CN111322692A - 无尘室净化系统 - Google Patents

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Abstract

提供能确保顶棚高度较高且在地震时也能防止顶棚材料落下的无尘室净化系统。无尘室净化系统(1)对设于建筑物内的无尘室(2)进行净化。无尘室净化系统(1)具备空调装置(10)；多孔扩散膜(20)，其设于无尘室(2)的内部；供气管道(30)，其从空调装置(10)的吹出口(12)到达多孔扩散膜(20)；以及回气管道(40)，其从无尘室(2)的地面(3)到达空调装置(10)的吸入口(11)。空调装置(10)具备箱体(13)、设于箱体(13)内的送风机(14)、设于箱体(13)内且调整温度和湿度的盘管(16)、以及设于箱体(13)内的中间过滤器(15)和HEPA过滤器(17)。驱动空调装置，将高清洁度空气经由供气管道(30)向多孔扩散膜(20)供给。

Description

无尘室净化系统
技术领域
本发明涉及一种用于净化在建筑物内设置的无尘室的无尘室净化系统。
背景技术
以往进行这样的操作：在无尘室内部设置铝制且格子状的顶棚(铝格栅顶棚)，将FFU(Fan Filter Unit：风机过滤器机组)支承于该顶棚地配置(参照专利文献1～3)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2009－293864号公报
专利文献2：日本特开2012－149787号公报
专利文献3：日本特开2012－202558号公报
发明内容
发明要解决的问题
在以往的无尘室中，由于需要在无尘室内部设置顶棚，因此存在无尘室的顶棚高度降低这样的问题。有可能因地震时的摆动导致顶棚材料落下。
本发明的目的在于提供一种能够确保顶棚高度较高且在地震时也能够防止顶棚材料落下的无尘室净化系统。
用于解决问题的方案
技术方案1所述的无尘室净化系统(例如后述的无尘室净化系统1、1B)对设于建筑物内的无尘室(例如后述的无尘室2、2B)进行净化，该无尘室净化系统的特征在于，该无尘室净化系统具备：空调装置(例如后述的空调装置10)；多孔扩散膜(例如后述的多孔扩散膜20、20B)，其设于所述无尘室的内部；供气管道(例如后述的供气管道30)，其从所述空调装置的吹出口(例如后述的吹出口12)到达所述多孔扩散膜；以及回气管道(例如后述的回气管道40、40B)，其从所述无尘室的地面(例如后述的地面3)到达所述空调装置的吸入口(例如后述的吸入口11)，所述空调装置具备箱体(例如后述的箱体13)、设于该箱体内的送风机(例如后述的送风机14)、设于所述箱体内且调整温度和湿度的盘管(例如后述的盘管16)、以及设于所述箱体内的过滤器(例如后述的中间过滤器15、HEPA过滤器17)，利用所述空调装置将通过了所述过滤器的高清洁度空气经由所述供气管道向所述多孔扩散膜供给。
多孔扩散膜是多孔性的膜，其使供给到内部的空气降低流速并使其慢慢地(一点点地)流出到外部而扩散。
根据本发明，通过使从多孔扩散膜流出的高清洁度的空气充满无尘室内，从而能够由高清洁度空气填满配置于无尘室内的生产设备的周围。
此外，由于不像以往那样在无尘室内部设置FFU，因此不必设置顶棚，不仅能够确保顶棚高度较高，而且变为较短的工期。此外，由于不设置顶棚，因此在地震时不会出现顶棚材料落下的情况。
技术方案2所述的无尘室净化系统的特征在于，所述无尘室(例如后述的无尘室2B)被分为标准区域(例如后述的标准区域4)和空气清洁度比该标准区域高的高清洁度区域(例如后述的高清洁度区域5)，所述多孔扩散膜设于该高清洁度区域的顶棚部分，在所述标准区域与所述高清洁度区域的交界设有使所述标准区域和所述高清洁度区域连通的连通口(例如后述的连通口7)。
即使是在高清洁度区域使用的空气，也满足标准区域所需要的空气清洁度。因此，根据本发明，通过使在该高清洁度区域使用的空气流入标准区域进行使用，从而能够高效地运行无尘室净化系统。
