CN101004281B - 用于在洁净间中待处理之产品的、特别是用于液晶屏幕之玻璃板的货栈以及用于在这样的货栈中使产品保持洁净的方法 - Google Patents

Abstract

用于在洁净间中待处理之产品的、特别是用于液晶屏幕之玻璃板的货栈，以及用于在这样的货栈中使产品保持洁净的方法。在液晶屏幕的生产中应用了存放架形式的货栈，其中放置用于玻璃板的支架。它们(玻璃板)在洁净空气条件下被如此长时间地存放，直到它们被输送到一洁净间中的处理设备为止。为了避免在洁净间中和在为回送所必需的井筒及通道中循环的空气量或使其至少明显地减小，并因此能实现对此所需面积的明显减小，则使抽吸洁净空气的通风机被安置在货栈顶盖下方的区域中。向产品输送的洁净空气可直接从向下流动的洁净空气流中抽取。该货栈和方法应用于制造液晶屏幕。

Description

用于在洁净间中待处理之产品的、特别是用于液晶屏幕之玻璃板的货栈以及用于在这样的货栈中使产品保持洁净的方法

技术领域

本发明涉及一种用于在洁净间中待处理之产品的、特别是用于液晶屏幕之玻璃板的货栈，以及涉及一种用于在这样的货栈中使产品保持洁净的方法。

背景技术

特别是在液晶屏幕的生产中，采用了存放架形式的货栈，其也被称之为层架并且在其中装有支架。它们包含有玻璃板，这些玻璃板应用于制造液晶屏幕并且在货栈内洁净空气条件下被如此长时间地存放，直到它们被输送到一个洁净间中的处理设备为止。置有玻璃板的支架通过一个输送装置例如在不同的处理设备之间移动，以便确保在不同的处理步骤之间及在流程要求的存放阶段期间有一种安全可靠的处理流程。玻璃板尺寸随着每个新的处理过程的产生而增长。当前玻璃板的尺寸例如处于约1.5m到1.85m(之间)。每个支架可以接纳28个这样的玻璃板。在货栈中，该支架在货栈的两个纵向侧面上分别成多列地上下支承在存放装置中。该货栈可以达到相当大的规模，例如约80m长，约7m宽和约7m高。在货栈中，借助过滤器-通风机-单元输入洁净空气，其(单元)设置在货栈顶盖的上方。在顶盖的下方和存放装置的上方有一个压力空间，由过滤器-通风机-单元将洁净空气输入其内。在该压力空间中，洁净空气被如此分配，使一部分(洁净空气)垂直地通过孔板向下方流到存放装置之间而另一部分则在存放装置的两个彼此背离的外侧面上通过通道向下方流动，这些通道通过双层壁构成。在存放装置之间的区域中置有输送装置，它因此同样被该洁净空气施加作用。在垂直通道中，洁净空气被如此转向，使其水平地通过支架流动，在支架中同样水平地安置着玻璃板。因此全部的由过滤器-通风机-单元输送的洁净空气流向中央的隧道风道区域，从此处起它通过排泄表面或通过开口到达处理设备所处的位置、环绕的洁净间中。另一部分洁净空气则通过一个在货栈下方安置的双层底流入到一个位于其下方的建筑物平面中，其既可是一个配置于区域的洁净间区域，其应用于安装处理过程所用的辅助装置，或者其也可是通过支架构成的中空空间，该空间由一个位于它下方的另外的洁净间区域屏蔽。

在另一种公知的实施方案中，空气供给独立于洁净间顶盖这样地进行设计，即，存放装置之间的隧道区域由在货栈顶盖上安置的过滤器-通风机-单元来供气，并且水平的空气流动通过支架借助直接设置在货栈之纵向壁的外侧面上的过滤器-通风机-单元实现。

最后还公知，为了进行垂直的空气供给，应用了在洁净间顶盖中设置的过滤器-通风机-单元，并且，为了进行水平的空气供给，采用了另外的、在货栈之纵向侧壁上设置的过滤器-通风机-单元。

