JP2000276230A - 搬送システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 搬送台車の渋滞を回避することができる搬送
システムを提供すること。 【解決手段】 支線５から合流しようとする搬送台車１
の入庫先ステーション６が合流後に先行車又は後続車と
なる搬送台車１ａ、１ｂと同じかどうかを判定し、同じ
ときには、これらの搬送台車１ａ、１ｂと本線２上で連
続して走行することがないように、合流側の搬送台車１
を合流点４の手前で一時待機させるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、搬送システム、特
に半導体又は液晶製造工場内の製造ライン等で、複数の
搬送台車を用いて自動搬送される搬送システムにおい
て、搬送命令を受けた実車が搬送先ステーションの状況
により入庫できない場合に、該実車を搬送先ステーショ
ン付近の上流側で待機させ、実車の無駄な周回を防止す
る搬送システムに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体生産ラインでは、製品リ
ードタイムの低減や製造のコスト低減のために、自動搬
送システムに対して、単位時間当りの搬送量を増大させ
る要求や搬送時間を短縮させる要求が高まっている。

【０００３】このような高搬送量、短搬送時間といった
高い搬送能力を必要とするラインでは、例えば、図３に
示すように、閉ループ状の軌道本線２に対して分岐点３
と合流点４を有する複数の支線５を設け、支線５側にそ
れぞれステーション６を配置した搬送軌道レイアウトの
構成となっている。

【０００４】この場合、キャリア（被搬送物）の搬送命
令（キャリア＃および搬送先＃）は、図４に示すように
各ステーション６別に生成される。ステーション６で
は、空車１（キャリアの積載状態にない搬送台車）に対
して、キャリアの積み作業を行うとともに、搬送命令を
搬送台車１が有する搬送台車走行コントローラ７に搬送
先を指示する。実車１（キャリアの積載状態にある搬送
台車）はこの搬送命令に従い、目的である搬送先ステー
ション６に向って走行する。

【０００５】実車１が搬送先以外のステーション６に属
する分岐点３に来たときは、そのまま通過する、いわゆ
る本線走行を行い、搬送先ステーション６に属する分岐
点３に来たときは、支線５側への入線を行い、当該ステ
ーション３にて停止して積載キャリアの卸し作業を行
う。

【０００６】空車１についても同様に、ステーション６
からの迎車命令の場合のみ、支線５側への入線を行い、
それ以外は本線走行を行う。なお、搬送台車１を分岐又
は合流させる方法としては、搬送台車側にステアリング
機構を設けたり、搬送軌道側にポイント機構を設けたり
する方法がある。

【０００７】一方、ステーションコントローラ１１で
は、ステーション６での作業の指示、状態把握を行い、
支線５への入線が可能かどうかを管理しており、作業中
であるなどの支線５への入線が不可状態の場合に、搬送
台車運行コントローラ１２を介して実車１に入線禁止を
指示し、分岐点３を通過させて本線２側を周回走行させ
る。

【０００８】このように、分岐合流が可能な自動搬送シ
ステムにおいては、軌道本線２には搬送台車１の走行作
業を、支線５にはステーション６での積卸作業を各々割
当てることにより、当該搬送台車１と後続の搬送台車１
とを干渉させることなく、自動搬送システムの高能力化
を図っている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来では、
図４に示すように搬送台車の合流点での衝突回避のため
に、合流確認区間の設定を行っている。これにより、先
に合流確認区間に来た搬送台車を先に走行させ、後に合
流確認区間に来た搬送台車は一時停止を行い、先の搬送
台車が合流点を通過したのちに、後の搬送台車が合流点
を通過するという処理を行う。すなわち、合流点に到着
した順番に搬送台車の合流が行われる。

【００１０】この場合、搬送命令の状況や走行状況によ
っては、入庫先ステーションが同じ搬送台車が本線上で
連続するように合流するタイミングも確率的に発生す
る。入庫先ステーションが同じ搬送台車が連続して走行
した場合、搬送先ステーションでの積みないし卸し作業
が順番待ちとなるため、後続の搬送台車は入庫先ステー
ションの分岐点手前で一時停止することがある。そし
て、一時停止した搬送台車が本線をふさぐことになるた
め、後続の搬送台車が渋滞し、自動搬送システム全体で
の搬送時間が長くなるという問題が発生する。

