JPH1116984A - 半導体ウェハ搬送システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】先行搬送車の移載作業による後続搬送車の停滞
状態をなくし、全体の稼動率を向上できる搬送システム
を提供する。 【解決手段】ストッカ１，２，３，４…と、搬送軌道６
を走行する多数の搬送車８Ａ，８Ｂと、閉ループを形成
するメインルート５と、このメインルート５から分岐し
対応するストッカ１の近傍を通って再びメインルート５
に合流する引き込みルート９と、メインルート５を直進
する方向か若しくはメインルート５から引き込みルート
９に進入する方向へ択一的に進路を切り替え可能なポイ
ンター１０と、メインルート５を直進する方向か若しく
は引き込みルート９からメインルート５に進出する方向
へ択一的に進路を切り替え可能なポインター１１とを設
ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体処理工程間
で半導体ウェハを搬送するための半導体ウェハ搬送シス
テムに関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体の製造の際には、例えば
ウェハの洗浄→成膜→フォトレジスト膜生成・エッチン
グ→レジスト膜除去・洗浄といった一連の基本的な処理
工程を、何度も繰り返すことにより行われる。これら各
処理工程の間は、ウェハの搬送を行う搬送システムによ
って連絡されている。この搬送システムは、各処理工程
毎に設けられウェハの一時保管をそれぞれ行うストッカ
群と、各ストッカ群の間を連絡する搬送ルートと、この
搬送ルートを走行する多数の搬送車とを有している。そ
して、１つの処理工程が終了したウェハはその工程に対
応するストッカ群に移載されて一時保管された後、さら
にそのストッカ群から搬送車に移載されて次の処理工程
のストッカ群へと搬送される。そして、そのストッカ群
から対応する処理工程へと移載されて所定の処理が行わ
れる。ここで上記したように、これら処理工程は何度も
同じ順に繰り返されるため、通常、このウェハ搬送シス
テムの搬送ルートは閉ループを構成するようになってい
る。そのような閉ループを備えたウェハ搬送システムの
公知技術としては、例えば特開昭６２−９６８３７号公
報がある。

【０００３】この公知技術においては、１フロアー内に
配置された複数の処理工程間を搬送する搬送システムに
おいて、搬送ルートを複数個の閉ループに分割した構造
としかつ各ループごとの多制御運転化とすることによ
り、搬送車運用の効率化を図るとともにトラブル発生時
の停止範囲を分散化し、システム全体の稼働率低下を防
止するようになっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記公
知技術は、１つのループ内において多数の搬送車がいか
に効率良くウェハを搬送できるかについて配慮されてい
ない。すなわち、上述したように、通常、１つの処理工
程ごとに対応するストッカが複数個配置されて１つのス
トッカ群を構成している。そして、１つのストッカ群に
多数の搬送車が次々に走行してくるときに、先行してい
る搬送車がウェハを移載するストッカよりも、後続の搬
送車がウェハを移載するストッカのほうが、搬送ルート
前方側にある場合が起こり得る。このような場合、先行
搬送車がウェハを移載している間、後続搬送車は移載を
行うことができずにその後方で待たされて停滞すること
になる。このような現象は、各処理工程のストッカ群に
おいて頻発し得るため、搬送システム全体の稼働率向上
の妨げとなる。

【０００５】本発明の目的は、先行搬送車の移載作業に
よる後続搬送車の停滞状態をなくし、全体の稼動率を向
上できる搬送システムを提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

