JP2000304324A

JP2000304324A - アイソレータ装置の連通機構

Info

Publication number: JP2000304324A
Application number: JP11109419A
Authority: JP
Inventors: Yasushi Kawasaki; 康司川崎; Minoru Miyamoto; 宮本　　実; Hiroyuki Eshiro; 弘至江城; Toshinaga Toda; 俊永戸田; Mitsuo Jinno; 満雄神農; Daisuke Tsunoda; 大輔角田; Nobuo Ishiyama; 信夫石山; Shinichi Azumaguchi; 慎一東口
Original assignee: Airex Co Ltd
Current assignee: Acous Corp
Priority date: 1999-04-16
Filing date: 1999-04-16
Publication date: 2000-11-02
Anticipated expiration: 2019-04-16
Also published as: JP3777060B2

Abstract

(57)【要約】【課題】クリーンルームにおける無菌・無塵状態を維
持したアイソレータ装置にあって、遮閉状態及び連通状
態のいずれの場合にも、その内部に汚染空気が侵入する
ことのない連通機構を提案する。【解決手段】内部を無菌・無塵状態を維持して遮閉化
されるアイソレータ装置１ａ，１ｂに、他のアイソレー
タ装置と相互に連通する可変連通路１２，１２を設け、
かつ該可変連通路１２，１２を、その少なくとも一面を
構成する可動ゲート２０の開閉作動により、アイソレー
タ装置の遮閉状態で閉狭路態様Ｘとし、アイソレータ装
置１ａ，１ｂ相互の連通状態で開広路態様Ｙとすると共
に、該可変連通路１２の周面に空気吹き出し面２２を形
成し、該空気吹き出し面２２から常に可変連通路１２側
へ空気圧を印加するようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、局所的清浄空間を
形成するためのアイソレータ装置相互の連通機構に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体や電子部品、または医薬品を製造
する工場などでは、清浄な空気雰囲気中にて各部品の組
み付け，加工，充填などを行うためにクリーンルームが
一般的に用いられる。このクリーンルームにあっては、
室内全体を例えば一方向流（いわゆる層流）を用いた大
量の清浄空気により高清浄度を維持する方法が一般的に
採用されている。

【０００３】しかしながらクリーンルームを用いる場合
には、その初期投資、維持費が膨大であり、そこで、コ
ストの低減等を目的に、所要部分のみに高度な清浄雰囲
気を形成するというクリーンルームの局所化が重要な課
題となっている。この技術手段として、アイソレータ装
置、ミニエンバイロメントなどにより局所空間を構成す
るようにした手段が提案されている。

【０００４】この清浄雰囲気の局所化は、例えば半導体
工場の場合には、ウエハー周辺の局所空間のみを高清浄
度に維持された清浄空間とするものである。また、医薬
品製造工場などの場合には、無菌充填済みのバイアル瓶
やアンプル瓶、あるいは滅菌済みのゴム栓などのパーツ
を、いわゆるアイソレータ装置といわれる無菌および高
清浄度を維持した中で、製造、あるいは搬送する方法が
取られている。

【０００５】ところで、このような清浄化された局所空
間相互を接続するには、周囲が汚染されているために細
心の注意が求められ、特殊な２重扉構造のいわゆる無菌
フランジ、あるいはRTP （ラピッドトランスファポー
ト）フランジといわれる接続部品により汚染部分を封じ
込める機械的なシーリングを用いた連通手段がとられて
いる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記接続
フランジは、汚染部分を最小とするため、パッキン形状
が複雑化して丈夫に設計できず、その耐久性、ひいては
密閉性能に対する信頼性が乏しい。さらにある程度、強
い締め込み力が必要なために、その時生じる摩滅、摺摩
などによる発塵や、機密性の低下などの懸念を抱え、し
かも状態の確認、検証（バリデーション）が難しい。あ
わせて、接続エリアは、清浄空気を流すことができず、
可変連通路全域にわたる清浄空間を確保できない。特
に、このような問題は接続、切り離しの工程を短時間で
行うことが必要な場合や、かかる工程の頻度が多い場合
にはより重大となる。

