JP2003103127A - フィルタユニット装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 同一チャンバ内において，余分な平行流路を
構成することなく，汚染物質の種類や濃度に応じて必要
なフィルタを使い分け，フィルタの寿命を延ばすと共
に，省エネルギを図る。 【解決手段】 チャンバ内にフィルタユニットが直列に
配置されている。各フィルタユニットにおけるフィルタ
２１は，上下多段に配置され，その通過面２２は，処理
空気の流れと平行になるように配置されている。フィル
タ２１の下流側端部を回動支点Ｐとして，フィルタ２１
の通過面２２を覆う形態のダンパ翼２４が設けられてい
る。フィルタ２１で処理する場合には，ダンパ翼２４を
回動させて斜めの閉状態にすれば，処理空気はそれに沿
って通過面２２を通過して処理される。ダンパ翼２４を
水平状態にすれば，通過面２２はダンパ翼２４によって
覆われるので，処理空気はフィルタ２１をバイパスして
そのまま水平に流れる。したがって，各フィルタユニッ
トのダンパ翼２４の操作によって，処理するフィルタ２
１を任意にユニット毎に選択できる

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は，フィルタユニット
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】たとえば外気を処理してクリーンルーム
に清浄空気を供給する際，化学物質吸着フィルタ（以
下，「ケミカルフィルタ」という）が外気取入系等に設
置されることがある。この場合，ケミカルフィルタ（た
とえば活性炭フィルタ）は通常パネル等によって筒状に
形成されたケーシング内において通過面が処理空気と垂
直又は斜めになるように固定配置され，当該ケーシング
と一体になったケミカルフィルタユニットとして，粗塵
を捕集するプレフィルタと，ケミカルフィルタ自体から
の発塵をも捕集する高性能フィルタとの間に設置されて
いる。これによって塵埃除去フィルタユニットを通過し
た処理空気は，常時ケミカルフィルタユニットの通過面
を通過して，処理されるようになっていた。

【０００３】ところで，ケミカルフィルタには幾多の種
類があるが，１種類のケミカルフィルタですべての化学
物質の除去に有効なものはない。そこで外気処理をする
にあたって想定される数種の汚染物質すべてに対してこ
れを防御しようとする場合，従来は，異種のケミカルフ
ィルタを気流に対して直列に配置していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら，想定し
た汚染物質が全て同時に処理空気中に含有されることは
希である。また仮に複数の汚染物質が同時に侵入して
も，ある物質は許容値以下の場合があり，その場合に
は，対応するケミカルフィルタで処理する必要がないこ
とがある。

【０００５】この点従来のケミカルフィルタの設置は，
気流に対して垂直に風道の全面に設置されるかあるいは
ケミカルフィルタ単位体の一対又は複数対を斜めに対向
させて固定配置するのが一般的であった。その状態で異
種のケミカルフィルタを気流に対して直列に配置してい
るので，処理空気中の汚染物質の種類によって使用する
ケミカルフィルタを選択的に切り換えることはできなか
った。そのため従来は，許容濃度以下の有害物質や対象
外の化学物質をも吸収・吸着し続ける事となり，しかも
常時処理し続ける固定配置のフィルタが直列に配置され
ているので空気抵抗は増大している。その結果，本来，
機能を必要としなくてよい時も空気側搬送動力を増加さ
せることになってしまい，エネルギの損失は大きいとい
う問題があった。

【０００６】しかもケミカルフィルタの恒常的な劣化進
行により，ろ材の寿命が短く，交換サイクルも短くなっ
て資源的損失も大きいものがあった。ケミカルフィルタ
は，通常の塵埃除去フィルタよりも高価であるため，コ
スト面に与える影響は極めて大きい。さらにまた交換の
際には，空調機器はもちろんのことその他の稼働設備，
生産設備などシステム全体を停止する必要があり，問題
であった。

【０００７】このような問題は，特定のケミカルフィル
タで処理する必要がない場合にも，処理空気を当該特定
のケミカルフィルタを通過させて処理していることに起
因している。

【０００８】本発明は，かかる点に鑑みてなされたもの
であり，複数のフィルタユニットを有するフィルタユニ
ット装置において，処理空気中の汚染物質の種類に応じ
て，使用するフィルタユニットを，同一大きさのケーシ
ング内において選択的に切り換えることを可能として，
前記問題の解決を図ることをその目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め，請求項１によれば，処理空気が通過するチャンバ
と，このチャンバ内に配置された下記の構成を有するフ
ィルタユニットを複数有し，前記複数のフィルタユニッ
トは，処理空気の流れに沿って前記チャンバ内において
直列に配置されている，フィルタユニット装置が提供さ
れる。そしてフィルタユニット自体は，前記チャンバ内
に配置され処理空気が通過するケーシングと，通過面
（すなわち処理面）が前記ケーシング内において処理空
気の流れと平行又は斜めになるように互いに間隔をおい
て設置され，かつ前記間隔が空間部を形成するように配
置された，複数のフィルタと，回動可能なダンパ翼とを
有し，前記ダンパ翼はフィルタの気流通過面と略平行に
かつ通過面にほぼ接することによってこの気流通過面を
覆い，かつ回動した際には前記フィルタの気流通過面を
開放する構成を有している。

