JP3683744B2 - アイソレータ装置の清浄維持装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、局所清浄空間を構成するアイソレータ装置の清浄維持装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体や電子部品、または医薬品を製造する工場などでは、清浄な空気雰囲気中にて各部品の組み付け,加工,充填などを行うためにクリーンルームが一般的に用いられる。このクリーンルームにあっては、室内全体を例えば一方向流(いわゆる層流)を用いた大量の清浄空気により高清浄度を維持する方法が一般的に採用されている。
【0003】
しかしながらクリーンルームを用いる場合には、その初期投資、維持費が膨大であり、そこで、コストの低減等を目的に、例えば半導体工場の場合には、ウエハー周辺の局所空間のみを高清浄度に維持された清浄空間とする等、所要部分のみに高度な清浄雰囲気を形成するというクリーンルームの局所化が試みられている。この技術手段として、アイソレータ装置、ミニエンバイロメントなどにより局所清浄空間を構成するようにした手段が提案されている。
【0004】
ここでアイソレータ装置は、無菌および高清浄度に維持した局所清浄空間が内部に形成され、かつ基端を装置外壁に気密固定して局所清浄空間内に挿入した作業グローブ等の隠蔽被覆材を備えてなり、作業者は外部にいながら、窓ガラスを通して内部を確認しつつ、作業グローブ等を介して種々の作業を行うことを可能とするものである。このアイソレータ装置は、例えば、医薬品製造工場などで用いられ、洗浄,滅菌済みのバイアル瓶やアンプル瓶、あるいは滅菌済みのゴム栓などのパーツをアイソレータ装置の庫内の局所清浄空間で製造あるいは搬送するようにしている。このようにアイソレータ装置を用いることにより、作業者は、低清浄雰囲気中にいたままで、清浄な空気雰囲気中での種々の加工又は搬送作業等を進行させることが可能となる優れた利点がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上述のアイソレータ装置にあって、その局所清浄空間の清浄度を所定水準に維持することは、かかる装置の信頼性に関わる最も大きな課題である。しかるに、その内部を完全な気密状態に確保することは実際上困難であるから、一般的には、内部を陽圧化して外部へ空気が漏出し得る状態を確保して、外周囲の汚染空気が内部に侵入しないようにしている。
【0006】
一方、アイソレータ装置内を陽圧となるように加圧しても、該アイソレータ装置が配設される外部雰囲気は、部屋の扉の開閉などにより、圧力変動を生じる場合があり、このため設置環境によっては、アイソレータ装置内の陽圧維持の信頼性が低く、汚染空気が内部に流入する場合もある。
【0007】
また、アイソレータ装置内で薬品等の揮発性物質を取り扱うような場合には、庫内の空気を外へ漏出させると、周囲雰囲気がかえって汚染される場合もある。
【0008】
さらに、アイソレータ装置内が清浄に維持されているかどうかは、その空気漏れ状態を適宜に検知することにより検証され得るが、この検証は、内部加圧後の減圧速度によりその漏れ量を換算したり、またはアンモニアガスの充満後の反応試験布による漏れの有無の確認などにより行っており、漏れ量を常時モニタリングすることはできない。
【0009】
一方、アイソレータ装置の漏れ箇所は、特に、開閉を伴い、またパッキン材料によるシールを行っているガラス窓枠の廻り等の接合部の周縁が漏れ量の大部分を占める。しかるに、このような接合部の周縁部分は、閉止した後のリーク量の確認が困難であり、かつ状態の確認、検証(バリデーション)が難しい。また、初期確認漏れ量の再現性に不安がある。さらに、多くの締め込み点数、また大きな締め込み強度を求めると、構造的な強度の増大とともに、作業性が劣ることになる等、その対応には種々の困難性がある。
【0010】
本発明は、以上の点に鑑みて創案されたもので、クリーンルームにおける無菌・無塵状態を維持したアイソレータ装置のガラス窓などの接合部周縁からの漏れを抑止すると共に、上述の各困難性を克服し得る信頼性の高いアイソレータ装置の清浄維持装置を提供することを目的とするものである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明は、装置筐体の接合部の内周縁に、アイソレータ装置の内部及び外部に対して陰圧となる陰圧空気吸入路を設置すると共に、接合部の内周縁を通過する空気を陰圧空気吸入路で吸引し、さらに陰圧空気吸入路の流量を継続的に測定する流量検出手段を備えたことを特徴とするアイソレータ装置の清浄維持装置である。ここで接合部はガラス窓に限定されるものではなく、装置筐体に生じる種々の接合部が対象となる。
