JP4860420B2

JP4860420B2 - 天井搬送車の投入離脱装置

Info

Publication number: JP4860420B2
Application number: JP2006278548A
Authority: JP
Inventors: 嘉也遠藤; 伸男真中; 加寿夫後藤
Original assignee: Hitachi Plant Technologies Ltd
Current assignee: Hitachi Plant Technologies Ltd
Priority date: 2006-10-12
Filing date: 2006-10-12
Publication date: 2012-01-25
Anticipated expiration: 2026-10-12
Also published as: JP2008098408A; CN101161570A; TW200817272A; CN101161570B; TWI363739B; KR20080033031A

Description

本発明は、天井搬送車の投入離脱装置に関し、特に、走行レールへの搬送車の投入離脱を自動で行うことにより、脱着時間を短縮するとともに、安全を確保し、かつ本線停止時間の短縮を行うことができる天井搬送車の投入離脱装置に関するものである。

従来、半導体製造工場等のクリーンルームにおいては、カセット等の搬送物を搬送する際の発塵を抑制するために、無人搬送車を用いるようにしている。

このような工程間搬送装置としては、無人搬送車が地上を走行するＲＧＶ（有軌道式地上搬送車）と、無人搬送車が天井部を走行するＯＨＶ（有軌道式天井搬送車）とがある。
ＲＧＶは地上を走行しているので、メンテナンスエリアへの離脱はターンテーブルやリフタを用いて横へずらす形で離脱することができ、このため、人手による離脱でも可能であった。

しかしながら、ＯＨＶは天井部で稼働しているため、ラインからの離脱を人手に頼っていたのでは、リフタ（垂直移動）操作等、動きが複雑になり、安全確保が困難になったり、リジェクトに時間がかかり、本線の停止時間が長くなったりするという問題があった。

本発明は、上記従来の天井搬送車が有する問題点に鑑み、走行レールへの搬送車の投入離脱を自動で行うことにより、脱着時間を短縮するとともに、安全を確保し、かつ本線停止時間の短縮を行うことができる天井搬送車の投入離脱装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明の天井搬送車の投入離脱装置は、天井に沿って敷設した走行レール上を走行する無人搬送車を、該走行レールに投入又は離脱するようにした天井搬送車の投入離脱装置において、走行レールに設けた切欠部と、該切欠部に分離可能に装着されるシフタレールと、切欠部への装着位置と、その側方の横シフト位置との間で、前記シフタレールを移動させるシフタ装置と、シフタレールに並設され、シフタレールが横シフト位置に移動したときに走行レールの切欠部に装着される補助シフタレールと、前記横シフト位置に移動したシフタレールと接続され、該シフタレールとの間で搬送車の移載を行うリフタレールと、シフタレールとの接続位置と地上部との間で、該リフタレールを昇降させるリフタ装置とを備え、前記走行レールの切欠部の上流側と下流側に他の搬送車の進入を検知する無人搬送車の走行方向に対して斜めに交わる方向にセンシングを行うそれぞれ１台の発信部及び受信部を備えた搬送車検知センサと、シフタ装置の作動前に作動し、走行レール上にアームを突出する搬送車ストッパと、シフタレール上の搬送車の前後及び中間を検知する無人搬送車の走行方向に対して直交方向にセンシングを行う３台の発信部及び受信部を備えたシフタレールセンサと、該シフタレールセンサでシフタレールの一動作毎に搬送車を確認し、搬送車の有無が適正でないときに次の動作に移らないインターロック機構と、前記リフタレール上の搬送車の前後及び中間を検知するリフタレールセンサと、該リフタレールセンサでリフタレールの一動作毎に搬送車を確認し、搬送車の有無が適正でないときに次の動作に移らないインターロック機構とを設けたことを特徴とする。

