JPH06224094A - 半導体基板の製造工程における工程間搬送システム - Google Patents
半導体基板の製造工程における工程間搬送システムInfo
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- JPH06224094A JPH06224094A JP50A JP2989793A JPH06224094A JP H06224094 A JPH06224094 A JP H06224094A JP 50 A JP50 A JP 50A JP 2989793 A JP2989793 A JP 2989793A JP H06224094 A JPH06224094 A JP H06224094A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 中央に搬送制御用の統括制御計算機を必要と
せず、工程間で搬送台車を独立して走行可能にする。 【構成】 製造管理システムコンピュータ１０は、ウエ
ハが収納されたウエハキャリヤケース３の次の行先情報
を作成し、処理工程区域内のストッカ４に付設された工
程内端末４０に伝送する。ケース３が処理工程区域内の
プロセス処理装置からストッカ４に移載されたときに、
工程内端末４０は、受け取った行先情報をケース３の行
先情報記憶器３０に伝送する。そして、ケース３がスト
ッカ４から搬送台車５に搭載されたときに、行先情報記
憶器３０は、受け取った行先情報を搬送台車５の台車制
御器５０に伝送する。台車制御器５０は、受け取った行
先情報に基づいて、搬送路２に設置された搬送制御器２
０に順次指示を出力し、搬送制御器２０は推進駆動機構
２１を制御して搬送台車５を目的場所へ誘導する。
せず、工程間で搬送台車を独立して走行可能にする。 【構成】 製造管理システムコンピュータ１０は、ウエ
ハが収納されたウエハキャリヤケース３の次の行先情報
を作成し、処理工程区域内のストッカ４に付設された工
程内端末４０に伝送する。ケース３が処理工程区域内の
プロセス処理装置からストッカ４に移載されたときに、
工程内端末４０は、受け取った行先情報をケース３の行
先情報記憶器３０に伝送する。そして、ケース３がスト
ッカ４から搬送台車５に搭載されたときに、行先情報記
憶器３０は、受け取った行先情報を搬送台車５の台車制
御器５０に伝送する。台車制御器５０は、受け取った行
先情報に基づいて、搬送路２に設置された搬送制御器２
０に順次指示を出力し、搬送制御器２０は推進駆動機構
２１を制御して搬送台車５を目的場所へ誘導する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばウエハ等の半導
体基板の製造工程において、その半導体基板を複数の処
理工程の間で自動搬送するための工程間搬送システムに
関する。
体基板の製造工程において、その半導体基板を複数の処
理工程の間で自動搬送するための工程間搬送システムに
関する。
【０００２】
【従来の技術】まず、図８を参照してウエハの製造工程
の概略を説明する。クリーンルーム１内の中央に搬送路
２が環状に配設され、この搬送路２の両側が複数の処理
工程区域Ａ〜Ｆとなっている。これらの処理工程区域Ａ
〜Ｆは一般的にベイと称され、各ベイＡ〜Ｆ内にそれぞ
れ洗浄処理や酸化処理等を行うためのプロセス処理装置
Ａ1 〜Ａ4 、・・・、Ｆ1 〜Ｆ4 等が集中して配置され
ている。
の概略を説明する。クリーンルーム１内の中央に搬送路
２が環状に配設され、この搬送路２の両側が複数の処理
工程区域Ａ〜Ｆとなっている。これらの処理工程区域Ａ
〜Ｆは一般的にベイと称され、各ベイＡ〜Ｆ内にそれぞ
れ洗浄処理や酸化処理等を行うためのプロセス処理装置
Ａ1 〜Ａ4 、・・・、Ｆ1 〜Ｆ4 等が集中して配置され
ている。
【０００３】例えばベイＡ内の処理装置Ａ1 によってウ
エハ（図示せず）の処理が終了すると、ウエハはウエハ
キャリヤケース（以下、ケースと記載）３に収納され、
このケース３はベイＡの出入口の近傍に設けられたスト
ッカ（収納保管棚）４に移載される。そして、ケース３
はストッカ４から搬送台車５に搭載される。搬送台車５