【００１０】かかる構成を有するフィルタユニットによ
れば，フィルタでの処理が不要な場合には，ダンパ翼を
フィルタの通過面とほぼ平行にしてこの通過面を覆って
閉塞する。これによってケーシング内を流れる処理空気
はフィルタの通過面を流れることなく，つまりバイパス
してそのまま流れていく。

【００１１】そしてダンパ翼を回動させると，ダンパ翼
は空間部を斜めに遮ることになるので，フィルタが処理
空気の流れと平行に配置されている場合には，当該ダン
パ翼に沿って処理空気がフィルタの通過面に案内されて
処理される。またフィルタが処理空気に対して斜めに配
置されている場合には，空間部も斜めに位置しているこ
とになるが，当該斜めの空間部はダンパ翼によって遮ら
れているから，ケーシング内を流れる処理空気はそのま
まフィルタの通過面にながれていき，処理されることに
なる。したがって，ダンパ翼の回動動作によって，フィ
ルタをバイパスしたりフィルタで処理するすることが同
一ケーシング内にて切り換えられる。

【００１２】なおダンパ翼の回動支点は，フィルタの端
部に直接設定しなくともよい。またダンパ翼の回動は手
動でもよいが，モータ等の駆動装置を利用すれば遠隔で
の操作が容易である。

【００１３】そして本発明のフィルタユニット装置では
そのようなフィルタユニットを，処理空気の流れに沿っ
てチャンバ内において直列に配置しているので，前記フ
ィルタユニットの機能を利用して，あるフィルタユニッ
トのフィルタはバイパスさせ，他のフィルタユニットの
フィルタでは処理させることが可能になる。したがっ
て，処理空気中の汚染物質の種類によって，使用するフ
ィルタユニットを選択することができる。また全てのフ
ィルタユニットをバイパスさせることも可能である。

【００１４】前記ダンパ翼は連動して回動するように構
成するとよい。かかる場合，適宜のリンク機構を採用す
れば容易にこれを実現できる。回動させるにあたって
は，モータ等の駆動装置によって回動させることが便利
であるが，前記ダンパ翼と他のダンパ翼の回動支点側端
部と対向する端部を昇降させる昇降機構を装備すれば，
そのような連動した回動が容易である。また個別にモー
タダンパを設置してモータダンパを同時に制御するよう
にしてもよい。

【００１５】なおケーシング内においては，最端部に位
置するフィルタとケーシングの内壁との間の空間部を遮
るために，他のダンパ翼をケーシング側に設置してもよ
いし，つねにそのような端部の空間部を遮る遮蔽板によ
って最端部のフィルタとケーシング内壁との間の空間部
を閉塞するようにしてもよい。なお前者の場合，前記他
のダンパ翼は各ダンパ翼と連動して回動することが好ま
しく，また前記各ダンパ翼における回動支点側端部と対
向する端部を昇降させる昇降機構を有すれば，なおよ
い。

【００１６】前記した各フィルタユニット装置における
前記複数のフィルタユニットに搭載するフィルタは，ユ
ニット毎に異なったフィルタを用いることが，この発明
の特徴を最も発揮できる。その場合，例えば３以上のフ
ィルタユニットを有するときには，２のフィルタユニッ
ト相互は同一のフィルタを搭載し，残りのフィルタユニ
ットは異なったフィルタを用いるようにしてもよい。

【００１７】さらにまた異なったフィルタとは，ケミカ
ルフィルタ同士で異なった汚染物質を吸着，除去するよ
うな場合のみならず，一方はケミカルフィルタ，他方は
塵埃除去フィルタというように，元々の機能からして異
なっている場合も含むものである。

【００１８】前記したように，複数のフィルタユニット
に搭載するフィルタは，相互に異なったフィルタを用い
てもよいが，全て同一仕様のフィルタを用いるようにし
てもよい。そうすれば，例えば汚染物質の濃度に応じ
て，使用するフィルタユニットの段数を任意に選択する
ことができる。またその場合，フィルタ自体の厚さを通
常のものより薄いものを使用することで，換言すれば圧
力損失を通常のものより少ないものを使用すれば，条件
に応じて使用するフィルタの段数を減ずることができる
だけでなく，圧力損失もそれに伴って最小限に抑えるこ
とが可能である。なお同一仕様のフィルタを使用する場
合ももちろん，ケミカルフィルタの場合だけではなく，
除塵フィルタであってもよい。