この場合において、地上部まで下降したリフタレールと接続され、該リフタレールとの間で搬送車の移載を行う台車レールを有するメンテナンス台車を備えることができる。

本発明の天井搬送車の投入離脱装置によれば、天井に沿って敷設した走行レール上を走行する無人搬送車を、該走行レールに投入又は離脱するようにした天井搬送車の投入離脱装置において、走行レールに設けた切欠部と、該切欠部に分離可能に装着されるシフタレールと、切欠部への装着位置と、その側方の横シフト位置との間で、前記シフタレールを移動させるシフタ装置と、シフタレールに並設され、シフタレールが横シフト位置に移動したときに走行レールの切欠部に装着される補助シフタレールと、前記横シフト位置に移動したシフタレールと接続され、該シフタレールとの間で搬送車の移載を行うリフタレールと、シフタレールとの接続位置と地上部との間で、該リフタレールを昇降させるリフタ装置とを備えることから、搬送車を載置したシフタレールを横シフト位置に移動させるとともに、搬送車をリフタレールに移載し、該リフタレールを地上部に降ろすことにより、天井に敷設した走行レールから搬送車を自動で容易に離脱することができ、また、逆の順序で搬送車を自動で容易に走行レールに投入することができ、これにより、走行レールへの搬送車の投入離脱を短時間で行うことができる。
そして、シフタレールが横シフト位置に移動した後は、補助シフタレールが走行レールの切欠部に装着されることから、投入離脱作業中も走行レールは搬送車が走行することができ、これにより、本線停止時間の短縮を行うことができる。

この場合、地上部まで下降したリフタレールと接続され、該リフタレールとの間で搬送車の移載を行う台車レールを有するメンテナンス台車を備えることにより、走行レールから取り外された搬送車の搬送等の取り扱いが容易になるとともに、地上部まで下降したリフタレールを、速やかに最上部位置に戻すことができる。

また、走行レールの切欠部の上流側と下流側に、搬送車の進入を検知する搬送車検知センサをそれぞれ設けることにより、シフタ装置が作動中に搬送車が切欠部付近に進入していないか監視することができる。

また、シフタ装置の作動前に作動し、走行レール上にアームを突出する搬送車ストッパを設けることにより、シフタ装置が作動中に切欠部付近に進入してきた搬送車を機械的に止めることができる。

また、シフタレールに、シフタレール上の搬送車の有無を検知するシフタレールセンサを設けるとともに、該シフタレールセンサでシフタレールの一動作毎に搬送車の有無を確認し、搬送車の有無が適正でないときに、次の動作に移らないインターロック機構を設けることにより、走行レールへの搬送車の投入離脱をより一層安全に行うことができる。

また、リフタレールに、リフタレール上の搬送車の有無を検知するリフタレールセンサを設けるとともに、該リフタレールセンサでリフタレールの一動作毎に搬送車の有無を確認し、搬送車の有無が適正でないときに、次の動作に移らないインターロック機構を設けることにより、走行レールへの搬送車の投入離脱をより一層安全に行うことができる。

以下、本発明の天井搬送車の投入離脱装置の実施の形態を、図面に基づいて説明する。

図１〜図５に、本発明の天井搬送車の投入離脱装置の一実施例を示す。
この天井搬送車の投入離脱装置は、天井に沿って敷設した走行レール１上を走行する無人搬送車２を、この走行レール１に自動で投入又は離脱するようにしている。
そして、この天井搬送車の投入離脱装置は、走行レール１に設けた切欠部３と、該切欠部３に分離可能に装着されるシフタレール４と、切欠部３への装着位置と、その側方の横シフト位置との間で、前記シフタレール４を移動させるシフタ装置５と、シフタレール４に並設され、シフタレール４が横シフト位置に移動したときに走行レール１の切欠部３に装着される補助シフタレール６と、前記横シフト位置に移動したシフタレール４と接続され、該シフタレール４との間で搬送車の移載を行うリフタレール７と、シフタレール４との接続位置と地上部との間で、該リフタレール７を昇降させるリフタ装置８とを備えている。

走行レール１は天井に沿ってループ状に敷設されており、搬送車２を投入離脱する部分で、搬送車２の１台分強の長さが切欠部３として切欠かれている。
この走行レール１の切欠部３の上流側と下流側には、他の搬送車の進入を検知する搬送車検知センサ９と、シフタ装置５の作動前に作動し、走行レール１上にアーム１０ａを突出する搬送車ストッパ１０とをそれぞれ設けている。

搬送車検知センサ９は、光センサ等からなり、シフタ装置５が作動中において、切欠部３前後の所定の区間への他の搬送車の進入を監視し、検知した場合には、コントローラ（図示省略）を介して、進入した搬送車を非常停止させることができる。

