JPH05223303A - クリーンルーム及びフィルターユニット - Google Patents

クリーンルーム及びフィルターユニット

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JPH05223303A
JPH05223303A JP4027636A JP2763692A JPH05223303A JP H05223303 A JPH05223303 A JP H05223303A JP 4027636 A JP4027636 A JP 4027636A JP 2763692 A JP2763692 A JP 2763692A JP H05223303 A JPH05223303 A JP H05223303A
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clean room
room
clean
floor
filter unit
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JP4027636A
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Kazushige Komatsu
一茂 小松
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Fujitsu VLSI Ltd
Fujitsu Ltd
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Fujitsu VLSI Ltd
Fujitsu Ltd
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 フィルターから吹き出した空気が床から抜け
る室内を間仕切りしてなる第1及び第2のクリーンルー
ムとを有し、この第1のクリーンルームから取り入れた
空気を第2のクリーンルーム側に吹き出すクリーンブー
スを設置したクリーンルームに関し、特にスペース効率
が良く、保守性を向上したクリーンルーム。 【構成】 浮遊物を捕捉するフィルター22から吹き出し
た空気が複数の開孔23aを点在させた床23を通過してこ
の床下に設けた還流路24に抜ける室内を間仕切りしてな
る第1及び第2のクリーンルーム20a,20b とを有し、こ
の第1のクリーンルームから取り入れた空気を第2のク
リーンルーム側に吹き出すクリーンブース10をこの第2
のクリーンルームに設置し、背面側から取り入れた気体
に含まれる浮遊物を除去した後にこの気体を表面側から
吹き出すフィルターユニット30が第2のクリーンルーム
の床下に配設されて、背面側を還流路24に連通させ、表
面側を第2のクリーンルーム内に連通させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、フィルターから吹き出
した空気が床から抜ける室内を間仕切りしてなる第1及
び第2のクリーンルームとを有し、この第1のクリーン
ルームから取り入れた空気を第2のクリーンルーム側に
吹き出すクリーンブースを設置したクリーンルーム、特
に、スペース効率が良く、しかもクリーンブースの保守
性を低下させることのないクリーンルームに関する。
【0002】
【従来の技術】次に、従来のクリーンルームについて図
3を参照して説明する。図3は、従来のクリーンルーム
(その1)の模式的な要部側断面図である。
【0003】図3に示すようにクリーンブース10を配設
した従来のクリーンルーム20は、一般的に、その室内を
仕切り部材21により間仕切りして第1のクリーンルーム
20aと第2のクリーンルーム20b とで構成していた。
【0004】そして、クリーンブース10は、例えば、第
2のクリーンルーム20b に設置されて、第1のクリーン
ルーム20a から取り入れた空気Aを第2のクリーンルー
ム20b 側で吹き出していた。
【0005】なお、第1のクリーンルーム20a から取り
入れられて第2のクリーンルーム20b で吹き出す空気A
に含まれる浮遊物は、クリーンブース10の濾材(図示せ
ず)により捕捉されることは勿論である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところが、第2のクリ
ーンルーム20b に複数のクリーンブース10を設置すると
第1のクリーンルーム20a から第2のクリーンルーム20
b に送り込まれる空気量が多くなって、第1のクリーン
ルーム20a の天井に設置したフィルター22からのクリー
ンな空気Aの供給が不足し、この第1のクリーンルーム
20a の気圧が還流路24より負圧となる。
【0007】このような状態においては、第1及び第2
のクリーンルーム20a,20b の床、例えば、縦寸法60c
m、横寸法60cmのアルミニウム製で複数の開孔23a
を点在させて形成されてモザイク状に嵌脱自在に組み合
わせることのできるフリーアクセス23' を支柱26に支持
させた状態で敷き詰めて構成した床23の直下に設けられ
て、この開孔23a から抜けた空気Aをダクト(図示せ
ず)を介して送風機(図示せず)に還流させる還流路24
から空気Aが床23の開孔23a を通過して第1のクリーン
ルーム20a に流れ込み、第1のクリーンルーム20a のク
リーン度を低下させる問題があった。
