TW202026785A - 搬送車系統 - Google Patents

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Abstract

搬送車系統(1)具備有：軌道(4)；複數個搬送車(6)；複數個載置部(8)，其等在與搬送車(6)之間進行物品(10)之交接；及複數個區域控制器(50A、50B、50C)，其等從上位控制器(60)接收搬送指令，使管轄區域內之搬送車(6)執行各種指令。區域控制器(50B)若從上位控制器(60)接收到針對屬於自管轄區域之一個特殊載置部(80C)之搬送指令，便對其他區域控制器(50A)發送使空搬送車(6)朝向自管轄區域移動之移動指令，並且使於移動指令之發送後在自管轄區域內所產生之空搬送車(6)執行搬送指令。

Description

搬送車系統
本發明一態樣係關於搬送車系統。
作為習知之搬送車系統，已知具備有軌道、複數個高架移行車(搬送車)、複數個載置部(緩衝區)、複數個區域控制器(邏輯間隔控制器)、及上位控制器(生產管理控制器)之搬送台車系統，該軌道橫跨複數個區域被設置，該等複數個沿著軌道朝單向移行，該等複數個載置部在與搬送車之間進行物品之交接，該等複數個區域控制器將複數個區域之各者設為管轄區域，並使該管轄區域內之搬送車執行各種指令，而該上位控制器對區域控制器發送搬送指令(例如參照專利文獻1)。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2009-9365號公報
在如上所述之分成複數個區域來控制搬送車之各種動作之系統中，於一個管轄區域與不同於該一個管轄區域之其他管轄區域之間存在有區域交界。存在有於一個管轄區域中，存在不經 過其他管轄區域便無法進入之特殊區間之情形。而且，存在有於產生將屬於如此之特殊區間之載置部設為搬送源之搬送指令之情形時，無法有效率地處理該搬送指令而使搬送車前往抓取被載置於該載置部之物品為止之處理時間會變長的傾向。
因此，本發明一態樣之目的，在於提供即便於產生將屬於特殊區間之載置部設為搬送源之搬送指令之情形時，亦可有效率地處理該搬送指令之搬送車系統。
本發明一態樣之搬送車系統具備有：軌道，其橫跨複數個區域被設置；複數個搬送車，其等沿著軌道朝單向移行；複數個載置部，其等沿著軌道被配置，在與搬送車之間進行物品之交接；及複數個區域控制器，其等從上位控制器接收以搬送被載置於載置部之物品之方式進行指示的搬送指令，將複數個區域之各者設為管轄區域，並使該管轄區域內之搬送車執行各種指令；於一個管轄區域中，在將屬於若不經過與一個管轄區域不同之其他管轄區域便無法進入之區間即特殊區間之載置部設為特殊載置部時，區域控制器若從上位控制器接收到針對屬於作為自身之管轄區域之自管轄區域之一個特殊載置部的搬送指令，便對控制其他管轄區域內之搬送車之其他區域控制器發送使空搬送車朝向自管轄區域移動之移動指令，並且於使移動指令之發送後在自管轄區域內所產生之空搬送車執行搬送指令。
區域控制器存在有即便接收到將屬於自管轄區域之特殊載置部設為搬送源之搬送指令，亦無法立刻使搬送車朝該特殊載置部移動並使其抓貨之情形。因此，上位控制器對管轄其他區域 之其他區域控制器發送搬送指令，該其他區域控制器使其他管轄區域內之空搬送車執行搬送指令。然而，於該情形時，即便在其他管轄區域之搬送車到達上述特殊載置部之前，自管轄區域之特殊區間已產生空搬送車，接收到搬送指令之其他區域控制器亦無法控制作為管轄外之自管轄區域的搬送車。因此，自管轄區域之搬送車即便為空搬送車，亦不得不通過特殊載置部。因此，存在有搬送效率會出現不具效益而耗費處理時間的問題。再者，此處所謂空搬送車，係指未抓持物品而可抓取物品(可進行搬送)之狀態的搬送車。
因此，於該構成之搬送車系統中，在產生將一個區域之特殊載置部設為搬送源之搬送指令之情形時，上位控制器並非對該特殊載置部所不屬於之其他區域之區域控制器發送搬送指令，而是先朝向管轄特殊載置部所屬之區域之區域控制器發送搬送指令。接收到搬送指令之區域控制器對其他區域控制器，發送使空搬送車朝向自管轄區域移動之移動指令。藉此，由於可在管轄特殊載置部所屬之區域之區域控制器留下使自管轄區域內之搬送車執行搬送指令的空間，因此對因先前之移動指令而進入至自管轄區域內之搬送車(其他管轄區域之搬送車)、及在自管轄區域內所產生之空搬送車之任一者，皆可分派搬送指令。其結果，由於可避免前述之搬送效率的浪費，因此即便在產生將屬於特殊區間之載置部設為搬送源之搬送指令之情形時，亦可有效率地處理該搬送指令。
於本發明一態樣之搬送車系統中，亦可為：區域控制器於移動指令之發送後所偵測到之自管轄區域內的空搬送車，係從其他管轄區域進入自管轄區域之空搬送車、或者為藉由將物品載置於屬於自管轄區域之特殊載置部所產生之空搬送車。
於本發明一態樣之搬送車系統中，亦可為：區域控制器若使在自管轄區域內所產生之空搬送車執行搬送指令，便刪除已發送至其他區域控制器之移動指令。該構成由於可在自管轄區域內產生空搬送車之時間點，取消空搬送車朝向該自管轄區域之移動，因此可將對於其他區域之搬送能力之影響抑制在最小限度。
於本發明一態樣之搬送車系統中，亦可為：區域控制器於對其他區域控制器發送移動指令之前，檢索在自管轄區域內是否有空搬送車存在。該構成由於可在對其他區域控制器發送移動指令之前確認其必要性，因此可將對於其他區域之搬送能力之影響抑制在最小限度。
於本發明一態樣之搬送車系統中，亦可為：區域控制器於對其他區域控制器發送移動指令之前，檢索在自管轄區域內且較一個特殊載置部更上游側是否有空搬送車存在。該構成由於可將對其他區域控制器發送移動指令之必要性的確認範圍抑制在最小限度，因此可提高處理速度。
根據本發明一態樣，即便在產生將屬於特殊區間之載置部設為搬送源之搬送指令之情形時，亦可有效率地處理該搬送指令。
1‧‧‧搬送車系統
4‧‧‧軌道
6‧‧‧(作為高架搬送車之)搬送車
8‧‧‧載置部
8A‧‧‧緩衝區
8B‧‧‧交接埠
10‧‧‧物品
12‧‧‧半導體處理裝置
18‧‧‧移行部
20‧‧‧受電通信部
22‧‧‧本體框架
24‧‧‧橫向伸出部
26‧‧‧θ驅動器
28‧‧‧升降驅動部
30‧‧‧升降台
33‧‧‧掉落防止罩
40‧‧‧支柱
41‧‧‧跨區域移行路徑
42、43‧‧‧區域內移行路徑
50A、50B、50C‧‧‧區域控制器
60‧‧‧上位控制器
80A、80B、80C‧‧‧特殊載置部
A1、A2、A3‧‧‧區域
B‧‧‧分支部
C‧‧‧匯流部
D‧‧‧交界部
L1‧‧‧特殊區間
L2、L3、L4‧‧‧區間
圖1係表示一實施形態之搬送車系統之概略俯視圖。
圖2係表示圖1之搬送車系統之搬送車、交接埠、及緩衝區之概略側視圖。
圖3係說明圖1之搬送車系統之區域之特殊區間及非特殊區間之俯視圖。
圖4係一實施形態之搬送車系統之時序圖。
圖5係一實施形態之搬送車系統之時序圖。
圖6係一實施形態之搬送車系統之時序圖。
圖7係一實施形態之搬送車系統之時序圖。
以下，參照圖式詳細地對本發明一態樣較佳之一實施形態進行說明。再者，於圖式之說明中，對相同元件標示相同符號，並省略重複之說明。本實施形態中所謂上游及下游，意指沿著單向通行(單向)之軌道4移動之高架搬送車(搬送車)6之移行方向上的上游及下游。
如圖1及圖2所示，搬送車系統1係使用可沿著軌道移動之高架搬送車6，而用以於載置部8、8間搬送物品10的系統。物品10例如包含有收容複數個半導體晶圓之FOUP(前開式晶圓傳送盒；Front Opening Unified Pod)及收容玻璃基板之光罩盒等之容器、一般零件等。此處，例如列舉於工廠等之內，高架搬送車6(以下，簡稱為「搬送車6」)沿著被鋪設於工廠之天花板等之單向通行之軌道4移行之搬送車系統1為例進行說明。如圖1所示，搬送車系統1具備有軌道4、複數個搬送車6、複數個載置部8、及複數個區域控制器50A、50B、50C。
軌道4橫跨複數個區域A1、A2、A3被設置。軌道4例如被鋪設於作為作業人員之頭頂上方空間之天花板附近。軌道4例如從天花板被垂吊。軌道4係用以供搬送車6移行之預先所設定之移 行路徑。軌道4藉由支柱40、40所支撐。
搬送車6沿著軌道4移行，並搬送物品10。搬送車6係構成為可移載物品10。搬送車6係高架移行式無人搬送車。搬送車系統1所具備之搬送車6之台數並未特別限定而為複數台。
如圖2所示，搬送車6具有使搬送車6沿著軌道4移行之移行部18、及例如藉由非接觸供電而從軌道4側受電之受電通信部20。搬送車6利用軌道4之通信線(饋電線)等，而與區域控制器50A、50B、50C之任一者進行通信。再者，搬送車6亦可經由沿著軌道4被設置之供電線而與區域控制器50A、50B、50C之任一者進行通信。搬送車6具有本體框架22、橫向伸出部24、θ驅動器(θ-drive)26、升降驅動部28、升降台30、及掉落防止罩33。