また、搬送車ストッパ１０は、図５に示すように、シフタ装置５の作動前に作動し、アーム１０ａを走行レール１上に突出することにより、シフタ装置５が作動中に切欠部３付近に進入してきた搬送車を機械的に止めることができる。

シフタレール４は、図３に示すように、搬送車の通常走行時は切欠部３に装着されており、走行レール１の一部を構成しているが、搬送車２の投入離脱の際には、図４に示すように、その側方の横シフト位置に移動できるように走行レール１から分離して設けられている。
シフタレール４には、図１に示すように、該シフタレール４上の搬送車の有無を検知するシフタレールセンサ４１が設けられるとともに、該シフタレールセンサ４１でシフタレール４の一動作毎に搬送車２の有無を確認し、搬送車２の有無が適正でないときに、次の動作に移らないインターロック機構（図示省略）が設けられている。

また、シフタレール４の側方には、図３〜図４に示すように、該シフタレール４と並列するように、補助シフタレール６が設けられている。
補助シフタレール６は、シフタレール４が横シフト位置に移動したときに、走行レール１の切欠部３に装着され、走行レール１上の搬送車の落下を防止するとともに、搬送車の走行レール１上の走行を可能にしている。

これらシフタレール４や補助シフタレール６の移動は、図４に示すように、ボールネジやラック・ピニオンからなるシフタ装置５によって行われる。
なお、シフタ装置５は、本実施例では、シフタレール４と補助シフタレール６とで別々に設けられているが、１台のシフタ装置でシフタレール４と補助シフタレール６を一体に移動させることも可能である。

一方、リフタレール７は、図１〜図２に示すように、横シフト位置に移動したシフタレール４に接続する位置に配設されており、横シフト位置に移動したシフタレール４との間で搬送車２の移載を行う。
リフタレール７は、ボールネジやラック・ピニオンからなるリフタ装置８により、シフタレール４との接続位置と地上部との間で昇降する。
リフタレール７には、該リフタレール７上の搬送車２の有無を検知するリフタレールセンサ７１が設けられるとともに、該リフタレールセンサ７１でリフタレール７の一動作毎に搬送車２の有無を確認し、搬送車２の有無が適正でないときに、次の動作に移らないインターロック機構（図示省略）が設けられている。

また、地上部には、メンテナンス台車１１が配設されており、該メンテナンス台車１１は、地上部まで下降したリフタレール７に接続され、該リフタレール７との間で搬送車２の移載を行う台車レール（図示省略）を備えている。
なお、リフタレール７とシフタレール４の間の搬送車２の移動は、搬送車２の自動走行によって行うことができ、また、リフタレール７と台車レールの間の搬送車２の移動は、ブレーキを解除し人力で行うことができる。

次に、本実施例の天井搬送車の投入離脱装置の動作を説明する。
まず、図１を参照して、搬送車を投入する際の動作を説明する。
走行レール１上では搬送車の周回を停止し、地上部においては、メンテナンス台車１１に載置した搬送車２をリフタレール７に移載し、リフタレール７を走行レール１の高さまで上昇させる。

一方、走行レール１側では、搬送車検知センサ９によって、切欠部３の前後に他の搬送車がないかを確認するとともに、搬送車ストッパ１０を作動して、切欠部３への他の搬送車の進入を機械的に阻止する。
そして、シフタレールセンサ４１によりシフタレール４上に搬送車がないことを確認し、シフタレール４を走行レール１の切欠部位置からその側方の横シフト位置に移動させるとともに、補助シフタレール６を走行レール１の切欠部３に装着する。

シフタレール４が横シフト位置に移動することにより、このシフタレール４と前記リフタレール７とが接続されるが、両者のレールの位置決めを確実にするために、シリンダからなる位置決め装置１２を投入する。
そして、搬送車２をリフタレール７からシフタレール４に移載した後、位置決め装置１２を解除して、補助シフタレール６を走行レール１から外に移動させるとともに、シフタレール４を元の走行レール１の切欠部位置に装着する。
切欠部位置に装着されたシフタレール４は、走行レール１との位置決めを確実にするために、その前後にシリンダからなる位置決め装置１３が投入される。

