JPH06151267A - クリーン自動作業装置 - Google Patents
クリーン自動作業装置Info
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- JPH06151267A JPH06151267A JP29555192A JP29555192A JPH06151267A JP H06151267 A JPH06151267 A JP H06151267A JP 29555192 A JP29555192 A JP 29555192A JP 29555192 A JP29555192 A JP 29555192A JP H06151267 A JPH06151267 A JP H06151267A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 大容量のクリーンルームを用いることなく、
十分なクリーン状態で作業をすることを可能とする。 【構成】 第１の装置３のケーシング４に蛇腹部材６を
設けて、一般雰囲気と区別されるクリーンな雰囲気のワ
ークエリア７を形成する。自動作業機１１のアーム部１
１ｃの下端部が、上記ブーツ部材６をシール性を保って
貫通し、アーム部１１ｃの先端部のエンドエフェクタ１
１ｄがワークエリア７内に位置する。そして、クリーン
な雰囲気のワークエリア７内でワークＷに対して所定の
作業を行うようになっている。また、ケーシング４内の
搬送手段２のモータ２ａや減速機構２ｂ等の駆動系もワ
ークエリア７の下方外部に配設しているので、特別なク
リーン化を行う必要もない。
十分なクリーン状態で作業をすることを可能とする。 【構成】 第１の装置３のケーシング４に蛇腹部材６を
設けて、一般雰囲気と区別されるクリーンな雰囲気のワ
ークエリア７を形成する。自動作業機１１のアーム部１
１ｃの下端部が、上記ブーツ部材６をシール性を保って
貫通し、アーム部１１ｃの先端部のエンドエフェクタ１
１ｄがワークエリア７内に位置する。そして、クリーン
な雰囲気のワークエリア７内でワークＷに対して所定の
作業を行うようになっている。また、ケーシング４内の
搬送手段２のモータ２ａや減速機構２ｂ等の駆動系もワ
ークエリア７の下方外部に配設しているので、特別なク
リーン化を行う必要もない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーン自動作業装置
に関する。
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、製造工程での塵埃を嫌う精密電子
部品（例えばハードディスク装置等）の組立ライン等
は、送風装置から送られる空気をエアフィルタを通じて
天井から送風し床面から排気してクリーンエアの垂直
流、いわゆるダウンフローが形成されるクリーンルーム
の中に設置され、ライン等の全体を高清浄度な雰囲気に
保つようにされている（例えば特開平４−１４８１４０
号公報参照）。
部品（例えばハードディスク装置等）の組立ライン等
は、送風装置から送られる空気をエアフィルタを通じて
天井から送風し床面から排気してクリーンエアの垂直
流、いわゆるダウンフローが形成されるクリーンルーム
の中に設置され、ライン等の全体を高清浄度な雰囲気に
保つようにされている（例えば特開平４−１４８１４０
号公報参照）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、そのよ
うなクリーンルームを用いるものでは、クリーンルーム
のダウンフローのほか、ワークに対して作業を行う各作
業装置個別の低発塵化により、ワーク周辺の清浄度を高
めているため、クリーンルームそのものの設備費、維持
費が高くなる傾向にある。特に、組立ライン等を配設す
る場合は、クリーンルームの容量がラインの大きさに応
じて大きくなり、上記傾向が著しい。
うなクリーンルームを用いるものでは、クリーンルーム
のダウンフローのほか、ワークに対して作業を行う各作
業装置個別の低発塵化により、ワーク周辺の清浄度を高
めているため、クリーンルームそのものの設備費、維持
費が高くなる傾向にある。特に、組立ライン等を配設す