（１）上記目的を達成するために、本発明は、半導体処
理工程に対応して設けられ、半導体ウェハの一時保管を
それぞれ行う複数のストッカと、閉ループを形成する１
つの本線を含む搬送軌道と、前記半導体ウェハを搭載し
前記搬送軌道を走行する複数の搬送車とを有し、前記複
数のストッカ間で前記半導体ウェハの搬送を行う半導体
ウェハ搬送システムにおいて、前記搬送軌道に、前記本
線から分岐し対応する前記ストッカの近傍を通って再び
前記本線に合流する側線を設け、前記本線から前記側線
が分岐する位置に、前記本線を直進する方向か若しくは
前記本線から前記側線に進入する方向へ択一的に進路を
切り替え可能な分岐用切替手段を設け、前記側線が前記
本線に合流する位置に、前記本線を直進する方向か若し
くは前記側線から前記本線に進出する方向へ択一的に進
路を切り替え可能な合流用切替手段を設ける。まず、本
線上を進行してきた先行搬送車がストッカへ（又はスト
ッカから）移載を行う場合、分岐用切替手段を本線から
側線に進入する方向へ切り替え、この先行搬送車を側線
に導き、ストッカ近傍の位置に停止させてウェハ移載を
行う。ここで、この移載中に後続の搬送車が本線上を進
行してきて、しかもこの後続搬送車がもっと先のストッ
カで移載を行いたい場合は、分岐用切替手段を本線を直
進する方向へ再び切り替える。これにより、後続搬送車
は先行搬送車に邪魔されることなく本線上をそのまま進
行して先行搬送車を追い越し、直ちに目的とするストッ
カへと向かうことができる。このようにして後続搬送車
が追い越していった後、合流用切替手段を側線から本線
に進出する方向へ切り替え、移載が終了した先行搬送車
を出発させて側線から本線へと進出させることができ
る。このように、先行搬送車が移載中であっても本線が
支障されず直進ルートを確保できるので、従来のような
後続搬送車の停滞状態をなくすことができる。したがっ
て、全体の稼動率を向上することができる。

【０００７】（２）上記（１）において、好ましくは、
前記搬送車の行先に応じて前記分岐用切替手段及び合流
用切替手段の切り替え動作を制御する制御手段を設け
る。

【０００８】（３）上記（２）において、また好ましく
は、前記搬送車の行先を検出し、対応する検出信号を前
記制御手段に入力する行先検出手段を設ける。

【０００９】（４）上記（２）において、さらに好まし
くは、前記搬送車が前記分岐用切替手段又は前記合流用
切替手段を通過したことを検出し、対応する信号を前記
制御手段に入力する通過検出手段を設ける。

【００１０】（５）上記（１）において、また好ましく
は、前記ストッカは、前記側線に略沿った軌道方向及び
上下方向に移動可能なクレーンと、このクレーンの前記
軌道方向に対し直角な幅方向両側にそれぞれ設けられ半
導体ウェハを載置する保管棚とを備えており、前記側線
は、前記幅方向一の側の保管棚の一部を切り欠いた領域
に敷設されている。幅方向一の側の保管棚が一部切り欠
かれ、その切り欠いた領域に側線が敷設されていること
により、本線のみがある従来構造に対し、側線を追加設
置するためのスペースは特に不要となる。したがって、
搬送軌道やストッカの設置スペースに制限がある場合で
あっても、容易に従来構造からの改良を実施することが
できる。また例えば、保管棚をクレーンの前まで切り欠
き、側線の目の前にクレーンを移動可能な構造とすれ
ば、クレーンと搬送車とで直接半導体ウェハの移載を行
うことができる。これにより、通常、搬送車から移載機
で保管棚に移載し、さらに保管棚からクレーンで処理工
程側に移載していた従来構造に比べて、移載機を省略す
ることができるので、コストダウンを図ることができ
る。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
を参照しつつ説明する。本実施形態による搬送システム
の概略配置を示すレイアウト図を図１に示す。図１にお
いて、本実施形態による搬送システムは、概略的に言う
と、半導体処理工程に対応して設けられ、半導体ウェハ
の一時保管をそれぞれ行う複数のストッカ１，２，３，
４…と、閉ループを形成する１つの本線（メインルー
ト）５を含む搬送軌道６と、半導体ウェハを搭載しこの
搬送軌道６を走行する多数の搬送車８Ａ，８Ｂ，…（図
では２台のみを示す）とを有し、複数のストッカ１，
２，３，４…間で半導体ウェハの搬送を行うようになっ
ている。

【００１２】搬送軌道６は、各半導体処理工程に割り当
てられたストッカ群相互間でウェハ搬送を行うための主
たるルートを形成する上記メインルート５のほかに、メ
インルート５から分岐し対応するストッカ１の近傍を通
って再びメインルート５に合流する側線（引き込みルー
ト）９を備えている。またメインルート５から引き込み
ルート９が分岐する位置には、メインルート５を直進す
る方向か若しくはメインルート５から引き込みルート９
に進入する方向へ択一的に進路を切り替え可能な分岐用
切替手段としてのポインター１０が設けられており、引
き込みルート９がメインルート５に合流する位置には、
メインルート５を直進する方向か若しくは引き込みルー
ト９からメインルート５に進出する方向へ択一的に進路
を切り替え可能な合流用切替手段としてのポインター１
１が設けられている。

