TW201826060A - 行走車系統 - Google Patents

Abstract

行走車系統，是具備複數行走車及控制器。第1行走車，是在規定區間內欲朝後方的目的地點後退行走時，將後退行走許可要求朝控制器發訊。此情況，控制器，是設定包含從第1行走車的現在位置至目的地點為止的區間的干涉防止區間，位於規定區間內的後方的最近的其他的行走車，是在比干涉防止區間更後方為停止中或是預定停止的情況時，朝第1行走車將後退行走許可發訊，在干涉防止區間內為停止中或是預定停止的情況時，不朝第1行走車將後退行走許可發訊。

Description

行走車系統

[0001] 本發明的一態樣，是有關於行走車系統。

[0002] 專利文獻1的行走車系統，是具備：沿著軌道行走的複數行走車、及各別與複數行走車通訊且將複數行走車的各動作控制的控制器。在此行走車系統中，為了防止行走車彼此的干涉且實現行走車的後退行走，而在軌道設定複數區域，以使在複數區域各別只有一台的行走車存在的方式使行走車的動作被控制。 [習知技術文獻] [專利文獻] 　　[0003] 　　[專利文獻1] 日本特開平7-49714號公報

[本發明所欲解決的課題] 　　[0004] 在如上述的行走車系統中，即使行走車欲後退行走的距離是短的情況，因為對於被設定於軌道的區域的全域禁止其他的行走車的進入，所以有可能阻礙其他的行走車的圓滑的行走。為了避免這種狀況而將區域更短且更多地設定的話，在區域的設定時會花費勞力和時間。 　　[0005] 在此，本發明的目的是提供一種行走車系統，其一態樣，是對應行走車欲後退行走的時間點的該行走車的現在位置，設定禁止後續的其他的行走車的進入的適切的區間，就可以防止行走車彼此的干涉且實現行走車的後退行走。 [用以解決課題的手段] 　　[0006] 本發明的一態樣的行走車系統，是具備：沿著軌道行走的複數行走車、及各別與複數行走車通訊且將複數行走車的各動作控制的控制器，行走車，是位於軌道的規定區間內的情況時，在規定區間內的該行走車的後方的目的地點欲後退行走時，將後退行走許可要求朝控制器發訊，控制器，是從行走車收訊到後退行走許可要求的情況時，設定包含從該行走車的現在位置至目的地點為止的區間的干涉防止區間，位於規定區間內的該行走車的後方的最近的其他的行走車，是在比干涉防止區間更後方為停止中或是預定停止的情況時，朝將後退行走許可要求發訊的行走車將朝目的地點的後退行走許可發訊，其他的行走車，是在干涉防止區間內為停止中或是預定停止的情況時，不朝將後退行走許可要求發訊的行走車將朝目的地點的後退行走許可發訊。 　　[0007] 在此行走車系統中，行走車每欲後退行走時，就設定包含從行走車的現在位置至行走車的後方的目的地點為止的區間的干涉防止區間。且，位於該行走車的後方的最近的其他的行走車是在比干涉防止區間更後方為停止中或是預定停止的情況時，行走車的後退行走被許可。另一方面，位於該行走車的後方的最近的其他的行走車是在干涉防止區間內為停止中或是預定停止的情況時，不許可行走車的後退行走。因此，不需預先進行區域的設定，只有將禁止其他的行走車的進入的區間設定成干涉防止區間，就可以在該干涉防止區間內實現行走車的後退行走。因此，對應行走車欲後退行走的時間點的該行走車的現在位置，設定禁止後續的其他的行走車的進入的適切的區間，就可防止行走車彼此的干涉且實現行走車的後退行走。 　　[0008] 在本發明的一態樣的行走車系統中，干涉防止區間，是從將後退行走許可要求發訊的行走車的現在位置，至該行走車是位於目的地點的狀態中的該行走車的後端為止的區間也可以。此情況，因為可以將欲禁止其他的行走車進入的最短的區間設定成干涉防止區間，所以可以實現其他的行走車的圓滑的行走。 　　[0009] 在本發明的一態樣的行走車系統中，軌道，是具有複數分岐或是合流的分岐合流部，規定區間，是在軌道上彼此相鄰接的分岐合流部之間的區間也可以。此情況，可以抑制為了實現行走車的後退行走而停止的其他的行走車的數量的增加。 [發明的效果] 　　[0010] 依據本發明的一態樣的話，對應行走車欲後退行走的時間點的該行走車的現在位置，設定禁止後續的其他的行走車的進入的適切的區間，就可防止行走車彼此的干涉且實現行走車的後退行走。

