JP2020024476A - 走行車システム - Google Patents
走行車システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020024476A JP2020024476A JP2016242361A JP2016242361A JP2020024476A JP 2020024476 A JP2020024476 A JP 2020024476A JP 2016242361 A JP2016242361 A JP 2016242361A JP 2016242361 A JP2016242361 A JP 2016242361A JP 2020024476 A JP2020024476 A JP 2020024476A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- traveling vehicle
- traveling
- section
- controller
- vehicle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims abstract description 61
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 27
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 20
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 12
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 11
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 8
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000013475 authorization Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D1/00—Control of position, course or altitude of land, water, air, or space vehicles, e.g. automatic pilot
- G05D1/02—Control of position or course in two dimensions
Abstract
【課題】走行車が後進走行しようとするタイミングにおける当該走行車の現在位置に応じて、後続する他の走行車の進入を禁止する適切な区間を設定し、走行車同士の干渉を防止しつつ走行車の後進走行を実現する。【解決手段】走行車システム1は、複数の走行車20とコントローラ50とを備える。第1走行車20Aは、所定区間S内において後方の目的地点Tに後進走行しようとするときに、後進走行許可要求をコントローラ50に送信する。この場合、コントローラ50は、第1走行車20Aの現在位置Pから目的地点Tまでの区間を含む干渉防止区間Rを設定し、所定区間S内における後方の直近に位置する他の走行車20が、干渉防止区間Rよりも後方に停止中又は停止予定である場合に、第1走行車20Aに後進走行許可を送信し、干渉防止区間R内に停止中又は停止予定である場合に、第1走行車20Aに後進走行許可を送信しない。【選択図】図4
Description
本発明は、走行車システムに関する。
特許文献1に記載の走行車システムは、軌道に沿って走行する複数の走行車と、複数の走行車のそれぞれと通信し、複数の走行車のそれぞれの動作を制御するコントローラと、を備えている。この走行車システムでは、走行車同士の干渉を防止しつつ走行車の後進走行を実現するために、軌道に複数のゾーンが設定され、複数のゾーンのそれぞれに一台の走行車のみが存在するように走行車の動作が制御される。
上述したような走行車システムでは、走行車が後進走行しようとする距離が短い場合であっても、軌道に設定されたゾーンの全域について他の走行車の進入が禁止されるため、他の走行車の円滑な走行が阻害されるおそれがある。このような状況を避けるためにゾーンをより短く且つより多く設定しようとすると、ゾーンの設定に手間が掛かる。
そこで、本発明は、走行車が後進走行しようとするタイミングにおける当該走行車の現在位置に応じて、後続する他の走行車の進入を禁止する適切な区間を設定し、走行車同士の干渉を防止しつつ走行車の後進走行を実現することができる走行車システムを提供することを目的とする。
本発明の走行車システムは、軌道に沿って走行する複数の走行車と、複数の走行車のそれぞれと通信し、複数の走行車のそれぞれの動作を制御するコントローラと、を備え、走行車は、軌道の所定区間内に位置する場合において、所定区間内における当該走行車の後方の目的地点に後進走行しようとするときに、後進走行許可要求をコントローラに送信し、コントローラは、後進走行許可要求を走行車から受信した場合に、当該走行車の現在位置から目的地点までの区間を含む干渉防止区間を設定し、所定区間内における当該走行車の後方の直近に位置する他の走行車が、干渉防止区間よりも後方に停止中又は停止予定である場合に、後進走行許可要求を送信した走行車に目的地点への後進走行許可を送信し、他の走行車が、干渉防止区間内に停止中又は停止予定である場合に、後進走行許可要求を送信した走行車に目的地点への後進走行許可を送信しない。
