、第１往路部分３２ａを走行する天井搬送車４０Ａと第２復路部分３３ｂを走行する天井搬送車４０Ｂとは、走行方向が第１方向Ｄ１で一致する。第１復路部分３２ｂを走行する天井搬送車４０Ａと第２往路部分３３ａを走行する天井搬送車４０Ｂとは、走行方向が第２方向Ｄ２で一致する。
　第１移載軌道３２及び第２移載軌道３３のそれぞれにおいて停止した天井搬送車４０Ａ，４０Ｂは、保管棚３１に対して、ＦＯＵＰ３００を移載することができる。天井搬送車４０Ａ，４０Ｂは、同一の保管棚３１に対してＦＯＵＰ３００を移載可能である。すなわち、第１移載軌道３２における天井搬送車４０Ａ及び第２移載軌道３３における天井搬送車４０Ｂのいずれにおいても、保管棚３１との間でＦＯＵＰ３００の受け渡し（移載）が可能とされている。
　天井搬送車４０Ａ，４０Ｂは、把持部４１がＦＯＵＰ３００のフランジ部３１０を把持している状態から、移動機構４３を動作させてＦＯＵＰ３００を保管棚３１のそれぞれの上方に移動させる。続いて、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂは、巻上機構４２ａを動作させてベルト４２ｂを巻下ろし、ＦＯＵＰ３００を降下させ保管棚３１上に載置する。以上により、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂは、保管棚３１へＦＯＵＰ３００を移載（載置）する。
　また、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂは、保管棚３１上に載置された状態のＦＯＵＰ３００のフランジ部３１０を把持部４１により把持する。続いて、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂは、巻上機構４２ａを動作させてベルト４２ｂを巻上げ、ＦＯＵＰ３００を上昇させる。続いて、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂは、移動機構４３を動作させてＦＯＵＰ３００を移動させる。以上により、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂは、保管棚３１からＦＯＵＰ３００を移載（取得）する。
　送受信部４４は、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂの所定位置に配置されている。天井搬送車４０Ａ，４０Ｂの送受信部４４は、制御装置５０と通信可能である。送受信部４４と制御装置５０とは、例えば、第１軌道１０又は第２軌道に沿って敷設されたフィーダー線（図示省略）を介して互いに通信する。天井搬送車４０Ａ，４０Ｂは、送受信部４４で受信した搬送指令に基づいてＦＯＵＰ３００を搬送する。
　制御装置５０は、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂの動作を制御する。制御装置５０は、ＣＰＵ（Central　Processing　Unit）、ＲＯＭ（Read　Only　Memory）及びＲＡＭ(Random　Access　Memory)等によって構成された電子制御ユニットである。制御装置５０は、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂに搬送指令を送信する。
　続いて、天井搬送車４０Ａ及び天井搬送車４０Ｂの動作について説明する。図２に示されるように、天井搬送車４０Ａは、第１棟１００のイントラベイルートにおいて取得したＦＯＵＰ３００を第１移載軌道３２まで搬送すると、第１往路部分３２ａ、第１折返し部分３２ｃ及び第１復路部分３２ｂの順に第１移載軌道３２を走行する。天井搬送車４０Ａは、第１往路部分３２ａにおいて、空いている保管棚３１ａの位置で停止し、ＦＯＵＰ３００を保管棚３１ａに載置する。天井搬送車４０Ａは、ＦＯＵＰ３００を保管棚３１ａに載置した後、第１折返し部分３２ｃを走行して走行方向を第１方向Ｄ１から第２方向Ｄ２に方向転換する。天井搬送車４０Ａは、第１復路部分３２ｂまで走行して所定位置で停止し、保管棚３１ｂからＦＯＵＰ３００を取得する。天井搬送車４０Ａは、取得したＦＯＵＰ３００を第１棟１００に搬送する。