が搬送路２上を走行し、指定された次の処理工程区域例
えばベイＢの前まで搬送される。搬送台車５からケース
３が降ろされてストッカ４に移載される。このストッカ
４からケース３が例えば処理装置Ｂ3 まで搬送され、ケ
ース３からウエハが取り出されて処理装置Ｂ3 による処
理が行われる。
エハ（図示せず）の処理が終了すると、ウエハはウエハ
キャリヤケース（以下、ケースと記載）３に収納され、
このケース３はベイＡの出入口の近傍に設けられたスト
ッカ（収納保管棚）４に移載される。そして、ケース３
はストッカ４から搬送台車５に搭載される。搬送台車５
が搬送路２上を走行し、指定された次の処理工程区域例
えばベイＢの前まで搬送される。搬送台車５からケース
３が降ろされてストッカ４に移載される。このストッカ
４からケース３が例えば処理装置Ｂ3 まで搬送され、ケ
ース３からウエハが取り出されて処理装置Ｂ3 による処
理が行われる。
【０００４】ここで、ケース３を搭載した搬送台車５を
搬送路２に沿って搬送することを工程間搬送、ケース３
を各ベイＡ〜Ｆ内で搬送することを工程内搬送、として
区別する。
搬送路２に沿って搬送することを工程間搬送、ケース３
を各ベイＡ〜Ｆ内で搬送することを工程内搬送、として
区別する。
【０００５】ところで、上述したようなウエハの製造工
程における従来の工程間搬送システムは、例えば図９に
示すように、搬送制御用の統括制御計算機６から、搬送
路２に沿って分散配置された搬送制御器７に指令を出力
し、これらの搬送制御器７が搬送路２に設置された推進
駆動機構（図示せず）を制御することにより、搬送路２
上の搬送台車５の進行を制御するようになっていた。
程における従来の工程間搬送システムは、例えば図９に
示すように、搬送制御用の統括制御計算機６から、搬送
路２に沿って分散配置された搬送制御器７に指令を出力
し、これらの搬送制御器７が搬送路２に設置された推進
駆動機構（図示せず）を制御することにより、搬送路２
上の搬送台車５の進行を制御するようになっていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たように従来は、中央の搬送制御用の統括制御計算機６
から搬送制御器７に指令を出力して、搬送台車５の進行
を制御していたので、この統括制御計算機６が故障した
場合やメンテナンスの時は、全ての工程間搬送が停止し
てしまい、稼働率が著しく低下するという問題があっ
た。
たように従来は、中央の搬送制御用の統括制御計算機６
から搬送制御器７に指令を出力して、搬送台車５の進行
を制御していたので、この統括制御計算機６が故障した
場合やメンテナンスの時は、全ての工程間搬送が停止し
てしまい、稼働率が著しく低下するという問題があっ
た。
【０００７】また、上記の問題を避けるためには、バッ
クアップ用の統括制御計算機６′を設けて計算機システ
ムを２重化し、常時オンラインで監視する必要があり、
この場合には、設備構築コスト並びに維持管理コストが
大幅に増加するという問題があった。
クアップ用の統括制御計算機６′を設けて計算機システ
ムを２重化し、常時オンラインで監視する必要があり、
この場合には、設備構築コスト並びに維持管理コストが
大幅に増加するという問題があった。
【０００８】そこで本発明は、中央に搬送制御用の統括
制御計算機を必要とせず、工程間で搬送台車が独立して
走行可能な半導体基板の製造工程における工程間搬送シ
ステムを提供することを目的とする。
制御計算機を必要とせず、工程間で搬送台車が独立して
走行可能な半導体基板の製造工程における工程間搬送シ
ステムを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、半導体基板を基板キャリヤケースに収納
し、この基板キャリヤケースを搬送台車に搭載して複数
の処理工程の間で搬送路に沿って搬送するようにした半
導体基板の製造工程における工程間搬送システムにおい
て、前記基板キャリヤケースの行先情報を作成する行先
情報作成手段と、各々の処理工程区域内に設けられて、
前記行先情報作成手段から伝送された行先情報を受け取
る工程内端末と、前記基板キャリヤケースに設けられ
て、前記工程内端末から伝送された行先情報を受け取る
