JP2004218898A - クリーンルーム及びクリーンルームの気流循環方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】狭い床下エリアであっても、気流による塵埃の巻き上げを抑えられるクリーンルーム及びクリーンルームの室内循環方法を提供する。
【解決手段】下部に空間を有するグレーチング床20と、当該床上面に設けられ間仕切り11により仕切られたベイエリア及びメンテナンスエリアと、天井部に給気ダクトとを有するクリーンルーム1。前記ベイエリアは、床面以外を間仕切り11で覆われており、天井部には、インバータ22により風量制御されるファンフィルタユニット10(FFU10)を備える。また、前記インバータ22に検知データを送る風速センサ18は、グレーチング床20の下部の空間である床下エリアに備えられることを特徴とする。
【選択図】 図1
【解決手段】下部に空間を有するグレーチング床20と、当該床上面に設けられ間仕切り11により仕切られたベイエリア及びメンテナンスエリアと、天井部に給気ダクトとを有するクリーンルーム1。前記ベイエリアは、床面以外を間仕切り11で覆われており、天井部には、インバータ22により風量制御されるファンフィルタユニット10(FFU10)を備える。また、前記インバータ22に検知データを送る風速センサ18は、グレーチング床20の下部の空間である床下エリアに備えられることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンルーム及びクリーンルームの室内循環方法に係り、特に半導体などの製造分野で用いられるクリーンルーム及びクリーンルームの室内循環方法である。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体製造などに用いられるクリーンルームは、基本的構成として、処理対象物を処理するベイエリア、機器操作等が行われるメンテナンスエリア、空気の循環が行われるレタンエリアの3つのエリアを有していた。また、前記空間は夫々間仕切りされており、ベイエリア及びレタンエリアは、夫々空調の制御を可能としていた。このような構成のクリーンルームに類似するものが、特許文献1に挙げられている。
【0003】
このクリーンルームは、処理対象物を処理するための機器本体を設置するエリアと、処理対象物が前記機器本体にロード又はアンロードされるエリアと、前記機器に対する操作が行われるエリアとを有し、間仕切りにより仕切られている。前記3つのエリアは夫々独立して空調可能としている。また、上記構成のクリーンルームは空調の一部を循環式としている。さらに、前記クリーンルーム内の気圧を清浄度が必要とされるエリアほど高くなるようにしている。
【0004】
この特許文献1に記載されているクリーンルームは、まず、クリーンルーム内の空調を循環式としたことにより、清浄化された空気を循環させるため、ケミカルフィルタ等のフィルタ類にかかる負担を軽減できる。このため、フィルタの寿命が長くなり、フィルタのランニングコストが安くなり経済的である。また、清浄度を要するエリアほど内部気圧が高くなるようにしているため、清浄度が低いエリアで発生した塵埃等が、処理対象物搬送時に高い清浄度を要するエリアに入り込むことがない。
【0005】
【特許文献1】
特開2002−147811号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、特許文献1に記載されるクリーンルームは、床下エリアを広く多層として空気の循環、排気を行っているため、近年のウェーハの大口径化と共に、大型化してきている処理装置を収容するには、床下エリアを狭めなければならない。このため、十分な床下エリアを確保するためには、クリーンルームの建屋を改修する必要が生じる。また、各エリアごとの空調制御を行うためクリーンルーム自体のランニングコストがかかるという問題があった。
【0007】