【００１３】メインルート５のポインター１０より手前
側位置近傍には、搬送車８の行先を検出する行先検出手
段としての光伝装置１２が設けられている。また、引き
込みルート９のポインター１０より前方側位置近傍及び
メインルート５のポインター１１より前方側位置近傍に
は、ポインター１０及びポインター１１を通過したこと
を検出する通過検出手段としての光伝装置１３，１４が
それぞれ設けられている。これら光伝装置１２，１３，
１４は、この種の装置として公知のもの（例えば赤外線
等を用いた光空間伝送装置）であり、非接触で信号の送
・受信ができるようになっている。これらからの検出信
号は、制御手段としての搬送コントローラ１５に入力さ
れる。この搬送コントローラ１５に係わる信号の流れを
表す図を図２に示す。この図２に示すように、搬送コン
トローラ１５は、これら入力に応じてポインター１０，
１１の切り替え動作を制御する制御信号を出力し、ポイ
ンター１０，１１はこの制御信号に応じて位置が切り換
わるようになっている。

【００１４】ここで、ストッカ１の概略断面構造を表す
鉛直断面図を図３に示す。図３において、ストッカ１
は、引き込みルート９に略沿った軌道方向及び上下方向
に移動可能なクレーン１６と、このクレーン１６の軌道
方向に対し直角な幅方向（図示左右方向）両側にそれぞ
れ設けられ半導体ウェハを載置する保管棚１７，１８と
を備えている。そして、引き込みルート９は、幅方向一
の側（図３中左側）の保管棚１８の上部をクレーン１６
の前まで切り欠いた領域にオーバーハングするように敷
設されており、引き込みルート９の目の前にクレーン１
６が移動可能な構造となっている。また図示のように、
メインルート５及び引き込みルート９は、クリーンルー
ムの天井位置近傍に配置されている。なおこのストッカ
１は、前述した図２に示されるように搬送コントローラ
１５と電気的に接続され、搬送コントローラ１５からの
制御信号に応じてクレーン１６が移載動作を行うように
なっている。

【００１５】図１に戻り、前述した光伝装置１２〜１４
のほかに、引き込みルート９のストッカ１位置近傍には
移載のために搬送車８が停止したときにおける通信用の
光伝装置１９ａ，１９ｂ，…が設けられており、引き込
みルート９の光伝装置１９ａよりやや前方には前述した
光伝装置１３，１４と同様に搬送車８が通過したことを
検出するための光伝装置２０が設けられており、さらに
メインルート５のポインター１１より手前側の広範囲に
おける搬送車８の不在を検出するための光伝装置２２が
設けられている。これら光伝装置１９ａ，１９ｂ，…，
２０，２２は、前述した光伝装置１２，１３，１４と同
様に非接触での送・受信が可能であり、前述した図２に
示されるように、それぞれ搬送コントローラ１５と電気
的に接続されている。光伝装置１９ａ，１９ｂ…は搬送
車８がこれを介して搬送コントローラ１５と相互に通信
可能であり、また光伝装置２０，２２は、その検出信号
が搬送コントローラ１５に入力されるようになってい
る。また、引き込みルート９の光伝装置１９ａ，１９
ｂ，…よりも手前側には、移載のために搬送車８が停止
する位置を位置決めするための位置情報を与えるストラ
イカ２１が設けられている。

【００１６】なお、以上、ストッカ１に関し、メインル
ート５、引き込みルート９、及びポインター１０，１１
等の構成や、光伝装置１２〜１４，１９，２０，２２等
との信号の授受を説明したが、他のストッカ２，３，４
…についても、図示は省略するが、同様の構成が設けら
れておりかつ同様の信号の授受が行われる。またこのと
き、搬送コントローラ１５についてはすべてのストッカ
１，２，３，４…に関して１つのコントローラとして共
通化してもよい。

【００１７】ここで、搬送車８の詳細機能を図４を用い
て説明する。図４は、搬送車８の詳細機能構造を表すブ
ロック図であり、搬送車８は、光伝装置１２，１９及び
ストライカ２１並びにポインター１０，１１（後述）と
通信可能な通信手段８ａと、ストライカ２１との通信結
果に基づき自らの現在走行位置を検出する位置検出手段
８ｂと、走行用の車輪を駆動する駆動手段８ｃと、これ
ら通信手段８ａ、位置検出手段８ｂ、及び駆動手段８ｃ
を必要に応じ互いに関連づけて制御する制御手段８ｄと
を備えている。