行先情報記憶手段と、前記搬送台車に設けられて、前記
行先情報記憶手段から伝送された行先情報を受け取る台
車制御手段とを具備し、前記基板キャリヤケースが前記
処理工程区域内にあるときに、前記工程内端末から前記
行先情報記憶手段に行先情報を伝送し、前記基板キャリ
ヤケースが前記搬送台車に搭載されたときに、前記行先
情報記憶手段から前記台車制御手段に行先情報を伝送
し、この行先情報に基づいて、前記台車制御手段から、
前記搬送路の制御単位区分毎に設置された搬送制御手段
に順次指示を出力することにより、前記搬送台車を誘導
するように構成したものである。
に、本発明は、半導体基板を基板キャリヤケースに収納
し、この基板キャリヤケースを搬送台車に搭載して複数
の処理工程の間で搬送路に沿って搬送するようにした半
導体基板の製造工程における工程間搬送システムにおい
て、前記基板キャリヤケースの行先情報を作成する行先
情報作成手段と、各々の処理工程区域内に設けられて、
前記行先情報作成手段から伝送された行先情報を受け取
る工程内端末と、前記基板キャリヤケースに設けられ
て、前記工程内端末から伝送された行先情報を受け取る
行先情報記憶手段と、前記搬送台車に設けられて、前記
行先情報記憶手段から伝送された行先情報を受け取る台
車制御手段とを具備し、前記基板キャリヤケースが前記
処理工程区域内にあるときに、前記工程内端末から前記
行先情報記憶手段に行先情報を伝送し、前記基板キャリ
ヤケースが前記搬送台車に搭載されたときに、前記行先
情報記憶手段から前記台車制御手段に行先情報を伝送
し、この行先情報に基づいて、前記台車制御手段から、
前記搬送路の制御単位区分毎に設置された搬送制御手段
に順次指示を出力することにより、前記搬送台車を誘導
するように構成したものである。
【００１０】また本発明は、前記構成において、前記基
板キャリヤケースの行先情報記憶手段を介在させず、前
記基板キャリヤケースが前記処理工程区域内から前記搬
送台車に搭載されたときに、前記工程内端末から前記台
車制御手段に行先情報を伝送するように構成したもので
ある。
板キャリヤケースの行先情報記憶手段を介在させず、前
記基板キャリヤケースが前記処理工程区域内から前記搬
送台車に搭載されたときに、前記工程内端末から前記台
車制御手段に行先情報を伝送するように構成したもので
ある。
【００１１】なお、前記工程内端末が、前記処理工程区
域内において前記基板キャリヤケースをストックするた
めのストッカ或いは前記処理工程区域内における処理装
置に付設されているとよい。
域内において前記基板キャリヤケースをストックするた
めのストッカ或いは前記処理工程区域内における処理装
置に付設されているとよい。
【００１２】
【作用】上記のように構成された本発明によれば、行先
情報作成手段は、基板キャリヤケースの行先情報を作成
して処理工程区域内の例えばストッカ或いは処理装置に
付設された工程内端末に伝送する。基板キャリヤケース
が処理工程区域内にあるときに、工程内端末は、受け取
った行先情報を基板キャリヤケースの行先情報記憶手段
に伝送する。そして、基板キャリヤケースが搬送台車に
搭載されたときに、行先情報記憶手段は、受け取った行
先情報を搬送台車の台車制御手段に伝送する。
情報作成手段は、基板キャリヤケースの行先情報を作成
して処理工程区域内の例えばストッカ或いは処理装置に
付設された工程内端末に伝送する。基板キャリヤケース
が処理工程区域内にあるときに、工程内端末は、受け取
った行先情報を基板キャリヤケースの行先情報記憶手段
に伝送する。そして、基板キャリヤケースが搬送台車に
搭載されたときに、行先情報記憶手段は、受け取った行
先情報を搬送台車の台車制御手段に伝送する。
【００１３】台車制御手段は、受け取った行先情報に基
づいて、搬送路の搬送制御手段に順次指示を出力する。
この搬送指示は搬送路の制御単位区分毎に繰り返し行
い、これにより搬送台車は目的場所へ到達することがで
きる。このように、基板キャリヤケース自体が行先情報
を有し、この行先情報が搬送台車に伝送されて、搬送台
車自身が搬送路の搬送制御手段に指示を出すので、工程
間で搬送台車が独立して走行可能となる。
づいて、搬送路の搬送制御手段に順次指示を出力する。
