JP3491242B2 - クリーンルームにおける空気処理装置 - Google Patents
クリーンルームにおける空気処理装置Info
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- JP3491242B2 JP3491242B2 JP16059595A JP16059595A JP3491242B2 JP 3491242 B2 JP3491242 B2 JP 3491242B2 JP 16059595 A JP16059595 A JP 16059595A JP 16059595 A JP16059595 A JP 16059595A JP 3491242 B2 JP3491242 B2 JP 3491242B2
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- Japan
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- clean room
- filter
- coil unit
- air
- filter coil
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- Air Filters, Heat-Exchange Apparatuses, And Housings Of Air-Conditioning Units (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルーム内で発
生するガス状物質及び熱を処理するための空気処理装置
に関する。 【０００２】 【従来の技術】次世代のより高度な清浄度が要求される
クリーンルームにおいては、希薄なガス状物質までをも
除去するフィルタが必要であり、その主な濾材としてア
ルミなどの金属細繊維と活性炭を用いている。このガス
状物質除去フィルタを組み込んだクリーンルームの空気
浄化システムとして、幾つかの方式が考えられるが、一
般的には循環系統に前記フィルタを組み込むか、クリー
ンブースかクリーントンネルの様な局所化した空間の吸
気側に組み込んでいる。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の方式よりも、ガス状物質を発生する対象機器（例え
ば半導体製造装置）が特定できるならば、その対象機器
の直近でガスを除去することが最良である。それは、処
理風量が少なくて済むと同時に、対象ガスもクリーンル
ームの雰囲気で希釈される前の比較的高い濃度で除去す
る方が効率が良いからである。 【０００４】一方、空調負荷としての対象機器の発熱の
点から考えると、半導体工場などで頻繁に行われる生産
ラインの変更、増設に対応して、冷房能力を補完するた
めの冷却コイルを循環系統に設置することが多いが、こ
の場合も前述のフィルタと同様の理由で、必要となった
時点で対象機器の直近で処理する方が最適である。 【０００５】本発明は、上記課題を解決するものであっ
て、処理風量が少なくて済むと同時にガス除去効率及び
冷却効率を高めることができるクリーンルームにおける
空気処理装置を提供することを目的とする。 【０００６】 【課題を解決するための手段】そのために、本発明のク
リーンルームにおける空気処理装置、フィルタコイルユ
ニットにより室内気流を天井面から床下へ流すように構
成したクリーンルームと、該クリーンルーム内に設置さ
れた対象機器と、構造部材上に支持され、多数の通気孔
が形成された床部材と、前記対象機器に近接して前記構
造部材に吊り下げられた、前記フィルタコイルユニット
とは別のフィルタコイルユニットと、前記各フィルタコ
イルユニット内に設けられたガス状物質除去フィルタ、
冷却コイル及びファンとを備えたことを特徴とする。 【０００７】 【作用及び発明の効果】本発明においては、クリーンル
ーム１内に設置された対象機器３から発生するガス状物
質及び熱を、対象機器３の直近に設けたフィルタコイル
ユニットＦＣＵで除去するため、処理風量が少なくて済
むと同時に、対象ガスもクリーンルーム１の雰囲気で希
釈される前の比較的高い濃度及び温度で除去及び冷却す
ることができ除去効率及び冷却効率を高めることができ
る。また、必要な場所に必要な時点でフィルタコイルユ
ニットＦＣＵを設置することにより、生産ラインの変
更、増設にフレキシブルに対応することができると共に
コストダウンを図ることができる。 【０００８】 【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説
明する。図１は、本発明のクリーンルームにおける空気
処理装置の１実施例を示す模式的断面図である。図中、
Ａはガス状物質除去フィルタ、Ｂはファン、Ｃは冷却コ
イル、ＦＣＵはフィルタコイルユニットを示している。 【０００９】超清浄な作業空間となるクリーンルーム１
の両側に隣接して、サービスゾーン２が設置されてお
り、クリーンルーム１とサービスゾーン２に跨って半導