这些货栈要求占相当大部分的总面积。为了洁净空气供给的空气量需求也是相应高的。因此这种空气供给会导致明显地影响在货栈环境中的流动质量。用以供给货栈所必需的空气量之大部分必须通过双层底被排出，在极端情况下甚至100％的空气量(被排出)。它(空气量)必须与从另外洁净间面上排出的空气量一起通过在洁净间之侧边上或在洁净间面上设置的回流空气井筒或通道再被输送到设于洁净间上方的增压装置中。由于货栈有相当大的空气份额，故这种井筒之必需的回流面积也相应地通过这个空气份额被确定。该回流面积则使得供产品使用的洁净间净面积减小并且由此引起成本增加。因此，建筑物例如为了所需的洁净间面积，由于所述回流面积之故也必须被构造得相应地巨大。

经常是，这种巨大的循环空气量由于回流空气平面中受限制的横截面之故不能完全地从洁净间中央被导送到侧边的回流空气井筒中，而是部分气流必须在此之前就已经从双层底之下方的回流平面中通过在洁净间面内设置的另外的回流空气井筒被排出。这样的结构布置不利于对处理设备进行适宜处理过程的配置并且引起附加的成本。

发明内容

作为本发明基础的目的是，对所属类型的货栈和所属类型的方法如此地设计，以便避免在洁净间中和在为回送所必需的井筒及通道中循环的空气量或使其至少明显地减小，并因此能实现对此所需面积的明显减小。

为此，本发明提供一种用于在洁净间中待处理之产品的、特别是用于液晶屏幕之玻璃板的货栈，具有至少一个用于产品的存放装置，产品被洁净空气流溢流通过，所述洁净空气流由至少一个通风机抽吸，其特征在于：所述产品是位于一向上定向的通道和一中央区域之间，所述向上定向的通道连接在一水平通道上并且是相对所述产品敞开的，洁净空气流在溢流通过产品之后进入到所述中央区域中，在该中央区域内洁净空气向下方流动。

相应地，本发明还提供一种用于在上述货栈中使产品保持洁净的方法，其中，洁净空气向下方流动并且至少一部分洁净空气被输送给产品，其特征在于：向产品输送的洁净空气直接从向下流动的洁净空气流到达至少一个水平通道中，在该水平通道中，洁净空气流去往至少一个成角度连接的向上定向的通道，从该向上定向的通道，洁净空气流朝侧面通过产品流动并且在溢流通过产品之后到达向下流动的洁净空气中。

在本发明的货栈中，用以抽吸通过产品流动之洁净空气的通风机位于货栈之顶盖的下方区域中。向产品输送的洁净空气直接从向下流动的洁净空气流中抽取。这个被抽取的向产品输送的洁净空气份额不给洁净间设备的循环空气系统及洁净间中围绕库存的流动条件造成负担。

本发明之另外的特征内容表明在说明书和附图中。

附图说明

下面借助附图中描述的具体实施例详细解释本发明。附图表明：

图1以示意图和侧视图表明了本发明货栈的第一实施例的一部分，

图2-图11分别以对应于图1的描述方式表明了本发明货栈的另外具体实施例。

具体实施方式

图1中只示出一部分的货栈具有一个洁净间顶盖1，其以公知方式设置。它被设置为格状板盖并具有相互交叉的载轨，其上安置了过滤器-通风机-单元2。在洁净间盖1的下方置有存放装置3，4，即所谓的层架，在其中配置了支架5，6。在存放装置3中上下设置了3个支架5，而相对置的存放装置4则只装有一个支架6。在每个支架5，6中以较小间距上下叠放了玻璃板7，由这些玻璃板制造液晶屏幕(FPD)。玻璃板7水平地放置在支架5，6中。存放装置3，4横向于图平面地延伸并且与之相应地具有多个依次布置的支架5，6。存放装置3，4例如可以具有约80m的长度。作为例子，存放装置3，4是约7m宽和约7m高。支承平面的数量和位置可以根据可供使用的建筑物高度以及储存需求进行改变。

在两个存放装置3，4之间置有一个输送装置8，借助它，支架5，6通过一个转送口区域9被输送到(未示出的)处理设备中，它们位于存放装置4的背离存放装置3的侧面上。输送装置8是可以沿着存放装置3，4横向于图平面运行的并且具有一个在存放装置3，4之高度方向上和横向上可运行的输送元件10，借助它，存放装置3，4的支架5，6可被提取。

