JPS6274427A - フイルタユニツト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明はグリーンルームに設置されてエアカーテンとし
て送風するフィルタユニットに係り、特にスペースの狭
い位置に設置するのに好適なフィルタユニットに関する
。

〔発明の背景〕

第６図はフィルタユニットの従来技術を示す縦断面図、
第７図は他の従来技術を示す縦断面図、第８図はフィル
タユニットを複数個設置した全面ダウンフロータイブの
クリーンルームの側面図である。

第６図に示す従来のフィルタユニット１は、フィルタ２
の上部に圧力箱３が設置され、その圧力箱３の上部にシ
ロッコファン４が設置されてシロッコファン４の吐き出
し方向とフィルタ２の通風方向とが同一方向をなす竪形
構造となっている。

５は抵抗板である。

前記第７図に示す従来のフィルタユニットは、圧力箱３
の側方位置にシロッコファン４が設置され、シロッコフ
ァン４の吐き出し方向とフィルタ２の通風方向とが直交
するようにしている。

ところで、上記に示す従来のフィルタユニット１は、第
８図に示す如く設置スペースが狭い全面ダウンフロータ
イブのクリーンルーム６に設置するときに次に述べる不
具合がある。

即ち、第６図に示すフィルタユニット１は竪形構造とな
っているので、全高寸法Ｈが高くなり、そのため、天井
裏７に設置したときに天井１Ｊ５７のスペースを高くし
なければならない。

一方、第７図に示すフィルタユニット１は、シロッコフ
ァン４が圧力箱３に寸法Ｗ分突出して設けられている為
、全高寸法を低くすることができるが、全幅寸法Ｗが大
きくなるゆ従って、各ユニットが干渉しないようにする
には各々のユニットの間隔を広げて設置せざるを得ない
ので、デッドスペースが生じ、そのため、クリーンルー
ム６内には均一に送風することができなくなる。

また、何れの従来例もシロッコファン４の送風口に圧力
箱３が直に連結されているので、圧力箱３では送られて
きた気流に均一な風圧分布が得がたい不具合がある。

即ち、第６図に示すフィルタユニット１は、シロッコフ
ァン４と圧力箱３との送風方向が同じであるため、シロ
ッコファン４からの空気の流れを圧力箱３内の抵抗板５
で減速させようとじても、それほどの効果が得られず、
そのため、圧力箱３内の風圧分布にむらが生じる。

一方、第７図に示すフィルタユニット１は、圧力箱３の
吸気方向と送風方向とを直交させているが、やはり圧力
箱３にシロッコファン４から直に送風されるので、圧力
箱３内での風圧分布にむらが生じる。

そのため、フィルタ２の全面より均一に送風できないお
それがある。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、前記従来技術の不具合を解消し、ユニ
ット全体の小型化を図り、また均一な風圧分布で通風で
き、しかも騒音をも低減できるフィルタユニットを提供
することにある。

〔発明の概要〕

本発明は、フィルタの入気面と同一方向を向いた吸気口
を有するシロッコファンを設置したこと、シロッコファ
ンの送風口には送風方向に向って断面積が漸増する形状
に形成されたディフューザを連結したこと、シロッコフ
ァンとフィルタとの間を片側に開口部を有する仕切板で
区画したこと、仕切板の間口部をシロッコファンの設置
位置の反対側に設けたことに特徴を有し、これによって
前記の目的を達成できた。

〔発明の実施例〕

次に、本発明の実施例を第１図乃至第５図について説明
する。第１図は本発明の第１の実施例を示す縦断面図、
第２図は同平面図である。

これらの図に示す実施例のフィルタユニット１０は、シ
ロッコファン１１と、このシロッコファン１１の送風口
１２ｂに連結され、かつ内部が片側に開口部１５を有す
る仕切板１４により区画されたディフューザ１３と、こ
のディフューザ１３の圧力箱１６側に設置されたフィル
タ１７とを備えて構成されている。

前記シロッコファン１１は、ファンｌｌａと、このファ
ンの駆動モータｌｌｂと、ファンｌｌａの周りを取り囲
むケーシングｌｌｃとを備え、ファンｌｌａが駆動され
たとき、ケーシングｌｌｃの上部に設けられたベルマウ
スｌｉｄを通じて軸方向から空気を吸い込み、これと直
交する方向に送風するようになっている。

