JP2019031137A - 物品搬送設備 - Google Patents
物品搬送設備 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019031137A JP2019031137A JP2017151906A JP2017151906A JP2019031137A JP 2019031137 A JP2019031137 A JP 2019031137A JP 2017151906 A JP2017151906 A JP 2017151906A JP 2017151906 A JP2017151906 A JP 2017151906A JP 2019031137 A JP2019031137 A JP 2019031137A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rail
- traveling
- branch
- transport vehicle
- article transport
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 9
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 claims 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 180
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 12
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 4
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G35/00—Mechanical conveyors not otherwise provided for
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Platform Screen Doors And Railroad Systems (AREA)
- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
前記走行レールは、第一走行レールと、第二走行レールと、迂回用走行レールと、第一分岐レールと、第二分岐レールと、第一合流レールと、第二合流レールと、を備え、前記第二走行レールは、前記第一走行レールに対して並行する状態で設置され、前記第一走行レールを走行する前記物品搬送車の走行方向を第一方向とし、前記第二走行レールを走行する前記物品搬送車の走行方向を第二方向として、前記第一方向と前記第二方向とは互いに反対方向であり、前記迂回用走行レールは、前記第一走行レールと前記第二走行レールとの間に設置され、第一分岐合流部と当該第一分岐合流部よりも前記第一方向側に位置する第二分岐合流部とを備え、前記第一分岐レールは、前記第一走行レールの第一分岐部から分岐し且つ前記迂回用走行レールの前記第一分岐合流部に合流する状態で設置され、前記第二分岐レールは、前記第二走行レールの第二分岐部から分岐し且つ前記迂回用走行レールの前記第二分岐合流部に合流する状態で設置され、前記第一合流レールは、前記迂回用走行レールの前記第二分岐合流部から分岐し且つ前記第一走行レールの第一合流部に合流する状態で設置され、前記第二合流レールは、前記迂回用走行レールの前記第一分岐合流部から分岐し且つ前記第二走行レールの第二合流部に合流する状態で設置され、前記物品搬送車が、前記迂回用走行レールを前記第一方向及び前記第二方向の双方向に走行する点にある。
このように物品搬送車を走行させることで、物品搬送車は迂回用走行レールを第一方向及び第二方向の双方向に走行し、第一走行レールを第一方向に走行する物品搬送車の迂回路として用いることができるとともに、第二走行レールを第二方向に走行する物品搬送車の迂回路として用いることができる。
そして、このように迂回用走行レールを、第一走行レールを第一方向に走行する物品搬送車と第二走行レールを第二方向に走行する物品搬送車とで兼用することで、第一走行レールと第二走行レールとのそれぞれに対応して各別に迂回用走行レールを備える必要がなくなるため、迂回用走行レールの数を減らすことができる。従って、第一方向に走行する物品搬送車と第二方向に走行する物品搬送車との双方が迂回できながら走行レールの設置スペースを小さくすることができる。
物品搬送設備の実施形態について図面に基づいて説明する。
図1に示すように、物品搬送設備は、走行経路1に沿って設置された走行レール2と、走行レール2に沿って走行する物品搬送車3と、を備えている。走行レール2は、左右一対のレール部2Aを備えている。物品搬送車3は、走行レール2上を走行経路1に沿って走行して物品を搬送する。尚、本実施形態では、半導体基板を収容するFOUP(Front Opening Unified Pod)を物品としており、物品搬送車3は、天井から吊り下げ支持された走行レール2上を走行経路1に沿って走行してFOUPを搬送する。
