CN1149356C - 在加工室中引导空气的方法和装置 - Google Patents

在加工室中引导空气的方法和装置 Download PDF

Info

Publication number
CN1149356C
CN1149356C CNB008020523A CN00802052A CN1149356C CN 1149356 C CN1149356 C CN 1149356C CN B008020523 A CNB008020523 A CN B008020523A CN 00802052 A CN00802052 A CN 00802052A CN 1149356 C CN1149356 C CN 1149356C
Authority
CN
China
Prior art keywords
air
processing room
zone
perimeter
zone line
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
CNB008020523A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1322285A (zh
Inventor
���ػ����¡����ж�
贝特霍尔德·迪托恩
���طƶ���
托马斯·赫特菲尔德
���¡�Լ����������˹
埃伯哈德·约斯特
洛塔尔·盖尔
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Publication of CN1322285A publication Critical patent/CN1322285A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1149356C publication Critical patent/CN1149356C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
    • F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed

Abstract

在加工室(12，12a)中引导空气的装置(10，10a)具有一个带有入口闸门(15，15a)和出口闸门(16)的壳体(11，11a)。在壳体(11，11a)内构造了用于灌装和封闭小瓶(1)或安瓿(2)的加工室(12，12a)。加工室(12，12a)通过中间区域(25)与外部区域(20，20a)分隔开。中间区域(25)具有可运动的门(22)，借助它能够对加工室(12，12a)进行手动干预。该装置(10，10a)另外具有一个带有通风机(31；31a)和清洁空气过滤器(32，48)的通风设备(28)，它在加工室(12，12a)之内产生一个水平或垂直走向的、层流的空气流。通过在加工室(12，12a)中、在中间区域(25)中、在入口闸门(15，15a)和出口闸门(16)中的特殊压力关系，避免出现对加工室(12，12a)以及外部区域(20，20a)的污染的出现或避免污染超过一个可给出公差的范围。