技术方案3所述的无尘室净化系统(例如后述的无尘室净化系统1A)对设于建筑物内的无尘室进行净化(例如后述的无尘室2)，该无尘室净化系统的特征在于，该无尘室净化系统具备：空调装置(例如后述的空调装置10)；多孔扩散膜(例如后述的多孔扩散膜20)，其设于所述无尘室的内部；供气管道(例如后述的供气管道30A)，其从所述空调装置的吹出口(例如后述的吹出口12)到达所述无尘室的内部；带风扇的干盘管单元(例如后述的FDC50)，其设于所述无尘室的内部，调整温度并且向所述多孔扩散膜输送空气；以及回气管道(例如后述的回气管道40A)，其从所述无尘室的地面(例如后述的地面3)到达所述带风扇的干盘管单元的吸入口(例如后述的吸入口51)，所述空调装置具备箱体(例如后述的箱体13)、设于该箱体内的送风机(例如后述的送风机14)、设于所述箱体内且调整温度和湿度的盘管(例如后述的盘管16)、以及设于所述箱体内的过滤器(例如后述的中间过滤器15、HEPA过滤器17)，利用所述空调装置将通过了所述过滤器的高清洁度空气经由所述供气管道向所述无尘室的内部供给。
多孔扩散膜是将多孔性的膜设为圆筒形状而成的，其使供给到内部的空气降低流速并慢慢地流出到外部而扩散。
根据本发明，通过使从多孔扩散膜流出的高清洁度的空气充满无尘室内，从而能够由高清洁度空气填满配置于无尘室内的生产设备的周围。
此外，由于不像以往那样在无尘室内部设置FFU，因此不必设置顶棚，不仅能够确保顶棚高度较高，而且变为较短的工期。此外，由于不设置顶棚，因此在地震时不会出现顶棚材料落下的情况。
技术方案4所述的无尘室净化系统的特征在于，从所述多孔扩散膜吹出的空气的流速(例如后述的流速v1)小于被向所述无尘室的地面吸入的空气的流速(例如后述的流速v2)。
根据本发明，由于使从多孔扩散膜吹出的空气的流速小于无尘室的地面吸入的空气的流速，因此能够形成顺畅的层流。
发明的效果
根据本发明，能够提供一种能确保顶棚高度较高且在地震时也能够防止顶棚材料落下的无尘室净化系统。
附图说明
图1是本发明的第1实施方式的无尘室净化系统的示意性的纵剖视图。
图2是本发明的第2实施方式的无尘室净化系统的示意性的纵剖视图。
图3是本发明的第3实施方式的无尘室净化系统的示意性的纵剖视图。
附图标记说明
1、1A、1B、无尘室净化系统；2、2B、无尘室；3、地面；4、标准区域；5、高清洁度区域；6、生产设备；7、连通口；8、分隔壁；10、空调装置；11、吸入口；12、吹出口；13、箱体；14、送风机；15、中间过滤器；16、盘管；17、HEPA过滤器；20、20B、20C、多孔扩散膜；21、吸收管道；30、30A、供气管道；40、40A、40B、40C、回气管道；50、FDC(带风扇的干盘管单元)；51、吸入口；52、吹出口。
具体实施方式
以下，根据附图来说明本发明的实施方式。另外，在以下的实施方式的说明中，对相同的构成要素标注相同的附图标记，省略或者简化其说明。
〔第1实施方式〕
图1是本发明的第1实施方式的无尘室净化系统1的示意性的纵剖视图。
无尘室净化系统1具有对设于建筑物内的无尘室2进行净化的功能。
在无尘室2的内部设置有未图示的生产设备。
无尘室净化系统1具备空调装置10、设于无尘室2内部的顶棚部分的多孔扩散膜20、从空调装置10的吹出口12到达多孔扩散膜20的供气管道30、以及从无尘室2到达空调装置10的吸入口11的回气管道40。
在无尘室2的地面3形成有多个开口，回气管道40从该地面3的地下空间延伸到空调装置10的吸入口11。
多孔扩散膜20是将多孔性的膜设为圆筒形状而成的，其使供给到内部的空气降低流速并使该空气慢慢地流出到外部而扩散。构成多孔扩散膜20的原材料是例如不产生污染物质的原材料。污染物质是指灰尘、有机物、离子等。此外，可以根据通风风量、无尘室所要求的清洁度适当选择该多孔扩散膜20的孔径、除尘性能。