次に、物品搬送車3について説明する。
尚、物品搬送車3を説明するにあたり、物品搬送車3の前後方向を走行方向と称し、物品搬送車3の横幅方向(左右方向)を車体横幅方向と称して説明する。また、物品搬送車3の後方から前方を見た状態で、左右方向を特定して説明する。
また、第一走行部11Aには、上下方向Zに沿う縦軸心周りで回転自在な左右一対の案内輪18が装備されている。この左右一対の案内輪18は、左右一対のレール部2Aの間に位置して左右一対のレール部2Aにおける内側面を転動するように、第一走行部11Aに装備されている。左右一対の案内輪18は、走行方向に並ぶ状態で第一走行部11Aに2組装備されている。
第二走行部11Bには、第一走行部11Aと同様に、1つの第一モータ16と、1組の左右一対の走行輪17と、2組の左右一対の案内輪18と、を備えている。
また、物品搬送車3は、本体部12に対して第一走行部11A及び第二走行部11Bが本体部12に対して縦軸心周りに回転することで、走行経路1が円弧状であっても走行経路1に沿って走行できるようになっている。
第二走行部11Bには、第一走行部11Aと同様に、前後一対の案内補助輪19と1つの第二モータ20とが備えられている。
図3に示すように、第一走行部11Aは、第二モータ20の駆動により、前後一対の案内補助輪19の位置を、右案内位置(第一位置に相当、図3において実線で示す位置)と左案内位置(第二位置に相当、図3において仮想線で示す位置)とに移動させるように構成されている。右案内位置は、前後一対の案内補助輪19が第一走行部11Aの車体横幅方向の中央より右側に位置して案内レール21に対して右側から当接する位置である。左案内位置は、前後一対の案内補助輪19が第一走行部11Aの車体横幅方向の中央より左側に位置して案内レール21に対して左側から当接する位置である。
尚、案内補助輪19が、被案内体に相当し、第二モータ20が、案内補助輪19を左右方向に移動させて第一位置と第二位置とに移動させる駆動部に相当する。
また、左右一対の案内補助輪19は、右案内位置よりも右側への移動や左案内位置よりも左側への移動が図外の規制部にて規制されている。そのため、例えば、前後一対の案内補助輪19が右案内位置に位置する状態で案内レール21により右側に押された場合でも、規制部の規制により、前後一致の案内補助輪19は右案内位置に維持される。しかし、前後一対の案内補助輪19が右案内位置に位置する状態で左側に押された場合は、左右一対の案内補助輪19は左案内位置に向けて移動する。
図1に示すように、走行レール2は、第一走行レール31と、第二走行レール32と、迂回用走行レール33と、第一分岐レール34と、第一合流レール35と、第二分岐レール36と、第二合流レール37と、を備えている。尚、走行経路1を説明するにあたり、走行経路1の迂回用走行レール33に沿う方向を経路長手方向Xとし、その経路長手方向Xに対して上下方向Z視で直交する方向を経路幅方向Yと称して説明する。
第一走行レール31は、走行経路1の第一走行経路41に沿って設置されている。第二走行レール32は、走行経路1の第二走行経路42に沿って設置されている。迂回用走行レール33は、走行経路1の迂回用経路43に沿って設置されている。第一分岐レール34は、走行経路1の第一分岐経路44に沿って設置されている。第一合流レール35は、走行経路1の第一合流経路45に沿って設置されている。第二分岐レール36は、走行経路1の第二分岐経路46に沿って設置されている。第二合流レール37は、走行経路1の第二合流経路47に沿って設置されている。
第一走行レール31は、第一分岐部51と、当該第一分岐部51よりも第一方向X1側に位置する第一合流部52と、を備えている。第二走行レール32は、第二分岐部53と、当該第二分岐部53よりも第二方向X2側に位置する第二合流部54と、を備えている。第一分岐部51と第二合流部54とは、経路長手方向Xにおいて同じ位置に備えられており、第二分岐部53と第一合流部52とは、経路長手方向Xにおいて同じ位置に備えられている。
第一合流レール35は、迂回用走行レール33の第二分岐合流部56から分岐し且つ第一走行レール31の第一合流部52に合流する状態で設置されている。
第二分岐レール36は、第二走行レール32の第二分岐部53から分岐し且つ迂回用走行レール33の第二分岐合流部56に合流する状態で設置されている。
第二合流レール37は、迂回用走行レール33の第一分岐合流部55から分岐し且つ第二走行レール32の第二合流部54に合流する状態で設置されている。
第二走行レール32に沿って第二方向X2に走行する物品搬送車3は、第二分岐部53を直進走行又は分岐走行する。第二分岐部53を直進した物品搬送車3は、そのまま第二走行レール32に沿って走行する。第二分岐部53を第二分岐レール36に走行した物品搬送車3は、第二分岐レール36、迂回用走行レール33、第二合流レール37の順に走行した後、第二合流部54において第二走行レール32に乗り移り、その後は、第二走行レール32に沿って走行する。このように物品搬送車3が迂回用走行レール33を走行する場合は、物品搬送車3は迂回用走行レール33を第二方向X2に走行する。また、このように物品搬送車3が第二分岐レール36及び第二合流レール37を走行する場合も、物品搬送車3が第二方向X2に走行するとしている。