[0012] 以下，對於本發明的一實施例，參照圖面詳細說明。又，在各圖中對於同一或是相當部分附加同一符號，並省略重複的說明。 [行走車系統的構成] 　　[0013] 如第1圖所示，行走車系統1，是具備：軌道10、及複數行走車20、及控制器50。軌道10，是被舖設在具備複數處理裝置的半導體製造工場的頂棚附近。行走車20，是OHT(懸掛式搬運系統、Overhead Hoist Transfer)，在從軌道10吊下的狀態下沿著軌道10行走。在軌道10中，行走車20的前進方向是被決定。行走車20，是在通常時，朝沿著軌道10的一方向(前進方向)行走(前進行走)。且，行走車20，是例如在本實施例中說明的後退行走控制被實施的情況時，朝沿著軌道10的一方向的相反方向行走(後退行走)。行走車20，是對於被併設在各處理裝置的裝載埠，將收容複數半導體晶圓的FOUP(前開口式通用容器、Front Opening Unified Pod)90作為被搬運物搬運。控制器50，是與各行走車20通訊，將各行走車20的動作控制。 　　[0014] 在以下的說明中，以行走車20是沿著軌道10前進行走的情況的進行方向為基準，使用「下游」及「上游」、「前」及「後」、以及「合流」及「分岐」的用語。 　　[0015] 軌道10，是具有複數區間。軌道10，是具有：一個區間分岐成複數區間的分岐點(分岐合流部)、及複數區間合流成一個區間的合流點(分岐合流部)。在本實施例中，軌道10，是包含由區間10a、10b、10c、10d、10e所構成的部分。區間10a及區間10b，是在合流點11a與區間10c合流。區間10c及區間10e，是在合流點11b與區間10d合流。 　　[0016] 在以下的說明中，「規定區間」，是在軌道10上，彼此相鄰接的合流點之間的區間、彼此相鄰接的分岐點之間的區間、或是彼此相鄰接的合流點及分岐點之間的區間。例如，第1圖的規定區間S，是彼此相鄰接的合流點11a、11b之間的區間10c。又，如圖中所示的軌道10的構成只是一例，不限定於此。 　　[0017] 在區間10c中，被配置有：2個處理裝置100、及被併設在各處理裝置100的裝載埠101。藉由行走車20而朝裝載埠101供給FOUP90的話，被收容於該FOUP90的半導體晶圓是朝處理裝置100被取入。且，該半導體晶圓，是在處理裝置100施加規定的處理之後，再度被收容於FOUP90。由此，FOUP90，是藉由行走車20而成為可搬運的狀態。 　　[0018] 具體而言，2個處理裝置100，是被配置於：處理裝置100A、及比處理裝置100A更下游側的處理裝置100B。被併設在處理裝置100A的裝載埠101，是裝載埠101A。被併設在處理裝置100B的裝載埠101，是裝載埠101B。 　　[0019] 行走車20，是具有將FOUP90對於裝載埠101移載的移載機構。移載機構，是例如，由：將FOUP90把持的把持部、及將把持部昇降的昇降機構所構成。由此，在對於裝載埠101可移載FOUP90的位置停止的行走車20，是藉由將移載機構動作，而可以對於裝載埠101移載FOUP90。又，FOUP90對於裝載埠101的移載，是包含：將行走車20所保持(積載)的FOUP90朝裝載埠101供給(卸載)的情況、及行走車20將被載置在裝載埠101的FOUP90取得(抓住貨物)的情況。 　　[0020] 控制器50，是具有：搬運控制器50A、及行走車控制器50B。搬運控制器50A，是對於行走車控制器50B的上位控制器。搬運控制器50A，是與製造控制器(未圖示)及行走車控制器50B通訊。製造控制器，是與處理裝置100通訊，對於被併設在處理裝置100的裝載埠101將搬運FOUP90的搬運要求朝搬運控制器50A發訊。搬運控制器50A是把握到搬運要求存在的話，行走車控制器50B，是對於在軌道10中位於預先被設定的管轄區域內的其中任一的行走車20，分派對應該搬運要求的搬運指令。在第1圖的行走車控制器50B的管轄區域中，包含區間10a、10b、10c、10d、10e。 　　[0021] 搬運控制器50A、行走車控制器50B及製造控制器，是各別例如，由包含處理器、記憶體、儲存器、及通訊裝置等的電腦裝置所構成。