この搬送指示は搬送路の制御単位区分毎に繰り返し行
い、これにより搬送台車は目的場所へ到達することがで
きる。このように、基板キャリヤケース自体が行先情報
を有し、この行先情報が搬送台車に伝送されて、搬送台
車自身が搬送路の搬送制御手段に指示を出すので、工程
間で搬送台車が独立して走行可能となる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明をウエハの製造工程における工
程間搬送システムに適用した実施例を図１〜図７を参照
して説明する。なお、製造工程の概略は図８で説明した
ものと基本的に同等である。
程間搬送システムに適用した実施例を図１〜図７を参照
して説明する。なお、製造工程の概略は図８で説明した
ものと基本的に同等である。
【００１５】図１は第１実施例によるシステムのブロッ
ク構成図であり、このシステムは、製造工程の全体を管
理する製造管理システムコンピュータ１０を備えてい
る。そして、この製造管理システムコンピュータ１０に
おいて、所定の処理工程区域（ベイ）Ａ〜Ｆ内での処理
が終了したウエハを収納するウエハキャリヤケース（以
下、ケースと記載）３を、次にどのベイＡ〜Ｆへ搬送す
るかの行先情報を作成する。なお、行先情報としては、
ベイＡ〜Ｆの指定だけでなく、そのベイＡ〜Ｆ内のどの
プロセス処理装置Ａ1 〜Ａ4 、・・・等の指定も含める
ことができる。そして、製造管理システムコンピュータ
１０は、作成した行先情報を工程内端末４０に伝送す
る。
ク構成図であり、このシステムは、製造工程の全体を管
理する製造管理システムコンピュータ１０を備えてい
る。そして、この製造管理システムコンピュータ１０に
おいて、所定の処理工程区域（ベイ）Ａ〜Ｆ内での処理
が終了したウエハを収納するウエハキャリヤケース（以
下、ケースと記載）３を、次にどのベイＡ〜Ｆへ搬送す
るかの行先情報を作成する。なお、行先情報としては、
ベイＡ〜Ｆの指定だけでなく、そのベイＡ〜Ｆ内のどの
プロセス処理装置Ａ1 〜Ａ4 、・・・等の指定も含める
ことができる。そして、製造管理システムコンピュータ
１０は、作成した行先情報を工程内端末４０に伝送す
る。
【００１６】工程内端末４０は各々のベイＡ〜Ｆ内のス
トッカ４に設けられており、製造管理システムコンピュ
ータ１０から伝送された行先情報を受け取る。工程内端
末４０は固定の装置であるから、行先情報の伝送はオン
ラインで可能である。そして、工程内端末４０は送信部
４１を有し、行先情報をケース３の行先情報記憶器３０
に無線伝送する。
トッカ４に設けられており、製造管理システムコンピュ
ータ１０から伝送された行先情報を受け取る。工程内端
末４０は固定の装置であるから、行先情報の伝送はオン
ラインで可能である。そして、工程内端末４０は送信部
４１を有し、行先情報をケース３の行先情報記憶器３０
に無線伝送する。
【００１７】図２は工程内端末４０が設けられたストッ
カ４を示すものである。前述したように、ストッカ４は
各ベイの出入口の近傍に設けられ、工程内搬送と工程間
搬送との間でケース３を一時的にストックして受け渡し
するものである。ストッカ４は両側に多数のストック棚
４２を有し、ストック棚４２間の一方が搬送路２側に位
置すると共に他方がベイ内側に位置している。そして、
ストッカ４内に配置されたロボット４３によって、ケー
ス３が搬送台車５とストック棚４２或いはベイ側のステ
ージ４４との間で受け渡される。
カ４を示すものである。前述したように、ストッカ４は
各ベイの出入口の近傍に設けられ、工程内搬送と工程間
搬送との間でケース３を一時的にストックして受け渡し
するものである。ストッカ４は両側に多数のストック棚
４２を有し、ストック棚４２間の一方が搬送路２側に位
置すると共に他方がベイ内側に位置している。そして、
ストッカ４内に配置されたロボット４３によって、ケー
ス３が搬送台車５とストック棚４２或いはベイ側のステ
ージ４４との間で受け渡される。
【００１８】図３はケース３及びこれを搭載した搬送台
車５を示すものである。行先情報記憶器３０はケース３
に設けられており、工程内端末４０から伝送された行先
情報を受け取る。図１に示すように、行先情報記憶器３