Description

在加工室中引导空气的方法和装置
技术领域
本发明涉及在加工室中引导空气的一种方法和一种装置。特别涉及在包装机械的壳体之内将药剂或类似产品灌装到包装容器内的一种方法和一种装置。
背景技术
在所谓的隔离技术中经常建造这种公知的装置，就是说，在洁净室条件下完成包装容器的灌装和封闭，从而能够使得既不因外界影响污染事先消过毒的包装容器，也不污染灌装物。为此特别将装置的灌装和封闭区域用一个壳体包围起来，其处于内部的空气或者通过清洁空气过滤器循环，或者通过清洁空气过滤器不断从外部导入净化过的空气(EP 0604925 B1)。在这种装置中还经常要求，在生产室中能够进行来自外部的手动干预，例如为了校准装置。公知的干预可能性一方面是借助手套(EP 0604925 B1)，另一方面也可不用手套而自由干预。在后一种干预可能性中经常存在污染的危险，这是由外部对生产室的污染或生产室对外部区域的污染引起的。
发明内容
因此，本发明的任务是，这样建立一种在加工室中引导空气的方法和装置，使得对加工室或生产室的污染及对外部区域(从该外部区域进行对生产室中的操纵)的污染都被消除或至少被减小到一个确定的、可定出公差的尺度上。
按照本发明，提出了一种在加工室中引导空气的方法，其中，壳体除了闸门区域外相对于外部区域封闭，在该壳体中产生空气流，它将借助过滤器净化的空气导入壳体内的加工室中并且经过包装容器的灌装和封闭区域，通过一个中间区域可以对加工室进行操纵，其中在加工室和中间区域之间构成第一空气流，并且在中间区域和过滤器之间构成第二空气流，其中在加工室中作用一个比在中间区域中高的空气压力，其中，在中间区域和外部区域之间构造了缝隙，并且在外部区域中的压力比在中间区域中的压力高，这样，通过这些缝隙流入中间区域中的空气被抽吸走并被送到过滤器。
按照本发明，还提出了一种在加工室中引导空气的装置，具有一个壳体，包装容器可沿一个输送路段被引导通过该壳体以便被灌装并封闭，具有一个用于使壳体内的加工室保持洁净的装置，它包括至少一个通风机和一个过滤器，具有一个可运动的分隔机构用于使得能够从外部区域向加工室中进行干预，其中分隔机构构成一个中间区域，它通过缝隙与加工室以及外部区域连通，并且其中中间区域具有用于将流入中间区域中的空气抽吸到通风机和到过滤器的装置。
本发明方法和本发明装置的优点在于，在特别通过位于生产室和外部区域之间的一个缝隙对生产室内进行干预的时刻，由生产室向外部区域方向流动的空气和相反方向流动的空气通过一个中间室被抽吸出并从而不能到达所述的该另一个区域。
按照一种有利的方法方案，闸门区域具有用于包装容器的从外部区域通入该闸门区域的第一开口和从加工室通入该闸门区域的第二开口，空气被从闸门区域抽吸到过滤器，并且空气从加工室和外部区域流入闸门区域中。
按照一种有利的构型，壳体具有用于包装容器的一个入口闸门和一个出口闸门，它们具有通向外部区域的第一开口和通向加工室的第二开口，并且设有将空气从入口闸门和出口闸门输送到通风机的装置，使得在入口闸门中和在出口闸门中作用一个压力，该压力低于在加工室中的和在外部区域中的压力。
按照另一种有利的构型，借助通风机可在加工室中产生一个空气流，它是基本上水平并且横向于包装容器的输送方向定向的。
按照另一种有利的构型，通风机被安置在中间区域的相对侧，其中包装容器的输送路段位于通风机和中间区域之间。
按照另一种有利的构型，借助通风机可在加工室中产生一个空气流，它垂直于包装容器的输送方向定向。
按照另一种有利的构型，在闸门区域中可借助通风机产生一个空气流，它垂直地绕包装容器流动。
按照另一种有利的构型，至少在加工室中的空气流作为层流的空气流构成。
附图说明
在附图中给出了本发明的两个实施例并在后面详细解释。图示为：
图1  以俯视图示出用于将药剂或类似产品灌装到包装容器中的装置的原理图，
图2  隔离式结构的灌装设备的简化主视图，及
图3  灌装设备入口区域的沿图2中的III-III平面的局部剖视图。
具体实施方式
用于将特别是干燥的药剂或类似产品灌装到包装容器、例如小瓶1中并将其封闭的装置10具有一个壳体11。壳体11包围一个生产室12，在该生产室中安置有特别是灌装和封闭装置，这些装置因为不是本发明的重要处理装置而没有示出。这些小瓶1借助一个输送装置被引导沿输送路径13通过生产室12，其中壳体11具有一个入口闸门15和一个出口闸门16。该入口闸门15和出口闸门16分别构成一个闸门区域17、18，它们具有从装置10的外部区域20通入闸门区域17、18的第一开口19和从闸门区域17、18通入生产区域12的第二开口21。开口19和21的大小优选地与小瓶1的大小相配或者说可以改变，这使得开口19和21的大小尽可能地小，以避免各个区域之间过量的空气交换。
为了能够在生产室12中进行手动干预，在壳体11的一个侧面以双盘式门22的形式形成了一种作用可能性。门22具有到生产室12的一个第一盘24和到外部区域20的一个第二盘23。两个盘23、24之间的距离达到例如约40mm。为了清楚地表明门22不是密封空气地封闭壳体11，在两个盘23、24的区域内朝向壳体内壁处画出了缝隙26、27，通过这些缝隙，在生产室12和位于两个盘23、24之间的中间室25之间以及在外部区域20和中间室25之间实现有目的的空气交换。
