JP2000294615A - 搬送システムおよび搬送方法 - Google Patents

搬送システムおよび搬送方法

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Shigeki Kuroda
茂樹 黒田
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Oki Electric Industry Co Ltd
Miyagi Oki Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 クリーン化が求められる搬送システムを少な
いコストで構築することを目的とする。 【解決手段】 搬送システムは、製造ラインに対して被
処理物１の投入を行う庫入エリア２と、被処理物１に対
して第１の処理を施す装置が配置されている第１の処理
エリア３と、被処理物１に対して第２の処理を施す装置
が配置されている第２の処理エリア４と、各エリア２、
３、４間において被処理物１の搬送を行うクリーンチュ
ーブ５とから構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、搬送システムに係
わり、例えば、半導体装置の製造ラインのように高いク
リーン度を要求される製造ラインにおける被処理物の搬
送システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体装置の製造ラインは、塵埃
を取り除くために莫大な費用を掛けて建設したクリーン
ルームを備えた工場内に構築されていた。具体的には、
工場内全体をクリーンルームとするとともに、作業者は
防塵服を着用しエアシャワーを浴びてからクリーンルー
ムへ入室している。クリーンルームは、被処理物に対し
て各種処理を施す製造装置が配置されるクリーン度の高
いエリアと、製造装置や検査装置等のメンテナンスを行
うエリアとに大別される。後者は、概してそのクリーン
度は高くない。被処理物は、あらかじめ決められた製造
工程にしたがって処理される。一般的に、被処理物を各
製造工程間で搬送する場合、搬送ロボットや自動搬送キ
ャリアが使用される。また、極稀ではあるが作業者によ
る搬送が行なわれる場合もある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
半導体装置の製造ラインやそれに付随する搬送システム
は、大きな空間（工場）全体をクリーン化するため工場
建設に莫大な費用が必要となる。当然、工場内のクリー
ン度を所定条件以上に保つ必要があるため、その維持管
理のための労力と費用は多大なものとなる。また、多品
種少量生産を考慮した場合、各品種に合わせて製造ライ
ンをフレキシブルに変更することが非常に困難である。
さらに、作業者がクリーンルーム内外を出入りするた
め、エアシャワーでは十分に除去しきれなかった塵埃が
クリーンルーム内に持ち込まれてしまう。このような塵
埃が、被処理物に付着し製品不良を引き起こすことにな
り、その結果、製造歩留りを低下させてしまうことにな
っていた。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明の搬送システムは、外気から遮断され、被
処理物に対して第１の処理を行う装置が配置される第１
のエリアと、外気から遮断され、第１の処理を施された
被処理物に対して第２の処理を行う装置が配置される第
２のエリアと、第１のエリアと第２のエリアとの間に設
けられ、外気から遮断された状態を維持したまま被処理
物を第１のエリアから第２のエリアへ搬送するためのチ
ューブとを設けたものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】第１の実施形態図１は、本発明の
第１の実施形態を示す説明図である。図１に示す搬送シ
ステムは、製造ラインに対して被処理物１の投入を行う
庫入エリア２と、被処理物１に対して第１の処理を施す
装置が配置されている第１の処理エリア３と、被処理物
１に対して第２の処理を施す装置が配置されている第２
の処理エリア４と、各エリア２、３、４間において被処
理物１の搬送を行うクリーンチューブ５とから構成され
ている。庫入エリア２、第１、第２の処理エリア２、
３、およびクリーンチューブ５の内部は、高いクリーン
度に保たれている。一方、他のエリアはクリーン化を必
要としない非クリーンエリアである。
【０００６】図１のような搬送システムを構築すること
により、クリーン化を必要とするエリアを少なくするこ