つまり、物品搬送車3は、迂回用走行レール33を第一方向X1及び第二方向X2の双方向に走行する。
図4に示すように、案内レール21は、第一分岐部51、第一合流部52、第二分岐部53、第二合流部54、第一分岐合流部55、及び第二分岐合流部56のそれぞれに対応して設置されている。このように、案内レール21は、走行経路1における2つの経路が接続されている部分に設置されている。
案内レール21として、第一分岐部51に対応して設置された第一分岐案内レール71、第一合流部52に対応して設置された第一合流案内レール72、第二分岐部53に対応して設置された第二分岐案内レール73、第二合流部54に対応して設置された第二合流案内レール74、第一分岐合流部55に対応して設置された第一分岐合流案内レール71、及び第二分岐合流部56に対応して設置された第二分岐合流案内レール76が設置されている。
図6に示すように、第一分岐合流部55を第一方向X1に走行する物品搬送車3は、案内補助輪19によって進入防止体60を押して第一分岐合流部を退出する。そして、図7に示すように、第一分岐合流部55に進入する物品搬送車3の案内補助輪19が左案内位置にある場合は、進入防止体60によって案内補助輪19を左案内位置から右案内位置に案内するようになっている。
尚、第二分岐合流案内レール76の第二方向X2側の端部にも同様に、進入防止体60が備えられている。
図3及び図4に示すように、物品搬送設備には、迂回用走行レール33を走行する物品搬送車3の走行方向を検出する方向センサ66が備えられている。方向センサ66は、迂回用走行レール33に沿って設置されている。方向センサ66は、左右一対のレール部2Aにおける第一方向X1に対して右側(第二方向X2に対して左側)に位置するレール部2Aである第一のレール部2Aに取り付けられた第一センサ66Aと、左右一対のレール部2Aにおける第一方向X1に対して左側(第二方向X2に対して右側)に位置するレール部2Aである第二のレール部2Aに取り付けられた第二センサ66Bと、を備えている。
第一分岐レール34や第一合流レール35に沿って設けられた部分は、第一センサ66Aと第二センサ66Bとのうちの第一センサ66Aのみが備えられている。第二分岐レール36や第二合流レール37に沿って設けられた部分は、第一センサ66Aと第二センサ66Bとのうちの第二センサ66Bのみが備えられている。
図12に示すように、物品搬送車3には、検出装置61と、送受信装置62と、受信装置63と、第三制御部H3と、が備えられている。
検出装置61は、走行経路1に沿って設置された表示体65(図4等参照)を検出する。表示体65には、表示体65が設置されている位置を示すアドレス情報が示されており、検出装置61は、表示体65を検出するとともにその表示体65に示されているアドレス情報を読み取るように構成されている。表示体65は、走行経路1に沿って複数設置されており、第一分岐部51及び第二分岐部53のそれぞれの上流側と、第一合流部52及び第二合流部54のそれぞれの下流側とに設置されている。
送受信装置62は、後述の第一制御部H1の送受信部64から送信された情報を受信するとともに、検出装置61にて読み取ったアドレス情報を第一制御部H1の送受信部64に送信する。受信装置63は、後述の第二制御部H2からの情報を受信する。
第三制御部H3は、送受信装置62にて受信した情報(第一制御部H1から受信した情報)と、受信装置63にて受信した情報(第二制御部H2から受信した情報)と、に基づいて、物品搬送車3を制御する。
この制御装置Hは、第一制御部H1と、第二制御部H2と、第三制御部H3と、を備えている。第一制御部H1は、管理エリアEを含む走行経路1全体における物品搬送車3の走行を制御する。第二制御部H2は、管理エリアEにおける物品搬送車3の走行を制御する。第一制御部H1及び第二制御部H2は、例えば、床面上等に移動しないように固定状態で設置されている。第三制御部H3は、走行経路1を走行する物品搬送車3の夫々に設けられている。
また、第一制御部H1は、走行経路1を走行する物品搬送車3から送信される当該物品搬送車3の走行位置を示すアドレス情報(位置情報)に基づいて物品搬送車3の位置を把握する。
詳しくは、制御装置Hは、方向センサ66により迂回用走行レール33を第二方向X2に走行する物品搬送車3が検出された場合には、第一走行レール31の第一分岐部51から第一分岐レール34に進入しようとする物品搬送車3に停止信号を送信し、方向センサ66により迂回用走行レール33を第一方向X1に走行する物品搬送車3が検出された場合には、第二走行レール32の第二分岐部53から第二分岐レール36に進入しようとする物品搬送車3に停止信号を送信する。
また、迂回用走行レール33を第一方向X1に走行する物品搬送車3が存在する場合は、その物品搬送車3は第一センサ66Aにより検出される。また、第一分岐レール34及び第一合流レール35に物品搬送車3が存在する場合も、その物品搬送車3は第一センサ66Aにより検出される。第二制御部H2は、第一センサ66Aにより物品搬送車3が検出された場合は、第二停止エリアE2の通信装置67から停止信号を送信する。