本発明では、上記問題を解決し、狭い床下エリアであっても処理装置の運転を可能とし、建屋を改修せずとも大型処理装置を内装可能とする。つまり、装置設置空間は広く、床下エリアは狭くすることが可能であり、十分な清浄空間を維持でき、かつクリーンルーム自体のランニングコストを抑え、経済的なクリーンルーム及びクリーンルームの室内循環方法を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係るクリーンルームは、天井側にファンフィルタユニットを備え気流をダウンフローで形成するベイエリアと、気流をアップフローで形成するメンテナンスエリア、並びに前記ベイエリアから排出される空気をメンテナンスエリア側に導入接続する床下エリアを備えてなり、前記床下エリアにはベイエリア側からメンテナンスエリア側に流れる気流の流速を計測するセンサを設け、当該センサにより計測された流速が設定された流速範囲内となるように前記ファンフィルタユニットの風量を制御する制御手段を設けたことを特徴とする。また、前記流速範囲は0.6m/s〜1.0m/sとするようにすると良い。さらに、前記床下エリアには塵埃吸着体を敷設するようにすると良く、前記塵埃吸着体は表面に凹凸が付された抵抗体とすることができる。
【0009】
また、本発明に係るクリーンルームの気流循環方法は、クリーンルームのベイエリア内の気流をダウンフローとして床下エリアに排出させ、前記ベイエリアに隣接するメンテナンスエリアに床下エリアから空気を導入してアップフローを形成し、前記ベイエリアの天井側に導入する空気循環経路を設け、前記床下エリア内のベイエリア側からメンテナンスエリア側に流れる気流の流速を計測してこの流速が0.6m/s〜1.0m/sとなるように前記ベイエリアへの吹出し風量を制御することを特徴とする。
【0010】
【作用】
上記構成のクリーンルームにおいては、制御手段による風量制御が可能なファンフィルタユニットをベイエリア天井部に、気流の流速を計測するセンサを床下エリアに設け、計測値が流速範囲内となるようにファンフィルタユニットを制御するようにしたことにより、床下エリアを流れる気流が塵埃除去に適した速度で維持される。
【0011】
また、気流の流速範囲を0.6m/s〜1.0m/sとするようにしたことにより、アップフローに含まれる塵埃量を最小とすることができる。
また、床下エリアの床面に塵埃吸着体、特に凹凸の抵抗体を敷設することにより、前記ダウンフローによって流入した塵埃を含む気流が前記抵抗体に当たり、塵埃を吸着させる。
【0012】
また、上記クリーンルームの気流循環方法においては、クリーンルームのベイエリア内の気流をダウンフローとして床下エリアに排出させ、前記ベイエリアに隣接するメンテナンスエリアに床下エリアから空気を導入してアップフローを形成し、前記ベイエリアの天井側に導入する空気循環経路を設け、前記床下エリア内の気流速度を計測してこの流速が0.6m/s〜1.0m/sとなるように前記ベイエリアへの吹出し風量を制御するようにしたことにより、クリーンルームの気流循環時のアップフローにより、巻き上げられる塵埃量を最小値に保ちつつ気流の循環を行うことができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下に本発明に係る実施の形態を図面に従って説明する。図1は、本発明に係るクリーンルームの実施形態を示した図である。
図1のクリーンルームは主に、半導体製造等の処理を行うベイエリアと、半導体処理装置を備え、当該装置の操作を行うメンテナンスエリアと、前記両エリアの実質的床面となり、両エリアを支え、作業者が往来するグレーチング材のグレーチング床20と前記グレーチング床の下部に位置して、空気の通路となる床下エリアとからなる。前記ベイエリアとメンテナンスエリアとは、グレーチング床20の上面において、間仕切り11により隔たれている。また、両エリアの配置は、間仕切り11によりベイエリアを覆うようにメンテナンスエリアが設けられている。
【0014】
前記グレーチング床20は、多孔板と同様の効果を担い、グレーチング材の隙間を通過可能なものであれば送通自在である。このため、ベイエリアと床下エリア、メンテナンスエリアと床下エリアは、互いにグレーチング床20を介して連通している。つまり、実質的に、ベイエリアとメンテナンスエリアとは、床下エリアを介して連通している。
【0015】
また、上記3つのエリアを有するクリーンルーム1の天井付近には、外部空気をメンテナンスエリア内に供給する給気ダクト12が備えられる。当該給気ダクト12は、前記クリーンルーム1の外部に備えられる空調機14に接続される。当該空調機14は、メンテナンスエリア内に直接外部空気を送るため、外部空気の塵埃を取除き、当該空気の調温を行った後に前記給気ダクト12へ送風する。
【0016】