【００１８】次に、上記構成における動作及び作用を、
ストッカ１、ポインター１０，１１、搬送コントローラ
１５、及び搬送車８の動作フローである図５を用いて、
先行搬送車８Ａがストッカ１と移載を行っている最中に
後続搬送車８Ｂが追い越す場合を例にとって説明する。
まず、先行搬送車８Ａが本線５上を進行してきて光伝装
置１２の位置まで来ると（ステップ１０１）、先行搬送
車８Ａは通信手段８ａを介して光伝装置１２と通信を行
い、行先がストッカ１であることを報告する（ステップ
１０２）。この報告は、光伝装置１２によって搬送コン
トローラ１５に伝達される。これに応じて、搬送コント
ローラ１５は、先行搬送車８Ａの進行方向前方に位置す
るポインター１０に対し、引き込みルート９側に切り替
える指示信号を出力する（ステップ２０１）。これに応
じて、メインルート５直進方向で待機していたポインタ
ー１０は、メインルート５から引き込みルート９に進入
する方向へ切り替わる（ステップ３０１）。これによ
り、先行搬送車８Ａはメインルート５から引き込みルー
ト９に導かれる。なおこのとき、特に図示しないが、ポ
インター１０には、自らの切り替え位置がメインルート
５直進方向であることを検出する正位検出手段と、自ら
の切り替え位置がメインルート５から引き込みルート９
に進入する方向であることを検出する反位検出手段と、
この正位・反位検出手段の検出結果に応じて搬送コント
ローラ１５を介さず搬送車８に制御信号を出力するロー
カルな通信手段とが設けられている。そして、ポインタ
ー１０の切り替わりが終了する前に、万一搬送車８がポ
インター１０直前位置に到達した場合には、その直前位
置で搬送車８を一旦停車させ、これによって搬送車８の
脱線事故を未然に防止するようになっている。これを図
６によって説明する。図６（ａ）、図６（ｂ）、図６
（ｃ）はそれぞれ、正位検出手段の検出信号（ＯＮが検
出、ＯＦＦが非検出を表す）、反位検出手段の検出信号
（ＯＮが検出、ＯＦＦが非検出を表す）、通信手段から
の制御信号（ＯＮが進行、ＯＦＦが停止を表す）を表し
ている。これら図６（ａ）〜（ｃ）に表されるように、
図６（ｃ）に示す制御信号は、図６（ａ）及び図６
（ｂ）に示す検出信号の論理和をとった形となってお
り、ポインター１０が、メインルート５直進方向、ある
いは、メインルート５から引き込みルート９に進入する
方向のいずれかに切り替わっている状態であれば、ポイ
ンター１０の通信手段からの制御信号がＯＮになる。こ
の制御信号は、搬送車８の通信手段８ａ（図４参照）を
介して制御手段８ｄに入力され、これに応じて駆動手段
８ｃが制御され、搬送車８は引き続き進行する。一方、
ポインター１０がまだどちらの位置にも切り替わってい
ない、切り替わり途中の状態である場合には、ポインタ
ー１０の通信手段からの制御信号がＯＦＦになる。これ
により、同様にして搬送車８の駆動手段８ｃが制御さ
れ、搬送車８が停止するようになっている。なお、図６
（ａ）〜（ｃ）に示した制御は、搬送車８を脱線させな
いことを主眼としているため、本来の目的方向と反対側
に切り替わっていた場合には、搬送車８は停止せず反対
方向にそのまま進むことになる。しかしながら、この種
の搬送システムにおいては、種々の処理工程途中にある
半導体ウェハを搭載した多数の搬送車８が続々と進行し
てくるため、これらを停滞させることなく通過させるこ
とが最も重要である。したがって、仮に１つの搬送車８
が間違った方向に進行していったとしても、閉ループを
もう１周して再び戻ってくれば足り、特に問題はない。
しかし、この間違った方向へ進むのも防止したい場合に
は、正位検出手段及び反位検出手段からの検出信号をそ
のまま搬送車８の通信手段８ａを介して制御手段８ｄに
入力し、行先と合致した方向に切り替えられている場合
のみ進行を継続するようにすればよい。

