JPH04306450A - クリーンルームのファンフイルタユニット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はクリーンルームのファン
フイルタユニットに係り、特に半導体製造工場等に設置
されるクリーンルームのファンフイルタユニットに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来から、ＩＣ、ＬＳＩ等の半導体製品
の製造環境は無塵環境を必要とする為、その製造はクリ
ーンルームで行われている。図４は従来のクリーンルー
ムの概略構造図が示され、図４に示すようにクリーンル
ーム１０は外室１２と内室１４とで構成される。前記外
室１２と内室１４との間には循環チャンバ１６が形成さ
れ、また内室１４の天井面にはファンフイルタユニット
１８、１８…が配設されている。

【０００３】前記ファンフイルタユニット１８は図５に
示すように、ケーシング２０内に送気ファン２２が内設
されており、この送気ファン２２の下流側に高性能（Ｈ
ＥＰＡ）フイルタ２４が取付けられている。また、供給
口２６にダクト２８を介して図４に示した空調装置３０
が連結されている。従って、空調装置３０からの空調エ
アは、ダクト２８を通過して供給口２６から送気ファン
２２に吸気され、そして、前記ＨＥＰＡフイルタ２４を
通過することにより除塵され、内室１４に向けてダウン
フローされる。ダウンフローされた清浄エアはグレーチ
ング床面３２を通過して床下チャンバ３４に吸い込まれ
、そして吸い込まれたエアの一部が排気口３６からダク
ト３８を介して空調装置３０に送気される。そして、再
び空調された後、前述した系路を通過してファンフイル
タユニット１８から吹き出される。一方、残りのエアは
、前記循環チャンバ１６を通過して図５に示す吸気口４
０から吸気され、ケーシング２０内で前記空調エアと混
合された後、ファンフイルタユニット１８から吹き出さ
れる。

【０００４】ところで、前記ファンフイルタユニット１
８から吹き出された清浄エアは、内室１４に設置されて
いる半導体製造装置４２、４４の発熱によって昇温する
ので、空調装置３０によってその一部が冷却されている
。これにより、前記清浄エアを空調装置３０に全量戻す
よりも、低圧力損失となり、またこの効果で空調装置３
０を大幅に小型化することができる。更に、前記供給口
２６と吸気口４０とにそれぞれ取付けられたダンパ４６
、４８の開度を調節することにより、個々のファンフイ
ルタユニット１８の下方の発熱量に応じて温度調節され
た清浄エアを吹き出すことができる。

【０００５】しかし、このようなファンフイルタユニッ
ト１８では、空調エア中の塵埃はＨＥＰＡフイルタ２４
で除去することができるが、ＮＯＸ　、ＳＯＸ　、ＨＦ
等の酸性ガスを除去することができない。そこで、この
ような不具合を解消する手段として、空調装置３０の外
気導入口に酸性ガス除去用の活性炭や化学吸着剤等を充
填したケミカルフイルタ５０を設置して、外気中の酸性
ガスを除去している。また、クリーンルーム１０の内室
１６で蒸発した酸や有機薬品等の酸性ガスはドラフトか
ら排気するようにしている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、クリー
ンルーム１０の内室１６で蒸発した酸や有機薬品等は、
ドラフトを完全にシールすることができなので、内室１
６に拡散して半導体に悪影響を与えるという欠点がある
。例えば、ウエハーのエッチングに使用するＨＦが内室
１６に拡散すると、ファンフイルタユニット１８のＨＥ
ＰＡフイルタ２４のガラス成分が腐食してＢやＮａが発
生する。これらの成分がウエハーに付着すると半導体が
異常を起こし、歩留りを悪化させるという欠点がある。 また、他の酸性ガスもクリーンルーム１０中の金属を侵
し、前述したと同様に歩留りを悪化させるという欠点が
ある。

