KR20010023503A - 수송 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 수송 장치, 특히 집적 반도체 제품의 생산을 위한 수송 장치에 관한 것이다. 또한 처리될 제품의 임시 저장 및 수송을 위한 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따라 처리될 제품, 특히 집적 반도체 제품을 제품의 처리 단계를 실시하기 위해 구조물에 배치된 처리 장치로 수송하는 수송 장치가 제공된다. 상기 수송 장치는, 수송 장치와 처리 장치가 커버에 의해 분리되어 있고, 커버의 개구를 통해 수송 장치로부터 처리 장치로 공급되는 것을 특징으로 하고 있다. 본 발명에 따른 수송 장치는 구조상 처리 장치와 분리되는 장점이 있다. 이에 따라, 수송 속도가 매우 높아질 수 있다. 수송 장치 영역에 있는 모든 위치는 임의로 선택될 수 있으며, 오류가 발생되면 언제든지 접근 가능하다. 또한 제어 소프트웨어의 복잡성도 분명히 감소될 수 있다.

Description

수송 장치 {TRANSPORT SYSTEM}

근래의 산업적 생산은 일반적으로 고도의 자동화로 특징지워진다. 이는 처리될 제품의 고유 처리 및 상기 처리될 제품을 하나의 처리 장치에서 다른 처리 장치로 수송하는 것과 관련이 있다. 특히 반도체 산업에서는 국제 경쟁력을 키우기 위한 고도의 자동화가 필수적이다.

집적 반도체 제품을 생산하는 동안, 생산물은 600 공정 단계까지 순환하고, 상기 공정 단계는 대부분 매우 특수화된 처리 장치에 의해 클린 룸 환경에서 실행될 수 있다. 이 경우 다수의 동일 방식의 처리 장치가 처리 영역("Bay")으로 통합되며, 통상적으로 다수의 처리 영역은 공장 구조물의 같은 층에 함께 배치된다.

오늘날 처리 반도체 웨이퍼를 개별 처리 영역 및 처리 장치에 수송하기 위해, 공장 구조물에서 처리 장치가 배치되어 있는 바로 그 층에 수송 장치가 또한 제공된다. 이 경우, 두 처리 영역간의 수송은 예컨대 모노레일에 있는 궤도 차량에 의해 이루어질 수 있다. 개별 처리 영역에는 처리 영역을 위한 특정 반도체 웨이퍼를 단기 저장할 수 있는, 예컨대 "스톡커"라는 임시 저장고가 종종 제공된다.

반도체 웨이퍼를 임시 저장고로부터 고유 처리 장치로 수송하는 것은, 로봇, 궤도 전용 로봇, 궤도 차량이나, 운전자 없는 차량("무인 반송차" AGV)에 의해 같은 층의 바닥에서 이루어질 수 있다.

그러나 상기 방식의 수송 장치는 많은 단점을 지닌다. 한편, 수송 속도가 그다지 빠르지 않다. 즉, 처리 장치간의 수송 시간이 10분 이상 걸린다. 다른 한편, 수송 제어 소프트웨어가 매우 복잡하다. 따라서 특히 처리 장치는 장애물을 피해 가야만 하고, 수송보다 먼저 이루어져야만 한다. 추월이 발생한다. 교차점 및 분기점이 고려되어야만 한다. 또한 처리 영역내 임시 저장고는, 고유 생산을 위해 유용하게 쓰일 수 있을 만큼 큰 면적을 필요로 한다.

본 발명은 수송 장치, 특히 집적 반도체 제품의 생산을 위한 수송 장치에 관한 것이다. 또한 처리될 제품의 임시 저장 및 수송을 위한 장치에 관한 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 수송 장치의 개략도이고,

도 2는 본 발명에 따른 수송 장치의 추가 개략도이며,

도 3은 처리될 제품의 임시 저장 및 수송을 위한, 본 발명에 따른 장치의 개략도이다.

본 발명의 목적은, 언급된 장치의 단점을 피하거나 줄일 수 있는 수송 장치, 처리될 제품의 임시 저장 및 수송을 위한 장치를 제공하는데 있다.

