JP3777060B2 - アイソレータ装置の連通機構 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、局所的清浄空間を形成するためのアイソレータ装置相互の連通機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体や電子部品、または医薬品を製造する工場などでは、清浄な空気雰囲気中にて各部品の組み付け，加工，充填などを行うためにクリーンルームが一般的に用いられる。このクリーンルームにあっては、室内全体を例えば一方向流（いわゆる層流）を用いた大量の清浄空気により高清浄度を維持する方法が一般的に採用されている。
【０００３】
しかしながらクリーンルームを用いる場合には、その初期投資、維持費が膨大であり、そこで、コストの低減等を目的に、所要部分のみに高度な清浄雰囲気を形成するというクリーンルームの局所化が重要な課題となっている。この技術手段として、アイソレータ装置、ミニエンバイロメントなどにより局所空間を構成するようにした手段が提案されている。
【０００４】
この清浄雰囲気の局所化は、例えば半導体工場の場合には、ウエハー周辺の局所空間のみを高清浄度に維持された清浄空間とするものである。また、医薬品製造工場などの場合には、無菌充填済みのバイアル瓶やアンプル瓶、あるいは滅菌済みのゴム栓などのパーツを、いわゆるアイソレータ装置といわれる無菌および高清浄度を維持した中で、製造、あるいは搬送する方法が取られている。
【０００５】
ところで、このような清浄化された局所空間相互を接続するには、周囲が汚染されているために細心の注意が求められ、特殊な２重扉構造のいわゆる無菌フランジ、あるいはRTP （ラピッドトランスファポート）フランジといわれる接続部品により汚染部分を封じ込める機械的なシーリングを用いた連通手段がとられている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記接続フランジは、汚染部分を最小とするため、パッキン形状が複雑化して丈夫に設計できず、その耐久性、ひいては密閉性能に対する信頼性が乏しい。さらにある程度、強い締め込み力が必要なために、その時生じる摩滅、摺摩などによる発塵や、機密性の低下などの懸念を抱え、しかも状態の確認、検証（バリデーション）が難しい。あわせて、接続エリアは、清浄空気を流すことができず、可変連通路全域にわたる清浄空間を確保できない。特に、このような問題は接続、切り離しの工程を短時間で行うことが必要な場合や、かかる工程の頻度が多い場合にはより重大となる。
【０００７】
本発明は、クリーンルームにおける無菌・無塵状態を維持したアイソレータ装置にあって、遮閉状態及び連通状態のいずれの場合にも、その内部に汚染空気が侵入することがなく、かつ上述の各問題点を解決し得る連通機構を提案し、信頼性の高い無菌・無塵システムを構築することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、内部を無菌・無塵状態を維持して遮閉化されるアイソレータ装置に、他のアイソレータ装置と相互に連通する可変連通路を設け、
かつ該可変連通路を、その少なくとも一面を構成する可動ゲートの開閉作動により、アイソレータ装置の遮閉状態で閉狭路態様とし、アイソレータ装置相互の連通状態で開広路態様とすると共に、
該可変連通路の周面に空気吹き出し面を形成し、該空気吹き出し面から常に可変連通路側へ空気圧を印加するようにし、さらに可変連通路の閉狭路態様で、当該可変連通路を構成する可動ゲートが作動位置を規定されることにより形成されたクリアランスを連通狭隙として、空気吹き出し面からの清浄空気が連通狭隙を通過して外部へ常時排出されるようにしたことを特徴とするアイソレータ装置の連通機構である。