【００１９】さらに以上のフィルタユニット装置におい
て，前記複数のフィルタユニットのうちの最下流側のフ
ィルタユニットの下流側に配置され，フィルタユニット
を通過した処理空気中の汚染物質の濃度を測定する濃度
センサと，前記濃度センサの測定結果に基づいて，フィ
ルタユニット単位で各フィルタユニットにおけるダンパ
翼の回動を制御する制御装置を付加してもよい。これに
よって汚染物質の濃度や種類に応じて，使用するフィル
タユニットやその段数を自動的に選択することが可能に
なる。なおここで使用される濃度センサは，１種類の物
質の濃度を測定するセンサであってもよく，もちろん異
なった種類の物質の濃度を測定するセンサであってもよ
い。

【００２０】さらにまた本発明の他のフィルタユニット
装置は，処理空気が通過するチャンバと，このチャンバ
内に処理空気の流れに対して直角方向に並列に配置さ
れ，かつ通過面が前記チャンバ内において処理空気の流
れと直角又は斜めに設置されフィルタを有する複数のフ
ィルタユニットと，前記チャンバ内に導入された処理空
気を，前記複数のフィルタユニットのうちの任意のフィ
ルタユニット側へと選択的に切り換えて流すためのダン
パ装置とを有し，さらにフィルタユニット相互は各フィ
ルタユニット単位で異なったフィルタを搭載している。

【００２１】かかる構成のフィルタユニット装置では，
チャンバ内においてフィルタユニットが並列に配置され
ているが，ダンパ装置の切換によって，処理空気を通過
させるフィルタユニットを選択することができ，汚染物
質の種類によって使用するフィルタを使い分けることが
可能である。

【００２２】この場合も，フィルタユニットの下流側に
配置され，フィルタユニットを通過した処理空気中の汚
染物質の濃度を測定する濃度センサと，前記濃度センサ
の測定結果に基づいて，ダンパ装置における切換を制御
する制御装置とをさらに付加すれば，汚染物質の種類に
よって使用するフィルタの使い分けを自動的に行うこと
が可能になる。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下，本発明の好ましい実施の形
態について説明すると，図１は，本実施の形態にかかる
フィルタユニット装置を組み込んだ，クリーンルーム等
に清浄な空気を供給する空調システム１の構成の概略を
示しており，方形のトンネル状のチャンバ２内には，外
気ＯＡの取入口３ａ側から，巻き取り方式の粗塵埃除去
フィルタユニット４ａ，中性能塵埃除去フィルタユニッ
ト４ｂ，本実施の形態にかかるフィルタユニット装置を
構成する第１のケミカルフィルタユニット５ａ，第２の
ケミカルフィルタユニット５ｂ，活性炭等の粉末を除去
する粉末除去フィルタユニット６，冷却コイルユニット
７，加熱コイルユニット８が順に設置されている。これ
らは１つのケーシングに納められ，外調機を形成してい
るが，各々の構成要素をダクト接続してもよい。

【００２４】外気ＯＡの取入口３ａ自体は，チャンバ２
の上流側に設けられた，ボックス状の取り入れ部３の前
面に形成されている。そしてこの取り入れ部３内には，
凍結防止用の蒸気ヒータ３ｂが設けられている。

【００２５】加熱コイルユニット８の下流側には，加湿
装置（図示せず）が配置されている加湿エリア９が形成
されている。そして加湿エリア９の下流側には，送風機
１０が設置されており，これら一連のユニットを通過し
て所望の清浄度，温湿度に調整された処理空気を，給気
ＳＡとして上部の吹出口から供給するようになってい
る。

【００２６】第１のケミカルフィルタユニット５ａ，第
２のケミカルフィルタユニット５ｂ，自体は，同一構成
を有しているので，以下，第１のケミカルフィルタユニ
ット５ａを例にとって説明する。この第１のケミカルフ
ィルタユニット５ａは，５台のユニット１２を並列に接
続して構成され，各ユニット１２は，基本的に同一構成
を有している。そして各ユニット１２自体は，さらに単
位ユニット１３を３段に積層した構成を有しており，こ
の単位ユニット１３自体が本発明の実施の形態を構成す
る。単位ユニット１３は，ケーシングを構成するパネル
材１３ａによって両側板，天板，底板が形成されてい
る。

【００２７】単位ユニット１３は，図２に示したよう
に，水平方向に流れる処理空気と平行にフィルタ２１の
通過面（処理面）２２が位置するように，複数のフィル
タ２１を間隔をもって上下多段に有している。したがっ
てフィルタ２１の上下には，空間部２３が形成されてい
る。

【００２８】そして各フィルタ２１の下流側端部には，
当該下流側端部を回動支点Ｐとして回動自在なダンパ翼
２４が設けられている。ダンパ翼２４は，全体として方
形であり，フィルタ２１の通過面を覆う形状を有してい
る。ダンパ翼２４の上流側端部には，つば部２４ａが設
けられている。