【００１１】本発明は、上記従来の搬送システムの有す
る問題点を解決し、搬送台車の渋滞を回避することがで
きる搬送システムを提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の搬送システムは、複数の搬送台車が走行す
る閉ループ状の軌道本線に、分岐点と合流点を有する複
数の支線を設け、該支線にそれぞれステーションを配置
した搬送システムにおいて、支線から合流しようとする
搬送台車の入庫先ステーションが合流後に先行車又は後
続車となる搬送台車と同じかどうかを判定し、同じとき
には、これらの搬送台車と本線上で連続して走行するこ
とがないように、合流側の搬送台車を合流点の手前で一
時待機させるようにしたことを特徴とする。

【００１３】本発明の搬送システムでは、入庫先が重な
る搬送台車が本線上で連続する事態を回避できることか
ら、入庫先ステーション分岐点での搬送台車の一時停止
を防止することができ、これにより後続の搬送台車の渋
滞を回避し、自動搬送システム全体での搬送時間を短縮
することが可能である。

【００１４】この場合において、合流側の搬送台車が他
の搬送台車と交信することにより、前記入庫先ステーシ
ョンの同一性の判定を行うことも可能であり、これによ
り制御を簡単に行えるとともに、上位のコントローラや
ネットワークに負担をかけずにすむ。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の搬送台車の制御方
法の実施の形態を図面に基づいて説明する。本発明実施
例の搬送システムは、例えば、図３に示すように、複数
の搬送台車１が同一方向に走行する閉ループ状の軌道本
線２に、分岐点３と合流点４を有する複数の支線５を設
け、この支線５にそれぞれステーション６を配置した従
来と同様の基本構成を有している。

【００１６】そして、本実施例では、図１、図２に示す
ように、支線５から合流しようとする搬送台車１の入庫
先ステーション６が合流後に先行車又は後続車となる搬
送台車１ａ、１ｂと同じかどうかを判定し、同じときに
は、これらの搬送台車１ａ、１ｂと本線２上で連続して
走行することがないように、合流側の搬送台車１を合流
点４の手前で一時待機させるようにしている。

【００１７】合流側の搬送台車１は、他の搬送台車１ａ
〜１ｃとの通信を行うことが可能である。搬送台車１が
搭載する搬送台車走行コントローラ７は、合流しようと
するときに、自車１の前後を走行する搬送台車１ａ、１
ｂと通信を行い、入庫先ステーション６が同じか否か
の、連続性の判断を実行させる。そして、搬送台車１が
合流しても、入庫先が同じ搬送台車が本線２上で連続す
ることにならない場合には、そのまま合流を行い、連続
することになる場合には、搬送台車１は合流点４の手前
で一時停止を行い、入庫先が同じとなる搬送台車の通過
を待って合流を行うことができる。

【００１８】本実施例の搬送システムを図１を参照し
て、さらに詳しく説明する。同図に示すように、搬送台
車１は合流点に向って走行し、搬送台車１ａは本線を搬
送先ステーションａに向い、搬送台車１ｂは搬送先ステ
ーションｂに向い、搬送台車１ｃは搬送先ステーション
ｃに向い走行しているものとする。

【００１９】従来では、先に合流点４にある合流確認区
間４ａに進入してきた順に合流が行われる。すなわち、
合流点４に関して、先入れ先出し的に合流処理が行われ
る。例えば、搬送台車１が搬送台車１ｂより先に合流確
認区間４ａに進入したとすると、搬送台車１ｂに先行し
て合流し、また先に合流点４を通過している搬送台車１
ａのあとを走行することになる。

【００２０】また、従来では、搬送台車１が搬送台車１
ｂより後に合流確認区間４ａに進入したとすると、搬送
台車１ｂが合流点を通過するまで一時停止を行い、搬送
台車１ｂのあとを走行することになる。

【００２１】しかし、搬送台車１が搬送台車１ｂより先
に合流確認区間４ａに進入し、搬送台車１の搬送先ステ
ーションがａ、すなわち先に走行する搬送台車１ａと同
じ場合、ステーションａで渋滞が発生する。あるいは、
搬送台車１の搬送先ステーションがｂ、すなわち後ろを
走行する搬送台車１ｂと同じ場合も、ステーションｂで
渋滞が発生する。