【０００９】
かかる構成にあって、アイソレータ装置相互を接続する場合にあって、可動ゲートの外面を相互に当接して、同時に開放作動を行い、夫々の可変連通路を開広路態様にして連続させる。これにより、連通する可変連通路対を介して一方のアイソレータ装置の庫内にあるワーク（被処理物品）を他方のアイソレータ装置の庫内へ移送可能となる。
【００１０】
この連通状態にあって、空気吹き出し面からは常に可変連通路側へ空気圧が印加されており、可変連通路は外周囲の空気圧に対して陽圧となる。このため、アイソレータ装置相互の当接面間にクリアランスがあっても、外部の汚染された空気が内部に侵入することはない。
【００１１】
次に、ワークの移送が終了すると、各アイソレータ装置の可動ゲートを同時的に閉鎖駆動し、可変連通路を夫々閉狭路態様として、各庫内を遮閉化した後に、相互に分離する。この可動ゲートが閉鎖位置の場合にあって、閉狭路態様にある可変連通路には空気圧が常に印加されており、このため、この閉狭路態様で可変連通路にクリアランスがあっても、汚染空気が侵入しない。
【００１２】
ここで、上述のように閉狭路態様の可変連通路に連通狭隙を確保し、これによりその閉鎖状態でも連通狭隙から、常に空気が外部へ噴出するようにした場合は、可変連通路が閉狭路態様となると、空気吹き出し面からの空気圧が上昇することとなり、このため、該連通狭隙により庫外に向かう清浄空気の高速気流が生成され、その通過表面である可変連通路の周囲面が清浄化されると共に、外部の汚染空気の侵入が確実に防止される。
【００１３】
ここで、可変連通路の静圧，風速，風量あるいは清浄度を測定することにより、可変連通路の状態検証を常時行うようにする。すなわち、従来の連通機構のように、周囲雰囲気と、庫内の空気の連通を機械的なシーリングにより完全に遮断するという発想であると、外部から汚染空気の侵入に対して常時監視する手段がない。しかるにかかる構成であると、空気が所定量，又は所定圧、外へ流出している状態では、汚染空気の侵入はないものと考えることができ、その計測値が一定以上であるかどうかを確認することにより、常時監視が可能となる。
ここで空気吹き出し面は、可変連通路の上面のみではなく、下面又は側面に形成することができる。
【００１４】
【発明実施の形態】
次に本発明の実施の形態を添付図面に従って説明する。
図１，図２は、本発明の開口接続部１０を備えた移動アイソレータ装置１ａと固定アイソレータ装置１ｂとを用いた、無菌・無塵処理システムの一例を示すものである。
【００１５】
ここで、離間して配置された固定アイソレータ装置１ｂ，１ｂ間には、移動アイソレータ装置１ａが配備されている。
【００１６】
この各アイソレータ装置１ａ，１ｂはその庫内を清浄空間としているものであり、かかる清浄空間が作業者により汚染されないように、外部周囲と遮断する筐壁に作業孔２を適宜に形成し、該作業孔２に、手作業を可能とするグローブ３などを取付けると共に、該作業孔２をグローブ３で密閉している。作業者は外からグローブ３に手を挿入し、該グローブ３を介して庫内のワークの加工，処理，調整などの作業を行うこととなる。その他、作業孔２には、作業者が上半身を庫内に挿入可能とするハーフスーツ、全身を庫内に位置させながら該庫内と作業者とを遮断するフルスーツなどの隠蔽被覆材が設けられる。
【００１７】
固定アイソレータ装置１ｂ，１ｂ間に設けられる移動アイソレータ装置１ａは、相互に設けられた開口接続部１０ａ，１０ｂを介して固定アイソレータ装置１ｂに接続され、その庫内間をワークｗが移送される。
【００１８】