【００１９】図５に戻り、先行搬送車８Ａがポインター
１０を通過して引き込みルート９に進入して光伝装置１
３の位置を通過すると（ステップ１０３）、このことが
光伝装置１３で検出され、この検出信号が搬送コントロ
ーラ１５に入力される。搬送コントローラ１５は、この
入力によって先行搬送車８Ａがポインター１０を通過し
たことを確認し、ポインター１０に対し、再度メインル
ート５側に切り替える指示信号を出力する（ステップ２
０２）。これに応じ、メインルート５から引き込みルー
ト９に進入する方向に切り替わっていたポインター１０
が、メインルート５を直進する方向に復位する（ステッ
プ３０２）。なお、ポインター１０はこの後、この復位
した状態で待機する。

【００２０】このとき、先行搬送車８Ａはさらに引き込
みルート９上を進み、ストライカ２１の位置まで来る
と、通信手段８ａによってストライカ２１と通信を行
い、位置情報（例えばストライカ２１から移載位置まで
の距離）を入力する。この位置情報は位置検出手段８ｂ
に入力され、位置検出手段８ｂはこの位置情報に基づ
き、先行搬送車８Ａ自体の位置検出を開始する。この位
置検出手段８ｂの位置検出に応じて制御手段８ｄが駆動
手段８ｃを制御し、これによって先行搬送車８Ａは、移
載を行うストッカ１前の所定位置まで移動して停止する
（ステップ１０４）。その後、先行搬送車８Ａは通信手
段８ａを介し、その停止位置に対応する光伝装置１９に
停止したことを報告する（ステップ１０５）。この報告
は、光伝装置１９によって搬送コントローラ１５に伝達
され、搬送コントローラ１５はストッカ１に移載開始を
指示する（ステップ２０３）。これにより、ストッカ１
のクレーン１６が動作を開始し（ステップ４０１）、先
行搬送車８Ａに搭載されていた半導体ウェハを保管棚１
７，１８に載せかえる（又は保管棚１７，１８に保管さ
れていた半導体ウェハを先行搬送車８Ａに載せる）作業
を実行する。

【００２１】ここで、この先行搬送車８Ａの移載中に後
続搬送車８Ｂがメインルート５上を進行してきて、しか
もこの後続搬送車８Ｂの行先がもっと先のストッカ（例
えばストッカ２）であるとする。この場合、後続搬送車
８Ｂが光伝装置１２の位置まで来ると（ステップ５０
１）、上記ステップ１０２と同様に光伝装置１２と通信
を行って行先がストッカ２であることを報告し（ステッ
プ５０２）、この報告は搬送コントローラ１５に入力さ
れる。ここで搬送コントローラ１５は、ステップ２０２
で既にポインター１０をメインルート５直進方向に切り
替えていることから、特にポインター１０に対して切り
替え指示信号は出力しない。そして後続搬送車８Ｂはさ
らに進み、ポインター１１の手前側における広範囲に配
置された光伝装置２２の位置を通過すると、このことが
光伝装置２２で検出され（ステップ５０３）、この検出
信号が搬送コントローラ１５に入力される。搬送コント
ローラ１５はこれによって後続搬送車８Ｂが順調にメイ
ンルート５上を進行していることを確認する。このと
き、この後続搬送車８Ｂの前方にあるポインター１１
は、後述するように、基本的にメインルート５直進方向
で待機している状態であることから、搬送コントローラ
５は特にポインター１１に対して切り替え指示信号は出
力しない。そして、後続搬送車８Ｂはさらに進み、直進
方向となっているポインター１１をそのまま通過して進
行する。このようにして、後続搬送車８Ｂは先行搬送車
８Ａに邪魔されることなくメインルート５上をそのまま
進行して先行搬送車８Ａを追い越し、直ちに目的とする
ストッカ２へと向かうことができる（ステップ５０
４）。