【０００７】本発明は、クリーンルームにおける無菌・
無塵状態を維持したアイソレータ装置にあって、遮閉状
態及び連通状態のいずれの場合にも、その内部に汚染空
気が侵入することがなく、かつ上述の各問題点を解決し
得る連通機構を提案し、信頼性の高い無菌・無塵システ
ムを構築することを目的とするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、内部を無菌・
無塵状態を維持して遮閉化されるアイソレータ装置に、
他のアイソレータ装置と相互に連通する可変連通路を設
け、かつ該可変連通路を、その少なくとも一面を構成す
る可動ゲートの開閉作動により、アイソレータ装置の遮
閉状態で閉狭路態様とし、アイソレータ装置相互の連通
状態で開広路態様とすると共に、該可変連通路の周面に
空気吹き出し面を形成し、該空気吹き出し面から常に可
変連通路側へ空気圧を印加するようにしたことを特徴と
するアイソレータ装置の連通機構である。

【０００９】かかる構成にあって、アイソレータ装置相
互を接続する場合にあって、可動ゲートの外面を相互に
当接して、同時に開放作動を行い、夫々の可変連通路を
開広路態様にして連続させる。これにより、連通する可
変連通路対を介して一方のアイソレータ装置の庫内にあ
るワーク（被処理物品）を他方のアイソレータ装置の庫
内へ移送可能となる。

【００１０】この連通状態にあって、空気吹き出し面か
らは常に可変連通路側へ空気圧が印加されており、可変
連通路は外周囲の空気圧に対して陽圧となる。このた
め、アイソレータ装置相互の当接面間にクリアランスが
あっても、外部の汚染された空気が内部に侵入すること
はない。

【００１１】次に、ワークの移送が終了すると、各アイ
ソレータ装置の可動ゲートを同時的に閉鎖駆動し、可変
連通路を夫々閉狭路態様として、各庫内を遮閉化した後
に、相互に分離する。この可動ゲートが閉鎖位置の場合
にあって、閉狭路態様にある可変連通路には空気圧が常
に印加されており、このため、この閉狭路態様で可変連
通路にクリアランスがあっても、汚染空気が侵入しな
い。

【００１２】ここで、可変連通路の閉狭路態様で、連通
狭隙を生じさせ、空気吹き出し面からの清浄空気が連通
狭隙を通過して外部へ常時排出されるようにした構成が
提案される。すなわち、可変連通路に連通狭隙を確保
し、これによりその閉鎖状態でも連通狭隙から、常に空
気が外部へ噴出するようにしたものである。このよう
に、可変連通路が閉狭路態様となると、空気吹き出し面
からの空気圧が上昇することとなり、このため、該連通
狭隙により庫外に向かう清浄空気の高速気流が生成さ
れ、その通過表面である可変連通路の周囲面が清浄化さ
れると共に、外部の汚染空気の侵入が確実に防止され
る。

【００１３】ここで、可変連通路の静圧，風速，風量あ
るいは清浄度を測定することにより、可変連通路の状態
検証を常時行うようにする。すなわち、従来の連通機構
のように、周囲雰囲気と、庫内の空気の連通を機械的な
シーリングにより完全に遮断するという発想であると、
外部から汚染空気の侵入に対して常時監視する手段がな
い。しかるにかかる構成であると、空気が所定量，又は
所定圧、外へ流出している状態では、汚染空気の侵入は
ないものと考えることができ、その計測値が一定以上で
あるかどうかを確認することにより、常時監視が可能と
なる。ここで空気吹き出し面は、可変連通路の上面のみ
ではなく、下面又は側面に形成することができる。

【００１４】

【発明実施の形態】次に本発明の実施の形態を添付図面
に従って説明する。図１，図２は、本発明の開口接続部
１０を備えた移動アイソレータ装置１ａと固定アイソレ
ータ装置１ｂとを用いた、無菌・無塵処理システムの一
例を示すものである。