【0012】
ここで陰圧空気吸入路の陰圧度は外部雰囲気に比べ10〜50000Pa低い圧力で制御することが望ましい。
【0013】
かかる構成にあって、内部の陽圧により接合部の内周縁を通過しようとする空気や、外部から内周縁を通過しようとする空気は、陰圧空気吸入路で回収される。このため、内部からの漏れを抑止できるとともに、外部から汚染空気が流入することもなく、シールド性が向上することとなる。また、アイソレータ装置内の陽圧は、陰圧空気吸入路との圧力差により定まり、この陰圧空気吸入路の圧力制御によって、外部雰囲気に依存することなく、確実に陽圧化することができ、局所清浄空間をアイソレータ装置内に安定的に確保することができる。
【0014】
かかる構成にあっては、陰圧空気吸入路の流量を継続的に測定する流量検出手段を備えた構成が適用可能となる。この流量検出手段として、陰圧空気吸入路から回収される空気の流量を測定する微少流量計,微粒子カウンター等が用いられる。ここで継続的に測定するとは、連続的測定のほか、間欠的な継続測定を含むものである。このように継続的に流量を測定することにより、アイソレータ装置の庫内の局所清浄空間の状態確認が可能となる。すなわち、この測定値により、所定流量の空気が流出していることを確認することにより庫内圧力が所定の陽圧状態にある等、種々の状態検証が可能となり、かつその流出程度により内部の清浄度を確認することができる。また、この測定値により、限界流量を越えたかどうかが判定可能となり、限界流量を越えた場合には異常発生とすることにより、異常警報などを自動的に行うことが可能となる。
【0015】
一方、ガラス窓などの接合部の周縁に清浄空気を供給することにより、接合部の内周縁への汚染空気の流入をさらに充分に防止することができる。尚、かかる清浄空気の供給の為に、外側から接合部の周縁を補償ダクトで覆い、該補償ダクト内に清浄空気を供給すればよい。この場合に、清浄空気を外圧よりも高くすることにより、ダクトの接続縁から、外部の汚染された空気が流入することがなくなる。
【0016】
【発明実施の形態】
次に本発明の実施の形態を添付図面に従って説明する。
図1,図2はアイソレータ装置1を用いた無菌・無塵システムの一例を示すものである。このシステムにあっては、移動式又は固定式の複数のアイソレータ装置1が用いられ、各アイソレータ装置1内でワークの加工等が行われ、夫々の開口接続部を介してワークの授受が行われて一連の流れ作業が順次実行される。
【0017】
このアイソレータ装置1はその庫内を無菌・無塵状態を維持して遮閉化することにより、局所清浄空間としているものであり、かかる清浄空間が作業者により汚染されないように、外部周囲と遮断する装置筐体2にガラス窓4(接合部)を設け、該ガラス窓4に形成された作業孔5に手作業を可能とする作業グローブ8(隠蔽被覆材)の基端部を密閉状に取付けている。これにより、作業グローブ8により作業孔5は密閉されるとともに、作業者は外から作業グローブ8に手を挿入し、ガラス窓4を介して内部を確認しながら、該作業グローブ8を介して庫内のワークの加工,処理,調整などの作業を行うこととなる。その他、作業孔5には、作業グローブ8に代えて作業者が上半身を庫内に挿入可能とするハーフスーツ、全身を庫内に位置させながら該庫内と作業者とを遮断するフルスーツなどの隠蔽被覆材が設けられる。
【0018】
かかる構成にあって、シングルウオール型のアイソレータ装置1aの構成を図3に従ってさらに詳細に説明する。
かかる構成にあっては、基台10上に装置筐体2が保持されるとともに、該装置筐体2には、開口3が形成される。この開口3の周縁の装置筐体2上には内部を陰圧空気吸入路13とする吸入ダクト11が設けられる。この吸入ダクト11はその前面に吸引口12が形成され、該前面に通気性パッキン15が吸引口12を覆わないようにして接合され、通気性パッキン15上にガラス窓4が固着される。而してガラス窓4(接合部)の内周縁には陰圧空気吸入路13が配設されることとなる。さらには、ガラス窓4の端縁及び吸入ダクト11を囲繞するように、補償ダクト16がガラス窓4周縁に固定され、補償ダクト16内を陽圧補償路17としている。さらに庫内にあって、後壁には回収路40が設けられ、吸引ファン41によりヘパフィルタ42を通過させて、正常化した空気を還流させるようにしている。
【0019】
一方、ガラス窓4の中央部に形成された作業孔5には、基部筒片20の端縁が固着され、該基部筒片20をアイソレータ装置1の内方へ突出している。この基部筒片20は、挟持片21を作業孔5の内周縁にパッキン22を介して固着することにより、気密性を保持して固定されることとなる。この基部筒片20の挿入端部には、作業グローブ8が外側から嵌着され、Oリング23により気密的に保持される。これにより該作業グローブ8はアイソレータ装置1内に挿入され、上述したように、作業者は、手を作業グローブ8に挿入して、その可撓性を利用してアイソレータ装置1内のワークを取扱うことが可能となる。
