JPH05283504A - 半導体搬送装置のゲートバルブ開閉装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 半導体搬送装置への半導体の搬入及び搬出時
だけゲートバルブを開放して半導体を通過させ、密閉装
置内を高度に清浄に保つと共に半導体搬送装置のゲート
バルブ開閉装置からのオイルミストや塵埃の発生を防止
して半導体製品の信頼性の向上を図る。 【構成】 半導体搬送装置をゲートバルブ１９を配設し
た密閉装置として構成し、半導体の通過時のみ完全密閉
形電動モータ２１により該ゲートバルブを開閉駆動する
ようにした構成を特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体搬送装置のゲー
トバルブ開閉装置に係り、特に完全密閉形電動モータに
よりゲートバルブを開閉することにより、エアシリンダ
や油圧シリンダの使用を不要としてオイルミストや塵埃
の発生を防止すると共に半導体の搬入及び搬出時だけ密
閉装置を開放するようにして該密閉装置内を高度に清浄
に保ち、半導体製品の信頼性の向上を図った半導体搬送
装置のゲートバルブ開閉装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】板状半導体の一例たる半導体ウェーハの
処理工程は、厚さ２００μｍから１０ｍｍ程度の半導体
ウェーハにフォトレジストのコーティング、乾燥、パタ
ーンの焼付け、現像、エッチング処理、フォトレジスト
の剥離等の多数の処理からなり、該処理工程が自動処理
装置において施されて電子部品が製作されている。

【０００３】該板状半導体の自動処理装置への搬入、搬
出等の搬送は、通常板状半導体を水平にした状態で搬送
されていたが、近年板状半導体が大型化して６インチか
ら８インチもの大きさとなっているため、該水平搬送に
よると板状半導体の自重による撓みに加えて、処理時の
熱により割れが発生し易く、生産上の大きな問題となっ
ていた。

【０００４】一辺が４０ｃｍから６０ｃｍにもなる大型
液晶表示装置の搬送においても同様の問題が生じてお
り、大型半導体の効率的な生産において大きな障害とな
っていたが、該問題は板状半導体を垂直に立てた状態で
保持して搬送することにより大幅な改善が図られてい
る。

【０００５】即ち板状半導体の搬送は回転フレームに板
状半導体を垂直に立てた状態で保持し、該回転フレーム
を垂直軸を中心として回動自在にシャトルフレームに配
設し該シャトルフレームを水平方向に移動させることに
よって板状半導体を搬送するようにされている。

【０００６】自動処理装置における板状半導体の処理
は、板状半導体へ塵埃などの付着を防止するために該自
動処理装置を密閉状態として行われるが、板状半導体の
搬入、搬出のためのゲートが設けられており、板状半導
体の搬入、搬出のときにだけ該ゲートを開放して板状半
導体を通過させて搬入、搬出させるようになつている。

【０００７】従来該ゲートの開閉には、ロータリエアシ
リンダが駆動装置として用いられていたが、該ロータリ
エアシリンダは、圧縮空気によって駆動されるためオイ
ルミストや圧縮空気中に含まれる塵埃が発生して処理中
の板状半導体に付着し電子部品の性能を低下させてしま
うという欠点があった。

【０００８】ロータリエアシリンダから発生するオイル
ミストや塵埃を防止するためには高度の処理装置を必要
とし、装置が大型となるばかりでなく、電子部品のコス
トが高くなるという欠点があった。

【０００９】またロータリエアシリンダに作動流体を供
給するための配管を要し、配管作業が大変であるばかり
でなく、配管によって制限されて該ロータリエアシリン
ダを最適位置に配置することができない場合が生じると
いう欠点があった。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】本発明は，上記した従
来技術の欠点を除くためになされたものであって、その
目的とするところは、完全密閉形電動モータにより密閉
装置のゲートバルブを開閉することにより、オイルミス
トや塵埃の発生を完全に防止することであり、またこれ
によって、処理中の板状半導体にオイルミストや塵埃が
付着するのを防止して高性能の電子部品を製作できるよ
うにすることである。

【００１１】また他の目的は、上記構成により作動流体
を供給するための配管を不要として設計の自由度を増加
させ、最適位置にゲートバルブを配設できるようにする
ことである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は、板状半導体を
垂直に立てた状態でフレームに保持し該フレームと共に
前記板状半導体を密閉装置内で連続して搬送しながら処
理加工を行うようにした半導体搬送装置のゲートバルブ
開閉装置において、垂直方向に配設された回動軸を中心
として回動して前記密閉装置の半導体搬入口及び半導体
搬出口を開閉するゲートバルブと、前記回動軸に連結さ
れて該回動軸を回動させて前記ゲートバルブを開閉駆動
する電動モータとを備え、該電動モータのみにより前記
ゲートバルブを開閉するように構成したことを特徴とす
るものである。

【００１３】

【実施例】以下本発明を図面に示す実施例に基いて説明
する。図１から図４において、本発明に係る半導体搬送
装置のゲートバルブ開閉装置２０は、ゲートバルブ１９
と電動モータ２１とを備えている。