转送口区域9可以只设置在存放装置4的一个位置上，因此存放装置4在转送口区域9的前面和后面可同样地伸达货栈的底部11。也可能的是，在存放装置4的长度上分布地设置多个转送口区域9。在依次相继的转送口区域9之间的区域中，支架6是对应于存放装置3之支架5被上下设置的。转送口区域9也可以按所描述的方式设置于存放装置3中。另外可能的是，使两个存放装置3，4都设有转送口区域9。

过滤器-通风机-单元2安置在一个中央区域12的上方，其在侧向上被存放装置3，4限界。按照中央区域12的长度，在洁净间顶盖1上分布地设置多个过滤器-通风机-单元2。它们的通风机13从洁净间顶盖1上方的区域抽吸洁净空气。然后它(空气)通过过滤器14向下方到达中央区域12中(参见流动箭头)。在中央区域12中，被过滤了的洁净空气以层流方式向下流动到底部11，该底部设计为双层底。该向下方流动之洁净空气的绝大部分以公知方式在货栈的下方沿侧向被吸出并通过(未示出的)回流通道被回送到对着通风机2的洁净间顶盖1上方区域中。

在存放装置3之下方的区域中置有通风机15，其按箭头方向16抽吸中央区域12中向下流动之洁净空气的一部分。横向于图平面，配置了多个这样的通风机15以及在后边破此有间距地连接的过滤器17，因此，这部分的洁净空气在存放装置3的长度上被均匀地抽吸。通风机15和过滤器17安置一个水平通道18中，该水平通道在其从中央区域12远离的端部上连接到一个垂直通道19上，该垂直通道设置在支架5的从存放装置4远离的侧面上并且通过一个双层壁20，21被限界。在支架5的区域中，壁部21是敞口的并且形成上下定位的开口22，通过它们使得在通道19中向上流动的洁净空气可以水平地流向支架5。支架5是朝通道19敞开的，因此，洁净空气可以在水平的、有间距的上下叠置的玻璃板7之间。以此方式，玻璃板7则在其存放期间处于一种连续流动的洁净空气流中，从而在存放时间内玻璃板7不会被污染。在流过支架5之后，洁净空气又到达中央区域12中并在那里与从上向下流动的洁净空气相混合。

壁部21也可以省去。这样洁净空气就直接在玻璃板7之间流动。而且存放装置4设有通风机23和后边连接的过滤器24，其从中央区域12中抽吸一部分向下流动的洁净空气。该过滤器-通风机-单元23，24安置在一种水平通道25中，其在从存放装置3远离的端部上过度到一个垂直向上延伸的通道26中。它(26)通过两个垂直的、彼此有间距地安置的壁部27，28被限界。通道26是朝支架6的方向敞开的。因此在通道26中向上流动的洁净空气可向支架6流动。它(6)是朝通道26敞开的，因此洁净空气可以在支架6中存放的、上下叠置的玻璃板7之间流动。依此它们(7)同样在存放时被洁净空气环绕流过，从而玻璃板的污染得以避免。在通过支架6流动以后，洁净空气到达中央区域12中，在此，它与从通风机2来的向下流动的洁净空气相混合。

在存放装置6延伸至底部11的所在区域中，在该底部区域中以与存放装置3之过滤器-通风机-单元15，17相同的方式配置过滤器-通风机-单元23，24。

通道18，25；19，26以优选方式在存放装置3，4之整个长度上延伸。在水平通道18，25中，过滤器-通风机-单元15，17；23，24按优选方式以均匀的间距并列地配置，以便洁净空气可以在存放装置3，4之整个长度上被均匀地抽吸通过。依此也可确保，支架5，6的全部玻璃板7均匀地被洁净空气环绕流过。

在已述的方式中，支架5，6在水平方向上被洁净空气流过，其从中央区域12的流出区域被抽吸通过孩过滤器通风机单元15，17；23，24。因此这个份额的洁净空气被运行于一个内部循环中并且不给洁净间环境的流量平衡造成负担。该回流通道18，19；25，26只要求很少空间。输送给支架5，6的空气量是很少的。