对生产室12的作用可能性特别通过以下方案实现，即门22可移动或者说可升降地构成，从而产生一个缝隙或自由空间，通过它可以对生产室12人工干预。如果门22打开，则空气可以通过由此构成的缝隙或自由空间到达中间室25中。还可以想到，至少附加地在一个盘24中构造一个孔，通过该孔可以导入一只固定在另一盘23上(在朝向生产室12的一侧)的手套。
在输送路径13的与门22相对的另一侧，在壳体11中安置一个通风设备28，在实施例中它通过一个可通过空气的装置29与生产室12分隔开。该通风设备28有一个通风机(Geblaese)31和一个连接在后面的清洁空气过滤器32形式的过滤器。在通风设备28的区域内，壳体11在通风机31的进气侧有一个可调节的第一闸板33，以允许从外部区域20有控制地导入空气。另外在通风机31的压力侧设有一个可调节的第二闸板34，以使净化的空气可以排出到外部区域20中。
为了不仅避免外部区域20对生产室12的污染，又避免反向的污染，装置10被特别地构成。为此将位于两个盘23、24之间的中间室25通过一个抽气装置或抽气管与通风机31的进气侧连接，这样形成一个空气流动路径36。另外的空气流动路径37自入口闸门15和出口闸门16通到通风机31的进气侧而构成。通风机31将在清洁空气过滤器32中净化的空气导入生产室12中，其中产生一个基本水平走向的层流空气流38，它通过小瓶1的处理室或处理面朝中间室25的方向流动。
在此重要的是，在各个室或区域中的空气压力情况是不同的：在生产室12中的压力高于中间区域25以及入口闸门15和出口闸门16中的压力。另外在中间区域25、入口闸门15以及出口闸门16中的压力低于外部区域20中的压力，也就是说，在这些区域中相对于外部区域20有一个负压。这使得，不仅外部区域20的空气通过第一开口19流入入口闸门15和出口闸门16中，而且通过缝隙27或在打开门22时通过由此构成的缝隙或自由空间流入中间区域25中，这应该通过气流箭头39清楚地表明了。另外空气从生产室12通过第二开口21流入入口闸门15和出口闸门16中以及通过缝隙26进入中间区域25中，这已通过气流箭头40表明了。这样就没有不洁净的或污染的空气的空气流从生产室12以外的区域进入生产室12中。此外也没有不洁净的或污染的空气从生产室12排出到外部区域20中。由于从生产室12排出的空气或由于通过外部区域20进入中间区域25中的空气而对中间区域25和闸门区域17、18造成的污染通过将空气从上述区域中抽吸到通风机31的进气侧而得以避免。
在图2和图3描述的本发明第二实施例中，装置10a作为液体药剂灌装设备构成。在安瓿2中进行灌装，也可以灌装小瓶或类似件。可以看出箱形的壳体11a，安瓿2在输送平面41的高度上沿输送方向42(在图2中垂直于图示平面走向)被引导通过壳体。入口闸门15a积成于壳体11a中并具有一个朝着生产室或隔离内室12a的中间壁43。在输送平面41的下面安置了一个抽气栅格件44，它构成了一个抽气通道45的边界。通过抽气栅格件44和抽气通道45，借助通风机31a把空气从入口闸门15a的区域中抽出，这些空气接着进入位于隔离内室12a上方的、分隔开的中间室46中。在中间室46中安置一个循环空气通风机47，它使空气通过清洁空气过滤器48回流到隔离内室12a中。
如从图2中借助气流箭头49可看出的，空气从入口闸门15a中大致向下被抽吸到抽气通道45中，并且在抽气通道45中在壳体11a近底板的边缘区域中向上向通风机31a的方向转向。
此外从图3中可以看出，空气从隔离内室12a流入入口闸门15a中(气流箭头50)。这是由于，类似于图1中描述的第一实施例，在隔离内室12a中具有比入口闸门15a中更高的压力。通过相应于第一实施例的有目的地将空气从隔离内室12a中抽吸出来，避免被污染的空气进入隔离内室12a中。
此外相应于气流箭头51和52可以看出，或者空气从外部区域20a进入入口闸门15a中，或者空气从入口闸门15a流出到外部区域20a中，这取决于是外部区域20a中具有比入口闸门15a中更高的压力还是相反。
通过使空气从外部区域20a进入入口闸门15a，避免污染的过程空气排出到外部区域20a中，特别是在产品有毒时希望如此。相反，通过有目的地使空气从入口闸门15a向外部区域20a中流出，可以使隔离内室12a相对于外部区域20a有目的地卸压，从而从装置10a中产生较少的废气，作为补偿它又必须作为新鲜空气被输入。通过此降低了装置10a的能量需要。
补充地提出，装置10a相应于第一实施例，同样在装置10a的出口侧具有一个相应于入口闸门15a的空气流或一个相应的结构。此外该空气流在隔离内室12a中同样作为层流的空气流构成，但它大致垂直地自上向下绕安瓿2流动。然而这种类型的空气引导在隔离技术中已经广泛公知。