次いで、リフタレール７を下降させ元の位置に復帰させるとともに、搬送車検知センサ９と搬送車ストッパ１０とを解除する。
そして、シフタレール４上の搬送車２が、周回指示により周回を始めて、搬送車２の投入動作が完了する。
なお、各機器にはインターロックがかかっているため、決められた手順を踏まないと、次の装置が作動しない、
特に、シフタレールセンサ４１とリフタレールセンサ７１は、一動作毎に搬送車２の有無を確認し、搬送車２の有無が適正でないときは、次の動作に移らないため、安全性がより一層確保される。

次に、図２を参照して、搬送車を走行レールから離脱する動作を説明する。
走行レール１では搬送車の周回を停止し、地上部においては、リフタレール７に搬送車がないことをリフタレールセンサ７１により確認した後、リフタレール７を走行レール１の高さに上昇させる。

一方、走行レール１側では、離脱させる搬送車２をシフタレール４上に移動させて停止する。
そして、搬送車検知センサ９によって、切欠部３の前後に他の搬送車がないかを確認するとともに、搬送車ストッパ１０を作動して、切欠部３への他の搬送車の進入を機械的に阻止する。

そして、位置決め装置１３を外して、シフタレール４を走行レール１の切欠部位置からその側方の横シフト位置に移動させるとともに、補助シフタレール６を走行レール１の切欠部３に装着する。

シフタレール４が横シフト位置に移動することにより、このシフタレール４とリフタレール７とが接続されるが、両者のレールの位置決めを確実にするために位置決め装置１２を投入する。
そして、搬送車２をシフタレール４からリフタレール７に移載した後、位置決め装置１２を解除し、補助シフタレール６を走行レール１から外に移動させるとともに、シフタレール４を元の走行レール１の切欠部位置に装着する。
さらに、搬送車検知センサ９と搬送車ストッパ１０とを解除するとともに、リフタレール７を地上部に降ろし、リフタレール７上の搬送車２をメンテナンス台車１１に移載して、搬送車２の離脱動作が完了する。

かくして、本実施例の天井搬送車の投入離脱装置は、天井に沿って敷設した走行レール１上を走行する無人搬送車２を、該走行レール１に投入又は離脱するようにした天井搬送車の投入離脱装置において、走行レール１に設けた切欠部３と、該切欠部３に分離可能に装着されるシフタレール４と、切欠部３への装着位置と、その側方の横シフト位置との間で、前記シフタレール４を移動させるシフタ装置５と、シフタレール４に並設され、シフタレール４が横シフト位置に移動したときに走行レール１の切欠部３に装着される補助シフタレール６と、前記横シフト位置に移動したシフタレール４と接続され、該シフタレール４との間で搬送車２の移載を行うリフタレール７と、シフタレール４との接続位置と地上部との間で、該リフタレール７を昇降させるリフタ装置８とを備えることから、搬送車２を載置したシフタレール４を横シフト位置に移動させるとともに、搬送車２をリフタレール７に移載し、該リフタレール７を地上部に降ろすことにより、天井に敷設した走行レール１から搬送車２を自動で容易に離脱することができ、また、逆の順序で搬送車２を自動で容易に走行レール１に投入することができ、これにより、走行レール１への搬送車２の投入離脱を短時間で行うことができる。
そして、シフタレール４が横シフト位置に移動した後は、補助シフタレール６が走行レール１の切欠部３に装着されることから、投入離脱作業中も走行レール１は搬送車が走行することができ、これにより、本線停止時間の短縮を行うことができる。

この場合、地上部まで下降したリフタレール７と接続され、該リフタレール７との間で搬送車の移載を行う台車レールを有するメンテナンス台車１１を備えることにより、走行レール１から取り外された搬送車２の搬送等の取り扱いが容易になるとともに、地上部まで下降したリフタレール７を、速やかに最上部位置に戻すことができる。

また、走行レール１の切欠部３の上流側と下流側に、搬送車の進入を検知する搬送車検知センサ９をそれぞれ設けることにより、シフタ装置５が作動中に搬送車が切欠部３付近に進入していないか監視することができる。