在各控制器中，處理器，是將被讀入記憶體等的規定的軟體(程式)實行，藉由記憶體及儲存器中的資料的讀出及寫入、以及由通訊裝置所產生的控制器間中的通訊控制，而實現各控制器的功能。 　　[0022] 在如此構成的行走車系統1中，在合流點及分岐點中實施以下的封鎖控制。即，在封鎖控制中，在合流點及分岐點，禁止行走車20進入的封鎖區域是被預先設定。行走車20，是沿著軌道10行走並到達封鎖區域被設定的合流點或是分岐點為止規定距離的地點的話，將封鎖區域的通過許可要求朝行走車控制器50B發訊。 　　[0023] 行走車控制器50B，是從行走車20收訊到通過許可要求的情況時，對於其他的行走車20未許可該封鎖區域的通過時，是判斷為對於將通過許可要求發訊的行走車20許可該封鎖區域的通過的話，朝該行走車20將該封鎖區域的通過許可發訊。該行走車20，是從行走車控制器50B收訊到該封鎖區域的通過許可的話，通過該封鎖區域。 　　[0024] 另一方面，行走車控制器50B，是從行走車20收訊到通過許可要求的情況時，若對於其他的行走車20已經許可該封鎖區域的通過時，就判斷為不對於將通過許可要求發訊的行走車20許可該封鎖區域的通過，不朝該行走車20將該封鎖區域的通過許可發訊。該行走車20，是未從行走車控制器50B收訊到該封鎖區域的通過許可的情況時，在該封鎖區域的上游側停止，直到從行走車控制器50B收訊到該封鎖區域的通過許可為止待機。其後，行走車控制器50B，是已許可該封鎖區域的通過的其他的行走車20是完成該封鎖區域的通過時，朝將通過許可要求發訊的行走車20將該封鎖區域的通過許可發訊。該行走車20，是從行走車控制器50B收訊到該封鎖區域的通過許可的話，再度沿著軌道10開始行走，通過該封鎖區域。 [行走車系統中的後退行走控制] 　　[0025] 在行走車系統1中，實施以下說明的後退行走控制。其中一例，說明在如以下的狀況所實施的後退行走控制。即，如第1圖所示，軌道10上的行走車20，是存在第1行走車20A、第2行走車20B、第3行走車20C及第4行走車20D。第1行走車20A，是位於軌道10的規定區間S(區間10c)內。具體而言，第1行走車20A，是在將FOUP90保持的狀態下，對於被併設在處理裝置100B的裝載埠101B停止在可移載FOUP90的位置。此位置，是第1行走車20A的現在位置P。第2行走車20B及第3行走車20C，是在比規定區間S內的合流點11a更下游側，且，比處理裝置100A更上游側，前進行走。第2行走車20B，是位於第3行走車20C的前方。在第2行走車20B及第1行走車20A之間，不存在其他的行走車20。換言之，第2行走車20B，是位於規定區間S內的第1行走車20A的後方的最近的位置。第4行走車20D，是在與規定區間S也就是區間10c的上游側連接的區間10a上前進行走。此時，第1行走車20A，是朝被併設在處理裝置100B的裝載埠101B供給FOUP90，成為空台車。且，被載置於被併設在處理裝置100A的裝載埠101A的FOUP90是成為可搬運的狀態的話，行走車控制器50B是對於第1行走車20A分派該FOUP90的搬運指令。 　　[0026] 在這種狀況，如第1圖及第2圖所示，第1行走車20A，是為了朝規定區間S內的第1行走車20A的後方的目的地點T(在此，使第1行走車20A對於裝載埠101A可移載FOUP90的位置)後退行走，而將後退行走許可要求朝行走車控制器50B發訊(步驟S10)。 　　[0027] 接著，如第2圖及第3圖所示，行走車控制器50B，是從第1行走車20A收訊到後退行走許可要求的話，就設定包含從第1行走車20A的現在位置P至目的地點T為止的區間的干涉防止區間R(步驟S11)。具體而言，干涉防止區間R，是包含從第1行走車20A的現在位置P，至該第1行走車20A是位於目的地點T的狀態中的該第1行走車20A的後端21為止的區間。 　　[0028] 接著，行走車控制器50B，是對於管轄區域內的全部的行走車20(第1行走車20A、第2行走車20B、第3行走車20C及第4行走車20D)，藉由廣播通訊而一次全部地，將通知干涉防止區間R且停止於比干涉防止區間R更後方的停止要求發訊(步驟S12)。又，在第2圖中，有關於對於第1行走車20A的廣播通訊的箭頭是被省略。 　　[0029] 接著，第2行走車20B、第3行走車20C及第4行走車20D，是從行走車控制器50B收訊到停止要求的話，就判斷是否必要停止。