【０００７】このような不具合を解消する手段として、
ファンフイルタユニット１８の送気ファン２２の上流側
又は下流側にケミカルフイルタを取付けて、このケミカ
ルフイルタで酸性ガスを除去する方法があるが、この方
法では、送気ファン２２の送風量がケミカルフイルタの
圧力損失分だけ減少するので、容量の大きい送気ファン
を使用しなければならず、動力が増大するという欠点が
ある。

【０００８】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、酸性ガスを低圧力損失で除去することができる
クリーンルームのファンフイルタユニットを提供するこ
とを目的とする。

【０００９】

【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、クリーンルームの天井面に配設されクリーン
ルーム内に清浄エアを吹き出すファンフイルタユニット
であって、ファンと高性能フイルタとが内設されたケー
シングと、ケーシングに形成され前記ファンの上流側に
開口された空調空気の供給口と、ケーシングに形成され
前記ファンの上流側に開口されたクリーンルームの循環
空気の吸気口と、を有するクリーンルームのファンフイ
ルタユニットに於いて、前記吸気口に、ハニカム状に構
成された酸性ガスを除去するケミカルフイルタを取付け
たことを特徴とする。

【００１０】

【作用】本発明によれば、ファンフイルタユニットの循
環空気の吸気口に酸性ガス除去可能なハニカム状のケミ
カルフイルタを取付ける。これにより、ケミカルフイル
タをハニカム状に構成したので、前記吸気口に於ける圧
力損失の増加を防止して循環空気中の酸性ガスを除去す
ることができる。

【００１１】

【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るクリーン
ルームのファンフイルタユニットの実施例について詳説
する。図１は本発明に係るクリーンルームのファンフイ
ルタユニットが適用されたクリーンルームの実施例が示
され、図４、図５に示した従来例中と同一、若しくは類
似の部材については、同一の符号を付して説明する。

【００１２】図１に示すように、クリーンルーム１０は
外室１２と無塵環境に保たれた内室１４とで構成される
。前記外室１２と内室１４との間には循環チャンバ１６
が形成され、また内室１４の天井面１５には複数台のフ
ァンフイルタユニット１８、１８…が配置されている。 前記ファンフイルタユニット１８は図２に示すように、
ケーシング２０内に送気ファン２２が内設される。 前記送気ファン２２の下流側には、内室１４の天井面１
５の開口部１５ａと同一面上になるように据え付けられ
た高性能（ＨＥＰＡ）フイルタ２４が取付けられている
。また、供給口２６が前記ケーシング２０の送気ファン
２２の上流側に形成され、この供給口２６にダクト２８
を介して図１に示した空調装置３０が連結されている。 更に、この供給口２６を形成するダクト２７内には風量
調節ダンパ２９が取付けられている。

【００１３】従って、空調装置３０からの空調エアは、
ダクト２８を通過して供給口２６から送気ファン２２に
吸気される。そして、吸気された空調エアは前記ＨＥＰ
Ａフイルタ２４を通過することにより除塵され、図１に
示した内室１４に向けてダウンフローされる。ダウンフ
ローされた清浄エアはグレーチング床面３２を通過して
床下チャンバ３４に吸い込まれ、そして吸い込まれたエ
アの一部は排気口３６からダクト３８を介して空調装置
３０に送気される。そして、再び空調された後、前述し
た系路を通過してファンフイルタユニット１８から吹き
出される。

【００１４】一方、排気口３６に吸気されない残りのエ
アは、前記循環チャンバ１６を通過してファンフイルタ
ユニット１８の図２に示す吸気口４０から吸気され、ケ
ーシング２０内で前記空調エアと混合された後、ファン
フイルタユニット１８から吹き出される。前記吸気口４
０を形成するダクト４１内にはＮＯＸ、ＳＯＸ　、ＨＦ
等の酸性ガスを除去するケミカルフイルタ５２が取付け
られている。