また、走行レール１の切欠部３の上流側と下流側に、シフタ装置５の作動前に作動し、走行レール１上に突出する搬送車ストッパ１０をそれぞれ設けることにより、シフタ装置５が作動中に切欠部３付近に進入してきた搬送車を機械的に止めることができる。

また、シフタレール４に、シフタレール４上の搬送車２の有無を検知するシフタレールセンサ４１を設けるとともに、該シフタレールセンサ４１でシフタレール４の一動作毎に搬送車２の有無を確認し、搬送車２の有無が適正でないときに、次の動作に移らないインターロック機構を設けることにより、走行レール１への搬送車２の投入離脱をより一層安全に行うことができる。

また、リフタレール７に、リフタレール７上の搬送車２の有無を検知するリフタレールセンサ７１を設けるとともに、該リフタレールセンサ７１でリフタレール７の一動作毎に搬送車２の有無を確認し、搬送車２の有無が適正でないときに、次の動作に移らないインターロック機構を設けることにより、走行レール１への搬送車２の投入離脱をより一層安全に行うことができる。

以上、本発明の天井搬送車の投入離脱装置について、その実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、実施例に記載した構成を適宜組み合わせるなど、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができる。

本発明の天井搬送車の投入離脱装置は、走行レールへの搬送車の投入離脱を自動で行うことにより、脱着時間を短縮するとともに、安全を確保し、かつ本線停止時間の短縮を行うという特性を有していることから、例えば、クリーンルームの天井搬送車の投入離脱装置の用途に好適に用いることができる。

本発明の天井搬送車の投入離脱装置の一実施例を示し、（ａ）は搬送車投入時の平面図、（ｂ）は同側面図である。同天井搬送車の投入離脱装置を示し、（ａ）は搬送車離脱時の平面図、（ｂ）は同側面図である。同天井搬送車の投入離脱装置を示すリフタレールを省略した斜視図である。同天井搬送車の投入離脱装置のシフタレールと補助シフタレールの移動を示す斜視図である。搬送車ストッパを示す斜視図である。

１走行レール
２搬送車
３切欠部
４シフタレール
４１シフタレールセンサ
５シフタ装置
６補助シフタレール
７リフタレール
７１リフタレールセンサ
８リフタ装置
９搬送車検知センサ
１０搬送車ストッパ
１０ａアーム
１１メンテナンス台車
１２位置決め装置
１３位置決め装置

Claims

天井に沿って敷設した走行レール上を走行する無人搬送車を、該走行レールに投入又は離脱するようにした天井搬送車の投入離脱装置において、走行レールに設けた切欠部と、該切欠部に分離可能に装着されるシフタレールと、切欠部への装着位置と、その側方の横シフト位置との間で、前記シフタレールを移動させるシフタ装置と、シフタレールに並設され、シフタレールが横シフト位置に移動したときに走行レールの切欠部に装着される補助シフタレールと、前記横シフト位置に移動したシフタレールと接続され、該シフタレールとの間で搬送車の移載を行うリフタレールと、シフタレールとの接続位置と地上部との間で、該リフタレールを昇降させるリフタ装置とを備え、前記走行レールの切欠部の上流側と下流側に他の搬送車の進入を検知する無人搬送車の走行方向に対して斜めに交わる方向にセンシングを行うそれぞれ１台の発信部及び受信部を備えた搬送車検知センサと、シフタ装置の作動前に作動し、走行レール上にアームを突出する搬送車ストッパと、シフタレール上の搬送車の前後及び中間を検知する無人搬送車の走行方向に対して直交方向にセンシングを行う３台の発信部及び受信部を備えたシフタレールセンサと、該シフタレールセンサでシフタレールの一動作毎に搬送車を確認し、搬送車の有無が適正でないときに次の動作に移らないインターロック機構と、前記リフタレール上の搬送車の前後及び中間を検知するリフタレールセンサと、該リフタレールセンサでリフタレールの一動作毎に搬送車を確認し、搬送車の有無が適正でないときに次の動作に移らないインターロック機構とを設けたことを特徴とする天井搬送車の投入離脱装置。
地上部まで下降したリフタレールと接続され、該リフタレールとの間で搬送車の移載を行う台車レールを有するメンテナンス台車を備えたことを特徴とする請求項１記載の天井搬送車の投入離脱装置。