すなわち、移動アイソレータ装置１ａには一面側に開口接続部１０ａが設けられ、他面側に手押し用把手１１が設けられており、一方の固定アイソレータ装置１ｂからワークｗを受け取った後、その下部に設けたキャスタ５により１８０度転回して、該開口接続部１０ａの位置を反転し、その開口接続部１０ａを他方の固定アイソレータ装置１ｂの開口接続部１０ｂに接続し、開口接続部１０ａ，１０ｂを開放作動して、庫内相互を連通する。そして移動アイソレータ装置１ａ内のワークｗが固定アイソレータ装置１ｂ内へ移送される。ここで各庫内のワークｗの移送は、その内部に設けられたコンベヤで自動搬送されるか、又はワークｗを支持するトレー７６をグローブ３により手作業で移送することにより行われる。
【００１９】
このように開口接続部１０ａ，１０ｂ相互の接続を介して、アイソレータ装置１ａ，１ｂの局所的な清浄空間が連通し、さらに該清浄空間内でワークｗの処理が行われ、かつ順次次工程に移送される。
【００２０】
図３〜５は、アイソレータ装置１ａ，１ｂの接続作動を段階的に示す側面図である。ここで、固定アイソレータ装置１ｂの前面には移動アイソレータ装置１ａが遊嵌する接続凹面６が形成されている。そして、図３の分離位置から、移動アイソレータ装置１ａを移動し、図４で示すように移動アイソレータ装置１ａの前部を固定アイソレータ装置１ｂの接続凹面６に装着し、図５で示すように開口接続部１０ａ，１０ｂを夫々同時に開放することにより、各庫内の連通を行う。
【００２１】
上述のアイソレータ装置１ａ，１ｂの連通を密閉状に行う開口接続部１０ａ，１０ｂは、本発明の要部に係り、かかる構成を図６，７に従って詳細に説明する。
開口接続部１０ａ，１０ｂは、ワークｗの移送ラインＬと一致する可変連通路１２，１２を備え、該可変連通路１２，１２の下面を構成する可動ゲート２０ａ，２０ｂの昇降により、該可変連通路１２を閉狭路態様Ｘと開広路態様Ｙとに変換するようにしてなるものである。
【００２２】
すなわち、アイソレータ装置１ａ，１ｂの主庫１３を構成する外筺には、移送ラインＬと一致する連通口１５が形成され、さらに主庫１３の上部前面に固定されたエアーダクト１７ａ，１７ｂと、その直下に配設された可動ゲート２０ａ，２０ｂ間を可変連通路１２，１２とし、該可変連通路１２，１２を連通口１５に水平方向で連続するようにしている。而して、可変連通路１２の少なくとも底面が可動ゲート２０ａ，２０ｂの上面により構成されることとなる。
【００２３】
また、この可動ゲート２０ａ，２０ｂは、ゲート案内ダクト４５ａ，４５ｂの上部に装着され、可動ゲート２０ａ，２０ｂの前面板２１をゲート案内ダクト４５ａ，４５ｂの案内外面４６と面接触して、安定的昇降を確保するようにしている。一方、可動ゲート２０ａ，２０ｂはゲート案内ダクト４５ａ，４５ｂ内に設けた昇降シリンダ４７，４７のシリンダロッドと結合している。
【００２４】
さらには、可動ゲート２０ａの前面板２１ａと可動ゲート２０ｂの前面板２１ｂには、その一方に連結突起５０が、他方に該連結突起５０が嵌入する連結孔５１が形成されている。図６，７では、可動ゲート２０ｂに連結突起５０を可動ゲート２０ａに連結孔５１を形成しているが、その配置関係は逆であっても良い。このため、後述するように移動アイソレータ装置１ａが固定アイソレータ装置１ｂに連結した状態で、可動ゲート２０ａ，２０ｂは連結孔５１に連結突起５０が嵌入することにより、上下方向で連結され、昇降シリンダ４７，４７が駆動すると、可動ゲート２０ａ，２０ｂは一体的に昇降することとなる。
【００２５】