具體而言，各行走車20，在是否必要停止的判斷中，若位於規定區間S內的情況時就判斷為需要停止(停止判斷)，若未位於規定區間S內的情況時就判斷為不需要停止(不需要停止判斷)。各行走車20，是判斷為需要停止(停止判斷)的情況時，由對應狀況的適切的時間點開始停止的動作(減速)。 　　[0030] 在本實施例中，第2行走車20B，因為是位於規定區間S內，所以判斷為需要停止(停止判斷)並開始停止的動作(步驟S13)。同樣地，第3行走車20C，因為是位於規定區間S內，所以判斷為需要停止(停止判斷)並開始停止的動作(步驟S14)。另一方面，第4行走車20D，因為未位於規定區間S內，所以判斷為不需要停止(不需要停止判斷)並持續前進行走(步驟S15)。 　　[0031] 又，在圖中雖未被顯示，但是假設，另一個行走車20，是只要在軌道10中的即使持續前進行走也不會進入規定區間S的區間(例如區間10c的下游側的區間10d，或是在區間10c的下游側的合流點11b、及在區間10c合流的區間10e)地前進行走的情況時，因為該行走車20，不位於規定區間S內，所以判斷為不需要停止。 　　[0032] 接著，行走車控制器50B，是對於管轄區域內的全部的行走車20(第1行走車20A、第2行走車20B、第3行走車20C及第4行走車20D)，藉由輪詢通訊而依序將要求有關於現在的行走狀態等的報告(狀態報告)的狀態要求發訊。又，在第2圖中，有關於對於第1行走車20A的輪詢通訊的箭頭是被省略。 　　[0033] 從行走車控制器50B收訊到狀態要求的各行走車20，是朝行走車控制器50B將狀態報告發訊。在各行走車20的狀態報告中，該行走車20是停止判斷的情況時，包含該行走車20是否在規定區間S內可停止在比干涉防止區間R更後方的資訊。具體而言，在狀態報告中，估計該行走車20是可以在規定區間S內停止在比干涉防止區間R更後方時，包含預定停止(可停止)的資訊，該行走車20是在規定區間S內已經停止在比干涉防止區間R更後方時，包含停止中(可停止)的資訊。另一方面，在狀態報告中，判斷為該行走車20是不需要停止的情況時，包含不需要停止的資訊。 　　[0034] 在本實施例中，第2行走車20B，是位於從干涉防止區間R充分遠離的地點而可停止於比干涉防止區間R更後方。因此，第2行走車20B，是從行走車控制器50B收訊到狀態要求的話(步驟S16)，在規定區間S內將包含預定停止在比干涉防止區間R更後方的資訊的狀態報告朝行走車控制器50B發訊(步驟S17)。同樣地，第3行走車20C，是位於從干涉防止區間R充分遠離的地點而可停止於比干涉防止區間R更後方。因此，第3行走車20C，是從行走車控制器50B收訊到狀態要求的話(步驟S18)，在規定區間S內將包含預定停止在比干涉防止區間R更後方的資訊的狀態報告朝行走車控制器50B發訊(步驟S19)。另一方面，第4行走車20D，是未位於規定區間S內而沒有必要停止。因此，第4行走車20D，是從行走車控制器50B收訊到狀態要求的話(步驟S20)，將包含不需要停止的資訊的狀態報告朝行走車控制器50B發訊(步驟S21)。 　　[0035] 接著，行走車控制器50B，是依據各別從第2行走車20B、第3行走車20C及第4行走車20D收訊到的狀態報告，判斷是否對於第1行走車20A許可朝目的地點T的後退行走。具體而言，行走車控制器50B，是將狀態要求發訊的行走車20之中從除了第1行走車20A以外的全部的行走車20收訊狀態報告，且，在那些的狀態報告的全部中若包含可停止(停止中、預定停止)的資訊或是不需要停止的資訊的其中任一的情況時，就判斷為對於第1行走車20A許可後退行走(步驟S22)。此情況，行走車控制器50B，是朝第1行走車20A將朝目的地點T的後退行走許可發訊(步驟S23)。 　　[0036] 在此，行走車控制器50B，是在封鎖控制實施以下的控制。即，行走車控制器50B，是朝第1行走車20A將朝目的地點T的後退行走許可發訊的情況時，直到第1行走車20A完成朝目的地點T的後退行走為止期間，對於其他的行走車20，不許可被設定於目的地點T的上游側的最近的合流點或是分岐點也就是合流點11a的封鎖區域的通過。