【００１５】ここで、離間して配置された固定アイソレ
ータ装置１ｂ，１ｂ間には、移動アイソレータ装置１ａ
が配備されている。

【００１６】この各アイソレータ装置１ａ，１ｂはその
庫内を清浄空間としているものであり、かかる清浄空間
が作業者により汚染されないように、外部周囲と遮断す
る筐壁に作業孔２を適宜に形成し、該作業孔２に、手作
業を可能とするグローブ３などを取付けると共に、該作
業孔２をグローブ３で密閉している。作業者は外からグ
ローブ３に手を挿入し、該グローブ３を介して庫内のワ
ークの加工，処理，調整などの作業を行うこととなる。
その他、作業孔２には、作業者が上半身を庫内に挿入可
能とするハーフスーツ、全身を庫内に位置させながら該
庫内と作業者とを遮断するフルスーツなどの隠蔽被覆材
が設けられる。

【００１７】固定アイソレータ装置１ｂ，１ｂ間に設け
られる移動アイソレータ装置１ａは、相互に設けられた
開口接続部１０ａ，１０ｂを介して固定アイソレータ装
置１ｂに接続され、その庫内間をワークｗが移送され
る。

【００１８】すなわち、移動アイソレータ装置１ａには
一面側に開口接続部１０ａが設けられ、他面側に手押し
用把手１１が設けられており、一方の固定アイソレータ
装置１ｂからワークｗを受け取った後、その下部に設け
たキャスタ５により１８０度転回して、該開口接続部１
０ａの位置を反転し、その開口接続部１０ａを他方の固
定アイソレータ装置１ｂの開口接続部１０ｂに接続し、
開口接続部１０ａ，１０ｂを開放作動して、庫内相互を
連通する。そして移動アイソレータ装置１ａ内のワーク
ｗが固定アイソレータ装置１ｂ内へ移送される。ここで
各庫内のワークｗの移送は、その内部に設けられたコン
ベヤで自動搬送されるか、又はワークｗを支持するトレ
ー７２をグローブ３により手作業で移送することにより
行われる。

【００１９】このように開口接続部１０ａ，１０ｂ相互
の接続を介して、アイソレータ装置１ａ，１ｂの局所的
な清浄空間が連通し、さらに該清浄空間内でワークｗの
処理が行われ、かつ順次次工程に移送される。

【００２０】図３〜５は、アイソレータ装置１ａ，１ｂ
の接続作動を段階的に示す側面図である。ここで、固定
アイソレータ装置１ｂの前面には移動アイソレータ装置
１ａが遊嵌する接続凹面６が形成されている。そして、
図３の分離位置から、移動アイソレータ装置１ａを移動
し、図４で示すように移動アイソレータ装置１ａの前部
を固定アイソレータ装置１ｂの接続凹面６に装着し、図
５で示すように開口接続部１０ａ，１０ｂを夫々同時に
開放することにより、各庫内の連通を行う。

【００２１】上述のアイソレータ装置１ａ，１ｂの連通
を密閉状に行う開口接続部１０ａ，１０ｂは、本発明の
要部に係り、かかる構成を図６，７に従って詳細に説明
する。開口接続部１０ａ，１０ｂは、ワークｗの移送ラ
インＬと一致する可変連通路１２，１２を備え、該可変
連通路１２，１２の下面を構成する可動ゲート２０ａ，
２０ｂの昇降により、該可変連通路１２を閉狭路態様Ｘ
と開広路態様Ｙとに変換するようにしてなるものであ
る。

【００２２】すなわち、アイソレータ装置１ａ，１ｂの
主庫１３を構成する外筺には、移送ラインＬと一致する
連通口１５が形成され、さらに主庫１３の上部前面に固
定されたエアーダクト１７ａ，１７ｂと、その直下に配
設された可動ゲート２０ａ，２０ｂ間を可変連通路１
２，１２とし、該可変連通路１２，１２を連通口１５に
水平方向で連続するようにしている。而して、可変連通
路１２の少なくとも底面が可動ゲート２０ａ，２０ｂの
上面により構成されることとなる。