る場合は、クリーンルームの容量がラインの大きさに応
じて大きくなり、上記傾向が著しい。
【０００４】また、一部又はスポット的に清浄度を高め
るために、クリーンルームの中にさらにクリーンブース
を設けるものや、比較的清浄度が低くてすむ場合には一
般雰囲気中にクリーンブースを設置するもの等も知られ
ているが、いずれもクリーンルームの補助的役割を持た
せているだけである。
るために、クリーンルームの中にさらにクリーンブース
を設けるものや、比較的清浄度が低くてすむ場合には一
般雰囲気中にクリーンブースを設置するもの等も知られ
ているが、いずれもクリーンルームの補助的役割を持た
せているだけである。
【０００５】本発明はかかる点に鑑みてなされたもの
で、大容量のクリーンルームを用いることなく、十分な
クリーン状態で所定の作業を行うことができるクリーン
自動作業装置を提供するものである。
で、大容量のクリーンルームを用いることなく、十分な
クリーン状態で所定の作業を行うことができるクリーン
自動作業装置を提供するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、クリ
ーンなワークエリアを有し一般雰囲気の空間に配置され
る第１の装置と、該第１の装置のワークエリア内での作
業を行う作業部を有し本体部が一般雰囲気の空間に配置
される第２の装置と、該第２の装置の作業部がシール性
を保って貫通され第１の装置のワークエリアと第２の装
置の存在する空間とを遮断する遮断部材とを備える構成
とする。そして、請求項２の発明においては、さらに、
第１の装置のワークエリア内の圧力が一般雰囲気の空間
よりも若干高く設定されている。請求項３の発明におい
ては、さらにまた、第１の装置は複数の作業ユニットを
有し、該作業ユニットがワークエリアを有し、各作業ユ
ニットのワークエリアが相互に連通されている。
ーンなワークエリアを有し一般雰囲気の空間に配置され
る第１の装置と、該第１の装置のワークエリア内での作
業を行う作業部を有し本体部が一般雰囲気の空間に配置
される第２の装置と、該第２の装置の作業部がシール性
を保って貫通され第１の装置のワークエリアと第２の装
置の存在する空間とを遮断する遮断部材とを備える構成
とする。そして、請求項２の発明においては、さらに、
第１の装置のワークエリア内の圧力が一般雰囲気の空間
よりも若干高く設定されている。請求項３の発明におい
ては、さらにまた、第１の装置は複数の作業ユニットを
有し、該作業ユニットがワークエリアを有し、各作業ユ
ニットのワークエリアが相互に連通されている。
【０００７】請求項４の発明は、中空のケーシングを有
し一般雰囲気の空間に配置される第１の装置と、該第１
の装置のケーシングに取付けられ一般雰囲気の空間と遮
断してクリーンなワークエリアを形成する遮断部材と、
該遮断部材をシール性を保持して貫通しワークエリア内
での作業を行う作業部を有し、本体部が一般雰囲気の空
間に配置される第２の装置とを備える構成とする。そし
て、請求項５の発明においては、さらに、第１の装置の
ワークエリアが、ワークを洗浄して取込むエアロックユ
ニットを介して、搬送コンベア手段が設けられたクリー
ントンネルに接続されている。
し一般雰囲気の空間に配置される第１の装置と、該第１
の装置のケーシングに取付けられ一般雰囲気の空間と遮
断してクリーンなワークエリアを形成する遮断部材と、
該遮断部材をシール性を保持して貫通しワークエリア内
での作業を行う作業部を有し、本体部が一般雰囲気の空
間に配置される第２の装置とを備える構成とする。そし
て、請求項５の発明においては、さらに、第１の装置の
ワークエリアが、ワークを洗浄して取込むエアロックユ
ニットを介して、搬送コンベア手段が設けられたクリー
ントンネルに接続されている。
【０００８】
【作用】請求項１の発明によれば、予め設置したクリー
ンルームやクリーンブースに、自動機やラインを構築す
るという従来の形式とは異なり、清浄度のコントロール
をしていない一般雰囲気中に設置するだけで、高清浄度
の雰囲気にあるワークエリア内で第２の装置の作業部に
よって、ワークに対して組立、搬送等の各種の作業を行
うことができる。