【００２９】一方ユニット１２の上流側には，前記単位
ユニット１３の各ダンパ翼２４の上流側端部を連動させ
て昇降させる昇降機構３１が配置されている。この昇降
機構３１は上下方向に移動する垂直に配置された支持柱
３２と，支持柱３２を上下に駆動する駆動部３３とを有
している。そして支持柱３２の前面，すなわちフィルタ
２１側には，各ダンパ翼２４のつば部２４ａに接続固定
される取付部３４を支持するアーム部３５が，フィルタ
２１に対応して設けられている。したがって，支持柱３
２が上方に移動すると，それに伴って各ダンパ翼２４の
つば部２４ａを持ち上げ，その結果，ダンパ翼２４は前
記回動支点Ｐを中心として回動する。なお本実施の形態
では，支持柱３２は，上下３段に積層されている各単位
ユニット１３，すなわちユニット１２のダンパ翼２４の
全てを同時に回動させるための長さ，並びにダンパ翼２
４の数と同じアーム部３５の数を有している。

【００３０】支持柱３２は，水平にかつダンパ翼２４の
回動支点の軸と平行に配置されているリンクバー３６の
一端部に接続されている。さらにリンクバー３６はリン
ク材３７とピン結合され，リンク材３７自体は，駆動部
３３の駆動軸３８とキー結合されている。したがって駆
動軸３８が回動すると，リンクバー３６を介して支持柱
３２は上下に移動する。本実施の形態では，駆動部３３
にモジュトロールモータを使用している。

【００３１】リンクバー３６の他端部近傍には，他の支
持柱４１が接続されている。この支持柱４１は，ユニッ
ト１２の隣に位置する他のユニット１２における各ダン
パ翼２４を回動させるためのものである。したがって，
本実施の形態では，１つの駆動部３３の駆動軸３８の回
動で２本の支持柱３２，４１が上下に移動し，隣接する
２つのユニット１２のダンパ翼２４を回動させることが
可能である。

【００３２】リンクバー３６の他端部には，リンク材４
２を介して回動自在なカウンターウエイト４３がピン結
合されている。またリンク材４２の回動中心は，駆動部
３３の駆動軸３８と同軸上に位置している。かかるカウ
ンターウエイト４３によって，駆動軸３８の負荷が軽減
されている。

【００３３】また単位ユニット１３における最上段のフ
ィルタ２１Ａの下流側端部には，単位ユニット１３のケ
ーシングの天板部分を構成するパネル材１３ａと，当該
最上段のフィルタ２１Ａとの間の空間部を閉塞して，処
理空気を下流側にそのまま通過させないための遮蔽板４
４が立設されている。同様に，単位ユニット１３におけ
る最下段のフィルタ２１Ｂの上流側端部には，単位ユニ
ット１３のケーシングの底板部分を構成するパネル材１
３ａと，当該最下段のフィルタ２１Ｂとの間の空間部を
閉塞して，処理空気を下流側にそのまま通過させないた
めの遮蔽板４５が立設されている。

【００３４】第１のケミカルフィルタユニット５ａは以
上のように構成されており，駆動部３３の駆動によって
支持柱３２を上昇させれば，図３，図４に示したよう
に，ダンパ翼２４は，フィルタ２１の下流側端部に設定
されている回動支点Ｐを中心として回動し，ダンパ翼の
上流側端部が，上段のフィルタ２１の下面に当接し，ダ
ンパ翼２４はフィルタ２１の上方の空間部を斜めに遮る
（閉状態）。その結果，処理空気は各ダンパ翼２４に沿
って流れ，各ダンパ翼２４を誘導板として，図に示した
ように，フィルタ２１の通過面２２を通過して下流へと
流れていく。これによって，処理空気中の化学物質がフ
ィルタ２１によって除去される。なお図３，図４は上段
のフィルタの図示を省略しているが，最上段では天板と
遮蔽板４４で遮られて未処理空気を下流に通さないよう
になっている。同様に，最下段のフィルタ２１Ｂの下方
の空間部は，図４に示したように遮蔽板４５によって閉
塞されているので，当該空間部には処理空気が水平方向
からは流入しない。

【００３５】一方，このフィルタ２１を通過させて処理
する必要がない場合には，駆動部３３の駆動によって支
持柱３２を下降させて，図５，図６に示したように，ダ
ンパ翼２４を水平にしてフィルタ２１の通過面２２を覆
うようにすればよい。そうすると，各フィルタ２１の上
方空間は，開放状態となり，処理空気はそのまま水平方
向に流れていく。つまりフィルタ２１の通過面２２を通
過せず，そのままフィルタ２１をバイパスしていくこと
になる。

【００３６】このように第１のケミカルフィルタユニッ
ト５ａ，第２のケミカルフィルタユニット５ｂは，ダン
パ翼２４を回動させるだけで，フィルタ２１を通過させ
て処理する場合と，フィルタ２１をバイパスする場合と
を簡単に切り換えることが可能である。しかも同一ケー
シング内でかかる切替が実現でき，パイパス流路用のス
ペースを別途設ける必要がない。

【００３７】なおダンパ翼２４を回動させてフィルタ２
１の上方空間部を斜めに遮る際には，ダンパ翼２４の先
端部が上段のフィルタ２１の下面と密着していることが
必要であるが，たとえばダンパ翼２４の先端部やフィル
タ２１の下面の接触部に，適宜弾性体を設けておけば，
密着性をより確実なものとすることができる。