【００１４】まず図１を参照して、半導体搬送装置のゲ
ートバルブ開閉装置２０が使用されている半導体処理装
置５の全体構成を説明する。

【００１５】半導体処理装置５は、自動半導体着脱部６
と、手動半導体着脱部８と、半導体ウェーハへのフォト
レジストのコーティング、乾燥、パターンの焼付け、現
像、エッチング処理、フォトレジストの剥離等の多数の
処理装置が連続して内蔵された処理チャンバ９と、方向
転換部１０と、中間ユニット１１と、第１レーン選択ユ
ニット１２Ａと、返送ダクト１３と、第２レーン選択ユ
ニット１２Ｂとが互いに連結され、組み合わされて全体
が構成されており、図１に示すダブルレーンの装置にお
いてはその大きさは幅約８ｍ，長さ約１５ｍ，高さ約２
ｍの大きさとなっている。

【００１６】半導体処理装置５への板状半導体１４の装
着が自動装着される場合には、板状半導体１４は矢印Ａ
方向に搬送され自動半導体着脱部６の回転フレーム１５
に垂直に立てた状態で装着された後、回転フレーム１５
と共に矢印Ｐ方向に搬送され、また手動装着の場合には
手動半導体着脱部８に矢印Ｃ方向に搬送されて回転フレ
ーム１５に垂直に立てた状態で装着されるようになって
いる。

【００１７】自動半導体着脱部６の回転フレーム１５に
装着された板状半導体１４は、該回転フレーム１５を矢
印Ｅ方向に９０°回転させた後、矢印Ｇ方向に搬送して
手動半導体着脱部８に受け渡された後、また手動半導体
着脱部８に装着された板状半導体１４は、同様に回転フ
レーム１５を矢印Ｅ方向に９０°回転させた後、処理チ
ャンバ９に搬入されるようになっている。

【００１８】板状半導体１４は、処理チャンバ９内を矢
印Ｈ方向に搬送されながらフォトレジストのコーティン
グ、乾燥、パターンの焼付け、現像、エッチング処理、
フォトレジストの剥離等の多数の処理が自動的に施され
加工されるようになっている。

【００１９】処理チャンバ９で処理された板状半導体１
４は、方向転換部１０に受け渡され、該方向転換部１０
において矢印Ｉ方向に９０°回転し、中間ユニット１１
内を矢印Ｊ方向に搬送されて第１レーン選択ユニット１
２Ａに受け渡されるようになっている。

【００２０】そして該第１レーン選択ユニット１２Ａで
矢印Ｋ方向に９０°回転した後、返送ダクト１３内を矢
印Ｌ方向に搬送されて第２レーン選択ユニット１２Ｂに
受け渡されるようになっている。

【００２１】第２レーン選択ユニット１２Ｂに受け渡さ
れた板状半導体１４は、矢印Ｍ方向に回転し、次いで矢
印Ｏ方向に搬送されて自動半導体着脱部６に受け渡され
るようになっている。

【００２２】自動処理の場合には、該自動半導体着脱部
６において回転フレーム１５を矢印Ｆ方向に回転させた
後、板状半導体１４を回転フレーム１５と共に矢印Ｑ方
向に搬送して矢印Ｂ方向に取り出されるようになってい
る。

【００２３】また手動処理の場合には、第２レーン選択
ユニット１２Ｂから自動半導体着脱部６に受け渡された
板状半導体１４は、更に矢印Ｇ方向に搬送され手動半導
体着脱部８に受け渡された後、矢印Ｆ方向に回転して矢
印Ｄ方向に取り出されるようになっている。

【００２４】処理チャンバ９及び返送ダクト１３には、
図示しないクリーンユニットが装着されていて、該処理
チャンバ９及び返送ダクト１３内を常に高度なクリーン
状態に保持して板状半導体１４に塵埃等が付着するのを
防止するように構成されている。

【００２５】第１レーン選択ユニット１２Ａには、トレ
ーを取り出すためのトレー取出しサポート１６が装着さ
れており、該第１レーン選択ユニット１２Ａとトレー取
出しサポート１６との間には第１ゲートバルブ１８が、
また返送ダクト１３と第２レーン選択ユニット１２Ｂと
の間には第２ゲートバルブ１９が装着されており、常時
は該第１及び第２ゲートバルブ１８，１９を閉鎖し、板
状半導体１４が通過するときだけ該第１及び第２ゲート
バルブ１８，１９を開放するようにして処理チャンバ９
及び返送ダクト１３を外部から遮断して清浄に保つよう
になつている。

【００２６】次に、本発明の主要部である半導体搬送装
置のゲートバルブ開閉装置２０について説明する。第１
及び第２ゲートバルブ１８，１９は全く同一構造のもの
であるので、図２から図４を参照して、返送ダクト１３
と第２レーン選択ユニット１２Ｂとの間に配設された第
２ゲートバルブ１９を開閉する半導体搬送装置のゲート
バルブ開閉装置２０について説明する。