前記ベイエリアとメンテナンスエリアとを隔てる間仕切りの天井部分には、空気中の塵埃を除去しつつベイエリア内に空気を送り、ダウンフローを発生させる、ファンフィルタユニット10(以下、FFU10)が備えられる。前記FFU10を通過してベイエリアへ供給される空気はJISクラス3の清浄度である。しかし、FFU10はベイエリアの天井全面に配置しない場合は、ベイエリア内の環境は、JISクラス5〜6程度となるが、クリーンルーム1内の空気を循環させることにより清浄度は増す。
【0017】
前記床下エリアには、前記FFU10により発生させられたダウンフローが床下エリアをベイエリア側からメンテナンスエリア側に向けて通過する際の、水平方向の風速を測定するための風速センサ18が備えられる。床下エリア内の取付け位置としては、間仕切り11の直下位置が好ましい。
【0018】
また、前記FFU10及び風速センサ18は、クリーンルーム1の外部に備えられた制御手段であるインバータ22に接続される。当該インバータ22は、風速センサ18が検知したデータを基に、FFU10へ運転信号を送り、FFU10の風量調整を行い、前記床下エリアを通過する空気の風速が規定値(0.6〜1.0m/s)となるように制御している。
【0019】
さらに、前記床下エリアの床面には、前記ダウンフローが床面に衝突した時に、ダウンフローに含まれる塵埃を効率良く吸着除去するための、抵抗体16が備えられる。前記抵抗体16は、表面に凹凸部を有する板であり、凹凸の形状は、矩形の凹凸を複数並べた、受風面積を広く取れるものが好ましく、材質はゴムや金属等のように、混合物質に揮発性を有するもの等でなければ特に限定はしない。
【0020】
上記構成のクリーンルーム1においては、外部より給気ダクト12を経て供給される空気と、メンテナンスエリア内の循環空気とが、混合されて前記FFU10に吸込まれる。FFU10に吸込まれた空気は、清浄度がJISクラス3程度となる程度に塵埃を除去され、ベイエリア内に供給される。しかし、FFU10はベイエリアの天井面全面に配置されてはいないので、ベイエリア内の清浄度はJISクラス5〜6程度である。前記ベイエリアの床面はグレーチング床20になっているため、供給された空気は、ダウンフローとなり、そのまま床下エリアに供給される。床下エリアに供給される空気は、ベイエリア内の清浄度となるため、JISクラス5〜6程度である。
【0021】
ベイエリアから床下エリアに供給された空気は、床下エリアの床面に当たる。このとき、床面に抵抗体16が備えられていると、空気は前記抵抗体16に当たり、当該空気内に残留する塵埃を抵抗体16に吸着させる。また、床下エリアに供給され、水平方向の流れとなった空気の流速は、前記風速センサ18により検知される。
【0022】
床下エリアに供給される空気の流れは、速すぎても、遅すぎても、残留する塵埃の吸着除去を効率的に行うのに適切でない。床下エリアを通過した気流は、メンテナンスエリアへグレーチング床20を通過して、アップフローとして供給される。このため、吸着除去されなかった塵埃はアップフローにより床下エリアからメンテナンスエリア内に巻き上げられてしまう可能性がある。
【0023】
このため、床下エリアに供給され水平方向の流れとなった空気の流速を、風速センサ18が検知する。検知した値は接続されたインバータ22に送られ、後述する規定値(0.6〜1.0m/s)内であるか否かを判別される。前記判別後インバータ22は、FFU10に風量の増加又は減少の運転信号を送ることにより、FFU10を制御して、風速センサ18の検知する値が規定値内に入るようにする。
【0024】
床下エリアからアップフローと共に、メンテナンスエリアに供給される塵埃量を、図2に示す塵埃測定点で、風速を変えて測定したところ、図3のような結果を得ることができた。図3によると、前記風速センサ18の検知する値(風速)が速過ぎても、遅過ぎてもメンテナンスエリアに巻き上げられる塵埃量は増加してしまう。これは、風速が遅い場合には、気流が床下エリアの床面にあまり当たらないため、抵抗体16への塵埃の吸着がなされないからである。また、風速が速い場合には、抵抗体16に付着させた塵埃を再び巻き上げてしまうといったことがあるためである。これを基に図3の測定値中で検討すると、メンテナンスエリアに巻き上げる塵埃量が最も少なくなる風速は、0.6〜1.0m/sの時であることがわかる。よって、インバータ22によって判定される規定値を0.6〜1.0m/sとする。
【0025】