ここで、可変連通路１２の上面を構成するエアーダクト１７の下面には空気吹き出し面２２が形成されている。この空気吹き出し面２２は、図６，７で示すように、１５〜５０ｍｍの微間隙２５をおいて設けられた１５０〜５００メッシュのスクリーン２３ａ，２３ｂを多孔板２４で機械的に保持してなるものである。このように、多孔板２４を設けることにより、スクリーン２３ａ，２３ｂの破損防止の保護となると共に、加圧空気に対して吹き出し面を平面状に保持し得る。またスクリーン２３ａ，２３ｂを微間隙２５を置いて配設することにより、単に濾過作用を生じるだけでなく、該間隙２５により、吹き出し速度の均一化が図られる。ここで、スクリーンは一層構造としても良く、さらには上述したように同一層のほかメッシュを異ならせた層からなる二層構造としても良い。さらに多孔板２４を取付けなくても良い場合もある。
【００２６】
一方、前記空気吹き出し面２２にはスペーサ５８が配設され、これにより、可動ゲート２０ａ，２０ｂの上昇位置を規定し、後述するように、閉狭路態様Ｘにある可変連通路１２の高さを一定とし、連通狭隙ｓを確保している。この可変連通路１２には、その静圧，風速あるいは風量を検知するために、圧力計，速度計，流量計または微粒子計などの監視計器７１が設けられる。
【００２７】
エアーダクト１７は、主庫１３の天部に設けたダクト３０ａ，３０ｂと連通し、該ダクト３０ａ，３０ｂの内圧を高めることにより、主庫１３の天部に配設した空気吹き出し面３１ａ，３１ｂから清浄空気を移送ラインＬに直上から吹き降ろすと共に、エアーダクト１７の空気吹き出し面２２からも、清浄空気を可変連通路１２に直上から吹き降ろすようにしている。この空気吹き出し面３１ａ，３１ｂも、空気吹き出し面２２と同様に、スクリーン２３ａ，２３ｂを微間隙２５を介して多孔板２４で機械的に保持してなる。
【００２８】
固定アイソレータ装置１ｂ側にあっては、接続凹面６の上部の天井ダクト３６をダクト３０ｂと連通し、天井ダクト３６に配設したブロアー３５により、天井ダクト３６内を負圧とし、ダクト３０ｂ及びエアーダクト１７ｂを陽圧とし、上述したように、主庫１３内と可変連通路１２の移送ラインＬ上に清浄空気を給送するようにしている。
【００２９】
上述した各空気吹き出し面２２，２２，３１ａ，３１ｂ上のダクト１７ａ，１７ｂ，３０ａ，３０ｂ内にはヘパフィルタ（高性能フィルタ）７０またはウルパフィルタが配設されている。このため、可変連通路１２，１２及び主庫１３，１３には、ヘパフィルタ７０及びスクリーン２３ａ，２３ｂにより、上述したように清浄空気が送給されることとなる。
【００３０】
さらに、天井ダクト３６の接続凹面６に臨む下面は空気連通面３７となっており、該空気連通面３７の吸引作用により接続凹面６内が負圧状態となる。このため、図７で示すように、アイソレータ装置１ａ，１ｂが連結して、エアーダクト１７ａ，１７ｂの外面が面接触した状態にあって、エアーダクト１７ａ，１７ｂの当接面の上部雰囲気が可変連通路１２の内圧よりも確実に低くなるため、かかる当接面から、汚染空気が可動ゲート２０ａ，２０ｂ内に侵入することはない。すなわち、該当接面から、内部の圧力が微流出し得る圧力関係におかれ、当接面からの可変連通路１２内の汚染が防止される。また、天井ダクト３６の前面も、周囲雰囲気と連通する空気連通面３８となっており、この空気連通面３７，３８から外気が天井ダクト３６内ヘ導入される。
【００３１】
さらに一方、前記可動ゲート２０ａ，２０ｂの上面には、可変連通路１２からの圧力空気を回収するリターンエアー孔が多数設けられた空気連通面３９が形成され、かつ主庫１３の移送ラインＬ下部の、空気吹き出し面２２と連通する基部ダクト４４の上面にも空気連通面４０が形成され、空気吹き出し面２２，２２及び空気吹き出し面３１ａ，３１ｂからの圧力空気を空気連通面３９，４０から回収するようにしている。
【００３２】