ンルームやクリーンブースに、自動機やラインを構築す
るという従来の形式とは異なり、清浄度のコントロール
をしていない一般雰囲気中に設置するだけで、高清浄度
の雰囲気にあるワークエリア内で第２の装置の作業部に
よって、ワークに対して組立、搬送等の各種の作業を行
うことができる。
【０００９】請求項２の発明によれば、ワークエリア内
の圧力が、外部（一般雰囲気）の大気圧よりも若干高い
圧力に保たれ、外部からワークエリア内への塵埃の侵入
が抑制される。
の圧力が、外部（一般雰囲気）の大気圧よりも若干高い
圧力に保たれ、外部からワークエリア内への塵埃の侵入
が抑制される。
【００１０】請求項３の発明によれば、複数の作業ユニ
ットのワークエリアが相互に連通しており、クリーンな
ワークエリア内で複数の作業が順次行われる。
ットのワークエリアが相互に連通しており、クリーンな
ワークエリア内で複数の作業が順次行われる。
【００１１】請求項４の発明によれば、遮断部材を設け
て外部と遮断して形成されるクリーンなワークエリア内
で作業が行われる。
て外部と遮断して形成されるクリーンなワークエリア内
で作業が行われる。
【００１２】請求項５の発明によれば、エアロックユニ
ットにより、搬送コンベア手段によって搬送されてきた
ワークがエア洗浄により清浄されて、第１の装置のワー
クエリア内に取込まれる。
ットにより、搬送コンベア手段によって搬送されてきた
ワークがエア洗浄により清浄されて、第１の装置のワー
クエリア内に取込まれる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に沿って詳細に
説明する。
説明する。
【００１４】クリーン自動作業装置の概略構成を示す図
１において、１は一般雰囲気の空間に配設されたクリー
ン自動作業装置で、パレットＰ上に載置されたワークＷ
を搬送する搬送手段２が下側内部に配設された第１の装
置３を備えている。その第１の装置３のケーシング４は
上下方向の中間部位に空間部５が形成され、該空間部５
に臨む、ケーシング４の下側部分に開口４ａが形成され
ている。ケーシング４の開口４ａには、それをシール性
を保持して閉塞するように、伸縮性を有する蛇腹形状の
ブーツ部材６（遮断部材）が設けられて、ケーシング４
内にそれの周囲の一般雰囲気の空間と区別されるワーク
エリア７を形成している。ワークエリア７内へのワーク
Ｗの供給は、別途設けられたクリーンルーム内で作業者
によってパレットＰ上に配膳して搬送手段を内蔵するク
リーントンネルを通じて行う場合と、別途設けられたク
リーンルーム内で作業者によってパレットＰ上に配膳し
てパッケージ内に装填し、該パッケージをクリーン自動
作業装置１の側面に接続して行う場合とがある。
１において、１は一般雰囲気の空間に配設されたクリー
ン自動作業装置で、パレットＰ上に載置されたワークＷ
を搬送する搬送手段２が下側内部に配設された第１の装
置３を備えている。その第１の装置３のケーシング４は
上下方向の中間部位に空間部５が形成され、該空間部５
に臨む、ケーシング４の下側部分に開口４ａが形成され
ている。ケーシング４の開口４ａには、それをシール性
を保持して閉塞するように、伸縮性を有する蛇腹形状の
ブーツ部材６（遮断部材）が設けられて、ケーシング４
内にそれの周囲の一般雰囲気の空間と区別されるワーク
エリア７を形成している。ワークエリア７内へのワーク
Ｗの供給は、別途設けられたクリーンルーム内で作業者
によってパレットＰ上に配膳して搬送手段を内蔵するク
リーントンネルを通じて行う場合と、別途設けられたク
リーンルーム内で作業者によってパレットＰ上に配膳し
てパッケージ内に装填し、該パッケージをクリーン自動
作業装置１の側面に接続して行う場合とがある。
【００１５】また、ケーシング４の上部にはブロア８が
設けられ、該ブロア８から高性能フィルタ９を通じて供
給されるクリーンエアがワークエリア７内をダウンフロ
ーすると共に、ワークエリア７の圧力が外部の一般雰囲
気の空間の圧力（大気圧）よりも若干高くなるように設
定されており、それによって清浄度の高いクリーンなワ
ークエリア７となるように構成されている。尚、ワーク
エリア７内の圧力は、一般雰囲気の空間の圧力（大気