由此，位於比合流點11a更上游側的其他的行走車20(例如第4行走車20D)，是無法從行走車控制器50B收訊到設定於合流點11a的封鎖區域的通過許可。因此，只有存在於包含干涉防止區間R的規定區間S內的行走車20(第2行走車20B及第3行走車20C)，是在比干涉防止區間R更後方為停止中或是可停止是被確認的話，即使對於第1行走車20A許可後退行走，仍可抑制第1行走車20A及其他的行走車20的干涉。 　　[0037] 又，在步驟S22中，行走車控制器50B，是將狀態要求發訊的行走車20之中從除了第1行走車20A以外的至少一台的行走車20未收訊到狀態報告的情況時，或是在收訊到的狀態報告之中至少一個的狀態報告中皆未包含可停止(停止中、預定停止)的資訊及不需要停止的資訊的情況時，就判斷為不對於第1行走車20A許可後退行走。此情況，行走車控制器50B，是不朝第1行走車20A將朝目的地點T的後退行走許可發訊。 　　[0038] 且在步驟S22中，行走車控制器50B，是規定區間S內的行走車20之中除了第1行走車20A以外的其中任一的行走車20是在干涉防止區間R內為停止中或是預定停止的情況時，判斷為不對於第1行走車20A許可朝目的地點T的後退行走，不朝第1行走車20A將朝目的地點T的後退行走許可發訊。 　　[0039] 接著，第1行走車20A，是從行走車控制器50B收訊到後退行走許可的話，如第2圖及第4圖所示，朝目的地點T後退行走(步驟S24)。另一方面，第1行走車20A，是從行走車控制器50B未收訊到後退行走許可的情況時，不朝目的地點T後退行走，例如前進行走。藉由以上，完成行走車系統1中的後退行走控制。 　　[0040] 但是如上述，行走車控制器50B，是在封鎖控制中，朝第1行走車20A將朝目的地點T的後退行走許可發訊的情況時，直到第1行走車20A完成朝目的地點T的後退行走為止期間，對於其他的行走車20，不許可被設定於目的地點T的上游側的最近的合流點或是分岐點也就是合流點11a的封鎖區域的通過。但是，行走車控制器50B，是朝其他的行走車20將設定於合流點11a的封鎖區域的通過許可發訊之後，朝第1行走車20A將朝目的地點T的後退行走許可發訊的情況時，在第1行走車20A被許可後退行走的狀態下，其他的行走車20是通過合流點11a而進入規定區間S內。即使在這種狀況為了更確實地防止行走車20彼此的干涉，在行走車系統1中的後退行走控制中，接著步驟S24，實施以下的控制也可以。 　　[0041] 首先說明，在步驟S24中第1行走車20A是後退行走期間的第2行走車20B、第3行走車20C及第4行走車20D的各動作。在步驟S13、S14中停止判斷的第2行走車20B及第3行走車20C，是步驟S24期間，為了在規定區間S內停止在比干涉防止區間R更後方而減速地行走。另一方面，在步驟S15中判斷為不需要停止，且，收訊到設定於合流點11a的封鎖區域的通過許可的第4行走車20D，是步驟S24期間，不減速地持續前進行走。其結果，第4行走車20D，是通過合流點11a進入規定區間S內。 　　[0042] 步驟S24期間上述動作進行之後，行走車控制器50B，是與步驟S12同樣地，對於管轄區域內的全部的行走車20(第1行走車20A、第2行走車20B、第3行走車20C及第4行走車20D)，藉由廣播通訊而一次全部地，將通知干涉防止區間R且停止於比干涉防止區間R更後方的停止要求發訊(步驟S25)。在此對於各行走車20被通知的干涉防止區間R，是與在步驟S12被通知的干涉防止區間R相同的區間，例如因為成為新進入行走車控制器50B的管轄區域內的行走車20是存在的情況，所以再度朝各行走車20被通知。又，在第2圖中，有關於對於第1行走車20A的廣播通訊的箭頭是被省略。 　　[0043] 接著，第4行走車20D，是從行走車控制器50B收訊到停止要求的話，再度判斷是否必要停止。第4行走車20D，因為是持續前進行走並進入結果規定區間S內，所以判斷為需要停止(停止判斷)並開始停止的動作(步驟S26)。 　　[0044] 接著，如第2圖及第5圖所示，第2行走車20B及第3行走車20C，是在規定區間S內停止於比干涉防止區間R更後方(步驟S27、S28)。其後，第4行走車20D，是在規定區間S內停止於比干涉防止區間R更後方(步驟S29)。 　　