JP3241077B2 - クリーンルーム - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、フィルターから吹き出
した空気が床から抜ける室内を間仕切りしてなる第１及
び第２のクリーンルームとを有し、この第１のクリーン
ルームから取り入れた空気を第２のクリーンルーム側に
吹き出すクリーンブースを設置したクリーンルーム、特
に、スペース効率が良く、しかもクリーンブースの保守
性を低下させることのないクリーンルームに関する。

【０００２】

【従来の技術】次に、従来のクリーンルームについて図
３を参照して説明する。図３は、従来のクリーンルーム
（その１）の模式的な要部側断面図である。

【０００３】図３に示すようにクリーンブース10を配設
した従来のクリーンルーム20は、一般的に、その室内を
仕切り部材21により間仕切りして第１のクリーンルーム
20aと第２のクリーンルーム20b とで構成していた。

【０００４】そして、クリーンブース10は、例えば、第
２のクリーンルーム20b に設置されて、第１のクリーン
ルーム20a から取り入れた空気Ａを第２のクリーンルー
ム20b 側で吹き出していた。

【０００５】なお、第１のクリーンルーム20a から取り
入れられて第２のクリーンルーム20b で吹き出す空気Ａ
に含まれる浮遊物は、クリーンブース10の濾材（図示せ
ず）により捕捉されることは勿論である。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、第２のクリ
ーンルーム20b に複数のクリーンブース10を設置すると
第１のクリーンルーム20a から第２のクリーンルーム20
b に送り込まれる空気量が多くなって、第１のクリーン
ルーム20a の天井に設置したフィルター22からのクリー
ンな空気Ａの供給が不足し、この第１のクリーンルーム
20a の気圧が還流路24より負圧となる。

【０００７】このような状態においては、第１及び第２
のクリーンルーム20a,20b の床、例えば、縦寸法６０ｃ
ｍ、横寸法６０ｃｍのアルミニウム製で複数の開孔23a
を点在させて形成されてモザイク状に嵌脱自在に組み合
わせることのできるフリーアクセス23' を支柱26に支持
させた状態で敷き詰めて構成した床23の直下に設けられ
て、この開孔23a から抜けた空気Ａをダクト（図示せ
ず）を介して送風機（図示せず）に還流させる還流路24
から空気Ａが床23の開孔23a を通過して第１のクリーン
ルーム20a に流れ込み、第１のクリーンルーム20a のク
リーン度を低下させる問題があった。

【０００８】斯かる問題は、第１のクリーンルーム20a
の天井に設置するフィルター22の増設及び前述のダクト
の径を大きくするとともに前述の送風機を大型にしてそ
の送風能力を増強することにより解決することは可能で
ある。

【０００９】しかしながら、このような方策を実行する
には多額の設備費や工事費が必要となるとともに、上記
送風機を稼働するための電力費等のランニングコストが
嵩んで実用的ではなかった。

【００１０】このため、図４に示すように、一端を還流
路24に連通させるとともに、他端をクリーンブース10の
空気取入口10a に連通したバイパスダクト25を追設し、
このバイパスダクト25を介して還流路24から空気Ａを空
気取入口10a に取り入れることで如上の問題を解消して
いた。

【００１１】しかし、この方法は、第１のクリーンルー
ム20a のクリーン度が低下するいう問題は解消するもの
の、第１のクリーンルーム20a のスペース効率を低下さ
せたり、またバイパスダクト25に邪魔されてクリーンブ
ース10の保守作業が遣り難くなるという新たな問題を発
生させた。

【００１２】本発明は、このような問題を解消するため
になされたものであって、その目的はスペース効率が良
く、しかもクリーンブースの保守性を低下させることの
ないクリーンルームを提供することにある。