【００２２】本実施例では、搬送台車１が合流しようと
する際に、前後を走行する搬送台車１ａ、１ｂと交信を
行い、入庫先が同じとなる搬送台車の通過を待って合流
を行うことにより、同一入庫先の搬送台車が本線上で連
続しないようにし、これにより、入庫先のステーション
６で渋滞が起らないようにする。例えば、搬送台車１が
搬送台車１ｂより先に合流確認区間４ａに進入しても、
先の搬送台車１と入庫先ステーション６が同一となる場
合、本線２上で連続走行とならないように搬送台車１が
合流点の手前で一時停止するなどし、搬送台車１ｂの通
過を待ってから合流することにより、入庫先ステーショ
ン６での渋滞を回避することができる。

【００２３】すなわち、本実施例の搬送システムでは、
入庫先が重なる搬送台車が本線２上で連続する事態を回
避できることから、入庫先ステーション分岐点３での搬
送台車１の一時停止を防止することができ、これにより
後続の搬送台車１の渋滞を回避し、自動搬送システム全
体での搬送時間を短縮することが可能である。

【００２４】また、これら搬送台車１の入庫先の情報収
集や合流側搬送台車１の制御は、自動搬送システムをコ
ントロールする搬送コントローラ８やその上位システム
１０（図４参照）でも管理は可能であるが、搬送台車１
自体にて行うほうが、コントローラやネットワーク９の
負荷からみた場合に有利である。

【００２５】

【発明の効果】本発明の搬送システムによれば、支線か
ら合流しようとする搬送台車の入庫先が先行車又は後続
車の搬送台車と同じとなるときに、これらの搬送台車と
本線上で連続して走行することがないように、合流側の
搬送台車を合流点の手前で一時待機させるものであり、
入庫先が重なる搬送台車が本線上で連続する事態を回避
できることから、入庫先ステーション分岐点での搬送台
車の一時停止を防止することができ、これにより後続の
搬送台車の渋滞を回避し、自動搬送システム全体での搬
送時間を短縮し、また製造リードタイムも短縮すること
が可能である。

【００２６】そして、本発明の搬送システムは、合流側
の搬送台車が他の搬送台車と交信することにより、前記
入庫先ステーションの同一性の判定を行うことも可能で
あり、これにより、複雑で高度な上位の搬送コントロー
ラや上位システムを必要とすることなく、搬送台車自体
のコントローラの制御だけで実現することが可能であ
り、複雑な搬送台車制御を構築することなく搬送時間の
短縮と製造リードタイムの短縮を実現することが可能で
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の搬送システムの実施例において、搬送
台車の合流時の状態を示す平面図である。

【図２】同実施例の搬送台車の制御を示すフローチャー
トである。

【図３】搬送システムを示す全体図である。

【図４】従来の搬送台車の合流時の状態を示す平面図で
ある。

【図５】従来の搬送台車の制御を示すフローチャートで
ある。

【符号の説明】

１ 搬送台車 ２ 軌道本線 ３ 分岐点 ４ 合流点 ４ａ 合流確認区間 ５ 支線 ６ ステーション ７ 搬送台車走行コントローラ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川越 敏昌 兵庫県尼崎市下坂部３丁目11番１号 日立 機電工業株式会社内 (72)発明者 岡田 巧 兵庫県尼崎市下坂部３丁目11番１号 日立 機電工業株式会社内 Ｆターム(参考） 3F022 AA08 LL12 MM08 MM13 MM42 NN31 NN51 3F070 AA18 BB09 BC07 BD07 BD08 BD10 BE09 BF01 BG10 ED01 ED05 5H301 AA02 AA09 BB05 CC02 CC06 DD07 EE02 EE12 EE17 KK03 KK08

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の搬送台車が走行する閉ループ状の
   軌道本線に、分岐点と合流点を有する複数の支線を設
   け、該支線にそれぞれステーションを配置した搬送シス
   テムにおいて、支線から合流しようとする搬送台車の入
   庫先ステーションが合流後に先行車又は後続車となる搬
   送台車と同じかどうかを判定し、同じときには、これら
   の搬送台車と本線上で連続して走行することがないよう
   に、合流側の搬送台車を合流点の手前で一時待機させる
   ようにしたことを特徴とする搬送システム。
2. 【請求項２】 合流しようとする搬送台車が他の搬送台
   車と交信することにより、前記入庫先ステーションの同
   一性の判定を行うことを特徴とする請求項１記載の搬送
   システム。