JP2006029606A - クリーンルーム - Google Patents
クリーンルーム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006029606A JP2006029606A JP2004204538A JP2004204538A JP2006029606A JP 2006029606 A JP2006029606 A JP 2006029606A JP 2004204538 A JP2004204538 A JP 2004204538A JP 2004204538 A JP2004204538 A JP 2004204538A JP 2006029606 A JP2006029606 A JP 2006029606A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- chamber
- clean
- clean room
- air supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Ventilation (AREA)
Abstract
【解決手段】 高度の清浄度に管理された第1清浄室13と、その第1清浄室13と比べて清浄度が同等以下の第2清浄室14とを有するクリーンルーム12である。
そして、第1清浄室13の天井裏には所定の清浄度の空気が送り込まれる天井室13aが備えられ、第1清浄室13には天井部13cに備えられた第1フィルタ16A,・・・を通過して空気が送り込まれる。さらに、第1清浄室13の通気床部13dの裏面には連絡給気路18の取込口部18aが取り付けられ、第1清浄室13を通過した空気が連絡給気路18を通って第2清浄室14に送り込まれる。
【選択図】 図1
Description
13 第1清浄室
13a 天井室
13c 天井部
13d 通気床部
14 第2清浄室
14d 排気口部
15 第3清浄室
16A 第1フィルタ(第1清浄化手段)
16B 第2フィルタ(第2清浄化手段)
17 外気処理装置
18 連絡給気路
18a 取込口部
18b 排出口部
18c 管路部
19 送気ファン(送気手段)
20 冷却装置(温度調節手段)
21 半導体検査装置(発熱性装置)
22 冷却用給気路
22a 取込口部
22b 排出口部
22c 管路部
23 クリーンルーム
25 再処理装置
Claims (8)
- 高度の清浄度に管理された第1清浄室と、該第1清浄室と比べて清浄度が同等以下の第2清浄室とを有するクリーンルームであって、
前記第1清浄室の天井裏には所定の清浄度の空気が送り込まれる天井室が備えられ、前記第1清浄室には天井部に備えられた第1清浄化手段を通過して空気が送り込まれ、前記第1清浄室の通気床部の裏面には連絡給気路の取込口部が取り付けられ、前記第1清浄室を通過した空気が前記連絡給気路を通って前記第2清浄室に送り込まれることを特徴とするクリーンルーム。 - 前記連絡給気路には、前記第2清浄室に送り込まれる空気の風量を調節する送気手段が備えられたことを特徴とする請求項1に記載のクリーンルーム。
- 前記連絡給気路には、前記第2清浄室に送り込まれる空気の温度を調節する温度調節手段が備えられたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のクリーンルーム。
- 前記連絡給気路には、前記第2清浄室に送り込まれる空気を清浄化する第2清浄化手段が備えられたことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のクリーンルーム。
- 前記連絡給気路は複数設けられ、前記通気床部側の取込口部と前記第2清浄室側の排出口部がそれぞれ分岐のない管路部で連絡されたことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のクリーンルーム。
- 前記第2清浄室は、前記第1清浄室に隣接して設けられた第3清浄室の内部に収容され、前記第2清浄室から排出された空気が前記第3清浄室に排出されることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載のクリーンルーム。
- 前記通気床部の裏面に冷却用給気路の取込口部が取り付けられ、該冷却用給気路を通って供給される空気によって前記第3清浄室に配置された発熱性装置を冷却することを特徴とする請求項6に記載のクリーンルーム。
- 前記第2清浄室又は前記第3清浄室から排出された空気が、再処理装置によって再度、清浄化されて前記天井室に送り込まれることを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれかに記載のクリーンルーム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004204538A JP4641158B2 (ja) | 2004-07-12 | 2004-07-12 | クリーンルーム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004204538A JP4641158B2 (ja) | 2004-07-12 | 2004-07-12 | クリーンルーム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006029606A true JP2006029606A (ja) | 2006-02-02 |
JP4641158B2 JP4641158B2 (ja) | 2011-03-02 |
Family
ID=35896185
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004204538A Expired - Fee Related JP4641158B2 (ja) | 2004-07-12 | 2004-07-12 | クリーンルーム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4641158B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008045782A (ja) * | 2006-08-11 | 2008-02-28 | Denso Corp | クリーンルーム用局所排気装置 |