橫向伸出部24將θ驅動器26、升降驅動部28及升降台30統括地朝與軌道4之移行方向呈直角之方向橫向伸出。θ驅動器26使升降驅動部28及升降台30之至少任一者，在水平面內於既定之角度範圍內轉動。升降驅動部28藉由線、鋼索及皮帶等之吊持材的捲取或捲出而使升降台30升降。於升降台30設置有夾頭，使物品10可自如地被把持或釋放。掉落防止罩33例如於搬送車6之移行方向之前後設置有一對。掉落防止罩33使未圖示之爪等出沒，來防止物品10於搬送中掉落。
於物品10在與搬送車6之間被交接之載置部8包含有緩衝區8A及交接埠8B。緩衝區8A係供物品10暫時地載置之載置部。緩衝區8A例如因作為目的地之交接埠8B載置有其他物品10等之理由，而於無法將搬送車6所搬送之物品10移載至該交接埠8B之情形時，供物品10暫時放置。交接埠8B係用以進行物品10相對於包 含例如洗淨裝置、成膜裝置、微影裝置、蝕刻裝置、熱處理裝置、平坦化裝置之半導體處理裝置12之交接的載置部。再者，處理裝置12並未特別限定而可為各種裝置或貯藏庫等。
載置部8沿著軌道4被配置，而被設置於可在與搬送車6之間進行物品10之交接的位置。例如，緩衝區8A係配置於軌道4之側方(參照圖2)。於該情形時，搬送車6利用橫向伸出部24將升降驅動部28等橫向伸出，並使升降台30略微升降，藉此在與緩衝區8A之間交接物品10。再者，緩衝區8A亦可被配置於軌道4之正下方。例如，交接埠8B係配置於軌道4之正下方(參照圖2)。於該情形時，搬送車6藉由使升降台30升降，而在與交接埠8B之間交接物品10。再者，交接埠8B亦可被配置於軌道4之側方且下方。
區域控制器50A、50B、50C係由CPU(包含中央處理單元；Central Processing Unit)、ROM(唯讀記憶體；Read Only Memory)及RAM(隨機存取記憶體；Random Access Memory)等所構成之電子控制單元。區域控制器50A、50B、50C例如可構成為被收容於ROM之程式被載入至RAM上而由CPU所執行之軟體。區域控制器50A、50B、50C亦可被構成為由電子電路等所組成之硬體。
區域控制器50A、50B、50C之各者，分別被設置於區域A1、A2、A3。區域控制器50A、50B、50C之各者被設置為分別與區域A1、A2、A3對應。具體而言，區域控制器50A、50B、50C之各者將各區域A1、A2、A3設為作為自身負責進行控制之區域的管轄區域。換言之，一個區域控制器將一個區域設為管轄區域，如此之區域控制器其數量係依照區域之數量來設置。亦即，一個區域控制器係以複數個區域之任一者作為管轄區域。
區域控制器50A在與該區域控制器50A之管轄區域A1(以下，亦稱為「自身之管轄區域A1」)內之複數個搬送車6之間進行通信，而控制自身之管轄區域A1內之複數個搬送車6。亦即，區域控制器50A使管轄區域A1內之複數個搬送車6執行各種指令。區域控制器50B與區域控制器50A同樣地，在與自身之管轄區域A2內之複數個搬送車6之間進行通信，而控制自身之管轄區域A2內之複數個搬送車6。區域控制器50C與區域控制器50A同樣地，在與自身之管轄區域A3內之複數個搬送車6之間進行通信，而控制自身之管轄區域A3內之複數個搬送車6。又，區域控制器50A、50B、50C在與上位控制器60之間藉由有線或無線來進行通信。
上位控制器60係由CPU、ROM及RAM等所構成之電子控制單元。上位控制器60例如可構成為將收容於ROM之程式載入至RAM上而由CPU所執行之軟體。上位控制器60亦可被構成為由電子電路等所組成之硬體。上位控制器60在與區域控制器50A、50B、50C之任一者之間藉由有線或無線進行通信，而對區域控制器50A、50B、50C之任一者發送使搬送車6搬送物品10之搬送指令。於本實施形態中，上位控制器60對區域控制器50A、50B、50C之任一者，輸出以使被載置於載置部8之物品10搬送至其他既定之載置部8之方式進行指示(將載置部8設為搬送源)的搬送指令。
圖1表示本實施形態之軌道4的配置。於本實施形態中，軌道4形成有被配置於區域A2、A3之各者之區域內移行路徑42、43、及可在兩個區域內移行路徑42、43間相互地往返而進行聯繫之一個跨區域移行路徑41。區域內移行路徑42、43及跨區域移行路徑41係設定為搬送車6順時針方向巡迴(圖1、圖3所示之箭頭方向) 地朝單向通行。
此處，於預先所設定之搬送車6之移行方向上，在將軌道4進行分支之部位設為分支部B、將軌道4進行匯流之部位設為匯流部C、並將區域間彼此之交界設為交界部D時，將由分支部B、匯流部C、及交界部D之任一者所夾隔之軌道部分定義為「區間」。