上記規定値内の風速でメンテナンスエリア内に供給される清浄化された空気は、アップフローとしてメンテナンスエリアの上部にまで到達する。上部に到達した空気は、再び給気ダクト12から供給される空気と混合されてFFU10に吸込まれ、ベイエリア内に供給される。
【0026】
上記のようなクリーンルーム1において、床下エリアの床面に凹凸の抵抗体16を設けることにより、床下エリアに流れ込む気流に残留する塵埃の吸着除去を、効率良く行うことができる。また、前記抵抗体16への塵埃の吸着は、粒子のブラウン拡散、乱流拡散、重力、慣性力、静電気力、熱泳動力等が影響するため、常時一定環境を維持するクリーンルーム内において、塵埃吸着率は略一定となり好適である。さらに、除塵に際しランニングコストが掛からず経済的である。
【0027】
また、クリーンルーム1の室内循環方法において、FFU10の作動により発生するダウンフローを床下エリアの床面に当て、ダストを床面に吸着させることにより、床下エリア通過後にメンテナンスエリアに発生するアップフローにより巻き上げられる塵埃量を減らすことができる。よって、メンテナンスエリア内の清浄度の向上を図ることができる。
【0028】
メンテナンスエリア内の空気と給気ダクト12から供給される空気とをFFU10を介してベイエリア内に供給し、ダウンフローを発生させ、当該ダウンフローを床下エリアに送通した後、前記メンテナンスエリアにアップフローとして送り出す室内循環方法において、床下エリアで水平方向に流れる気流の風速を測定し、当該風速を基にインバータ22を介して前記FFU10の風量を制御し、床下エリアを水平方向に通過する風速を0.6m/s以上1.0m/s以下に制御するようにしたことにより、ダウンフローに残留する塵埃が、床下エリアの床面に設けられた抵抗体16に効率良く吸着し、除去され、気流により再び巻き上げられることがないため、メンテナンスエリアに供給する空気を清浄度が高いものにすることができる。
【0029】
本実施例において、インバータ22の設置位置をクリーンルーム1の外部としたが、これに限定するものではない。また、図1において抵抗体16は床面全面に設けられているが、ダウンフローが直接当たる範囲のみであっても良い。
【0030】
また、実施例においては、抵抗体16の形状を矩形が好ましいとしているが、受風面積を広く取ることができる三角錘等の形状としても良い。さらに、抵抗体16のかわりに、冷却コイルやフィルタ等を備えて、塵埃吸着体として用いても良い。
【0031】
【発明の効果】
天井側にファンフィルタユニットを備え気流をダウンフローで形成するベイエリアと、気流をアップフローで形成するメンテナンスエリア、並びに前記ベイエリアから排出される空気をメンテナンスエリア側に導入接続する床下エリアを備えてなり、前記床下エリアにはベイエリア側からメンテナンスエリア側に流れる気流の流速を計測するセンサを設け、当該センサにより計測された流速が設定された流速範囲内となるように前記ファンフィルタユニットの風量を制御する制御手段を設けたことにより、床下エリアを流れる気流の流速を流速範囲内に調節することができ、床下エリアを狭めた場合であっても、多量の塵埃を他のエリアに巻き上げることがなくなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るクリーンルームの概略図である。
【図2】クリーンルーム内のアップフローによる巻き上げ塵埃の測定点を示した図である。
【図3】床下エリアを通過する風速と塵埃測定点での塵埃量の関係を示した図である。
【符号の説明】
1………クリーンルーム、10………ファンフィルタユニット(FFU)、11………間仕切り、12………給気ダクト、14………空調機、16………抵抗体、18………風速センサ、20………グレーチング床、22………インバータ。
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンルーム及びクリーンルームの室内循環方法に係り、特に半導体などの製造分野で用いられるクリーンルーム及びクリーンルームの室内循環方法である。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体製造などに用いられるクリーンルームは、基本的構成として、処理対象物を処理するベイエリア、機器操作等が行われるメンテナンスエリア、空気の循環が行われるレタンエリアの3つのエリアを有していた。また、前記空間は夫々間仕切りされており、ベイエリア及びレタンエリアは、夫々空調の制御を可能としていた。このような構成のクリーンルームに類似するものが、特許文献1に挙げられている。