第三制御部H3は、第一走行レール31を走行し、第一分岐部51を直進する場合は、第一分岐部51に進入する前に案内補助輪19を右案内位置に位置するように第二モータ20を制御する。第三制御部H3は、第一分岐部51を直進する場合に第一停止エリアE1の通信装置67から停止信号を受信しても停止せずに第一分岐部51に進入するように走行する。
第三制御部H3は、図8に示すように、第一走行レール31を走行し、第一分岐部51から第一分岐レール34に進入する場合は、第一分岐部51に進入する前に案内補助輪19を左案内位置に位置するように第二モータ20を制御する。第三制御部H3は、第一分岐部51から第一分岐レール34に進入する場合に第一停止エリアE1の通信装置67から停止信号を受信した場合は、図10に示すように、物品搬送車3を第一停止エリアE1に停止させる。
第三制御部H3は、図9に示すように、第二走行レール32を走行し、第二分岐部53から第二分岐レール36に進入する場合は、第二分岐部53に進入する前に案内補助輪19を左案内位置に位置するように第二モータ20を制御する。第三制御部H3は、第二分岐部53から第二分岐レール36に進入する場合に第二停止エリアE2の通信装置67から停止信号を受信した場合は、図11に示すように、物品搬送車3を第二停止エリアE2に停止させる。
次に、物品搬送設備のその他の実施形態について説明する。
被検出体23を走行部11に設置する場合は、第二モータ20によって案内補助輪19と一体的に左右方向に移動させるように走行部11に設置してもよい。
以下、上記において説明した物品搬送設備の概要について説明する。
前記走行レールは、第一走行レールと、第二走行レールと、迂回用走行レールと、第一分岐レールと、第二分岐レールと、第一合流レールと、第二合流レールと、を備え、前記第二走行レールは、前記第一走行レールに対して並行する状態で設置され、前記第一走行レールを走行する前記物品搬送車の走行方向を第一方向とし、前記第二走行レールを走行する前記物品搬送車の走行方向を第二方向として、前記第一方向と前記第二方向とは互いに反対方向であり、前記迂回用走行レールは、前記第一走行レールと前記第二走行レールとの間に設置され、第一分岐合流部と当該第一分岐合流部よりも前記第一方向側に位置する第二分岐合流部とを備え、前記第一分岐レールは、前記第一走行レールの第一分岐部から分岐し且つ前記迂回用走行レールの前記第一分岐合流部に合流する状態で設置され、前記第二分岐レールは、前記第二走行レールの第二分岐部から分岐し且つ前記迂回用走行レールの前記第二分岐合流部に合流する状態で設置され、前記第一合流レールは、前記迂回用走行レールの前記第二分岐合流部から分岐し且つ前記第一走行レールの第一合流部に合流する状態で設置され、前記第二合流レールは、前記迂回用走行レールの前記第一分岐合流部から分岐し且つ前記第二走行レールの第二合流部に合流する状態で設置され、前記物品搬送車が、前記迂回用走行レールを前記第一方向及び前記第二方向の双方向に走行する。
このように物品搬送車を走行させることで、物品搬送車は迂回用走行レールを第一方向及び第二方向の双方向に走行し、第一走行レールを第一方向に走行する物品搬送車の迂回路として用いることができるとともに、第二走行レールを第二方向に走行する物品搬送車の迂回路として用いることができる。
そして、このように迂回用走行レールを、第一走行レールを第一方向に走行する物品搬送車と第二走行レールを第二方向に走行する物品搬送車とで兼用することで、第一走行レールと第二走行レールとのそれぞれに対応して各別に迂回用走行レールを備える必要がなくなるため、迂回用走行レールの数を減らすことができる。従って、第一方向に走行する物品搬送車と第二方向に走行する物品搬送車との双方が迂回できながら走行レールの設置スペースを小さくすることができる。
2A:レール部
3:物品搬送車
19:案内補助輪(被案内体)
20:第二モータ(駆動部)
23:被検出体
31:第一走行レール
32:第二走行レール
33:迂回用走行レール
34:第一分岐レール
35:第一合流レール
36:第二分岐レール
37:第二合流レール
51:第一分岐部
52:第一合流部
53:第二分岐部
54:第二合流部
55:第一分岐合流部
56:第二分岐合流部
66:方向センサ
66A:第一センサ
66B:第二センサ
71:第一分岐案内レール(第一案内レール)
73:第二分岐案内レール(第二案内レール)
H:制御装置
X1:第一方向
X2:第二方向
Claims (6)
- 走行レールに沿って走行する物品搬送車を備えた物品搬送設備であって、
前記走行レールは、第一走行レールと、第二走行レールと、迂回用走行レールと、第一分岐レールと、第二分岐レールと、第一合流レールと、第二合流レールと、を備え、
前記第二走行レールは、前記第一走行レールに対して並行する状態で設置され、
前記第一走行レールを走行する前記物品搬送車の走行方向を第一方向とし、前記第二走行レールを走行する前記物品搬送車の走行方向を第二方向として、前記第一方向と前記第二方向とは互いに反対方向であり、