０は受信部３１と記憶部３２と送信部３３とを有し、行
先情報を記憶部３２により記憶し、その行先情報を送信
部３３を介して搬送台車５の台車制御器５０に無線伝送
する。
車５を示すものである。行先情報記憶器３０はケース３
に設けられており、工程内端末４０から伝送された行先
情報を受け取る。図１に示すように、行先情報記憶器３
０は受信部３１と記憶部３２と送信部３３とを有し、行
先情報を記憶部３２により記憶し、その行先情報を送信
部３３を介して搬送台車５の台車制御器５０に無線伝送
する。
【００１９】図３に示すように、台車制御器５０は搬送
台車５に設けられており、行先情報記憶器３０から伝送
された行先情報を受け取る。図１に示すように、台車制
御器５０は受信部５１と記憶／制御部５２と送信部５３
とを有し、その記憶／制御部５２は、行先情報に基づい
て、送信部５３を介して無線で搬送路２の搬送制御器２
０に指示を出力する。
台車５に設けられており、行先情報記憶器３０から伝送
された行先情報を受け取る。図１に示すように、台車制
御器５０は受信部５１と記憶／制御部５２と送信部５３
とを有し、その記憶／制御部５２は、行先情報に基づい
て、送信部５３を介して無線で搬送路２の搬送制御器２
０に指示を出力する。
【００２０】図４は搬送路２及び搬送台車５を示すもの
であり、搬送路２の制御単位区分毎に複数の搬送制御器
２０が設置されている。なお、本実施例では搬送台車５
と搬送路２との間の推進駆動機構２１がリニアモータに
よって構成されており、各々の搬送制御器２０は制御単
位区分毎にそのリニアモータを制御する。
であり、搬送路２の制御単位区分毎に複数の搬送制御器
２０が設置されている。なお、本実施例では搬送台車５
と搬送路２との間の推進駆動機構２１がリニアモータに
よって構成されており、各々の搬送制御器２０は制御単
位区分毎にそのリニアモータを制御する。
【００２１】なお、搬送路２の制御単位区分とは、距離
的な区分は勿論だが機能的な区分も含まれる。例えば、
図８に示すような、各ベイＡ〜Ｆのストッカ４の近傍は
当然一つの制御単位区分であり、また、環状の搬送路２
から分岐する待避路２′等も一つの制御単位区分であ
る。
的な区分は勿論だが機能的な区分も含まれる。例えば、
図８に示すような、各ベイＡ〜Ｆのストッカ４の近傍は
当然一つの制御単位区分であり、また、環状の搬送路２
から分岐する待避路２′等も一つの制御単位区分であ
る。
【００２２】次に、上述のように構成されたシステムに
よる工程間搬送を説明する。
よる工程間搬送を説明する。
【００２３】まず、図８において、例えば一つのベイＡ
内の処理装置Ａ1 によってウエハに対する一つの処理が
終了すると、ウエハはケース３に収納され、ストッカ４
を経由して搬送台車５に搭載され、搬送路２に沿って指
示された次の処理工程区域例えばベイＢへ搬送される。
内の処理装置Ａ1 によってウエハに対する一つの処理が
終了すると、ウエハはケース３に収納され、ストッカ４
を経由して搬送台車５に搭載され、搬送路２に沿って指
示された次の処理工程区域例えばベイＢへ搬送される。
【００２４】この過程で、図１及び図２に示すように、
処理が終了したウエハＷを収納するケース３の次の行先
情報が、予め、製造管理システムコンピュータ１０から
ストッカ４の工程内端末４０に伝送されている。
処理が終了したウエハＷを収納するケース３の次の行先
情報が、予め、製造管理システムコンピュータ１０から
ストッカ４の工程内端末４０に伝送されている。
【００２５】そして、ケース３がストッカ４に移載され
ると、その都度、ケース３の行先情報記憶器３０は、工
程内端末４０から次の行先情報を受け取る。
ると、その都度、ケース３の行先情報記憶器３０は、工
程内端末４０から次の行先情報を受け取る。
【００２６】そして、ケース３がストッカ４から搬送台
車５に搭載されると、搬送台車５の台車制御器５０は、
行先情報記憶器３０から行先情報を受け取る。
車５に搭載されると、搬送台車５の台車制御器５０は、
行先情報記憶器３０から行先情報を受け取る。
【００２７】次に、台車制御器５０の記憶／制御部５２
は、受け取った行先情報に基づいて、搬送路２の搬送制
御器２０に搬送指令を出力し、搬送台車５を推進制御さ