【００２３】また、この可動ゲート２０ａ，２０ｂは、
ゲート案内ダクト４５ａ，４５ｂの上部に装着され、可
動ゲート２０ａ，２０ｂの前面板２１をゲート案内ダク
ト４５ａ，４５ｂの案内外面４６と面接触して、安定的
昇降を確保するようにしている。一方、可動ゲート２０
ａ，２０ｂはゲート案内ダクト４５ａ，４５ｂ内に設け
た昇降シリンダ４７，４７のシリンダロッドと結合して
いる。

【００２４】さらには、可動ゲート２０ａの前面板２１
ａと可動ゲート２０ｂの前面板２１ｂには、その一方に
連結突起５０が、他方に該連結突起５０が嵌入する連結
孔５１が形成されている。図６，７では、可動ゲート２
０ｂに連結突起５０を可動ゲート２０ａに連結孔５１を
形成しているが、その配置関係は逆であっても良い。こ
のため、後述するように移動アイソレータ装置１ａが固
定アイソレータ装置１ｂに連結した状態で、可動ゲート
２０ａ，２０ｂは連結孔５１に連結突起５０が嵌入する
ことにより、上下方向で連結され、昇降シリンダ４７，
４７が駆動すると、可動ゲート２０ａ，２０ｂは一体的
に昇降することとなる。

【００２５】ここで、可変連通路１２の上面を構成する
エアーダクト１７の下面には空気吹き出し面２２が形成
されている。この空気吹き出し面２２は、図６，７で示
すように、１５〜５０ｍｍの微間隙２５をおいて設けら
れた１５０〜５００メッシュのスクリーン２３ａ，２３
ｂを多孔板２４で機械的に保持してなるものである。こ
のように、多孔板２４を設けることにより、スクリーン
２３ａ，２３ｂの破損防止の保護となると共に、加圧空
気に対して吹き出し面を平面状に保持し得る。またスク
リーン２３ａ，２３ｂを微間隙２５を置いて配設するこ
とにより、単に濾過作用を生じるだけでなく、該間隙２
５により、吹き出し速度の均一化が図られる。ここで、
スクリーンは一層構造としても良く、さらには上述した
ように同一層のほかメッシュを異ならせた層からなる二
層構造としても良い。さらに多孔板２４を取付けなくて
も良い場合もある。

【００２６】一方、前記空気吹き出し面２２にはスペー
サ５８が配設され、これにより、可動ゲート２０ａ，２
０ｂの上昇位置を規定し、後述するように、閉狭路態様
Ｘにある可変連通路１２の高さを一定とし、連通狭隙ｓ
を確保している。この可変連通路１２には、その静圧，
風速あるいは風量を検知するために、圧力計，速度計，
流量計または微粒子計などの監視計器７１が設けられ
る。

【００２７】エアーダクト１７は、主庫１３の天部に設
けたダクト３０ａ，３０ｂと連通し、該ダクト３０ａ，
３０ｂの内圧を高めることにより、主庫１３の天部に配
設した空気吹き出し面３１ａ，３１ｂから清浄空気を移
送ラインＬに直上から吹き降ろすと共に、エアーダクト
１７の空気吹き出し面２２からも、清浄空気を可変連通
路１２に直上から吹き降ろすようにしている。この空気
吹き出し面３１ａ，３１ｂも、空気吹き出し面２２と同
様に、スクリーン２３ａ，２３ｂを微間隙２５を介して
多孔板２４で機械的に保持してなる。

【００２８】固定アイソレータ装置１ｂ側にあっては、
接続凹面６の上部の天井ダクト３６をダクト３０ｂと連
通し、天井ダクト３６に配設したブロアー３５により、
天井ダクト３６内を負圧とし、ダクト３０ｂ及びエアー
ダクト１７ｂを陽圧とし、上述したように、主庫１３内
と可変連通路１２の移送ラインＬ上に清浄空気を給送す
るようにしている。