상기 목적은 청구항 제 1항에 따른 수송 장치, 청구항 제 10항에 따른 처리될 제품의 임시 저장 및 수송을 위한 장치에 의해 달성된다. 또한 본 발명의 바람직한 실시예, 디자인 그리고 양상은 종속항 및 첨부한 도면에 의해 나타난다.

본 발명에 따라 처리될 제품, 특히 집적 반도체 제품을, 제품의 처리 단계를 실시하기 위해 구조물에 배치된 처리 장치로 수송하는 수송 장치가 제공된다. 본 발명에 따른 수송 장치는, 수송 장치 및 처리 장치가 커버에 의해 분리되고, 상기 커버의 개구에 처리 장치로 이어지는 공급관이 제공되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 수송 장치는 구조상 처리 장치와 분리되는 장점이 있다. 이에 따라 수송 속도가 매우 빨라질 수 있다. 수송 장치의 영역에 있는 모든 위치는 임의로 선택될 수 있고, 오류가 발생하면 언제든지 접근 가능하다. 제어 소프트웨어의 복잡성은 분명히 감소될 수 있다. 처리 장치의 영역 및 층에 자주 사용된 궤도가 커버에서 생략될 수 있다. 처리 장치 영역에 있는 스터드(stud)는 대략 1 미터 정도까지 작아질 수 있다. 이제는 클린 룸의 조건들이 감소될 수 있기 때문에, 수송 장치의 디자인은 간소화될 수 있다. 상기 수송 장치는 처리 장치에 피해를 주지 않도록 형성될 수 있다. 또한 본 발명에 따른 수송 장치는 모든 임의로 배치된 처리 장치와 쉽게 매칭된다. 이런 경우, 대개 제어 소프트웨어의 매칭이 필요하다.

수송 장치는 처리 장치 위에 바람직하게 배치된다. 오늘날 통상적인 반도체 공장에서는, 처리 장치가 배치되어 있는 층마다 소위 "필터 팬 유닛"을 통해 신선한 공기가 제공되기 때문에, 여기서 충분한 공간을 마음대로 사용할 수 있다.

또한 커버의 개구를 통해 수송 장치로부터 처리 장치로 이어진 공급관은 리프트로 형성되는 것이 바람직하다. 상기 리프트는 또한 쉽게 접근할 수 있는 임시 저장고로 사용될 수 있다.

본 발명에 따른 수송 장치의 추가 바람직한 실시예에 따라, 수송 장치내에 처리될 제품의 임시 저장을 위한 적어도 하나의 저장 영역이 제공된다. 이러한 방식으로 처리 영역내 임시 저장고가 처리 장치가 배치되어 있는 층 및 영역에서 생략될 수 있다. 따라서 각각의 처리 영역은 하나 또는 두 개의 추가 처리 장치를 포함할 수 있다.

이 경우 처리 영역은 수평면으로 형성되어 있다. 따라서 간단한 방식으로 신속하고, 임의로 선택될 수 있는 처리될 제품으로의 접근이 실현될 수 있다.

수송 장치는 처리 영역에 따라 바람직하게 분할되며, 이렇게 분할된 수송 장치는 적어도 하나의 영역 내-수송 장치를 가지고, 적어도 하나의 영역 간-수송 장치에 의해 서로 연결된다. 여기서 처리 영역에 따라 저장 영역이 분할되거나, 이에 상응하는 다수의 저장 영역이 수송 장치에 제공될 경우 특히 바람직하다. 또한 이에 상응하여, 영역 내-수송 장치에 의해 수송 장치로부터 처리 장치로 공급될 수 있을때 바람직하다.

또한 영역 내-수송 장치가 그리퍼(gripper)를 포함한 수송 크레인을 둘러싸고, 상기 영역 내-수송 장치가 컨베이어 장치 또는 궤도 장치로서 형성되어 있는 것이 바람직하다.