於如上所述之區域控制器50A、50B、50C之各者控制複數個區域A1、A2、A3所存在之搬送車6之各種動作之系統中，在一個區域內存在有不經過與一個區域不同之其他區域便無法進入之區間。將如此之區間定義為特殊區間。於如圖1所示之軌道4之配置中，在區域A2內不經過與區域A2不同之其他區域A1便無法進入之區間(搬送車6之移行方向上交界部D至匯流部C之間之區間)、及在區域A3內不經過與區域A3不同之其他區域A1便無法進入之區間(搬送車6之移行方向上從交界部D至匯流部C之間的區間)，相當於特殊區間(參照圖3)。
如圖3所示，於區域A2、A3內，於搬送車6之移行方向上存在有從匯流部C至分支部B之間之區間L2、從分支部B至匯流部C之間之區間L3、及從分支部B至交界部D之間之區間L4。區間L2、L3、L4係構成為可從相同區域內之其他區間進入。例如，於區域A2中，區間L2可從相同區域A2之區間L1及區間L3之雙方進入。又，區間L3及區間L4可從相同區域A2之區間L2進入。於本實施形態中，將區間L2、L3、L4定義為非特殊區間。
於作為區域A2、A3之特殊區間之區間L1(以下稱為特殊區間L1)中，存在有沿著該區間被配置之載置部8。如圖1所示，於本實施形態中存在有三個載置部8、8、8。於本實施形態中，自 預先所設定之搬送車6之移行方向上之上游側起，將屬於如此之特殊區間L1之載置部8，依序稱為特殊載置部80A、80B、80C。
對如此之軌道4之配置中之區域控制器50B、50C之動作進行說明。區域控制器50B(50C)若從上位控制器60接收到要將被載置於作為自身之管轄區域之自管轄區域A2(A3)之一個特殊載置部(例如80C)的物品10搬送至既定之載置部8(將特殊載置部80C設為搬送源)之搬送指令，便對控制與特殊載置部80C所在之特殊區間L1鄰接之區域A1內之搬送車6的其他區域控制器50A，發送使空的搬送車6朝向自管轄區域A2(A3)移動之移動指令。此處，所謂空的搬送車6(以下稱為「空搬送車6」)，係指未抓持(保持)物品10而可抓持物品10之狀態的搬送車。
本實施形態之區域控制器50B(50C)於對其他區域控制器50A發送移動指令之前，對自管轄區域A2(A3)內且較一個特殊載置部80C更上游側是否有空搬送車6存在進行檢索。而且，區域控制器50B(50C)僅在自管轄區域A2(A3)內且較一個特殊載置部80C更上游側不存在空搬送車6之情形時，對區域控制器50A發送上述移動指令。區域控制器50B(50C)在自管轄區域A2(A3)內且較一個特殊載置部80C更上游側有空搬送車6存在之情形時，使該空搬送車6執行搬送指令。
區域控制器50B(50C)若於上述移動指令之發送後偵測到自管轄區域A2(A3)內已產生空搬送車6，便使自管轄區域A2(A3)內之空搬送車6執行搬送指令。再者，此處所記載之發送後，亦包含幾近同時之概念。於如此之狀況下，作為區域控制器50B(50C)於移動指令之發送後偵測的自管轄區域A2(A3)內之空搬 送車6之候補，存在有從其他管轄區域A1進入自管轄區域A2(A3)之空搬送車6、及藉由將物品10載置在屬於自管轄區域A2(A3)之載置部8(結束搬送指令)而產生之空搬送車6。區域控制器50B(50C)若使自管轄區域A2(A3)內所產生之空搬送車6執行搬送指令，便對其他區域控制器50A發送要將已發送至其他區域控制器50A之移動指令刪除的指令。
其次，使用圖4至圖7之時序圖，具體地對搬送車系統1所執行之處理之一例進行例示說明。此處，對將被載置於區域A2之特殊載置部80C之物品10搬送至既定之載置部8(將特殊載置部80C作為搬送源)之搬送指令產生時之處理進行說明。再者，以下對複數個區域控制器50A、50B、50C中之一個區域控制器50B之動作的流程進行說明。
如圖4所示，上位控制器60將區域A2之特殊載置部80C之抓貨指令作為搬送指令，發送至管轄區域A2之區域控制器50B(步驟S1)。區域控制器50B若從上位控制器60接收到抓貨指令，便對上位控制器60發送要通知已收到抓貨指令之信號(步驟S2)。區域控制器50B檢索在自管轄區域A2內是否有可朝向特殊載置部80C移動之空搬送車6存在(步驟S3)。以下，對被判定為在自管轄區域A2內不存在如此之空搬送車6進行說明。
區域控制器50B對管轄與自管轄區域A2不同之區域A1之區域控制器50A，發送朝向區域A2之移動指令(步驟S4)。區域控制器50A若從區域控制器50B接收到移動指令，便對區域控制器50B發送要通知已收到移動指令之信號(步驟S5)。區域控制器50A判定自管轄區域A1是否有空搬送車6存在(步驟S6)。各區域控制器50A 以既定間隔(例如1秒內數次之間隔)與自管轄區域A1內所存在之所有搬送車6進行持續通信，並從各搬送車6接收狀態報告。各區域控制器50A藉由如此之狀況報告而始終掌握所有搬送車6之狀態，因此可判定自管轄區域A1是否有空搬送車6存在。
