JP6206748B2 - キャリアの搬送システムと搬送方法 - Google Patents
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Description
キャリアを昇降させるホイストと、ホイストを横送りする横送り機構とを備える天井走行車と、
建屋の天井空間に、ロードポートの直上部を通過するように配置されている天井走行車の走行レールと、
キャリアを昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
天井走行車の走行レールの下方で、かつロードポートの直上部に設けられている、ローカル台車の走行レールと、
前記ローカル台車の走行レールの直下の前進位置と、前記ローカル台車の走行レールの直下から側方に離れている後退位置との間でスライド自在で、かつキャリアを載置自在なスライドバッファと、
前記ローカル台車及び前記スライドバッファを制御するバッファコントローラとを備え、
キャリアの移載のため、前記後退位置では前記スライドバッファの上方が開放されており、
前記天井走行車は、ロードポート及び前記後退位置にあるスライドバッファとの間でキャリアを移載するようにされ、
前記ローカル台車は、ロードポート及び前記前進位置にあるスライドバッファとの間でキャリアを移載するようにされ、
さらに前記ローカル台車の走行レールは、ロードポートの直上部から延長されて直上部から外れるローカル台車の待機位置まで延び、
前記ローカル台車は前記待機位置で待機するようにされている。
前記搬送システムは、
キャリアを昇降させるホイストと、ホイストを横送りする横送り機構とを備える天井走行車と、
建屋の天井空間に、ロードポートの直上部を通過するように配置されている天井走行車の走行レールと、
キャリアを昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
天井走行車の走行レールの下方で、かつロードポートの直上部に設けられている、ローカル台車の走行レールと、
前記ローカル台車の走行レールの直下の前進位置と、前記ローカル台車の走行レールの直下から側方に離れている後退位置との間でスライド自在で、かつキャリアを載置自在なスライドバッファと、
前記ローカル台車及び前記スライドバッファを制御するバッファコントローラ、とを備え、
キャリアの移載のため、前記後退位置では前記スライドバッファの上方が開放され、
に前記ローカル台車の走行レールは、ロードポートの直上部から延長されて直上部から外れるローカル台車の待機位置まで延び、
前記キャリアの搬送方法では、
前記天井走行車により、ロードポート及び前記後退位置にあるスライドバッファとの間でキャリアを移載し、
前記ローカル台車により、ロードポート及び前記前進位置にあるスライドバッファとの間でキャリアを移載し、
前記ローカル台車は前記待機位置で待機する。
前記ローカル台車の走行レールに沿って、前記ローカル台車と前記バッファコントローラとが通信するための端末が設けられ、
前記スライドバッファは、前記後退位置に固定のベースと、前記前進位置とベース上との間で進退する可動の台座とから成り、
さらに前記台座が前記前進位置に有ることを検出するセンサと、前記台座が前記ベース上に有ることを検出するセンサとが設けられ、
前記ローカル台車は、端末を介して前記バッファコントローラに、
ロードポートの直上部への進入に先立って進入許可を求め、
前記スライドバッファとの移載に先立って、移載の許可を求めるように構成され、
前記天井走行車は、端末を介して前記バッファコントローラに、
ロードポートとの間の移載に先立ってロードポートとの移載の許可を求めると共に、
前記スライドバッファとの間の移載に先立って、前記スライドバッファとの移載の許可を求めるように構成され、
前記バッファコントローラは、端末を介して前記ローカル台車に対して、
前記天井走行車からのロードポートとの移載と競合しない場合は、進入許可を与え、
前記スライドバッファが前進位置にある場合は、移載を許可し、
端末を介して前記天井走行車に対して、
前記ローカル台車の進入と競合しない場合は、ロードポートとの移載を許可し、
前記スライドバッファが後退位置にある場合は、前記スライドバッファとの移載を許可するように構成されている。
・ 光センサ20,センサ75,76,IDリーダ77,センサ83,84、及び後述の端末等により、一時保管装置2の状態(バッファ毎のキャリアの有無とスライドバッファ12の位置)を検出すると共に、
・ 天井走行車30とローカル台車10のインターロックを行う。
4 天井走行車の走行レール 6 処理装置 7 通路