[0045] 接著，行走車控制器50B，是對於管轄區域內的全部的行走車20(第1行走車20A、第2行走車20B、第3行走車20C及第4行走車20D)，藉由輪詢通訊而依序將要求的狀態報告的狀態要求發訊。又，在第2圖中，有關於對於第1行走車20A的輪詢通訊的箭頭是被省略。 　　[0046] 在本實施例中，第2行走車20B，是在規定區間S內已經停止在比干涉防止區間R更後方。因此，第2行走車20B，是從行走車控制器50B收訊到狀態要求的話(步驟S30)，將包含停止中的資訊的狀態報告朝行走車控制器50B發訊(步驟S31)。行走車控制器50B，是藉由將此狀態報告從第2行走車20B收訊，確認第2行走車20B的停止(步驟S32)。同樣地，第3行走車20C，是在規定區間S內已經停止在比干涉防止區間R更後方。因此，第3行走車20C，是從行走車控制器50B收訊到狀態要求的話(步驟S33)，將包含停止中的資訊的狀態報告朝行走車控制器50B發訊(步驟S34)。行走車控制器50B，是藉由將此狀態報告從第3行走車20C收訊，確認第3行走車20C的停止(步驟S35)。同樣地，第4行走車20D，是在規定區間S內已經停止在比干涉防止區間R更後方。因此，第4行走車20D，是從行走車控制器50B收訊到狀態要求的話(步驟S36)，將包含停止中的資訊的狀態報告朝行走車控制器50B發訊(步驟S37)。行走車控制器50B，是藉由將此狀態報告從第4行走車20D收訊，而確認第4行走車20D的停止(步驟S38)。 　　[0047] 其後，第1行走車20A，是將干涉防止區間R的設定解除的干涉防止區間解除要求朝行走車控制器50B發訊。行走車控制器50B，是從第1行走車20A收訊到干涉防止區間解除要求的話，解除干涉防止區間R的設定，對於管轄區域內的全部的行走車20，藉由廣播通訊而一次全部地，通知干涉防止區間R的設定被解除。 　　[0048] 各行走車20，是從行走車控制器50B被通知干涉防止區間R的設定被解除的話，由對應各行走車20的狀況的適切的時間點，進行對應各行走車20的狀況的動作。例如，第1行走車20A，是開始被載置在裝載埠101A的FOUP90的搬運也可以，第2行走車20B、第3行走車20C及第4行走車20D，是將對應停止要求而停止的前進行走再開也可以。 　　[0049] 藉由以上，由行走車系統1中的後退行走控制實施上述控制的情況時，行走車20，因為未位於規定區間S內所以不需要停止判斷而持續前進行走時，也可以在進入規定區間S內之後進行停止判斷而停止。因此，成為可更確實地防止行走車20彼此的干涉。 [作用及效果] 　　[0050] 如以上說明，在行走車系統1中，第1行走車20A欲後退行走時，設定包含從第1行走車20A的現在位置P至第1行走車20A的後方的目的地點T(即可對於裝載埠101A移載FOUP90的位置)為止的區間的干涉防止區間R。且，行走車控制器50B，是除了規定區間S內的行走車20之中第1行走車20A以外的全部的行走車20是在比干涉防止區間R更後方為停止中或是預定停止的情況時，朝第1行走車20A將朝目的地點T的後退行走許可發訊。另一方面，行走車控制器50B，是規定區間S內的行走車20之中除了第1行走車20A以外的其中任一的行走車20是在干涉防止區間R內為停止中或是預定停止的情況時，不朝第1行走車20A將朝目的地點T的後退行走許可發訊。因此，不需預先進行區域的設定，只有為了禁止其他的行走車20進入區間而設定干涉防止區間R，就可以在該干涉防止區間R內實現第1行走車20A的後退行走。因此，對應第1行走車20A欲後退行走的時間點的第1行走車20A的現在位置P，設定禁止後續的其他的行走車20進入的干涉防止區間R，就可防止行走車20彼此的干涉且實現第1行走車20A的後退行走。 　　[0051] 在行走車系統1中，干涉防止區間R，是從將後退行走許可要求發訊的第1行走車20A的現在位置P，至第1行走車20A是位於目的地點T的狀態中的第1行走車20A的後端21為止的區間。因此，因為可以為了禁止其他的行走車20進入而將最短的區間設定在干涉防止區間R，所以可以實現其他的行走車20的圓滑的行走。 　　[0052] 在行走車系統1中，軌道10，是具有複數包含合流點11a、11b的合流點及分岐點，規定區間S，是在軌道10上彼此相鄰接的合流點11a、11b之間的區間。