空调装置10从自吸入口11吸入的空气除去灰尘，并且调整温度和湿度而从吹出口12吹出。该空调装置10具备：设有吸入口11和吹出口12的箱体13、设于箱体13内的未图示的隔振装置上的送风机14、设于箱体13内的送风机14的靠吹出口12侧的中间过滤器15、设于中间过滤器15的靠吹出口12侧且调整温度和湿度的盘管16、以及设于箱体13内的盘管16的靠吹出口12侧的HEPA过滤器17。
无尘室净化系统1如下地进行动作。即，利用空调装置10的送风机14将从回气管道40回收的空气(RA)、外部空气(OA)从吸入口11吸入并朝向吹出口12输送。该空气被中间过滤器15除去灰尘，由盘管16调整温度和湿度，之后被HEPA过滤器17除去更细小的灰尘，并经过吹出口12被向供气管道30供给。通过了供气管道30的空气(SA)从多孔扩散膜20慢慢地向无尘室2内流出。此外，无尘室2内的空气通过无尘室2的地面3的开口到达回气管道40，并通过回气管道40返回到空调装置10的吸入口11。
在此，从多孔扩散膜20向无尘室2吹出的空气的流速(v1)小于被向无尘室2的地面3吸入的空气的流速(v2)。
作为一个例子，通过改变设于地面3的开口的总面积，从而能够调整被向无尘室2的地面3吸入的空气的流速(v2)。例如，若减小地面3的开口的总面积，则空气的流速v2变快，若增大地面3的开口的总面积，则空气的流速v2变慢。
根据本实施方式，具有以下的效果。
(1)通过使从多孔扩散膜20流出的高清洁度的空气充满无尘室2内，从而能够由高清洁度空气填满配置于无尘室2内的生产设备的周围。
此外，由于像以往那样在无尘室内部不设置FFU，因此不必设置顶棚，不仅能够确保宽阔的空间，而且能够以较短的工期建造无尘室。此外，由于不设置顶棚，因此不会出现在地震时顶棚材料落下的情况。
(2)在使从多孔扩散膜20吹出的空气的流速v1小于无尘室2的地面3吸入的空气的流速v2的情况下，能够形成顺畅的层流。
〔第2实施方式〕
图2是本发明的第2实施方式的无尘室净化系统1A的示意性的纵剖视图。
无尘室净化系统1A具备空调装置10、设于无尘室2内部的顶棚部分的多孔扩散膜20、从空调装置10的吹出口12到达无尘室2的内部的供气管道30A、设于无尘室2的内部且向多孔扩散膜20输送空气的FDC50、以及从无尘室2的地面3的地下空间到达FDC50的吸入口51的回气管道40A。
本实施方式的多孔扩散膜20是与第1实施方式的多孔扩散膜20相同的结构，具有除尘功能。根据通风风量、无尘室所要求的清洁度来适当选择该多孔扩散膜20的孔径、除尘性能。
FDC50是具备将由无尘室内的生产设备产生的热量冷却的干盘管单元和送风机的带风扇的干盘管单元。FDC50通过将从吸入口51吸入的空气冷却并从吹出口52吹出，从而将冷却的空气向多孔扩散膜20供给。
在本实施方式中，与第1实施方式相同，从多孔扩散膜20向无尘室2吹出的空气的流速(v1)也小于被向无尘室2的地面3吸入的空气的流速(v2)。
无尘室净化系统1A如下地进行动作。即，利用空调装置10的送风机14将外部的空气(OA)从吸入口11吸入并朝向吹出口12输送。该空气所含有的灰尘被中间过滤器15除去，并由盘管16调整空气的温度和湿度。之后，由HEPA过滤器17从空气除去更细小的灰尘，除去了灰尘之后的空气通过吹出口12被向供气管道30A供给。通过了供气管道30A的空气(SA)被向无尘室2内供给。
此外，利用FDC50的风扇将从回气管道40A回收的空气(RA)从吸入口51吸入并朝向吹出口52输送。该空气被干盘管冷却，通过吹出口52被向具有除尘功能的多孔扩散膜20供给，从多孔扩散膜20慢慢地向无尘室2内流出。此外，无尘室2内的空气通过无尘室2的地面3的开口到达回气管道40，并通过回气管道40返回到FDC50的吸入口51。通过这样使空气通过具有除尘功能的多孔扩散膜20而循环，从而能够将在无尘室2内产生的灰尘除去，并且能够确保较高的清洁度和恒定的温湿度环境。
根据本实施方式，具有与上述的(1)、(2)相同的效果。
〔第3实施方式〕
图3是本发明的第3实施方式的无尘室净化系统1B的示意性的纵剖视图。