Claims (9)

1.在加工室(12，12a)中引导空气的方法，其中，壳体(11，11a)除了闸门区域(17，18)外相对于外部区域(20，20a)封闭，在该壳体中产生空气流，它将借助过滤器(32，48)净化的空气导入壳体(11，11a)内的加工室(12，12a)中并且经过包装容器(1，2)的灌装和封闭区域，通过一个中间区域(25)可以对加工室(12，12a)进行操纵，其中在加工室(12，12a)和中间区域(25)之间构成第一空气流，并且在中间区域(25)和过滤器(32，48)之间构成第二空气流，其中在加工室(12，12a)中作用一个比在中间区域(25)中高的空气压力，其特征在于，在中间区域(25)和外部区域(20，20a)之间构造了缝隙(27)，并且在外部区域(20，20a)中的压力比在中间区域(25)中的压力高，这样，通过这些缝隙(27)流入中间区域(25)中的空气被抽吸走并被送到过滤器(32，48)。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，闸门区域(17，18)具有用于包装容器(1，2)的从外部区域(20，20a)通入该闸门区域(17，18)的第一开口(19，19a)和从加工室(12，12a)通入该闸门区域(17，18)的第二开口(21，21a)，空气被从闸门区域(17，18)抽吸到过滤器(32，48)，并且空气从加工室(12，12a)和外部区域(20，20a)流入闸门区域(17，18)中。
3.在加工室(12，12a)中引导空气的装置(10，10a)，具有一个壳体(11，11a)，包装容器(1，2)可沿一个输送路段(13)被引导通过该壳体以便被灌装并封闭；具有一个用于使壳体(11，11a)内的加工室(12，12a)保持洁净的装置(28)，它包括至少一个通风机(31；31a，47)和一个过滤器(32，48)；具有一个可运动的分隔机构(22)用于使得能够从外部区域(20，20a)向加工室(12，12a)中进行干预，其中分隔机构(22)构成一个中间区域(25)，它通过缝隙(26，27)与加工室(12，12a)以及外部区域(20，20a)连通，并且其中中间区域(25)具有用于将流入中间区域(25)中的空气抽吸到通风机(31；31a，47)和到过滤器(32，48)的装置。
4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，壳体(11，11a)具有用于包装容器(1，2)的一个入口闸门(15，15a)和一个出口闸门(16)，它们具有通向外部区域(20，20a)的第一开口(19，19a)和通向加工室(12，12a)的第二开口(21，21a)，并且所述引导空气的装置设有将空气从入口闸门(15，15a)和出口闸门(16)输送到通风机(31；31a，47)的装置，使得在入口闸门(15，15a)中和在出口闸门(16)中作用一个压力，该压力低于在加工室(12，12a)中的和在外部区域(20，20a)中的压力。
5.如权利要求3或4所述的装置，其特征在于，借助通风机(31)可在加工室(12)中产生一个空气流(38)，它水平地并且横向于包装容器(1)的输送方向定向。
6.如权利要求5所述的装置，其特征在于，通风机(31)被安置在中间区域(25)的相对侧，其中包装容器(1)的输送路段(13)位于通风机(31)和中间区域(25)之间。
7.如权利要求3或4所述的装置，其特征在于，借助通风机(47)可在加工室(12a)中产生一个空气流，它垂直于包装容器(2)的输送方向定向。
8.如权利要求3所述的装置，其特征在于，在闸门区域(17，18)中可借助通风机(31a)产生一个空气流，它垂直地绕包装容器(2)流动。
9.如权利要求5所述的装置，其特征在于，至少在加工室(12，12a)中的空气流作为层流的空气流构成。
CNB008020523A 1999-10-02 2000-09-27 在加工室中引导空气的方法和装置 Expired - Lifetime CN1149356C (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19947781A DE19947781C1 (de) 1999-10-02 1999-10-02 Verfahren und Vorrichtung zur Luftführung in einem Bearbeitungsraum
DE19947781.7 1999-10-02