因此，可以抑制為了實現第1行走車20A的後退行走而使停止的其他的行走車20的數量增加。 [變形例] 　　[0053] 以上，雖說明了本發明的一實施例，但是本發明，不限定於上述實施例。 　　[0054] 例如，在上述實施例中，在步驟S22、S23中，行走車控制器50B，是將狀態要求發訊的行走車20之中從除了第1行走車20A以外的全部的行走車20收訊狀態報告，且，在那些的狀態報告的全部中若包含可停止(停止中、預定停止)的資訊或是不需要停止的資訊的其中任一的情況時，朝第1行走車20A將朝目的地點T的後退行走許可發訊。但是，行走車控制器50B，是在從至少第2行走車20B收訊到的狀態報告，包含在比干涉防止區間R更後方可停止(停止中、預定停止)的資訊的情況時，朝第1行走車20A將朝目的地點T的後退行走許可發訊也可以。換言之，行走車控制器50B，是位於規定區間S內的第1行走車20A的後方的最近的第2行走車20B，是在比干涉防止區間R更後方可停止(停止中、預定停止)的情況時，朝將後退行走許可要求發訊的第1行走車20A將朝目的地點T的後退行走許可發訊也可以。 　　[0055] 在上述實施例中，在步驟S22、S23中，行走車控制器50B，是將狀態要求發訊的行走車20之中從除了第1行走車20A以外的至少一台的行走車20未收訊到狀態報告的情況時，或是在收訊到的狀態報告之中至少一個的狀態報告中皆未包含可停止(停止中、預定停止)的資訊及不需要停止的資訊的情況時，不朝第1行走車20A將朝目的地點T的後退行走許可發訊。但是，行走車控制器50B，是在從第2行走車20B收訊到的狀態報告，包含第2行走車20B是在比干涉防止區間R更後方不是可停止(停止中、預定停止)的資訊的情況時，不朝第1行走車20A將朝目的地點T的後退行走許可發訊也可以。換言之，行走車控制器50B，若位於規定區間S內的第1行走車20A的後方的最近的第2行走車20B，是在比干涉防止區間R更後方不是可停止(停止中、預定停止)的情況時，不朝將後退行走許可要求發訊的第1行走車20A將朝目的地點T的後退行走許可發訊也可以。 　　[0056] 在上述實施例中，雖例示了在比規定區間S內的合流點11a更下游側，且，比處理裝置100A更上游側前進行走的第2行走車20B及第3行走車20C是存在的情況。但是，第2行走車20B及第3行走車20C是不存在情況，也可實施行走車系統1中的上述的封鎖控制及後退行走控制。 　　[0057] 在上述實施例中，規定區間，即使不是在軌道10上彼此相鄰接的合流點或是分岐點之間的區間(即一個區間的全部)也可以，例如，一個區間之中的一部分也可以。 　　[0058] 在上述實施例中，第1行走車20A的現在位置P，是對於被併設在規定區間S中的處理裝置100B的裝載埠101B可移載FOUP90的位置，但是現在位置P，不限定於這種位置。例如，現在位置P，是第1行走車20A在軌道10上待機用的停車點也可以。 　　[0059] 在上述實施例中，即使行走車控制器50B是具有搬運控制器50A所具有的功能的一部分或是全部也可以，搬運控制器50A即使具有行走車控制器50B所具有的功能的一部分或是全部也可以。或是1個控制器，是具有搬運控制器50A及行走車控制器50B的功能也可以。 　　[0060] 在上述實施例中，各行走車20，即使具備：使用例如光感測器等測量位於自車的前方其他的行走車20為止的距離(車輛間隔距離)用的測距部、及藉由此測距部所測量的車輛間隔距離是成為規定值以下的情況時停止該行走車20用的制動部，也可以。此情況，可以更確實地防止行走車20彼此的干涉。 　　[0061] 在上述實施例中，本發明的一態樣的行走車系統1所搬運的被搬運物，不限定於收容複數半導體晶圓的FOUP90，收容玻璃晶圓、光柵等的其他的容器也可以。且，本發明的一態樣的行走車系統1，不限定於半導體製造工場，也可適用在其他的施設。 　　[0062] 在上述實施例中，行走車20雖例示了OHT(懸掛式搬運系統)。但是，行走車20不限定於OHT，可以沿著軌道10行走的裝置即可。 [產業上的可利用性] 　　[0063] 成為可提供一種行走車系統，可以對應行走車欲後退行走的時間點的該行走車的現在位置，設定禁止後續的其他的行走車的進入的適切的區間，來防止行走車彼此的干涉且實現行走車的後退行走。