【0008】斯かる問題は、第1のクリーンルーム20a
の天井に設置するフィルター22の増設及び前述のダクト
の径を大きくするとともに前述の送風機を大型にしてそ
の送風能力を増強することにより解決することは可能で
ある。
【0009】しかしながら、このような方策を実行する
には多額の設備費や工事費が必要となるとともに、上記
送風機を稼働するための電力費等のランニングコストが
嵩んで実用的ではなかった。
【0010】このため、図4に示すように、一端を還流
路24に連通させるとともに、他端をクリーンブース10の
空気取入口10a に連通したバイパスダクト25を追設し、
このバイパスダクト25を介して還流路24から空気Aを空
気取入口10a に取り入れることで如上の問題を解消して
いた。
【0011】しかし、この方法は、第1のクリーンルー
ム20a のクリーン度が低下するいう問題は解消するもの
の、第1のクリーンルーム20a のスペース効率を低下さ
せたり、またバイパスダクト25に邪魔されてクリーンブ
ース10の保守作業が遣り難くなるという新たな問題を発
生させた。
【0012】本発明は、このような問題を解消するため
になされたものであって、その目的はスペース効率が良
く、しかもクリーンブースの保守性を低下させることの
ないクリーンルームを提供することにある。
【0013】なお、図4は、従来のクリーンルーム(そ
の2)の模式的な要部側断面図である。
【0014】
【課題を解決するための手段】図1に示すように、前記
目的は、浮遊物を捕捉するフィルター22から吹き出した
空気が複数の開孔23a を点在させた床23を通過してこの
床下に設けた還流路24に抜ける室内を間仕切りしてなる
第1及び第2のクリーンルーム20a,20b とを有し、この
第1のクリーンルーム20a から取り入れた空気を第2の
クリーンルーム20b 側に吹き出すクリーンブース10をこ
の第2のクリーンルーム20b に設置したクリーンルーム
において、背面側から取り入れた気体に含まれる浮遊物
を除去した後にこの気体を表面側から吹き出すフィルタ
ーユニット30が第1のクリーンルーム20a の床下に配設
されて、前記背面側を還流路24に連通させるとともに、
前記表面側を第1のクリーンルーム20a 内に連通させて
いることを特徴とするクリーンルームにより達成され
る。
【0015】
【作用】本発明のクリーンルームは、背面側から取り入
れた気体に含まれる浮遊物を除去した後にこの気体を表
面側から吹き出すフィルターユニット30を第1のクリー
ンルーム20a の床下に配設し、この第1のクリーンルー
ム20a 内に浮遊物を除去された空気を送り込むようにし
ている。
【0016】したがって、第2のクリーンルーム20b に
クリーンブース10を設置し、第1のクリーンルーム20a
から第2のクリーンルーム20b に大量の空気Aが送り込
まれても、フィルターユニット30が第1のクリーンルー
ム20a にクリーンな空気Aを供給するため、第1のクリ
ーンルーム20a のクリーン度の低下は回避される。
【0017】また、本発明のクリーンルームは、図4に
より説明した従来のクリーンルームのようにバイパスダ
クト25がないからクリーンブース10の保守性も向上する
こととなる。
【0018】
【実施例】以下、本発明の請求項1に係る一実施例のク
リーンルーム及び請求項2に係る一実施例のフィルター
ユニットについて図1及び図2を参照して説明する。
【0019】図1は、本発明の請求項1に係る一実施例
のクリーンルームの模式的な要部側断面図、図2は、本
発明の請求項2に係る一実施例のフィルターユニットの
模式的な要部側断面図である。
【0020】なお、本明細書においては、同一部品、同
一材料等に対しては全図をとおして同じ符号を付与して
ある。図1に示すように本発明の請求項1に係る一実施
例のクリーンルームは、図3により説明した従来のクリ
ーンルームの第1のクリーンルーム20a の床下の還流路
24に、フィルターユニット30を配設して構成したもので
ある。
【0021】このフィルターユニット30は、その背面
側、すなわち、還流路24から空気Aを取り入れてその中
に含まれる浮遊物を捕捉した後に、この空気Aを表面
側、すなわち、第1のクリーンルーム20a に吹き出すよ
うな状態で還流路24に配設されている。
【0022】したがって、本発明の請求項1に係る一実
施例のクリーンルームの第2のクリーンルーム20b にク
リーンブース10を設置し、第1のクリーンルーム20a か
ら第2のクリーンルーム20b に大量の空気Aが送り込ま
れても、フィルターユニット30が第1のクリーンルーム
20a にクリーンな空気Aを供給するため、第1のクリー
ンルーム20a のクリーン度の低下は回避されることとな
る。
【0023】また、このクリーンルームは、図4により
説明した従来のクリーンルームのようにバイパスダクト
25が全くないからクリーンブース10の保守性の向上、す
なわち、クリーンブース10の状態をチェックする点検作
業や故障したクリーンブース10の修理作業が遣りやすく
なることとなる。
【0024】次に、本発明の請求項2に係る一実施例の
フィルターユニットについて図2を参照して説明する。
図2に示す如く本発明の請求項2に係る一実施例のフィ
ルターユニット40は、硬質で発塵量が極めて少ない素