圧）よりも１０mmAq程度圧力が高くなるように設定され
ている。
設けられ、該ブロア８から高性能フィルタ９を通じて供
給されるクリーンエアがワークエリア７内をダウンフロ
ーすると共に、ワークエリア７の圧力が外部の一般雰囲
気の空間の圧力（大気圧）よりも若干高くなるように設
定されており、それによって清浄度の高いクリーンなワ
ークエリア７となるように構成されている。尚、ワーク
エリア７内の圧力は、一般雰囲気の空間の圧力（大気
圧）よりも１０mmAq程度圧力が高くなるように設定され
ている。
【００１６】さらに、搬送手段２のモータ２ａや減速機
構２ｂ等の駆動系がワークエリア７の下方でかつワーク
Ｗの下方に位置するように配設されているので、その駆
動系から発生する塵埃を考慮する必要がないようになっ
ており、特別なクリーン化を行う必要もない。
構２ｂ等の駆動系がワークエリア７の下方でかつワーク
Ｗの下方に位置するように配設されているので、その駆
動系から発生する塵埃を考慮する必要がないようになっ
ており、特別なクリーン化を行う必要もない。
【００１７】また、第１の装置３の近傍には、第２の装
置である自動作業機１１が配設されている。自動作業機
１１は、第１の装置３と同様に一般雰囲気の空間に配設
される本体部１１ａと、該本体部１１ａに基部が昇降可
能に支持され先端部が第１の装置３の空間部５内に延び
る第１アーム部１１ｂと、該第１アーム部１１ｂの先端
部に基部がスライド可能に取付けられ先端部がブーツ部
材６の中心部分をシール性を保持して貫通しワークエリ
ア７内に延びている第２アーム部１１ｃと、該第２アー
ム部１１ｃの先端部に設けられたエンドエフェクタ１１
ｄ（作業部）とを備えている。
置である自動作業機１１が配設されている。自動作業機
１１は、第１の装置３と同様に一般雰囲気の空間に配設
される本体部１１ａと、該本体部１１ａに基部が昇降可
能に支持され先端部が第１の装置３の空間部５内に延び
る第１アーム部１１ｂと、該第１アーム部１１ｂの先端
部に基部がスライド可能に取付けられ先端部がブーツ部
材６の中心部分をシール性を保持して貫通しワークエリ
ア７内に延びている第２アーム部１１ｃと、該第２アー
ム部１１ｃの先端部に設けられたエンドエフェクタ１１
ｄ（作業部）とを備えている。
【００１８】そして、第２アーム部１１ｃの下端部に設
けられてワークエリア７内に位置するエンドエフェクタ
１１ｄが、該ワークエリア７内でワークＷに対して所定
の作業を行うようになっている。
けられてワークエリア７内に位置するエンドエフェクタ
１１ｄが、該ワークエリア７内でワークＷに対して所定
の作業を行うようになっている。
【００１９】上記のように構成すれば、自動作業機１１
のエンドエフェクタ１１ｄによって、第１の装置１のワ
ークエリア７内でワークに対する作業が行われるが、そ
のワークエリア７は一般雰囲気の外部空間とは遮断され
てクリーンな雰囲気であるので、高清浄度の雰囲気で作
業を行うことができる。特に、作業を行う周囲のみをク
リーンなワークエリアとし、装置そのものに必要最小限
の容量のワークエリアを組込むようにしているので、従
来の如く自動作業機１１を配置するための大容量のクリ
ーンル−ムそのものを必要とせず、クリーンルームの設
備費、ランニングコストが高くなるという従来の問題は
生じない。
のエンドエフェクタ１１ｄによって、第１の装置１のワ
ークエリア７内でワークに対する作業が行われるが、そ
のワークエリア７は一般雰囲気の外部空間とは遮断され
てクリーンな雰囲気であるので、高清浄度の雰囲気で作
業を行うことができる。特に、作業を行う周囲のみをク
リーンなワークエリアとし、装置そのものに必要最小限
の容量のワークエリアを組込むようにしているので、従
来の如く自動作業機１１を配置するための大容量のクリ
ーンル−ムそのものを必要とせず、クリーンルームの設
備費、ランニングコストが高くなるという従来の問題は
生じない。
【００２０】よって、予め設置したクリーンルームやク
リーンブースに、自動作業機１１を構築するという従来
の形式を採用する必要がなくなり、清浄度のコントロー
ルをしていない一般雰囲気の空間中に設置するだけで、
高清浄度の雰囲気にあるワークエリア７内で自動作業機
１１のエンドエフェクタ１１ｄによって、組立、搬送等
の各種の作業を行うことができる。
リーンブースに、自動作業機１１を構築するという従来
の形式を採用する必要がなくなり、清浄度のコントロー
ルをしていない一般雰囲気の空間中に設置するだけで、
高清浄度の雰囲気にあるワークエリア７内で自動作業機
１１のエンドエフェクタ１１ｄによって、組立、搬送等
の各種の作業を行うことができる。
【００２１】また、上記ワークエリア７内の圧力が、一
般雰囲気である外部空間の大気圧よりも若干高い圧力に
保たれるようにしているので、ワークエリア７内への外
部からの塵埃の侵入が抑制されることとなり、清浄度を
確保する上で有利となっている。
般雰囲気である外部空間の大気圧よりも若干高い圧力に
保たれるようにしているので、ワークエリア７内への外
部からの塵埃の侵入が抑制されることとなり、清浄度を
確保する上で有利となっている。
【００２２】尚、上記自動作業機１１としては各種のも
のを用いることができ、具体的には、はんだ付け装置、
ボンディング装置、挿入、ねじ締め、かしめ等の組立装
置、検査装置等である。
のを用いることができ、具体的には、はんだ付け装置、
ボンディング装置、挿入、ねじ締め、かしめ等の組立装
置、検査装置等である。
【００２３】上記実施例では、単一の作業を行うクリー
ン自動作業装置について説明したが、複数の作業ユニッ
ト間のワークの移動を伴う一連の作業を行うクリーン自
動作業装置に対しても同様に適用することができるのは
いうまでもない。
ン自動作業装置について説明したが、複数の作業ユニッ
ト間のワークの移動を伴う一連の作業を行うクリーン自
動作業装置に対しても同様に適用することができるのは
いうまでもない。
【００２４】例えばハードディスクの自動組立ラインに
適用したものとして、図２に示すようなものが考えられ
る。図２において、２１はクリーン自動作業装置で、複
数の作業ユニット２１Ａ，…が直列に連係されてなる。
そして、各作業ユニット２１Ａ，…はそれぞれ容積が小
さく清浄度が高いワークエリアを有し、それらが相互に
連通されて、ラインに対応する１つの直線状のクリーン
エリア２１ａが形成されている。
適用したものとして、図２に示すようなものが考えられ
る。図２において、２１はクリーン自動作業装置で、複
数の作業ユニット２１Ａ，…が直列に連係されてなる。
そして、各作業ユニット２１Ａ，…はそれぞれ容積が小
さく清浄度が高いワークエリアを有し、それらが相互に
連通されて、ラインに対応する１つの直線状のクリーン
エリア２１ａが形成されている。
【００２５】２２はクリーントンネル（図示せず）内に
配置された搬送コンベア手段で、ワークを洗浄して取込
むクリーンエアロックユニット２３を介して作業ユニッ
ト２１Ａに接続されるようになっている。そして、搬送
コンベア手段２２によって搬送されてきたパレットＰ
は、まずクリーンエアロックユニット２３に入り、そこ
でエアにより洗浄されてクリーンエリア２１ａへの段階
的移行が行われるようになっている。具体的に図示して
いないが、少なくともクリーンエアロックユニット２３
の入口部分と最終の出口部分には開閉ゲートが開閉可能
に設けられ、外部から搬送コンベア手段２２によって搬
送されてきたパレットＰが入口部分側の開閉ゲートの開
閉により搬入され、クリーンエアロックユニット２３内
での洗浄によりクリーン化されてから、出口部分側の開
閉ゲートの開閉により作業ユニット２１Ａ，…のワーク
エリア２１ａ内に取込まれるようになっている。
配置された搬送コンベア手段で、ワークを洗浄して取込
むクリーンエアロックユニット２３を介して作業ユニッ
ト２１Ａに接続されるようになっている。そして、搬送
コンベア手段２２によって搬送されてきたパレットＰ
は、まずクリーンエアロックユニット２３に入り、そこ
でエアにより洗浄されてクリーンエリア２１ａへの段階
的移行が行われるようになっている。具体的に図示して
いないが、少なくともクリーンエアロックユニット２３
の入口部分と最終の出口部分には開閉ゲートが開閉可能
に設けられ、外部から搬送コンベア手段２２によって搬
送されてきたパレットＰが入口部分側の開閉ゲートの開