この走行車システムでは、走行車が後進走行しようとする度に、走行車の現在位置から走行車の後方の目的地点までの区間を含む干渉防止区間が設定される。そして、当該走行車の後方の直近に位置する他の走行車が干渉防止区間よりも後方に停止中又は停止予定である場合に、走行車の後進走行が許可される。一方、当該走行車の後方の直近に位置する他の走行車が干渉防止区間内に停止中又は停止予定である場合に、走行車の後進走行を許可しない。このため、予めゾーンの設定を行うことなく、他の走行車の進入を禁止すべき区間のみを干渉防止区間に設定し、その干渉防止区間内において走行車の後進走行を実現することができる。よって、走行車が後進走行しようとするタイミングにおける当該走行車の現在位置に応じて、後続する他の走行車の進入を禁止する適切な区間を設定し、走行車同士の干渉を防止しつつ走行車の後進走行を実現することが可能となる。
本発明の走行車システムでは、干渉防止区間は、後進走行許可要求を送信した走行車の現在位置から、当該走行車が目的地点に位置する状態における当該走行車の後端までの区間であってもよい。この場合、他の走行車の進入を禁止すべき最短の区間を干渉防止区間に設定することができるので、他の走行車の円滑な走行を実現することができる。
本発明の走行車システムでは、軌道は、分岐又は合流する分岐合流部を複数有し、所定区間は、軌道上において互いに隣り合う分岐合流部の間の区間であってもよい。この場合、走行車の後進走行を実現するために停止させる他の走行車の数の増加を抑制することができる。
本発明によれば、走行車が後進走行しようとするタイミングにおける当該走行車の現在位置に応じて、後続する他の走行車の進入を禁止する適切な区間を設定し、走行車同士の干渉を防止しつつ走行車の後進走行を実現することが可能となる。
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
[走行車システムの構成]
[走行車システムの構成]
図1に示されるように、走行車システム1は、軌道10と、複数の走行車20と、コントローラ50と、を備えている。軌道10は、複数の処理装置を備える半導体製造工場の天井付近に敷設されている。走行車20は、OHT(Overhead Hoist Transfer)であり、軌道10に吊り下げられた状態で軌道10に沿って走行する。軌道10においては、走行車20の前進方向が定められている。走行車20は、通常時には、軌道10に沿った一方向(前進方向)に走行する(前進走行)。また、走行車20は、例えば本実施形態において説明する後進走行制御が実施される場合には、軌道10に沿った一方向とは反対方向に走行する(後進走行)。走行車20は、各処理装置に併設されたロードポートに対して、複数の半導体ウェハが収容されたFOUP(Front Opening Unified Pod)90を被搬送物として搬送する。コントローラ50は、各走行車20と通信し、各走行車20の動作を制御する。
以下の説明では、軌道10に沿って走行車20が前進走行する場合の進行方向を基準として、「下流」及び「上流」、「前」及び「後」、並びに、「合流」及び「分岐」という用語を用いる。
軌道10は、複数の区間を有している。軌道10は、一つの区間が複数の区間に分岐する分岐点(分岐合流部)、及び、複数の区間が一つの区間に合流する合流点(分岐合流部)を有している。本実施形態では、軌道10は、区間10a,10b,10c,10d,10eによって構成された部分を含んでいる。区間10a及び区間10bは、合流点11aにおいて区間10cに合流している。区間10c及び区間10dは、合流点11bにおいて区間10eに合流している。
以下の説明において、「所定区間」とは、軌道10上において、互いに隣り合う合流点の間の区間、互いに隣り合う分岐点の間の区間、又は、互いに隣り合う合流点と分岐点との間の区間である。例えば、図1の所定区間Sは、互いに隣り合う合流点11a,11bの間の区間10cである。なお、図中に示される軌道10の構成は一例であって、これに限定されない。
区間10cには、2つの処理装置100、及び、各処理装置100に併設されたロードポート101が配置されている。走行車20によってロードポート101にFOUP90が供給されると、当該FOUP90に収容された半導体ウェハが処理装置100に取り込まれる。そして、当該半導体ウェハは、処理装置100において所定の処理を施された後に、再びFOUP90に収容される。これにより、FOUP90は、走行車20によって搬送可能な状態となる。
より具体的に、2つの処理装置100は、処理装置100A、及び、処理装置100Aよりも下流側に配置された処理装置100Bである。処理装置100Aに併設されたロードポート101は、ロードポート101Aである。処理装置100Bに併設されたロードポート101は、ロードポート101Bである。
走行車20は、FOUP90をロードポート101に対して移載する移載機構を有している。移載機構は、例えば、FOUP90を把持する把持部、及び、把持部を昇降させる昇降機構によって構成されている。これにより、ロードポート101に対してFOUP90を移載可能な位置に停止した走行車20は、移載機構を動作させることで、ロードポート101に対してFOUP90を移載することができる。なお、ロードポート101に対するFOUP90の移載とは、走行車20が保持(積載)しているFOUP90をロードポート101に供給(荷おろし)する場合と、ロードポート101に載置されているFOUP90を走行車20が取得(荷つかみ)する場合と、を含む。