材、例えば、塩化ビニール製で複数の開孔41a を点在さ
せて支柱26により支持されるパンチング板41と、このパ
ンチング板41の平らな一面である背面側に固定されて開
孔41a の全てを被覆し、この開孔41a を通り抜ける気体
に含まれる浮遊物を捕捉する紙状で波形をした濾材42
と、この濾材42の背面側で気体を加圧し、この気体を濾
材42とパンチング板41の開孔41a とをこの順に通過させ
る気体加圧手段、例えば、モータ43a の回転軸の周面に
羽根43b を固定してなる軸流ファン43とを含ませて構成
したものである。
【0025】したがって、このフィルターユニット40の
パンチング板41を図3を参照して説明した従来のクリー
ンルーム( その1)の床23を構成するフリーアクセス2
3' と同一の寸法で形成し、そして、この床23を構成す
るフリーアクセス23' を1枚若しくは複数枚を撤去し、
その撤去跡に本発明の一実施例のフィルターユニットを
嵌め込むことにより図1を参照して説明した本発明の請
求項1に係る一実施例のクリーンルームと同様な性能を
備えたクリーンルームを容易に構成することができるこ
ととなる。
【0026】また、本発明の請求項1に係る一実施例の
クリーンルームの第1のクリーンルーム20a に配設した
フィルターユニット30として、本発明の請求項2に係る
一実施例のフィルターユニット40を使用することも当然
可能である。
【0027】さらに、フィルターユニット40の濾材42と
直列に分子吸着剤を装着し、この濾材42で捕捉できない
分子レベルの物質を吸着して除去できるようにフィルタ
ーユニット40の改変も可能である。
【0028】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、室内にク
リーンブースを設置してもスペース効率が良く、しかも
クリーンブースの保守性を低下させることのないクリー
ンルームを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】は、本発明の請求項1に係る一実施例のクリー
ンルームの模式的な要部側断面図、
【図2】は、本発明の請求項2に係る一実施例のフィル
ターユニットの模式的な要部側断面図、
【図3】は、従来のクリーンルーム(その1)の模式的
な要部側断面図、
【図4】は、従来のクリーンルーム(その2)の模式的
な要部側断面図である。
【符号の説明】
10はクリーンブース、 10a は、空気取入口、 20a は、第1のクリーンルーム、 20b は、第2のクリーンルーム、 21は、仕切り部材、 22は、フィルター、 23は、床、 23' は、フリーアクセス、 23a は、開孔、 24は、還流路、 25は、バイパスダクト、 30、40は、フィルターユニット、 41は、パンチング板、 41a は、開孔、 42は、濾材、 43は、軸流ファン (気体加圧手段)、 43a は、モータ、 43b は、羽根をそれぞれ示す。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 浮遊物を捕捉するフィルター(22)から吹
    き出した空気が複数の開孔(23a) を点在させた床(23)を
    通過してこの床下に設けた還流路(24)に抜ける室内を間
    仕切りしてなる第1及び第2のクリーンルーム(20a,20
    b) とを有し、この第1のクリーンルーム(20a) から取
    り入れた空気を第2のクリーンルーム(20b) 側に吹き出
    すクリーンブース(10)をこの第2のクリーンルーム(20
    b) に設置したクリーンルームにおいて、 背面側から取り入れた気体に含まれる浮遊物を除去した
    後にこの気体を表面側から吹き出すフィルターユニット
    (30)が前記第1のクリーンルーム(20a) の床下に配設さ
    れて、前記背面側を前記還流路(24)に連通させるととも
    に、前記表面側を前記第1のクリーンルーム(20a) 内に
    連通させていることを特徴とするクリーンルーム。
  2. 【請求項2】 複数の開孔(41a) を点在させた平板(41)
    と、 前記平板(41)の背面側に固定されて前記開孔(41a) の全
    てを被覆し、この開孔(41a) を通り抜ける気体に含まれ
    る浮遊物を捕捉する紙状をした濾材(42)と、 前記濾材(42)の背面側で気体を加圧し、この気体を濾材
    (42)と前記開孔(41a)とをこの順序で通過させる気体加
    圧手段(43)とを含んでなることを特徴とするフィルター
    ユニット。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006029606A (ja) * 2004-07-12 2006-02-02 Ryoshin:Kk クリーンルーム
JP2009257645A (ja) * 2008-04-15 2009-11-05 Panasonic Corp ファンフィルタユニット

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JP2006029606A (ja) * 2004-07-12 2006-02-02 Ryoshin:Kk クリーンルーム
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