【0020】
次に、本発明の要部につき説明する。
前記吸入ダクト11内は陰圧管路30が接続される。この陰圧管路30には、圧力計31が装着される。さらに、該陰圧管路30は真空ポンプ37に、制御弁32,ヘパフィルタ33及び流量計34を介して接続され、これにより真空ポンプ37が駆動すると、吸入ダクト11内は外気に対して10〜50000Paに減圧され、該内部が陰圧空気吸入路13となる。ここで、陰圧空気吸入路13に吸引された空気はヘパフィルタ33により清浄化された後、外部へ排出されることとなる。
【0021】
さらに補償ダクト16には陽圧管路40が接続され、この、陽圧管路40を介して送風機41の圧力空気がヘパフィルタ42を介して、補償ダクト16内に導入される。すなわち送風機41の圧力空気はヘパフィルタ42により清浄化され、この清浄化された空気が補償ダクト16内に導入され得ることとなり、これにより補償ダクト16内を陽圧補償路17としている。この補償ダクト16への供給圧力は、庫内よりも小さく、かつ外部よりも高圧となるように調整される。即ち、供給された高圧空気が後述する通気性パッキン15を透過してから庫内へ流入することのないようにしている。
【0022】
かかる構成にあって、陽圧補償路17の圧力により清浄空気が、該補償ダクト16の接続部の微間隙19を介して外部へ漏出すると共に、陰圧空気吸入路13との圧力差により、通気性パッキン15を介して吸引口12から吸入ダクト11内に流入する。これにより、微間隙19から、外部の汚染された空気が補償ダクト16内に流入することがない。また、ガラス窓4の内周縁には内部を陰圧空気吸入路13とする吸入ダクト11が設けられているから、陰圧空気吸入路13の陰圧によりアイソレータ装置1内の圧力空気が通気性パッキン15を透過して吸引口12から吸入ダクト11内へ流入する。
【0023】
一方、吸入ダクト11には、通気性パッキン15を介してアイソレータ装置1内の空気も流入する。このため、アイソレータ装置1内の空気が外側に漏出することが無く、アイソレータ装置1内で有機溶剤等の揮発性の物質を取り扱うような場合に、作業者がいる外部雰囲気が逆汚染されることがなく、作業環境が良好に保全される。しかも、汚染された外部の空気はアイソレータ装置1側へ流入することはなく、高いシールド性が保たれることとなる。
【0024】
アイソレータ装置1内の陽圧は、陰圧空気吸入路13との圧力差により定まり、このため陰圧空気吸入路13の圧力制御によって、外部雰囲気に依存することなく、確実に陽圧化することができ、局所清浄空間をアイソレータ装置1内に安定的に確保することができる。すなわち、アイソレータ装置1が配設される外部雰囲気は、部屋の扉の開閉などにより、圧力変動を生じる場合があるが、かかる外部雰囲気とは無関係にアイソレータ装置1内を局所清浄空間として維持することができる。
【0025】
さらに、上述のように補償ダクト16により、ガラス窓4(接合部)の周縁を覆って、清浄空気を供給したから、接合部の内周縁からの汚染空気の流入をさらに完全に防止することができる。そしてこのため、ガラス窓4等の接合部の締め込み作業を軽減でき、組付けが容易となる。
【0026】
かかる構成にあっては、陰圧空気吸入路13から回収される空気の流量を微少流量計34等を用いて継続的に計測することにより、常時、アイソレータ装置1内の状況を監視することができる。すなわち、所定圧力が流出していることを確認することにより内圧が所定の陰圧状態にあることを検証することができ、かつその圧力程度により内部の洗浄度を確認することができ、これによりアイソレータ装置1の庫内の局所清浄空間の状態確認が可能となる。この微少流量計34は本発明の陰圧空気吸入路13の流量を継続的に測定する流量検出手段を構成するものである。
【0027】
また、この測定により、限界流量を越えたかどうかが判定可能となり、限界流量を越えた場合には異常発生とすることにより、異常警報などを自動的に行うことが可能となり、かかる異常警報により、迅速な改善が可能となる。
【0028】
而して、アイソレータ装置1内は適正な圧力に維持されるとともに、その清浄度を適正に確保し得ることとなる。
【0029】
図4は、補償ダクト16を省略した構成に係る。この構成にあっては、陰圧空気吸入路13に外気が直接流入することとなるが、この陰圧空気吸入路13により周囲空気とアイソレータ装置1内が遮断され、アイソレータ装置1内の空気が庫外へ流出したり、または庫外の汚染空気がアイソレータ装置1内に流入することがなくなる。このため、上述の各作用効果を達成することができ、アイソレータ装置1内を局所清浄空間に維持することが可能となる。