【００２７】返送ダクト１３は、処理チャンバ９内で処
理された板状半導体１４を単に返送するためだけのもの
で、板状半導体１４が垂直に装着された回転フレーム１
５を通過させる通路２２が形成されている。

【００２８】返送ダクト１３の第２レーン選択ユニット
１２Ｂへの接続部には、半導体搬入口２３が設けられて
いる。

【００２９】半導体搬入口２３には、軸芯を垂直方向に
向けて設定された返送ダクト１３の上下部に設けられた
ヒンジ２４を回転中心として開閉するゲートバルブ１９
が配設され、半導体搬入口２３を開閉するように構成さ
れている。

【００３０】返送ダクト１３の上部には、支持板２５が
ボルト２６によって固定されており、該支持板２５に電
動モータ２１が固定されている。

【００３１】電動モータ２１の回転軸２８は、回転接ぎ
手２９によって上部ヒンジ２４に固定された回転軸３０
に連結されている。

【００３２】回転軸３０には、半径方向に切欠（図示せ
ず）が形成された円板状の遮蔽板３１が該回転軸３０と
共に回転するように固定され、センサ固定板３２により
返送ダクト１３に互いに９０°の位相差を持って装着さ
れたフォトセンサ３３，３４を遮蔽するように構成され
ている。

【００３３】本発明は、上記のように構成されており、
以下その作用について説明する。図１から図４におい
て、自動半導体着脱部６において回転フレーム１５に装
着された板状半導体１４は、前述した如く手動半導体着
脱部８、処理チャンバ９、方向転換部１０、中間ユニッ
ト１１、第１レーン選択ユニット１２Ａ、返送ダクト１
３へと順次矢印Ｇ，Ｈ，Ｉ，Ｊ，Ｋ，Ｌ方向に処理され
ながら搬送され、第２ゲートバルブ１９に至ると、電動
モータ２１に通電されて回転軸２８が回転する。

【００３４】該回転によりゲートバルブ１９が９０°回
動すると、遮蔽板３１がフォトセンサ３３を遮蔽するこ
とにより、これを検出して電動モータ２１を停止させ、
半導体搬入口２３を開放する。

【００３５】回転フレーム１５に装着された板状半導体
１４は、該開放された半導体搬入口２３を通過して第２
レーン選択ユニット１２Ｂへ搬送された後、電動モータ
２１に再び通電されて回転軸２８を先とは逆の方向にフ
ォトセンサ３４が遮蔽板３１で遮蔽されるまで回転させ
てゲートバルブ１９を閉鎖し、密閉装置の一例たる半導
体処理装置５内に外部の塵埃等が侵入するのを防止す
る。

【００３６】第１レーン選択ユニット１２Ａとトレー取
出しサポート１６との間に配設された第１ゲートバルブ
１８においても、該トレー取出しサポート１６から板状
半導体１４を搬出するときにのみ、上記したと全く同様
に半導体搬送装置のゲートバルブ開閉装置２０が作動し
て半導体搬入口２３を開放し、板状半導体１４を通過さ
せる。

【００３７】上記した如くゲートバルブ１９は、完全密
閉形電動モータ２１によってのみ開閉駆動されるので、
該電動モータ２１からの塵埃又はオイルミスト等の汚染
物質の発生はなく、常に半導体処理装置５内が清浄に保
持される。

【００３８】

【発明の効果】本発明は、上記のように完全密閉形電動
モータにより密閉装置のゲートバルブを開閉するように
したので、オイルミストや塵埃の発生を完全に防止する
ことができ、またこの結果処理中の板状半導体にオイル
ミストや塵埃が付着するのを防止できるから高性能の電
子部品を製作できるという効果がある。

【００３９】また上記構成により作動流体を供給するた
めの配管が不要となり、設計の自由度を増加させ、最適
位置にゲートバルブを配設できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】半導体処理装置の全体平面図である。

【図２】図２から図４はゲートバルブ開閉装置に係り、
図２は要部拡大斜視図である。

【図３】要部拡大正面図である。

【図４】要部拡大側面図である。

【符号の説明】

５ 密閉装置の一例たる半導体処理装置 １４ 板状半導体 １５ フレーム １８ ゲートバルブ １９ ゲートバルブ ２０ 半導体搬送装置のゲートバルブ開閉装置 ２１ 電動モータ ２３ 半導体搬入口 ３０ 回動軸

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 板状半導体を垂直に立てた状態でフレー
   ムに保持し該フレームと共に前記板状半導体を密閉装置
   内で連続して搬送しながら処理加工を行うようにした半
   導体搬送装置のゲートバルブ開閉装置において、垂直方
   向に配設された回動軸を中心として回動して前記密閉装
   置の半導体搬入口及び半導体搬出口を開閉するゲートバ
   ルブと、前記回動軸に連結されて該回動軸を回動させて
   前記ゲートバルブを開閉駆動する電動モータとを備え、
   該電動モータのみにより前記ゲートバルブを開閉するよ
   うに構成したことを特徴とする半導体搬送装置のゲート
   バルブ開閉装置。