【００３８】またダンパ翼２４の回動は，駆動部３３に
よる駆動によって同時にかつ全て連動して行われるの
で，操作が容易である。また１つの駆動部３３によって
２つのユニット１２の全てのダンパ翼２４の回動が行え
るので，駆動部３３の必要数が低減されている。もちろ
ん全てのユニット１２のダンパ翼２４の回動を１つの駆
動部３３が担当してもよい。

【００３９】さらにまたそのような昇降機構３１を使用
せず，各ダンパ翼２４自体をモータ等で直接回動させる
機構とし，当該回動の制御を電気的に行うようにしても
よい。

【００４０】前記の例では，最上段のフィルタ２１Ａの
上部空間，及び最下段のフィルタ２１Ｂの下部空間は，
各々遮蔽板４４，４５によって常時処理空気が水平方向
に流れ込まないようにしていたが，バイパス時の流量を
さらに確保するため，そのような遮蔽板を設けず，さら
にたとえば図７に示したように，ケーシングを構成する
底板のパネル材１３ａの端部に別途他のダンパ翼５１を
設けてもよい。

【００４１】図７〜１０はかかる場合の様子を示してお
り，フィルタ２１での処理時については，図７，図８に
示したように，前出実施の形態と同様な流量であるが，
フィルタ２１のバイパス時では，他のダンパ翼５１も開
放するので，最下段のフィルタ２１Ｂの下方空間部を通
じても処理空気が流れ，その分処理空気の流量が増大し
ている。同様に，最上段のフィルタ２１の上方空間部に
ついても，遮蔽板を有さないため，その分バイパス時の
処理空気の流量が増大している。かかる場合も，他のダ
ンパ翼５１自体を支持柱３２によってダンパ翼２４と同
時に連動させるとよい。

【００４２】本実施の形態にかかるフィルタユニット装
置における第１のケミカルフィルタユニット５ａ，第２
のケミカルフィルタユニット５ｂの使用例について説明
する。例えば，第１のケミカルフィルタユニット５ａの
フィルタ２１については，例えば有機系ガスの吸収力が
大きいケミカルフィルタを採用し，第２のケミカルフィ
ルタユニット５ｂのフィルタ２１については，例えば酸
性ガスの吸収力が大きいケミカルフィルタを採用する。

【００４３】そしてチャンバ内に導入した外気において
有機系ガスのみの濃度が，許容値を超えている場合に
は，図１１に示したように，第１のケミカルフィルタユ
ニット５ａのダンパ翼２４を回動させて閉状態とし，一
方第２のケミカルフィルタユニット５ｂのダンパ翼２４
はフィルタ２１と平行にしてフィルタ２１を覆うように
する（開状態）。

【００４４】これによって処理空気である外気は，第１
のケミカルフィルタユニット５ａのフィルタ２１のみに
よって処理され，有機系ガスが吸着，除去される。また
第２のケミカルフィルタユニット５ｂのダンパ翼２４
は，フィルタ２１を覆って処理空気と平行になっている
ので，処理空気は第２のケミカルフィルタユニット５ｂ
のフィルタ２１をバイパスして下流に流れていく。した
がって処理空気は第２のケミカルフィルタユニット５ｂ
のフィルタ２１では処理されない。

【００４５】一方チャンバ内に導入した外気において酸
性ガスのみの濃度が，許容値を超えている場合には，図
１２に示したように，第２のケミカルフィルタユニット
５ｂのダンパ翼２４を回動させて閉状態とし，一方第１
のケミカルフィルタユニット５ａのダンパ翼２４はフィ
ルタ２１と平行にしてフィルタ２１を覆うようにする
（開状態）。

【００４６】これによって処理空気は，第１のケミカル
フィルタユニット５ａのフィルタ２１をバイパスして，
そのまま第２のケミカルフィルタユニット５ｂへと流れ
ていき，第２のケミカルフィルタユニット５ｂのフィル
タ２１によって処理され，空気中の酸性ガスが吸着，除
去される。

【００４７】このように本実施の形態にかかるフィルタ
ユニット装置によれば，第１のケミカルフィルタユニッ
ト５ａ及び第２のケミカルフィルタユニット５ｂがチャ
ンバ２内で直列に配置されているが，処理空気中の汚染
物質の種類によっていずれのフィルタユニットを使用す
るか任意に選択することが可能である。

【００４８】したがって，第１のケミカルフィルタユニ
ット５ａ及び第２のケミカルフィルタユニット５ｂの各
フィルタ２１を，実際に必要な場合のみ使用することが
できるので，フィルタの寿命が従来よりも長く伸ばすこ
とができ，交換のサイクルも長くとれる。

【００４９】また処理空気中，有機系ガス及び酸性ガス
の各濃度がいずれも許容値を下まわっている場合には，
第１のケミカルフィルタユニット５ａ及び第２のケミカ
ルフィルタユニット５ｂの各フィルタ２１をいずれも使
用する必要はないので，図１３に示したように，各ユニ
ットのダンパ翼２４をいずれもフィルタ２１と平行にし
て，各フィルタ２１をバイパスさせるようにすればよ
い。すなわちいずれも開状態とすればよい。