以下，對區域控制器50A判定為自管轄區域A1內有空搬送車6存在之情形(步驟S7)進行說明。再者，對藉由區域控制器50A而被判定為空搬送車6不存在之情形，將於後詳述之。
區域控制器50A在判定為自管轄區域A1內有空搬送車6存在之情形時，對該空搬送車6發送朝向區域A2移動之移動指令(步驟S8)。搬送車6若從區域控制器50A接收到移動指令，便對區域控制器50A發送要通知已收到移動指令之信號(步驟S9)，並開始朝向區域A2之移動(步驟S11)。區域控制器50A若從搬送車6接收到要通知已收到移動指令之信號，便刪除被收容於區域控制器50A所具有之未圖示之記憶體的移動指令(步驟S10)。
如圖5所示，搬送車6藉由在步驟S8被發送而來之移動指令的執行，而進入區域A2(步驟S12)。被分派有移動指令之搬送車6對區域控制器50A發送朝向區域A2之進入的要求。區域控制器50A與區域控制器50B進行通信，並且向搬送車6發送進入許可。搬送車6朝向區域A2進入，並朝向區域控制器50B發送進入報告(步驟S13)，區域控制器50B確認(得知)搬送車6已進入(步驟S14)。再者，朝向區域A2之進入報告，亦經由區域控制器50B而被發送至區域控制器50A。
區域控制器50B若確認空搬送車6已進入自管轄區域A2，便對已進入區域A2之搬送車6發送被載置於特殊載置部80C之 物品10之抓貨指令(步驟S15)。搬送車6若從區域控制器50B接收到抓貨指令，便對區域控制器50B發送要通知已收到抓貨指令之信號(步驟S16)，並繼續朝向特殊載置部80C移動。到達特殊載置部80C之搬送車6抓取被載置於特殊載置部80C之物品10，並搬送至指定之場所(步驟S20)。再者，於包含抓貨指令之搬送指令中，包含有物品10之搬送目的地的資訊。
區域控制器50B藉由從搬送車6接收要通知已收到抓貨指令之信號，來確認抓貨指令已被分派至搬送車6(步驟S17)。接著，區域控制器50B對上位控制器60發送分派報告(步驟S18)，並且取消已發送至區域控制器50A之移動指令(步驟S19)。再者，於本實施形態中，由於被儲存於區域控制器50A之記憶體之移動指令已於步驟S10之階段被刪除，因此任何處理皆不會藉由步驟S19之移動指令而被執行。藉此，將被載置於區域A2之特殊載置部80C之物品10搬送至既定之載置部8之搬送指令所產生時之一連串的處理便結束。
其次，一邊參照圖6及圖7，一邊對在步驟S6中藉由區域控制器50A而被判定為空搬送車6不存在之情形進行說明。再者，至步驟S6為止之流程由於與上述者相同，因此省略再次說明。如圖6所示，區域控制器50A在判定為自管轄區域A1不存在空搬送車6之情形時(步驟S30)，無法對搬送車6發送移動指令。因此，於區域控制器50A之記憶體收容有移動指令之狀態下，繼續進行自管轄區域A1的監視。
此處，於區域A2之較特殊載置部80C更上游側之特殊載置部80A、80B，若搬送車6完成物品10之卸貨(步驟S31)，便於區 域A2新產生空搬送車6，而成為有空搬送車6存在之情形。藉此，監視區域A2之區域控制器50B，判定為在自管轄區域A2內有可朝向特殊載置部80C移動之空搬送車6存在(步驟S32)。
如圖7所示，區域控制器50B對在區域A2所新產生之空搬送車6，發送朝向特殊載置部80C之抓貨指令(步驟S33)。搬送車6若從區域控制器50B接收到抓貨指令，便對區域控制器50B發送要通知已收到抓貨指令之信號(步驟S34)，並開始朝向特殊載置部80C移動。到達特殊載置部80C之搬送車6抓取被載置於特殊載置部80C之物品10，並搬送至指定之場所(步驟S39)。再者，於包含抓貨指令之搬送指令中，包含有物品10之搬送目的地的資訊。
區域控制器50B若從搬送車6接收到要通知已收到抓貨指令之信號，便確認抓貨指令已被分派至搬送車6(步驟S35)。接著，區域控制器50B對上位控制器60發送分派報告(步驟S36)，並且使區域控制器50A取消移動指令(步驟S37)。亦即，被儲存於區域控制器50A之記憶體之移動指令會被刪除(步驟S38)。藉此，將被載置於區域A2之特殊載置部80C之物品10搬送至既定之載置部8之搬送指令所產生時之一連串的處理便結束。
再者，雖省略詳細之說明，但區域控制器50C亦具有與區域控制器50B相同之動作的流程。