前記迂回用走行レールは、前記第一走行レールと前記第二走行レールとの間に設置され、第一分岐合流部と当該第一分岐合流部よりも前記第一方向側に位置する第二分岐合流部とを備え、
前記第一分岐レールは、前記第一走行レールの第一分岐部から分岐し且つ前記迂回用走行レールの前記第一分岐合流部に合流する状態で設置され、
前記第二分岐レールは、前記第二走行レールの第二分岐部から分岐し且つ前記迂回用走行レールの前記第二分岐合流部に合流する状態で設置され、
前記第一合流レールは、前記迂回用走行レールの前記第二分岐合流部から分岐し且つ前記第一走行レールの第一合流部に合流する状態で設置され、
前記第二合流レールは、前記迂回用走行レールの前記第一分岐合流部から分岐し且つ前記第二走行レールの第二合流部に合流する状態で設置され、
前記物品搬送車が、前記迂回用走行レールを前記第一方向及び前記第二方向の双方向に走行する物品搬送設備。 - 前記物品搬送車の走行を制御する制御装置を更に備え、
前記制御装置は、前記迂回用走行レールを前記第二方向に走行する前記物品搬送車が存在する場合は、前記第一走行レールを走行する前記物品搬送車が前記第一分岐レールに進入することを規制し、前記迂回用走行レールを前記第一方向に走行する前記物品搬送車が存在する場合は、前記第二走行レールを走行する前記物品搬送車が前記第二分岐レールに進入することを規制する請求項1に記載の物品搬送設備。 - 前記迂回用走行レールを走行する前記物品搬送車の走行方向を検出する方向センサを更に備え、
前記方向センサは、前記迂回用走行レールに沿って設けられ、
前記制御装置は、前記方向センサにより前記迂回用走行レールを前記第二方向に走行する前記物品搬送車が検出された場合には、前記第一走行レールの前記第一分岐部から前記第一分岐レールに進入しようとする前記物品搬送車に停止信号を送信し、前記方向センサにより前記迂回用走行レールを前記第一方向に走行する前記物品搬送車が検出された場合には、前記第二走行レールの前記第二分岐部から前記第二分岐レールに進入しようとする前記物品搬送車に停止信号を送信する請求項2に記載の物品搬送設備。 - 前記迂回用走行レールは、左右一対のレール部を備え、
前記物品搬送車は、左右方向の中心に対して一方側に片寄った位置に被検出体を備え、
前記方向センサは、前記左右一対のレール部の一方に取り付けられて、前記迂回用走行レールを前記第一方向に走行する前記物品搬送車の前記被検出体を検出する第一センサと、前記左右一対のレール部の他方に取り付けられて、前記迂回用走行レールを前記第二方向に走行する前記物品搬送車の前記被検出体を検出する第二センサと、を備えている請求項3に記載の物品搬送設備。 - 前記物品搬送車が、被案内体と、被検出体と、前記被案内体及び前記被検出体を一体的に左右方向に移動させて第一位置と前記第一位置より右側に位置する第二位置とに移動させる駆動部と、を備え、
前記第一分岐部は、前記被案内体の位置に応じて前記物品搬送車を前記第一走行レール又は前記第一分岐レールに案内する第一案内レールを備え、
前記第二分岐部は、前記被案内体の位置に応じて前記物品搬送車を前記第二走行レール又は前記第二分岐レールに案内する第二案内レールを備え、
前記迂回用走行レールに沿って、前記被案内体の前記第一位置と前記第二位置との一方から他方への移動を規制する迂回用案内レールが備えられ、
前記方向センサは、前記迂回用案内レールにおける左右方向の一方側に取り付けられて、前記迂回用走行レールを前記第一方向に走行する前記物品搬送車における前記左右方向の前記第一走行レール側に位置する前記被検出体を検出する第一センサと、前記迂回用案内レールにおける左右方向の他方側に取り付けられて、前記迂回用走行レールを前記第二方向に走行する前記物品搬送車における前記左右方向の前記第二走行レール側に位置する前記被検出体を検出する第二センサと、を備えている請求項3に記載の物品搬送設備。 - 前記方向センサは、前記迂回用走行レールに沿って設けられた部分に加えて、前記第一分岐レール、前記第一合流レール、前記第二分岐レール、及び前記第二合流レールのそれぞれに沿って設けられた部分を備えている請求項3から5の何れか一項に記載の物品搬送設備。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017151906A JP6897407B2 (ja) | 2017-08-04 | 2017-08-04 | 物品搬送設備 |
TW107124649A TWI745605B (zh) | 2017-08-04 | 2018-07-17 | 物品搬送設備 |
KR1020180089367A KR102565893B1 (ko) | 2017-08-04 | 2018-07-31 | 물품 반송 설비 |