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1322285A CN1322285A (zh) 2001-11-14
CN1149356C true CN1149356C (zh) 2004-05-12

Family

ID=7924458

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB008020523A Expired - Lifetime CN1149356C (zh) 1999-10-02 2000-09-27 在加工室中引导空气的方法和装置

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6619901B1 (zh)
EP (1) EP1135655B1 (zh)
JP (1) JP4574929B2 (zh)
CN (1) CN1149356C (zh)
AT (1) ATE265028T1 (zh)
DE (2) DE19947781C1 (zh)
WO (1) WO2001025694A1 (zh)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6759072B1 (en) * 1999-08-14 2004-07-06 The Procter + Gamble Co. Methods and systems for utilizing delayed dilution, mixing and filtration for providing customized beverages on demand
US6726947B1 (en) * 1999-08-14 2004-04-27 The Procter & Gamble Co. Process for providing customized varieties and strengths of fresh-brewed coffee on demand
ITBO20060183A1 (it) * 2006-03-15 2007-09-16 Pietro Dovesi Metodo per il confezionamento di flaconi in ambiente sterile ed apparato che attua tale metodo
DE102006034156B3 (de) * 2006-07-24 2007-09-13 Siemens Ag Anordnung zur Belüftung von Baugruppen
JP2008032335A (ja) * 2006-07-31 2008-02-14 Hitachi High-Technologies Corp ミニエンバイロメント装置、検査装置、製造装置、及び空間の清浄化方法
WO2008037326A2 (en) * 2006-09-26 2008-04-03 CFS Bühl GmbH Sanitary food processing, transportation and packaging line to elongate product runs and product shelf life
DE102009003205A1 (de) * 2009-05-19 2010-11-25 Robert Bosch Gmbh Kombifüllstation
DE102012209961A1 (de) 2012-01-11 2013-07-11 Robert Bosch Gmbh Verschließbare Einheit für einen Isolator oder Reinraum
CN102658887A (zh) * 2012-05-14 2012-09-12 楚天科技股份有限公司 基于rabs系统的出料装置
DE102012208574A1 (de) 2012-05-22 2013-11-28 Robert Bosch Gmbh Filtereinheit für ein Barrieresystem