【００５０】さらに処理空気中，有機系ガス及び酸性ガ
スの各濃度がいずれも許容値を越えている場合には，第
１のケミカルフィルタユニット５ａ及び第２のケミカル
フィルタユニット５ｂの各ダンパ翼２４を回動させて，
それぞれ斜めに配置して，第１のケミカルフィルタユニ
ット５ａ及び第２のケミカルフィルタユニット５ｂの各
フィルタ２１で連続して処理するようにすればよい。す
なわち第１のケミカルフィルタユニット５ａ及び第２の
ケミカルフィルタユニット５ｂいずれも閉状態とすれば
よい。

【００５１】なお以上のようなダンパ翼２４の制御は，
例えば濃度センサ（図示せず）を用いて自動化すること
が可能である。すなわち，第２のケミカルフィルタユニ
ット５ｂの下流側に，有機系ガス及び酸性ガスの各濃度
を検出する濃度センサを設置しておき，その測定結果に
基づいて駆動部３３を作動させる制御装置（図示せず）
を適宜設置すればよい。またこれによって迅速な対応も
可能になる。

【００５２】なお以上の実施の形態で用いた第１のケミ
カルフィルタユニット５ａ及び第２のケミカルフィルタ
ユニット５ｂにおいては，ダンパ翼の回動支点Ｐはフィ
ルタ２１の下流側端部に設定していたが，上流側端部に
設定してもよい。但しこの場合には，ダンパ翼２４を閉
状態，すなわち上方に回動させてフィルタ２１の処理面
２２を通過させる際，処理空気の風圧によって，ダンパ
翼に対して下方へ力が加わるので，駆動部３３の負担を
考慮すれば，前出実施の形態のように，回動支点は下流
側端部に設定することが好ましい。

【００５３】また以上の実施の形態では，第１のケミカ
ルフィルタユニット５ａ及び第２のケミカルフィルタユ
ニット５ｂの各フィルタ２１に異なった汚染物質を吸着
するケミカルフィルタを使用したが，いずれか一方に除
塵フィルタを使用してもよく，また第１のケミカルフィ
ルタユニット５ａ及び第２のケミカルフィルタユニット
５ｂの各フィルタ２１に，各々同一のケミカルフィルタ
を用いてもよい。

【００５４】第１のケミカルフィルタユニット５ａ及び
第２のケミカルフィルタユニット５ｂの各フィルタ２１
に，各々同一のケミカルフィルタを用いる場合，例えば
処理空気中の汚染物質の濃度の高低により，単段で処理
したり，多段直列で処理するという選択が可能になり，
濃度に応じた用い方が可能である。

【００５５】かかる場合，使用するフィルタの厚さを通
常のものより，薄く，したがって圧力損失も少ないもの
を使用することも可能である。これによって汚染物質の
濃度に基づいて，圧力損失を最小限に抑えることが可能
になる。

【００５６】さらにまた第１のケミカルフィルタユニッ
ト５ａ及び第２のケミカルフィルタユニット５ｂの各フ
ィルタ２１に，各々同種の除塵フィルタであるが性能の
異なったものを採用してもよい。例えば上流側に位置す
る第１のケミカルフィルタユニット５ａのフィルタ２１
は，ＮＢＳ（比色法）６０％，下流側に位置する第２の
ケミカルフィルタユニット５ｂのフィルタ２１は，ＮＢ
Ｓ９０％のものを用いるような使用法でもよい。つまり
異なる塵埃除去率のフィルタを第１のケミカルフィルタ
ユニット５ａ及び第２のケミカルフィルタユニット５ｂ
に使用してもよい。

【００５７】さらにまた前記実施の形態では，ケーシン
グの天板と底板との間を平行に被処理空気が流れる構成
で説明したが，ケーシングの両側板と平行に被処理空気
が流れるように構成してもよい。すなわちフィルタを水
平方向に配して多段に配置するのではなく，垂直方向に
配して並列に配置して構成しても，全く同様な作用効果
が得られる。つまりユニット１２を左右に倒して使用し
てもよい。この場合は，駆動部３３は，床面に設置する
のではなく，チャンバ２の側部に設けることになる。

【００５８】次に他の実施の形態について説明する。な
お同一部材等については，同一符号を用いて，その説明
は省略する。図１４に示したように，本実施の形態にか
かるフィルタユニット装置５１は，２つのケミカルフィ
ルタユニット５２，５３をチャンバ２内で並列に配置し
て構成されている。

【００５９】各ケミカルフィルタユニット５２，５３
は，同一構成であり，各々ケーシングを構成するパネル
材５４によって両側板，天板，底板が形成され，たとえ
ば活性炭を有する化学物質吸着フィルタのろ材は，この
ケーシング内に，気流に対して，直角又は斜めに固定配
置されている。