コントローラ50は、搬送コントローラ50Aと、走行車コントローラ50Bと、を有している。搬送コントローラ50Aは、走行車コントローラ50Bに対する上位コントローラである。搬送コントローラ50Aは、製造コントローラ(不図示)及び走行車コントローラ50Bと通信する。製造コントローラは、処理装置100と通信し、処理装置100に併設されたロードポート101に対してFOUP90を搬送する搬送要求を搬送コントローラ50Aに送信する。搬送要求が存在することを搬送コントローラ50Aが把握すると、走行車コントローラ50Bは、軌道10において予め設定された管轄エリア内に位置するいずれかの走行車20に対して、当該搬送要求に対応する搬送指令を割り付ける。図1の走行車コントローラ50Bの管轄エリアには、区間10a,10b,10c,10d,10eが含まれる。
搬送コントローラ50A、走行車コントローラ50B及び製造コントローラのそれぞれは、例えば、プロセッサ、メモリ、ストレージ、及び通信デバイス等を含むコンピュータ装置として構成される。各コントローラにおいて、プロセッサが、メモリ等に読み込まれた所定のソフトウェア(プログラム)を実行し、メモリ及びストレージにおけるデータの読み出し及び書き込み、並びに通信デバイスによるコントローラ間での通信を制御することによって、各コントローラの機能が実現される。
このように構成された走行車システム1において、合流点及び分岐点では以下のブロッキング制御が実施される。すなわち、ブロッキング制御では、合流点及び分岐点に、走行車20の進入を禁止するブロッキングエリアが予め設定されている。走行車20は、軌道10に沿って走行してブロッキングエリアが設定された合流点又は分岐点まで所定距離の地点に到達すると、ブロッキングエリアの通過許可要求を走行車コントローラ50Bに送信する。
走行車コントローラ50Bは、通過許可要求を走行車20から受信した場合において、他の走行車20に対して当該ブロッキングエリアの通過を許可していないときには、通過許可要求を送信した走行車20に当該ブロッキングエリアの通過を許可すると判断し、当該走行車20に当該ブロッキングエリアの通過許可を送信する。当該走行車20は、当該ブロッキングエリアの通過許可を走行車コントローラ50Bから受信すると、当該ブロッキングエリアを通過する。
一方、走行車コントローラ50Bは、通過許可要求を走行車20から受信した場合において、他の走行車20に対して既に当該ブロッキングエリアの通過を許可しているときには、通過許可要求を送信した走行車20に当該ブロッキングエリアの通過を許可しないと判断し、当該走行車20に当該ブロッキングエリアの通過許可を送信しない。当該走行車20は、当該ブロッキングエリアの通過許可を走行車コントローラ50Bから受信しない場合には、当該ブロッキングエリアの上流側に停止して、当該ブロッキングエリアの通過許可を走行車コントローラ50Bから受信するまで待機する。その後、走行車コントローラ50Bは、当該ブロッキングエリアの通過を許可した他の走行車20が当該ブロッキングエリアの通過を完了したとき、通過許可要求を送信した走行車20に当該ブロッキングエリアの通過許可を送信する。当該走行車20は、当該ブロッキングエリアの通過許可を走行車コントローラ50Bから受信すると、再び軌道10に沿って走行を開始して、当該ブロッキングエリアを通過する。
[走行車システムにおける後進走行制御]
[走行車システムにおける後進走行制御]
走行車システム1では、以下に説明する後進走行制御が実施される。一例として、次のような状況において実施される後進走行制御について説明する。すなわち、図1に示されるように、軌道10上の走行車20として、第1走行車20A、第2走行車20B、第3走行車20C及び第4走行車20Dが存在する。第1走行車20Aは、軌道10の所定区間S(区間10c)内に位置している。具体的には、第1走行車20Aは、FOUP90を保持している状態で、処理装置100Bに併設されたロードポート101Bに対してFOUP90を移載可能な位置に停止している。この位置が、第1走行車20Aの現在位置Pである。第2走行車20B及び第3走行車20Cは、所定区間S内の合流点11aよりも下流側、且つ、処理装置100Aよりも上流側を前進走行している。第2走行車20Bは、第3走行車20Cの前方に位置する。第2走行車20Bと第1走行車20Aとの間には、他の走行車20は存在しない。換言すると、第2走行車20Bは、所定区間S内における第1走行車20Aの後方の直近に位置している。第4走行車20Dは、所定区間Sである区間10cの上流側に接続している区間10a上を前進走行している。このとき、第1走行車20Aが、処理装置100Bに併設されたロードポート101BにFOUP90を供給し、空き台車となる。そして、処理装置100Aに併設されたロードポート101Aに載置されたFOUP90が搬送可能な状態となると、走行車コントローラ50Bが第1走行車20Aに対して当該FOUP90の搬送指令を割り付ける。
このような状況において、図1及び図2に示されるように、第1走行車20Aは、所定区間S内における第1走行車20Aの後方の目的地点T(ここでは、第1走行車20Aがロードポート101Aに対してFOUP90を移載可能な位置)に後進走行するために、後進走行許可要求を走行車コントローラ50Bに送信する(ステップS10)。
続いて、図2及び図3に示されるように、走行車コントローラ50Bは、後進走行許可要求を第1走行車20Aから受信すると、第1走行車20Aの現在位置Pから目的地点Tまでの区間を含む干渉防止区間Rを設定する(ステップS11)。具体的には、干渉防止区間Rは、第1走行車20Aの現在位置Pから、当該第1走行車20Aが目的地点Tに位置する状態における当該第1走行車20Aの後端21までの区間を含んでいる。