【００１５】前記ケミカルフイルタ５２は図３に示すよ
うに、圧力損失の増加防止を考慮してその表面に多数の
貫通孔５４、５４…が形成されたハニカム状に構成され
る。次に、前記の如く構成されたクリーンルームのファ
ンフイルタユニットの作用について説明する。クリーン
ルーム１０の内室１６に設置した半導体製造装置４２、
４４から酸や有機薬品等が拡散すると、酸や有機薬品等
が含有したエア、即ち酸性ガスはファンフイルタユニッ
ト１８から吹き出される空調エアと共に床下チャンバ３
２、循環チャンバ１６を通過してファンフイルタユニッ
ト１８の吸気口４０から吸引され、ケミカルフイルタ５
２を通過する。この時、前記酸性ガスは前記ケミカルフ
イルタ５２の多数の貫通孔５４、５４…を通過する際に
ケミカルフイルタ５２中の活性炭に除去される。従って
、ファンフイルタユニット１８のケーシング２０内に吸
引されたエア中には、酸や有機薬品等が除去されている
ので、ファンフイルタユニット１８のＨＥＰＡフイルタ
２４のガラス成分を腐食させない。これにより、内室１
６中の半導体製品に悪影響を与えるのを防止することが
できる。

【００１６】また、前記ケミカルフイルタ５２は、前述
したように圧力損失の増大防止を考慮してハニカム状に
構成されているので、酸性ガスを低圧力損失で除去する
ことができる。更に、外気中に含有する前記酸性ガスは
、前記空調装置３０内にハニカム状のケミカルフイルタ
３１を取付けることにより、外気中の酸性ガスを低圧力
損失で除去することができる。

【００１７】また、ファンフイルタユニット１８からの
空調エアの温度調節は、ファンフイルタユニット１８の
空調空気の供給口２６に取付けた風量調節ダンパ２９を
操作することにより調節することができる。即ち、風量
調節ダンパ２９で前記供給口２６を絞れば風量調節ダン
パ２９の圧力損失分だけ空調空気量が減少し、その減少
した空気量分、前記ケミカルフイルタ５２を通過する循
環空気量が増加する。これにより、ファンフイルタユニ
ット１８からの空調エアの温度を上昇させることができ
る。

【００１８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るクリ
ーンルームのファンフイルタユニットによれば、ファン
フイルタユニットの循環空気の吸気口に酸性ガス除去可
能なハニカム状のケミカルフイルタを取付けたので、吸
気口に於ける圧力損失の増加を防止して循環空気中の酸
性ガスを除去することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るクリーンルームのファンフイルタ
ユニットが適用されたクリーンルームの実施例を示す説
明図。

【図２】本発明に係るクリーンルームのファンフイルタ
ユニットの説明図。

【図３】本発明に係るクリーンルームのファンフイルタ
ユニットに取付けられたケミカルフイルタの斜視図。

【図４】従来のクリーンルームのファンフイルタユニッ
トが適用されたクリーンルームの実施例を示す説明図。

【図５】従来のクリーンルームのファンフイルタユニッ
トの説明図。

【符号の説明】

１０…クリーンルーム １８…ファンフイルタユニット ２６…給気口 ２９…風量調節ダンパ ４０…吸気口 ５２…ケミカルフイルタ ５４…貫通孔。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　クリーンルームの天井面に配設されク
   リーンルーム内に清浄エアを吹き出すファンフイルタユ
   ニットであって、ファンと高性能フイルタとが内設され
   たケーシングと、ケーシングに形成され前記ファンの上
   流側に開口された空調空気の供給口と、ケーシングに形
   成され前記ファンの上流側に開口されたクリーンルーム
   の循環空気の吸気口と、を有するクリーンルームのファ
   ンフイルタユニットに於いて、前記吸気口に、ハニカム
   状に構成された酸性ガスを除去するケミカルフイルタを
   取付けたことを特徴とするクリーンルームのファンフイ
   ルタユニット。