【００２２】以上のようにして後続搬送車８Ｂがメイン
ルート５上を通過中（あるいは通過してしまった後）に
先行搬送車８Ａの移載が完了したら、ストッカ１は搬送
コントローラ１５に移載完了を報告する（ステップ４０
２）。これに応じて、搬送コントローラ１５は、光伝装
置１９に先行搬送車８Ａの出発指示信号を出力する（２
０４）。この指示信号は、光伝装置１９によって通信手
段８ａを介し先行搬送車８Ａに伝達され、先行搬送車８
Ａは停止位置から出発する。そして、先行搬送車８Ａが
進行して光伝装置２０の位置を通過すると（ステップ１
０６）、このことが光伝装置２０で検出され、この検出
信号が搬送コントローラ１５に入力される。搬送コント
ローラ１５は、これに応じて、先行搬送車８Ａのメイン
ルート５への進入ルートを確保するために、光伝装置２
２で他の搬送車８の存在が検出されているかどうかを確
認し、これによってメインルート５を通過中の搬送車８
の不在を確認する（ステップ２０５）。この場合、前述
したように、ステップ５０３で後続搬送車８Ｂが既に光
伝装置２２を通過したことが報告されているため、その
不在がこれによって確認される。

【００２３】その後、搬送コントローラ１５は、先行搬
送車８Ａの進行方向前方に位置するポインター１１に対
し、引き込みルート９側に切り替える指示信号を出力す
る（ステップ２０６）。これに応じて、メインルート５
直進方向で待機していたポインター１１は、引き込みル
ート９からメインルート５に進出する方向に切り替わる
（ステップ６０１）。これにより、先行搬送車８Ａは引
き込みルート９からメインルート５へと導かれる。なお
このとき、ポインター１１には、前述したポインター１
０と同様のローカルな通信及び制御を行う機能が併設さ
れており、ポインター１１の切り替わりが終了する前
に、万一搬送車８がポインター１１直前位置に到達した
場合には、その直前位置で搬送車８を一旦停車させ、こ
れによって搬送車８の脱線事故を未然に防止するように
なっている。

【００２４】そして、先行搬送車８Ａがポインター１１
を通過してメインルート５に再度進出し光伝装置１４の
位置を通過すると（ステップ１０７）、このことが光伝
装置１４で検出され、この検出信号が搬送コントローラ
１５に入力される。搬送コントローラ１５は、この入力
によって先行搬送車８Ａがポインター１１を通過したこ
とを確認し、ポインター１１に対し、再度メインルート
５側に切り替える指示信号を出力する（ステップ２０
７）。これに応じ、引き込みルート９からメインルート
５に進出する方向に切り替わっていたポインター１１
が、メインルート５を直進する方向に復位し（ステップ
６０２）、待機状態となる。

【００２５】なお、以上において、ポインター１０及び
１１は、いずれもメインルート５の直進方向で待機し、
必要に応じて引き込みルート９側に切り替わるように制
御したが、これに限られない。すなわち、少なくとも一
方については、引き込みルート９側で待機し、必要に応
じてメインルート５側に切り替わるように制御してもよ
い。以上説明したように、本実施形態によれば、先行搬
送車８Ａがストッカ１で移載中であってもメインルート
５が支障されず直進ルートを確保できるので、従来のよ
うな後続搬送車８Ｂの停滞状態をなくすことができる。
したがって、全体の稼動率を向上することができる。ま
た、ストッカ１において、幅方向一の側の保管棚１８が
一部切り欠かれ、その切り欠いた領域に引き込みルート
９が敷設されていることにより、メインルート５のみが
ある従来構造に対し引き込みルート９を追加設置するた
めのスペースは特に不要である。ここで、ストッカ１と
これに向かい合うストッカ４との距離はフロアの通路幅
によって決定されるのが通常であり、この場合搬送軌道
６やストッカ１の設置スペースに制限があるため、引き
込みルート９の設置によって搬送軌道６が半導体処理工
程エリアにはみ出す場合には、引き込みルート９の設置
自体が困難となる。しかしながら、上記したような構造
とすることにより、引き込みルート９設置のための新た
なスペースは不要であることから、このような場合であ
っても容易に従来構造からの改良を実施することができ
る。さらにこのとき、ストッカ１は、クレーン１６の目
の前に引き込みルート９が敷設された構造となってお
り、クレーン１６と搬送車８とで直接半導体ウェハの移
載を行うことができる。これにより、通常、搬送車から
移載機で保管棚に移載し、さらに保管棚からクレーンで
処理工程側に移載していた従来構造に比べて、移載機を
省略することができるので、コストダウンを図ることが
できる。またこのようにクレーン１６と搬送車８とで直
接半導体ウェハの移載が可能となるので、ストッカ１で
移載を行う搬送車８が多数続行してきた場合には、スト
ッカ１前の引き込みルート９にこれらを並べて停止さ
せ、各停止位置に対応する光伝装置１９ａ，１９ｂ，…
を用いつつ、その停止状態のまま、１つのクレーン１６
で移載を行うことができる。したがって、固定式の移載
機を用いる結果ある１箇所でしか移載ができなかった従
来構造のように、１つの搬送車の移載完了ごとに搬送車
を順次前方へ移動する必要がなくなり、移載作業の効率
が向上する。