体製造装置等の対象機器３が設置されている。クリーン
ルーム１の上部には、ＨＥＰＡフィルタ４を介して給気
チャンバー５が形成され、給気チャンバー５とサービス
ゾーン２の間にガス状物質除去フィルタＡ及びファンＢ
が配設されている。また、クリーンルーム１内に供給さ
れる外気は、外気処理用のガス状物質除去フィルタＡ及
びファンＢを経て清浄化される構成となっている。 【００１０】クリーンルーム１の床には、多数の通気孔
６が形成された床部材７が設けられ、この床部材７は梁
又は根太からなる構造部材８上に下地材９を介して敷
設、支持され、床部材７の下部には還気チャンバー１０
が形成されている。対象機器３に近接して構造部材８の
下部には、サービスゾーン２のフィルタコイルユニット
ＦＣＵとは別のフィルタコイルユニットＦＣＵが吊り部
材１１により固定されている。吊り部材１１の中間に
は、ゴム等の防振部材１２が設けられ、ファンＢの振動
が対象機器３に伝わらないようにしている。また、サー
ビスゾーン２には、対象機器３のから発生する特殊ガス
や熱を除去、冷却するためにフィルタコイルユニットＦ
ＣＵが設置されている。 【００１１】上記構成からなる本発明の作用について説
明する。クリーンルーム１は、室内気流が天井面から床
下へ流れる垂直一様流であり、クリーンルーム１内にお
いては、対象機器３から特殊ガスや熱が発生し、また、
壁面等の建材から有機ガスが発生する。クリーンルーム
１の大部分の空気は、床部材７の通気孔６を通って還気
チャンバー１０に入り、再び通気孔６を通ってサービス
ゾーン２に入り、フィルタコイルユニットＦＣＵのガス
状物質除去フィルタＡを通過するとき、ガス状物質が除
去され清浄な空気となってクリーンルーム１内に供給さ
れる。 【００１２】本発明においては、上記作用に加えて対象
機器３から発生する特殊ガスを、対象機器３に近接して
設けたフィルタコイルユニットＦＣＵで除去するため、
処理風量が少なくて済むと同時に、対象ガスもクリーン
ルーム１の雰囲気で希釈される前の比較的高い濃度で除
去することができ効率が良い。また、対象機器３の発熱
も、対象機器３に近接して設けたフィルタコイルユニッ
トＦＣＵで冷却処理するため、処理風量が少なくて済む
と同時に、冷却効率が良くなる。通気孔６における空気
の通過速度は、通常のクリーンルームにおける通過速度
（通気孔６の開口率５０％の場合で０．８ｍ／ｓｅｃ程
度）より１〜２割程度早めとし、フィルタコイルユニッ
トＦＣＵ周辺の空気を積極的に誘引しつつも、クリーン
ルーム１の床面上５００ｍｍ程度より上の空間で垂直な
気流を乱さない風速に設定する。 【００１３】また、サービスゾーン２の対象機器３の後
部あるいは付帯機器から特殊ガスや熱の発生がある場合
には、その空間の気流方向に準じて同様の方法でフィル
タコイルユニットＦＣＵを設置し、同様にガスの除去、
冷却を効率良く行うことができる。
生するガス状物質及び熱を処理するための空気処理装置
に関する。 【０００２】 【従来の技術】次世代のより高度な清浄度が要求される
クリーンルームにおいては、希薄なガス状物質までをも
除去するフィルタが必要であり、その主な濾材としてア
ルミなどの金属細繊維と活性炭を用いている。このガス
状物質除去フィルタを組み込んだクリーンルームの空気
浄化システムとして、幾つかの方式が考えられるが、一
般的には循環系統に前記フィルタを組み込むか、クリー
ンブースかクリーントンネルの様な局所化した空間の吸
気側に組み込んでいる。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の方式よりも、ガス状物質を発生する対象機器（例え
ば半導体製造装置）が特定できるならば、その対象機器
の直近でガスを除去することが最良である。それは、処
理風量が少なくて済むと同時に、対象ガスもクリーンル
ームの雰囲気で希釈される前の比較的高い濃度で除去す
る方が効率が良いからである。 【０００４】一方、空調負荷としての対象機器の発熱の
点から考えると、半導体工場などで頻繁に行われる生産
ラインの変更、増設に対応して、冷房能力を補完するた
めの冷却コイルを循環系統に設置することが多いが、こ
の場合も前述のフィルタと同様の理由で、必要となった
時点で対象機器の直近で処理する方が最適である。 【０００５】本発明は、上記課題を解決するものであっ
て、処理風量が少なくて済むと同時にガス除去効率及び
冷却効率を高めることができるクリーンルームにおける
空気処理装置を提供することを目的とする。 【０００６】 【課題を解決するための手段】そのために、本発明のク
リーンルームにおける空気処理装置、フィルタコイルユ
ニットにより室内気流を天井面から床下へ流すように構
成したクリーンルームと、該クリーンルーム内に設置さ
れた対象機器と、構造部材上に支持され、多数の通気孔
が形成された床部材と、前記対象機器に近接して前記構
造部材に吊り下げられた、前記フィルタコイルユニット
とは別のフィルタコイルユニットと、前記各フィルタコ
イルユニット内に設けられたガス状物質除去フィルタ、