【0003】
このクリーンルームは、処理対象物を処理するための機器本体を設置するエリアと、処理対象物が前記機器本体にロード又はアンロードされるエリアと、前記機器に対する操作が行われるエリアとを有し、間仕切りにより仕切られている。前記3つのエリアは夫々独立して空調可能としている。また、上記構成のクリーンルームは空調の一部を循環式としている。さらに、前記クリーンルーム内の気圧を清浄度が必要とされるエリアほど高くなるようにしている。
【0004】
この特許文献1に記載されているクリーンルームは、まず、クリーンルーム内の空調を循環式としたことにより、清浄化された空気を循環させるため、ケミカルフィルタ等のフィルタ類にかかる負担を軽減できる。このため、フィルタの寿命が長くなり、フィルタのランニングコストが安くなり経済的である。また、清浄度を要するエリアほど内部気圧が高くなるようにしているため、清浄度が低いエリアで発生した塵埃等が、処理対象物搬送時に高い清浄度を要するエリアに入り込むことがない。
【0005】
【特許文献1】
特開2002−147811号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、特許文献1に記載されるクリーンルームは、床下エリアを広く多層として空気の循環、排気を行っているため、近年のウェーハの大口径化と共に、大型化してきている処理装置を収容するには、床下エリアを狭めなければならない。このため、十分な床下エリアを確保するためには、クリーンルームの建屋を改修する必要が生じる。また、各エリアごとの空調制御を行うためクリーンルーム自体のランニングコストがかかるという問題があった。
【0007】
本発明では、上記問題を解決し、狭い床下エリアであっても処理装置の運転を可能とし、建屋を改修せずとも大型処理装置を内装可能とする。つまり、装置設置空間は広く、床下エリアは狭くすることが可能であり、十分な清浄空間を維持でき、かつクリーンルーム自体のランニングコストを抑え、経済的なクリーンルーム及びクリーンルームの室内循環方法を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係るクリーンルームは、天井側にファンフィルタユニットを備え気流をダウンフローで形成するベイエリアと、気流をアップフローで形成するメンテナンスエリア、並びに前記ベイエリアから排出される空気をメンテナンスエリア側に導入接続する床下エリアを備えてなり、前記床下エリアにはベイエリア側からメンテナンスエリア側に流れる気流の流速を計測するセンサを設け、当該センサにより計測された流速が設定された流速範囲内となるように前記ファンフィルタユニットの風量を制御する制御手段を設けたことを特徴とする。また、前記流速範囲は0.6m/s〜1.0m/sとするようにすると良い。さらに、前記床下エリアには塵埃吸着体を敷設するようにすると良く、前記塵埃吸着体は表面に凹凸が付された抵抗体とすることができる。
【0009】
また、本発明に係るクリーンルームの気流循環方法は、クリーンルームのベイエリア内の気流をダウンフローとして床下エリアに排出させ、前記ベイエリアに隣接するメンテナンスエリアに床下エリアから空気を導入してアップフローを形成し、前記ベイエリアの天井側に導入する空気循環経路を設け、前記床下エリア内のベイエリア側からメンテナンスエリア側に流れる気流の流速を計測してこの流速が0.6m/s〜1.0m/sとなるように前記ベイエリアへの吹出し風量を制御することを特徴とする。
【0010】
【作用】
上記構成のクリーンルームにおいては、制御手段による風量制御が可能なファンフィルタユニットをベイエリア天井部に、気流の流速を計測するセンサを床下エリアに設け、計測値が流速範囲内となるようにファンフィルタユニットを制御するようにしたことにより、床下エリアを流れる気流が塵埃除去に適した速度で維持される。
【0011】
また、気流の流速範囲を0.6m/s〜1.0m/sとするようにしたことにより、アップフローに含まれる塵埃量を最小とすることができる。
また、床下エリアの床面に塵埃吸着体、特に凹凸の抵抗体を敷設することにより、前記ダウンフローによって流入した塵埃を含む気流が前記抵抗体に当たり、塵埃を吸着させる。
【0012】