前記ディフューザ１３は略箱型に形成されており。

上部側方に設けられた取り込み口（符号せず）がシロッ
コファン１１のケーシングｌｌｃの送風口１２ｂに連結
されている・ このディフューザ１３は、その内部中間部に水平方向に
設けられた仕切板１４により取り込み部１８と圧力部１
６とに区画されている。前記取り込み部１８と圧力部１
６とは仕切板１４に設けられた開口部１５を通じてＵ字
型に連絡されている。即ち、仕切板１４の開口部１５は
、シロッコファン１１の設置位置と反対側に形成されて
いる。

また、ディフューザ１３の取り込み部１８は、送風方向
に向って断面積が漸増する形状に形成されている。そし
て、取り込み部１８の送風側には圧力部１６に送られる
空気を整流できるように整流ガイドベーン２３が設けら
れている。

前記フィルタ１７は、ディフューザ１３の圧力部１６の
送風側に設けられた収納部１９に収納され、圧力部１６
よりこれと直交する方向に人気しかつ送気するようにな
っている。従って、フィルタ１７の入気面１７ａと、シ
ロッコファン１１の吸気口１２ａとが同一方向をなして
いる。尚、前記収納部１９は天井板２０に設けられた開
口部に挿通して取付けられ、フィルタ１７の送気側には
吹出しパネル２１が取付けられている。

またシロッコファン１１はケーシングｌｌｃの底部が前
記仕切板１４と一体的に構成され、仕切板１４の一端側
にファンｌｌａの駆動モータｌｌｂを支持する支持板２
２が取付けられて、駆動モータｌｌｂが仕切板１４とフ
ィルタ１７との間に配置されている。支持板２２は仕切
板１４に対しフィルタ１７方向より着脱できるように取
付けられている。

実施例のフィルタユニットは、上記の如く構成されるの
で、次にその作用を述べる。

シロッコファン１１の駆動モータｌｌｂによってファン
ｌｌａが駆動されると、シロッコファン１１は、フィル
タ１７の入気面１７ａと同一方向である上方から矢印の
如く空気を吸い込み、これと直交するようにディフュー
ザ１３へ送風する。

ディフューザ２１の取り込み部１８は送風方向に向って
断面積が漸増する形状に形成されているから、シロッコ
ファン１１からの気流を減速させ、風圧を動圧から静圧
に変換させることができる。静圧に変換された気流は、
ディフューザ２１の取り込み部１８より仕切板１４の開
口部１５を経てＵターンされて圧力部１６に送られ、か
つフィルタ１７の入気面１７ａを経てクリーンルーム６
内に供給される。

このように、フィルタ１７の入気面１７ａと同一方向を
向いた吸気口１２ａを有するシロッコファン１１を設置
し、このシロッコファン１１の送風口１２ｂに連結され
たディフューザ１３により、シロッコファン１１から吐
き出された空気をＵターンさせてフィルタ１７の入気面
１７ａに送り込むようにしているので、ユニットの全高
寸法及び全幅寸法を小さくでき、ユニット全体を小型に
まとめることができる。

従って、全面ダウンフロータイブのクリーンルーム６の
天井裏等の狭いスペースにも自由に設置し。

使用できる。

また、従来例のようにシロッコファン４がら直接圧力箱
３に送風するものと比較すると、ディフューザ１３によ
ってＵターンさせることにより、送風路を長くとること
ができ、しかも送風路を単に長くするだけでなく、ディ
フューザ１３で動圧を静圧に変換してフィルタ１７に送
風するので、シロッコファンＩＩより吐き出された気流
の乱流を大幅に減衰でき、さらに上述の如くユニットの
全幅寸法を小さく抑えることによって各ユニット間のデ
ッ１くスペースを少なくできる結果、複数個のユニット
から空気を供給する例えば全面ダウンフロータイブのク
リーンルーム６において、均一な風圧分布で通風し得る
。

さらに、上述の如くシロッコファン１１からの空気を、
ディフューザ１３によってＵターンさせ、がつ長い送風
路を通過するので、送風時の発生音を大巾に減衰させる
ことができ、騒音を著しく低減でき机 また図示実施例では、駆動モータｌｌｂが仕切板１４と
フィルタ１７との間である圧力部１６に配置されるので
、圧力部１６に送り込まれた空気によって駆動モータｌ
ｌｂを冷却でき、駆動モータＩｌｂの冷却効率を上げる
ことができる。