閉により搬入され、クリーンエアロックユニット２３内
での洗浄によりクリーン化されてから、出口部分側の開
閉ゲートの開閉により作業ユニット２１Ａ，…のワーク
エリア２１ａ内に取込まれるようになっている。
【００２６】尚、図２に示す例では、クリーンエアロッ
クユニット２３は１つだけであるが、複数のクリーンエ
アロックユニットを設けてより清浄度を高めるようにす
ることもできる。
クユニット２３は１つだけであるが、複数のクリーンエ
アロックユニットを設けてより清浄度を高めるようにす
ることもできる。
【００２７】
【発明の効果】請求項１の発明は、上記のように、第１
の装置のクリーンなワークエリアに、第２の装置の作業
部を、ワークエリアを一般雰囲気の空間と遮断する遮断
部材をシール性を保持して貫通させて位置させるように
しているので、大容量のクリーンルームを設けることな
く、一般雰囲気の空間内であっても、作業部の作業は清
浄度の高い雰囲気のワークエリア内で行うことができ
る。また、装置内部のワークエリア以外の装置機構要素
は、全くクリーンに対応する必要がなくなり、クリーン
ルームの設備費が不要な点と併せて、大幅なコストダウ
ンを可能とする。
の装置のクリーンなワークエリアに、第２の装置の作業
部を、ワークエリアを一般雰囲気の空間と遮断する遮断
部材をシール性を保持して貫通させて位置させるように
しているので、大容量のクリーンルームを設けることな
く、一般雰囲気の空間内であっても、作業部の作業は清
浄度の高い雰囲気のワークエリア内で行うことができ
る。また、装置内部のワークエリア以外の装置機構要素
は、全くクリーンに対応する必要がなくなり、クリーン
ルームの設備費が不要な点と併せて、大幅なコストダウ
ンを可能とする。
【００２８】また、クリーンルーム内に配置するように
すれば、非常に清浄度の高いワークエリアを確保するこ
とも可能である。
すれば、非常に清浄度の高いワークエリアを確保するこ
とも可能である。
【００２９】請求項２の発明は、ワークエリア内の圧力
を一般雰囲気の空間よりも若干高い圧力にしているの
で、ワークエリア内への外部からの塵埃の侵入を抑制す
ることができる。
を一般雰囲気の空間よりも若干高い圧力にしているの
で、ワークエリア内への外部からの塵埃の侵入を抑制す
ることができる。
【００３０】請求項３の発明は、複数の作業ユニットの
ワークエリアを相互に連通しているので、大容量のクリ
ーンルームを用いることなく、クリーンなワークエリア
内で一連の作業を順次連続して行うことが可能である。
ワークエリアを相互に連通しているので、大容量のクリ
ーンルームを用いることなく、クリーンなワークエリア
内で一連の作業を順次連続して行うことが可能である。
【００３１】請求項４の発明は、第１の装置のケーシン
グに遮断部材を設けることでクリーンなワークエリアを
形成するようにしているので、作業に必要な容量のワー
クエリアを容易に形成することができ、大容量のクリー
ンルームを必要とせずに、クリーンなワークエリア内で
作業を行うことが可能となる。
グに遮断部材を設けることでクリーンなワークエリアを
形成するようにしているので、作業に必要な容量のワー
クエリアを容易に形成することができ、大容量のクリー
ンルームを必要とせずに、クリーンなワークエリア内で
作業を行うことが可能となる。
【００３２】請求項５の発明は、エアロックユニットを
介して搬送コンベア手段に接続しているので、搬送コン
ベア手段によって搬送されてきたものを、清浄にして、
第１の装置のワークエリア内に取込むことができる。
介して搬送コンベア手段に接続しているので、搬送コン
ベア手段によって搬送されてきたものを、清浄にして、
第１の装置のワークエリア内に取込むことができる。
【図１】クリーン自動作業装置の概略構成図である。
【図２】ハードディスクの自動組立ラインの概略構成を
示す図である。
示す図である。
1,21 クリーン自動作業装置 3 第１の装置 4 ケーシング 6 ブーツ部材（遮断部材） 7,21a ワークエリア 11 自動作業機（第２の装置） 11d エンドエフェクタ（作業部） 21A 作業ユニット 23 クリーンエアロックユニット
Claims (5)