또한 본 발명에 따라 처리될 제품의 임시 저장 및 수송을 위한 장치가 제공된다. 상기 장치는 처리될 제품의 임시 저장을 위한 저장 영역 및 처리될 제품의 수송을 위한 이송 장치를 갖는다. 상기 장치는 저장 영역이 수평면으로 형성되어 있는 특징을 지닌다. 따라서 간단한 방식으로 신속하고, 임의로 선택될 수 있는 처리될 제품으로의 접근이 실현될 수 있다.

이송 장치는, 제 1 인렛/아우트렛 영역, 저장 영역 그리고 적어도 하나의 제 2 인렛/아우트렛 영역 사이에서 처리될 제품을 수송할 수 있도록 형성되어 있다. 따라서 상기 처리될 제품은 예컨대 각각의 저장 영역 위에 있는 영역 간-수송 장치로부터 처리 장치로 이어지는 공급관으로 제공될 수 있다.

이 경우 본 발명에 따른 장치의 이송 장치는 그리퍼를 포함한 수송 크레인을 바람직하게 포함한다.

본 발명은 하기에 도면에 의해 더 자세히 설명된다.

도 1은 본 발명에 따른 수송 장치(1)의 개략도이다. 상기 수송 장치(1)는 구조물 벽(7)에 의해 처리 장치(5)와 분리되어 있으며, 상기 처리 장치(5)는 수송 장치(1)의 아래층에 배치되어 있다. 커버(7)에 있는 개구(8)(도 2 참조)를 통해, 리프트로 형성되어 있는 공급관(4)이 처리 장치(5)와 수송 장치(1)를 연결해준다.

처리 장치(5)는 처리 영역(6)에 결합된다. 이에 상응하여, 수송 장치(1)가 다수의 수송 장치(2)로 분할된다. 이 경우, 분할된 수송 장치(2)는 도 3에 도시된 것과 같이, 처리될 제품의 임시 저장 및 수송을 위한 장치(10)를 포함한다. 상기 분할된 수송 장치(2)는 영역 간-수송 장치(3)에 의해 연결되어 있으며, 상기 영역 내-수송 장치(3)는 복도 영역에 있는 (도시되지 않은) 궤도 차량을 포함한다.

도 2는 본 발명에 따른 수송 장치(1)의 추가 개략도이다. 도 1에서와 같이, 상기 수송 장치(1)는 커버(7)에 의해 처리 장치(5)와 분리되어 있으며, 상기 처리 장치(5)는 수송 장치(1)의 아래층에 배치되어 있다. 커버(7)의 개구를(8) 통해 리프트로 형성되어 있는 공급관(4)이 수송 장치(1)를 처리 장치(5)와 연결시킨다.

처리 장치의 층 아래에, 추가 지지 장치를 가진 층(9)이 추가로 제공된다.

수송 장치(1)와 처리 장치(5)를 구조상 분리함으로써, 수송 속도가 매우 빨라질 수 있다. 수송 장치(1) 영역에 있는 모든 위치는 임의로 선택될 수 있고, 일단 오류가 발견되면 언제든지 접근 가능하다. 이미 설명했던 바와 같이, 수송 장치(1)는 처리 장치(5)에 피해를 주지 않도록 디자인되고 작동될 수 있다. 또한 본 발명에 따른 수송 장치(1)는 각각의 임의로 배치된 처리 장치(5)에 매칭될 수 있다. 여기서는 대개 제어 소프트웨어의 매칭이 필요하다.

도 3은 처리될 제품(20)의 임시 저장 및 수송을 위한, 본 발명에 따른 장치(10)의 개략도이다. 여기서 본 발명에 따른 장치(10)는 본 발명에 따른 수송 장치(1)의 한 부분을 형성한다. 상기 장치(10)는 분할된 수송 장치(2)내에 각각의 영역 내-수송 장치를 형성한다(도 1 참조).

본 발명에 따른 장치(1)는 이송 장치로서 수송 크레인(14)을 포함하며, 상기 수송 크레인(14)은 텔레스코픽 암(telescopic arm)(16)을 포함한 궤도 차량(15)을 가진다. 상기 텔레스코픽 암(16)의 끝에 그리퍼(17)가 제공된다. 수송 크레인(14)은 수평면으로 형성된 저장 영역(11) 위에 배치되어 있다. 여기서 처리될 제품(20)은 3 열로 저장 영역(11)에 배치되어 있다. 이 경우, 처리될 제품(20)은 소위 로트(lot)로 묶은 반도체 웨이퍼로 구성되어 있다.