また、上記クリーンルームの気流循環方法においては、クリーンルームのベイエリア内の気流をダウンフローとして床下エリアに排出させ、前記ベイエリアに隣接するメンテナンスエリアに床下エリアから空気を導入してアップフローを形成し、前記ベイエリアの天井側に導入する空気循環経路を設け、前記床下エリア内の気流速度を計測してこの流速が0.6m/s〜1.0m/sとなるように前記ベイエリアへの吹出し風量を制御するようにしたことにより、クリーンルームの気流循環時のアップフローにより、巻き上げられる塵埃量を最小値に保ちつつ気流の循環を行うことができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下に本発明に係る実施の形態を図面に従って説明する。図1は、本発明に係るクリーンルームの実施形態を示した図である。
図1のクリーンルームは主に、半導体製造等の処理を行うベイエリアと、半導体処理装置を備え、当該装置の操作を行うメンテナンスエリアと、前記両エリアの実質的床面となり、両エリアを支え、作業者が往来するグレーチング材のグレーチング床20と前記グレーチング床の下部に位置して、空気の通路となる床下エリアとからなる。前記ベイエリアとメンテナンスエリアとは、グレーチング床20の上面において、間仕切り11により隔たれている。また、両エリアの配置は、間仕切り11によりベイエリアを覆うようにメンテナンスエリアが設けられている。
【0014】
前記グレーチング床20は、多孔板と同様の効果を担い、グレーチング材の隙間を通過可能なものであれば送通自在である。このため、ベイエリアと床下エリア、メンテナンスエリアと床下エリアは、互いにグレーチング床20を介して連通している。つまり、実質的に、ベイエリアとメンテナンスエリアとは、床下エリアを介して連通している。
【0015】
また、上記3つのエリアを有するクリーンルーム1の天井付近には、外部空気をメンテナンスエリア内に供給する給気ダクト12が備えられる。当該給気ダクト12は、前記クリーンルーム1の外部に備えられる空調機14に接続される。当該空調機14は、メンテナンスエリア内に直接外部空気を送るため、外部空気の塵埃を取除き、当該空気の調温を行った後に前記給気ダクト12へ送風する。
【0016】
前記ベイエリアとメンテナンスエリアとを隔てる間仕切りの天井部分には、空気中の塵埃を除去しつつベイエリア内に空気を送り、ダウンフローを発生させる、ファンフィルタユニット10(以下、FFU10)が備えられる。前記FFU10を通過してベイエリアへ供給される空気はJISクラス3の清浄度である。しかし、FFU10はベイエリアの天井全面に配置しない場合は、ベイエリア内の環境は、JISクラス5〜6程度となるが、クリーンルーム1内の空気を循環させることにより清浄度は増す。
【0017】
前記床下エリアには、前記FFU10により発生させられたダウンフローが床下エリアをベイエリア側からメンテナンスエリア側に向けて通過する際の、水平方向の風速を測定するための風速センサ18が備えられる。床下エリア内の取付け位置としては、間仕切り11の直下位置が好ましい。
【0018】
また、前記FFU10及び風速センサ18は、クリーンルーム1の外部に備えられた制御手段であるインバータ22に接続される。当該インバータ22は、風速センサ18が検知したデータを基に、FFU10へ運転信号を送り、FFU10の風量調整を行い、前記床下エリアを通過する空気の風速が規定値(0.6〜1.0m/s)となるように制御している。
【0019】
さらに、前記床下エリアの床面には、前記ダウンフローが床面に衝突した時に、ダウンフローに含まれる塵埃を効率良く吸着除去するための、抵抗体16が備えられる。前記抵抗体16は、表面に凹凸部を有する板であり、凹凸の形状は、矩形の凹凸を複数並べた、受風面積を広く取れるものが好ましく、材質はゴムや金属等のように、混合物質に揮発性を有するもの等でなければ特に限定はしない。
【0020】
上記構成のクリーンルーム1においては、外部より給気ダクト12を経て供給される空気と、メンテナンスエリア内の循環空気とが、混合されて前記FFU10に吸込まれる。FFU10に吸込まれた空気は、清浄度がJISクラス3程度となる程度に塵埃を除去され、ベイエリア内に供給される。しかし、FFU10はベイエリアの天井面全面に配置されてはいないので、ベイエリア内の清浄度はJISクラス5〜6程度である。前記ベイエリアの床面はグレーチング床20になっているため、供給された空気は、ダウンフローとなり、そのまま床下エリアに供給される。床下エリアに供給される空気は、ベイエリア内の清浄度となるため、JISクラス5〜6程度である。