さらに仕切板１４に対し駆動モータｌｌｂの支持板２２
がフィルタ１７方向から取付けられるので、シロッコフ
ァン１１のメンテナンスを容易に行なえる。

即ち、ユニットからシロッコファン１１を取り出すには
、クリーンルーム６内において収納部１９より吹出しパ
ネル２１．′フィルタ１７を順次取り外した後、仕切板
１４より支持Ｆｉ、２２を取り外すことによって行うの
で、取り出し作業を一方向から行うことができる。従っ
て、万一、シロッコファン１１にトラブルが生じた場合
、作業者が天井裏７に入らなくともクリーンルーム６内
でシロッコファン１１を取り出せるので、メンテナンス
を簡単にかつ良好に行なえる。

第３図は本発明の第２の実施例を示している。

この場合は、ディフューザ１３内において仕切板１４の
開口部１５より送り出し側に通風孔を有する整流板２４
が設けられ、この整流板２４によって開口部１５を通る
空気の流れをいっそう整流させるようにしている。

従って、この実施例は、シロッコファン１１から吐き出
された気流を整流板２４によって整流させるので、気流
とフィルタ１７との衝突音を緩和でき、騒音をいっそう
低減できる。

第４図は本発明の第３の実施例を示している。

この実施例は、ディフューザ１３の取り込み部１８の内
壁に吸音材２５が貼着され、該吸音材２５によってより
いっそうの低騒音化を図るようにしている６第５図は本
発明のさらに他の実施例を示している。

この実施例において前記実施例と異なるのは。

シロッコファン１１が同一平面内において互に１８０度
回転した位置に２個配置された点にある。

そして、各々のシロッコファン１．１．１１の送風口１
２ｂにディフューザ１３が夫々連結され、該ディフュー
ザ１３の圧力部１６内において対応する位置から空気を
送り込むようにしている。

この実施例は、２個のシロッコファン１１が互に１８０
度回転した位置に設けられるので、送風容量を簡単に上
げることができるのみならず、ディフューザ１３の圧力
部１６内での気圧をバランスさせることができ、クリー
ンルーム６内に風圧分布をより均一に通風させることが
できる。

〔発明の効果〕

以上述べたように、本発明は、フィルタの入気面と同一
方向を向いた吸気口を有するシロッコファンを設置し、
シロッコファンの送風口に送風方向に向って断面積が漸
増する形状のディフューザを連結し、シロッコファンと
フィルターとの間を片側に開口部を有する仕切板で区画
し、その開口部をシロッコファンの設置位置と反対側に
設けて送風路を長くとるように構成したので、ユニット
全体の小型化を図ることができ、また均一な風圧分布で
通風することができ、しかも騒音を低減できる効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例を示す縦断面図、第２図
はフィルタユニットの平面図、第３図は本発明の第２の
実施例を示す縦断面図、第４図は本発明の第３の実施例
を示す要部断面の平面図、第５図は本発明のさらに他の
実施例を示す平面図。 第６図は従来のフィルタユニットの一例を示す断面図、
第７図は従来のフィルタユニットの他の例を示す断面図
、第８図は複数個のフィルタユニットを設置した全面ダ
ウンフロータイブのクリーンルームを示す説明用側面図
である。 １１・・・シロッコファン、ｌｌａ・・・ファン、ｌｌ
ｂ・・・駆動モータ、１２ａ・・・シロッコファンの吸
気口、１２ｂ・・・シロッコファンの送風口、１３・・
・ディフューザ、１４・・・仕切板、１５・・・開口部
、１７・・・フィルタ、１７ａ・・・フィルタの入気面
。 代理人　弁理士　　　秋　　本　　正　　実第１図 ＋２６ 第２ｃ！Ｊ 第３図 第４図 第６図 第７図 第８図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、フィルタの入気面と同一方向を向いた吸気口を有す
   るシロッコファンを設置し、シロッコファンの送風口に
   は送風方向に向って断面積が漸増する形状に形成された
   ディフューザを連結し、シロッコファンとフィルタとの
   間を片側に開口部を有する仕切板で区画し、仕切板の開
   口部をシロッコファンの設置位置の反対側に設けたこと
   を特徴とするフィルタユニット。 ２、シロッコファンの駆動モータは仕切板とフィルタと
   の間に配置されていることを特徴とする特許請求の範囲
   第１項に記載したフィルタユニット。 ３、シロッコファンは同一平面内において互に１８０度
   回転した位置に２個配置されていることを特徴とする特
   許請求の範囲第１項に記載したフィルタユニット。