続いて、走行車コントローラ50Bは、管轄エリア内の全ての走行車20(第1走行車20A、第2走行車20B、第3走行車20C及び第4走行車20D)に対して、ブロードキャスト通信によって一斉に、干渉防止区間Rを通知し且つ干渉防止区間Rよりも後方に停止する停止要求を送信する(ステップS12)。なお、図2では、第1走行車20Aに対するブロードキャスト通信に関する矢印は省略されている。
続いて、第2走行車20B、第3走行車20C及び第4走行車20Dは、停止要求を走行車コントローラ50Bから受信すると、停止が必要であるか否かを判断する。具体的には、各走行車20は、停止が必要であるか否かの判断において、所定区間S内に位置している場合には停止が必要であると判断(停止判断)し、所定区間S内に位置していない場合には停止が必要でないと判断(停止不要判断)する。各走行車20は、停止が必要であると判断(停止判断)した場合には、状況に応じた適切なタイミングで停止の動作(減速)を開始する。
本実施形態では、第2走行車20Bは、所定区間S内に位置しているため、停止が必要であると判断(停止判断)して停止の動作を開始する(ステップS13)。同様に、第3走行車20Cは、所定区間S内に位置しているため、停止が必要であると判断(停止判断)して停止の動作を開始する(ステップS14)。一方、第4走行車20Dは、所定区間S内に位置していないため、停止が必要でないと判断(停止不要判断)して前進走行を継続する(ステップS15)。
なお、図中には示されていないが、仮に、更に他の走行車20が、軌道10を周回して来ない限り前進走行を継続しても所定区間Sに進入できない区間(例えば、区間10cの下流側の区間10d、又は、区間10cの下流側の合流点11bで区間10cと合流する区間10e)を前進走行している場合にも、当該走行車20は、所定区間S内に位置していないため停止不要判断をする。
続いて、走行車コントローラ50Bは、管轄エリア内の全ての走行車20(第1走行車20A、第2走行車20B、第3走行車20C及び第4走行車20D)に対して、ポーリング通信によって順次、現在の走行状態等に関する報告(状態報告)を求める状態要求を送信する。なお、図2では、第1走行車20Aに対するポーリング通信に関する矢印は省略されている。
走行車コントローラ50Bから状態要求を受信した各走行車20は、走行車コントローラ50Bに状態報告を送信する。各走行車20の状態報告には、当該走行車20が停止判断をした場合に、当該走行車20が所定区間S内において干渉防止区間Rよりも後方に停止可能であるか否かの情報が含まれる。具体的には、状態報告には、当該走行車20が所定区間S内において干渉防止区間Rよりも後方に停止することができる見込みであるときには、停止予定(停止可能)であるとの情報が含まれ、当該走行車20が所定区間S内において干渉防止区間Rよりも後方に既に停止しているときには、停止中(停止可能)であるとの情報が含まれる。一方、状態報告には、当該走行車20が停止不要判断をした場合に、停止不要であるとの情報が含まれる。
本実施形態では、第2走行車20Bは、干渉防止区間Rから十分離間した地点に位置しており干渉防止区間Rよりも後方に停止可能である。このため、第2走行車20Bは、走行車コントローラ50Bから状態要求を受信すると(ステップS16)、所定区間S内において干渉防止区間Rよりも後方に停止予定であるとの情報が含まれた状態報告を走行車コントローラ50Bに送信する(ステップS17)。同様に、第3走行車20Cは、干渉防止区間Rから十分離間した地点に位置しており干渉防止区間Rよりも後方に停止可能である。このため、第3走行車20Cは、走行車コントローラ50Bから状態要求を受信すると(ステップS18)、所定区間S内において干渉防止区間Rよりも後方に停止予定であるとの情報が含まれた状態報告を走行車コントローラ50Bに送信する(ステップS19)。一方、第4走行車20Dは、所定区間S内に位置しておらず停止が必要でない。このため、第4走行車20Dは、走行車コントローラ50Bから状態要求を受信すると(ステップS20)、停止不要であるとの情報が含まれた状態報告を走行車コントローラ50Bに送信する(ステップS21)。
続いて、走行車コントローラ50Bは、第2走行車20B、第3走行車20C及び第4走行車20Dのそれぞれから受信した状態報告に基づいて、第1走行車20Aに対して目的地点Tへの後進走行を許可するか否かを判断する。具体的には、走行車コントローラ50Bは、状態要求を送信した走行車20のうち第1走行車20Aを除く全ての走行車20から状態報告を受信し、且つ、それらの状態報告の全てに停止可能(停止中、停止予定)であるとの情報又は停止不要であるとの情報のいずれかが含まれる場合に、第1走行車20Aに対して後進走行を許可すると判断する(ステップS22)。この場合、走行車コントローラ50Bは、第1走行車20Aに目的地点Tへの後進走行許可を送信する(ステップS23)。
ここで、走行車コントローラ50Bは、ブロッキング制御において以下の制御を実施する。すなわち、走行車コントローラ50Bは、第1走行車20Aに目的地点Tへの後進走行許可を送信した場合、第1走行車20Aが目的地点Tへの後進走行を完了するまでの間、他の走行車20に対して、目的地点Tの上流側の直近の合流点又は分岐点である合流点11aに設定されているブロッキングエリアの通過を許可しない。これにより、合流点11aよりも上流側に位置する他の走行車20(例えば、第4走行車20D)は、合流点11aに設定されているブロッキングエリアの通過許可を走行車コントローラ50Bから受信することができない。このため、干渉防止区間Rを含む所定区間S内に存在する走行車20(第2走行車20B及び第3走行車20C)のみが、干渉防止区間Rよりも後方に停止中又は停止可能であることが確認されれば、第1走行車20Aに対して後進走行を許可しても第1走行車20Aと他の走行車20とが干渉するのを抑制することが可能である。