【００２６】なお、上記はストッカ１の構造及び移載並
びにその間の追い越しによる作用効果ついて説明した
が、他のストッカにおいても同様の作用効果を得られる
ことはいうまでもない。

【００２７】

【発明の効果】本発明によれば、先行搬送車が移載中で
あっても本線が支障されず直進ルートを確保できるの
で、従来のような後続搬送車の停滞状態をなくすことが
できる。したがって、全体の稼動率を向上することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態による搬送システムの概略
配置を示すレイアウト図である。

【図２】搬送コントローラに係わる信号の流れを表す図
である。

【図３】ストッカの概略断面構造を表す鉛直断面図であ
る。

【図４】搬送車の詳細機能構造を表すブロック図であ
る。

【図５】ストッカ、ポインター、搬送コントローラ、及
び搬送車の動作フローである。

【図６】正位検出手段の検出信号、反位検出手段の検出
信号、通信手段からの制御信号を表す図である。

【符号の説明】

１〜４ ストッカ ５ メインルート（本線） ６ 搬送軌道 ８Ａ，Ｂ 搬送車 ９ 引き込みルート（側線） １０ ポインター（分岐用切替手段） １１ ポインター（合流用切替手段） １２ 光伝装置（行先検出手段） １３，１４ 光伝装置（通過検出手段） １６ クレーン １７，１８ 保管棚

フロントページの続き (72)発明者 岡部 勉 東京都小平市上水本町五丁目20番地１号 株式会社日立製作所半導体事業部内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】半導体処理工程に対応して設けられ、半導
   体ウェハの一時保管をそれぞれ行う複数のストッカと、
   閉ループを形成する１つの本線を含む搬送軌道と、前記
   半導体ウェハを搭載し前記搬送軌道を走行する複数の搬
   送車とを有し、前記複数のストッカ間で前記半導体ウェ
   ハの搬送を行う半導体ウェハ搬送システムにおいて、 前記搬送軌道に、前記本線から分岐し対応する前記スト
   ッカの近傍を通って再び前記本線に合流する側線を設
   け、 前記本線から前記側線が分岐する位置に、前記本線を直
   進する方向か若しくは前記本線から前記側線に進入する
   方向へ択一的に進路を切り替え可能な分岐用切替手段を
   設け、 前記側線が前記本線に合流する位置に、前記本線を直進
   する方向か若しくは前記側線から前記本線に進出する方
   向へ択一的に進路を切り替え可能な合流用切替手段を設
   けたことを特徴とする半導体ウェハ搬送システム。
2. 【請求項２】請求項１記載の半導体ウェハ搬送システム
   において、前記搬送車の行先に応じて前記分岐用切替手
   段及び合流用切替手段の切り替え動作を制御する制御手
   段を設けたことを特徴とする半導体ウェハ搬送システ
   ム。
3. 【請求項３】請求項２記載の半導体ウェハ搬送システム
   において、前記搬送車の行先を検出し、対応する検出信
   号を前記制御手段に入力する行先検出手段を設けたこと
   を特徴とする半導体ウェハ搬送システム。
4. 【請求項４】請求項２記載の半導体ウェハ搬送システム
   において、前記搬送車が前記分岐用切替手段又は前記合
   流用切替手段を通過したことを検出し、対応する信号を
   前記制御手段に入力する通過検出手段を設けたことを特
   徴とする半導体ウェハ搬送システム。
5. 【請求項５】請求項１記載の半導体ウェハ搬送システム
   において、前記ストッカは、前記側線に略沿った軌道方
   向及び上下方向に移動可能なクレーンと、このクレーン
   の前記軌道方向に対し直角な幅方向両側にそれぞれ設け
   られ半導体ウェハを載置する保管棚とを備えており、前
   記側線は、前記幅方向一の側の保管棚の一部を切り欠い
   た領域に敷設されていることを特徴とする半導体ウェハ
   搬送システム。