其次，對上述實施形態之搬送車系統1之作用效果進行說明。首先，於將複數個區域A1、A2、A3之各者設為管轄區域A1、A2、A3之區域控制器50A、50B、50C對搬送車6之各種動作進行控制之搬送車系統1中，存在有如下之問題。亦即，如此之搬送車系統1之區域控制器50A(50B)之各者，即便接收到對自管轄區域 A2(A3)之特殊載置部80C之搬送指令，於大部分之情形時，亦無法使搬送車6朝該特殊載置部80C移動並使其抓貨。因此，習知之上位控制器60對管轄其他區域A1之其他區域控制器50A發送搬送指令，該其他區域控制器50A使管轄區域A1內之空搬送車6執行搬送指令。
然而於該情形時，於其他管轄區域A2(A3)之搬送車6到達上述特殊載置部80C之前，即便在區域A2(A3)之特殊區間L1產生空搬送車6，接收到搬送指令之其他區域控制器50A亦無法控制在管轄外之區域A2所產生之搬送車6。因此，自管轄區域A2(A3)內之搬送車6儘管在未抓持物品10之狀態(空車的狀態)下，亦不得不通過特殊載置部80C。因此，存在有搬送效率會出現不具效益而耗費處理時間的問題。
於上述實施形態之搬送車系統1中，上位控制器60在產生將區域A2(A3)之特殊載置部80C設為搬送源之搬送指令之情形時，並非對該特殊載置部80C所不屬於之其他區域控制器50A發送搬送指令，而是先朝向管轄特殊載置部80C所屬之區域A2(A3)之區域控制器50B(50C)發送搬送指令。接收到搬送指令之區域控制器50B(50C)對其他區域控制器50A，發送使空搬送車6朝向區域A2移動之移動指令。藉此，由於可在管轄特殊載置部80C所屬之區域A2(A3)之區域控制器50B(50C)留下使搬送車6執行搬送指令的空間，因此對因先前之移動指令而進入至區域A2內之搬送車6(其他管轄區域A2(A3)之搬送車6)、及在區域A2(A3)內所產生之空搬送車6之任一者，皆可分派搬送指令。其結果，由於可避免前述之搬送效率的浪費，因此即便在產生將屬於特殊區間L1之載置部設為搬送源 之搬送指令之情形時，亦可有效率地處理該搬送指令。
於上述實施形態之搬送車系統1中，區域控制器50B(50C)若使在自管轄區域A2(A3)內所產生之空搬送車6執行搬送指令，便刪除已發送至區域控制器50A之移動指令。藉此，由於可在區域A1內產生空搬送車6之時間點，取消空搬送車6朝向該自管轄區域A2之移動，因此可將對於其他區域A1之搬送能力之影響抑制在最小限度。
於上述實施形態之搬送車系統1中，區域控制器50B(50C)於對區域控制器50A發送移動指令之前，檢索在自管轄區域A2(A3)內是否有空搬送車6存在。因此，可在對其他區域控制器50A發送移動指令之前確認其必要性，而可將對於其他區域A1之搬送能力之影響抑制在最小限度。
於上述實施形態之搬送車系統1中，區域控制器50B(50C)於對其他區域控制器50A發送移動指令之前，檢索在自管轄區域A2(A3)內且較一個特殊載置部80C更上游側是否有空搬送車6存在。藉此，由於可將對其他區域控制器50A發送移動指令之必要性之確認範圍抑制在最小限度，因此可提高處理速度。
以上，雖已對本發明一態樣之一實施形態進行說明，但本發明一態樣並非限定於上述實施形態者，可於不脫離發明主旨之範圍內進行各種變更。
於上述實施形態中，雖已列舉如圖1所示之軌道4之配置所實施之控制為例來進行說明，但並不限定於此。只要是具有特殊區間L1之軌道4的配置，則即便為哪種軌道4之配置，皆可應用本發明之一態樣。
於上述實施形態中，雖已列舉區域控制器50B(50C)若從上位控制器60接收到針對自管轄區域A2(A3)之一個特殊載置部80C之搬送指令，便對一個其他區域控制器50A發送移動指令為例來進行說明，但亦可對複數個其他區域控制器發送移動指令。於該情形時，例如在特殊區間L1之起點側配置有匯流部之配置等很有效。再者，即便為在特殊區間L1之起點側配置有匯流部之配置，亦可對預先所設定之一個其他區域控制器發送移動指令。又，區域控制器50B(50C)不僅對管轄鄰接之區域的區域控制器發送移動指令，亦可對管轄鄰接之區域更隔壁之區域的區域控制器發送移動指令。於該情形時，對於空搬送車之台數較少之情形等很有效。
於上述實施形態中，雖已列舉區域控制器50B(50C)僅在自管轄區域A2(A3)內且較一個特殊載置部80C更上游側不存在空搬送車6之情形時，對區域控制器50A發送上述移動指令為例來進行說明，但並不限定於此。例如，區域控制器50B(50C)亦可不確認自管轄區域A2(A3)內且較一個特殊載置部80C更上游側有空搬送車6存在，便對其他區域控制器50A發送移動指令。即便於該情形時，由於只要在自管轄區域A2(A3)一發現空搬送車6該移動指令便會被刪除，因此可極力地減小對其他區域A1之影響。