なお、ステップS22において、走行車コントローラ50Bは、状態要求を送信した走行車20のうち第1走行車20Aを除く少なくとも一台の走行車20から状態報告を受信しない場合、又は、受信した状態報告のうち少なくとも一つの状態報告に停止可能(停止中、停止予定)であるとの情報及び停止不要であるとの情報のいずれも含まれない場合に、第1走行車20Aに対して後進走行を許可しないと判断する。この場合、走行車コントローラ50Bは、第1走行車20Aに目的地点Tへの後進走行許可を送信しない。
また、ステップS22において、走行車コントローラ50Bは、所定区間S内の走行車20のうち第1走行車20Aを除くいずれかの走行車20が干渉防止区間R内に停止中又は停止予定である場合に、第1走行車20Aに対して目的地点Tへの後進走行を許可しないと判断し、第1走行車20Aに目的地点Tへの後進走行許可を送信しない。
続いて、第1走行車20Aは、後進走行許可を走行車コントローラ50Bから受信すると、図2及び図4に示されるように、目的地点Tに後進走行する(ステップS24)。一方、第1走行車20Aは、後進走行許可を走行車コントローラ50Bから受信しなかった場合には、目的地点Tに後進走行せず、例えば前進走行する。以上により、走行車システム1における後進走行制御が完了する。
ところで、上述したように、走行車コントローラ50Bは、ブロッキング制御において、第1走行車20Aに目的地点Tへの後進走行許可を送信した場合、第1走行車20Aが目的地点Tへの後進走行を完了するまでの間、他の走行車20に対して、目的地点Tの上流側の直近の合流点又は分岐点である合流点11aに設定されているブロッキングエリアの通過を許可しない。しかし、走行車コントローラ50Bが、他の走行車20に合流点11aに設定されているブロッキングエリアの通過許可を送信した後に、第1走行車20Aに目的地点Tへの後進走行許可を送信した場合、第1走行車20Aが後進走行を許可された状態において、他の走行車20が合流点11aを通過して所定区間S内に進入することとなる。このような状況においても走行車20同士の干渉をより確実に防止するために、走行車システム1における後進走行制御では、ステップS24に引き続き、以下の制御が実施されてもよい。
まず、ステップS24において第1走行車20Aが後進走行している間の第2走行車20B、第3走行車20C及び第4走行車20Dのそれぞれの動作を説明する。ステップS13,S14において停止判断をした第2走行車20B及び第3走行車20Cは、ステップS24の間、所定区間S内において干渉防止区間Rよりも後方に停止すべく減速しながら走行している。一方、ステップS15において停止不要判断をして、且つ、合流点11aに設定されているブロッキングエリアの通過許可を受信した第4走行車20Dは、ステップS24の間、減速せずに前進走行を継続している。その結果、第4走行車20Dは、合流点11aを通過して所定区間S内に進入する。
ステップS24の間に上記動作が行われた後、走行車コントローラ50Bは、ステップS12と同様に、管轄エリア内の全ての走行車20(第1走行車20A、第2走行車20B、第3走行車20C及び第4走行車20D)に対して、ブロードキャスト通信によって一斉に、干渉防止区間Rを通知し且つ干渉防止区間Rよりも後方に停止する停止要求を送信する(ステップS25)。ここで各走行車20に対して通知される干渉防止区間Rは、ステップS12において通知された干渉防止区間Rと同一の区間であり、例えば新たに走行車コントローラ50Bの管轄エリア内に進入した走行車20が存在する場合のために各走行車20に再度通知される。なお、図2では、第1走行車20Aに対するブロードキャスト通信に関する矢印は省略されている。
続いて、第4走行車20Dは、停止要求を走行車コントローラ50Bから受信すると、停止が必要であるか否かを再度判断する。第4走行車20Dは、前進走行を継続した結果所定区間S内に進入しているため、停止が必要であると判断(停止判断)して停止の動作を開始する(ステップS26)。
続いて、図2及び図5に示されるように、第2走行車20B及び第3走行車20Cが、所定区間S内において干渉防止区間Rよりも後方に停止する(ステップS27,S28)。その後、第4走行車20Dが、所定区間S内において干渉防止区間Rよりも後方に停止する(ステップS29)。
続いて、走行車コントローラ50Bは、管轄エリア内の全ての走行車20(第1走行車20A、第2走行車20B、第3走行車20C及び第4走行車20D)に対して、ポーリング通信によって順次、状態報告を求める状態要求を送信する。なお、図2では、第1走行車20Aに対するポーリング通信に関する矢印は省略されている。
本実施形態では、第2走行車20Bは、所定区間S内において干渉防止区間Rよりも後方に既に停止している。このため、第2走行車20Bは、走行車コントローラ50Bから状態要求を受信すると(ステップS30)、停止中であるとの情報が含まれた状態報告を走行車コントローラ50Bに送信する(ステップS31)。走行車コントローラ50Bは、この状態報告を第2走行車20Bから受信することで、第2走行車20Bの停止を確認する(ステップS32)。同様に、第3走行車20Cは、所定区間S内において干渉防止区間Rよりも後方に既に停止している。このため、第3走行車20Cは、走行車コントローラ50Bから状態要求を受信すると(ステップS33)、停止中であるとの情報が含まれた状態報告を走行車コントローラ50Bに送信する(ステップS34)。走行車コントローラ50Bは、この状態報告を第3走行車20Cから受信することで、第3走行車20Cの停止を確認する(ステップS35)。同様に、第4走行車20Dは、所定区間S内において干渉防止区間Rよりも後方に既に停止している。このため、第4走行車20Dは、走行車コントローラ50Bから状態要求を受信すると(ステップS36)、停止中であるとの情報が含まれた状態報告を走行車コントローラ50Bに送信する(ステップS37)。走行車コントローラ50Bは、この状態報告を第4走行車20Dから受信することで、第4走行車20Dの停止を確認する(ステップS38)。