せる。
は、受け取った行先情報に基づいて、搬送路２の搬送制
御器２０に搬送指令を出力し、搬送台車５を推進制御さ
せる。
【００２８】搬送台車５の台車制御器５０は、搬送路２
の制御単位区分毎に搬送制御器２０と情報をやり取り
し、搬送制御器２０は、搬送路２の推進駆動機構２１を
制御することにより、搬送台車５を行先情報で指示され
た目的場所まで到達させることができる。
の制御単位区分毎に搬送制御器２０と情報をやり取り
し、搬送制御器２０は、搬送路２の推進駆動機構２１を
制御することにより、搬送台車５を行先情報で指示され
た目的場所まで到達させることができる。
【００２９】以上のように、ウエハＷを収納するケース
３自体が行先情報を有し、この行先情報を搬送台車５に
伝送して、この行先情報に基づいて搬送台車５自身が搬
送路２の搬送制御器２０に指示を出すので、工程間で搬
送台車５を独立して走行させることができる。
３自体が行先情報を有し、この行先情報を搬送台車５に
伝送して、この行先情報に基づいて搬送台車５自身が搬
送路２の搬送制御器２０に指示を出すので、工程間で搬
送台車５を独立して走行させることができる。
【００３０】なお、実施例においては、工程内端末４
０、ケース３の行先情報記憶器３０、搬送台車５の台車
制御器５０、搬送路２の搬送制御器２０、等の間での情
報の伝送は、ケース３及び搬送台車５が移動するので、
無線伝送によって行っているが、異物等の発生の問題が
なければ、無線伝送以外の接触伝送等も可能である。
０、ケース３の行先情報記憶器３０、搬送台車５の台車
制御器５０、搬送路２の搬送制御器２０、等の間での情
報の伝送は、ケース３及び搬送台車５が移動するので、
無線伝送によって行っているが、異物等の発生の問題が
なければ、無線伝送以外の接触伝送等も可能である。
【００３１】次に、図５は第２実施例によるシステムの
ブロック構成図であり、工程内端末４０を各ベイＡ〜Ｆ
内における処理装置Ａ1 〜Ａ4 、・・・に付設したもの
である。この場合、工程内端末４０は処理装置のコンピ
ュータに付随させることができる。そして、処理装置に
よるウエハの処理が終了し、そのウエハがケース３に収
納される前或いは後に、工程内端末４０からケース３の
行先情報記憶器３０に行先情報が伝送される。従って、
ケース３がストッカ４に移載される際には、既にケース
３は行先情報を有している。
ブロック構成図であり、工程内端末４０を各ベイＡ〜Ｆ
内における処理装置Ａ1 〜Ａ4 、・・・に付設したもの
である。この場合、工程内端末４０は処理装置のコンピ
ュータに付随させることができる。そして、処理装置に
よるウエハの処理が終了し、そのウエハがケース３に収
納される前或いは後に、工程内端末４０からケース３の
行先情報記憶器３０に行先情報が伝送される。従って、
ケース３がストッカ４に移載される際には、既にケース
３は行先情報を有している。
【００３２】次に、図６及び図７はそれぞれ第３実施例
及び第４実施例によるシステムのブロック構成図であ
り、前記第１実施例及び第２実施例の構成において、ケ
ース３の行先情報記憶器３０を介在させずに、行先情報
をストッカ４或いは処理装置Ａ1 〜Ａ4 、・・・の工程
内端末４０から搬送台車５の台車制御器５０に直接に伝
送するようにしたものである。即ち、ケース３が搬送台
車５に搭載されたときに、そのケース３に関する行先情
報が工程内端末４０から搬送台車５の台車制御器５０に
伝送される。
及び第４実施例によるシステムのブロック構成図であ
り、前記第１実施例及び第２実施例の構成において、ケ
ース３の行先情報記憶器３０を介在させずに、行先情報
をストッカ４或いは処理装置Ａ1 〜Ａ4 、・・・の工程
内端末４０から搬送台車５の台車制御器５０に直接に伝
送するようにしたものである。即ち、ケース３が搬送台
車５に搭載されたときに、そのケース３に関する行先情
報が工程内端末４０から搬送台車５の台車制御器５０に
伝送される。
【００３３】なお、第２実施例及び第４実施例のよう
に、工程内端末４０を処理装置に付設した構成は、特に
ケース３を処理装置からストッカ４を介さずに搬送台車
５に直接搭載する場合に有効である。また、第３実施例