【００２９】上述した各空気吹き出し面２２，２２，３
１ａ，３１ｂ上のダクト１７ａ，１７ｂ，３０ａ，３０
ｂ内にはヘパフィルタ（高性能フィルタ）７０またはウ
ルパフィルタが配設されている。このため、可変連通路
１２，１２及び主庫１３，１３には、ヘパフィルタ７０
及びスクリーン２３ａ，２３ｂにより、上述したように
清浄空気が送給されることとなる。

【００３０】さらに、天井ダクト３６の接続凹面６に臨
む下面は空気連通面３７となっており、該空気連通面３
７の吸引作用により接続凹面６内が負圧状態となる。こ
のため、図７で示すように、アイソレータ装置１ａ，１
ｂが連結して、エアーダクト１７ａ，１７ｂの外面が面
接触した状態にあって、エアーダクト１７ａ，１７ｂの
当接面の上部雰囲気が可変連通路１２の内圧よりも確実
に低くなるため、かかる当接面から、汚染空気が可動ゲ
ート２０ａ，２０ｂ内に侵入することはない。すなわ
ち、該当接面から、内部の圧力が微流出し得る圧力関係
におかれ、当接面からの可変連通路１２内の汚染が防止
される。また、天井ダクト３６の前面も、周囲雰囲気と
連通する空気連通面３８となっており、この空気連通面
３７，３８から外気が天井ダクト３６内ヘ導入される。

【００３１】さらに一方、前記可動ゲート２０ａ，２０
ｂの上面には、可変連通路１２からの圧力空気を回収す
るリターンエアー孔が多数設けられた空気連通面３９が
形成され、かつ主庫１３の移送ラインＬ下部の、空気吹
き出し面２２と連通する基部ダクト４４の上面にも空気
連通面４０が形成され、空気吹き出し面２２，２２及び
空気吹き出し面３１ａ，３１ｂからの圧力空気を空気連
通面３９，４０から回収するようにしている。

【００３２】基部ダクト４４内は、上部排出路４１とゲ
ート案内ダクト４５ａ，４５ｂ内と連通する下部排出路
４２が配設され、空気連通面４０からの空気を上部排出
路４１に回収し、可動ゲート２０ａ，２０ｂの空気連通
面３９で捕捉された空気をゲート案内ダクト４５ａ，４
５ｂから下部排出路４２に回収するようにしている。
尚、下部排出路４２とゲート案内ダクト４５ａ，４５ｂ
とを連通する開口は、ヘパフィルタ７０で覆われ、下部
排出路４２に設けたブロアー４９により、ゲート案内ダ
クト４５ａ，４５ｂのエアーを下部排出路４２に導入
し、かつその過程でヘパフィルタ７０を透過して清浄化
するようにしている。ブロアー４９は、ゲート案内ダク
ト４５ａ，４５ｂ内でヘパフィルタ７０に対向状に設け
て、下部排出路４２へ清浄空気を給送するようにしても
良い。この上部排出路４１と、ゲート案内ダクト４５
ａ，４５ｂは、天井ダクト３６内へ還流される。または
庫外へ排出するようにしても良い。

【００３３】次にかかる構成の作動を説明する。図６で
示すように、移動アイソレータ装置１ａ，固定アイソレ
ータ装置１ｂが非接続状態にあっては、昇降シリンダ４
７，４７のシリンダロッドが伸出状態となり内部が遮閉
化される。一方、空気吹き出し面２２，２２にはスペー
サ５８が配設され、このため該伸出状態で、可変連通路
１が閉狭路態様Ｘとなった場合に、可動ゲート２０ａ，
２０ｂの上面がスペーサ５８と当接して、可変連通路１
２は完全に閉鎖されず、連通狭隙ｓが形成される。この
とき、空気吹き出し面２２からは可変連通路１２へ常に
圧力空気が印加され、しかも連通狭隙ｓは開口度が小さ
いから、開広路態様Ｙの状態のときに比して、可変連通
路１２に高圧空気が印加される。このため、該可変連通
路１２の連通狭隙ｓ内で高速気流が可動ゲート２０ａ，
２０ｂの空気連通面３９にぶつかり、かつ乱流となっ
て、その大部分が可変連通路１２から庫外へ流出するこ
ととなる。而して、庫外に向かう高速気流が生成され、
かつその通過表面である可変連通路１２の周囲面が清浄
化される。