8 ローカル台車の走行レール 10 ローカル台車
12 スライドバッファ 13 フレーム 14 固定バッファ
16 ロードポート 18 キャリア 20 光センサ
21 反射板 22 バッファコントローラ(コントローラ)
24 架台 25,26 前面 30 天井走行車(OHT)
32 走行部 33 横送り機構 34 昇降駆動部
35 昇降台 36 ベルト 38 落下防止カバー
40 天井 41,43 支柱 42 取付部
70 ベース 71 レール 72 台座 73 車輪
74 位置決めピン 75 キャリアセンサ 76 着座センサ
77 IDリーダ 78 シリンダ 79 ピストン
80 リニアガイド 81 レール 82 歯付きベルト
83,84 センサ 85 ケーブルガイド 86 車輪
87 昇降駆動部 88 昇降台
90 材料管理システム(MCS)
92 OHTコントローラ 100〜102 端末
Claims (7)
- 処理装置のロードポート間でキャリアを搬送する搬送システムであって、
キャリアを昇降させるホイストと、ホイストを横送りする横送り機構とを備える天井走行車と、
建屋の天井空間に、ロードポートの直上部を通過するように配置されている天井走行車の走行レールと、
キャリアを昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
天井走行車の走行レールの下方で、かつロードポートの直上部に設けられている、ローカル台車の走行レールと、
前記ローカル台車の走行レールの直下の前進位置と、前記ローカル台車の走行レールの直下から側方に離れている後退位置との間でスライド自在で、かつキャリアを載置自在なスライドバッファと、
前記ローカル台車及び前記スライドバッファを制御するバッファコントローラとを備え、
キャリアの移載のため、前記後退位置では前記スライドバッファの上方が開放されており、
前記天井走行車は、ロードポート及び前記後退位置にあるスライドバッファとの間でキャリアを移載するようにされ、
前記ローカル台車は、ロードポート及び前記前進位置にあるスライドバッファとの間でキャリアを移載するように構成され、
さらに前記ローカル台車の走行レールは、ロードポートの直上部から延長されて直上部から外れるローカル台車の待機位置まで延び、
前記ローカル台車は前記待機位置で待機するようにされ、
前記天井走行車の走行レールに沿って、前記天井走行車と前記バッファコントローラとが通信するための端末が設けられ、
前記ローカル台車の走行レールに沿って、前記ローカル台車と前記バッファコントローラとが通信するための端末が設けられ、
前記スライドバッファが前記後退位置に有ることを検出するセンサが設けられ、
前記天井走行車は、端末を介して前記バッファコントローラに、ロードポートとの間の移載に先立ってロードポートとの移載の許可を求めるように構成され、
前記バッファコントローラは、端末を介して前記天井走行車に対して、前記ローカル台車の進入と競合せず、かつ前記スライドバッファが前記後退位置にある場合には、ロードポートとの移載を許可するように構成されている、キャリアの搬送システム。 - 前記ローカル台車の走行レールの直下で、かつロードポートの直上部から外れる位置に、前記待機位置の直下を含むように、キャリアを載置自在な固定バッファが設けられていることを特徴とする、請求項1のキャリアの搬送システム。
- 前記スライドバッファとして、前記ローカル台車の走行レールの一側方にスライド自在なスライドバッファと、他側方にスライド自在なスライドバッファとを備え、
前記天井走行車の横送り機構は、走行レールの両側方にホイストを横送り自在に構成され、
前記ローカル台車の走行レールの一側方のスライドバッファに対しても、他側方のスライドバッファに対しても、前記天井走行車は前記後退位置でキャリアを移載するようにされていることを特徴とする、請求項1または2のキャリアの搬送システム。 - 前記スライドバッファは、前記後退位置に固定のベースと、前記前進位置とベース上との間で進退する可動の台座とから成り、
さらに前記台座が前記前進位置に有ることを検出するセンサと、前記台座が前記ベース上に有ることを検出するセンサとが設けられ、
前記ローカル台車は、端末を介して前記バッファコントローラに、
ロードポートの直上部への進入に先立って進入許可を求め、
前記スライドバッファとの移載に先立って、移載の許可を求めるように構成され、
前記天井走行車は、端末を介して前記バッファコントローラに、前記スライドバッファとの間の移載に先立って、前記スライドバッファとの移載の許可を求めるように構成され、