冷却コイル及びファンとを備えたことを特徴とする。 【０００７】 【作用及び発明の効果】本発明においては、クリーンル
ーム１内に設置された対象機器３から発生するガス状物
質及び熱を、対象機器３の直近に設けたフィルタコイル
ユニットＦＣＵで除去するため、処理風量が少なくて済
むと同時に、対象ガスもクリーンルーム１の雰囲気で希
釈される前の比較的高い濃度及び温度で除去及び冷却す
ることができ除去効率及び冷却効率を高めることができ
る。また、必要な場所に必要な時点でフィルタコイルユ
ニットＦＣＵを設置することにより、生産ラインの変
更、増設にフレキシブルに対応することができると共に
コストダウンを図ることができる。 【０００８】 【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説
明する。図１は、本発明のクリーンルームにおける空気
処理装置の１実施例を示す模式的断面図である。図中、
Ａはガス状物質除去フィルタ、Ｂはファン、Ｃは冷却コ
イル、ＦＣＵはフィルタコイルユニットを示している。 【０００９】超清浄な作業空間となるクリーンルーム１
の両側に隣接して、サービスゾーン２が設置されてお
り、クリーンルーム１とサービスゾーン２に跨って半導
体製造装置等の対象機器３が設置されている。クリーン
ルーム１の上部には、ＨＥＰＡフィルタ４を介して給気
チャンバー５が形成され、給気チャンバー５とサービス
ゾーン２の間にガス状物質除去フィルタＡ及びファンＢ
が配設されている。また、クリーンルーム１内に供給さ
れる外気は、外気処理用のガス状物質除去フィルタＡ及
びファンＢを経て清浄化される構成となっている。 【００１０】クリーンルーム１の床には、多数の通気孔
６が形成された床部材７が設けられ、この床部材７は梁
又は根太からなる構造部材８上に下地材９を介して敷
設、支持され、床部材７の下部には還気チャンバー１０
が形成されている。対象機器３に近接して構造部材８の
下部には、サービスゾーン２のフィルタコイルユニット
ＦＣＵとは別のフィルタコイルユニットＦＣＵが吊り部
材１１により固定されている。吊り部材１１の中間に
は、ゴム等の防振部材１２が設けられ、ファンＢの振動
が対象機器３に伝わらないようにしている。また、サー
ビスゾーン２には、対象機器３のから発生する特殊ガス
や熱を除去、冷却するためにフィルタコイルユニットＦ
ＣＵが設置されている。 【００１１】上記構成からなる本発明の作用について説
明する。クリーンルーム１は、室内気流が天井面から床
下へ流れる垂直一様流であり、クリーンルーム１内にお
いては、対象機器３から特殊ガスや熱が発生し、また、
壁面等の建材から有機ガスが発生する。クリーンルーム
１の大部分の空気は、床部材７の通気孔６を通って還気
チャンバー１０に入り、再び通気孔６を通ってサービス
ゾーン２に入り、フィルタコイルユニットＦＣＵのガス
状物質除去フィルタＡを通過するとき、ガス状物質が除
去され清浄な空気となってクリーンルーム１内に供給さ
れる。 【００１２】本発明においては、上記作用に加えて対象
機器３から発生する特殊ガスを、対象機器３に近接して
設けたフィルタコイルユニットＦＣＵで除去するため、
処理風量が少なくて済むと同時に、対象ガスもクリーン
ルーム１の雰囲気で希釈される前の比較的高い濃度で除
去することができ効率が良い。また、対象機器３の発熱
も、対象機器３に近接して設けたフィルタコイルユニッ
トＦＣＵで冷却処理するため、処理風量が少なくて済む
と同時に、冷却効率が良くなる。通気孔６における空気
の通過速度は、通常のクリーンルームにおける通過速度
（通気孔６の開口率５０％の場合で０．８ｍ／ｓｅｃ程
度）より１〜２割程度早めとし、フィルタコイルユニッ
トＦＣＵ周辺の空気を積極的に誘引しつつも、クリーン
ルーム１の床面上５００ｍｍ程度より上の空間で垂直な
気流を乱さない風速に設定する。 【００１３】また、サービスゾーン２の対象機器３の後
部あるいは付帯機器から特殊ガスや熱の発生がある場合
には、その空間の気流方向に準じて同様の方法でフィル
タコイルユニットＦＣＵを設置し、同様にガスの除去、
冷却を効率良く行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のクリーンルームにおける空気処理装置
の１実施例を示す模式的断面図である。 【符号の説明】 Ａ…ガス状物質除去フィルタ、Ｂ…ファン、Ｃ…冷却コ
イル ＦＣＵ…フィルタコイルユニット、１…クリーンルー
ム、２…サービスゾーン ３…対象機器、４…ＨＥＰＡフィルタ、５…給気チャン
バー、６…通気孔 ７…床部材、８…構造部材、９…下地材、１０…還気チ
ャンバー １１…吊り部材、１２…防振部材
の１実施例を示す模式的断面図である。 【符号の説明】 Ａ…ガス状物質除去フィルタ、Ｂ…ファン、Ｃ…冷却コ
イル ＦＣＵ…フィルタコイルユニット、１…クリーンルー
ム、２…サービスゾーン ３…対象機器、４…ＨＥＰＡフィルタ、５…給気チャン
バー、６…通気孔 ７…床部材、８…構造部材、９…下地材、１０…還気チ
ャンバー １１…吊り部材、１２…防振部材