[0064]

P‧‧‧現在位置

R‧‧‧干涉防止區間

S‧‧‧規定區間

T‧‧‧目的地點

1‧‧‧行走車系統

10‧‧‧軌道

10a，10b，10c，10d，10e‧‧‧區間

11a，11b‧‧‧合流點(分岐合流部)

20‧‧‧行走車

20A‧‧‧第1行走車

20B‧‧‧第2行走車

20C‧‧‧第3行走車

20D‧‧‧第4行走車

21‧‧‧後端

50‧‧‧控制器

50A‧‧‧搬運控制器

50B‧‧‧行走車控制器

100‧‧‧處理裝置

100A‧‧‧處理裝置

100B‧‧‧處理裝置

101‧‧‧裝載埠

101A‧‧‧裝載埠

101B‧‧‧裝載埠

[0011] 　　[第1圖] 本發明的一實施例的行走車系統的一部分的俯視圖。 　　[第2圖] 說明第1圖的行走車系統中的後退行走控制用的序列圖。 　　[第3圖] 說明第1圖的行走車系統中的後退行走控制用的俯視圖。 　　[第4圖] 說明第1圖的行走車系統中的後退行走控制用的俯視圖。 　　[第5圖] 說明第1圖的行走車系統中的後退行走控制用的俯視圖。

Claims (3)

1. 一種行走車系統，具備： 　　沿著軌道行走的複數行走車、及 　　各別與複數前述行走車通訊並將複數前述行走車的各動作控制的控制器， 　　前述行走車，是位於前述軌道的規定區間內的情況時，且朝前述規定區間內的該行走車的後方的目的地點欲後退行走時，就將後退行走許可要求朝前述控制器發訊， 　　前述控制器，是 　　從前述行走車收訊到前述後退行走許可要求的情況時，就設定包含從該行走車的現在位置至前述目的地點為止的區間的干涉防止區間， 　　位於前述規定區間內的該行走車的後方的最近的其他的前述行走車，是在比前述干涉防止區間更後方為停止中或是預定停止的情況時，朝將前述後退行走許可要求發訊的前述行走車將朝前述目的地點的後退行走許可發訊， 　　其他的前述行走車，是在前述干涉防止區間內為停止中或是預定停止的情況時，不朝將前述後退行走許可要求發訊的前述行走車將朝前述目的地點的後退行走許可發訊。
2. 如申請專利範圍第1項的行走車系統，其中， 　　前述干涉防止區間，是從將前述後退行走許可要求發訊的前述行走車的前述現在位置，至該行走車是位於前述目的地點的狀態中的該行走車的後端為止的區間。
3. 如申請專利範圍第1或2項的行走車系統，其中， 　　前述軌道，是具有複數分岐或是合流的分岐合流部， 　　前述規定區間，是在前述軌道上彼此相鄰接的前述分岐合流部之間的區間。