及び第４実施例のように、ケース３の行先情報記憶器３
０の介在を省略した構成は、行先情報の伝送過程の簡略
化を図ることができる。
に、工程内端末４０を処理装置に付設した構成は、特に
ケース３を処理装置からストッカ４を介さずに搬送台車
５に直接搭載する場合に有効である。また、第３実施例
及び第４実施例のように、ケース３の行先情報記憶器３
０の介在を省略した構成は、行先情報の伝送過程の簡略
化を図ることができる。
【００３４】以上、本発明の実施例に付き説明したが、
本発明は上記実施例に限定されることなく、本発明の技
術的思想に基づいて各種の有効な変更並びに応用が可能
である。なお本発明は、ウエハ以外に各種の半導体基板
を基板キャリヤケースに収納して搬送台車により搬送す
る各種の工程間搬送システムに適用可能である。
本発明は上記実施例に限定されることなく、本発明の技
術的思想に基づいて各種の有効な変更並びに応用が可能
である。なお本発明は、ウエハ以外に各種の半導体基板
を基板キャリヤケースに収納して搬送台車により搬送す
る各種の工程間搬送システムに適用可能である。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
中央に搬送制御用の統括制御計算機を必要とせず、工程
間で搬送台車が独立して走行可能となる。従って、従来
の統括制御計算機を使用する場合のように、この統括制
御計算機が故障した場合やメンテナンスの時に全ての工
程間搬送が停止するような問題がなく、稼働率の著しい
向上を図ることができる。また、上記問題を避けるため
に、従来のように計算機システムを２重化して常時オン
ラインで監視する必要もないので、設備構築コスト及び
維持管理コストの大幅な削減を図ることができる。
中央に搬送制御用の統括制御計算機を必要とせず、工程
間で搬送台車が独立して走行可能となる。従って、従来
の統括制御計算機を使用する場合のように、この統括制
御計算機が故障した場合やメンテナンスの時に全ての工
程間搬送が停止するような問題がなく、稼働率の著しい
向上を図ることができる。また、上記問題を避けるため
に、従来のように計算機システムを２重化して常時オン
ラインで監視する必要もないので、設備構築コスト及び
維持管理コストの大幅な削減を図ることができる。
【図１】本発明の第１実施例によるシステムのブロック
構成図である。
構成図である。
【図２】工程内端末が設けられたストッカの概略平面図
である。
である。
【図３】ウエハキャリヤケース及びこれを搭載した搬送
台車の概略斜視図である。
台車の概略斜視図である。
【図４】搬送路と搬送台車との関係を示す概略平面図で
ある。
ある。
【図５】本発明の第２実施例によるシステムのブロック
構成図である。
構成図である。
【図６】本発明の第３実施例によるシステムのブロック
構成図である。
構成図である。
【図７】本発明の第４実施例によるシステムのブロック
構成図である。
構成図である。
【図８】ウエハの製造工程を説明するための概略図であ
る。
る。
【図９】上記製造工程における従来の工程間搬送システ
ムを説明する概略図である。
ムを説明する概略図である。
１ クリーンルーム ２ 搬送路 ３ ウエハキャリヤケース ４ ストッカ ５ 搬送台車 １０ 製造管理システムコンピュータ ２０ 搬送制御器 ２１ 推進駆動機構 ３０ 行先情報記憶器 ３２ 記憶部 ４０ 工程内端末 ４２ ストック棚 ５０ 台車制御器 ５２ 記憶／制御部 Ｗ ウエハ Ａ〜Ｆ 処理工程区域（ベイ） Ａ1 〜Ａ4 、・・・、Ｆ1 〜Ｆ4 プロセス処理装置
Claims (4)
- 【請求項１】 半導体基板を基板キャリヤケースに収納
し、この基板キャリヤケースを搬送台車に搭載して複数
の処理工程の間で搬送路に沿って搬送するようにした半
導体基板の製造工程における工程間搬送システムにおい
て、 前記基板キャリヤケースの行先情報を作成する行先情報
作成手段と、 各々の処理工程区域内に設けられて、前記行先情報作成
手段から伝送された行先情報を受け取る工程内端末と、 前記基板キャリヤケースに設けられて、前記工程内端末
から伝送された行先情報を受け取る行先情報記憶手段
と、 前記搬送台車に設けられて、前記行先情報記憶手段から