【００３４】ここでこの連通狭隙ｓは、開口高さ０．１
ｍｍ〜５ｍｍ程度とする。また、空気吹き出し面２２の
幅は、開口の寸法にもよるが一般的に１０〜２０００ｍ
ｍ程度が採用される。

【００３５】さらに閉狭路態様の静圧を２０〜５００Ｐ
ａ、あるいは吹き出し風速を４〜３０ｍ／ｓとなるよう
に調整する。なおこの調整は、連通狭隙ｓの寸法、ある
いはブロアー３５の風量をダンパーまたはインバーター
を用いることにより容易に調整できる。

【００３６】一方、この可変連通路１２には、上述した
ように、その静圧，風速，風量，清浄度を検知するため
の、圧力計，速度計，流量計または微粒子計などの監視
計器７１が設けられている。従って、これら監視計器７
１を監視することにより、可変連通路１２への圧力空気
の排出が確認され、この状態にあっては、外部からの汚
染空気の流入が無いことが検証される。この点、例えば
従来構成のように、接続状態を機械的シーリングにより
機密にするという技術思想に立てば、その状態検証の手
段がなく、例えばゴムパッキンの摩耗により汚染空気が
流入した状態となっていても、気づかずにこの状態が放
置され、主庫１３内の汚染が継続進行することとなり、
移動アイソレータ装置１ａの信頼性を低下させることと
なる。

【００３７】ここで、上述の構成にあっては、スペーサ
５８により閉狭路態様を確保するようにしたが、可変連
通路１２の連通狭隙ｓの開口高さは０．１ｍｍ以上であ
ればよいから、各種形成誤差等により可変連通路１２に
はそのクリアランスにより連通狭隙ｓを生じる。このた
め、スペーサ５８などの規定手段を設けなくとも、可変
連通路１２に連通狭隙ｓを形成することが可能となる。

【００３８】なお、本発明は、空気吹き出し面２２から
常に圧力を可変連通路１２側へ印加しているものであ
り、クリアランスがなく連通狭隙ｓが生じない場合も含
まれる。

【００３９】次に移動アイソレータ装置１ａ内のワーク
ｗを固定アイソレータ装置１ｂ内に移送する場合には、
移動アイソレータ装置１ａを固定アイソレータ装置１ｂ
内の接続凹面６に嵌入し、連結孔５１に連結突起５０を
嵌着してエアーダクト１７ａ，１７ｂの外面を当接した
後、昇降シリンダ４７，４７を同期駆動して、可動ゲー
ト２０ａ，２０ｂを同時に下降する。そして可変連通路
１２，１２を同時に開広路態様Ｙとする。

【００４０】この連通状態にあって、空気吹き出し面２
２，２２からは常に可変連通路１２，１２側へ空気圧が
印加されており、開口状態で、可変連通路１２，１２は
開口接続部１０ａ，１０ｂの外周囲の空気圧に対して陽
圧となっており、このため、エアーダクト１７ａ，１７
ｂ相互または可動ゲート２０ａ，２０ｂ相互が完全に密
に当接した状態とならず、クリアランスがあったとして
も、外部の汚染された空気が開口接続部１０ａ，１０ｂ
対間等から内部に侵入することは無い。さらには、この
とき、上述したように、天井ダクト３６の空気連通面３
７の吸引作用により、上部の雰囲気を負圧状態とし、可
変連通路１２，１２の内圧に対して、周囲雰囲気が確実
に低くなるようにしているから、外部からの汚染空気の
侵入が確実に防止される。この開放状態での空気吹き出
し面２２，２２からの吹き出し速度は、医薬製造工程に
あってはＷＨＯあるいはＦＤＡなどのＧＭＰ基準または
ガイドラインの０．３〜０．４５ａ，４５ｂｍ／ｓが採
用されるが、そのほか工程によっては０．１〜２ｍ／ｓ
の風速としても良い。