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 露木茂和
東京都港区芝浦一丁目２番３号 清水建
設株式会社内
(72)発明者 関口 猛
東京都港区芝浦一丁目２番３号 清水建
設株式会社内
(56)参考文献 特開 平５−312369（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−309736（ＪＰ，Ａ)
実開 平２−16937（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭62−6631（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
F24F 7/04 - 7/06
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】フィルタコイルユニットにより室内気流を
天井面から床下へ流すように構成したクリーンルーム
と、該クリーンルーム内に設置された対象機器と、構造
部材上に支持され、多数の通気孔が形成された床部材
と、前記対象機器に近接して前記構造部材に吊り下げら
れた、前記フィルタコイルユニットとは別のフィルタコ
イルユニットと、前記各フィルタコイルユニット内に設
けられたガス状物質除去フィルタ、冷却コイル及びファ
ンとを備えたことを特徴とするクリーンルームにおける
空気処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16059595A JP3491242B2 (ja) | 1995-06-27 | 1995-06-27 | クリーンルームにおける空気処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16059595A JP3491242B2 (ja) | 1995-06-27 | 1995-06-27 | クリーンルームにおける空気処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0914713A JPH0914713A (ja) | 1997-01-17 |
| JP3491242B2 true JP3491242B2 (ja) | 2004-01-26 |
Family
ID=15718353
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16059595A Expired - Lifetime JP3491242B2 (ja) | 1995-06-27 | 1995-06-27 | クリーンルームにおける空気処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3491242B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3092705B2 (ja) * | 1998-06-25 | 2000-09-25 | 日本電気株式会社 | 空調装置 |
| JP4660816B2 (ja) * | 2005-04-12 | 2011-03-30 | 清水建設株式会社 | クリーンルームにおける空気清浄化システム |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS626631U (ja) * | 1985-06-26 | 1987-01-16 | ||
| JPH0648256Y2 (ja) * | 1988-07-19 | 1994-12-12 | 高砂熱学工業株式会社 | クリーンルーム |
| JPH04309736A (ja) * | 1991-04-05 | 1992-11-02 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | クリーンルームの床ユニット |
| JPH05312369A (ja) * | 1992-05-08 | 1993-11-22 | Nec Corp | クリーンルーム床パネル |
-
1995
- 1995-06-27 JP JP16059595A patent/JP3491242B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0914713A (ja) | 1997-01-17 |
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Legal Events
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121114 Year of fee payment: 9 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
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