その後、第1走行車20Aは、干渉防止区間Rの設定を解除する干渉防止区間解除要求を走行車コントローラ50Bに送信する。走行車コントローラ50Bは、干渉防止区間解除要求を第1走行車20Aから受信すると、干渉防止区間Rの設定を解除し、管轄エリア内の全ての走行車20に対して、ブロードキャスト通信によって一斉に、干渉防止区間Rの設定が解除されたことを通知する。
各走行車20は、干渉防止区間Rの設定が解除されたことが走行車コントローラ50Bから通知されると、各走行車20の状況に応じた適切なタイミングで、各走行車20の状況に応じた動作を行う。例えば、第1走行車20Aは、ロードポート101Aに載置されているFOUP90の搬送を開始してもよく、第2走行車20B、第3走行車20C及び第4走行車20Dは、停止要求に応じて停止している前進走行を再開してもよい。
以上により、走行車システム1における後進走行制御で上記制御が実施された場合、走行車20は、所定区間S内に位置していないため停止不要判断をして前進走行を継続したときであっても、所定区間S内に進入した後に停止判断をして停止することができる。このため、走行車20同士の干渉をより確実に防止することが可能となる。
[作用及び効果]
[作用及び効果]
以上説明したように、走行車システム1では、第1走行車20Aが後進走行しようとする際に、第1走行車20Aの現在位置Pから第1走行車20Aの後方の目的地点T(すなわち、ロードポート101Aに対してFOUP90を移載可能な位置)までの区間を含む干渉防止区間Rが設定される。そして、走行車コントローラ50Bは、所定区間S内の走行車20のうち第1走行車20Aを除く全ての走行車20が干渉防止区間Rよりも後方に停止中又は停止予定である場合に、第1走行車20Aに目的地点Tへの後進走行許可を送信する。一方、走行車コントローラ50Bは、所定区間S内の走行車20のうち第1走行車20Aを除くいずれかの走行車20が干渉防止区間R内に停止中又は停止予定である場合に、第1走行車20Aに目的地点Tへの後進走行許可を送信しない。このため、予めゾーンの設定を行うことなく、他の走行車20の進入を禁止すべき区間のみを干渉防止区間Rに設定し、その干渉防止区間R内において第1走行車20Aの後進走行を実現することができる。よって、第1走行車20Aが後進走行しようとするタイミングにおける第1走行車20Aの現在位置Pに応じて、後続する他の走行車20の進入を禁止する干渉防止区間Rを設定し、走行車20同士の干渉を防止しつつ第1走行車20Aの後進走行を実現することが可能となる。
走行車システム1では、干渉防止区間Rは、後進走行許可要求を送信した第1走行車20Aの現在位置Pから、第1走行車20Aが目的地点Tに位置する状態における第1走行車20Aの後端21までの区間である。このため、他の走行車20の進入を禁止すべき最短の区間を干渉防止区間Rに設定することができるので、他の走行車20の円滑な走行を実現することができる。
走行車システム1では、軌道10は、合流点11a,11bを含む合流点及び分岐点を複数有し、所定区間Sは、軌道10上において互いに隣り合う合流点11a,11bの間の区間である。このため、第1走行車20Aの後進走行を実現するために停止させる他の走行車20の数の増加を抑制することができる。
[変形例]
[変形例]
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。
例えば、上記実施形態では、ステップS22,S23において、走行車コントローラ50Bは、状態要求を送信した走行車20のうち第1走行車20Aを除く全ての走行車20から状態報告を受信し、且つ、それらの状態報告の全てに停止可能(停止中、停止予定)であるとの情報又は停止不要であるとの情報のいずれかが含まれる場合に、第1走行車20Aに目的地点Tへの後進走行許可を送信している。しかし、走行車コントローラ50Bは、少なくとも第2走行車20Bから受信した状態報告に、干渉防止区間Rよりも後方に停止可能(停止中、停止予定)であるとの情報が含まれる場合に、第1走行車20Aに目的地点Tへの後進走行許可を送信してもよい。換言すると、走行車コントローラ50Bは、所定区間S内における第1走行車20Aの後方の直近に位置する第2走行車20Bが、干渉防止区間Rよりも後方に停止可能(停止中、停止予定)である場合に、後進走行許可要求を送信した第1走行車20Aに目的地点Tへの後進走行許可を送信してもよい。
上記実施形態では、ステップS22,S23において、走行車コントローラ50Bは、状態要求を送信した走行車20のうち第1走行車20Aを除く少なくとも一台の走行車20から状態報告を受信しない場合、又は、受信した状態報告のうち少なくとも一つの状態報告に停止可能(停止中、停止予定)であるとの情報及び停止不要であるとの情報のいずれも含まれない場合に、第1走行車20Aに目的地点Tへの後進走行許可を送信していない。しかし、走行車コントローラ50Bは、第2走行車20Bから受信した状態報告に、第2走行車20Bが干渉防止区間Rよりも後方に停止可能(停止中、停止予定)でないとの情報が含まれる場合に、第1走行車20Aに目的地点Tへの後進走行許可を送信しなくてもよい。換言すると、走行車コントローラ50Bは、所定区間S内における第1走行車20Aの後方の直近に位置する第2走行車20Bが、干渉防止区間Rよりも後方に停止可能(停止中、停止予定)でない場合に、後進走行許可要求を送信した第1走行車20Aに目的地点Tへの後進走行許可を送信しなくてもよい。