基部ダクト４４内は、上部排出路４１とゲート案内ダクト４５ａ，４５ｂ内と連通する下部排出路４２が配設され、空気連通面４０からの空気を上部排出路４１に回収し、可動ゲート２０ａ，２０ｂの空気連通面３９で捕捉された空気をゲート案内ダクト４５ａ，４５ｂから下部排出路４２に回収するようにしている。尚、下部排出路４２とゲート案内ダクト４５ａ，４５ｂとを連通する開口は、ヘパフィルタ７０で覆われ、下部排出路４２に設けたブロアー４９により、ゲート案内ダクト４５ａ，４５ｂのエアーを下部排出路４２に導入し、かつその過程でヘパフィルタ７０を透過して清浄化するようにしている。ブロアー４９は、ゲート案内ダクト４５ａ，４５ｂ内でヘパフィルタ７０に対向状に設けて、下部排出路４２へ清浄空気を給送するようにしても良い。
この上部排出路４１と、ゲート案内ダクト４５ａ，４５ｂは、天井ダクト３６内へ還流される。または庫外へ排出するようにしても良い。
【００３３】
次にかかる構成の作動を説明する。
図６で示すように、移動アイソレータ装置１ａ，固定アイソレータ装置１ｂが非接続状態にあっては、昇降シリンダ４７，４７のシリンダロッドが伸出状態となり内部が遮閉化される。一方、空気吹き出し面２２，２２にはスペーサ５８が配設され、このため該伸出状態で、可変連通路１２が閉狭路態様Ｘとなった場合に、可動ゲート２０ａ，２０ｂの上面がスペーサ５８と当接して、可変連通路１２は完全に閉鎖されず、連通狭隙ｓが形成される。このとき、空気吹き出し面２２からは可変連通路１２へ常に圧力空気が印加され、しかも連通狭隙ｓは開口度が小さいから、開広路態様Ｙの状態のときに比して、可変連通路１２に高圧空気が印加される。このため、該可変連通路１２の連通狭隙ｓ内で高速気流が可動ゲート２０ａ，２０ｂの空気連通面３９にぶつかり、かつ乱流となって、その大部分が可変連通路１２から庫外へ流出することとなる。而して、庫外に向かう高速気流が生成され、かつその通過表面である可変連通路１２の周囲面が清浄化される。
【００３４】
ここでこの連通狭隙ｓは、開口高さ０．１ｍｍ〜５ｍｍ程度とする。また、空気吹き出し面２２の幅は、開口の寸法にもよるが一般的に１０〜２０００ｍｍ程度が採用される。
【００３５】
さらに閉狭路態様の静圧を２０〜５００Ｐａ、あるいは吹き出し風速を４〜３０ｍ／ｓとなるように調整する。なおこの調整は、連通狭隙ｓの寸法、あるいはブロアー３５の風量をダンパーまたはインバーターを用いることにより容易に調整できる。
【００３６】
一方、この可変連通路１２には、上述したように、その静圧，風速，風量，清浄度を検知するための、圧力計，速度計，流量計または微粒子計などの監視計器７１が設けられている。従って、これら監視計器７１を監視することにより、可変連通路１２への圧力空気の排出が確認され、この状態にあっては、外部からの汚染空気の流入が無いことが検証される。この点、例えば従来構成のように、接続状態を機械的シーリングにより機密にするという技術思想に立てば、その状態検証の手段がなく、例えばゴムパッキンの摩耗により汚染空気が流入した状態となっていても、気づかずにこの状態が放置され、主庫１３内の汚染が継続進行することとなり、移動アイソレータ装置１ａの信頼性を低下させることとなる。
【００３７】
ここで、上述の構成にあっては、スペーサ５８により閉狭路態様を確保するようにしたが、可変連通路１２の連通狭隙ｓの開口高さは０．１ｍｍ以上であればよいから、各種形成誤差等により可変連通路１２にはそのクリアランスにより連通狭隙ｓを生じる。このため、スペーサ５８などの規定手段を設けなくとも、可変連通路１２に連通狭隙ｓを形成することが可能となる。
【００３８】
なお、本発明は、空気吹き出し面２２から常に圧力を可変連通路１２側へ印加しているものであり、クリアランスがなく連通狭隙ｓが生じない場合も含まれる。
【００３９】