CN201810877072.2A CN109384000B (zh) | 2017-08-04 | 2018-08-03 | 物品搬运设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017151906A JP6897407B2 (ja) | 2017-08-04 | 2017-08-04 | 物品搬送設備 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019031137A true JP2019031137A (ja) | 2019-02-28 |
JP6897407B2 JP6897407B2 (ja) | 2021-06-30 |
Family
ID=65366714
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017151906A Active JP6897407B2 (ja) | 2017-08-04 | 2017-08-04 | 物品搬送設備 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6897407B2 (ja) |
KR (1) | KR102565893B1 (ja) |
CN (1) | CN109384000B (ja) |
TW (1) | TWI745605B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7501513B2 (ja) | 2021-12-20 | 2024-06-18 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR3098509B1 (fr) * | 2019-07-08 | 2021-06-25 | Erba Diagnostics Ltd | Véhicule de transport d’échantillon biologique comportant un dispositif de guidage |
CN116453994B (zh) * | 2023-06-15 | 2023-09-08 | 上海果纳半导体技术有限公司 | 天车搬运装置 |
KR102638654B1 (ko) * | 2023-07-21 | 2024-02-20 | 에이피티씨 주식회사 | 층 이동이 가능한 기판 이송 장치 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5532264U (ja) * | 1978-08-24 | 1980-03-01 | ||
JPH1153029A (ja) * | 1997-07-31 | 1999-02-26 | Shinko Electric Co Ltd | 搬送システム |
JP2009026265A (ja) * | 2007-07-24 | 2009-02-05 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 無人搬送車装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FI80641C (fi) * | 1988-11-11 | 1990-07-10 | Partek Ab | Foerfarande foer oeverflyttning av en haengvagn fraon en bana till en annan och haengvagnssystem. |
JP2002060006A (ja) * | 2000-08-11 | 2002-02-26 | Murata Mach Ltd | 有軌道台車システム |
JP4720267B2 (ja) * | 2005-04-14 | 2011-07-13 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム |
JP5263613B2 (ja) * | 2009-05-11 | 2013-08-14 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
TWI380942B (zh) * | 2009-06-25 | 2013-01-01 | Ihi Corp | 無人搬送裝置及其搬送路徑決定方法 |
JP5527619B2 (ja) * | 2011-11-24 | 2014-06-18 | 株式会社ダイフク | 天井設置型の物品搬送設備 |
KR101341428B1 (ko) * | 2011-12-22 | 2013-12-13 | 주식회사 에스에프에이 | 반송 시스템 및 그 제어 방법 |
JP6278341B2 (ja) | 2015-04-06 | 2018-02-14 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
-
2017
- 2017-08-04 JP JP2017151906A patent/JP6897407B2/ja active Active
-
2018
- 2018-07-17 TW TW107124649A patent/TWI745605B/zh active
- 2018-07-31 KR KR1020180089367A patent/KR102565893B1/ko active IP Right Grant