前記バッファコントローラは、端末を介して前記ローカル台車に対して、
前記天井走行車からのロードポートとの移載と競合しない場合は、進入許可を与え、
前記スライドバッファが前記前進位置にある場合は、移載を許可し、
端末を介して前記天井走行車に対して、前記スライドバッファが前記後退位置にある場合は、前記スライドバッファとの移載を許可するように構成されていることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかのキャリアの搬送システム。 - 処理装置のロードポート間で、天井走行車とローカル台車とを有する搬送システムにより、キャリアを搬送するキャリアの搬送方法あって、
前記搬送システムは、
キャリアを昇降させるホイストと、ホイストを横送りする横送り機構とを備える天井走行車と、
建屋の天井空間に、ロードポートの直上部を通過するように配置されている天井走行車の走行レールと、
キャリアを昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
天井走行車の走行レールの下方で、かつロードポートの直上部に設けられている、ローカル台車の走行レールと、
前記ローカル台車の走行レールの直下の前進位置と、前記ローカル台車の走行レールの直下から側方に離れている後退位置との間でスライド自在で、かつキャリアを載置自在なスライドバッファと、
前記ローカル台車及び前記スライドバッファを制御するバッファコントローラ、とを備え、
キャリアの移載のため、前記後退位置では前記スライドバッファの上方が開放され、
前記ローカル台車の走行レールは、ロードポートの直上部から延長されて直上部から外れるローカル台車の待機位置まで延び、
前記天井走行車の走行レールに沿って、前記天井走行車と前記バッファコントローラとが通信するための端末が設けられ、
前記ローカル台車の走行レールに沿って、前記ローカル台車と前記バッファコントローラとが通信するための端末が設けられ、
前記スライドバッファが前記後退位置に有ることを検出するセンサが設けられ、
前記キャリアの搬送方法では、
前記天井走行車により、ロードポート及び前記後退位置にあるスライドバッファとの間でキャリアを移載し、
前記ローカル台車により、ロードポート及び前記前進位置にあるスライドバッファとの間でキャリアを移載し、
前記ローカル台車は前記待機位置で待機し、
前記天井走行車は、端末を介して前記バッファコントローラに、ロードポートとの間の移載に先立ってロードポートとの移載の許可を求めるように構成され、
前記バッファコントローラは、端末を介して前記天井走行車に対して、前記ローカル台車の進入と競合せず、かつ前記スライドバッファが前記後退位置にある場合には、ロードポートとの移載を許可する、キャリアの搬送方法。 - 前記搬送システムは、
前記スライドバッファとして、前記ローカル台車の走行レールの一側方にスライド自在なスライドバッファと、他側方にスライド自在なスライドバッファとを備え、
前記天井走行車の横送り機構は、走行レールの両側方に対してホイストを横送り自在に構成され、
前記キャリアの搬送方法では、
前記ローカル台車の走行レールの一側方のスライドバッファに対しても、他側方のスライドバッファに対しても、前記天井走行車は前記後退位置でキャリアを移載することを特徴とする、請求項5のキャリアの搬送方法。 - 前記搬送システムの前記スライドバッファは、前記後退位置に固定のベースと、前記前進位置とベース上との間で進退する可動の台座とから成り、
前記キャリアの搬送方法ではさらに、
さらに前記台座が前記前進位置に有ることを第1のセンサにより検出すると共に、前記台座が前記ベース上に有ることを第2のセンサにより検出し、
前記ローカル台車は、端末を介して前記バッファコントローラに、
ロードポートの直上部への進入に先立って進入許可を求め、
前記スライドバッファとの移載に先立って、移載の許可を求め、
前記天井走行車は、端末を介して前記バッファコントローラに、前記スライドバッファとの間の移載に先立って、前記スライドバッファとの移載の許可を求め、
前記バッファコントローラは、端末を介して前記ローカル台車に対して、
前記天井走行車からのロードポートとの移載と競合しない場合は進入を許可し、
前記スライドバッファが前記前進位置にある場合は移載を許可し、
端末を介して前記天井走行車に対して、前記スライドバッファが前記後退位置にある場合は、前記スライドバッファとの移載を許可することを特徴とする、請求項5または6のキャリアの搬送方法。
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