　天井搬送車４０Ｂは、第２棟２００のイントラベイルートにおいて取得したＦＯＵＰ３００を第２移載軌道３３まで搬送すると、第２往路部分３３ａ、第２折返し部分３３ｃ及び第２復路部分３３ｂの順に第２移載軌道３３を走行する。天井搬送車４０Ｂは、第２往路部分３３ａにおいて、空いている保管棚３１ｂの位置で停止し、ＦＯＵＰ３００を保管棚３１ｂに載置する。天井搬送車４０Ｂは、ＦＯＵＰ３００を保管棚３１ｂに載置した後、第２折返し部分３３ｃを走行して走行方向を第２方向Ｄ２から第１方向Ｄ１に方向転換する。天井搬送車４０Ｂは、第２復路部分３３ｂまで走行して所定位置で停止し、保管棚３１ａからＦＯＵＰ３００を取得する。天井搬送車４０Ｂは、取得したＦＯＵＰ３００を第２棟２００に搬送する。
　以上説明したように、本実施形態に係る搬送システム１では、中継部３０において、第１往路部分３２ａと第２復路部分３３ｂとが鉛直方向から見て重なっていると共に、第１復路部分３２ｂと第２往路部分３３ａとが鉛直方向から見て重なっている。複数の保管棚３１のそれぞれは、鉛直方向から見て第１往路部分３２ａ及び第２復路部分３３ｂの両側方に設けられていると共に、第１復路部分３２ｂ及び第２往路部分３３ａの両側方に設けられている。つまり、２つの軌道が鉛直方向から見て重なっているため、軌道の片側だけではなく、両側に保管棚３１を配置することができる。そのため、搬送システム１では、軌道（第１往路部分３２ａ、第２往路部分３３ａ、第１復路部分３３ｂ、及び第２復路部分３３ｂ）が延在する方向に保管棚３１を配置するスペースが少ない場合でも、軌道に直交する方向でのスペースを活用して必要な数の保管棚３１を適切に配置することができる。
　本実施形態に係る搬送システム１では、中継部３０は、第１棟１００と第２棟２００トの中間部に設けられている。この構成では、第１棟１００内及び第２棟２００内のそれぞれにおいて中継部３０を設置するスペースを設ける必要がない。したがって、第１棟１００内及び第２棟２００内のスペースを有効に活用することができる。
　本実施形態に係る搬送システム１では、天井搬送車４０Ａは、第１移載軌道３２において、第１往路部分３２ａ、第１折返し部分３２ｃ及び第１復路部分３２ｂの順に走行する。天井搬送車４０Ａは、第１往路部分３２ａにおいて保管棚３１ａに対してＦＯＵＰ３００を載置し、第１復路部分３２ｂにおいてＦＯＵＰ３００を保管棚３１ｂから取得する。天井搬送車４０Ｂは、第２移載軌道３３において、第２往路部分３３ａ、第２折返し部分３３ｃ及び第２復路部分３３ｂの順に走行する。天井搬送車４０Ｂは、第２往路部分３３ａにおいて保管棚３１ｂに対してＦＯＵＰ３００を載置し、第２復路部分３３ｂにおいてＦＯＵＰ３００を保管棚３１ａから取得する。この構成では、天井搬送車４０Ａが第１移載軌道３２を走行する過程でＦＯＵＰ３００を載置及び取得することができると共に、天井搬送車４０Ｂが第２移載軌道３３を走行する過程でＦＯＵＰ３００を載置及び取得することができる。
［第２実施形態］
　続いて、第２実施形態について説明する。図４及び図５に示されるように、搬送システム１Ａは、第１軌道１０Ａと、第２軌道２０Ａと、中継部３０と、天井搬送車４０Ａ及び天井搬送車４０Ｂと、制御装置５０（図３参照）と、を備える。