JP2017176984A (ja) * | 2016-03-29 | 2017-10-05 | テルモ株式会社 | 凍結品搬入システム |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0336447A (ja) * | 1989-06-30 | 1991-02-18 | Hashimoto Kasei Kogyo Kk | 清浄加工室及びその制御方法 |
JPH05223303A (ja) * | 1992-02-14 | 1993-08-31 | Fujitsu Ltd | クリーンルーム及びフィルターユニット |
JPH05264082A (ja) * | 1992-03-17 | 1993-10-12 | Fujitsu Ltd | クリーンルーム用給気装置 |
JP2000055429A (ja) * | 1998-08-07 | 2000-02-25 | Nippon Light Metal Co Ltd | 2階型クリーンルーム |
JP2001289475A (ja) * | 2000-04-06 | 2001-10-19 | Ricoh Co Ltd | 塗布装置及び電子写真感光体製造装置 |
-
2004
- 2004-07-12 JP JP2004204538A patent/JP4641158B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0336447A (ja) * | 1989-06-30 | 1991-02-18 | Hashimoto Kasei Kogyo Kk | 清浄加工室及びその制御方法 |
JPH05223303A (ja) * | 1992-02-14 | 1993-08-31 | Fujitsu Ltd | クリーンルーム及びフィルターユニット |
JPH05264082A (ja) * | 1992-03-17 | 1993-10-12 | Fujitsu Ltd | クリーンルーム用給気装置 |
JP2000055429A (ja) * | 1998-08-07 | 2000-02-25 | Nippon Light Metal Co Ltd | 2階型クリーンルーム |
JP2001289475A (ja) * | 2000-04-06 | 2001-10-19 | Ricoh Co Ltd | 塗布装置及び電子写真感光体製造装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008045782A (ja) * | 2006-08-11 | 2008-02-28 | Denso Corp | クリーンルーム用局所排気装置 |
JP2017176984A (ja) * | 2016-03-29 | 2017-10-05 | テルモ株式会社 | 凍結品搬入システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4641158B2 (ja) | 2011-03-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6599599B2 (ja) | Efemシステム | |
JP2008218687A (ja) | 半導体基板用ストッカ | |
JP4641158B2 (ja) | クリーンルーム | |
JP2007255749A (ja) | 空気調和装置 | |
JP5203746B2 (ja) | 局所空間の空気清浄化装置 | |
JP2008075974A (ja) | 空調ユニット、および空気調和装置の室外ユニット | |
JP2003347397A (ja) | ウエハポッドの清浄化システム、ウエハポッド | |
JP2009293864A (ja) | クリーンルーム | |
JPH05106888A (ja) | 連結式クリーン空間装置 | |
JP3130023U (ja) | 自動化清浄倉庫 | |
JP2006322659A (ja) | クリーンルームの空気清浄装置 | |
JP4493589B2 (ja) | 制御盤内部の冷却方法、制御盤、および制御システム | |
JP4798816B2 (ja) | 循環型クリーンルーム | |
JP3354849B2 (ja) | クリーンルーム | |
JPH0888155A (ja) | 局所クリーン化におけるインターフェイスボックス及びそのクリーンルーム | |
TW471005B (en) | Equipment to manufacture semiconductor-products | |
TW202027838A (zh) | 無塵室淨化系統 | |
JP4557533B2 (ja) | 電子製品製造設備 | |
JP4822108B2 (ja) | クリーンルームの空調システム | |
JP4660816B2 (ja) | クリーンルームにおける空気清浄化システム | |
JP2580893B2 (ja) | クリーンルームのファンフイルタユニット | |
JP2003210926A (ja) | ケミカルフィルタユニットおよび空気清浄化システム | |
JP4441732B2 (ja) | クリーンルーム | |
JP2013050248A (ja) | クリーンルーム | |
JP2008196400A (ja) | 送風装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070620 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100302 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100416 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101124 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101126 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4641158 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131210 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |