KR100374085B1 - 수송 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 커버(7)에 의해 수송 장치(1)와 처리 장치(5)가 분리되고 상기 커버(7)의 개구(8)에 수송 장치(1)와 가공 장치(5)를 이어주는 공급관(7)을 갖는, 구조물 내 처리 장치(5) 간에 반도체 제품(20)을 수송하기 위한 수송 장치(1)에 관한 것이다. 상기 수송 장치는 처리 장치(5)가 통합되어 있는 처리 영역(6)에 상응하여 수송 장치(1)가 영역 내 수송 장치(10)로 분할되며, 상기 영역 내 수송 장치(10)는 공급관(4)에 의해 처리 영역(6)과, 영역 내 수송 장치(10)에 의해 서로 연결되며, 상기 영역 내 수송 장치(10)가 반도체 제품(20)의 임시 저장을 위한 저장 영역(11)을 가짐으로써, 저장고가 처리 영역에 상응하여 분할되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 수송 장치에 의해, 처리 장치 간에 제품 저장을 위한 면적이 필요 없기 때문에, 추가 생산 표면이 생겨난다. 처리 장치 간의 수송은 간단하고, 신속하고, 쉽게 변경될 수 있다.

Description

수송 장치 {TRANSPORT SYSTEM}

근래의 산업적 생산은 일반적으로 고도의 자동화로 특징지워진다. 이는 처리될 제품의 고유 처리 및 상기 처리될 제품을 하나의 처리 장치에서 다른 처리 장치로 수송하는 것과 관련이 있다. 특히 반도체 산업에서는 국제 경쟁력을 키우기 위한 고도의 자동화가 필수적이다.

집적 반도체 제품을 생산하는 동안, 생산물은 600 공정 단계까지 순환하고, 상기 공정 단계는 대부분 매우 특수화된 처리 장치에 의해 클린 룸 환경에서 실행될 수 있다. 이 경우 다수의 동일 방식의 처리 장치가 처리 영역("Bay")으로 통합되며, 통상적으로 다수의 처리 영역은 공장 구조물의 같은 층에 함께 배치된다.

오늘날 처리 반도체 웨이퍼를 개별 처리 영역 및 처리 장치에 수송하기 위해, 공장 구조물에서 처리 장치가 배치되어 있는 바로 그 층에 수송 장치가 또한 제공된다. 이 경우, 두 처리 영역 간의 수송은 예컨대 모노레일에 있는 궤도 차량에 의해 이루어질 수 있다. 개별 처리 영역에는 처리 영역을 위한 특정 반도체 웨이퍼를 단기 저장할 수 있는, 예컨대 "스톡커"라는 임시 저장고가 종종 제공된다.

반도체 웨이퍼를 임시 저장고로부터 고유 처리 장치로 수송하는 것은, 로봇, 궤도 전용 로봇, 궤도 차량이나, 운전자 없는 차량("무인 반송차" AGV)에 의해 같은 층의 바닥에서 이루어질 수 있다.

그러나 상기 방식의 수송 장치는 많은 단점을 지닌다. 한편, 수송 속도가 그다지 빠르지 않다. 즉, 처리 장치간의 수송 시간이 10분 이상 걸린다. 다른 한편, 수송 제어 소프트웨어가 매우 복잡하다. 따라서 특히 처리 장치는 장애물을 피해 가야만 하고, 수송보다 먼저 이루어져야만 한다. 추월이 발생한다. 교차점 및 분기점이 고려되어야만 한다. 또한 처리 영역 내 임시 저장고는, 고유 생산을 위해 유용하게 쓰일 수 있을 만큼 큰 면적을 필요로 한다.

본 발명은 커버에 의해 수송 장치와 가공 장치가 분리되고 상기 커버의 개구에 수송 장치와 가공 장치를 이어주는 공급관을 갖는, 구조물 내 처리 장치 간에 반도체 제품을 수송하기 위한 수송 장치에 관한 것이다. 상기 수송 장치는 JP 06 143067 A에 기술되어 있다.

도 1은 본 발명에 따른 수송 장치의 개략도이고,

도 2는 본 발명에 따른 수송 장치의 추가 개략도이며,

도 3은 처리될 제품의 임시 저장 및 수송을 위한, 본 발명에 따른 장치의 개략도이다.

본 발명의 목적은, 언급된 장치의 단점을 피하거나 줄일 수 있는 수송 장치, 처리될 제품의 임시 저장 및 수송을 위한 장치를 제공하는데 있다.

상기 목적은 청구항 제 1항에 따른 수송 장치에 의해 달성된다. 즉, 상기 수송 장치는 처리 장치가 통합되어 있는 처리 영역에 상응하여 영역 내 수송 장치로 분할되며, 상기 영역 내 수송 장치는 공급관에 의해 처리 영역과, 영역 간 수송 장치에 의해 서로 연결된다. 또한 상기 영역 내 수송 장치가 반도체 제품의 임시 저장을 위한 저장 영역을 가짐으로써, 저장고는 처리 영역에 상응하여 분할된다.

본 발명에 따른 수송 장치는 구조상 처리 장치와 분리되는 장점이 있다. 이에 따라 수송 속도가 매우 빨라질 수 있다. 수송 장치의 영역에 있는 모든 위치는 임의로 선택될 수 있고, 오류가 발생하면 언제든지 접근 가능하다. 제어 소프트웨어의 복잡성은 분명히 감소될 수 있다. 처리 장치의 영역 및 층에 자주 사용된 궤도가 커버에서 생략될 수 있다. 처리 장치 영역에 있는 스터드(stud)는 대략 1 미터 정도까지 작아질 수 있다. 이제는 클린 룸의 조건들이 감소될 수 있기 때문에, 수송 장치의 디자인은 간소화될 수 있다. 상기 수송 장치는 처리 장치에 피해를 주지 않도록 형성될 수 있다. 또한 본 발명에 따른 수송 장치는 모든 임의로 배치된 처리 장치와 쉽게 매칭된다. 이런 경우, 대개 제어 소프트웨어의 매칭이 필요하다. 처리 장치의 영역 및 층의 처리 영역내에 배치되던 임시 저장고는 생략될 수 있다. 따라서 각각의 처리 영역은 하나 또는 두 개의 추가 처리 장치를 포함할 수 있다. 즉, 수송 장치는 처리 영역에 따라 분할되며, 상기 분할된 수송 장치는 적어도 하나의 영역 내 수송 장치를 가지고 적어도 하나의 영역 간 수송 장치에 의해 서로 연결된다. 이 경우, 수송 장치로부터 처리 장치로 이어진 공급관이 영역 내 수송 장치로 형성된다.바람직하게도, 영역 내 수송 장치 내 처리될 제품은 제 1 인렛/아우트렛 영역, 저장 영역 및 적어도 하나의 제 2 인렛/아우트렛 영역 사이의 영역 내 수송 장치로 수송될 수 있고, 상기 저장 영역은 수평면으로 형성된다.

수송 장치는 처리 장치에 의해, 특히 신선한 공기를 공급하기 위해 제공된 층에 배치되는 것이 바람직하다. 오늘날 일반적인 반도체 공장에서는, 처리 장치가 배치되어 있는 층마다 소위 "필터 팬 유닛"을 통해 신선한 공기가 제공되기 때문에, 여기서 충분한 공간을 마음대로 사용할 수 있다.

또한 영역 내 수송 장치는 그리퍼(gripper)를 포함한 수송 크레인을 가지며, 영역 간 수송 장치는 컨베이어 장치 또는 궤도 장치로서 형성되어 있다.

본 발명은 하기에 도면에 의해 더 자세히 설명된다.

도 1은 본 발명에 따른 수송 장치(1)의 개략도이다. 상기 수송 장치(1)는 구조물 벽(7)에 의해 처리 장치(5)와 분리되어 있으며, 처리 장치(5)는 수송 장치(1)의 아래층에 배치되어 있다. 커버(7)에 있는 개구(8)(도 2 참조)를 통해, 리프트로 형성되어 있는 공급관(4)이 처리 장치(5)와 수송 장치(1)를 연결해준다.

처리 장치(5)는 처리 영역(6)에 결합된다. 이에 상응하여, 수송 장치(1)가 다수의 수송 장치(2)로 분할된다. 이 경우, 분할된 수송 장치(2)는 도 3에 도시된 것과 같이, 처리될 제품의 임시 저장 및 수송을 위한 장치(10)를 포함한다. 상기 분할된 수송 장치(2)는 영역 간 수송 장치(3)에 의해 연결되어 있으며, 상기 영역 간 수송 장치(3)는 복도 영역에 있는 (도시되지 않은) 궤도 차량을 포함한다.

도 2는 본 발명에 따른 수송 장치(1)의 추가 개략도이다. 도 1에서와 같이, 상기 수송 장치(1)는 커버(7)에 의해 처리 장치(5)와 분리되어 있으며, 상기 처리장치(5)는 수송 장치(1)의 아래층에 배치되어 있다. 커버(7)의 개구를(8) 통해 리프트로 형성되어 있는 공급관(4)이 수송 장치(1)를 처리 장치(5)와 연결시킨다.

처리 장치의 층 아래에, 추가 지지 장치를 가진 층(9)이 추가로 제공된다.