【００４１】ここで、昇降シリンダ４７，４７の駆動
は、リミットスイッチ，近接スイッチなどを用いて、移
動アイソレータ装置１ａと固定アイソレータ装置１ｂの
接続を検知することにより自動的に作動させることがで
きる。または、作動用スイッチの操作により駆動させる
ようにしても良い。

【００４２】上述の昇降シリンダ４７，４７に代えて、
昇降制御モータにより駆動するラックピニオン機構，ボ
ールネジなど種々の昇降制御機構を適用することができ
る。さらには、一方の可動ゲート２０ａ，２０ｂのみに
駆動源を連係し、他方の可動ゲート２０ａ，２０ｂに、
上昇位置（閉狭路態様）に付勢する付勢手段を付設する
ことにより、連結突起５０，連結孔５１等の連係機構を
介して、一方の駆動源により可動ゲート２０ａ，２０ｂ
を同期的に昇降させることができる。

【００４３】而して、移動アイソレータ装置１ａ，固定
アイソレータ装置１ｂの開広路態様Ｙにある可変連通路
１２，１２が夫々連通し、トレー７６に支持されたワー
クｗの移送を、上述した作業孔２に装着されているグロ
ーブ３を用いて、該トレー７６を遊転ロール７５上で摺
動させるなどの手段により行う。尚、ワークｗの移送は
ベルトコンベヤやボールネジ，シリンダなどの押出機構
を介して自動移送を行うようにしてもよい。

【００４４】この可変連通路１２の移送過程で、移送ラ
インＬには、可変連通路１２，１２及び空気吹き出し面
３１ａ，３１ｂから移送方向と直交方向に清浄空気が噴
射される。このためワークｗに、上方から直接、高圧清
浄空気が当たるから、ワークｗは空気噴射による清浄作
用を受ける。この清浄空気は、側方へ流れて、上述した
ように、基部ダクト４４，４４，ゲート案内ダクト４５
ａ，４５ｂ内へ流入して、上部排出路４１，下部排出路
４２を経由して還流または排出される。

【００４５】上述の構成は、可変連通路１２の上面に配
設した空気吹き出し面２２から高圧空気を放出するよう
にしたが、可変連通路１２の上面と共に両側面（または
一側面）から放出しても良い。さらには、該両側面また
は一側面のみから放出するようにしても良い。

【００４６】上述の実施例にあっては、移動アイソレー
タ装置１ａと固定アイソレータ装置１ｂとの連通に本発
明を適用したものであるが、移動アイソレータ装置１
ａ，１ａ相互の連通にも本発明を適用することができ
る。さらに可動ゲート２０ａ，２０ｂを可変連通路１２
の下部に配設したが上部または側部に配設しても良い。
さらにまた上下に可動ゲートを夫々配設して同時的に作
動させるようにしても良い。さらに移動アイソレータ装
置は、自動搬送装置（ＡＧＶ）にも勿論適用できる。