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2578474B1 (fr) * 1985-03-08 1989-05-05 Calhene Installation pour travaux hors poussiere, notamment pour la fabrication et le controle de composants electroniques, et son procede de mise en oeuvre
DE3836696C1 (en) * 1988-10-28 1989-12-07 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung Ev, 8000 Muenchen, De Lock for transporting material between clean rooms
JPH0364477A (ja) * 1989-08-02 1991-03-19 Nec Corp 常圧処理装置
FR2677273B1 (fr) * 1991-06-07 1993-10-15 Aquitaine Pharm International Sa Installation de manipulations de produits hautement actifs.
JPH0794252B2 (ja) * 1991-07-04 1995-10-11 東洋製罐株式会社 無菌充填方法
GB9202154D0 (en) * 1992-01-31 1992-03-18 Challenger John G Clean room construction
DE9217873U1 (zh) * 1992-12-31 1993-06-24 Metall + Plastic Gmbh, 7760 Radolfzell, De
JP3120395B2 (ja) * 1993-03-10 2000-12-25 東京エレクトロン株式会社 処理装置
DE4332657C2 (de) * 1993-09-27 1996-10-17 Gentischer Josef Dipl Ing Fh Vorrichtung zum Handhaben von Substraten in Reinsträumen und mit einer derartigen Vorrichtung versehene Schleuseneinrichtung
KR100542414B1 (ko) * 1996-03-27 2006-05-10 가부시키가이샤 니콘 노광장치및공조장치
WO1998000676A1 (en) * 1996-06-28 1998-01-08 Intelligent Enclosures Corporation Environmentally enhanced enclosure for managing cmp contamination
JPH10132346A (ja) * 1996-10-25 1998-05-22 Aoki Corp クリーンルーム・システム及びその管理方法
WO1998050134A1 (en) * 1997-05-09 1998-11-12 Szatmary Michael A Isolation chamber air curtain apparatus
US5944602A (en) * 1997-09-09 1999-08-31 Tumi Manufacturing, Inc. Portable cleanroom cabinet assembly
AU1682999A (en) * 1997-12-18 1999-07-05 Nikon Corporation Method of controlling air pressure in chamber, apparatus for the same, and exposure apparatus
US6478461B1 (en) * 2000-01-14 2002-11-12 Rap Technologies, Inc. Transportable hot-mix asphalt manufacturing and pollution control system
JP2001328780A (ja) * 2000-05-22 2001-11-27 Daiichi Shisetsu Kogyo Kk 垂直型クリーン搬送装置

Also Published As

Publication number Publication date
DE19947781C1 (de) 2000-12-21
ATE265028T1 (de) 2004-05-15
US6619901B1 (en) 2003-09-16
JP2003511646A (ja) 2003-03-25
WO2001025694A1 (de) 2001-04-12
EP1135655A1 (de) 2001-09-26
DE50006147D1 (de) 2004-05-27
CN1322285A (zh) 2001-11-14
EP1135655B1 (de) 2004-04-21
JP4574929B2 (ja) 2010-11-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1149356C (zh) 在加工室中引导空气的方法和装置
US20130284028A1 (en) Apparatus for Dust Removal by Air Curtain Isolation and Self-Circulation Purification
JP4955924B2 (ja) 液体の充填物を無菌状態で充填するための設備
US11577950B2 (en) Device for treating containers
KR20160115802A (ko) 반도체 용기 보관 설비
EP0096336B1 (en) Apparatus for filling containers in a sterile environment
JP2004517008A (ja) びん形状の包装容器に殺菌充填する装置
US5858040A (en) Filling machine having a microfiltrated clean air supply system
JP4183976B2 (ja) 収納体の環境改善装置
WO2015060383A1 (ja) 清浄作業装置
CN101004281B (zh) 用于在洁净间中待处理之产品的、特别是用于液晶屏幕之玻璃板的货栈以及用于在这样的货栈中使产品保持洁净的方法
CN1179672C (zh) 烟草工业中降低生产设备噪声大小的装置
US20090249744A1 (en) Packing machine
JP7448778B2 (ja) 物品処理設備
EP4267889B1 (en) Machine for pharmaceutical or biotechnological processes, assembly and method for realising the machine
JP2659514B2 (ja) 軽量容器搬送システム
JP7411004B2 (ja) ロードポートモジュールのウエハ容器の湿度低減装置及びそれを備えた半導体工程装置
CN212268013U (zh) 卫生用品用清理杀菌装置
US20220371761A1 (en) A filling machine with hygienic chamber
CN211224166U (zh) 适配灌装设备的包装盒防污染系统和灌装机
CN210385941U (zh) 一种多层结构的净化工作台
KR100853999B1 (ko) 재고 물품 운반 시스템용 공기 정화 장치
AU6547700A (en) Hood for the protection of premises
CN115910858A (zh) 一种半导体刻蚀设备
JPH0215984A (ja) 作業台

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CX01 Expiry of patent term
CX01 Expiry of patent term

Granted publication date: 20040512