上記実施形態では、所定区間S内の合流点11aよりも下流側、且つ、処理装置100Aよりも上流側を前進走行している第2走行車20B及び第3走行車20Cが存在する場合を例示した。しかし、第2走行車20B及び第3走行車20Cが存在しない場合であっても、走行車システム1における上記のブロッキング制御及び後進走行制御を実施可能である。
上記実施形態では、所定区間は、軌道10上において互いに隣り合う合流点又は分岐点の間の区間(すなわち、一つの区間の全部)でなくてもよく、例えば、一つの区間のうちの一部であってもよい。
上記実施形態では、第1走行車20Aの現在位置Pは、所定区間Sにおける処理装置100Bに併設されたロードポート101Bに対してFOUP90を移載可能な位置であるが、現在位置Pは、このような位置に限定されない。例えば、現在位置Pは、第1走行車20Aが軌道10上において待機するためのパーキングポイントであってもよい。
上記実施形態では、搬送コントローラ50Aが有する機能の一部又は全部を走行車コントローラ50Bが有していてもよく、走行車コントローラ50Bが有する機能の一部又は全部を搬送コントローラ50Aが有していてもよい。或いは、1つのコントローラが、搬送コントローラ50A及び走行車コントローラ50Bの有する機能を有していてもよい。
上記実施形態では、各走行車20は、例えば光センサ等を用いて自車の前方に位置する他の走行車20までの距離(車間距離)を計測する測距部と、この測距部により計測された車間距離が所定値以下となった場合に当該走行車20を停止させる制動部と、を備えていてもよい。この場合、走行車20同士の干渉をより確実に防止することができる。
上記実施形態では、本発明の走行車システム1が搬送する被搬送物は、複数の半導体ウェハが収容されたFOUP90に限定されず、ガラスウェハ、レチクル等が収容されたその他の容器であってもよい。また、本発明の走行車システム1は、半導体製造工場に限定されず、その他の施設にも適用可能である。
上記実施形態では、走行車20としてOHTを例示した。しかし、走行車20はOHTに限定されず、軌道10に沿って走行することができる装置であればよい。
1…走行車システム、10…軌道、11a,11b…合流点(分岐合流部)、20…走行車、20A…第1走行車、20B…第2走行車、20C…第3走行車、20D…第4走行車、21…後端、50…コントローラ、50A…搬送コントローラ、50B…走行車コントローラ、P…現在位置、R…干渉防止区間、S…所定区間、T…目的地点。
Claims (3)
- 軌道に沿って走行する複数の走行車と、
複数の前記走行車のそれぞれと通信し、複数の前記走行車のそれぞれの動作を制御するコントローラと、を備え、
前記走行車は、前記軌道の所定区間内に位置する場合において、前記所定区間内における当該走行車の後方の目的地点に後進走行しようとするときに、後進走行許可要求を前記コントローラに送信し、
前記コントローラは、
前記後進走行許可要求を前記走行車から受信した場合に、当該走行車の現在位置から前記目的地点までの区間を含む干渉防止区間を設定し、
前記所定区間内における当該走行車の後方の直近に位置する他の前記走行車が、前記干渉防止区間よりも後方に停止中又は停止予定である場合に、前記後進走行許可要求を送信した前記走行車に前記目的地点への後進走行許可を送信し、
他の前記走行車が、前記干渉防止区間内に停止中又は停止予定である場合に、前記後進走行許可要求を送信した前記走行車に前記目的地点への後進走行許可を送信しない、走行車システム。 - 前記干渉防止区間は、前記後進走行許可要求を送信した前記走行車の前記現在位置から、当該走行車が前記目的地点に位置する状態における当該走行車の後端までの区間である、請求項1に記載の走行車システム。
- 前記軌道は、分岐又は合流する分岐合流部を複数有し、
前記所定区間は、前記軌道上において互いに隣り合う前記分岐合流部の間の区間である、請求項1又は2に記載の走行車システム。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016242361A JP2020024476A (ja) | 2016-12-14 | 2016-12-14 | 走行車システム |
PCT/JP2017/040742 WO2018110178A1 (ja) | 2016-12-14 | 2017-11-13 | 走行車システム |
TW106142333A TW201826060A (zh) | 2016-12-14 | 2017-12-04 | 行走車系統 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016242361A JP2020024476A (ja) | 2016-12-14 | 2016-12-14 | 走行車システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020024476A true JP2020024476A (ja) | 2020-02-13 |
Family
ID=62558681