또한 상기 장치(10)는 두 개의 인렛/아우트렛 영역(12, 13)을 갖는다. 이 경우 상기 인렛/아우트렛 영역(12)은 중간-수송 장치(3)(도 1 참조)의 반도체 웨이퍼를 받아들이는데 사용되고, 인렛/아우트렛 영역(13)은 처리 장치(5)로 제공되는 리프트(4)에 실린 반도체 웨이퍼를 받아들이는데 사용된다(도 1 또는 도 2 참조).

저장 영역(11)에 의해, 지금까지 통상적으로 사용되던 임시 저장고가 처리 영역(6)에서 생략될 수 있다. 따라서 각각의 처리 영역(6)은 하나 또는 두 개의 추가 처리 장치(5)를 포함한다.

Claims (12)

1. 처리될 제품(20), 특히 집적 반도체 제품을 제품의 처리 단계를 실시하기 위해 구조물에 배치된 처리 장치(5)로 수송하는 수송 장치(1)에 있어서,

   수송 장치(1) 및 처리 장치(5)가 커버(7)에 의해 분리되어 있고, 상기 커버(7)의 개구(8)를 통해 수송 장치(1)로부터 처리 장치(5)로 공급관(4)이 제공되는 것을 특징으로 하는 수송 장치(1).
2. 제 1항에 있어서,

   수송 장치(1)가 처리 장치(5) 위에 배치되는 것을 특징으로 하는 수송 장치(1).
3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,

   커버(7)의 개구(8)를 통해, 수송 장치(1)로부터 처리 장치(5)로 제공된 공급관(4)이 리프트로 형성되는 것을 특징으로 하는 수송 장치(1).
4. 제 1항 또는 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,

   처리될 제품(20)의 임시 저장을 위해 적어도 하나의 저장 영역(11)이 제공되는 것을 특징으로 하는 수송 장치(1).
5. 제 4항에 있어서,

   저장 영역(11)이 수평면으로 형성되는 것을 특징으로 하는 수송 장치(1).
6. 제 1항 또는 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,

   수송 장치(1)가 처리 영역(6)에 따라 분할되며, 분할된 수송 장치(2)가 각각 적어도 하나의 영역 내-수송 장치(10)를 가지고 적어도 하나의 영역 간-수송 장치(3)에 의해 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 수송 장치(1).
7. 제 6항에 있어서,

   수송 장치(1)로부터 처리 장치(5)로 제공된 공급관(4)이 영역 내-수송 장치(10)로 형성되는 것을 특징으로 하는 수송 장치(1).
8. 제 6항 또는 제 7항에 있어서,

   영역 내-수송 장치(10)가 그리퍼(17)를 갖는 수송 크레인(14)을 포함하는 것을 특징으로 하는 수송 장치(1).
9. 제 6항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,

   영역 간-수송 장치(3)가 컨베이어 장치 또는 궤도 장치로 형성되는 것을 특징으로 하는 수송 장치(1).
10. 처리될 제품(20)의 임시 저장을 위한 저장 영역(11) 및 처리될 제품(20)의 수송을 위한 수송 장치(14)를 포함하는 특히 제 1항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 따른 수송 장치에 사용하기 위한, 처리될 제품을 임시 저장 및 수송하기 위한 장치(10)에 있어서,

    저장 영역(11)이 수평면으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 장치(10).
11. 제 10항에 있어서,

    이송 장치(14)가, 제 1 인렛/아우트렛 영역(12), 저장 영역(11) 그리고 적어도 하나의 제 2 인렛/아우트렛 영역(13) 사이에서 처리될 제품(20)을 수송할 수 있도록 형성되는 것을 특징으로 하는 장치(10).
12. 제 10항 또는 제 11항에 있어서,

    이송 장치(14)가 그리퍼(17)를 갖는 수송 크레인으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 장치(10).