【0030】
図5は、ダブルウオール型のアイソレータ装置1を示す。
ここで、このアイソレータ装置1の内部には装置筐体2との間で間隙を形成する内壁51をステイ52により保持してなり、該間隙を周回路50としている。また、この内壁51には、前記ガラス窓4と対向する位置で内ガラス窓52が装着され、作業者がガラス窓4,内ガラス窓52を介してアイソレータ装置1内を視認可能なようにしている。また、この構成にあっては、基部筒片20を内方へ延出して内ガラス窓52に形成した孔部53に挿入し、かかる孔部53周囲と基部筒片20を接合するようにし、これにより基部筒片20を両端保持して保持強度を増している。その他の構成は図3と同様であり、同一符号を付して説明を省略する。
【0031】
かかる構成のダブルウオール型のアイソレータ装置1bにあっては、周回路50を下方で開口して内部と連通するようにし、さらに上部に吸引ファン55を設け、かつ庫内との連通路にヘパフィルタ56を設け、周回路50に上昇気流を形成するとともに、ヘパフィルタ56により清浄化するようにしている。この構成にあっては、周囲空気と、アイソレータ装置1内との間に周回路50が介在することとなり、例え、周囲空気の汚染空気が侵入したとしても、周回路50により遮断され、シールド性がさらに向上することとなる。
【0032】
上述の実施例は、ガラス窓枠の廻りの接合部につき、本発明を適用したものであるが、本発明は、このような開口を遮蔽する接合部のみに限定されるものではなく、装置筐体を構成する種々の部材の接合部に適用され得るものである。
【0033】
【発明の効果】
本発明は上述したように、アイソレータ装置の、ガラス窓などの接合部の内周縁に陰圧空気吸入路を設置し、接合部の内周縁を通過する空気を陰圧空気吸入路で吸引したものであり、このため次のような効果がある。
【0034】
イ) 内部の陽圧により接合部の内周縁を通過しようとする空気や、外部から内周縁を通過しようとする空気は、陰圧空気吸入路で回収され、このため、外部から汚染空気が流入することもなく、シールド性が向上するとともに、内部からの空気漏れを抑止でき、外部の逆汚染が阻止される。さらには、ガラス窓等に適用した場合には、その閉めこみ作業を軽減できる。
【0035】
ロ) アイソレータ装置1内の陽圧は、陰圧空気吸入路13との圧力差により定まり、この陰圧空気吸入路13の圧力制御によって、外部雰囲気に依存することなく、確実に陽圧化することができ、局所清浄空間をアイソレータ装置内に安定的に確保することができる。
【0036】
ハ) 陰圧空気吸入路から回収される空気の流量を微少流量計,微粒子カウンター等を用いて計測することにより、常時監視することができる。これによりアイソレータ装置の庫内の局所清浄空間の状態確認が可能となり、自動警報も可能となる。
【0037】
ニ) ガラス窓などの接合部の周縁に外側から清浄空気を供給することにより、接合部の内周縁からの汚染空気の流入をさらに完全に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用した無菌・無塵システムの概要側面図である。
【図2】本発明を適用した無菌・無塵システムの概要平面図である。
【図3】シングルウオール型のアイソレータ装置1aの要部の縦断側面図である。
【図4】アイソレータ装置1aの変形例の要部の縦断側面図である。
【図5】ダブルウオール型のアイソレータ装置1bの要部の縦断側面図である。
【符号の説明】
1,1a,1b アイソレータ装置
2 筐壁
4 ガラス窓
5 作業孔
8 作業グローブ
11 吸入ダクト
12 吸引口
13 陰圧空気吸入路
15 通気性パッキン
16 補償ダクト16
30 陰圧管路
33 ヘパフィルタ
34 流量計
37 真空ポンプ
40 陽圧管路
50 周回路
56 ヘパフィルタ
Claims (3)
- 装置筐体の接合部の内周縁に、アイソレータ装置の内部及び外部に対して陰圧となる陰圧空気吸入路を設置すると共に、接合部の内周縁を通過する空気を陰圧空気吸入路で吸引し、さらに陰圧空気吸入路の流量を継続的に測定する流量検出手段を備えたことを特徴とするアイソレータ装置の清浄維持装置。
- アイソレータ装置内を外部に対して陽圧としたことを特徴とする請求項1記載のアイソレータ装置の清浄維持装置。
- 接合部の周縁に清浄空気を供給するようにしたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のアイソレータ装置の清浄維持装置。
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