【0021】
ベイエリアから床下エリアに供給された空気は、床下エリアの床面に当たる。このとき、床面に抵抗体16が備えられていると、空気は前記抵抗体16に当たり、当該空気内に残留する塵埃を抵抗体16に吸着させる。また、床下エリアに供給され、水平方向の流れとなった空気の流速は、前記風速センサ18により検知される。
【0022】
床下エリアに供給される空気の流れは、速すぎても、遅すぎても、残留する塵埃の吸着除去を効率的に行うのに適切でない。床下エリアを通過した気流は、メンテナンスエリアへグレーチング床20を通過して、アップフローとして供給される。このため、吸着除去されなかった塵埃はアップフローにより床下エリアからメンテナンスエリア内に巻き上げられてしまう可能性がある。
【0023】
このため、床下エリアに供給され水平方向の流れとなった空気の流速を、風速センサ18が検知する。検知した値は接続されたインバータ22に送られ、後述する規定値(0.6〜1.0m/s)内であるか否かを判別される。前記判別後インバータ22は、FFU10に風量の増加又は減少の運転信号を送ることにより、FFU10を制御して、風速センサ18の検知する値が規定値内に入るようにする。
【0024】
床下エリアからアップフローと共に、メンテナンスエリアに供給される塵埃量を、図2に示す塵埃測定点で、風速を変えて測定したところ、図3のような結果を得ることができた。図3によると、前記風速センサ18の検知する値(風速)が速過ぎても、遅過ぎてもメンテナンスエリアに巻き上げられる塵埃量は増加してしまう。これは、風速が遅い場合には、気流が床下エリアの床面にあまり当たらないため、抵抗体16への塵埃の吸着がなされないからである。また、風速が速い場合には、抵抗体16に付着させた塵埃を再び巻き上げてしまうといったことがあるためである。これを基に図3の測定値中で検討すると、メンテナンスエリアに巻き上げる塵埃量が最も少なくなる風速は、0.6〜1.0m/sの時であることがわかる。よって、インバータ22によって判定される規定値を0.6〜1.0m/sとする。
【0025】
上記規定値内の風速でメンテナンスエリア内に供給される清浄化された空気は、アップフローとしてメンテナンスエリアの上部にまで到達する。上部に到達した空気は、再び給気ダクト12から供給される空気と混合されてFFU10に吸込まれ、ベイエリア内に供給される。
【0026】
上記のようなクリーンルーム1において、床下エリアの床面に凹凸の抵抗体16を設けることにより、床下エリアに流れ込む気流に残留する塵埃の吸着除去を、効率良く行うことができる。また、前記抵抗体16への塵埃の吸着は、粒子のブラウン拡散、乱流拡散、重力、慣性力、静電気力、熱泳動力等が影響するため、常時一定環境を維持するクリーンルーム内において、塵埃吸着率は略一定となり好適である。さらに、除塵に際しランニングコストが掛からず経済的である。
【0027】
また、クリーンルーム1の室内循環方法において、FFU10の作動により発生するダウンフローを床下エリアの床面に当て、ダストを床面に吸着させることにより、床下エリア通過後にメンテナンスエリアに発生するアップフローにより巻き上げられる塵埃量を減らすことができる。よって、メンテナンスエリア内の清浄度の向上を図ることができる。
【0028】
メンテナンスエリア内の空気と給気ダクト12から供給される空気とをFFU10を介してベイエリア内に供給し、ダウンフローを発生させ、当該ダウンフローを床下エリアに送通した後、前記メンテナンスエリアにアップフローとして送り出す室内循環方法において、床下エリアで水平方向に流れる気流の風速を測定し、当該風速を基にインバータ22を介して前記FFU10の風量を制御し、床下エリアを水平方向に通過する風速を0.6m/s以上1.0m/s以下に制御するようにしたことにより、ダウンフローに残留する塵埃が、床下エリアの床面に設けられた抵抗体16に効率良く吸着し、除去され、気流により再び巻き上げられることがないため、メンテナンスエリアに供給する空気を清浄度が高いものにすることができる。
【0029】
本実施例において、インバータ22の設置位置をクリーンルーム1の外部としたが、これに限定するものではない。また、図1において抵抗体16は床面全面に設けられているが、ダウンフローが直接当たる範囲のみであっても良い。