수송 장치(1)와 처리 장치(5)를 구조상 분리함으로써, 수송 속도가 매우 빨라질 수 있다. 수송 장치(1) 영역에 있는 모든 위치는 임의로 선택될 수 있고, 일단 오류가 발견되면 언제든지 접근 가능하다. 이미 설명했던 바와 같이, 수송 장치(1)는 처리 장치(5)에 피해를 주지 않도록 디자인되고 작동될 수 있다. 또한 본 발명에 따른 수송 장치(1)는 각각의 임의로 배치된 처리 장치(5)에 매칭될 수 있다. 여기서는 대개 제어 소프트웨어의 매칭이 필요하다.

도 3은 처리될 제품(20)의 임시 저장 및 수송을 위한, 본 발명에 따른 장치(10)의 개략도이다. 여기서 본 발명에 따른 장치(10)는 본 발명에 따른 수송 장치(1)의 한 부분을 형성한다. 상기 장치(10)는 분할된 수송 장치(2) 내에 각각의 영역 내 수송 장치를 형성한다(도 1 참조).

본 발명에 따른 장치(1)는 이송 장치로서 수송 크레인(14)을 포함하며, 상기 수송 크레인(14)은 텔레스코픽 암(telescopic arm)(16)을 포함한 궤도 차량(15)을 가진다. 상기 텔레스코픽 암(16)의 끝에 그리퍼(17)가 제공된다. 수송 크레인(14)은 수평면으로 형성된 저장 영역(11) 위에 배치되어 있다. 여기서 처리될 제품(20)은 3 열로 저장 영역(11)에 배치되어 있다. 이 경우, 처리될 제품(20)은 소위 로트(lot)로 묶은 반도체 웨이퍼로 구성되어 있다.

또한 상기 장치(10)는 두 개의 인렛/아우트렛 영역(12, 13)을 갖는다. 이 경우 상기 인렛/아우트렛 영역(12)은 영역 간 수송 장치(3)(도 1 참조)의 반도체 웨이퍼를 받아들이는데 사용되고, 인렛/아우트렛 영역(13)은 처리 장치(5)로 제공되는 리프트(4)에 실린 반도체 웨이퍼를 받아들이는데 사용된다(도 1 또는 도 2 참조).

저장 영역(11)에 의해, 지금까지 통상적으로 사용되던 임시 저장고가 처리 영역(6)에서 생략될 수 있다. 따라서 각각의 처리 영역(6)은 하나 또는 두 개의 추가 처리 장치(5)를 포함한다.

Claims (12)

1. 삭제
2. 삭제
3. 커버(7)에 의해 수송 장치(1)와 처리 장치(5)가 분리되고, 상기 수송 장치(1)와 처리 장치(5) 사이에서 상기 커버(7)의 개구(8)에 공급관(7)을 갖는, 구조물 내 처리 장치(5) 간에 반도체 제품(20)을 수송하기 위한 수송 장치(1)에 있어서,

   처리 장치(5)가 통합되어 있는 처리 영역(6)에 상응하게 수송 장치(1)가 영역 내 수송 장치(10)로 분할되며, 상기 영역 내 수송 장치(10)는 공급관(4)에 의해 처리 영역(6)과 연결되고, 영역 간 수송 장치(3)에 의해 서로 연결되며, 상기 영역 내 수송 장치(10)가 반도체 제품(20)의 임시 저장을 위한 적어도 하나의 저장 영역(11)을 각각 가짐으로써, 저장고가 처리 영역에 상응하게 분할되며, 상기 수송 장치(1)가 처리 영역(6)을 포함하는 레벨에 포함되며,

   상기 영역 내 수송 장치(10) 내에서 처리될 제품(20)이 제 1 인렛/아우트렛 영역(12), 저장 영역(11) 및 적어도 하나의 제 2 인렛/아우트렛 영역(13) 사이에서 수송될 수 있으며,

   상기 저장 영역(11)이 수평면으로 형성되는 것을 특징으로 하는 수송 장치(1).
4. 제 3항에 있어서,

   처리 장치(5) 위에 배치되는 것을 특징으로 하는 수송 장치(1).
5. 제 3항에 있어서,

   신선한 공기를 공급하기 위해 제공된 층에 배치되는 것을 특징으로 하는 수송 장치(1).
6. 제 3항에 있어서,

   공급관(4)이 리프트인 것을 특징으로 하는 수송 장치(1).
7. 제 3항에 있어서,

   리프트(4)가 추가적으로 임시 저장고로서 사용될 수 있는 것을 특징으로 하는 수송 장치(1).
8. 제 3항에 있어서,

   영역 내 수송 장치(10)가 각각 그리퍼(17)를 포함한 수송 크레인(14)을 갖는 것을 특징으로 하는 수송 장치(1).
9. 제 3항에 있어서,

   영역 간 수송 장치(3)가 컨베이어 장치 또는 궤도 장치로서 형성되는 것을 특징으로 하는 수송 장치(1).
10. 제 3항에 있어서, 클린 룸 필터 장치를 포함하는 레벨 내에 놓이는 것을 특징으로 하는 수송 장치(1).
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