とができるため、工場建設や工場の維持管理に必要な費
用を最小限に抑えることが可能となる。
【０００７】図２は、クリーンチューブ構成例を示す説
明図である。クリーンチューブ２０は、透明材質（例え
ば、パイレックスガラス、プラスティック樹脂）からな
る複数種の長さおよび形状を持つチューブ片２１、２
２、２３、あるいは、チューブ片２１、２２、２３を複
数個繋ぎあわせることにより構成される。図２の構成例
によれば、クリーンチューブ２０は、直線チューブ片２
１とクロスチューブ片２２と曲線チューブ片２３とを繋
ぎあわせて構成されている。
【０００８】図２のように、クリーンチューブを各種チ
ューブ片を繋ぎあわせて構成したことにより、フレキシ
ブルな製造ライン（搬送ライン）構築が実現できる。さ
らに、製造ライン（搬送ライン）の変更も非常に容易に
なるため、例えば、多品種少量生産に対応した製造ライ
ンの再構築等も短時間で行うことが可能になる。また、
クリーンチューブを透明材質で構成したことにより、被
処理物の搬送状態を監視し管理することが容易になると
ともに、搬送トラブルに対して迅速な対応が可能となる
ため歩留まりの向上に寄与する。
【０００９】図３は、クリーンチューブの内部構成例を
示す説明図である。チューブ片３１内には、搬送用レー
ル３２が敷かれ、被処理物を搭載したキャリア３３が搬
送レール３２上を移動する。図３の例では、搬送用レー
ル３２は、チューブ片３１と一体成型されており、チュ
ーブ片３１を複数個繋ぎあわせる際は図示しないジョイ
ント等によって搬送用レール３２が連結される。なお、
図示は省略するが、搬送用レール３２は歯車形状であっ
てもよい。搬送用レールを歯車形状にすることにより、
各エリア間の傾斜や各エリアの立体配置に対しても搬送
システムの構築が可能となる。
【００１０】第２の実施形態図４は、本発明の第２の実
施形態を示す説明図である。第１の実施形態との違い
は、クリーン度の異なる処理エリア間で被処理物の搬送
を行うために、被処理物に対して所望のクリーン度にす
るためのクリーニングを施すエリアを設けたことにあ
る。図４に示す搬送システムは、図示しない第１の処理
エリアに繋がれ第１レベルのクリーン度に保たれたチュ
ーブ片４１と、図示しない第２の処理エリアに繋がれ第
１レベルより高い第２レベルのクリーン度に保たれたチ
ューブ片４２と、チューブ片４１、４２間に接続され、
被処理物４３のクリーン度を第１レベルから第２レベル
にするクリーニング機能を備えた第３の処理エリア４４
とから構成される。第３の処理エリア４４は、被処理物
４３に対してクリーンエアーを吹き掛けるエアー吹き出
し口４５と、第３の処理エリア４４内の排気を行う排気
口４６と、チューブ片４１と第３の処理エリア４４とを
遮断するシャッター４７と、チューブ片４２と第３の処
理エリア４４とを遮断するシャッター４８を備えてい
る。エアー吹き出し口４５と排気口４６とにより、いわ
ゆるエアシャワーユニットを構成している。
【００１１】チューブ片４１内を第１の処理エリアから
シャッター４７を介して第３の処理エリア４４に搬送さ
れた被処理物４３は、第１レベルのクリーン度を有して
いる。第３の処理エリア４４では、被処理物４３に対し
てエアー引き出し口４５からクリーンエアーを吹き掛
け、被処理物および第３の処理エリア内を第２レベルの
クリーン度に向上させる。この後、シャッター４８を開
き被処理物４３を次工程である第２の処理エリアへ搬送
するためチューブ片４２へ搬出する。
【００１２】なお、本実施形態では、チューブ片４１、
４２と第３の処理エリア４４とを繋ぎあわせるシステム
構成を紹介したが、これらが一体成型されてもよい。
【００１３】本実施形態では、クリーン度の異なる処理
エリア間において被処理物の搬送を行うシステム構築を
可能としたので、各種被処理物や処理工程に応じた最適
なクリーンエリアを設けることができる。これにより、
クリーン度の維持管理費用の大幅な削減が期待できる。
【００１４】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、クリーン化が求められる搬送システムを少ないコ
ストで構築することができる。また、搬送システムの変
更についてもフレキシブルな対応が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態を示す説明図である。
【図２】本発明のクリーンチューブ構成例を示す説明図
である。
【図３】本発明のクリーンチューブ内部構成例を示す説
明図である。