　第１軌道１０Ａは、第１移載軌道３２の第１往路部分３２ａに続き（接続されて）第１折返し部分３２ｃと分岐すると共に第１復路部分３２ｂと合流する、第２棟２００に設けられた第１延長軌道１３を有している。第１延長軌道１３は、第１往路部分３２ａ及び第１復路部分３２ｂに続き（接続されて）第１棟１００側から第２棟２００側に向かって直線状に延在し、第２棟２００内に設けられている。第１延長軌道１３は、第２棟２００内において、複数のイントラベイルートに配置されるイントラベイ軌道と、インターベイルートに配置されるインターベイ軌道と、を含む。天井搬送車４０Ａは、第１棟１００及び第２棟２００においてＦＯＵＰ３００の移載が可能である。天井搬送車４０Ａは、基本的に、第１棟１００においてＦＯＵＰ３００を搬送する。
　第２軌道２０Ａは、第２移載軌道３３の第２往路部分３３ａに続き（接続されて）第２折返し部分３３ｃと分岐すると共に第２復路部分３３ｂと合流する、第１棟１００に設けられた第２延長軌道２３を有している。第２延長軌道２３は、第２往路部分３３ａ及び第２復路部分３３ｂに続き（接続されて）第２棟２００側から第１棟１００側に向かって直線状に延在し、第１棟１００内に設けられている。第２延長軌道２３は、第１棟１００内において、複数のイントラベイルートに配置されるイントラベイ軌道と、インターベイルートに配置されるインターベイ軌道と、を含む。天井搬送車４０Ｂは、第１棟１００及び第２棟２００においてＦＯＵＰ３００の移載が可能である。天井搬送車４０Ｂは、基本的に、第２棟２００においてＦＯＵＰ３００を搬送する。
　搬送システム１Ａでは、中継部３０において、保管棚３１を介して、天井搬送車４０Ａと天井搬送車４０Ｂとの間においてＦＯＵＰ３００の受け渡しができる。
　続いて、天井搬送車４０Ａ及び天井搬送車４０Ｂの動作について説明する。天井搬送車４０Ａは、中継部３０の保管棚３１にＦＯＵＰ３００を移載する際には、第１移載軌道３２を第１往路部分３２ａ、第１折返し部分３２ｃ及び第１復路部分３２ｂの順に走行する。天井搬送車４０Ａは、第２棟２００にＦＯＵＰ３００を搬送する際には、第２棟２００に向かうときに第１移載軌道３２の第１往路部分３２ａを通過して第１延長軌道１３に乗り入れる。天井搬送車４０Ａは、第２棟２００から第１棟１００に戻るときには、第１延長軌道１３から第１移載軌道３２の第１復路部分３２ｂに乗り入れる。
　天井搬送車４０Ｂは、保管棚３１にＦＯＵＰ３００を移載する際には、第２移載軌道３３を第２往路部分３３ａ、第２折返し部分３３ｃ及び第２復路部分３３ｂの順に走行する。天井搬送車４０Ｂは、第１棟１００にＦＯＵＰ３００を搬送する際には、第１棟１００に向かうときに第２移載軌道３３の第２往路部分３３ａを通過して第２延長軌道２３に乗り入れる。天井搬送車４０Ｂは、第１棟１００から第２棟２００に戻るときには、第２延長軌道２３から第２移載軌道３３の第２復路部分３３ｂに乗り入れる。
　搬送システム１Ａでは、制御装置５０は、第１棟１００での天井搬送車４０Ａの稼動状況及び第２棟２００での天井搬送車４０Ｂの稼動状況に応じて、第１移載軌道３２又は第２移載軌道３３でのＦＯＵＰ３００の移載、又は、第１棟１００又は第２棟２００へのＦＯＵＰ３００の搬送を制御する。稼動状況とは、第１棟１００及び第２棟２００における天井搬送車４０Ａ，４０Ｂの稼動台数、稼動率、稼動台数の比率等である。
　制御装置５０は、例えば、第１棟１００において、天井搬送車４０Ａの稼動台数が規定数に達している場合には、天井搬送車４０Ｂに対して、ＦＯＵＰ３００を保管棚３１に移載する搬送要求を送信する。制御装置５０は、例えば、第１棟１００において、天井搬送車４０Ａの稼動台数が規定数に達していない場合には、天井搬送車４０Ｂに対して、第１棟１００までＦＯＵＰ３００を搬送する搬送要求を送信する。
　以上説明したように、本実施形態に係る搬送システム１Ａでは、天井搬送車４０Ａは、第１棟１００及び第２棟２００においてＦＯＵＰ３００の移載が可能であり、天井搬送車４０Ｂは、第１棟１００及び第２棟２００においてＦＯＵＰ３００の移載が可能である。これにより、搬送システム１Ａでは、例えば、保管棚３１にＦＯＵＰ３００を移載することができない場合には、天井搬送車４０Ａ，４０Ｂが他の棟に直接ＦＯＵＰ３００を搬送することができる。したがって、搬送システム１Ａでは、棟間搬送の効率向上を図ることができる。