【００４７】

【発明の効果】本発明は上述した構成に係り、このため
次のような効果がある。ａ）アイソレータ装置１ａ，１ｂの開口接続部１０ａ，
１０ｂの可動ゲート２０ａ，２０ｂを閉止した遮閉状態
において、閉狭路態様Ｘを形成し、該可変連通路１２に
圧力を印加したから、閉狭路態様Ｘに連通狭隙ｓが生じ
た場合には、該連通狭隙ｓにより高速の清浄空気が外部
へ放出され、外部からの汚染物資の侵入を排除できるこ
とにより内部の無菌、および清浄度を維持することがで
きる。ｂ）アイソレータ装置１ａ，１ｂを接続し、可動ゲート
２０ａ，２０ｂを開いて開広路態様Ｙとした連通状態に
おいてもその通路全域にわたって清浄空気を供給でき、
かつ外部からの汚染空気の侵入がないため無菌、および
清浄度を維持することができる。ｃ）機械的手段により遮閉化を測るものではないから、
パッキン形状が複雑化したり、パッキンなどの機械的摩
耗や劣化による遮閉性の低下がなく、さらには、発塵を
生ずることがなく、局所的清浄空間を常に確保できる。ｄ）可変連通路１２に静圧，風速あるいは風量を検知す
るための、圧力計，速度計，流量計または微粒子計など
の監視計器７１を設けることにより、これら監視計器７
１を監視することにより、可変連通路１２への圧力空気
の排出状態が常に確認でき、外部からの汚染空気の流入
が無いことが容易に検証される。ｅ）圧力制御によるものであるから、接続、切り離しの
工程を短時間で行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した無菌・無塵システムの概要側
面図である。

【図２】本発明を適用した無菌・無塵システムの概要平
面図である。

【図３】アイソレータ装置１ａ，１ｂの分離状態の側面
図である。

【図４】アイソレータ装置１ａ，１ｂの接続状態の側面
図である。

【図５】アイソレータ装置１ａ，１ｂの可変連通路を開
広路態様Ｙとした状態の側面図である。

【図６】アイソレータ装置１ａ，１ｂの要部を示す遮閉
状態の縦断側面図である。

【図７】アイソレータ装置１ａ，１ｂの要部を示す連通
状態の縦断側面図である。

【符号の説明】

１ａ移動アイソレータ装置１ｂ固定アイソレータ装置１０ａ，１０ｂ開口接続部１２可変連通路１３主庫１７ａ，１７ｂエアーダクト２０ａ，２０ｂ可動ゲート２２，２２空気吹き出し面３１ａ，３１ｂ空気吹き出し面４７，４７昇降シリンダ５８スペーサ７１監視計器Ｘ閉狭路態様Ｙ開広路態様ｓ連通狭隙

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者江城弘至名古屋市中村区椿町14番13号株式会社エアレックス内 (72)発明者戸田俊永名古屋市中村区椿町14番13号株式会社エアレックス内 (72)発明者神農満雄名古屋市中村区椿町14番13号株式会社エアレックス内 (72)発明者角田大輔名古屋市中村区椿町14番13号株式会社エアレックス内 (72)発明者石山信夫名古屋市中村区椿町14番13号株式会社エアレックス内 (72)発明者東口慎一名古屋市中村区椿町14番13号株式会社エアレックス内Ｆターム(参考） 3L058 BE02 BF05 BG03 BG04 3L080 AA04 AA06 AB04 AC05

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】内部を無菌・無塵状態を維持して遮閉化さ
れるアイソレータ装置に、他のアイソレータ装置と相互
に連通する可変連通路を設け、かつ該可変連通路を、そ
の少なくとも一面を構成する可動ゲートの開閉作動によ
り、アイソレータ装置の遮閉状態で閉狭路態様とし、ア
イソレータ装置相互の連通状態で開広路態様とすると共
に、該可変連通路の周面に空気吹き出し面を形成し、該
空気吹き出し面から常に可変連通路側へ空気圧を印加す
るようにしたことを特徴とするアイソレータ装置の連通
機構。
【請求項２】可変連通路の閉狭路態様で、連通狭隙を生
じさせ、空気吹き出し面からの清浄空気が連通狭隙を通
過して外部へ常時排出されるようにしたことを特徴とす
る請求項１記載のアイソレータ装置の連通機構。
【請求項３】可変連通路の静圧，風速，あるいは風量を
測定することにより、可変連通路の状態検証を常時行う
ようにしたことを特徴とする請求項２記載のアイソレー
タ装置の連通機構。