次に移動アイソレータ装置１ａ内のワークｗを固定アイソレータ装置１ｂ内に移送する場合には、移動アイソレータ装置１ａを固定アイソレータ装置１ｂ内の接続凹面６に嵌入し、連結孔５１に連結突起５０を嵌着してエアーダクト１７ａ，１７ｂの外面を当接した後、昇降シリンダ４７，４７を同期駆動して、可動ゲート２０ａ，２０ｂを同時に下降する。そして可変連通路１２，１２を同時に開広路態様Ｙとする。
【００４０】
この連通状態にあって、空気吹き出し面２２，２２からは常に可変連通路１２，１２側へ空気圧が印加されており、開口状態で、可変連通路１２，１２は開口接続部１０ａ，１０ｂの外周囲の空気圧に対して陽圧となっており、このため、エアーダクト１７ａ，１７ｂ相互または可動ゲート２０ａ，２０ｂ相互が完全に密に当接した状態とならず、クリアランスがあったとしても、外部の汚染された空気が開口接続部１０ａ，１０ｂ対間等から内部に侵入することは無い。さらには、このとき、上述したように、天井ダクト３６の空気連通面３７の吸引作用により、上部の雰囲気を負圧状態とし、可変連通路１２，１２の内圧に対して、周囲雰囲気が確実に低くなるようにしているから、外部からの汚染空気の侵入が確実に防止される。この開放状態での空気吹き出し面２２，２２からの吹き出し速度は、医薬製造工程にあってはＷＨＯあるいはＦＤＡなどのＧＭＰ基準またはガイドラインの０．３〜０．４ｍ／ｓが採用されるが、そのほか工程によっては０．１〜２ｍ／ｓの風速としても良い。
【００４１】
ここで、昇降シリンダ４７，４７の駆動は、リミットスイッチ，近接スイッチなどを用いて、移動アイソレータ装置１ａと固定アイソレータ装置１ｂの接続を検知することにより自動的に作動させることができる。または、作動用スイッチの操作により駆動させるようにしても良い。
【００４２】
上述の昇降シリンダ４７，４７に代えて、昇降制御モータにより駆動するラックピニオン機構，ボールネジなど種々の昇降制御機構を適用することができる。さらには、一方の可動ゲート２０ａ，２０ｂのみに駆動源を連係し、他方の可動ゲート２０ａ，２０ｂに、上昇位置（閉狭路態様）に付勢する付勢手段を付設することにより、連結突起５０，連結孔５１等の連係機構を介して、一方の駆動源により可動ゲート２０ａ，２０ｂを同期的に昇降させることができる。
【００４３】
而して、移動アイソレータ装置１ａ，固定アイソレータ装置１ｂの開広路態様Ｙにある可変連通路１２，１２が夫々連通し、トレー７６に支持されたワークｗの移送を、上述した作業孔２に装着されているグローブ３を用いて、該トレー７６を遊転ロール７５上で摺動させるなどの手段により行う。尚、ワークｗの移送はベルトコンベヤやボールネジ，シリンダなどの押出機構を介して自動移送を行うようにしてもよい。
【００４４】
この可変連通路１２の移送過程で、移送ラインＬには、可変連通路１２，１２及び空気吹き出し面３１ａ，３１ｂから移送方向と直交方向に清浄空気が噴射される。このためワークｗに、上方から直接、高圧清浄空気が当たるから、ワークｗは空気噴射による清浄作用を受ける。この清浄空気は、側方へ流れて、上述したように、基部ダクト４４，４４，ゲート案内ダクト４５ａ，４５ｂ内へ流入して、上部排出路４１，下部排出路４２を経由して還流または排出される。
【００４５】
上述の構成は、可変連通路１２の上面に配設した空気吹き出し面２２から高圧空気を放出するようにしたが、可変連通路１２の上面と共に両側面（または一側面）から放出しても良い。さらには、該両側面または一側面のみから放出するようにしても良い。
【００４６】
上述の実施例にあっては、移動アイソレータ装置１ａと固定アイソレータ装置１ｂとの連通に本発明を適用したものであるが、移動アイソレータ装置１ａ，１ａ相互の連通にも本発明を適用することができる。さらに可動ゲート２０ａ，２０ｂを可変連通路１２の下部に配設したが上部または側部に配設しても良い。さらにまた上下に可動ゲートを夫々配設して同時的に作動させるようにしても良い。さらに移動アイソレータ装置は、自動搬送装置（ＡＧＶ）にも勿論適用できる。