通过转送口区域9，一部分在中央区域12中向下流动的洁净空气到达(未示出的)处理设备的区域中。

在转送口区域9中，在存放装置4之下边的和中间的支承平面中没有放置支架6。过滤器-通风机-单元23，24在这种情况下直接设置在存放装置4之上边的支承平面之下方。

按图2的实施例与前面实施例的区别在于，在洁净间顶盖1中设置了悬浮物-过滤器14，其通过罩件29和通道30被连接到一个(未示出的)空气分配系统上。该悬浮物-过滤器14按优选方式在中央区域12的宽度上延伸。在中央区域12的长度上，前后依次地配置相应数目的悬浮物-过滤器14。罩件29覆盖了悬浮物-过滤器14。因此在悬浮物-过滤器14和罩件29的盖子31之间构成一个用于洁净空气的流入空间32。从盖子31向上伸出通道30，通过这些通道输送来自空气分配系统的洁净空气。其余方面，本实施例与前面实施例是相同的结构设置。

图3表明了这样一种实施例，其中，洁净空气是从底部区域被抽吸的。因此在洁净间顶盖1的区域中没有过滤器-通风机-单元。中央区域12的空气供给通过从存放装置3，4流出的空气量实现。因此形成一个从上向下定向的空气流。在存放装置3，4之下方的区域中安置了过滤器-通风机-单元33，其设置在水平通道18中。与前面实施例的区别是，通道18是相对中央区域12封闭的。过滤器-通风机-单元33因此设置为，使它们从下方抽吸洁净空气。与之对应，水平通道18是向下方敞开的。被吸入的洁净空气则在垂直通道19中向上方流动并且通过通道壁中的开口22水平向外地流出。在支架5中安放的玻璃板7被洁净空气水平地环流冲刷，其(空气)然后到达货栈的中央区域12中。

存放装置4的水平通道25同样相对中央区域12是封闭的而向下方是敞开的。在通道25中安置的过滤器-通风机-单元34将洁净空气从下方吸入到通道25中，其在垂直通道26中向上方流动并且从那里在支架6的玻璃板7之间流到中央区域12中。因为通道25是向下敞开的，故通过转送口区域9流动的洁净空气之一部分被吸入到通道25中。

如在前面实施例中那样，在这个实施例中，流过玻璃板7的洁净空气也以循环方式运行。这个被抽吸的、以循环方式运行的洁净空气部分不给整个洁净间设备的循环空气系统造成负担并且也不给该洁净间中围绕存放装置3，4的流动条件造成负担。

图4表明了按照图3之实施例具有一个附加的操作装置35，其安置在存放装置4和一个处理设备36之间。在操作装置35上至少设置一个过滤器通风机-单元37，借助其产生一个垂直向下并且无涡流的洁净空气流作为挤排气流。这一洁净空气贯穿操作装置35地流动并且通过存放装置4的转送口区域9再返回到中央区域12中。因此防止一个否则存在的、向外定向的到该洁净间中的排流。其余方面，这个实施例是如同图3之实施例那样的结构设置。

图5的货栈具有两个存放装置3，4。在存放装置3的下方有水平通道18，该水平通道是朝中央区域12的方向敞开的。在通道18中安置了过滤器-通风机-单元33，它们从中央区域12抽吸洁净空气，其然后在垂直通道19中以所述的方式向上方流动。通过通道壁21中的开口22，这一洁净空气到达支架5的各玻璃板7之间。在溢流通过玻璃板7之后该洁净空气又到达中央区域12中。

存放装置4具有水平通道25，其中设置有过滤器-通风机-单元34。通道25是相对中央区域12封闭的而对洁净间38是敞开的，洁净间中置有处理设备36(图4)。与之相对应，洁净空气被从洁净间28抽吸到通道25中，其到达垂直通道26中并且从此处通过支架6的玻璃板7流动。如同在前面实施例中那样，在转送口区域9上方的区域中设置有水平通道25，通过它，支架5，6借助输送装置8被输送到洁净间38中。中央区域12的洁净空气供给通过从支架5，6流出的空气量实现。如图1-3中实施例一样，来自中央区域12的一部分洁净空气通过转送口区域9向外流动到洁净间38中。