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016242361A Pending JP2020024476A (ja) | 2016-12-14 | 2016-12-14 | 走行車システム |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2020024476A (ja) |
TW (1) | TW201826060A (ja) |
WO (1) | WO2018110178A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111742275B (zh) * | 2018-03-15 | 2023-07-14 | 村田机械株式会社 | 行驶车控制器及行驶车系统 |
WO2020049872A1 (ja) * | 2018-09-04 | 2020-03-12 | 村田機械株式会社 | 搬送車システム |
CN112424719A (zh) * | 2018-09-05 | 2021-02-26 | 村田机械株式会社 | 行驶车系统 |
CN113841099B (zh) * | 2019-05-22 | 2024-04-26 | 村田机械株式会社 | 行驶车系统及行驶车的控制方法 |
KR102303261B1 (ko) * | 2019-10-11 | 2021-09-16 | 세메스 주식회사 | Oht 대차 제어 방법 및 장치 |
IL291115B2 (en) * | 2019-11-07 | 2023-11-01 | Murata Machinery Ltd | traffic system and network system |
US11390282B2 (en) | 2020-02-07 | 2022-07-19 | Honda Motor Co., Ltd. | System and method for intersection communication |
JP2024008613A (ja) | 2022-07-08 | 2024-01-19 | 株式会社ダイフク | 搬送設備 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02163803A (ja) * | 1988-12-19 | 1990-06-25 | Toshiba Corp | 無人搬送車制御システム |
JP2005306570A (ja) * | 2004-04-23 | 2005-11-04 | Murata Mach Ltd | 搬送システム |
JP2013020423A (ja) * | 2011-07-11 | 2013-01-31 | Murata Mach Ltd | 有軌道台車システム |
JP6539960B2 (ja) * | 2014-08-28 | 2019-07-10 | 村田機械株式会社 | 搬送車システム及び搬送車システムの制御方法 |
-
2016
- 2016-12-14 JP JP2016242361A patent/JP2020024476A/ja active Pending
-
2017
- 2017-11-13 WO PCT/JP2017/040742 patent/WO2018110178A1/ja active Application Filing
- 2017-12-04 TW TW106142333A patent/TW201826060A/zh unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2018110178A1 (ja) | 2018-06-21 |
TW201826060A (zh) | 2018-07-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2020024476A (ja) | 走行車システム | |
JP6780702B2 (ja) | 走行車システム、及び走行車システムの制御方法 | |
US10734267B2 (en) | Conveyance system | |
JP6460260B2 (ja) | 搬送システム及び搬送方法 | |
JP6428953B2 (ja) | 搬送システム及び搬送方法 | |
JP7136214B2 (ja) | 搬送車システム | |
KR102513548B1 (ko) | 반송 시스템 | |
US20220073277A1 (en) | Article Transport Facility | |
JP6863329B2 (ja) | 走行車システム及び走行車の制御方法 | |
JP2007200190A (ja) | 搬送車システム | |
US10571927B2 (en) | Transport system and transport method | |
JP2005239315A (ja) | 搬送車監視制御装置、無人搬送車、搬送システム、及び搬送車監視制御方法 | |
WO2021241079A1 (ja) | 走行車システム、及び走行車の制御方法 | |
WO2021241046A1 (ja) | 台車システム、及び台車制御方法 | |
JP2010079554A (ja) | 搬送車システム | |
JP2024012942A (ja) | 物品搬送設備 | |
TW202406812A (zh) | 物品搬送設備 | |
US20210331708A1 (en) | Traveling vehicle system | |
JP2000276230A (ja) | 搬送システム | |
JP2000293229A (ja) | 搬送車の運行制御方法 | |
JP2005242540A (ja) | 無人搬送車の走行制御方法および走行制御システム並びに無人搬送車 |