【００４７】
【発明の効果】
本発明は上述した構成に係り、このため次のような効果がある。
ａ）アイソレータ装置１ａ，１ｂの開口接続部１０ａ，１０ｂの可動ゲート２０ａ，２０ｂを閉止した遮閉状態において、閉狭路態様Ｘを形成し、該可変連通路１２に圧力を印加したから、閉狭路態様Ｘに連通狭隙ｓが生じた場合には、該連通狭隙ｓにより高速の清浄空気が外部へ放出され、外部からの汚染物資の侵入を排除できることにより内部の無菌、および清浄度を維持することができる。
ｂ）アイソレータ装置１ａ，１ｂを接続し、可動ゲート２０ａ，２０ｂを開いて開広路態様Ｙとした連通状態においてもその通路全域にわたって清浄空気を供給でき、かつ外部からの汚染空気の侵入がないため無菌、および清浄度を維持することができる。
ｃ）機械的手段により遮閉化を測るものではないから、パッキン形状が複雑化したり、パッキンなどの機械的摩耗や劣化による遮閉性の低下がなく、さらには、発塵を生ずることがなく、局所的清浄空間を常に確保できる。
ｄ）可変連通路１２に静圧，風速あるいは風量を検知するための、圧力計，速度計，流量計または微粒子計などの監視計器７１を設けることにより、これら監視計器７１を監視することにより、可変連通路１２への圧力空気の排出状態が常に確認でき、外部からの汚染空気の流入が無いことが容易に検証される。
ｅ）圧力制御によるものであるから、接続、切り離しの工程を短時間で行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用した無菌・無塵システムの概要側面図である。
【図２】本発明を適用した無菌・無塵システムの概要平面図である。
【図３】アイソレータ装置１ａ，１ｂの分離状態の側面図である。
【図４】アイソレータ装置１ａ，１ｂの接続状態の側面図である。
【図５】アイソレータ装置１ａ，１ｂの可変連通路を開広路態様Ｙとした状態の側面図である。
【図６】アイソレータ装置１ａ，１ｂの要部を示す遮閉状態の縦断側面図である。
【図７】アイソレータ装置１ａ，１ｂの要部を示す連通状態の縦断側面図である。
【符号の説明】
１ａ 移動アイソレータ装置
１ｂ 固定アイソレータ装置
１０ａ，１０ｂ 開口接続部
１２ 可変連通路
１３ 主庫
１７ａ，１７ｂ エアーダクト
２０ａ，２０ｂ 可動ゲート
２２，２２ 空気吹き出し面
３１ａ，３１ｂ 空気吹き出し面
４７，４７ 昇降シリンダ
５８ スペーサ
７１ 監視計器
Ｘ 閉狭路態様
Ｙ 開広路態様
ｓ 連通狭隙

Claims (2)

1. 内部を無菌・無塵状態を維持して遮閉化されるアイソレータ装置に、他のアイソレータ装置と相互に連通する可変連通路を設け、
   かつ該可変連通路を、その少なくとも一面を構成する可動ゲートの開閉作動により、アイソレータ装置の遮閉状態で閉狭路態様とし、アイソレータ装置相互の連通状態で開広路態様とすると共に、
   該可変連通路の周面に空気吹き出し面を形成し、該空気吹き出し面から常に可変連通路側へ空気圧を印加するようにし、さらに可変連通路の閉狭路態様で、当該可変連通路を構成する可動ゲートが作動位置を規定されることにより形成されたクリアランスを連通狭隙として、空気吹き出し面からの清浄空気が連通狭隙を通過して外部へ常時排出されるようにしたことを特徴とするアイソレータ装置の連通機構。
2. 可変連通路の静圧，風速，あるいは風量を測定することにより、可変連通路の状態検証を常時行うようにしたことを特徴とする請求項１記載のアイソレータ装置の連通機構。

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