【図４】本発明の第２の実施形態を示す説明図である。
【符号の説明】
１、３３、４３ 被処理物 ３ 第１の処理
エリア ４ 第２の処理
エリア ５、２０ クリーンチ
ューブ ２１、２２、２３、３１、４１、４２ チューブ片

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 外気から遮断され、被処理物に対して第
    １の処理を行う装置が配置される第１のエリアと、 外気から遮断され、前記第１の処理を施された前記被処
    理物に対して第２の処理を行う装置が配置される第２の
    エリアと、 前記第１のエリアと前記第２のエリアとの間に設けら
    れ、外気から遮断された状態を維持したまま前記被処理
    物を前記第１のエリアから前記第２のエリアへ搬送する
    ためのチューブとを設けたことを特徴とする搬送システ
    ム。
  2. 【請求項２】 前記チューブは、前記第１のエリアと前
    記第２のエリアとの間を行き来するとともに前記被処理
    物を搭載するキャリアを有することを特徴とする請求項
    １記載の搬送システム。
  3. 【請求項３】 前記チューブは、前記キャリアを移送す
    るためのレールを有することを特徴とする請求項２記載
    の搬送システム。
  4. 【請求項４】 前記チューブは、所定の長さおよび形状
    を有するとともに透明材質からなるチューブ片あるいは
    該チューブ片を複数個繋ぎあわせたものであることを特
    徴とする請求項１、２および３記載の搬送システム。
  5. 【請求項５】 前記チューブ片の形状はそれぞれ、直線
    形状、曲線形状あるいはクロス形状であることを特徴と
    する請求項４記載の搬送システム。
  6. 【請求項６】 前記レールは、歯車形状からなることを
    特徴とする請求項３記載の搬送システム。
  7. 【請求項７】 被処理物に対して第１の処理を行う装置
    が配置され、外気から遮断されるとともに第１レベルの
    クリーン度が要求される第１のエリアと、 前記第１の処理を施された前記被処理物に対して第２の
    処理を行う装置が配置され、外気から遮断されるととも
    に前記第１レベルより高い第２レベルのクリーン度が要
    求される第２のエリアと、 前記第１のエリアと前記第２のエリアとの間に設けら
    れ、外気から遮断された状態を維持したまま前記被処理
    物を前記第１のエリアから前記第２のエリアへ搬送する
    ためのチューブと、 前記チューブの途中に設けられ、前記被処理物のクリー
    ン度を前記第１レベルから前記第２レベルにするクリー
    ニング機能を有する第３のエリアとを設けたことを特徴
    とする搬送システム。
  8. 【請求項８】 前記第３のエリアは、前記チューブと一
    体成型されていることを特徴とする請求項６記載の搬送
    システム。
  9. 【請求項９】 前記第３のエリアは、 前記被処理物に対してクリーンエアーを吹き掛けるエア
    ー吹き出し口と、 前記第３のエリア内の排気を行う排気口とを有している
    ことを特徴とする請求項６および７記載の搬送システ
    ム。
  10. 【請求項１０】 前記チューブは、前記第１のエリアと
    前記第２のエリアとの間を行き来するとともに前記被処
    理物を搭載するキャリアを有することを特徴とする請求
    項７記載の搬送システム。
  11. 【請求項１１】 前記チューブは、前記キャリアを移送
    するためのレールを有することを特徴とする請求項１０
    記載の搬送システム。
  12. 【請求項１２】 前記チューブは、所定の長さおよび形
    状を有するとともに透明材質からなるチューブ片あるい
    は該チューブ片を複数個繋ぎあわせたものであることを
    特徴とする請求項７、１０および１１記載の搬送システ
    ム。
  13. 【請求項１３】 前記チューブ片の形状はそれぞれ、直
    線形状、曲線形状あるいはクロス形状であることを特徴
    とする請求項１２記載の搬送システム。
  14. 【請求項１４】 前記レールは、歯車形状からなること
    を特徴とする請求項１１記載の搬送システム。
  15. 【請求項１５】 請求項１および７記載の搬送システム
    を用いて、前記被処理物を前記第１のエリアから前記第
    ２のエリアへ搬送する搬送方法。
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