- 2018-08-03 CN CN201810877072.2A patent/CN109384000B/zh active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5532264U (ja) * | 1978-08-24 | 1980-03-01 | ||
JPH1153029A (ja) * | 1997-07-31 | 1999-02-26 | Shinko Electric Co Ltd | 搬送システム |
JP2009026265A (ja) * | 2007-07-24 | 2009-02-05 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 無人搬送車装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7501513B2 (ja) | 2021-12-20 | 2024-06-18 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20190015130A (ko) | 2019-02-13 |
JP6897407B2 (ja) | 2021-06-30 |
TW201910234A (zh) | 2019-03-16 |
TWI745605B (zh) | 2021-11-11 |
CN109384000A (zh) | 2019-02-26 |
KR102565893B1 (ko) | 2023-08-09 |
CN109384000B (zh) | 2021-07-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102408175B1 (ko) | 물품 반송 설비 | |
JP6613941B2 (ja) | 物品搬送設備 | |
TWI772404B (zh) | 物品搬送設備 | |
KR102565893B1 (ko) | 물품 반송 설비 | |
JP6520797B2 (ja) | 物品搬送設備 | |
KR960005672B1 (ko) | 이동차의 분기주행 제어설비 | |
JP2009053937A (ja) | 搬送システム、及び搬送システムの制御方法 | |
CN107804639B (zh) | 物品输送设备 | |
JP2006293698A (ja) | 搬送車システム | |
JP2002087250A (ja) | 搬送設備 | |
KR20150119183A (ko) | 반송 시스템 | |
KR101407418B1 (ko) | 반송 시스템 | |
KR101407417B1 (ko) | 반송 시스템 | |
JP2021111213A (ja) | 物品搬送設備 | |
KR101503434B1 (ko) | 수평컨베이어 방식을 이용한 prt 차량 수직이송장치 | |
JP5344366B2 (ja) | 搬送システム | |
JP5170190B2 (ja) | 搬送車システム | |
JP5212228B2 (ja) | 無人搬送システム | |
US20240116545A1 (en) | Running gear for a gondola of a gondola lift system, support means for gondolas of a gondola lift system, gondola for a gondola lift system, gondola lift system, and method for activating a running gear | |
JP2023108873A (ja) | 物品搬送設備 | |
JP2010064855A (ja) | 搬送システム及びコンピュータプログラム | |
JPH11305830A (ja) | 無人搬送車システムにおける誘導線通信方法 | |
JPH0439686B2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191209 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20201008 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201027 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201222 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210511 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210524 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6897407 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |