JPH06151268A - クリーン自動作業装置 - Google Patents

クリーン自動作業装置

Info

Publication number
JPH06151268A
JPH06151268A JP29555292A JP29555292A JPH06151268A JP H06151268 A JPH06151268 A JP H06151268A JP 29555292 A JP29555292 A JP 29555292A JP 29555292 A JP29555292 A JP 29555292A JP H06151268 A JPH06151268 A JP H06151268A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
work
clean
package
area
work area
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP29555292A
Other languages
English (en)
Inventor
Takeshi Yasuo
武 保尾
Takashi Kato
隆司 加藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shinmaywa Industries Ltd
Original Assignee
Shin Meiva Industry Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shin Meiva Industry Ltd filed Critical Shin Meiva Industry Ltd
Priority to JP29555292A priority Critical patent/JPH06151268A/ja
Publication of JPH06151268A publication Critical patent/JPH06151268A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Ventilation (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 一般雰囲気内で、クリーンなワークエリアへ
の部品の供給を、塵埃を付着させることなく行うことを
可能とする。 【構成】 ワークエリアの一部である部品供給エリア7
aに隣接してパッケージドッキング部10を形成する。
パッケージドッキング部10にパッケ−ジ9をシール材
14を介して接続する。シャッタ11,13を開放し
て、パッケージ9内のワークWを、外気遮断状態で塵埃
を付着させることなく、部品供給エリア7aに取込むこ
とができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーン自動作業装置
に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、製造工程での塵埃を嫌う精密電子
部品(例えばハードディスク装置等)の組立ライン等
は、送風装置から送られる空気をエアフィルタを通じて
天井から送風し、床面から排気してクリーンエアのいわ
ゆるダウンフロー(垂直流)が形成されるクリーンルー
ムの中に設置され、ライン全体を高清浄度に保つように
されている(例えば特開平4−148140号公報参
照)。
【0003】そして、そのようなクリーンルーム内に設
置される組立ライン等へのワークを含めて部品の供給
は、塵埃を洗浄除去する洗浄ラインよりそのまま行われ
る場合と、予めクリーンな状態でパッケージ内に部品を
装填してクリーンルーム内に持込み、該クリーンルーム
内でパッケージより部品供給エリアに部品を移し変える
のが一般的である。
【0004】ところで、出願人は、特別なクリーンルー
ム内だけでなく、一般雰囲気の空間においても、クリー
ンな状態で各種の作業が行えるように、クリーンなワー
クエリアを有し一般雰囲気の空間に配置される第1の装
置と、該第1の装置のワークエリア内での作業を行う作
業部を有し本体部が一般雰囲気の空間に配置される第2
の装置と、該第2の装置の作業部がシール性を保って貫
通され第1装置のワークエリアと第2の装置の存在する
空間とを遮断する遮断部材とを備えるクリーン自動作業
装置を開発し、別途出願している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、そのような
クリーン自動作業装置は、一般雰囲気の空間に配設され
ているので、その装置内部に設けられているクリーンな
ワークエリア内に部品を供給する際に、前述した如く、
部品に塵埃を付着させずに部品を供給することができな
い。
【0006】本発明はかかる点に鑑みてなされたもの
で、一般雰囲気の空間において、塵埃を付着させること
なくクリーンなワークエリアへの部品の供給ができるク
リーン自動作業装置を提供するものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、一般雰囲気の
空間に配置される第1の装置の中空形状のケーシングに
遮断部材が取付けられて一般雰囲気の空間と遮断される
クリーンなワークエリアが形成され、該遮断部材を、第
2の装置の作業部がシール性を保持して貫通せしめら
れ、該作業部がクリーンなワークエリア内で作業を行う
ように構成され、上記ワークエリアは、部品供給エリア
を一部に有し、該部品供給エリアに隣接して、パッケー
ジ内の部品を外気遮断状態で部品供給エリアに取込むパ
ッケージドッキング部が形成されている構成とする。
【0008】
【作用】クリーンな状態で部品が収納されたパッケージ
が、ワークエリアの一部である部品供給エリアに隣接し
て形成されたパッケージドッキング部に接続される。そ
して、パッケージ内の部品が外気遮断状態で部品供給エ
リアに供給される。
【0009】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に沿って詳細に
説明する。
【0010】クリーン自動作業装置の概略構成を示す図
1において、1はクリーン自動作業装置で、パレットP
上に載置されたワークWを搬送する搬送手段2が下側内
部に配設された第1の装置3を備えている。その第1の
装置3のケーシング4は上下方向の中間部位に空間部5
を有し、該空間部5に臨む下側部分に開口4aが形成さ
れている。上記ケーシング4の開口4aには、それを閉
塞するように、伸縮性を有する蛇腹形状のブーツ部材6
(遮断部材)が設けられて、ケーシング4内にそれの周
囲の一般雰囲気と区別される清浄な雰囲気のワークエリ
ア7を形成している。
【0011】上記ワークエリア7は、部品(ワークWを
含む)を上側に載置したパレットPがレール8上にスラ
イド移動可能に収納される部品供給エリア7aを一部に
有し、該部品供給エリア7aに隣接して、ケーシング4
の側部にパッケージ9内の部品を外気遮断状態で部品供
給エリア7aに供給するパッケージドッキング部10が
形成されている。上記パッケージドッキング部10は、
部品供給エリア7aに臨んで形成された開口4bに、ス
ライドシャッタ11が横方向にスライド開閉可能に設け
られてなる。12a,12bはスライドシャッタ11を
横方向に案内するガイド部材である。
【0012】一方、パッケージ9は、図2に示すよう
に、一側に開口9aを有し、該開口9aにスライドシャ
ッタ13が上下方向にスライド移動可能に設けられてい
る。そして、上記開口9aの周縁部にはシール材14が
固着され、パッケージドッキング部10との接続の際の
シール性を保持するように構成されている。そして、パ
ッケージ9内には、ワークWがパレットP上に載置さ
れ、該パレットPがレール15上をスライド移動可能な
るように収納されている。
【0013】また、ケーシング4内の上部には高性能フ
ィルタ16が配設され、ブロア(図示せず)より高性能
フィルタ16を通じて供給されるクリーンエアがダウン
フローすると共にワークエリア7の圧力が一般雰囲気の
空間の圧力(大気圧)よりも若干高くなるように設定さ
れており、それによって清浄度の高いクリーンなワーク
エリア7となるように構成されている。尚、上記ワーク
エリア7内の圧力は、一般雰囲気の空間の圧力(大気
圧)よりも10mmAq程度圧力が高くなるように設定さ
れ、ワークエリア7内への外部からの塵埃の侵入が抑制
されるようになっている。
【0014】さらに、第1の装置3の近傍には、第2の
装置である自動作業機21が配設されている。自動作業
機21は、本体部21aに基部が昇降可能に支持され先
端部が第1の装置1の空間部5内に延びる第1アーム部
21bと、該第1アーム部21bの先端部に基部がスラ
イド可能に取付けられ先端部がブーツ部材6の中心部分
をシール性を保持して貫通しワークエリア7内に延びて
いる第2アーム部21cと、該第2アーム部21cの先
端部に設けられたエンドエフェクタ21d(作業部)と
を備えている。そして、第2アーム部21cの下端部に
設けられたエンドエフェクタ21dがワークエリア7内
に位置し、該ワークエリア7内でワークWに対して所定
の作業を行うようになっている。
【0015】続いて、クリーン自動作業装置1のワーク
エリア7内にワークWを供給する手順について説明す
る。
【0016】まず、クリーンな状態でワークWが収納さ
れたパッケージ9の開口9aを、クリーン自動作業装置
1のパッケージドッキング部10に接続する。
【0017】それから、パッケージドッキング部10側
のスライドシャッタ11及びパッケージ9側のスライド
シャッタ13をそれぞれ開き、ワ−クWは搬入手段によ
って部品供給エリア7aを経てワークエリア7内に取込
まれる。このとき、装置1とパッケージ9との間にはシ
ール材14が介在しており、シール性が保持されている
ので、外部より部品供給エリア7a内に塵埃が侵入する
ことはない。
【0018】搬入完了後、両スライドシャッタ11,1
3が閉じられ、パッケージ9の接続は解除される。
【0019】従って、パッケージ9内のワークWを、外
気と遮断した状態で部品供給エリア7a内に供給するこ
とができ、クリーン自動作業装置1が一般雰囲気中に配
置されている場合であっても、ワークWのワークエリア
7へのセットを、塵埃を付着させることなく行うことが
できる。
【0020】そして、ワークエリア7内に取込まれたワ
ークWは、自動作業機21のエンドエフェクタ21dに
よって、第1の装置3のワークエリア7内でワークに対
する作業が行われるが、そのワークエリア7は一般雰囲
気の外部とは遮断されてクリーンな雰囲気であるので、
高清浄度の雰囲気で作業を行うことができる。
【0021】尚、上記自動作業機21としては、各種の
ものを用いることができ、具体的にははんだ付け装置、
ボンディング装置、挿入、ねじ締め、かしめ等の組立装
置、検査装置等である。
【0022】上記実施例では、単一の作業を行うクリー
ン自動作業装置について説明したが、作業ユニット間の
ワークの移動を伴う一連の作業を行うクリーン自動作業
装置に対しても同様に適用することができるのはいうま
でもない。
【0023】例えばハードディスクの自動組立ラインに
適用したものとして、図3に示すものが考えられる。図
3において、31はクリーン自動作業装置で、複数の作
業ユニット31A,…,31B,31Bが直列に接続さ
れてなる。そして、各作業ユニット31A,…,31
B,31Bはそれぞれ容積が小さく清浄度が高いワーク
エリアを有し、それらが相互に連通して、ラインに対応
する1つのクリーンエリア31aが形成されている。
【0024】32はクリーントンネル(図示せず)内に
配置された搬送コンベア手段で、ワークを洗浄して取込
むクリーンエアロックユニット33を介して作業ユニッ
ト31A,…31B,31Bに接続されている。そし
て、搬送コンベア手段32によって搬送されてきたパレ
ットPは、まずクリーンエアロックユニット33に入
り、そこで洗浄とクリーンエリア31aへの段階的移行
が行われるようになっている。具体的に図示していない
が、少なくともクリーンエアロックユニット33の入口
部分と最終の出口部分には開閉ゲートが開閉可能に設け
られ、外部から搬送コンベア手段32によって搬送され
てきたパレットPが開閉ゲートの開放により搬入され、
クリーン化されてから、作業ユニット31A,…,31
B,31Bのワークエリア31a内に取込まれるように
なっている。
【0025】そして、上記作業ユニット31B,31B
には、上述した実施例と同様に、パッケージドッキング
部34,34が形成され、パッケージ9の接続ができる
ように構成されている。パッケージドッキング部34
は、横方向に開閉されるスライドシャッタ35を有する
ほか、上述した実施例と同様の構造である。パッケージ
9は、カート36上に作業者等によって載置されて、パ
ッケージドッキング部34まで搬送されるようになって
いる。
【0026】尚、図3に示す例では、クリーンエアロッ
クユニット33は1つであるが、複数のクリーンエアロ
ックユニットを設けるようにすることもできる。
【0027】
【発明の効果】本発明は、上記のように、パッケージ内
の部品を、パッケージドッキング部を通じて、外気遮断
状態でワークエリアの部品供給エリア内に取込むことが
できるようにしているので、クリーンなワークエリアの
パレットやワークに新しい部品を供給する際、一般雰囲
気中であっても、新しい部品に塵埃が付着しないように
して供給することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】クリーン自動作業装置の概略構成図である。
【図2】パッケージドッキング部付近の要部説明図であ
る。
【図3】ハードディスクの自動組立ラインに適用した例
を示す図である。
【符号の説明】
1 クリーン自動作業装置 3 第1の装置 4 ケーシング 6 ブーツ部材(遮断部材) 7 ワークエリア 7a 部品供給エリア 10 パッケージドッキング部 21 自動作業機(第2の装置) 21d エンドエフェクタ(作業部)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一般雰囲気の空間に配置される第1の装
    置の中空形状のケーシングに遮断部材が取付けられて一
    般雰囲気の空間と遮断されるクリーンなワークエリアが
    形成され、該遮断部材を、第2の装置の作業部がシール
    性を保持して貫通せしめられ、該作業部がクリーンなワ
    ークエリア内で作業を行うように構成され、 上記ワークエリアは部品供給エリアを一部に有し、該部
    品供給エリアに隣接して、パッケージ内の部品を外気遮
    断状態で部品供給エリアに取込むパッケージドッキング
    部が形成されていることを特徴とするクリーン自動作業
    装置。
JP29555292A 1992-11-05 1992-11-05 クリーン自動作業装置 Withdrawn JPH06151268A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP29555292A JPH06151268A (ja) 1992-11-05 1992-11-05 クリーン自動作業装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP29555292A JPH06151268A (ja) 1992-11-05 1992-11-05 クリーン自動作業装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06151268A true JPH06151268A (ja) 1994-05-31