在图6的实施例中，洁净空气在存放装置3，4下方的区域中被安置于水平通道18，39中的过滤器-通风机-单元33抽吸。与前面实施例之区别在于，不存在到底板11下方之回流空气区域中的排流。货栈的空气供给是相对洁净间38和回流空气区域完全隔离的。仅仅是通过转送口区域9使洁净空气从中央区域12流动到周围的洁净间38中。

由过滤器-通风机-单元33抽吸的洁净空气从水平通道18流动到连接着的垂直通道19中，在垂直通道中它向上流动并且通过通道壁21的开口22流到支架5中。它(气流)沿着支架5在水平的玻璃板7上流动并且再到达中央区域12中。

存放装置4的过滤器-通风机-单元34与图5中的实施方案相对应地从洁净间38中抽吸洁净空气。洁净空气到达水平通道25中，由此出来，洁净空气流动到垂直通道26中。它(空气)在支架6的玻璃板7之间流动并到达中央区域12中。

图7表明了这样一种实施方案，其中，通风技术的构件设置于一个在回流空气平面中的、相对它被屏蔽(abgeschotteten)的区域中。因此在存放装置3的下方安置了一些通风机15，它们抽吸洁净空气，借助它们可以输送比借助单个过滤器-通风机-单元更大的空气量。通风机15抽吸在中央区域12中向下流动的洁净空气。与通风机15分开地在双层底11的下方水平地配置了悬浮物-过滤器17，通过该过滤器流过由通风机15抽吸的洁净空气。它(空气流)到达水平通道18中并从那里到达垂直通道19中。通风机15和悬浮物-过滤器17安置在双层底11下方的一个相对回流空气平面41被封闭的区域40中。

在存放装置4和双层底11之下方的区域中设有水平安置的过滤器-通风机-单元42，它们从回流空气平面41中抽吸洁净空气并向上方输送。在存放装置4之支架6的下方是水平安置的过滤器-通风机-单元34，它们从洁净间38抽吸洁净空气，在所述洁净间38中置有处理设备36(图4)。由该过滤器-通风机-单元抽吸的洁净空气首先到达水平通道25中并从那里到达垂直通道26中。然后洁净空气通过在支架6中水平安置的玻璃板流动并且到达在其中洁净空气向下流动的中央区域12内。

在图8的实施例中，在存放装置3下方和双层底11上方有一个增压装置43，其相对中央区域12是封闭的。在增压装置43中至少通入一个垂直通道44，通过该垂直通道，洁净空气被输送到增压装置43中。该水平延伸的增压装置43连接到垂直通道19上，在垂直通道中洁净空气向上流动并且通过在壁21中的开口22以已述方式流动到存放装置3的支架5中。在支架5中水平放置的玻璃板7被洁净空气流环绕冲刷，此洁净空气流在流过支架5以后到达中央区域12中。在此，洁净空气流与中央区域12中向下流动的其余部分之洁净空气相混合。

通道44连接在一个水平通道45上，所述水平通道在流动方向上位于一个中央通风设备46的后边。它(46)具有一个通风机47和一个后接的悬浮物-过滤器48。由通风设备46抽吸的洁净空气到达水平通道45中。该洁净空气的一部分流到通道44中并从那里流入增压装置43。另一部分洁净空气流入到一个另外的垂直通道49中，此垂直通道安置得直达一个位于存放装置4之支架6的支承平面下方区域中的增压装置50。在增压装置50上连接了垂直通道26，在该垂直通道中，输入的洁净空气向上流动并且在水平安置的玻璃板7之间通过支架6流动到中央区域12中。

在中央区域12中向下流动的洁净空气之一部分如在前面实施例中一样地通过转送口区域9流出到洁净间38中。

与前面实施例的区别在于，在存放装置3，4的下方没有安置过滤器-通风机-单元或通风机，而是(安置了)相应的增压装置43，50。洁净空气可以从货栈自由地排流到回流空气平面中。借助通风设备46，洁净空气被从回流空气平面中吸入并且以所述的方式输送给相应的增压装置43，50。