【００６０】そして各ケミカルフィルタユニット５２，
５３の上流側の入口部５５には，回動自在な複数のダン
パ５６が多段に設けられている。各ダンパ５６は連動し
て回動する。すなわち，各ダンパ５６の回動支点は，入
口部５５に水平に設定され，各ダンパ５６の上流側端部
は，適宜のリンク材（図示せず）を介して上下方向に移
動する垂直に配置された支持柱５７に回動自在に支持さ
れている。したがって，支持柱５７が上方に移動する
と，それに伴って各ダンパ５６の前端部が持ち上がり，
入口部５５が閉鎖されるようになっている。図１４に示
した状態では，各ダンパ５６は水平状態にあり，ユニッ
ト２１の入口部２７は開放している。支持柱２４は，駆
動部３３よって上下動する。

【００６１】本実施の形態にかかるフィルタユニット装
置は以上の構成を有しており，例えばケミカルフィルタ
ユニット５２に使用されるフィルタには，前記実施の形
態の項でも説明した有機系ガスを吸着・除去するフィル
タを用い，ケミカルフィルタユニット５３に使用される
フィルタには，酸性ガスを吸着・除去するフィルタを用
いる。

【００６２】そしてチャンバ２内に導入した外気におい
て有機系ガスのみの濃度が，許容値を超えている場合に
は，各ダンパ５６を作動させてケミカルフィルタユニッ
ト５２側の入口部５５を開放し，ケミカルフィルタユニ
ット５３側の入口部５５を閉鎖する。これによって処理
空気は，ケミカルフィルタユニット５２の方に流れてい
き，ケミカルフィルタユニット５２のフィルタのみによ
って処理され，有機系ガスが吸着，除去される。

【００６３】一方，チャンバ２内に導入した外気におい
て酸性ガスのみの濃度が，許容値を超えている場合に
は，各ダンパ５６を作動させてケミカルフィルタユニッ
ト５２側の入口部５５を閉鎖し，ケミカルフィルタユニ
ット５３側の入口部５５を開放する。これによって処理
空気は，ケミカルフィルタユニット５３の方に流れてい
き，ケミカルフィルタユニット５３のフィルタのみによ
って処理され，酸性ガスが吸着，除去されるのである。

【００６４】このようにこの実施の形態にかかるフィル
タユニット装置によっても，処理空気中の汚染物質の種
類によっていずれのフィルタユニットを使用するか任意
に選択することが可能である。したがって，ケミカルフ
ィルタユニット５２，５３各フィルタを，実際に必要な
場合のみ使用することができる。それゆえフィルタの寿
命が従来よりも長く伸ばすことができ，交換のサイクル
も長くとれる。

【００６５】以上の実施の形態では床置きの外調機や空
調機に使用する例を念頭において説明したが，機構を小
型化すれば，天吊のファンフィルタユニットの吸い込み
側に取り付けて使用することもできる。すなわちそのよ
うな場合にも本発明は適用される。

【００６６】

【発明の効果】本発明によれば，同一チャンバ内におい
て，余分な平行流路を構成することなく，汚染物質の種
類や濃度に応じて使用するフィルタを使い分けることが
可能になる。したがって実際に処理に必要なフィルタの
みで処理することができ，フィルタの寿命を従来より長
く持たせることができ，またそれに伴って交換のサイク
ルを従来より長くすることができる。それゆえ，従来よ
りも，省資源，省エネルギ，省コストに優れている。ま
た既存設備に対しても適用可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態にかかるフィルタユニット
装置を組み込んだ空調システムの概観を示す斜視図であ
る。

【図２】単位ユニットの斜視図である。

【図３】ダンパ翼を回動させて閉状態にしてフィルタで
処理する場合の気流の流れを示す斜視図である。

【図４】ダンパ翼を回動させて閉状態にしてフィルタで
処理する場合の気流の流れを示す側面図である。

【図５】ダンパ翼を水平にして開状態にしてフィルタを
バイパスする場合の気流の流れを示す斜視図である。

【図６】ダンパ翼を水平にして開状態にしてフィルタを
バイパスする場合の気流の流れを示す側面図である。

【図７】ケーシング底部のパネル材に他のダンパ翼を設
置した例におけるダンパ翼を回動させて閉状態にしてフ
ィルタで処理する場合の気流の流れを示す斜視図であ
る。

【図８】ケーシング底部のパネル材に他のダンパ翼を設
置した例におけるダンパ翼を回動させて閉状態にしてフ
ィルタで処理する場合の気流の流れを示す側面図であ
る。

【図９】ケーシング底部のパネル材に他のダンパ翼を設
置した例におけるダンパ翼を水平にして開状態にしてフ
ィルタをバイパスする場合の気流の流れを示す斜視図で
ある。

【図１０】ケーシング底部のパネル材に他のダンパ翼を
設置した例におけるダンパ翼を水平にして開状態にして
フィルタをバイパスする場合の気流の流れを示す側面図
である。