【0030】
また、実施例においては、抵抗体16の形状を矩形が好ましいとしているが、受風面積を広く取ることができる三角錘等の形状としても良い。さらに、抵抗体16のかわりに、冷却コイルやフィルタ等を備えて、塵埃吸着体として用いても良い。
【0031】
【発明の効果】
天井側にファンフィルタユニットを備え気流をダウンフローで形成するベイエリアと、気流をアップフローで形成するメンテナンスエリア、並びに前記ベイエリアから排出される空気をメンテナンスエリア側に導入接続する床下エリアを備えてなり、前記床下エリアにはベイエリア側からメンテナンスエリア側に流れる気流の流速を計測するセンサを設け、当該センサにより計測された流速が設定された流速範囲内となるように前記ファンフィルタユニットの風量を制御する制御手段を設けたことにより、床下エリアを流れる気流の流速を流速範囲内に調節することができ、床下エリアを狭めた場合であっても、多量の塵埃を他のエリアに巻き上げることがなくなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るクリーンルームの概略図である。
【図2】クリーンルーム内のアップフローによる巻き上げ塵埃の測定点を示した図である。
【図3】床下エリアを通過する風速と塵埃測定点での塵埃量の関係を示した図である。
【符号の説明】
1………クリーンルーム、10………ファンフィルタユニット(FFU)、11………間仕切り、12………給気ダクト、14………空調機、16………抵抗体、18………風速センサ、20………グレーチング床、22………インバータ。
Claims (5)
- 天井側にファンフィルタユニットを備え気流をダウンフローで形成するベイエリアと、気流をアップフローで形成するメンテナンスエリア、並びに前記ベイエリアから排出される空気をメンテナンスエリア側に導入接続する床下エリアを備えてなり、前記床下エリアにはベイエリア側からメンテナンスエリア側に流れる気流の流速を計測するセンサを設け、当該センサにより計測された流速が設定された流速範囲内となるように前記ファンフィルタユニットの風量を制御する制御手段を設けたことを特徴とするクリーンルーム。
- 前記流速範囲は0.6m/s〜1.0m/sとされていることを特徴とする請求項1に記載のクリーンルーム。
- 前記床下エリアには塵埃吸着体を敷設してなることを特徴とする請求項1に記載のクリーンルーム。
- 前記塵埃吸着体は表面に凹凸が付された抵抗体であることを特徴とする請求項3に記載のクリーンルーム。
- クリーンルームのベイエリア内の気流をダウンフローとして床下エリアに排出させ、前記ベイエリアに隣接するメンテナンスエリアに床下エリアから空気を導入してアップフローを形成し、前記ベイエリアの天井側に導入する空気循環経路を設け、前記床下エリア内のベイエリア側からメンテナンスエリア側に流れる気流の流速を計測してこの流速が0.6m/s〜1.0m/sとなるように前記ベイエリアへの吹出し風量を制御することを特徴とするクリーンルームの気流循環方法。
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JP2003005521A JP2004218898A (ja) | 2003-01-14 | 2003-01-14 | クリーンルーム及びクリーンルームの気流循環方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2003
- 2003-01-14 JP JP2003005521A patent/JP2004218898A/ja active Pending
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JP2006216894A (ja) * | 2005-02-07 | 2006-08-17 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP4515277B2 (ja) * | 2005-02-07 | 2010-07-28 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
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