在图9的实施例中，在存放装置3之每个支承平面下方都安置了过滤器通风机-单元51，它们分别地向其上方安置的支架5提供洁净空气。这些过滤器-通风机-单元分别安置在水平通道18中，其上连接着垂直通道19。在它们里面，由过滤器-通风机-单元51从中央区域12中抽吸的洁净空气向上方流动并且在支架5的各玻璃板7之间流回到中央区域12中。

在顶盖1上置有过滤器-通风机-单元2，通过它们，洁净空气到达中央区域12中，在中央区域内，它(空气)向下方流动。

在存放装置4之支架6下方的区域中设有位于水平通道25中的过滤器-通风机-单元23，24。由通风机23从中央区域12中抽吸的洁净空气经由通道25流动到垂直通道26中。洁净空气从此处出来在支架6的水平玻璃板7之间流回到中央区域12中。在中央区域12中向下流动的洁净空气之一部分通过转送口区域9到达洁净间38中。

存放装置6也可以在其中上下地设置多个支承平面的那些区域中于每个支承平面下方具有与存放装置3相对应的过滤器-通风机-单元23，24。存放装置3之水平通道18相对于相应的各下支承平面是封闭的。

由通风机2送入中央区域12的洁净空气通过双层底11向下方流出并通过回流空气系统被送回到过滤器-通风机-单元2。

图10的实施例与前面实施例之区别仅仅在于，在存放装置4之水平通道25的下方配置了过滤器-通风机-单元52，其从洁净间38抽吸洁净空气。该抽吸的洁净空气被输送到中央区域12的洁净空气流中。以此方式使中央区域12被保持在高压(水平)上。通风设备52安置在通向洁净间38中所设的处理设备36(图4)的转送口区域9的上方。

图11表明了这样一种实施例，其中，在存放装置3之支架5的下方与图9及10的实施例对应地分别配置了过滤器-通风机-单元51。

在存放装置3之支架6下方，在水平通道25中设有过滤器-通风机-单元23，24，借助它们从中央区域12的洁净空气流中抽吸一部分洁净空气并将其输送到垂直通道26中。在水平通道25下方和转送口区域9上方与图10之实施例对应地设有过滤器-通风机-单元52，它们从洁净间38抽吸洁净空气并将其输送到中央区域12中。另外，在支架6上方和顶盖1下方设有另外的过滤器-通风机-单元53，它们如同过滤器-通风机-单元52一样从洁净间38抽吸洁净空气并将其输送到中央区域12中。洁净空气被输入到一个位于顶盖1和一孔板54之间的区域中，所述孔板设置在中央区域12中并且平行于顶盖1在中央区域12中延伸。孔板54是在中央区域12的长度上设置的并且最好是由单个的、相互靠接配置的孔板元件构成。孔板54可确保：洁净空气在中央区域12的长度以及宽度上均匀地在存放装置3，4之间流动。通过附加抽吸的洁净空气，如图10之实施例那样，使中央区域12中的洁净空气被保持在高压水平上。向下流动的洁净空气之一部分从中央区域12经由转送口区域9到达洁净间38中。在中央区域12中向下流动的并且未被过滤器-通风机-单元23，24，51，52抽吸的部分洁净空气则向下方到达回流空气平面41中。

在全部的实施例中，洁净空气从货栈之流出区域被直接排向存放装置3，4。相应的通风机设置在货栈之上边缘的下方，使它们从货栈的流出区域12抽吸空气。这样抽吸的洁净空气份额不会给整个设备的空气循环系统和洁净间中围绕货栈的流动条件造成负担。通过支架5，6中玻璃板7导流的洁净空气被从下方向上方导引。

为了实现在货栈中的高压水平，按优选方式设置至少一个(未示出的)通风机，借助它将适当数量的洁净空气输送到货栈中。

Claims (25)

1.用于在洁净间中待处理之产品(7)的、特别是用于液晶屏幕之玻璃板的货栈，具有至少一个用于产品(7)的存放装置(3，4)，产品被洁净空气流溢流通过，所述洁净空气流由至少一个通风机(15，23；33，34；42；47；51)抽吸，其特征在于：