【図１１】上流側に位置する第１のケミカルフィルタユ
ニットのフィルタのみで処理して下流側に位置する第２
のケミカルフィルタユニットのフィルタをバイパスして
いる状態を示す説明図である。

【図１２】上流側に位置する第１のケミカルフィルタユ
ニットのフィルタをバイパスして下流側に位置する第２
のケミカルフィルタユニットのフィルタのみで処理して
いる状態を示す説明図である。

【図１３】上流側に位置する第１のケミカルフィルタユ
ニット及び下流側に位置する第２のケミカルフィルタユ
ニットの各フィルタをいずれもバイパスしている状態を
示す説明図である。

【図１４】他の実施の形態にかかるフィルタユニット装
置を組み込んだ空調システムの概観を示す斜視図であ
る。

【符号の説明】

２ チャンバ ５ａ 第１のケミカルフィルタユニット ５ｂ 第２のケミカルフィルタユニット １２ ユニット １３ 単位ユニット １３ａ パネル材 ２１ フィルタ ２１Ａ 最上段のフィルタ ２１Ｂ 最下段のフィルタ ２２ 通過面 ２４ ダンパ翼 ２４ａ つば部 ３１ 昇降機構 ３２ 支持柱 ３３ 駆動部 ３６ リンクバー ４４，４５ 遮蔽板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 丸山 剛正 長野県諏訪市湖南5940−１ リンピア伊加 里105 Ｆターム(参考） 3L053 BD04 BD10 4D058 JA12 JA24 JB41 KB11 NA02 QA01 QA11 QA19 QA23 TA02 UA25

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 処理空気が通過するチャンバと，このチ
   ャンバ内に配置された下記の構成を有するフィルタユニ
   ットを複数有し，前記複数のフィルタユニットは，処理
   空気の流れに沿って前記チャンバ内において直列に配置
   されている，フィルタユニット装置。 フィルタユニット：前記チャンバ内に配置され処理空気
   が通過するケーシングと，通過面が前記ケーシング内に
   おいて処理空気の流れと平行又は斜めになるように互い
   に間隔をおいて設置され，かつ前記間隔が空間部を形成
   するように配置された，複数のフィルタと，回動可能な
   ダンパ翼とを有し，前記ダンパ翼はフィルタの気流通過
   面と略平行にほぼ接することによってこの気流通過面を
   覆い，かつ回動した際には前記フィルタの気流通過面を
   開放する構成を有している。
2. 【請求項２】 前記フィルタユニットにおけるダンパ翼
   は連動して回動することを特徴とする，請求項１に記載
   のフィルタユニット装置。
3. 【請求項３】 前記ダンパ翼における回動支点側端部と
   対向する端部を昇降させる昇降機構を有することを特徴
   とする，請求項１又は２に記載のフィルタユニット装
   置。
4. 【請求項４】 前記複数のフィルタユニットが有するフ
   ィルタは，相互に異なった種類のフィルタであることを
   特徴とする，請求項１，２又は３のいずれかに記載のフ
   ィルタユニット装置。
5. 【請求項５】 前記複数のフィルタユニットが有するフ
   ィルタは，各フィルタユニット毎に異なった仕様のフィ
   ルタであることを特徴とする，請求項１，２又は３のい
   ずれかに記載のフィルタユニット装置。
6. 【請求項６】 前記複数のフィルタユニットが有するフ
   ィルタは，同一仕様のフィルタであることを特徴とす
   る，請求項１，２又は３のいずれかに記載のフィルタユ
   ニット装置。
7. 【請求項７】 前記複数のフィルタユニットのうちの最
   下流側のフィルタユニットの下流側に配置され，フィル
   タユニットを通過した処理空気中の汚染物質の濃度を測
   定する濃度センサと，前記濃度センサの測定結果に基づ
   いて，フィルタユニット単位で各フィルタユニットにお
   けるダンパ翼の回動を制御する制御装置と，をさらに有
   することを特徴とする，請求項１，２，３，４，５又は
   ６のいずれかに記載のフィルタユニット装置。
8. 【請求項８】 処理空気が通過するチャンバと，このチ
   ャンバ内に処理空気の流れに対して直角方向に並列に配
   置され，かつ通過面が前記チャンバ内において処理空気
   の流れと直角又は斜めに設置されフィルタを有する複数
   のフィルタユニットと，前記チャンバ内に導入された処
   理空気を，前記複数のフィルタユニットのうちの任意の
   フィルタユニット側へと選択的に切り換えて流すための
   ダンパ装置とを有し，さらにフィルタユニット相互は各
   フィルタユニット単位で異なったフィルタを搭載してい
   る，フィルタユニット装置。
9. 【請求項９】 前記フィルタユニットの下流側に配置さ
   れ，フィルタユニットを通過した処理空気中の汚染物質
   の濃度を測定する濃度センサと，前記濃度センサの測定
   結果に基づいて，ダンパ装置における切換を制御する制
   御装置とをさらに有することを特徴とする，請求項８に
   記載のフィルタユニット装置。