於上述實施形態及變化例之搬送車系統1中，作為移行車之一例雖已列舉搬送車6來進行說明，但於移行車之其他例子，包含有在被配設於地面或台座之軌道上移行之無人移行車及堆高式起重機等。
1‧‧‧搬送車系統
4‧‧‧軌道
6‧‧‧(作為高架搬送車之)搬送車
8‧‧‧載置部
41‧‧‧跨區域移行路徑
42、43‧‧‧區域內移行路徑
50A、50B、50C‧‧‧區域控制器
60‧‧‧上位控制器
80A、80B、80C‧‧‧特殊載置部
A1、A2、A3‧‧‧區域
B‧‧‧分支部
C‧‧‧匯流部
D‧‧‧交界部

Claims (5)

  1. 一種搬送車系統，其具備有：
    軌道，其橫跨複數個區域被設置；
    複數個搬送車，其等沿著上述軌道朝單向移行；
    複數個載置部，其等沿著上述軌道被配置，在與上述搬送車之間進行物品之交接；及
    複數個區域控制器，其等從上位控制器接收以搬送被載置於上述載置部之上述物品之方式進行指示的搬送指令，將複數個上述區域之各者設為管轄區域，並使該管轄區域內之上述搬送車執行各種指令；
    於一個管轄區域中，在將屬於若不經過與上述一個管轄區域不同之其他管轄區域便無法進入之區間即特殊區間之上述載置部設為特殊載置部時，
    上述區域控制器若從上述上位控制器接收到針對屬於作為自身之管轄區域之自管轄區域之一個上述特殊載置部的上述搬送指令，便對控制上述其他管轄區域內之上述搬送車之其他區域控制器發送使空搬送車朝向上述自管轄區域移動之移動指令，並且使於上述移動指令之發送後在上述自管轄區域內所產生之空搬送車執行上述搬送指令。
  2. 如請求項1之搬送車系統，其中，上述區域控制器於上述移動指令之發送後所偵測到之上述自管轄區域內的空搬送車，係從上述其他管轄區域進入上述自管轄區域之空搬送車、或者為藉由將上述物品載置於屬於上述自管轄區域之上述特殊載置部所產生之空搬送車。
  3. 如請求項1或2之搬送車系統，其中，上述區域控制器若使在上述自管轄區域內所產生之空搬送車執行上述搬送指令，便刪除已發送至上述其他區域控制器之上述移動指令。
  4. 如請求項1或2之搬送車系統，其中，上述區域控制器於對上述其他區域控制器發送上述移動指令之前，檢索在上述自管轄區域內是否有空搬送車存在。
  5. 如請求項4之搬送車系統，其中，上述區域控制器於對上述其他區域控制器發送上述移動指令之前，檢索在上述自管轄區域內且較一個上述特殊載置部更上游側是否有空搬送車存在。
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11720095B2 (en) * 2020-06-23 2023-08-08 Ford Global Technologies, Llc Remote controlled flexible modular platform system
US11803181B2 (en) * 2020-06-23 2023-10-31 Ford Global Technologies, Llc Flexible modular platform plant navigation system
JP7283456B2 (ja) * 2020-09-09 2023-05-30 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP7380607B2 (ja) * 2021-01-21 2023-11-15 株式会社ダイフク 物品搬送設備

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5797330A (en) * 1996-07-31 1998-08-25 Li; Zhengzhong Mass transit system
JP2003044138A (ja) * 2001-07-30 2003-02-14 Murata Mach Ltd 無人搬送車システム
JP2004227059A (ja) * 2003-01-20 2004-08-12 Murata Mach Ltd 無人搬送車システム
JP2006221309A (ja) * 2005-02-09 2006-08-24 Murata Mach Ltd 搬送台車システム
JP4135721B2 (ja) * 2005-03-17 2008-08-20 村田機械株式会社 搬送車システム