　本実施形態に係る搬送システム１Ａでは、制御装置５０は、第１棟１００での天井搬送車４０Ａの稼動状況及び第２棟２００での天井搬送車４０Ｂの稼動状況に応じて、第１移載軌道３２又は第２移載軌道３３でのＦＯＵＰ３００の移載、又は、第１棟１００又は第２棟２００へのＦＯＵＰ３００の搬送を制御する。この構成では、例えば、第１棟１００における天井搬送車４０Ａの稼動率が高い場合には、天井搬送車４０Ｂが第１棟１００までＦＯＵＰ３００を搬送することにより、第１棟１００内の天井搬送車の台数が増える。そのため、第１棟１００において、より効率的な搬送が可能となる。
　以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
　上記実施形態では、第１移載軌道３２及び第２移載軌道３３が第１棟１００と第２棟２００との間に設けられている形態を一例に説明した。しかし、第１移載軌道３２及び第２移載軌道３３は、第１棟１００内又は第２棟２００内に設けられていてもよい。
　上記実施形態では、保管棚３１が、第１往路部分３２ａと第１復路部分３２ｂとの対向方向（第２往路部分３３ａと第２復路部分３３ｂとの対向方向）において、第１往路部分３２ａ及び第２復路部分３３ｂ、及び、第１復路部分３２ｂ及び第２往路部分３３ａを挟んで対向して一対配置されている形態を一例に説明した。しかし、保管棚３１は、例えば、千鳥状に配置されていてもよい。
　上記実施形態では、保管棚３１が、第１往路部分３２ａと第１復路部分３２ｂとの対向方向（第２往路部分３３ａと第２復路部分３３ｂとの対向方向）において、対向して配置されている複数の保管棚３１の個数が同じである形態を一例に説明した。しかし、保管棚３１の個数は一致していなくてもよく、設計に応じて適宜設定されればよい。
　上記実施形態では、被搬送物がＦＯＵＰ３００である形態を一例に説明した。しかし、被搬送物は、例えば、ガラス基板を格納する容器、レチクルポッド、ＦＯＳＢ，ＳＭＩＦ　Ｐｏｄ、一般部品等であってもよい。
　上記実施形態では、搬送システム１が半導体製造工場に設置される形態を一例に説明した。しかし、搬送システムは、半導体製造工場に限定されず、その他の施設にも適用可能である。
　１，１Ａ…搬送システム、１０，１０Ａ…第１軌道、１３…第１延長軌道、２０，２０Ａ…第２軌道、２３…第２延長軌道、３０…中継部、３１，３１ａ，３１ｂ…保管棚（保管部）、３２…第１移載軌道、３２ａ…第１往路部分、３２ｂ…第１復路部分、３２ｃ…第１折返し部分、３３…第２移載軌道、３３ａ…第２往路部分、３３ｂ…第２復路部分、３３ｃ…第２折返し部分、４０Ａ…天井搬送車（第１天井搬送車）、４０Ｂ…天井搬送車（第２天井搬送車）、５０…制御装置、１００…第１棟、２００…第２棟、３００…ＦＯＵＰ（被搬送物）。

Claims (5)

  1. 　第１棟に設けられた第１軌道と、
    　前記第１棟とは異なる第２棟に設けられた第２軌道と、
    　前記第１軌道を走行して被搬送物を搬送すると共に、前記被搬送物を移載する第１天井搬送車と、
    　前記第２軌道を走行して前記被搬送物を搬送すると共に、前記被搬送物を移載する第２天井搬送車と、
    　前記第１天井搬送車と前記第２天井搬送車との間で前記被搬送物を受け渡すための中継部と、を備え、
    　前記中継部は、
    　　前記第１天井搬送車及び前記第２天井搬送車のそれぞれから移載される前記被搬送物を一時的に保管する複数の保管部と、
    　　前記第１軌道から延長して設けられ、前記第１天井搬送車が前記被搬送物を前記保管部に載置すると共に前記保管部から前記被搬送物を取得する第１移載軌道と、