所述产品(7)是位于一向上定向的通道(19，26)和一中央区域(12)之间，所述向上定向的通道(19，26)连接在一水平通道(18，25)上并且是相对所述产品(7)敞开的，洁净空气流在溢流通过产品(7)之后进入到所述中央区域(12)中，在该中央区域内洁净空气向下方流动。

2.按权利要求1的货栈，其特征在于：

通风机(15，23；33，34；42；47；51)是一个过滤器-通风机-单元的组成部分。

3.按权利要求1或2的货栈，其特征在于：

通风机(15，23；33，34)设置在存放装置(3，4)之下方。

4.按权利要求1的货栈，其特征在于：

所述向上定向的通道(19，26)具有用于洁净空气的通口(22)。

5.按权利要求4的货栈，其特征在于：

各通口(22)设置在通道(19，26)的壁部(21)中。

6.按权利要求4的货栈，其特征在于：

各通口(22)通过产品(7)之间的间距形成。

7.按权利要求1的货栈，其特征在于：

所述向上定向的通道(19，26)在存放装置(3，4)的整个高度上延伸。

8.按权利要求1的货栈，其特征在于：

产品(7)放置在至少一个支架(5，6)中。

9.按权利要求8的货栈，其特征在于：

存放装置(3，4)具有至少两个上下布置的支架(5，6)用的支承平面。

10.按权利要求9的货栈，其特征在于：

在每个支承平面下方分别设置至少一个通风机(51)。

11.按权利要求10的货栈，其特征在于：

每个通风机(51)设置在所述水平通道(18)中，该水平通道相对分别位于它下方的支承平面是封闭的。

12.按权利要求1的货栈，其特征在于：

设置两个彼此对置的存放装置(3，4)，它们通过所述中央区域(12)相互分开。

13.按权利要求12的货栈，其特征在于：

在中央区域(12)之上方的区域中设置过滤器-通风机-单元(2)。

14.按权利要求12的货栈，其特征在于：

在中央区域(12)之上方的区域中设置悬浮物-过滤器(14)，通过一个空气分配系统将洁净空气输送给所述悬浮物-过滤器。

15.按权利要求12的货栈，其特征在于：

所述向上定向的通道(19，26)安置在存放装置(3，4)的从中央区域(12)背离的那侧面上。

16.按权利要求12的货栈，其特征在于：

在中央区域(12)下方的区域中设置一个回流空气区域(41)。

17.按权利要求16的货栈，其特征在于：

中央区域(12)是相对回流空气区域(41)敞开的。

18.按权利要求16的货栈，其特征在于：

中央区域(12)是相对回流空气区域(41)封闭的。

19.按权利要求1的货栈，其特征在于：

通风机(15，42)设置在货栈之双层底(11)的下方。

20.按权利要求19的货栈，其特征在于：

通风机(15，42)位于回流空气区域(41)中。

21.按权利要求1的货栈，其特征在于：

在存放装置(3，4)之下方设置一个增压装置(43，50)，其上连接一个通风设备(46)和所述向上定向的通道(19，26)。

22.按权利要求1的货栈，其特征在于：

设置至少一个过滤器-通风-机单元(52，53)，它从洁净间(38)抽吸洁净空气并输出送到货栈内的洁净空气流中。

23.按权利要求1的货栈，其特征在于：

设置至少一个包括至少一个通风机和至少一个过滤器的空气循环装置，它从洁净间(38)抽吸洁净空气并输送到货栈内的洁净空气流中。

24.用于在按权利要求1-23之一所述的货栈中使产品保持洁净的方法，其中，洁净空气向下方流动并且至少一部分洁净空气被输送给产品(7)，其特征在于：

向产品(7)输送的洁净空气直接从向下流动的洁净空气流到达至少一个水平通道(18，25)中，在该水平通道中，洁净空气流去往至少一个成角度连接的向上定向的通道(19，26)，从该向上定向的通道，洁净空气流朝侧面通过产品(7)流动并且在溢流通过产品(7)之后到达向下流动的洁净空气中。

25.按权利要求24的方法，其特征在于：

洁净空气被从回流空气区域(41)中抽取。

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