【００１３】なお、図４は、従来のクリーンルーム（そ
の２）の模式的な要部側断面図である。

【００１４】

【課題を解決するための手段】図１に示すように、前記
目的は、浮遊物を捕捉するフィルター22から吹き出した
空気が複数の開孔23a を点在させた床23を通過してこの
床下に設けた還流路24に抜ける室内を間仕切りしてなる
第１及び第２のクリーンルーム20a,20b とを有し、この
第１のクリーンルーム20a から取り入れた空気を第２の
クリーンルーム20b 側に吹き出すクリーンブース10をこ
の第２のクリーンルーム20b に設置したクリーンルーム
において、背面側から取り入れた気体に含まれる浮遊物
を除去した後にこの気体を表面側から吹き出すフィルタ
ーユニット30が第１のクリーンルーム20a の床下に配設
されて、前記背面側を還流路24に連通させるとともに、
前記表面側を第１のクリーンルーム20a 内に連通させて
いることを特徴とするクリーンルームにより達成され
る。

【００１５】

【作用】本発明のクリーンルームは、背面側から取り入
れた気体に含まれる浮遊物を除去した後にこの気体を表
面側から吹き出すフィルターユニット30を第１のクリー
ンルーム20a の床下に配設し、この第１のクリーンルー
ム20a 内に浮遊物を除去された空気を送り込むようにし
ている。

【００１６】したがって、第２のクリーンルーム20b に
クリーンブース10を設置し、第１のクリーンルーム20a
から第２のクリーンルーム20b に大量の空気Ａが送り込
まれても、フィルターユニット30が第１のクリーンルー
ム20a にクリーンな空気Ａを供給するため、第１のクリ
ーンルーム20a のクリーン度の低下は回避される。

【００１７】また、本発明のクリーンルームは、図４に
より説明した従来のクリーンルームのようにバイパスダ
クト25がないからクリーンブース10の保守性も向上する
こととなる。

【００１８】

【実施例】以下、本発明の請求項１に係る一実施例のク
リーンルーム及び請求項２に係る一実施例のフィルター
ユニットについて図１及び図２を参照して説明する。

【００１９】図１は、本発明の請求項１に係る一実施例
のクリーンルームの模式的な要部側断面図、図２は、本
発明の請求項２に係る一実施例のフィルターユニットの
模式的な要部側断面図である。

【００２０】なお、本明細書においては、同一部品、同
一材料等に対しては全図をとおして同じ符号を付与して
ある。図１に示すように本発明の請求項１に係る一実施
例のクリーンルームは、図３により説明した従来のクリ
ーンルームの第１のクリーンルーム20a の床下の還流路
24に、フィルターユニット30を配設して構成したもので
ある。

【００２１】このフィルターユニット30は、その背面
側、すなわち、還流路24から空気Ａを取り入れてその中
に含まれる浮遊物を捕捉した後に、この空気Ａを表面
側、すなわち、第１のクリーンルーム20a に吹き出すよ
うな状態で還流路24に配設されている。

【００２２】したがって、本発明の請求項１に係る一実
施例のクリーンルームの第２のクリーンルーム20b にク
リーンブース10を設置し、第１のクリーンルーム20a か
ら第２のクリーンルーム20b に大量の空気Ａが送り込ま
れても、フィルターユニット30が第１のクリーンルーム
20a にクリーンな空気Ａを供給するため、第１のクリー
ンルーム20a のクリーン度の低下は回避されることとな
る。

【００２３】また、このクリーンルームは、図４により
説明した従来のクリーンルームのようにバイパスダクト
25が全くないからクリーンブース10の保守性の向上、す
なわち、クリーンブース10の状態をチェックする点検作
業や故障したクリーンブース10の修理作業が遣りやすく
なることとなる。