    　　前記第２軌道から延長して設けられ、前記第２天井搬送車が前記被搬送物を前記保管部に載置すると共に前記保管部から前記被搬送物を取得する第２移載軌道と、を有し、
    　前記第１移載軌道は、直線状に延在している第１往路部分と、前記第１往路部分に続く第１折返し部分と、前記第１折返し部分に続き、直線状に延在している第１復路部分と、を有し、
    　前記第２移載軌道は、直線状に延在している第２往路部分と、前記第２往路部分に続く第２折返し部分と、前記第２折返し部分に続き、直線状に延在している第２復路部分と、を有し、
    　前記第１往路部分と前記第２復路部分とが鉛直方向から見て重なっていると共に、前記第１復路部分と前記第２往路部分とが前記鉛直方向から見て重なっており、
    　前記第１往路部分を走行する前記第１天井搬送車の走行方向と前記第２復路部分を走行する前記第２天井搬送車の走行方向とが一致すると共に、前記第１復路部分を走行する前記第１天井搬送車の走行方向と前記第２往路部分を走行する前記第２天井搬送車の走行方向とが一致し、
    　複数の前記保管部のそれぞれは、前記第１往路部分、前記第１復路部分、前記第２往路部分及び前記第２復路部分の下方に位置し、且つ前記鉛直方向から見て前記第１往路部分及び前記第２復路部分の両側方に設けられていると共に、前記第１復路部分及び前記第２往路部分の両側方に設けられており、
    　前記第１往路部分を走行する前記第１天井搬送車及び前記第２復路部分を走行する前記第２天井搬送車が同一の前記保管部に前記被搬送物を移載可能であると共に、前記第１復路部分を走行する前記第１天井搬送車及び前記第２往路部分を走行する前記第２天井搬送車が同一の前記保管部に前記被搬送物を移載可能である、搬送システム。
  2. 　前記中継部は、前記第１棟、前記第２棟、又は、前記第１棟と前記第２棟との中間部のいずれかに配置されている、請求項１に記載の搬送システム。
  3. 　前記第１天井搬送車は、
    　　前記第１移載軌道において、前記第１往路部分、前記第１折返し部分及び前記第１復路部分の順に走行し、
    　　前記第１往路部分において前記保管部に対して前記被搬送物を載置し、前記第１復路部分において前記被搬送物を前記保管部から取得し、
    　前記第２天井搬送車は、
    　　前記第２移載軌道において、前記第２往路部分、前記第２折返し部分及び前記第２復路部分の順に走行し、
    　　前記第２往路部分において前記保管部に対して前記被搬送物を載置し、前記第２復路部分において前記被搬送物を前記保管部から取得する、請求項１又は２に記載の搬送システム。
  4. 　前記第１軌道は、前記第１移載軌道の前記第１往路部分に続き前記第１折返し部分と分岐すると共に前記第１復路部分と合流する、前記第２棟に設けられた第１延長軌道を有し、
    　前記第２軌道は、前記第２移載軌道の前記第２往路部分に続き前記第２折返し部分と分岐すると共に前記第２復路部分と合流する、前記第１棟に設けられた第２延長軌道を有し、
    　前記第１天井搬送車は、前記第１棟及び前記第２棟において前記被搬送物の移載が可能であり、
    　前記第２天井搬送車は、前記第１棟及び前記第２棟において前記被搬送物の移載が可能である、請求項１～３のいずれか一項に記載の搬送システム。
  5. 　前記第１天井搬送車及び前記第２天井搬送車の動作を制御する制御装置を備え、
    　前記制御装置は、前記第１棟での前記第１天井搬送車の稼動状況及び前記第２棟での前記第２天井搬送車の稼動状況に応じて、前記第１移載軌道又は前記第２移載軌道での前記被搬送物の移載、又は、前記第１棟又は前記第２棟への前記被搬送物の搬送を制御する、請求項４に記載の搬送システム。
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