JP4172466B2 (ja) * 2005-05-09 2008-10-29 村田機械株式会社 搬送台車システム
JP4462199B2 (ja) * 2006-01-30 2010-05-12 村田機械株式会社 搬送車システム
JP4366663B2 (ja) 2007-06-28 2009-11-18 村田機械株式会社 搬送台車システム
JP5105246B2 (ja) 2008-07-28 2012-12-26 シンフォニアテクノロジー株式会社 搬送システム及び搬送システム用プログラム
US7698029B2 (en) * 2008-08-19 2010-04-13 The Boeing Company Autonomous asset transportation method, apparatus and computer program product
WO2010073475A1 (ja) * 2008-12-26 2010-07-01 村田機械株式会社 搬送車システムおよび搬送車制御方法
JP5418036B2 (ja) * 2009-07-21 2014-02-19 村田機械株式会社 搬送車システムと搬送車システムの管理方法
JP5146855B2 (ja) * 2010-08-09 2013-02-20 村田機械株式会社 天井走行車システム
DE102010060504A1 (de) * 2010-11-11 2012-05-16 Gottwald Port Technology Gmbh System für den Umschlag von Containern
JP5754604B2 (ja) * 2011-07-07 2015-07-29 村田機械株式会社 搬送車システムと搬送車の制御方法
EP2860136B1 (en) * 2012-06-08 2020-08-05 Murata Machinery, Ltd. Conveyance system and temporary storage method of articles in conveyance system
US9902289B2 (en) * 2013-02-15 2018-02-27 Murata Machinery, Ltd. Transport facility and automated warehouse
CN104859683B (zh) * 2015-05-26 2016-08-31 北京交通大学 一种高速铁路列控系统的地面设备
JP6642577B2 (ja) * 2015-08-14 2020-02-05 村田機械株式会社 搬送システム
WO2017090334A1 (ja) * 2015-11-27 2017-06-01 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
JP6698399B2 (ja) * 2016-03-29 2020-05-27 北陽電機株式会社 搬送制御装置及び搬送台車の合流点通過方法
JP6520797B2 (ja) * 2016-04-11 2019-05-29 株式会社ダイフク 物品搬送設備
US10216188B2 (en) * 2016-07-25 2019-02-26 Amazon Technologies, Inc. Autonomous ground vehicles based at delivery locations
JP6717121B2 (ja) * 2016-08-29 2020-07-01 株式会社ダイフク 物品搬送設備
CN106627676B (zh) * 2016-12-09 2018-05-08 交控科技股份有限公司 一种区域控制器的资源控制权的动态分配方法
JP2020024476A (ja) * 2016-12-14 2020-02-13 村田機械株式会社 走行車システム
NO346519B1 (en) * 2017-11-02 2022-09-19 Autostore Tech As An automated storage and retrieval system, use of a multi trolley vehicle on the system and a method of operating the system

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