【００２４】次に、本発明の請求項２に係る一実施例の
フィルターユニットについて図２を参照して説明する。
図２に示す如く本発明の請求項２に係る一実施例のフィ
ルターユニット40は、硬質で発塵量が極めて少ない素
材、例えば、塩化ビニール製で複数の開孔41a を点在さ
せて支柱26により支持されるパンチング板41と、このパ
ンチング板41の平らな一面である背面側に固定されて開
孔41a の全てを被覆し、この開孔41a を通り抜ける気体
に含まれる浮遊物を捕捉する紙状で波形をした濾材42
と、この濾材42の背面側で気体を加圧し、この気体を濾
材42とパンチング板41の開孔41a とをこの順に通過させ
る気体加圧手段、例えば、モータ43a の回転軸の周面に
羽根43b を固定してなる軸流ファン43とを含ませて構成
したものである。

【００２５】したがって、このフィルターユニット40の
パンチング板41を図３を参照して説明した従来のクリー
ンルーム( その１）の床23を構成するフリーアクセス2
3' と同一の寸法で形成し、そして、この床23を構成す
るフリーアクセス23' を１枚若しくは複数枚を撤去し、
その撤去跡に本発明の一実施例のフィルターユニットを
嵌め込むことにより図１を参照して説明した本発明の請
求項１に係る一実施例のクリーンルームと同様な性能を
備えたクリーンルームを容易に構成することができるこ
ととなる。

【００２６】また、本発明の請求項１に係る一実施例の
クリーンルームの第１のクリーンルーム20a に配設した
フィルターユニット30として、本発明の請求項２に係る
一実施例のフィルターユニット40を使用することも当然
可能である。

【００２７】さらに、フィルターユニット40の濾材42と
直列に分子吸着剤を装着し、この濾材42で捕捉できない
分子レベルの物質を吸着して除去できるようにフィルタ
ーユニット40の改変も可能である。

【００２８】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、室内にク
リーンブースを設置してもスペース効率が良く、しかも
クリーンブースの保守性を低下させることのないクリー
ンルームを提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】は、本発明の請求項１に係る一実施例のクリー
ンルームの模式的な要部側断面図、

【図２】は、本発明の請求項２に係る一実施例のフィル
ターユニットの模式的な要部側断面図、

【図３】は、従来のクリーンルーム（その１）の模式的
な要部側断面図、

【図４】は、従来のクリーンルーム（その２）の模式的
な要部側断面図である。

【符号の説明】

10はクリーンブース、 10a は、空気取入口、 20a は、第１のクリーンルーム、 20b は、第２のクリーンルーム、 21は、仕切り部材、 22は、フィルター、 23は、床、 23' は、フリーアクセス、 23a は、開孔、 24は、還流路、 25は、バイパスダクト、 30、40は、フィルターユニット、 41は、パンチング板、 41a は、開孔、 42は、濾材、 43は、軸流ファン (気体加圧手段）、 43a は、モータ、 43b は、羽根をそれぞれ示す。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−161739（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−140917（ＪＰ，Ｕ) 実開 平２−75115（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) F24F 7/04 - 7/06

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 浮遊物を捕捉するフィルターから吹き出
   した空気が複数の開孔を点在させた床を通過してこの床
   下に設けた還流路に抜ける室内を間仕切りしてなる第１
   及び第２のクリーンルームとを有し、この第１のクリー
   ンルームから取り入れた空気を第２のクリーンルーム側
   に吹き出すクリーンブースをこの第２のクリーンルーム
   に設置したクリーンルームにおいて、 背面側から取り入れた気体に含まれる浮遊物を除去した
   後にこの気体を表面側から吹き出すフィルターユニット
   が前記第１のクリーンルームの床下に配設されて、前記
   背面側を前記還流路に連通させるとともに、前記表面側
   を前記第１のクリーンルーム内に連通させていることを
   特徴とするクリーンルーム。
2. 【請求項２】 前記フィルターユニットは、複数の開孔
   を点在させた平板と、前記平板の背面側に固定されて前
   記開孔の全てを被覆し、この開孔を通り抜ける気体に含
   まれる浮遊物を捕捉する紙状をした濾材と、前記濾材の
   背面側で気体を加圧し、この気体を濾材と前記開孔とを
   この順序で通過させる気体加圧手段とを含んでなること
   を特徴とする請求項１記載のクリーンルーム。