无尘室2B被分为标准区域4和空气清洁度比该标准区域4高的高清洁度区域5。在标准区域4和高清洁度区域5分别设置有生产设备6。此外，在标准区域4与高清洁度区域5的交界设有分隔壁8，该分隔壁8形成有使标准区域4和高清洁度区域5连通的连通口7。
无尘室净化系统1B具备空调装置10、设于无尘室2B的高清洁度区域5的顶棚部分的多孔扩散膜20B、从多孔扩散膜20B向下方延伸且包围生产设备6地配置的吸收管道21、从空调装置10的吹出口12到达多孔扩散膜20B的供气管道30、从无尘室2B到达空调装置10的吸入口11的回气管道40B、设于无尘室2B的标准区域4的顶棚部分的多孔扩散膜20C、设于标准区域4且向多孔扩散膜20C输送空气的FDC50、以及从无尘室2B的地面3的地下空间到达FDC50的吸入口51的回气管道40C。
无尘室净化系统1B如下地进行动作。即，利用空调装置10将从回气管道40B回收的空气(RA)、外部空气(OA)吸入，除去该空气中的灰尘并且调整温度和湿度，向供气管道30供给。通过了该供气管道30的空气(SA)从多孔扩散膜20B慢慢地向无尘室2B的高清洁度区域5内流出。该高清洁度区域5内的空气通过地面3的开口到达回气管道40B，并通过回气管道40B返回到空调装置10。
另一方面，高清洁度区域5内的一部分空气通过连通口7向标准区域4内流出。在标准区域4中，利用FDC50将从回气管道40C回收的空气(RA)冷却并向多孔扩散膜20C供给。该空气从多孔扩散膜20C慢慢地向无尘室2的标准区域4内流出。此外，标准区域4内的空气通过地面3的开口到达回气管道40C，并通过该回气管道40C返回到FDC50。
根据本实施方式，除了上述的(1)、(2)的效果之外，还具有以下的效果。
(3)通过使在高清洁度区域5中使用的空气流入标准区域4进行使用，从而能够高效地运行无尘室净化系统1B。
另外，本发明并不限定于上述实施方式，能够到达本发明的目的的范围内的变形、改良等包含在本发明中。
在上述的各实施方式中，是将多孔扩散膜的形状设为筒状，但并不限于此，例如既可以将多孔扩散膜设为袋状，也可以将腔室的一部分设为多孔扩散膜。

Claims (4)

1.一种无尘室净化系统，其对设于建筑物内的无尘室进行净化，该无尘室净化系统的特征在于，
该无尘室净化系统具备：
空调装置；
多孔扩散膜，其设于所述无尘室的内部；
供气管道，其从所述空调装置的吹出口到达所述多孔扩散膜；以及
回气管道，其从所述无尘室的地面到达所述空调装置的吸入口，
所述空调装置具备箱体、设于该箱体内的送风机、设于所述箱体内且调整温度和湿度的盘管、以及设于所述箱体内的过滤器，
利用所述空调装置将通过了所述过滤器的高清洁度空气经由所述供气管道向所述多孔扩散膜供给。
2.根据权利要求1所述的无尘室净化系统，其特征在于，
所述无尘室被分为标准区域和空气清洁度比该标准区域高的高清洁度区域，
所述多孔扩散膜设于该高清洁度区域的顶棚部分，
在所述标准区域与所述高清洁度区域的交界设有使所述标准区域和所述高清洁度区域连通的连通口。
3.一种无尘室净化系统，其对设于建筑物内的无尘室进行净化，该无尘室净化系统的特征在于，
该无尘室净化系统具备：
空调装置；
多孔扩散膜，其设于所述无尘室的内部；
供气管道，其从所述空调装置的吹出口到达所述无尘室的内部；
带风扇的干盘管单元，其设于所述无尘室的内部，调整温度并且向所述多孔扩散膜输送空气；以及
回气管道，其从所述无尘室的地面到达所述带风扇的干盘管单元的吸入口，
所述空调装置具备箱体、设于该箱体内的送风机、设于所述箱体内且调整温度和湿度的盘管、以及设于所述箱体内的过滤器，
利用所述空调装置将通过了所述过滤器的高清洁度空气经由所述供气管道向所述无尘室的内部供给。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的无尘室净化系统，其特征在于，
从所述多孔扩散膜吹出的空气的流速小于被向所述无尘室的地面吸入的空气的流速。
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