Family

ID=17822125

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP29555292A Withdrawn JPH06151268A (ja) 1992-11-05 1992-11-05 クリーン自動作業装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06151268A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006183929A (ja) * 2004-12-27 2006-07-13 Hokkaido Univ クリーンユニット−プロセス装置融合システム、クリーンユニットシステム、クリーンユニット、連結クリーンユニット、ポータブルクリーンユニットおよびプロセス方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006183929A (ja) * 2004-12-27 2006-07-13 Hokkaido Univ クリーンユニット−プロセス装置融合システム、クリーンユニットシステム、クリーンユニット、連結クリーンユニット、ポータブルクリーンユニットおよびプロセス方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0756316B1 (en) Vacuum processing apparatus and semiconductor manufacturing line using the same
TWI681915B (zh) 裝載埠
TW201707121A (zh) 門開閉系統及具備門開閉系統之載入埠
KR101407702B1 (ko) 워크피스 스토커를 위한 제거 가능한 구획들
KR20050007588A (ko) 클린 조립 모듈 장치, 이것에 의해 구성한 생산 시스템,산업용 로봇 및 오염 전파 방지 시스템
JPH06151268A (ja) クリーン自動作業装置
TWI514456B (zh) 基板處理裝置
JP3852570B2 (ja) クリーンルーム装置
JP2000085963A (ja) クリーン作業装置
JP3183066B2 (ja) 搬送システム
JP2004012048A (ja) クリーン組立モジュール装置およびこれにより構成した生産システム
JPH06151267A (ja) クリーン自動作業装置
JPH11199007A (ja) カセットの搬送方法及び処理設備
JP4369159B2 (ja) 真空処理装置
US20230017221A1 (en) Core module for semiconductor production facility machinery
JP2002110756A (ja) オープンカセット用ロードポート
JPH05322249A (ja) クリーントンネルのメンテナンス機構
JP2002110760A (ja) オープンカセット用ロードポート
JP2002110762A (ja) オープンカセット用ロードポート
JPH06147578A (ja) クリーン自動作業ラインにおけるクリーンブース
JPH05283504A (ja) 半導体搬送装置のゲートバルブ開閉装置
JP3469230B2 (ja) 真空処理装置
JP3512404B2 (ja) 真空処理装置および試料の真空処理方法
JP2007208284A (ja) 真空処理装置における真空処理方法
JPH11212249A (ja) フォトマスクの洗浄装置

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20000201