伝送された行先情報を受け取る台車制御手段とを具備
し、 前記基板キャリヤケースが前記処理工程区域内にあると
きに、前記工程内端末から前記行先情報記憶手段に行先
情報を伝送し、前記基板キャリヤケースが前記搬送台車
に搭載されたときに、前記行先情報記憶手段から前記台
車制御手段に行先情報を伝送し、 この行先情報に基づいて、前記台車制御手段から、前記
搬送路の制御単位区分毎に設置された搬送制御手段に順
次指示を出力することにより、前記搬送台車を誘導する
ように構成したことを特徴とする半導体基板の製造工程
における工程間搬送システム。 - 【請求項２】 半導体基板を基板キャリヤケースに収納
し、この基板キャリヤケースを搬送台車に搭載して複数
の処理工程の間で搬送路に沿って搬送するようにした半
導体基板の製造工程における工程間搬送システムにおい
て、 前記基板キャリヤケースの行先情報を作成する行先情報
作成手段と、 各々の処理工程区域内に設けられて、前記行先情報作成
手段から伝送された行先情報を受け取る工程内端末と、 前記搬送台車に設けられて、前記工程内端末から伝送さ
れた行先情報を受け取る台車制御手段とを具備し、 前記基板キャリヤケースが前記処理工程区域内から前記
搬送台車に搭載されたときに、前記工程内端末から前記
台車制御手段に行先情報を伝送し、 この行先情報に基づいて、前記台車制御手段から、前記
搬送路の制御単位区分毎に設置された搬送制御手段に順
次指示を出力することにより、前記搬送台車を誘導する
ように構成したことを特徴とする半導体基板の製造工程
における工程間搬送システム。 - 【請求項３】 前記工程内端末が、前記処理工程区域内
において前記基板キャリヤケースをストックするための
ストッカに付設されていることを特徴とする請求項１ま
たは２記載の半導体基板の製造工程における工程間搬送
システム。 - 【請求項４】 前記工程内端末が、前記処理工程区域内
における処理装置に付設されていることを特徴とする請
求項１または２記載の半導体基板の製造工程における工
程間搬送システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50A JPH06224094A (ja) | 1993-01-26 | 1993-01-26 | 半導体基板の製造工程における工程間搬送システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50A JPH06224094A (ja) | 1993-01-26 | 1993-01-26 | 半導体基板の製造工程における工程間搬送システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06224094A true JPH06224094A (ja) | 1994-08-12 |
Family
ID=12288773
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP50A Withdrawn JPH06224094A (ja) | 1993-01-26 | 1993-01-26 | 半導体基板の製造工程における工程間搬送システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06224094A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100329778B1 (ko) * | 1999-06-22 | 2002-03-25 | 박종섭 | 반도체 생산라인에서 로트의 자동 반송 장치 및 방법 |
-
1993
- 1993-01-26 JP JP50A patent/JPH06224094A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100329778B1 (ko) * | 1999-06-22 | 2002-03-25 | 박종섭 | 반도체 생산라인에서 로트의 자동 반송 장치 및 방법 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000404 |