- 【請求項１】 クリーンなワークエリアを有し一般雰囲
気の空間に配置される第１の装置と、 該第１の装置のワークエリア内での作業を行う作業部を
有し本体部が一般雰囲気の空間に配置される第２の装置
と、 該第２の装置の作業部がシール性を保って貫通され第１
の装置のワークエリアと第２の装置の存在する空間とを
遮断する遮断部材とを備えることを特徴とするクリーン
自動作業装置。 - 【請求項２】 第１の装置のワークエリア内の圧力が一
般雰囲気の空間よりも若干高く設定されているところの
請求項１記載のクリーン自動作業装置。 - 【請求項３】 第１の装置は複数の作業ユニットを有
し、該作業ユニットがワークエリアを有し、各作業ユニ
ットのワークエリアが相互に連通されているところの請
求項１記載のクリーン自動作業装置。 - 【請求項４】 中空のケーシングを有し一般雰囲気の空
間に配置される第１の装置と、 該第１の装置のケーシングに取付けられ一般雰囲気の空
間と遮断してクリーンなワークエリアを形成する遮断部
材と、 該遮断部材をシール性を保持して貫通しワークエリア内
での作業を行う作業部を有し、本体部が一般雰囲気の空
間に配置される第２の装置とを備えることを特徴とする
クリーン自動作業装置。 - 【請求項５】 第１の装置のワークエリアは、ワークを
洗浄して取込むエアロックユニットを介して、搬送コン
ベア手段が設けられたクリーントンネルに接続されてい
るところの請求項４記載のクリーン自動作業装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29555192A JPH06151267A (ja) | 1992-11-05 | 1992-11-05 | クリーン自動作業装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29555192A JPH06151267A (ja) | 1992-11-05 | 1992-11-05 | クリーン自動作業装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06151267A true JPH06151267A (ja) | 1994-05-31 |
Family
ID=17822111
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29555192A Withdrawn JPH06151267A (ja) | 1992-11-05 | 1992-11-05 | クリーン自動作業装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06151267A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007138671A1 (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-06 | Hirata Corporation | ワーク自動作業装置 |
| CN102598242A (zh) * | 2009-09-28 | 2012-07-18 | 荷兰应用科学研究会(Tno) | 用于拾取贴装机器的贴装平台 |
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1992
- 1992-11-05 JP JP29555192A patent/JPH06151267A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007138671A1 (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-06 | Hirata Corporation | ワーク自動作業装置 |
| CN102598242A (zh) * | 2009-09-28 | 2012-07-18 | 荷兰应用科学研究会(Tno) | 用于拾取贴装机器的贴装平台 |
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